JPH11273561A - カラー陰極線管の蛍光面形成方法およびその蛍光面形成用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間の露光で所望の光吸収層や蛍光体層を
形成することができる蛍光面形成方法およびその蛍光面
形成用露光装置を得ることを目的とする。 【解決手段】 カラー陰極線管の蛍光面形成方法におい
て、光源15上にこの光源から放射される光の透過方向に
厚みに偏りのある傾斜平面をもつ光学部材44を配置し、
この光学部材を光源から感光性蛍光面形成部材層方向に
放射される光の光軸を回転中心として回転させながら光
源から放射される光を感光性蛍光面形成部材層に照射す
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、写真印刷法によ
り蛍光面を形成するカラー陰極線管の蛍光面形成方法お
よびその蛍光面形成用露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー陰極線管は、図６に示すよ
うに、ほぼ矩形状のパネル１およびファンネル２からな
る外囲器を有し、そのパネル１の内面に、光吸収層とこ
の光吸収層の隙間に埋込まれるように設けられた３色蛍
光体層とからなる蛍光面３が設けられ、この蛍光面３に
対向して、その内側にほぼ矩形状のシャドウマスク４が
配置されている。一方、ファンネル２のネック５内に３
電子ビーム６B ，６G ，６R を放出する電子銃７が配設
されている。そして、この電子銃７から放出される３電
子ビーム６B ，６G ，６R をファンネル２の外側に装着
された偏向装置８により偏向し、シャドウマスク４を介
して蛍光面３を水平、垂直走査することにより、カラー
画像を表示する構造に形成されている。

【０００３】このようなカラー陰極線管は、現在、電子
銃７から放出される３電子ビーム６B ，６G ，６R を、
同一平面上を通る一列配置の３電子ビームとしたインラ
イン型カラー陰極線管が主流となっている。

【０００４】このようなインライン型カラー陰極線管の
うち、テレビの受像に用いられる通常のインライン型カ
ラー陰極線管については、シャドウマスク４は、ほぼ矩
形状の複数の開孔がブリッジを介して一列状に配列さ
れ、この開孔の配列に対応して、蛍光面３の光吸収層お
よび３色蛍光体層は、ストライプ状に形成されている。
しかし、情報処理端末機などのディスプレイ管として用
いられる高精細インライン型カラー陰極線管のシャドウ
マスク４は、開孔を円形とし、この開孔に対応して蛍光
面３の光吸収層および３色蛍光体層は、図７に示すよう
に、マトリックスホール（隙間）を円形とするマトリッ
クス状光吸収層１０と、この光吸収層１０のマトリック
スホールに埋込まれるように円形ドット状の３色蛍光体
層１１B ，１１G ，１１R が設けられたドットマトリッ
クス型蛍光面となっている。

【０００５】従来、上記カラー陰極線管の蛍光面は、シ
ャドウマスク４をフォトマスクとする写真印刷法により
形成され、ドットマトリックス型蛍光面については、最
初にマトリックス状光吸収層１０を形成し、ついでその
マトリックスホールに３色蛍光体層１１B ，１１G ，１
１R を形成する方法で形成されている。

【０００６】すなわち、まずパネルの内面に感光剤を塗
布し、乾燥してフォトレジストを形成する。ついでこの
フォトレジストの形成されたパネルにシャドウマスクを
装着し、後述する露光装置を用いて露光し、上記フォト
レジストにシャドウマスクの円形開孔に対応するパター
ンを焼付ける。つぎにこのパターンの焼付けられたフォ
トレジストを現像して未感光部を除去し、ドット状パタ
ーンからなるレジストを形成する。つぎにそのレジスト
の形成されたパネルの内面に光吸収塗料を塗布し、乾燥
して光吸収塗料層を形成する。つぎにレジスト上に塗布
された光吸収塗料層をレジストとともに剥離して、ドッ
ト状蛍光体層を形成する位置をマトリックスホールとす
るマトリックス状光吸収層を形成する。

【０００７】その後、上記光吸収層の形成されたパネル
の内面に、蛍光体と感光剤を主成分とする感光性蛍光体
スラリを塗布し、乾燥して感光性蛍光体スラリ層を形成
する。そしてこの感光性蛍光体スラリ層の形成されたパ
ネルにシャドウマスクを装着し、後述する露光装置を用
いて露光し、感光性蛍光体スラリ層にシャドウマスクの
円形開孔に対応するパターンを焼付ける。つぎにこのパ
ターンの焼付けられた感光性蛍光体スラリ層を現像して
未感光部を除去し、光吸収層の所定のマトリックスホー
ルにドット状の蛍光体層、たとえば青蛍光体層を形成す
る。この青蛍光体層の形成工程を、緑蛍光体および赤蛍
光体について繰返し、光吸収層の所定のマトリックスホ
ールにドット状の緑蛍光体層および赤蛍光体層を形成す
ることにより形成される。

【０００８】上記パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストや感光性蛍光体スラリ層などの感光性蛍光面形成部
材層にシャドウマスクの円形開孔に対応するパターンを
焼付けるときに用いられる露光装置は、図８（ａ）に示
すように、パネル１を位置決め支持する支持台１３の下
部に、この支持台１３に位置決め支持されたパネル１に
対して、カラー陰極線管の電子銃から放出される一列配
置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に光源部１
４が設けられ、この光源部１４上に、光源部１４内に設
置された光源１５から放射される光１６の軌道を電子銃
から放出される電子ビームの軌道に近似させるため、偏
向中心の移動にともなう補正をおこなう一対のサイドビ
ーム対応のΔＳ補正レンズ１７、偏向中心と見かけ上の
光源位置を一致させるγ−ΔＰ補正レンズ１８、パネル
１の内面に対する光量分布を補正する補正フィルター１
９などが配置されている。

【０００９】その光源部１４は、同（ｂ）に示すよう
に、直管状の超高圧水銀ランプなどを光源１５とし、水
冷方式のランプハウス２１内に上記光源１５が配置さ
れ、かつこの光源１５の近くに実質的にこの光源１５か
ら放射される光の放射角を規制する開口２２の形成され
た遮光部２３が配置されている。そして、この遮光部２
３の開口２２を通って光源１５から放射される光１６を
ランプハウス２１に設けられた透過窓２４を介してパネ
ルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層方向に放
射する構造に形成されている。

【００１０】ところで、近年、カラー陰極線管は大型化
し、情報処理端末機などに用いられる高精細インライン
型カラー陰極線管についても大型化が進んでいる。この
大型のカラー陰極線管では、偏向中心が蛍光面から遠去
かるため、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成
部材層にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付ける時の露光光量を増やす必要がある。この露光光量
の増加は、大型カラー陰極線管以外に適用しても、露光
時間を短縮でき、生産性を向上させることができる。

【００１１】上記露光光量の増加は、光源の出力を増大
させることにより簡単に達成できる。しかし、カラー陰
極線管の露光装置では、光源部の機構上（冷却、放射角
規制など）、光源の大きさが制限されるため、光源を大
きくして光量を増加させることは困難である。

【００１２】他の光量増加手段として、光源から放射さ
れる光の放射角を規制する遮光部の開口を大きくする手
段がある。

【００１３】しかし一般に超高圧水銀ランプなどの光源
は、その管軸をほぼ矩形状のパネルの長軸方向として配
置され、露光光量の増加は、遮光部の光源の管軸方向の
開口幅を大きくすることで得られるため、このような手
段で露光光量を増加させると、図９に示すように、パネ
ルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層に投影さ
れる光のスポット、すなわちシャドウマスクの開孔に対
応するパターン３６が水平方向（Ｘ軸方向）に長い横長
となり、本来、円形とすべきマトリックス状光吸収層の
マトリックスホールや３色蛍光体層が横長形状となる。
このように光吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体
層が横長になると、水平方向のガードリング余裕度が減
少し、３色蛍光体層が重なり合い、ホワイト・ユニフォ
ーミティやブライト・ユニフォーミティの劣化をまねく
要因となる。

【００１４】このような問題を解決する手段として、光
源をパネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層
方向に放射される光の光軸および光源の管軸と直交する
方向、すなわちパネルの垂直軸方向に振動させること
で、見かけ上、光源を垂直軸方向に拡大する方法がある
（特開平７−２３５２７１号明細書ほか）。

【００１５】しかしこのような手段により蛍光面を形成
すると、光源の振動にともなって、図１０（ａ）に示す
ように、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部
材層に投影されるシャドウマスクの開孔に対応するパタ
ーン２６が垂直方向（Ｙ軸方向）に移動し、同（ｂ）に
示すように、積算的に得られるパターン２７が角張った
方形状となる。その結果、得られるるマトリックス状光
吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体層が対角方向
に角張った方形状となり、対角方向のガードリングの余
裕度が減少し、十分な効果が得られなくなる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
陰極線管の蛍光面は、シャドウマスクをフォトマスクと
する写真印刷法により形成され、情報処理端末機などに
用いられる高精細インライン型カラー陰極線管のドット
マトリックス型蛍光面については、最初にマトリックス
状光吸収層を形成し、ついでそのマトリックスホールに
３色蛍光体層を形成する方法で形成される。

【００１７】この写真印刷法による蛍光面形成方法で
は、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層
にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける
ときに露光装置が用いられる。この露光装置は、パネル
を位置決め支持する支持台の下部に、この支持台に位置
決め支持されたパネルに対して、カラー陰極線管の電子
銃から放出される３電子ビームに対応する位置に移動可
能に設けられた光源部を有する構造に形成されている。
従来、その光源部は、ランプハウス内に直管状の超高圧
水銀ランプが配置され、かつこの光源の近くに実質的に
光源から放射される光の放射角を規制する開孔が形成さ
れた遮光部が配置され、この遮光部の開口を通って光源
から放射される光をランプハウスに設けられた透過窓を
介してパネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材
層方向に放射する構造に形成されている。

【００１８】しかし、このような露光装置を用いて大型
の高精細インライン型カラー陰極線管の蛍光面を形成す
るためには、大型カラー陰極線管では、偏向中心が蛍光
面から遠去かるために生ずるパネルの内面に達する光量
の減少を補うため、露光光量を増やす必要がある。

【００１９】この露光光量の増加は、光源の出力を増大
させることにより簡単に達成できるが、カラー陰極線管
の露光装置では、光源の大きさが制限されるため、光源
を大きくして光量を増加させることは困難である。

【００２０】他の光量増加手段として、光源から放射さ
れる光の放射角を規制する遮光部の開口を大きくするこ
とで、露光光量を増加させることができる。この場合、
一般に超高圧水銀ランプなどの光源は、その中心軸をほ
ぼ矩形状のパネルの長軸方向として配置され、露光光量
の増加は、遮光部の光源の管軸方向の開口径を大きくす
ることで得られるため、このような手段により露光光量
を増加させると、本来、円形であるべきマトリックス状
光吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体層が横長形
状となり、水平方向のガードリングの余裕度が減少し、
３色蛍光体層が重なり合い、ホワイト・ユニフォーミテ
ィやブライト・ユニフォーミティの劣化をまねく要因と
なる。

【００２１】このような問題を解決する手段として、光
源をパネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層
方向に放射される光の光軸および光源の管軸と直交する
方向に振動させることで、見かけ上、光源を垂直軸方向
に拡大する方法がある。しかしこのような手段により蛍
光面を形成すると、光源の振動にともなって、マトリッ
クス状光吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体層が
対角方向に角張った方形状となり、対角方向のガードリ
ングの余裕度が減少し、十分な効果が得られなくなる。

【００２２】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、短時間の露光で所望の光吸収層や
蛍光体層を形成することができる蛍光面形成方法および
その蛍光面形成用露光装置を得ることを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】パネルの内面に形成され
た感光性蛍光面形成部材層にシャドウマスクを対向配置
し、管状光源をこの光源から感光性蛍光面形成部材層方
向に放射される光の光軸および上記光源の管軸と直交す
る方向に振動させながら上記光源から放射される光をシ
ャドウマスクを介して感光性蛍光面形成部材層に照射す
ることによりこの感光性蛍光面形成部材層にシャドウマ
スクの開孔に対応するパターンを焼付けるカラー陰極線
管の蛍光面形成方法において、光源上に光源から放射さ
れる光の透過方向に厚みに偏りのある傾斜平面をもつ光
学部材を配置し、この光学部材を光軸を回転中心として
回転させながら光源から放射される光を光学部材および
シャドウマスクを介して感光性蛍光面形成部材層に照射
するようにした。

【００２４】また、パネルの内面に形成された感光性蛍
光面形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向配
置されたシャドウマスクを介して照射する光を放射する
管状光源を有する光源部と、この光源部を光源から感光
性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸および光
源の管軸と直交する方向に振動させる加振装置とを有す
るカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、光
源上に光源から放射される光の透過方向に厚みに偏りの
ある傾斜平面をもつ光学部材を配置し、この光学部材を
光源から感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の
光軸を回転中心として回転させる構造に形成した。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。

【００２６】図１（ａ）ないし（ｉ）にその一形態であ
るドットマトリックス型蛍光面の形成方法の主要工程を
示す。

【００２７】まず（ａ）に示すように、パネル１の内面
にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）と重クロム酸アンモ
ニウム（ＡＤＣ）を主成分とする感光剤を塗布し、乾燥
してフォトレジスト３０を形成する。ついで、同（ｂ）
に示すように、上記フォトレジスト３０の形成されたパ
ネル１にシャドウマスク４を装着し、後述する露光装置
を用いて露光し、上記フォトレジスト３０にシャドウマ
スク４の円形開孔３１に対応するパターンを焼付ける。
つぎに、このパターンの焼付けられたフォトレジスト３
０を現像して未感光部を除去し、同（ｃ）に示すよう
に、ドット状パターンからなるレジスト３２を形成す
る。つぎに、同（ｄ）に示すように、上記レジスト３２
の形成されたパネル１の内面に黒色の光吸収塗料を塗布
し、乾燥して光吸収塗料層３３を形成する。つぎに、上
記レジスト３２上に塗布された光吸収塗料層３３をレジ
スト３２とともに剥離して、同（ｅ）に示すように、ド
ット状蛍光体層を形成する位置をマトリックスホール３
４とするマトリックス状光吸収層１０を形成する。

【００２８】その後、同（ｆ）に示すように、上記光吸
収層１０の形成されたパネル１の内面に、蛍光体、ＰＶ
ＡおよびＡＤＣを主成分とする感光性蛍光体スラリを塗
布し、乾燥して感光性蛍光体スラリ層３６を形成する。
そして、同（ｇ）に示すように、上記感光性蛍光体スラ
リ層３６の形成されたパネル１にシャドウマスク４を装
着し、後述する露光装置を用いて露光し、感光性蛍光体
スラリ層３６にシャドウマスク４の円形開孔３１に対応
するパターンを焼付ける。つぎにこのパターンの焼付け
られた感光性蛍光体スラリ層３６を現像して未感光部を
除去し、同（ｈ）に示すように、光吸収層１０の所定の
マトリックスホールにドット状の蛍光体層、たとえば青
蛍光体層１１B を形成する。さらに、この青蛍光体層１
１B の形成工程を、緑蛍光体および赤蛍光体について繰
返し、同（ｉ）に示すように、光吸収層１０の所定のマ
トリックスホールに順次ドット状の緑蛍光体層１１G お
よび赤蛍光体層１１R を形成する。

【００２９】上記フォトレジスト３０および感光性蛍光
体スラリ層３６などの感光性蛍光面形成部材層にシャド
ウマスク４の開孔３１に対応するパターンを焼付ける露
光装置は、図２に示すように、パネル１を位置決め支持
する支持台１３の支持台１３の下部に、上記支持台１３
に位置決め支持されたパネル１に対して、カラー陰極線
管の電子銃から放出される一列配置の３電子ビームに対
応する位置に移動可能に光源部３８が設けられ、さらに
この光源部３８上に、光源部３８内に設置された光源か
ら放射される光１６の軌道を電子銃から放出される電子
ビームの軌道に近似させる一対のサイドビーム対応のΔ
Ｓ補正レンズ１７、偏向中心の見かけ上の光源位置を一
致させるγ−ΔＰ補正レンズ１８、パネル１の内面に対
する光量分布を補正する補正フィルター１９などが配置
された構造に形成されている。

【００３０】その光源部３８は、図３に示すように、直
管状の超高圧水銀ランプなどを光源１５とし、水冷方式
のランプハウス２１内に、上記支持台に位置決め支持さ
れたパネルの水平軸（Ｘ軸）方向を管軸として光源１５
が配置され、かつこの光源１５の近くに実質的に光源１
５から放射される光の放射角を規制する開口２２の形成
された遮光部２３が配置されている。また、ランプハウ
ス２１には、上記遮光部２３の開口２２を通って光源１
５から放射される光１６を透過する透過窓２４が設けら
れ、上記遮光部２３の開口２２および透過窓２４を通っ
て上記光源１５から放射される光をパネルの内面に形成
された感光性蛍光面形成部材層方向に放射する構造に形
成されている。

【００３１】しかも、この光源部３８は、加振装置４０
の振動支柱４１に取付けられ、上記光源１５から遮光部
２３の開口２２を通って放射される光の光軸および光源
１５の管軸と直交する垂直軸方向（Ｙ軸方向）に所定の
振幅で振動するようになっている。

【００３２】さらに、この実施の形態においては、上記
ランプハウス２１の透過窓２４上に上記光源１５から放
射される光の透過方向に厚みに偏りのある傾斜平面をも
ち、回転駆動装置４３の回転駆動により、上記光軸を回
転中心として回転する光学部材４４が配置されている。

【００３３】上記のように光源部３８を光源１５から放
射される光１６の光軸および光源１５の管軸と直交する
垂直方向に振動させ、かつ光源１５から放射される光１
６を透過する透過窓２４上に光源１５から放射される光
１６の透過方向に厚みに偏りのある傾斜平面をもつ光学
部材４４が配置され、この光学部材４４を光源１５から
遮光部２３の開口２２を通って放射される光１６の光軸
を回転中心として回転させる露光装置を用いて蛍光面を
形成すると、実質的に３色蛍光体層１１B ，１１G ，１
１R の形状を決定するマトリックス状光吸収層１０のマ
トリックスホール３４の形状を損ねることなく円形に形
成できる。また、露光光量を増加させることができ、短
時間の露光でパネル１の内面に形成されたフォトレジス
ト３０や感光性蛍光体スラリ層３６などの感光性蛍光面
形成部材層に所望のパターンを焼付けることができる。
したがって、従来問題であった大型カラー陰極線管の蛍
光面形成に適用して、その効果が大きく、容易に所望の
蛍光面を形成することができる。

【００３４】すなわち、上記のように光源部３８上に光
源１５から放射される光１６の透過方向に厚みに偏りの
ある傾斜した平面をもつ光学部材４４を配置し、この光
学部材４４を光源１５から遮光部２３の開口２２を通っ
て放射される光１６の光軸４２を回転中心として回転さ
せると、図４にに示すように、シャドウマスク４の水平
方向（Ｘ軸方向）の右側周辺部の１っの開孔３１を通っ
てパネル１の内面に達する光１６の軌道は、実線で示し
たように、光学部材４４の最も厚い部分４６が水平方向
（Ｘ軸方向）右側に位置する場合に、見かけ上、最も上
昇した光源から放射された光の軌道となり、パネル１の
中心から最も遠去かった位置に達する。これに対して、
光学部材４４が１８０°回転し、破線で示したように、
光学部材４４の最も厚い部分４６が水平方向の左側とな
り、最も薄い部分が水平方向（Ｘ軸方向）右側に位置す
る場合には、見かけ上、最も下降した光源から放射され
た光の軌道となり、光源１５からの光１６は、パネル１
の中心に最も近づいた位置に達する。

【００３５】このシャドウマスク４の１っの開孔３１を
介してパネル１の内面に達する光１６の位置は、光学部
材４４の回転にともなって、円軌道上を移動する。その
結果、光源１５の管軸方向の遮光部２３の開孔径を大き
くし、かつ光源部３８を光源１５から放射される光１６
の光軸および光源１５の管軸と直交する方向に振動させ
ることにより、図５（ａ）に示すように、見かけ上、パ
ネルの内面に得られるシャドウマスクの開孔に対応する
パターン４７が角張った方形状となっても、光学部材の
回転にともなって、その方形状のパターン４７は、４８
a 〜４８d で示したように円軌道上を移動するため、同
（ｂ）に示すように、積算的に獲られるパターン４９
は、円形状となる。

【００３６】つまり、光源部３８を光源１５から放射さ
れる光１６の光軸４２および光源１５の管軸と直交する
方向に振動させるとともに、光源部３８に光源１５から
放射される光１６の透過方向に厚みに偏りのある傾斜し
た平面をもつ光学部材４４を配置し、この光学部材４４
を光源１５から遮光部２３の開孔２２を通って放射され
る光１６の光軸を回転中心として回転させることによ
り、マトリックス状光吸収層１０のマトリックスホール
３４の形状を損ねることなく円形に形成できる。また、
露光光量を増加させることができ、短時間の露光で蛍光
面を形成できる。したがって、大型カラー陰極線管の蛍
光面形成に適用して、容易に所望の蛍光面を形成するこ
とができる。

【００３７】なお、上記実施の形態では、露光装置に上
面が傾斜した平面からなる光学部材を示したが、この光
学部材の傾斜平面は、光学部材の上面および下面の少な
くとも一方に形成することで、同様の効果が得られる。

【００３８】また、上記実施の形態では、露光装置の光
源部に管軸を水平軸方向にして光源を配置したが、この
光源は、管軸を垂直軸方向として配置してもよい。

【００３９】また、上記実施の形態では、ドットマトリ
ックス型蛍光面を形成する場合について説明したが、こ
の発明は、ストライプ状光吸収層と、この光吸収層の隙
間に埋込まれるように設けられたストライプ状蛍光体層
とからなるストライプ型蛍光面の形成にも適用できる。
また、光吸収層のないドット状またはストライプ状の蛍
光体層のみからなる蛍光面の形成にも適用できる。

【００４０】

【発明の効果】パネルの内面に形成されたフォトレジス
トや感光性蛍光体スラリ層などの感光性蛍光面形成部材
層にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付け
る露光装置の光源部を光源から放射される光の光軸およ
び光源の管軸と直交する垂直方向に振動させ、かつ光源
から放射される光の透過方向に厚みに偏りのある傾斜し
た平面をもつ光学部材を配置し、この光学部材を光源か
ら感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸を
回転中心として回転させる露光装置を用いて蛍光面を形
成すると、実質的に３色蛍光体層の形状を決定するマト
リックス状光吸収層の隙間の形状を損ねることなく所望
の形状に形成でき、かつ露光光量を増加させることがで
き、短時間の露光でパネルの内面に形成された感光性蛍
光面形成部材層に所望のパターンを焼付けることができ
る。したがって、従来問題であった大型カラー陰極線管
の蛍光面形成に適用して、大きな効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）ないし（ｉ）はそれぞれこの発明の
実施の一形態であるドットマトリックス型蛍光面の形成
方法の主要工程を説明するための図である。

【図２】上記蛍光面の形成に用いられる露光装置の構成
を示す図である。

【図３】図３（ａ）は上記露光装置の光源部の構成を示
す斜視図、図３（ｂ）は一部を断面で示した正面図であ
る。

【図４】上記露光装置の光学部材の作用を説明するため
の図である。

【図５】図５（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記露光装
置によりパネルの内面に得られるシャドウマスクの開孔
に対応するパターンの形状を説明するための図である。

【図６】カラー陰極線管の構成を示す図である。

【図７】図７（ａ）は上記カラー陰極線管のドットマト
リクス型蛍光面の構成を示す平面図、図７（ｂ）はその
断面図である。

【図８】図８（ａ）は従来の蛍光面の形成に用いられる
露光装置の構成を示す図、図８（ｂ）はその光源部の構
成を示す図である。

【図９】上記従来の露光装置によりパネルの内面に得ら
れるシャドウマスクの開孔に対応するパターンの形状を
説明するための図である。

【図１０】図１０（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記従
来の露光装置の光源を振動させた場合にパネルの内面に
得られる光のスポットの形状を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１…パネル ４…シャドウマスク １５…光源 １６…光 ２３…遮光部 ３１…シャドウマスクの開孔 ３０…フォトレジスト ３６…感光性蛍光体スラリ層 ３８…光源部 ４０…加振装置 ４３…回転駆動装置 ４４…光学部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成部材層にシャドウマスクを対向配置し、管状光源を
   この光源から上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射さ
   れる光の光軸および上記光源の管軸と直交する方向に振
   動させながら上記光源から放射される光を上記シャドウ
   マスクを介して上記感光性蛍光面形成部材層に照射する
   ことによりこの感光性蛍光面形成部材層に上記シャドウ
   マスクの開孔に対応するパターンを焼付けるカラー陰極
   線管の蛍光面形成方法において、 上記光源上にこの光源から放射される光の透過方向に厚
   みに偏りのある傾斜平面をもつ光学部材を配置し、この
   光学部材を上記光軸を回転中心として回転させながら上
   記光源から放射される光を上記光学部材および上記シャ
   ドウマスクを介して上記感光性蛍光面形成部材層に照射
   することを特徴とするカラー陰極線管の蛍光面形成方
   法。
2. 【請求項２】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向配置さ
   れたシャドウマスクを介して照射する光を放射する管状
   光源を有する光源部と、この光源部を上記光源から上記
   感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸およ
   び上記光源の管軸と直交する方向に振動させる加振装置
   とを有するカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置にお
   いて、 上記光源上にこの光源から放射される光の透過方向に厚
   みに偏りのある傾斜平面をもつ光学部材が配置され、こ
   の光学部材を上記光源から上記感光性蛍光面形成部材層
   方向に放射される光の光軸を回転中心として回転させる
   構造に形成されていることを特徴とするカラー陰極線管
   の蛍光面形成用露光装置。