JPH0963481A - カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置 - Google Patents
カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置Info
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- JPH0963481A JPH0963481A JP21319395A JP21319395A JPH0963481A JP H0963481 A JPH0963481 A JP H0963481A JP 21319395 A JP21319395 A JP 21319395A JP 21319395 A JP21319395 A JP 21319395A JP H0963481 A JPH0963481 A JP H0963481A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インライン型カラー受像管のランディング特
性を良好にする蛍光面形成方法および露光装置を得るこ
とにある。 【解決手段】 インライン型カラー受像管の蛍光面形成
方法において、光源15をサイドビーム放出位置に対応す
る位置に配置してシャドウマスク6 の開孔に対応するパ
ターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズ17をパネル
の中心軸に対してγ−ΔＰ補正レンズの光源側を反対側
よりもパネルに近づくように傾けてシャドウマスクの開
孔に対応するパターンを焼付けるようにした。
性を良好にする蛍光面形成方法および露光装置を得るこ
とにある。 【解決手段】 インライン型カラー受像管の蛍光面形成
方法において、光源15をサイドビーム放出位置に対応す
る位置に配置してシャドウマスク6 の開孔に対応するパ
ターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズ17をパネル
の中心軸に対してγ−ΔＰ補正レンズの光源側を反対側
よりもパネルに近づくように傾けてシャドウマスクの開
孔に対応するパターンを焼付けるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管の
蛍光面形成方法およびその露光装置に係り、特にインラ
イン型カラー受像管の３色蛍光体層に対する電子ビーム
のランディング特性を良好にするカラー受像管の蛍光面
形成方法およびその露光装置に関する。
蛍光面形成方法およびその露光装置に係り、特にインラ
イン型カラー受像管の３色蛍光体層に対する電子ビーム
のランディング特性を良好にするカラー受像管の蛍光面
形成方法およびその露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にインライン型カラー受像管は、図
６に示すように、外囲器１のネック２内に、同一水平面
上を通るセンタービーム３G および一対のサイドビーム
３B ，３R からなる一列配置の３電子ビーム３B ，３G
，３R を放出する電子銃４が設けられ、この電子銃４
から放出される３電子ビーム３B ，３G ，３R を外囲器
１の外側に装着された偏向装置５の発生する磁界により
偏向し、シャドウマスク６に対向してパネル７の内面に
形成された蛍光面８を、水平、垂直走査することによ
り、カラー画像を表示する構造に形成されている。現在
このようなインライン型カラー受像管では、電子銃４お
よび偏向装置５の発生する磁界を適切に設定して、画面
の全面にわたり３電子ビーム３B ，３G ，３R が一点に
集中するようにしたセルフコンバーゼンスが実現してい
る。
６に示すように、外囲器１のネック２内に、同一水平面
上を通るセンタービーム３G および一対のサイドビーム
３B ，３R からなる一列配置の３電子ビーム３B ，３G
，３R を放出する電子銃４が設けられ、この電子銃４
から放出される３電子ビーム３B ，３G ，３R を外囲器
１の外側に装着された偏向装置５の発生する磁界により
偏向し、シャドウマスク６に対向してパネル７の内面に
形成された蛍光面８を、水平、垂直走査することによ
り、カラー画像を表示する構造に形成されている。現在
このようなインライン型カラー受像管では、電子銃４お
よび偏向装置５の発生する磁界を適切に設定して、画面
の全面にわたり３電子ビーム３B ，３G ，３R が一点に
集中するようにしたセルフコンバーゼンスが実現してい
る。
【０００３】上記インライン型カラー受像管の蛍光面８
は、通常のＴＶ用の受像管では、垂直方向に細長いスト
ライプ状の光吸収層と、この光吸収層の隙間に埋込むよ
うに設けられた垂直方向に細長いストライプ状の３色蛍
光体層とからなるが、特に情報処理の端末機に用いられ
る高精細インライン型カラー受像管では、図７に示すよ
うに、マトリックスホールを円形とするマトリックス状
の光吸収層１０と、そのマトリックスホールに埋込むよ
うに設けられた円形ドット状の３色蛍光体層１１B ，１
１G ，１１R とからなるブラックマトリックス型蛍光面
となっている。
は、通常のＴＶ用の受像管では、垂直方向に細長いスト
ライプ状の光吸収層と、この光吸収層の隙間に埋込むよ
うに設けられた垂直方向に細長いストライプ状の３色蛍
光体層とからなるが、特に情報処理の端末機に用いられ
る高精細インライン型カラー受像管では、図７に示すよ
うに、マトリックスホールを円形とするマトリックス状
の光吸収層１０と、そのマトリックスホールに埋込むよ
うに設けられた円形ドット状の３色蛍光体層１１B ，１
１G ，１１R とからなるブラックマトリックス型蛍光面
となっている。
【０００４】この蛍光面は、写真印刷法により形成さ
れ、最初にマトリックス状光吸収層１０を形成し、つい
でこの光吸収層１０のマトリックスホールに蛍光体層１
１B ，１１G ，１１R を形成する方法により形成されて
いる。その光吸収層１０の形成は、パネルの内面に感光
剤の被膜を形成し、この感光剤の被膜にシャドウマスク
の開孔に対応するパターンを焼付け、現像して、シャド
ウマスクの開孔に対応するパターンからなるレジストを
形成したのち、このレジストの形成されたパネルの内面
に光吸収層形成用塗料を塗布し、レジストとともにその
上に形成された光吸収層形成用塗料の被膜を剥離除去す
ることにより形成される。この場合、レジストの剥離除
去された部分がマトリックスホールとなる。また蛍光体
層１１B ，１１G ，１１R の形成は、上記光吸収層１０
の形成されたパネルの内面に、感光剤と蛍光体を主成分
とする蛍光体スラリの被膜を形成し、この蛍光体スラリ
の被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付け、現像して、所定のマトリックスホールに任意１色
のドット状の蛍光体層を形成する。そしてこの蛍光体層
形成方法を３色蛍光体について繰返すことにより形成さ
れている。
れ、最初にマトリックス状光吸収層１０を形成し、つい
でこの光吸収層１０のマトリックスホールに蛍光体層１
１B ，１１G ，１１R を形成する方法により形成されて
いる。その光吸収層１０の形成は、パネルの内面に感光
剤の被膜を形成し、この感光剤の被膜にシャドウマスク
の開孔に対応するパターンを焼付け、現像して、シャド
ウマスクの開孔に対応するパターンからなるレジストを
形成したのち、このレジストの形成されたパネルの内面
に光吸収層形成用塗料を塗布し、レジストとともにその
上に形成された光吸収層形成用塗料の被膜を剥離除去す
ることにより形成される。この場合、レジストの剥離除
去された部分がマトリックスホールとなる。また蛍光体
層１１B ，１１G ，１１R の形成は、上記光吸収層１０
の形成されたパネルの内面に、感光剤と蛍光体を主成分
とする蛍光体スラリの被膜を形成し、この蛍光体スラリ
の被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付け、現像して、所定のマトリックスホールに任意１色
のドット状の蛍光体層を形成する。そしてこの蛍光体層
形成方法を３色蛍光体について繰返すことにより形成さ
れている。
【０００５】従来、上記感光剤被膜や蛍光体スラリ被膜
などの感光性蛍光面形成被膜へのパターン焼付けには、
図８に示す露光装置が用いられている。この露光装置
は、内面に上記感光性蛍光面形成被膜１３が形成されか
つこの感光性蛍光面形成被膜１３に対向してシャドウマ
スク６が装着されたパネル７を位置決め支持する支持台
１４を有し、この支持台１４の下部にインライン型カラ
ー受像管の電子銃から放出される一列配置の３電子ビー
ムに対応する位置に移動可能に光源１５が配置されてい
る。さらにこの光源１５から支持台１４に位置決め支持
されたパネル７方向に、光源１５からの光１６を電子ビ
ームの軌道に近似させる一対のサイドビーム対応のΔＳ
補正レンズ１７、偏向中心の移動にともなう補正をおこ
なうγ−ΔＰ補正レンズ１８、パネル７内面に対する光
量分布を補正する補正フィルタ１９などが配置されてい
る。これら補正レンズ１７，１８および補正フィルタ１
９は、水平に配置され、光源１５とともに移動するもの
となっている。
などの感光性蛍光面形成被膜へのパターン焼付けには、
図８に示す露光装置が用いられている。この露光装置
は、内面に上記感光性蛍光面形成被膜１３が形成されか
つこの感光性蛍光面形成被膜１３に対向してシャドウマ
スク６が装着されたパネル７を位置決め支持する支持台
１４を有し、この支持台１４の下部にインライン型カラ
ー受像管の電子銃から放出される一列配置の３電子ビー
ムに対応する位置に移動可能に光源１５が配置されてい
る。さらにこの光源１５から支持台１４に位置決め支持
されたパネル７方向に、光源１５からの光１６を電子ビ
ームの軌道に近似させる一対のサイドビーム対応のΔＳ
補正レンズ１７、偏向中心の移動にともなう補正をおこ
なうγ−ΔＰ補正レンズ１８、パネル７内面に対する光
量分布を補正する補正フィルタ１９などが配置されてい
る。これら補正レンズ１７，１８および補正フィルタ１
９は、水平に配置され、光源１５とともに移動するもの
となっている。
【０００６】この露光装置によりマトリックス状光吸収
層を形成するときは、支持台１４に位置決め支持された
パネル７に対して、光源１５を電子銃から放出されるセ
ンタービームおよび一対のサイドビームからなる一列配
置の３電子ビームに対応する位置に逐次移動し、それぞ
れの移動位置において、上記パネル７の内面に塗布形成
された感光剤被膜にシャドウマスク６の開孔に対応する
パターンを連続的に焼付ける（３回）ことによりおこな
われる。また３色蛍光体層を形成するときは、光源１５
を一列配置の３電子ビームのいずれかの電子ビームに対
応する位置に移動して、パネル７の内面に塗布形成され
た蛍光体スラリ被膜に、シャドウマスク６の開孔に対応
するパターンを焼付けることによりおこなわれる。
層を形成するときは、支持台１４に位置決め支持された
パネル７に対して、光源１５を電子銃から放出されるセ
ンタービームおよび一対のサイドビームからなる一列配
置の３電子ビームに対応する位置に逐次移動し、それぞ
れの移動位置において、上記パネル７の内面に塗布形成
された感光剤被膜にシャドウマスク６の開孔に対応する
パターンを連続的に焼付ける（３回）ことによりおこな
われる。また３色蛍光体層を形成するときは、光源１５
を一列配置の３電子ビームのいずれかの電子ビームに対
応する位置に移動して、パネル７の内面に塗布形成され
た蛍光体スラリ被膜に、シャドウマスク６の開孔に対応
するパターンを焼付けることによりおこなわれる。
【０００７】この露光装置において、光源１５をセンタ
ービームに対応する位置に配置して露光するときは、図
９（ａ）に示すように、光源１５と補正レンズ１７，１
８および補正フィルタ１９は、支持台１４に位置決め支
持されたパネル７の中心軸ｚp 上に配置されるが、光源
１５を一対のサイドビームに対応する位置に配置して露
光するときは、同（ｂ）および（ｃ）に示すように、光
源１５の水平方向の移動距離Ｓ1 に対して、補正レンズ
１７，１８および補正フィルタ（図示せず）をそれぞれ
水平方向にＳ2 ，Ｓ3 、ＳF 移動しておこなわれる（Ｓ
3 、ＳF については図示せず）。この光源１５の移動距
離Ｓ1 および各補正レンズ１７，１８および補正フィル
タの移動距離Ｓ2 ，Ｓ3 、ＳF は、電子銃の３個の構成
電子銃の間隔Ｓg により異なるが、一般に Ｓ1 ＞Ｓ2 Ｓ1 ＞Ｓ3 Ｓ1 ＞ＳF である。
ービームに対応する位置に配置して露光するときは、図
９（ａ）に示すように、光源１５と補正レンズ１７，１
８および補正フィルタ１９は、支持台１４に位置決め支
持されたパネル７の中心軸ｚp 上に配置されるが、光源
１５を一対のサイドビームに対応する位置に配置して露
光するときは、同（ｂ）および（ｃ）に示すように、光
源１５の水平方向の移動距離Ｓ1 に対して、補正レンズ
１７，１８および補正フィルタ（図示せず）をそれぞれ
水平方向にＳ2 ，Ｓ3 、ＳF 移動しておこなわれる（Ｓ
3 、ＳF については図示せず）。この光源１５の移動距
離Ｓ1 および各補正レンズ１７，１８および補正フィル
タの移動距離Ｓ2 ，Ｓ3 、ＳF は、電子銃の３個の構成
電子銃の間隔Ｓg により異なるが、一般に Ｓ1 ＞Ｓ2 Ｓ1 ＞Ｓ3 Ｓ1 ＞ＳF である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、情報処
理の端末機に用いられる高精細インライン型カラー受像
管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の円形マトリッ
クスホールに埋込まれるように円形ドット状の３色蛍光
体層が設けられたブラックマトリックス型に形成されて
いる。このようなカラー受像管において、画面全面にお
けるホワイトユニフォーミティやブライトユニフォーミ
ティなどの画像特性を良好にするためには、３色蛍光体
層が設けられているマトリックス状光吸収層の各マトリ
ックスホールに対して、３電子ビームが正しくランディ
ングするようにすることが必要である。そのためには、
光源からの放射光を精度よく電子銃から放出される電子
ビームの軌道に近似させるように、蛍光面形成に用いら
れる露光装置のγ−ΔＰ補正レンズやΔＳ補正レンズを
設計製作しなければならない。
理の端末機に用いられる高精細インライン型カラー受像
管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の円形マトリッ
クスホールに埋込まれるように円形ドット状の３色蛍光
体層が設けられたブラックマトリックス型に形成されて
いる。このようなカラー受像管において、画面全面にお
けるホワイトユニフォーミティやブライトユニフォーミ
ティなどの画像特性を良好にするためには、３色蛍光体
層が設けられているマトリックス状光吸収層の各マトリ
ックスホールに対して、３電子ビームが正しくランディ
ングするようにすることが必要である。そのためには、
光源からの放射光を精度よく電子銃から放出される電子
ビームの軌道に近似させるように、蛍光面形成に用いら
れる露光装置のγ−ΔＰ補正レンズやΔＳ補正レンズを
設計製作しなければならない。
【０００９】しかしながらγ−ΔＰ補正レンズは、複雑
な曲面からなる非球面レンズであり、センタービームお
よび一対のサイドビームのランディング特性をそれぞれ
満足するようにするためには、３種類の補正レンズが必
要であるが、このような３種類の補正レンズを設計製作
することは、コスト的にも、また設計製作の精度上問題
があり、一般にはセンタービームのランディング特性を
満足するように設計された補正レンズを、一対のサイド
ビームに対応する位置に光源を配置して露光する場合に
も使用している。そのため、センタービームのランディ
ング特性に対しては、十分に補正できても、一対のサイ
ドビームのランディング特性に対しては、十分な補正が
得られない。この一対のサイドビームのランディング特
性は、ΔＳ補正レンズの傾斜面の角度を適宜選択するこ
とにより、ある程度補正可能である。しかしこのΔＳ補
正レンズで補正しても、なお図１０に示すように、３電
子ビームのスポット２１B ，２１G ，２１ Rに対して、
センタービーム対応の光吸収層のマトリックスホールお
よび蛍光体層１１G は、ほぼ同心に形成できるが、一対
のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体
層１１B ，１１R は、３電子ビームのスポット２１B ，
２１G ，２ Rの配列軸に対して垂直方向かつ互いに反対
方向にずれる。
な曲面からなる非球面レンズであり、センタービームお
よび一対のサイドビームのランディング特性をそれぞれ
満足するようにするためには、３種類の補正レンズが必
要であるが、このような３種類の補正レンズを設計製作
することは、コスト的にも、また設計製作の精度上問題
があり、一般にはセンタービームのランディング特性を
満足するように設計された補正レンズを、一対のサイド
ビームに対応する位置に光源を配置して露光する場合に
も使用している。そのため、センタービームのランディ
ング特性に対しては、十分に補正できても、一対のサイ
ドビームのランディング特性に対しては、十分な補正が
得られない。この一対のサイドビームのランディング特
性は、ΔＳ補正レンズの傾斜面の角度を適宜選択するこ
とにより、ある程度補正可能である。しかしこのΔＳ補
正レンズで補正しても、なお図１０に示すように、３電
子ビームのスポット２１B ，２１G ，２１ Rに対して、
センタービーム対応の光吸収層のマトリックスホールお
よび蛍光体層１１G は、ほぼ同心に形成できるが、一対
のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体
層１１B ，１１R は、３電子ビームのスポット２１B ，
２１G ，２ Rの配列軸に対して垂直方向かつ互いに反対
方向にずれる。
【００１０】これは、電子ビームを偏向する偏向装置の
垂直偏向磁界がバレル型、水平偏向磁界がピンクッショ
ン型であり、この偏向磁界の３電子ビーム及ぼす力が、
センタービームと一対のサイドビームとで異なることが
大きな原因である。
垂直偏向磁界がバレル型、水平偏向磁界がピンクッショ
ン型であり、この偏向磁界の３電子ビーム及ぼす力が、
センタービームと一対のサイドビームとで異なることが
大きな原因である。
【００１１】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、インライン型カラー受像管の３色
蛍光体層に対して一列配置の３電子ビームがそれぞれ正
しくランディングする蛍光面形成方法およびその露光装
置を得ることを目的とする。
なされたものであり、インライン型カラー受像管の３色
蛍光体層に対して一列配置の３電子ビームがそれぞれ正
しくランディングする蛍光面形成方法およびその露光装
置を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】インライン型カラー受像
管の電子銃から放出される同一平面上を通るセンタービ
ームおよび一対のサイドビームからなる一列配置の３電
子ビームに対応する位置に光源を配置し、この光源から
の放射光により少なくともγ−ΔＰ補正レンズおよびシ
ャドウマスクを介してパネル内面に形成された感光性蛍
光面形成被膜に上記シャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンを焼付けるカラー受像管の蛍光面形成方法におい
て、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配置
してパターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズの光
源側が反対側よりも相対的にパネルに近づくようにして
感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応す
るパターンを焼付けるようにした。
管の電子銃から放出される同一平面上を通るセンタービ
ームおよび一対のサイドビームからなる一列配置の３電
子ビームに対応する位置に光源を配置し、この光源から
の放射光により少なくともγ−ΔＰ補正レンズおよびシ
ャドウマスクを介してパネル内面に形成された感光性蛍
光面形成被膜に上記シャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンを焼付けるカラー受像管の蛍光面形成方法におい
て、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配置
してパターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズの光
源側が反対側よりも相対的にパネルに近づくようにして
感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応す
るパターンを焼付けるようにした。
【００１３】より具体的には、上記蛍光面形成方法にお
いて、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配
置してパターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズを
パネルの中心軸に対してγ−ΔＰ補正レンズの光源側が
反対側よりもパネルに近づくようにパネルに対して相対
的に傾けて感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開
孔に対応するパターンを焼付けるようにした。
いて、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配
置してパターンを焼付けるとき、γ−ΔＰ補正レンズを
パネルの中心軸に対してγ−ΔＰ補正レンズの光源側が
反対側よりもパネルに近づくようにパネルに対して相対
的に傾けて感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開
孔に対応するパターンを焼付けるようにした。
【００１４】また、サイドビーム放出位置に対応する位
置に配置した光源からγ−ΔＰ補正レンズの中心に入射
する光源からの放射光がγ−ΔＰ補正レンズの中心軸と
ほぼ一致する角度γ−ΔＰ補正レンズを傾けるようにし
た。
置に配置した光源からγ−ΔＰ補正レンズの中心に入射
する光源からの放射光がγ−ΔＰ補正レンズの中心軸と
ほぼ一致する角度γ−ΔＰ補正レンズを傾けるようにし
た。
【００１５】また、インライン型カラー受像管の電子銃
から放出される同一平面上を通るセンタービームおよび
一対のサイドビームからなる一列配置の３電子ビームに
対応する位置に配置され、パネル内面に形成された感光
性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンを焼付ける光を放射する光源と、この光源とシャ
ドウマスクとの間に配置されたγ−ΔＰ補正レンズとを
少なくとも有するカラー受像管の蛍光面形成用露光装置
において、γ−ΔＰ補正レンズを、一列配置の３電子ビ
ームに対応する光源の配置方向に傾斜可能に配置した。
から放出される同一平面上を通るセンタービームおよび
一対のサイドビームからなる一列配置の３電子ビームに
対応する位置に配置され、パネル内面に形成された感光
性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンを焼付ける光を放射する光源と、この光源とシャ
ドウマスクとの間に配置されたγ−ΔＰ補正レンズとを
少なくとも有するカラー受像管の蛍光面形成用露光装置
において、γ−ΔＰ補正レンズを、一列配置の３電子ビ
ームに対応する光源の配置方向に傾斜可能に配置した。
【００１６】また、上記蛍光面形成用露光装置におい
て、γ−ΔＰ補正レンズを一列配置の３電子ビームに対
応する光源の配置位置を結ぶ直線と直交する方向の直径
を回転軸とする回転により傾斜可能に配置した。
て、γ−ΔＰ補正レンズを一列配置の３電子ビームに対
応する光源の配置位置を結ぶ直線と直交する方向の直径
を回転軸とする回転により傾斜可能に配置した。
【００１７】ここで、光源の配置位置として記した同一
平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビーム
からなる一列配置の３電子ビームに対応する位置とは、
インライン型カラー陰極線管の電子銃の電子ビームの蛍
光面側端部に近い位置におけるセンタービームおよび一
対のサイドビームの通過位置を指している。
平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビーム
からなる一列配置の３電子ビームに対応する位置とは、
インライン型カラー陰極線管の電子銃の電子ビームの蛍
光面側端部に近い位置におけるセンタービームおよび一
対のサイドビームの通過位置を指している。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１９】図４に、マトリックス状光吸収層の円形マ
トリックスホールに円形ドット状の３色蛍光体層が設け
られたブラックマトリックス型蛍光面形成方法の主要工
程を示す。
トリックスホールに円形ドット状の３色蛍光体層が設け
られたブラックマトリックス型蛍光面形成方法の主要工
程を示す。
【００２０】このブラックマトリックス型蛍光面の形成
は、図４（ａ）に示すように、まずパネル７の内面に、
ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）と重クロム酸アンモニ
ウム（ＡＤＣ）を主成分とする感光剤を塗布し、乾燥し
て感光剤の被膜３０を形成する。ついで、この感光剤被
膜３０の形成されたパネル７の内側にシヤドウマスク６
を装着し、後述する露光装置により、感光剤被膜３０に
シヤドウマスク６の円形の開孔３１に対応するパターン
を焼付ける。このパターン焼付けは、露光装置の光源
を、インライン型カラー受像管の電子銃から放出される
センタービームおよび一対のサイドビームからなる一列
配置の３電子ビームに対応する位置に逐次配置して３回
露光することによりおこなわれる。つぎに、上記パター
ンの焼付けられた感光剤被膜３０を現像して、未感光部
分を除去し、同（ｂ）に示すように、シヤドウマスクの
開孔に対応するパターンからなるレジスト３２を形成す
る。つぎに、このレジスト３２の形成されたパネル７の
内面に光吸収層形成用塗料を塗布し、乾燥して、同
（ｃ）に示すように、光吸収塗料層３３を形成する。つ
ぎに、剥離剤により、上記レジスト３２とともに、その
上に塗布された光吸収塗料層３３を剥離して、同（ｄ）
に示すように、マトリックスホール３４を円形とするマ
トリックス状光吸収層１０を形成する。
は、図４（ａ）に示すように、まずパネル７の内面に、
ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）と重クロム酸アンモニ
ウム（ＡＤＣ）を主成分とする感光剤を塗布し、乾燥し
て感光剤の被膜３０を形成する。ついで、この感光剤被
膜３０の形成されたパネル７の内側にシヤドウマスク６
を装着し、後述する露光装置により、感光剤被膜３０に
シヤドウマスク６の円形の開孔３１に対応するパターン
を焼付ける。このパターン焼付けは、露光装置の光源
を、インライン型カラー受像管の電子銃から放出される
センタービームおよび一対のサイドビームからなる一列
配置の３電子ビームに対応する位置に逐次配置して３回
露光することによりおこなわれる。つぎに、上記パター
ンの焼付けられた感光剤被膜３０を現像して、未感光部
分を除去し、同（ｂ）に示すように、シヤドウマスクの
開孔に対応するパターンからなるレジスト３２を形成す
る。つぎに、このレジスト３２の形成されたパネル７の
内面に光吸収層形成用塗料を塗布し、乾燥して、同
（ｃ）に示すように、光吸収塗料層３３を形成する。つ
ぎに、剥離剤により、上記レジスト３２とともに、その
上に塗布された光吸収塗料層３３を剥離して、同（ｄ）
に示すように、マトリックスホール３４を円形とするマ
トリックス状光吸収層１０を形成する。
【００２１】その後、上記光吸収層１０の形成されたパ
ネル７の内面に、ＰＶＡ、ＡＤＣおよびたとえば青蛍光
体を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して、同
（ｅ）に示すように、蛍光体スラリの被膜３６を形成す
る。ついで、この蛍光体スラリ被膜３６の形成されたパ
ネル７の内側にシヤドウマスク６を装着し、後述する露
光装置により、蛍光体スラリ被膜３６にシヤドウマスク
６の開孔３１に対応するパターンを焼付ける。このパタ
ーン焼付けは、露光装置の光源を、インライン型カラー
受像管の電子銃から放出される一列配置の３電子ビーム
のうち、一方のサイドビームに対応する位置に配置して
おこなわれる。つぎに、上記パターンの焼付けられた蛍
光体スラリ被膜３６を現像して、未感光部分を除去し、
同（ｆ）に示すように、光吸収層１０の所定のマトリッ
クスホールに円形ドット状の青蛍光体層１１B を形成す
る。さらに、この青蛍光体層１１B の形成工程を順次緑
および赤蛍光体について繰返し、同（ｇ）に示すよう
に、それぞれ所定のマトリックスホールに円形ドット状
の緑蛍光体層１１G および赤蛍光体層１１R を形成す
る。
ネル７の内面に、ＰＶＡ、ＡＤＣおよびたとえば青蛍光
体を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して、同
（ｅ）に示すように、蛍光体スラリの被膜３６を形成す
る。ついで、この蛍光体スラリ被膜３６の形成されたパ
ネル７の内側にシヤドウマスク６を装着し、後述する露
光装置により、蛍光体スラリ被膜３６にシヤドウマスク
６の開孔３１に対応するパターンを焼付ける。このパタ
ーン焼付けは、露光装置の光源を、インライン型カラー
受像管の電子銃から放出される一列配置の３電子ビーム
のうち、一方のサイドビームに対応する位置に配置して
おこなわれる。つぎに、上記パターンの焼付けられた蛍
光体スラリ被膜３６を現像して、未感光部分を除去し、
同（ｆ）に示すように、光吸収層１０の所定のマトリッ
クスホールに円形ドット状の青蛍光体層１１B を形成す
る。さらに、この青蛍光体層１１B の形成工程を順次緑
および赤蛍光体について繰返し、同（ｇ）に示すよう
に、それぞれ所定のマトリックスホールに円形ドット状
の緑蛍光体層１１G および赤蛍光体層１１R を形成す
る。
【００２２】上記マトリックス状光吸収層１０および３
色蛍光体層１１B ，１１G ，１１Rの形成には、図１に
示す露光装置が用いられる。この露光装置は、パネル７
を位置決め支持する支持台１４を有し、この支持台１４
の下部にインライン型カラー受像管の電子銃から放出さ
れるセンタービームおよび一対のサイドビームからなる
一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に光
源１５が配置されている。さらにこの光源１５から支持
台１４に位置決め支持されたパネル７方向に、光源１５
からの放射光１６を電子ビームの軌道に近似させる一対
のサイドビーム対応のΔＳ補正レンズ１７、偏向中心の
移動にともなう補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ１
８、パネル７内面に対する光量分布を補正する補正フィ
ルタ１９などが配置されている。そのΔＳ補正レンズ１
７と補正フィルタ１９は、水平に配置され、光源１５と
ともに同方向に移動するものとなっている。これに対
し、γ−ΔＰ補正レンズ１８は、光源１５を移動すると
き、上記ΔＳ補正レンズ１７や補正フィルタ１９ととも
に同方向に移動し、かつ上記光源１５の移動方向すなわ
ち光源の配置位置を結ぶ直線３９と直交する方向の直径
を回転軸とする回転により、光源の移動方向に傾斜可能
となっている。なお、図１において、１３は、パネル７
の内面に形成された感光剤被膜や蛍光体スラリ被膜など
の感光性蛍光面形成被膜である。
色蛍光体層１１B ，１１G ，１１Rの形成には、図１に
示す露光装置が用いられる。この露光装置は、パネル７
を位置決め支持する支持台１４を有し、この支持台１４
の下部にインライン型カラー受像管の電子銃から放出さ
れるセンタービームおよび一対のサイドビームからなる
一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に光
源１５が配置されている。さらにこの光源１５から支持
台１４に位置決め支持されたパネル７方向に、光源１５
からの放射光１６を電子ビームの軌道に近似させる一対
のサイドビーム対応のΔＳ補正レンズ１７、偏向中心の
移動にともなう補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ１
８、パネル７内面に対する光量分布を補正する補正フィ
ルタ１９などが配置されている。そのΔＳ補正レンズ１
７と補正フィルタ１９は、水平に配置され、光源１５と
ともに同方向に移動するものとなっている。これに対
し、γ−ΔＰ補正レンズ１８は、光源１５を移動すると
き、上記ΔＳ補正レンズ１７や補正フィルタ１９ととも
に同方向に移動し、かつ上記光源１５の移動方向すなわ
ち光源の配置位置を結ぶ直線３９と直交する方向の直径
を回転軸とする回転により、光源の移動方向に傾斜可能
となっている。なお、図１において、１３は、パネル７
の内面に形成された感光剤被膜や蛍光体スラリ被膜など
の感光性蛍光面形成被膜である。
【００２３】上記γ−ΔＰ補正レンズ１８の傾斜は、た
とえば図２に示すように、γ−ΔＰ補正レンズ１８を支
持する支持枠３８の側面に、光源の配置位置を結ぶ直線
３９（図１参照）と直交する直径方向に回転軸４０を設
けて支軸するとともに、光源の配置位置を結ぶ直線方向
の支持枠３８の下部に、一対のエアシリンダー４１など
のリニアアクチュエータを設け、その一対のエアシリン
ダー４１を適宜作動させることによりおこなうことがで
きる。
とえば図２に示すように、γ−ΔＰ補正レンズ１８を支
持する支持枠３８の側面に、光源の配置位置を結ぶ直線
３９（図１参照）と直交する直径方向に回転軸４０を設
けて支軸するとともに、光源の配置位置を結ぶ直線方向
の支持枠３８の下部に、一対のエアシリンダー４１など
のリニアアクチュエータを設け、その一対のエアシリン
ダー４１を適宜作動させることによりおこなうことがで
きる。
【００２４】図３に光吸収層および３色蛍光体層を形成
するときの上記露光装置の光源とΔＳ補正レンズ、γ−
ΔＰ補正レンズおよび補正フィルタとの位置関係を示
す。光源をセンタービームに対応する位置に配置して露
光するときは、図３（ａ）に示すように、光源１５は、
支持台１４に位置決め支持されたパネル７の中心軸ｚp
上に配置され、この光源１５に対して、ΔＳ補正レンズ
１７、γ−ΔＰ補正レンズ１８および補正フィルタ１９
は、それぞれこの光源１５と同軸にパネル７の中心軸ｚ
p 上に水平に位置する。これに対し、光源１５を一対の
サイドビームに対応する位置に配置して露光するとき
は、同（ｂ）および（ｃ）に示すように、光源１５は、
支持台１４に位置決め支持されたパネル７の中心軸ｚp
に対して水平方向にＳ1 移動した位置に配置され、この
光源１５に対して、ΔＳ補正レンズ１７、γ−ΔＰ補正
レンズ１８および補正フィルタ１９は、それぞれ光源１
５と同方向にパネル７の中心軸ｚp に対してＳ2 ，Ｓ3
，ＳF 移動される（Ｓ3 ，ＳFについては図示せず）。
その移動距離は、 Ｓ1 ＞Ｓ2 Ｓ1 ＞Ｓ3 Ｓ1 ＞ＳF である。しかもγ−ΔＰ補正レンズ１８については、光
源１５から補正レンズ１８の中心に入射する光がγ−Δ
Ｐ補正レンズ１８の中心軸とほぼ一致する角度傾けら
れ、光源１５側がパネル７に近づき、反対側が遠ざかる
傾斜となる。このγ−ΔＰ補正レンズ１８の傾斜角は、
管種によって異なる。
するときの上記露光装置の光源とΔＳ補正レンズ、γ−
ΔＰ補正レンズおよび補正フィルタとの位置関係を示
す。光源をセンタービームに対応する位置に配置して露
光するときは、図３（ａ）に示すように、光源１５は、
支持台１４に位置決め支持されたパネル７の中心軸ｚp
上に配置され、この光源１５に対して、ΔＳ補正レンズ
１７、γ−ΔＰ補正レンズ１８および補正フィルタ１９
は、それぞれこの光源１５と同軸にパネル７の中心軸ｚ
p 上に水平に位置する。これに対し、光源１５を一対の
サイドビームに対応する位置に配置して露光するとき
は、同（ｂ）および（ｃ）に示すように、光源１５は、
支持台１４に位置決め支持されたパネル７の中心軸ｚp
に対して水平方向にＳ1 移動した位置に配置され、この
光源１５に対して、ΔＳ補正レンズ１７、γ−ΔＰ補正
レンズ１８および補正フィルタ１９は、それぞれ光源１
５と同方向にパネル７の中心軸ｚp に対してＳ2 ，Ｓ3
，ＳF 移動される（Ｓ3 ，ＳFについては図示せず）。
その移動距離は、 Ｓ1 ＞Ｓ2 Ｓ1 ＞Ｓ3 Ｓ1 ＞ＳF である。しかもγ−ΔＰ補正レンズ１８については、光
源１５から補正レンズ１８の中心に入射する光がγ−Δ
Ｐ補正レンズ１８の中心軸とほぼ一致する角度傾けら
れ、光源１５側がパネル７に近づき、反対側が遠ざかる
傾斜となる。このγ−ΔＰ補正レンズ１８の傾斜角は、
管種によって異なる。
【００２５】ところで、上記のようにマトリックス状の
光吸収層およびこの光吸収層のマトリックスホールに蛍
光体層を形成するとき、一対のサイドビームに対応する
位置に配置された光源１５に対して、γ−ΔＰ補正レン
ズ１８を、光源１５からこのγ−ΔＰ補正レンズ１８中
心に入射する光がγ−ΔＰ補正レンズ１８の中心軸と一
致する角度傾けると、このγ−ΔＰ補正レンズ１８を通
って支持台１４に位置決め支持されたパネル７内面の周
辺部に向かう光源１５からの放射光は、光源１５側で
は、光源１５から遠く離れた位置を通り、反対側では、
光源１５に近づいた位置を通るようになり、この光の通
過位置の曲面の変化から、図５に示すように、一対のサ
イドビームのビームスポット２１B ，２１R に対して、
一対のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍
光体層１１B ，１１R を適正位置に同心状に形成するこ
とができる。なお、センタービーム対応のマトリックス
ホールおよび蛍光体層１１G については、従来と同様に
適正位置に同心に形成される。
光吸収層およびこの光吸収層のマトリックスホールに蛍
光体層を形成するとき、一対のサイドビームに対応する
位置に配置された光源１５に対して、γ−ΔＰ補正レン
ズ１８を、光源１５からこのγ−ΔＰ補正レンズ１８中
心に入射する光がγ−ΔＰ補正レンズ１８の中心軸と一
致する角度傾けると、このγ−ΔＰ補正レンズ１８を通
って支持台１４に位置決め支持されたパネル７内面の周
辺部に向かう光源１５からの放射光は、光源１５側で
は、光源１５から遠く離れた位置を通り、反対側では、
光源１５に近づいた位置を通るようになり、この光の通
過位置の曲面の変化から、図５に示すように、一対のサ
イドビームのビームスポット２１B ，２１R に対して、
一対のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍
光体層１１B ，１１R を適正位置に同心状に形成するこ
とができる。なお、センタービーム対応のマトリックス
ホールおよび蛍光体層１１G については、従来と同様に
適正位置に同心に形成される。
【００２６】たとえばγ−ΔＰ補正レンズ１８を数度傾
ける程度でも、従来発生した一対のサイドビームの垂直
方向のランディングずれ（数μm 〜２０μm ）を十分に
補正することができる。その結果、画面全面にわたり、
３色蛍光体層１１B ，１１G，１１R に対する電子ビー
ムのランディング特性が向上し、良好な画像を表示する
カラー受像管とすることができる。
ける程度でも、従来発生した一対のサイドビームの垂直
方向のランディングずれ（数μm 〜２０μm ）を十分に
補正することができる。その結果、画面全面にわたり、
３色蛍光体層１１B ，１１G，１１R に対する電子ビー
ムのランディング特性が向上し、良好な画像を表示する
カラー受像管とすることができる。
【００２７】なお、上記のように光源１５を一対のサイ
ドビームに対応する位置に配置して露光するとき、γ−
ΔＰ補正レンズ１８を傾けると、一対のサイドビームの
ビームスポット２１B ，２１R に対して、一対のサイド
ビーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体層１１B
，１１R は、水平方向にもずれるが、この水平方向の
ずれは、ΔＳ補正レンズ１７の傾斜面の角度および移動
量Ｓ2 を適宜調整することにより、十分に補正できる。
ドビームに対応する位置に配置して露光するとき、γ−
ΔＰ補正レンズ１８を傾けると、一対のサイドビームの
ビームスポット２１B ，２１R に対して、一対のサイド
ビーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体層１１B
，１１R は、水平方向にもずれるが、この水平方向の
ずれは、ΔＳ補正レンズ１７の傾斜面の角度および移動
量Ｓ2 を適宜調整することにより、十分に補正できる。
【００２８】なお、上記実施の形態では、γ−ΔＰ補正
レンズの支持枠に光源の配置位置を結ぶ直線と直交する
直径方向の回転軸を設けて、γ−ΔＰ補正レンズを傾斜
させるようにしたが、このγ−ΔＰ補正レンズの傾斜
は、上記回転軸の位置をずらして傾斜させることでも補
正できる。
レンズの支持枠に光源の配置位置を結ぶ直線と直交する
直径方向の回転軸を設けて、γ−ΔＰ補正レンズを傾斜
させるようにしたが、このγ−ΔＰ補正レンズの傾斜
は、上記回転軸の位置をずらして傾斜させることでも補
正できる。
【００２９】また、上記実施の形態では、一対のサイド
ビームに対応する位置に光源を配置するとき、γ−ΔＰ
補正レンズをパネルに対して相対的に傾ける場合につい
て説明したが、γ−ΔＰ補正レンズを傾けるかわりに、
相対的にパネルを傾けても、同様の効果が得られる。
ビームに対応する位置に光源を配置するとき、γ−ΔＰ
補正レンズをパネルに対して相対的に傾ける場合につい
て説明したが、γ−ΔＰ補正レンズを傾けるかわりに、
相対的にパネルを傾けても、同様の効果が得られる。
【００３０】
【発明の効果】インライン型カラー受像管の蛍光面形成
に際し、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に
配置して、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成
被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付
けるとき、γ−ΔＰ補正レンズをパネルの中心軸に対し
てγ−ΔＰ補正レンズの光源側を反対側よりもシャドウ
マスクに近づくように傾けると、一対のサイドビームに
対して、マトリックス状光吸収層のマトリックスホール
およびドット状蛍光体層を適正位置に同心状に形成する
ことができる。その結果、画面全面にわたり、３色蛍光
体層に対する電子ビームのランディング特性が向上し、
良好な画像を表示するカラー受像管とすることができ
る。
に際し、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に
配置して、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成
被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付
けるとき、γ−ΔＰ補正レンズをパネルの中心軸に対し
てγ−ΔＰ補正レンズの光源側を反対側よりもシャドウ
マスクに近づくように傾けると、一対のサイドビームに
対して、マトリックス状光吸収層のマトリックスホール
およびドット状蛍光体層を適正位置に同心状に形成する
ことができる。その結果、画面全面にわたり、３色蛍光
体層に対する電子ビームのランディング特性が向上し、
良好な画像を表示するカラー受像管とすることができ
る。
【図１】この発明の一実施の形態である露光装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】図２（ａ）はそのγ−ΔＰ補正レンズの構成を
示す斜視図、図２（ｂ）は一部断面で示した正面図であ
る。
示す斜視図、図２（ｂ）は一部断面で示した正面図であ
る。
【図３】図３（ａ）ないし（ｃ）はそれぞれ上記露光装
置での光源とΔＳ補正レンズ、γ−ΔＰ補正レンズおよ
び補正フィルターとの位置関係を示す図である。
置での光源とΔＳ補正レンズ、γ−ΔＰ補正レンズおよ
び補正フィルターとの位置関係を示す図である。
【図４】図４（ａ）ないし（ｇ）はそれぞれこの発明の
一実施の形態である蛍光面形成方法の主要工程を示す図
である。
一実施の形態である蛍光面形成方法の主要工程を示す図
である。
【図５】上記方法により形成された蛍光面のランディン
グ特性を説明するための図である。
グ特性を説明するための図である。
【図６】インライン型カラー受像管の構成を示す図であ
る。
る。
【図７】図７（ａ）は上記カラー受像管の蛍光面の構成
を示す平面図、図７（ｂ）はその断面図である。
を示す平面図、図７（ｂ）はその断面図である。
【図８】従来の露光装置の構成を示す図である。
【図９】図９（ａ）ないし（ｃ）はそれぞれ上記従来の
露光装置での光源とΔＳ補正レンズ、γ−ΔＰ補正レン
ズおよび補正フィルターとの位置関係を示す図である。
露光装置での光源とΔＳ補正レンズ、γ−ΔＰ補正レン
ズおよび補正フィルターとの位置関係を示す図である。
【図１０】上記従来の露光装置に形成された蛍光面のラ
ンディング特性を説明するための図である。
ンディング特性を説明するための図である。
６…シャドウマスク ７…パネル １０…光吸収層 １１B ，１１G ．１ R…３色蛍光体層 １４…支持台 １３…感光性蛍光面形成被膜 １５…光源 １７…ΔＳ補正レンズ １８…γ−ΔＰ補正レンズ １９…補正フィルタ ３０…感光剤の被膜 ３４…マトリックスホール ３６…蛍光体スラリの被膜 ４０…回転軸 ４１…エアシリンダー
Claims (5)
- 【請求項１】 インライン型カラー受像管の電子銃から
放出される同一平面上を通るセンタービームおよび一対
のサイドビームからなる一列配置の３電子ビームに対応
する位置に光源を配置し、この光源からの放射光により
少なくともγ−ΔＰ補正レンズおよびシャドウマスクを
介してパネル内面に形成された感光性蛍光面形成被膜に
上記シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付け
るカラー受像管の蛍光面形成方法において、 上記光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配置
して上記パターンを焼付けるとき、上記γ−ΔＰ補正レ
ンズの光源側が反対側よりも相対的に上記パネルに近づ
くようにして上記感光性蛍光面形成被膜に上記シャドウ
マスクの開孔に対応するパターンを焼付けること特徴と
するカラー受像管の蛍光面形成方法。 - 【請求項２】 インライン型カラー受像管の電子銃から
放出される同一平面上を通るセンタービームおよび一対
のサイドビームからなる一列配置の３電子ビームに対応
する位置に光源を配置し、この光源からの放射光により
少なくともγ−ΔＰ補正レンズおよびシャドウマスクを
介してパネル内面に形成された感光性蛍光面形成被膜に
上記シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付け
るカラー受像管の蛍光面形成方法において、 上記光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配置
して上記パターンを焼付けるとき、上記γ−ΔＰ補正レ
ンズを上記パネルの中心軸に対して上記γ−ΔＰ補正レ
ンズの光源側が反対側よりも上記パネルに近づくように
パネルに対して相対的に傾けて上記感光性蛍光面形成被
膜に上記シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付けること特徴とするカラー受像管の蛍光面形成方法。 - 【請求項３】 サイドビーム放出位置に対応する位置に
配置した光源からγ−ΔＰ補正レンズの中心に入射する
上記光源からの放射光がγ−ΔＰ補正レンズの中心軸と
ほぼ一致する角度上記γ−ΔＰ補正レンズを傾けること
を特徴とする請求項２記載のカラー受像管の蛍光面形成
方法。 - 【請求項４】 インライン型カラー受像管の電子銃から
放出される同一平面上を通るセンタービームおよび一対
のサイドビームからなる一列配置の３電子ビームに対応
する位置に配置され、パネル内面に形成された感光性蛍
光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパター
ンを焼付ける光を放射する光源と、この光源と上記シャ
ドウマスクとの間に配置されたγ−ΔＰ補正レンズとを
少なくとも有するカラー受像管の蛍光面形成用露光装置
において、 上記γ−ΔＰ補正レンズは上記一列配置の３電子ビーム
に対応する光源の配置方向に傾斜可能に配置されている
こと特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。 - 【請求項５】 γ−ΔＰ補正レンズは一列配置の３電子
ビームに対応する光源の配置位置を結ぶ直線と直交する
方向の直径を回転軸とする回転により傾斜可能に配置さ
れていること特徴とする請求項４記載のカラー受像管の
蛍光面形成用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21319395A JPH0963481A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21319395A JPH0963481A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963481A true JPH0963481A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16635085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21319395A Abandoned JPH0963481A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | カラー受像管の蛍光面形成方法およびその露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963481A (ja) |
-
1995
- 1995-08-22 JP JP21319395A patent/JPH0963481A/ja not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20050404 |