JP2003045330A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】感光性材料に透過率分布をもつパターンの形成
された光量分布調整フィルターの透過率の差に起因する
濃度差が転写されにくく、かつ、大きさ・輪郭の揃った
マトリクスホールの形成を可能とする露光装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】感光性材料２１に対向して配置されたシャ
ドウマスク４の開孔に対応するパターンを焼き付ける光
を照射する光源部４１と、光源部４１から放射された光
４１Ａにより照射されるパネル１内面での光量分布を調
整する光量分布調整フィルター４５と、光源部４１とシ
ャドウマスク４との間に配置され波長３６５ｎｍ以外の
光を遮断する波長選択型コーティング層を有する光学部
材５０ａ、ｂ、ｃと、を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、露光装置に係
り、特に、写真印刷法によりパネルの内面に蛍光体スク
リーンを形成する場合に用いられるカラー陰極線管の蛍
光面形成用露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インライン型カラー陰極線管のうち、テ
レビの受像用として利用される通常のカラー陰極線管に
ついては、シャドウマスクは、ブリッジを介して一列状
に配列されたほぼ矩形状の複数の開孔を有しており、こ
れらの開孔の配列に対応して、蛍光体スクリーンの光吸
収層及び３色蛍光体層は、ストライプ状に形成されてい
る。

【０００３】これに対して、情報端末機などのディスプ
レイ用として利用される高精細インライン型カラー陰極
線管は、シャドウマスクは、円形状の複数の開孔を有し
ており、これらの開孔に対応して、蛍光体スクリーン
は、マトリクスホール（隙間）を円形とするマトリクス
状光吸収層と、この光吸収層のマトリクスホールに埋め
込まれた円形ドット状の３色蛍光体層とを備えたドット
マトリクス型となっている。

【０００４】従来、カラー陰極線管の蛍光体スクリーン
は、シャドウマスクをフォトマスクとする写真印刷法に
より形成されている。ドットマトリクス型蛍光体スクリ
ーンについては、最初にパネルの内面にマトリクス状光
吸収層を形成し、ついで、そのマトリクスホールに３色
蛍光体層を形成する方法で形成されている。

【０００５】パネルの内面に蛍光体スクリーンを形成す
るために塗布されたフォトレジストや感光性蛍光体スラ
リなどの感光性材料に、シャドウマスクの円形状開孔に
対応するパターンを焼付けるときに用いられる露光装置
は、例えば図１２に示すように、支持台２２を備えてい
る。この支持台２２は、感光性材料２１が形成され、か
つシャドウマスク４が装着されたパネル１を位置決め支
持する。

【０００６】支持台２２の下部には、この支持台２２に
位置決め支持されたパネル１に対して、カラー陰極線管
の電子銃構体から放出される一列配置の３電子ビームに
対応する位置に移動可能に設けられた光源部２３、この
光源部２３とパネル１に装着されたシャドウマスク４と
の間に光源部２３から放射された光２４の軌道を電子銃
構体から放出される電子ビームの軌道に近似させる一対
のサイドビームに対応したΔＳ補正レンズ２５、偏向中
心の移動にともなう補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ
２６、パネル１の内面に対する光量分布を調整する透過
率分布をもつパターンの形成された光量分布調整フィル
ター２７などが配置されている。

【０００７】光源部２３は、直管状の超高圧水銀ランプ
などを光源２９とし、この光源２９が光透過窓を有する
水冷方式のライトハウス３０内に収容されている。光源
２９の近くには、実質的に光源２９の大きさ規制する開
孔３１の形成された遮光部３２が配置されている。ま
た、ライトハウス３０の光透過窓には、平板状のガラス
板３３が配置されている。

【０００８】上述した蛍光体スクリーンの形成過程で
は、図５に示すように、波長３００ｎｍ乃至４００ｎｍ
付近に吸光率５５のピークを有するフォトレジストが使
用される。このとき、光源には、波長２２０ｎｍ乃至６
００ｎｍの範囲にわたる波長の光５６を放射する水銀ラ
ンプが用いられる。主に、露光用には波長３６５ｎｍの
光５６ａが使用されている。また、全面の露光光量の不
足を補うために波長３６５ｎｍ未満の光の透過率の高い
石英ガラス製の光学部材を用いて露光をおこない、実際
には複数の波長の光をフォトレジストの露光に使用する
ことも行われている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、カラ
ー陰極線管の蛍光体スクリーンは、シャドウマスクをフ
ォトマスクとする写真印刷法により形成される。特に、
情報処理端末機などに用いられる高精細インライン型カ
ラー陰極線管のドットマトリクス型蛍光面については、
最初にマトリクス状光吸収層を形成し、ついで、そのマ
トリクスホールに３色蛍光体層を形成する方法で形成さ
れている。

【００１０】この写真印刷法による蛍光体スクリーン形
成方法では、パネルの内面に形成されたフォトレジスト
や感光性蛍光体スラリなどの感光性材料にシャドウマス
クの開孔に対応するパターンを焼付けるとき、露光装置
が用いられる。

【００１１】シャドウマスク方式のカラー陰極線管にお
いては、近年のパネル外面の平坦化にともない、パネル
の中央部に対して周辺部のガラスの肉厚が厚くなる傾向
にある。このため、均一な輝度を得るために光吸収層の
マトリクスホールを中央部に対して周辺部を大きくする
する必要が有る。

【００１２】一方で、カラー陰極線管の奥行き（管軸方
向の長さ）の短縮化にともない、露光装置の光源部とシ
ャドウマスクとの距離が短縮し、感光性材料に照射され
る光の照度の中央部と周辺部との差が増大する傾向にあ
る。

【００１３】この露光装置における中央部と周辺部との
照度差の解消、及び目標となる光吸収層のマトリクスホ
ール径の分布を得るには、露光装置における光量分布調
整フィルターの透過率分布を変えることにより調整可能
であるが、このような光量分布調整フィルターは、中央
部と周辺部との透過率の差が大きくなり、感光性材料に
その透過率の差に起因する濃度差が転写されるようにな
る。また、透過率の小さくなる中央部においては、光量
分布調整フィルターの無透過部分の増加にともない、光
の回折現象が強まり、シャドウマスクの円形状開孔に対
応する円形ドットパターンをフォトレジストに感光する
際、マトリクスホールの大きさにばらつきが生じる。さ
らに、光量分布調整フィルターを所定の透過率分布にす
ることが難しくなるなどの問題が生じる。

【００１４】また、フォトレジストの露光には、フォト
レジストの反応する光の感度から単一波長ではなく、複
数の波長に対して反応が進む。これにより、シャドウマ
スクの円形状開孔を通過した光源からの光は、波長によ
ってフォトレジスト層に届く光の強さに差が生じ、マト
リクスホールの輪郭を不均一にする原因となっている。

【００１５】そこで、この発明は、上述した問題点に鑑
みなされたものであって、感光性材料に透過率分布をも
つパターンの形成された光量分布調整フィルターの透過
率の差に起因する濃度差が転写されにくく、かつ、大き
さ・輪郭の揃ったマトリクスホールの形成を可能とする
カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置を提供すること
を目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１は、カラー陰極線管のパネル
の内面に塗布された感光性材料を露光するカラー陰極線
管の蛍光面形成用露光装置において、前記感光性材料に
前記感光性材料に対向して配置されたシャドウマスクの
開孔に対応するパターンを焼き付ける光を照射する光源
部と、前記光源部から放射された光により照射される前
記パネル内面での光量分布を調整する光量分布調整フィ
ルターと、前記光源部と前記シャドウマスクとの間に配
置され、波長３６５ｎｍ以外の光を遮断する波長選択型
コーティング層を有する光学部材と、を備えたことを特
徴とする。

【００１７】請求項２は、カラー陰極線管のパネルの内
面に塗布された感光性材料を露光するカラー陰極線管の
蛍光面形成用露光装置において、前記感光性材料に前記
感光性材料に対向して配置されたシャドウマスクの開孔
に対応するパターンを焼き付ける光を照射する光源部
と、前記光源部から放射された光により照射される前記
パネル内面での光量分布を調整する光量分布調整フィル
ターと、前記光源部と前記シャドウマスクとの間に配置
され、波長３６５ｎｍ未満の光を遮断する波長選択型コ
ーティング層を有する光学部材と、を備えたことを特徴
とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明のカラー陰極線管
の蛍光面形成用露光装置の一実施の形態について図面を
参照して説明する。

【００１９】図９に示すように、カラー陰極線管は、真
空外囲器９を備えている。この真空外囲器９は、水平軸
（Ｘ軸）を長軸、垂直軸（Ｙ軸）を短軸として、水平軸
（Ｘ軸）方向に延びる長辺と垂直軸（Ｙ軸）方向に延び
る短辺とを有するとともに周縁にスカート部１ａを有し
外面がほぼ矩形状のパネル１と、パネル１のスカート部
１ａに連接されたファンネル２と、ファンネル２の小径
部に連接された円筒状のネック５と、を有している。

【００２０】蛍光体スクリーン３は、パネル１の内面の
矩形状有効領域に配置されている。この蛍光体スクリー
ン３は、図１０の（ａ）及び（ｂ）に示すように、ドッ
ト状の多数の赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）にそれぞれ
発光する３色蛍光体層１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂと、これ
ら蛍光体層の隙間に配置された黒色の光吸収層１１Ｋと
を備えている。

【００２１】色選別機構であるシャドウマスク４は、真
空外囲器９内において蛍光体スクリーン３から管軸（Ｚ
軸）方向に所定間隔離れて対向して配設されている。こ
のシャドウマスク４は、図示しないマスクフレームの外
壁に固定された複数の弾性支持体をパネル１のスカート
部１ａの内面に埋設された複数のスタッドピンに係合さ
せることにより、パネル１の内側に着脱自在に支持され
ている。

【００２２】なお、パネル１を含む真空外囲器９及びシ
ャドウマスク４は、パネル１の中心及び電子銃構体７を
通って延びる管軸Ｚ、管軸Ｚと直交して延びる長軸（水
平軸）Ｘと、管軸Ｚ及び長軸Ｘと直交して延びる短軸
（垂直軸）Ｙと、を有している。

【００２３】インライン型電子銃構体７は、ネック５の
内部に配設されている。この電子銃構体７は、同一水平
面上を通るセンタービーム６Ｇおよびその両側の一対の
サイドビーム６Ｂ，６ＲからなるＸ軸（水平）方向に一
列に配置された３電子ビーム６（Ｂ，Ｇ，Ｒ）をＺ軸
（管軸）方向に放出する。電子銃構体７から出射された
３本の電子ビーム６Ｂ，６Ｇ，６Ｒは、シャドウマスク
４の電子ビーム通過孔に入射する角度がそれぞれ異なる
ため、目的のドット状の蛍光体層にランディングして所
定の色に発光させる。

【００２４】偏向ヨーク８は、ネック５からファンネル
２にかけてその外周に装着されている。この偏向ヨーク
８は、電子銃構体７から放出された電子ビーム６Ｂ、６
Ｇ、６Ｒを水平軸方向及び垂直軸方向に偏向する非斉一
な偏向磁界を発生するための水平偏向コイル、及び垂直
偏向コイルを含んで構成されている。この非斉一磁界
は、ピンクッション型の水平偏向磁界と、バレル型の垂
直偏向磁界とによって形成される。

【００２５】パネル１とファンネル２との結合部分の内
側には、３電子ビーム６Ｒ、６Ｇ、６Ｂに対して地磁気
や外部回路などから発生する不所望な外部磁場を遮蔽す
る図示しないインナーシールドが配置されている。

【００２６】上述したような構成のカラー陰極線管で
は、電子銃構体７から放出された３電子ビーム６Ｂ、６
Ｇ、６Ｒは、蛍光体スクリーン３に向けてセルフコンバ
ージェンスされながら、蛍光体スクリーン３上の対応す
る蛍光体層１１Ｂ、１１Ｇ、１１Ｒ上にフォーカスされ
る。この３電子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒは、偏向ヨーク
８により発生される非斉一な偏向磁界により水平軸Ｘ方
向及び垂直軸Ｙ方向に偏向され、シャドウマスク４の電
子ビーム通過孔を介してパネル１内面の蛍光体スクリー
ン３を水平方向及び垂直方向に走査される。これによ
り、カラー画像が表示される。

【００２７】次に、上述したカラー陰極線管のパネル内
面に形成される蛍光体スクリーンの各色の蛍光体層及び
黒色の光吸収層を焼き付けるための蛍光面形成用露光装
置について説明する。

【００２８】図１に示すように、この露光装置は、支持
台４０を備えている。この支持台４０は、内面にフォト
レジストや感光性蛍光体スラリ層などの感光性材料２１
が塗布され、かつ、この感光性材料２１に対向してシャ
ドウマスク４が装着されたパネル１を位置決め支持す
る。この支持台４０の下部には、この支持台４０に位置
決め支持されたパネル１に対して、カラー陰極線管の電
子銃構体から放出される一列配置の３電子ビームに対応
する位置に移動可能に光源部４１が設けられている。

【００２９】また、この光源部４１とパネル１に装着さ
れたシャドウマスク４との間には、光源部４１から放出
された光４１Ａの軌道を電子銃構体から放出される電子
ビームの軌道に近似させる一対のサイドビームに対応し
たΔＳ補正レンズ４３や、偏向中心の移動にともなう補
正を行うγ−ΔＰ補正レンズ４４などの補正レンズ光学
系が配置されている。

【００３０】さらに、この補正レンズ光学系のシャドウ
マスク４側には、パネル１の内面に対する光量分布を調
整する透過率分布をもつパターンの形成された光量分布
調整フィルター４５が配置されている。これら補正レン
ズ４３、４４及び光量分布調整フィルター４５は、光源
部４１との相対的な位置関係を一定に保つように光源部
４１とともに移動可能になっている。

【００３１】光源部４１は、直管状の超高圧水銀ランプ
などを光源４７とし、この光源４７が光透過窓を有する
水冷方式のライトハウス４８内に収容されている。この
光源４７の近くには、実質的に光源４７の大きさ規制す
る開孔４９の形成された遮光部４２が配置されている。
また、ライトウス４８の光透過窓には、平板状のガラス
板４６が配置されている。

【００３２】特に、この実施の形態では、図１に示すよ
うに、光源部４１とシャドウマスク４との間に配置され
ている補正レンズ光学系４３及び４４、及び、光量分布
調整フィルター４５のいずれか１つの光学部材、もしく
は複数の光学部材に、波長選択機能を有したコーティン
グ層５０ａ、５０ｂ、５０ｃが形成されている。

【００３３】上述した波長選択型コーティング層の透過
率特性は、図５に示したフォトレジストの吸光率の波長
特性５５と、超高圧水銀ランプの輝線スペクトル５６ａ
乃至ｅから、最もフォトレジストの露光に寄与している
を考えられる波長３６５ｎｍの輝線５６ａ以外の波長の
光を遮断する透過率分布を有している。

【００３４】実際には、波長選択型コーティング層は、
図３及び図４に示すように、輝線５６ａに対応する波長
３６５ｎｍにおいて最も透過率が高くなるようにな透過
率特性を選択している。

【００３５】すなわち、図３に示した波長選択型コーテ
ィング層は、パネル１の中央部に向かう光の透過率特性
が輝線５６ａ（波長３６５ｎｍ）以外の波長を遮断する
（厳密には輝線５６ａに対応する波長で最も透過率が高
く、それ以外の波長で相対的に透過率が低くなる）透過
率分布５８ａを有し、しかも、パネル１の周辺部に向か
う光の透過率特性がすべての波長において高い透過率を
有する透過率分布５８ｂを有している。

【００３６】また、図４に示すように、波長選択型コー
ティング層は、パネル１の中央部に向かう光の透過率特
性が輝線５６ａ（波長３６５ｎｍ）未満の波長を遮断す
る（厳密には輝線５６ａに対応する波長以上で最も透過
率が高く、輝線５６ａに対応する波長未満の波長で相対
的に透過率が低くなる）透過率分布５９ａを有し、しか
も、パネル１の周辺部に向かう光の透過率特性がすべて
の波長において高い透過率を有する透過率分布５９ｂを
有していてもよい。

【００３７】この波長選択型コーティング層の透過率分
布の一例としては、図６及び図７に示すようなパターン
が考えられる。

【００３８】すなわち、図６に示したように、波長選択
型コーティング層は、３６５ｎｍ以外もしくは３６５ｎ
ｍ未満の波長の光に対して、パネル中心部に向かう光に
対して最も低い透過率を有するとともにパネル周辺部に
向かう光に対して最も高い透過率を有する円錐状の透過
率分布６０を有している。つまり、図６に示した透過率
分布６０は、パネルの短軸方向及び長軸方向に沿って、
軸上の中央部で最も透過率が低く、且つ、軸端付近で最
も透過率が高くなるように設定されている。

【００３９】また、図７に示したように、波長選択型コ
ーティング層は、３６５ｎｍ以外もしくは３６５ｎｍ未
満の波長の光に対して、パネル中心部に向かう光に対し
て最も低い透過率を有するとともにパネル周辺部に向か
う光に対して最も高い透過率を有する円筒状の透過率分
布６１を有していてもよい。つまり、図７に示した透過
率分布６１は、パネルの短軸方向に沿って略均一な透過
率であるとともに、パネルの長軸方向に沿って、軸上の
中央部で最も透過率が低く、且つ、軸端付近で最も透過
率が高くなるように設定されている。

【００４０】図７に示した透過率分布６１は、図６に示
した透過率分布６０と比較して、パネルの短軸方向に自
由度が増すため、露光装置の設置精度に余裕を持たせる
ことができる。

【００４１】上述した波長選択型コーティング層は、誘
電体多層膜によって形成されている。このような波長選
択型コーティング層に上述したような透過率分布を形成
するためには、例えば、波長選択型コーティング層の中
央部の膜厚を厚く、しかも、周辺部に向かって膜厚を薄
くすることによって得られる。あるいは、波長選択型コ
ーティング層の中央部で積層する膜数を多くして、しか
も、周辺部に向かうほど積層する膜数を少なくすること
によっても同様の透過率分布を形成することができる。

【００４２】上述した波長選択型コーティング層の透過
率分布を波長別にパネルの位置に対する特性として示す
と、図８に示すようになり、フォトレジストの露光に主
として使用される３６５ｎｍの光６２は、波長選択型コ
ーティング層全面で透過し、３６５ｎｍ以外の光６３
は、波長選択コーティング層の周辺部にかけて透過率が
増大する。結果として、フォトレジストの感光に使用さ
れる光の総量は、パネルに対する中央部と周辺部とで差
が縮まり、かつ中央部では単一波長に近い光が得られ
る。

【００４３】次に、このような波長選択型コーティング
層を備えた蛍光面形成用露光装置による蛍光体スクリー
ンの製造方法について説明する。

【００４４】カラー陰極線管のパネル１の内面に配置さ
れた蛍光体スクリーン３は、シャドウマスク４をフォト
マスクとする写真印刷法により形成される。ドットマト
リクス型蛍光体スクリーンについては、最初にマトリク
ス状光吸収層１１Ｋを形成し、ついで、そのマトリクス
ホールに３色蛍光体層１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂを埋め込
む方法で形成されている。

【００４５】すなわち、図１１の（ａ）に示すように、
まず、パネル１の内面に感光性材料を塗布し、乾燥して
フォトレジスト１３を形成する。そして、このフォトレ
ジスト１３の形成されたパネル１にシャドウマスク４を
装着し、上述した露光装置を用いてフォトレジスト１３
を露光し、フォトレジスト１３にシャドウマスク４の円
形状開孔１４に対応する円形状パターンを焼き付ける。

【００４６】続いて、図１１の（ｂ）に示すように、こ
の円形状パターンが焼き付けられたフォトレジスト１３
を現像して未感光部を除去し、円形ドット状パターンか
らなるレジスト１５を形成する。

【００４７】続いて、図１１の（ｃ）に示すように、こ
のレジスト１５が形成されたパネル１の内面に光吸収塗
料を塗布し、乾燥して光吸収塗料層１６を形成する。

【００４８】続いて、図１１の（ｄ）に示すように、こ
のレジスト１５に塗布された光吸収塗料層１６をレジス
ト１５とともに剥離して、蛍光体層を形成する位置をマ
トリクスホール１７とするマトリクス状光吸収層１１Ｋ
を形成する。

【００４９】続いて、図１１の（ｅ）に示すように、光
吸収層１１Ｋの形成されたパネル１の内面に、蛍光体と
感光性材料を主成分とする感光性蛍光体スラリを塗布
し、乾燥して感光性蛍光体スラリ層１９を形成する。そ
して、この感光性蛍光体スラリ層１９の形成されたパネ
ル１にシャドウマスク４を装着し、上述した露光装置を
用いて感光性蛍光体スラリ層１９を露光し、感光性蛍光
体スラリ暦１９にシャドウマスク４の円形状開孔１４に
対応する円形状パターンを焼き付ける。

【００５０】続いて、図１１の（ｆ）に示すように、円
形状パターンが焼き付けられた感光性蛍光体スラリ層１
９を現像して未感光部を除去し、光吸収層１１Ｋの所定
のマトリクスホール１７に円形ドット状の蛍光体層、た
とえば青色の蛍光体層１１Ｂを形成する。

【００５１】さらに、この青色の蛍光体層１１Ｂの形成
工程を、順次緑色蛍光体及び赤色蛍光体について繰返
し、図１１の（ｇ）に示すように、光吸収層１１Ｋの所
定のマトリクスホール１７に円形ドット状の緑色蛍光体
層１１Ｇ及び赤色蛍光体層１１Ｒを形成する。

【００５２】これらの工程により、パネル１の内面にド
ットマトリクス型蛍光体スクリーン２が形成される。

【００５３】上述したように、波長選択型コーティング
層を、蛍光面形成用露光装置の光源部４１とシャドウマ
スク４との間に配置されている補正レンズ光学系４３及
び４４、及び、光量分布調整フィルター４５のいずれか
１つの光学部材、もしくは複数の光学部材に設けたこと
により、希望するサイズの光吸収層１１Ｋのマトリクス
ホール１７を得るために、光量分布調整フィルター４５
の透過率分布は、中心部において透過率を大きくするこ
とが可能となり、光量分布調整フィルター４５のパター
ンの非透過部分が縮小し、感光性材料に光量分布調整フ
ィルター４５の形成された透過率の差に起因する濃度差
像が転写されにくくなる。加えて、パネル中央部におい
ては、シャドウマスク４を通過した波長の異なる光によ
る回折の重なり合いに起因するマトリクスホールの輪郭
の不均一性を改善することが可能となる。

【００５４】上述した実施の形態では、波長選択型コー
ティング層は、光源部４１とシャドウマスク４との間に
配置されている補正レンズ光学系４３及び４４、及び、
光量分布調整フィルター４５のいずれか１つの光学部
材、もしくは複数の光学部材に設けたが、この発明は、
この形態に限定されるものではなく、種々変更可能であ
る。

【００５５】図２は、この発明の他の実施の形態に係る
蛍光面形成用露光装置の構造を示す図である。

【００５６】すなわち、この露光装置は、内面にフォト
レジストや感光性蛍光体スラリ層などの感光性材料２１
が塗布され、かつ、この感光性材料２１に対向してシャ
ドウマスク４が装着されたパネル１を位置決め支持する
支持台４０を備えている。この支持台４０の下部には、
この支持台４０に位置決め支持されたパネル１に対し
て、カラー陰極線管の電子銃構体から放出される一列配
置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に光源部４
１が設けられている。

【００５７】また、この光源部４１とパネル１に装着さ
れたシャドウマスク４との間には、光源部４１から放出
された光４１Ａの軌道を電子銃構体から放出される電子
ビームの軌道に近似させる一対のサイドビームに対応し
たΔＳ補正レンズ４３や、偏向中心の移動にともなう補
正を行うγ−ΔＰ補正レンズ４４などの補正レンズ光学
系が配置されている。さらに、この補正レンズ光学系の
シャドウマスク４側には、パネル１の内面に対する光量
分布を調整する透過率分布をもつパターンの形成された
光量分布調整フィルター４５が配置されている。

【００５８】特に、この実施の形態では、図２に示すよ
うに、光量分布調整フィルター４５とγ−ΔＰ補正レン
ズ４４との間、γ−ΔＰ補正レンズ４４とΔＳ補正レン
ズ４３との間、ΔＳ補正レンズ４３とレンズ状配光補正
光学部材４６との間のいずれか一ヶ所、もしくは複数ヶ
所に、波長選択機能を有したコーティング層を設けた光
量分布調整用コーティング光学部材５１ａ、５１ｂ、５
１ｃが配置されている。

【００５９】このような実施の形態であっても、図１に
示した実施の形態と同様の効果が得られる。

【００６０】以上説明したように、この発明の実施の形
態に係るカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置によれ
ば、特定波長以外の光を遮断する波長選択型コーティン
グ層を有する光学部材を光源とシャドウマスクとの間に
設置する構造としている。これにより、透過率分布をも
つパターンの形成された光量分布調整フィルターの中央
部と周辺部との透過率の差を大きくすることなく、パネ
ルの中央部に対して相対的に周辺部の光量を増すことが
でき、従来、透過率分布をもつパターンの形成された光
量分布調整フィルターに起因する濃度差像が転写されに
くくなり、かつ、中央部ではシャドウマスクを通過した
波長の違う光による回折の重なり合いに起因するマトリ
クスホールの輪郭の不均一性が改善される。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、感光性材料に透過率分布をもつパターンの形成され
た光量分布調整フィルターの透過率の差に起因する濃度
差が転写されにくく、かつ、大きさ・輪郭の揃ったマト
リクスホールの形成を可能とするカラー陰極線管の蛍光
面形成用露光装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施の形態に係るカラー
陰極線管蛍光面形成用露光装置の構成を概略的に示す図
である。

【図２】図２は、この発明の他の実施の形態に係るカラ
ー陰極線管蛍光面形成用露光装置の構成を概略的に示す
図である。

【図３】図３は、この実施の形態の露光装置に適用され
る波長選択型コーティング層の透過率分布の一例を示す
図である。

【図４】図４は、この実施の形態の露光装置に適用され
る波長選択型コーティング層の透過率分布の一例を示す
図である。

【図５】図５は、蛍光体スクリーンを形成するための感
光性材料の波長に対する吸光率の特性を示す図である。

【図６】図６は、この実施の形態の露光装置に適用され
る波長選択型コーティング層の２次元的な透過率分布の
一例を示す図である。

【図７】図７は、この実施の形態の露光装置に適用され
る他の波長選択型コーティング層の２次元的な透過率分
布の一例を示す図である。

【図８】図８は、波長３６５ｎｍ及びこれ以外の波長の
光に対するパネル中央部に向かう光とパネル周辺部に向
かう光との透過率分布の一例を示す図である。

【図９】図９は、この実施の形態の露光装置を用いて形
成された蛍光体スクリーンを有するカラー陰極線管の構
造を概略的に示す水平断面図である。

【図１０】図１０の（ａ）は、図９に示したカラー陰極
線管の蛍光体スクリーンの構造を概略的に示す平面図で
あり、図１０の（ｂ）は、図１０の（ａ）に示した蛍光
体スクリーンの構造を概略的に示す断面図である。

【図１１】図１１の（ａ）及至（ｇ）は、ドットマトリ
クス型蛍光体スクリーンの主要形成工程を説明するため
の図である

【図１２】図１２は、従来のカラー陰極線管の蛍光面形
成用露光装置の構成を示す図である。

【符号の説明】

１…パネル ２…ファンネル ３…蛍光体スクリーン ４…シャドウマスク ５…ネック ６（Ｒ、Ｇ、Ｂ）…電子ビーム ７…インライン型電子銃構体 ８…偏向ヨーク １１（Ｒ、Ｇ、Ｂ）…蛍光体層 １１Ｋ…光吸収層 ２１…感光性材料 ４１…光源部 ４３…ΔＳ補正レンズ ４４…γ−ΔＰ補正レンズ ４５…光量分布調整フィルタ ５０（ａ，ｂ，ｃ）…光量調整用コーティング層 ５１（ａ，ｂ，ｃ）…光量調整用コーティング光学部材

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】カラー陰極線管のパネルの内面に塗布され
   た感光性材料を露光するカラー陰極線管の蛍光面形成用
   露光装置において、 前記感光性材料に前記感光性材料に対向して配置された
   シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼き付ける
   光を照射する光源部と、 前記光源部から放射された光により照射される前記パネ
   ル内面での光量分布を調整する光量分布調整フィルター
   と、 前記光源部と前記シャドウマスクとの間に配置され、波
   長３６５ｎｍ以外の光を遮断する波長選択型コーティン
   グ層を有する光学部材と、 を備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】カラー陰極線管のパネルの内面に塗布され
   た感光性材料を露光するカラー陰極線管の蛍光面形成用
   露光装置において、 前記感光性材料に前記感光性材料に対向して配置された
   シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼き付ける
   光を照射する光源部と、 前記光源部から放射された光により照射される前記パネ
   ル内面での光量分布を調整する光量分布調整フィルター
   と、 前記光源部と前記シャドウマスクとの間に配置され、波
   長３６５ｎｍ未満の光を遮断する波長選択型コーティン
   グ層を有する光学部材と、 を備えたことを特徴とする露光装置。
3. 【請求項３】前記波長選択型コーティング層は、前記パ
   ネルの中央部に向かう光の透過率特性が波長３６５ｎｍ
   以外の波長を遮断する透過率分布を有することを特徴と
   する請求項１に記載の露光装置。
4. 【請求項４】前記波長選択型コーティング層は、前記パ
   ネルの中央部に向かう光の透過率特性が波長３６５ｎｍ
   未満の波長を遮断する透過率分布を有することを特徴と
   する請求項２に記載の露光装置。
5. 【請求項５】前記波長選択型コーティング層は、前記パ
   ネルの周辺部に向かう光の透過率が前記パネルの中央部
   に向かう光の透過率より大きくなるような透過率分布を
   有することを特徴とする請求項１または２に記載の露光
   装置。
6. 【請求項６】前記波長選択型コーティング層は、前記パ
   ネルの短軸方向及び長軸方向に沿って、軸上の中央部で
   最も透過率が低く、且つ、軸端付近で最も透過率が高い
   透過率分布を有することを特徴とする請求項１または２
   に記載の露光装置。
7. 【請求項７】前記波長選択型コーティング層は、前記パ
   ネルの短軸方向に沿って略均一な透過率分布を有すると
   ともに、前記パネルの長軸方向に沿って、軸上の中央部
   で最も透過率が低く、且つ、軸端付近で最も透過率が高
   い透過率分布を有することを特徴とする請求項１または
   ２に記載の露光装置。