JP2000260317A - カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置にお
いて、感光性蛍光面形成層に透過率分布もつパターンの
形成された光量分布調整フィルターに起因する濃度差像
が転写されにくく、かつその光量分布調整フィルターに
高い位置出し精度や加工性が要求されない構成にするこ
とを目的とする。 【解決手段】 カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置
において、光量分布調整フィルター52を、その中心を中
心とする２つの同心円の円周と２つの半径とにより囲ま
れた光を透過しない領域を単位領域とし、この単位領域
の１個または複数個の占めるパターン63の面積の割合に
より透過率が決定される構造に形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、写真印刷法によ
り蛍光面を形成する場合に用いられるカラー陰極線管の
蛍光面形成用露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー陰極線管は、図８に示すよ
うに、ほぼ矩形状のパネル１および漏斗状のファンネル
２からなる外囲器を有し、そのパネル１の内面に、光吸
収層とこの光吸収層の隙間に埋込まれるように設けられ
た３色蛍光体層とからなる蛍光面３が設けられている。
また、この蛍光面３に対向して、その内側にほぼ矩形状
のシャドウマスク４が配置されている。一方、ファンネ
ル２のネック５内に、３電子ビーム６B ，６G ，６R を
放出する電子銃７が配設されている。そして、この電子
銃７から放出される３電子ビーム６B ，６G ，６R をフ
ァンネル２の外側に装着された偏向装置８により偏向
し、シャドウマスク４を介して蛍光面３を水平、垂直走
査することにより、カラー画像を表示する構造に形成さ
れている。

【０００３】このようなカラー陰極線管は、現在、電子
銃７を同一平面上を通る一列配置の３電子ビーム６B ，
６G ，６R を放出する電子銃としたインライン型カラー
陰極線管が主流となっている。

【０００４】このインライン型カラー陰極線管のうち、
テレビの受像に用いられる通常のカラー陰極線管につい
ては、シャドウマスク４は、ほぼ矩形状の複数の開孔が
ブリッジを介して一列状に配列されたものとなってお
り、この開孔の配列に対応して、蛍光面３の光吸収層お
よび３色蛍光体層は、ストライプ状に形成されている。
これに対して、情報処理端末機などのディスプレイ管と
して用いられる高精細インライン型カラー陰極線管は、
シャドウマスク４の開孔を円形状とし、この開孔に対応
して光吸収層および３色蛍光体層が、図９に示すよう
に、マトリクスホール（隙間）を円形とするマトリクス
状光吸収層１０と、この光吸収層１０のマトリクスホー
ルに円形ドット状の３色蛍光体層１１B ，１１G ，１１
R が埋込まれるように設けられたドットマトリクス型と
なっている。

【０００５】従来、カラー陰極線管の蛍光面は、シャド
ウマスク４をフォトマスクとする写真印刷法により形成
されており、上記ドットマトリクス型蛍光面について
は、最初にマトリクス状光吸収層１０を形成し、つい
で、そのマトリクスホールに３色蛍光体層１１B ，１１
G ，１１R を形成する方法で形成されている。

【０００６】すなわち、図１０（ａ）に示すように、ま
ずパネル１の内面に感光剤を塗布し、乾燥してフォトレ
ジスト１３を形成する。そして、このフォトレジスト１
３の形成されたパネル１にシャドウマスク４を装着し、
後述する露光装置を用いて露光し、上記フォトレジスト
１３にシャドウマスク４の円形状開孔１４に対応する円
形状パターンを焼付ける。つぎに、このパターンの焼付
けられたフォトレジスト１３を現像して未感光部を除去
し、同（ｂ）に示すように、円形ドット状パターンから
なるレジスト１５を形成する。つぎに、このレジスト１
５の形成されたパネル１の内面に光吸収塗料を塗布し、
乾燥して、同（ｃ）に示すように、光吸収塗料層１６を
形成する。つぎに、上記レジスト１５上に塗布された光
吸収塗料層１６をレジスト１５とともに剥離して、同
（ｄ）に示すように、蛍光体層を形成する位置をマトリ
クスホール１７とするマトリクス状光吸収層１０を形成
する。

【０００７】その後、上記光吸収層１０の形成されたパ
ネル１の内面に、蛍光体と感光剤を主成分とする感光性
蛍光体スラリを塗布し、乾燥して、同（ｅ）に示すよう
に、感光性蛍光体スラリ層１９を形成する。そして、こ
の感光性蛍光体スラリ層１９の形成されたパネル１にシ
ャドウマスク４を装着し、後述する露光装置を用いて露
光し、感光性蛍光体スラリ層１９にシャドウマスク４の
円形状開孔１４に対応する円形状パターンを焼付ける。
つぎに、このパターンの焼付けられた感光性蛍光体スラ
リ層１９を現像して未感光部を除去し、同（ｆ）に示す
ように、光吸収層１０の所定のマトリクスホールに円形
ドット状の蛍光体層、たとえば青蛍光体層１１B を形成
する。この青蛍光体層１１B の形成工程を、順次緑蛍光
体および赤蛍光体について繰返し、同（ｇ）に示すよう
に、光吸収層１０の所定のマトリクスホールに円形ドッ
ト状の緑蛍光体層１１G および赤蛍光体層１１R を形成
することにより形成される。

【０００８】上記パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストや感光性蛍光体スラリ層などの感光性蛍光面形成層
にシャドウマスクの円形状開孔に対応するパターンを焼
付けるときに用いられる露光装置は、図１１に示すよう
に、上記感光性蛍光面形成層２１が形成されかつシャド
ウマスク４が装着されたパネル１を位置決め支持する支
持台２２の下部に、この支持台２２に位置決め支持され
たパネル１に対して、カラー陰極線管の電子銃から放出
される一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可
能に光源部２３が設けられ、この光源部２３と上記パネ
ル１に装着されたシャドウマスク４との間に、上記光源
部２３から放射される光２４の軌道を電子銃から放出さ
れる電子ビームの軌道に近似させる一対のサイドビーム
対応のΔＳ補正レンズ２５、偏向中心の移動にともなう
補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ２６、およびパネル
１の内面に対する光量分布を調整する透過率分布をもつ
パターンの形成された光量分布調整フィルター２７など
が配置されたものとなっている。

【０００９】その光源部２３は、直管状の超高圧水銀ラ
ンプなどを光源２９とし、この光源２９が光透過窓を有
する水冷方式のライトハウス３０内に収容されている。
上記光源２９の近くには、実質的に光源２９の大きさ規
制する開孔３１の形成された遮光部３２が配置されてい
る。またライトハウス３０の光透過窓には、平板状のガ
ラス板３３が配置されている。

【００１０】ところで、近年、情報処理端末機などのデ
ィスプレイ管として用いられる高精細インライン型カラ
ー陰極線管は、大型化にともなって、パネルの内面に形
成された感光性蛍光面形成層にシャドウマスクの開孔に
対応するパターンを焼付けるときの光路長が、特にほぼ
矩形状のパネルのコーナー部で長くなり、露光不足にな
りやすいため、光量の増加が望まれている。

【００１１】このような問題を解決するために、光源２
９を収容するライトハウス３０の光透過窓に、上記平板
状のガラス板３３に代えて、図１２に示すように、凸レ
ンズ状の光量増加部材３５を配置して、パネル周辺部の
光量を増加させるものが開発されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
陰極線管の蛍光面は、シャドウマスクをフォトマスクと
する写真印刷法により形成され、情報処理端末機などに
用いられる高精細インライン型カラー陰極線管のドット
マトリクス型蛍光面については、最初にマトリクス状光
吸収層を形成し、ついでそのマトリックスホールに３色
蛍光体層を形成する方法で形成されている。この写真印
刷法による蛍光面形成方法では、パネルの内面に形成さ
れたフォトレジストや感光性蛍光体スラリ層などの感光
性蛍光面形成層にシャドウマスクの開孔に対応するパタ
ーンを焼付けるとき、露光装置が用いられる。

【００１３】その露光装置は、上記感光性蛍光面形成層
が形成されかつシャドウマスクが装着されたパネルを位
置決め支持する支持台の下部に、この支持台に位置決め
支持されたパネルに対して、カラー陰極線管の電子銃か
ら放出される３電子ビームに対応する位置に移動可能に
光源部が設けられ、この光源部とシャドウマスクとの間
に各種補正レンズやパネルの内面に対する光量分布を調
整する透過率分布をもつパターンの形成された光量分布
調整フィルターが配置されている。また、光源部の光源
を収容するライトハウスの光透過窓には、平板状のガラ
ス板が配置されたものとなっているが、近年、カラー陰
極線管の大型化にともなうパネルのコーナー部での露光
不足を補うために、ライトハウスの光透過窓に平板状の
ガラス板に代えて凸レンズ状の光量増加部材を配置した
露光装置が開発されている。

【００１４】しかし、この露光装置のように平板状のガ
ラス板に代えて凸レンズ状の光量増加部材を配置する
と、パネルの周辺部ばかりでなく、パネル中央部の光量
も増加する。このパネル中央部の光量増加は、上記光量
分布調整フィルターの透過率分布を変えることにより調
整可能であるが、このような光量分布調整フィルター
は、中央部と周辺部との透過率の差が大きくなり、感光
性蛍光面形成層にその透過率の差に起因する濃度差像が
転写されるようになる。また、光量分布調整フィルター
が位置ずれした場合、透過率分布のずれ量が大きくなる
ため、高い位置出し精度が要求される。さらに、光量分
布調整フィルターを所定の透過率分布にすることがむつ
かしくなるなどの問題が生ずる。

【００１５】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置に
おいて、感光性蛍光面形成層に透過率分布をもつパター
ンの形成された光量分布調整フィルターの透過率の差に
起因する濃度差像が転写されにくく、かつその光量分布
調整配光フィルターに高い位置出し精度や加工性を必要
としない構成にすることを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】（１） パネルの内面に
形成された感光性蛍光面形成層にこの感光性蛍光面形成
層に対向して配置されたシャドウマスクの開孔に対応す
るパターンを焼付ける光を放射する光源部と、この光源
部から放射される光により照射されるパネル内面での光
量分布を調整する光量分布調整フィルターとを備えるカ
ラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、光量分
布調整フィルターを、この光量分布調整フィルターの中
心を中心とする２つの同心円の円周とこれら同心円の２
つの半径とにより囲まれた領域を光を透過しない単位領
域とし、この単位領域の１個または複数個の占めるパタ
ーンの面積の割合により透過率が決定される構造に形成
した。

【００１７】（２） パネルの内面に形成された感光性
蛍光面形成層にこの感光性蛍光面形成層に対向して配置
されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付
ける光を放射する光源部と、この光源部から放射される
光により照射されるパネル内面での光量分布を調整する
光量分布調整フィルターとを備えるカラー陰極線管の蛍
光面形成用露光装置において、光量分布調整フィルター
を、この光量分布調整フィルターの中心を中心とする２
つの同心円の円周とこれら同心円の２つの半径とにより
囲まれた領域を光を透過しない単位領域とし、この単位
領域の１個または複数個の占めるパターンの面積の割合
により透過率が決定される構造に形成し、この光量分布
調整フィルターの中心を中心として回転駆動される構造
とした。

【００１８】（３） パネルの内面に形成された感光性
蛍光面形成層にこの感光性蛍光面形成層に対向して配置
されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付
ける光を放射する光源部と、この光源部から放射される
光のパネル内面に対する配光を調整するレンズ状配光調
整部材と、光源部から放射される光により照射されるパ
ネル内面での光量分布を調整する光量分布調整フィルタ
ーとを備えるカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置に
おいて、光量分布調整フィルターを、この光量分布調整
フィルターの中心を中心とする２つの同心円の円周とこ
れら同心円の２つの半径とにより囲まれた領域を光を透
過しない単位領域とし、この単位領域の１個または複数
個の占めるパターンの面積の割合により透過率が決定さ
れる構造とし、この光量分布調整フィルターの中心を中
心として回転駆動される構造とした。。

【００１９】（４） （１）乃至（３）のいずれかのカ
ラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、複数個
の単位領域の占めるパターンを半径方向に連続かつ段階
的に変化させた。

【００２０】（５） （１）乃至（３）のいずれかのカ
ラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、複数個
の単位領域の占めるパターンを２個以上のパターンに分
割形成した。

【００２１】（６） （１）乃至（３）のいずれかのカ
ラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、複数個
の単位領域の占めるパターンを、その単位領域を１単位
とする複数個のパターンに分割形成した。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。

【００２３】図１にその一形態である露光装置を示す。
この露光装置は、内面にフォトレジストや感光性蛍光体
スラリ層などの感光性蛍光面形成層２１が形成されかつ
この感光性蛍光面形成層２１に対向してシャドウマスク
４が装着されたパネル１を位置決め支持する支持台４０
の下部に、この支持台４０に位置決め支持されたパネル
１に対して、カラー陰極線管の電子銃から放出される一
列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に光源
部４１が設けられている。そして、この光源部４１と上
記パネル１に装着されたシャドウマスク４との間に、上
記光源部４１から放射される光４２の軌道を電子銃から
放出される電子ビームの軌道に近似させる一対のサイド
ビーム対応のΔＳ補正レンズ４３、偏向中心の移動にと
もなう補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ４４などの補
正レンズ光学系が配置され、さらに、この補正レンズ光
学系のシャドウマスク４側にパネル１の内面に対する光
量分布を調整する透過率分布をもつパターンの形成され
た第１の光量分布調整フィルター４５が配置されてい
る。これら補正レンズ４３，４４および第１の光量分布
調整フィルター４５は、光源部４１と一定の関係を保つ
ように光源部４１とともに移動可能になっている。

【００２４】上記光源部４１は、図２に示すように、直
管状の超高圧水銀ランプなどを光源４７とし、この光源
４７が光透過窓を有する水冷方式のライトハウス４８内
に収容されている。この光源４７の近くには、実質的に
光源４７の大きさ規制する開孔４９の形成された遮光部
５０が配置されている。また、ライトハウス４８の光透
過窓には、平板状のガラス板５１が設けられている。

【００２５】さらに、この実施の形態では、上記ライト
ハウス４８の光透過窓上に円板状の第２の光量分布調整
フィルター５２が光源部４１から放出される光４２の光
軸５３（図１参照）とその中心が一致し、かつこの中心
を中心として回転可能に配置されている。

【００２６】上記第２の光量分布調整フィルター５２の
回転は、図３に示すように、この第２の光量分布調整フ
ィルターを支持する環状の支持枠５５が回転駆動装置５
６側の歯車５７と噛合する歯車状に形成され、上記回転
駆動装置５６の駆動により、ライトハウス４８の光透過
窓枠上に設けられたガイド５８に摺動可能に滑合して、
光量分布調整フィルター５２の中心を中心として回転す
る。

【００２７】その第２の光量分布調整フィルター５２
は、図４に示すように、平らな円板の中心を中心とする
任意半径の２つの同心円６０a ，６０b と、角度θで交
差するこれら同心円６０a ，６０b の２つの半径６１a
，６１b で囲まれたトーラス（Ｔａｕｒｕｓ）状の領
域を光の透過しない単位領域６２とし、この単位領域６
２が円板の任意位置に１個または複数個形成されたもの
となっている。図５に示す光量分布調整フィルター５２
は、上記複数個の単位領域６２を１箇所に集合して、円
板の中心から周辺部にかけて１つのパターン６３に形成
したものとなっている。

【００２８】上記のように構成すると、第２の光量分布
調整フィルター５２は、その中心を中心として回転駆動
されることから、１個または複数個の単位領域６２の占
める面積の割合により透過率が決定される。

【００２９】すなわち、図４に示した単位領域６２の透
過率を０％、この単位領域６２以外の領域の透過率を１
００％とする。また、図６に示す扇型状の領域６５を光
の透過しない領域とし、この領域６５が円板６６の全面
積の２５％を占めるとすると、このような円板６６を光
軸上に同軸に配置し、その中心を中心として回転する
と、その回転方向に透過率が平均化され、この円板６６
を透過する光量を円板６６の全面にわたり２５％にする
ことができる。つまり、図４に示したように、円板の中
心を中心とする任意半径の２つの同心円６０a ，６０b
と、角度θで交差する２つの半径６１a ，６１b で囲ま
れた領域を光の透過しない領域６２とする場合、 θ＝９０° にすると、パネルの内面を照射する光量を２５％、 θ＝１８０° にすると、パネルの内面を照射する光量を９０％とする
ことができる。

【００３０】したがって、円板をその中心を中心とする
複数個の同心円に分割し、図４に示した単位領域６２の
２つの半径６１a ，６１b のなす角度θを上記同心円の
半径に応じて適宜変化させることにより、パネル内面の
光量分布を適性にする光量分布調整フィルターを容易に
設計製作することができる。ちなみに、図５に示した光
量分布調整フィルター５２は、中心付近の透過率を５０
％、周辺部付近の透過率を２０％として、その間の透過
率が１０段階に分かれた透過率分布を有するものとなっ
ている。

【００３１】このように露光装置に第２の光量分布調整
フィルター５２を配置すると、この第２の光量分布調整
フィルター５２自体の設計製作が容易であり、第１の光
量分布調整フィルター４５の透過率の差を大きくするこ
となく、パネル１の中央部に対して相対的に周辺部の光
量を増大させることができ、この第１の光量分布調整フ
ィルター４５が位置ずれした場合に生ずる透過率分布の
ずれ量を軽減できる。しかも、容易に所定の透過率分布
をもつ光量分布調整フィルターとすることができる。

【００３２】なお、上記実施の形態では、複数個の単位
領域を１箇所に集合して、円板の中心から周辺部にかけ
て光を透過しない１つのパターンを形成して第２の光量
分布調整フィルターとしたが、この光量分布調整フィル
ターは、図７（ａ）に示すように、上記１つのパターン
を複数個のパターン６３a ，６３b （図示例では２個）
に分割して形成してもよい。また、同（ｂ）に示すよう
に、１つの単位領域を１つのパターンとして、複数個の
パターン６３a ，６３b …に分割して形成してもよい。

【００３３】また、上記実施の形態では、露光装置に第
１の光量分布調整フィルターと第２の光量分布調整フィ
ルターとを設ける場合について説明したが、第１の光量
分布調整フィルターを省略し、第２の光量分布調整フィ
ルターのみとして、パネル内面の光量分布を調整するこ
とも可能である。

【００３４】さらに、上記実施の形態では、光源部のラ
イトハウスの光透過窓に平板状のガラス板を配置した
が、平板状のガラス板に代えて、凸レンズ状の光量増加
部材を配置することは任意である。特にこの場合、従
来、透過率分布をもつパターンの形成された光量分布調
整フィルターの中央部と周辺部との透過率の差が大きく
なるために、パネルの内面の感光性蛍光面形成層に形成
された透過率の差に起因する濃度差像を低減できるとい
う効果が得られる。

【００３５】

【発明の効果】パネル内面の光量分布を調整する光量分
布調整フィルターを、その中心を中心とする２つの同心
円の円周とこれら同心円の２つの半径とにより囲まれた
領域を光を透過しない単位領域とし、この単位領域の１
個または複数個の占めるパターンの面積の割合により透
過率が決定される構造に形成すると、透過率分布をもつ
パターンの形成された光量分布調整フィルターの透過率
の差を大きくすることなく、パネルの中央部に対して相
対的に周辺部の光量を増すことができ、従来、透過率分
布をもつパターンの形成された光量分布調整フィルター
が位置ずれした場合に生ずる透過率分布のずれ量を軽減
でき、かつ所定の透過率分布をもつ光量分布調整フィル
ターを容易に製作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の一形態であるカラー陰極線管
の蛍光面形成用露光装置の構成を示す図である。

【図２】図２（ａ）は上記露光装置の光源部の構成を示
す平面図、図２（ｂ）は断面で示した正面図、図２
（ｃ）は同じく断面で示した側面図である。

【図３】上記露光装置に配置される第２の光量分布調整
フィルターの回転機構を示す図である。

【図４】上記第２の光量分布調整フィルターを構成する
光を透過しない単位領域を説明するための図である。

【図５】上記第２の光量分布調整フィルターの構成を示
す図である。

【図６】上記第２の光量分布調整フィルターの透過率を
説明するための図である。

【図７】図７（ａ）および（ｂ）はそれぞれ異なる第２
の光量分布調整フィルターの構成を示す図である。

【図８】カラー陰極線管の構成を示す図である。

【図９】図９（ａ）はドットマトリクス型蛍光面の構成
を示す平面図、図９（ｂ）はその断面図である。

【図１０】図１０（ａ）乃至（ｇ）はそれぞれドットマ
トリクス型蛍光面の主要形成工程を説明するための図で
ある。

【図１１】従来のカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装
置の構成を示す図である。

【図１２】凸レンズ状の配光調整部材が配置された従来
のカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置の光源部の構
成を示す図である。

【符号の説明】

１…パネル ４…シャドウマスク ２１…感光性蛍光面形成層 ４１…光源部 ５２…第２の光量分布調整フィルター ６０a ，６０b …同心円 ６１a ，６１b …同心円の半径 ６２…単位領域 ６３…パターン

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成層にこの感光性蛍光面形成層に対向して配置された
   シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける光
   を放射する光源部と、この光源部から放射される光によ
   り照射される上記パネル内面での光量分布を調整する光
   量分布調整フィルターとを備えるカラー陰極線管の蛍光
   面形成用露光装置において、 上記光量分布調整フィルターはこの光量分布調整フィル
   ターの中心を中心とする２つの同心円の円周とこれら同
   心円の２つの半径とにより囲まれた領域を光を透過しな
   い単位領域とし、この単位領域の１個または複数個の占
   めるパターンの面積の割合により透過率が決定される構
   造に形成されていることを特徴とするカラー陰極線管の
   蛍光面形成用露光装置。
2. 【請求項２】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成層にこの感光性蛍光面形成層に対向して配置された
   シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける光
   を放射する光源部と、この光源部から放射される光によ
   り照射される上記パネル内面での光量分布を調整する光
   量分布調整フィルターとを備えるカラー陰極線管の蛍光
   面形成用露光装置において、 上記光量分布調整フィルターはこの光量分布調整フィル
   ターの中心を中心とする２つの同心円の円周とこれら同
   心円の２つの半径とにより囲まれた領域を光を透過しな
   い単位領域とし、この単位領域の１個または複数個の占
   めるパターンの面積の割合により透過率が決定される構
   造に形成され、上記光量分布調整フィルターの中心を中
   心として回転駆動されることを特徴とするカラー陰極線
   管の蛍光面形成用露光装置。
3. 【請求項３】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成層にこの感光性蛍光面形成層に対向して配置された
   シャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける光
   を放射する光源部と、この光源部から放射される光の上
   記パネル内面に対する配光を調整するレンズ状配光調整
   部材と、上記光源部から放射される光により照射される
   上記パネル内面での光量分布を調整する光量分布調整フ
   ィルターとを備えるカラー陰極線管の蛍光面形成用露光
   装置において、 上記光量分布調整フィルターはこの光量分布調整フィル
   ターの中心を中心とする２つの同心円の円周とこれら同
   心円の２つの半径とにより囲まれた領域を光を透過しな
   い単位領域とし、この単位領域の１個または複数個の占
   めるパターンの面積の割合により透過率が決定される構
   造に形成され、上記光量分布調整フィルターの中心を中
   心として回転駆動されることを特徴とするカラー陰極線
   管の蛍光面形成用露光装置。
4. 【請求項４】 複数個の単位領域の占めるパターンが半
   径方向に連続かつ段階的に変化していることを特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載のカラー陰極線管の
   蛍光面形成用露光装置。
5. 【請求項５】 複数個の単位領域の占めるパターンが２
   個以上のパターンに分割形成されていることを特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載のカラー陰極線管の
   蛍光面形成用露光装置。
6. 【請求項６】 複数個の単位領域の占めるパターンが上
   記単位領域を１単位とする複数個のパターンに分割形成
   されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   に記載のカラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置。