JPH10255656A - カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドットマトリックス型蛍光面の光吸収層のマ
トリックスホールおよびドット状蛍光体層の形状を良好
することができるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置
を構成することを目的とする。 【解決手段】 カラー受像管の蛍光面形成用露光装置
を、長光源21を光源とする光源部22と、傾斜平面をもつ
傾斜レンズ30と、この傾斜レンズを光源部から放射され
る光23の光軸Zlを中心軸として回転させる第１の駆動部
40と、長光源の中心軸と直交する方向を長軸とする楕円
状軌道に沿って回動させる第２の駆動部41とを備える構
造とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、写真印刷法によ
り蛍光面が形成されるカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図５に示すよう
に、パネル１およびファンネル２からなる外囲器を有
し、そのパネル１の内面に３色蛍光体層からなる蛍光面
３が設けられ、この蛍光面３に対向して、その内側にシ
ャドウマスク４が配置されている。一方、ファンネル２
のネック５内に３電子ビーム６B ，６G ，６R を放出す
る電子銃７が配設されている。そして、この電子銃７か
ら放出される３電子ビーム６B ，６G ，６R をファンネ
ル２の外側に装着された偏向装置８により偏向し、シャ
ドウマスク４を介して蛍光面３を水平、垂直走査するこ
とにより、カラー画像を表示する構造に形成されてい
る。

【０００３】このようなカラー受像管において、電子銃
７から放出される３電子ビーム６B，６G ，６R を、同
一平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビー
ムからなる一列配置の３電子ビームとしたインライン型
カラー受像管が、現在、カラー受像管の主流となってい
る。

【０００４】通常のインライン型カラー受像管では、上
記シャドウマスク４の開孔は、ブリッジを介して一列状
に配置されたほぼ矩形状の開孔からなり、この開孔に対
応して、蛍光面３の３色蛍光体層は、ストライプ状に形
成されている。しかし情報機器のディスプレイ管として
用いられる高精細インライン型カラー受像管は、シャド
ウマスク４の開孔を円形とし、この開孔に対応して、３
色蛍光体層は、図６に示すように、マトリックスホール
を円形とするマトリックス状光吸収層１０のマトリック
スホールに、ドット状の３色蛍光体層１１B ，１１G ，
１１R が埋込まれるように設けられたドットマトリック
ス型蛍光面３となっている。

【０００５】従来より上記カラー受像管の蛍光面は、シ
ャドウマスク４をフォトマスクとする写真印刷法により
形成され、特に上記ドットマトリックス型蛍光面３につ
いては、図７（ａ）ないし（ｇ）に示すように、最初に
光吸収層１０を形成し、ついで３色蛍光体層１１B ，１
１G ，１１R を形成する方法で形成されている。

【０００６】すなわち、図７（ａ）に示したように、ま
ずパネル１の内面に感光剤を塗布してフォトレジスト１
３を形成する。ついでこのフォトレジスト１３の形成さ
れたパネル１にシャドウマスク４を装着し、後述する露
光装置を用いて露光し、フォトレジスト１３にシャドウ
マスク４の円形開孔１４に対応するパターンを焼付け
る。つぎにこのパターンの焼付けられたフォトレジスト
１３を現像して未感光部を除去し、同（ｂ）に示すよう
に、ドット状のパターンからなるレジスト１５を形成す
る。つぎにそのレジスト１５の形成されたパネル１の内
面に光吸収塗料を塗布して、同（ｃ）に示すように、光
吸収塗料層１６を形成する。つぎに上記レジスト１５上
に塗布された光吸収塗料層１６をレジスト膜１５ととも
に剥離して、同（ｄ）に示すように、蛍光体ドットを形
成する位置をマトリックスホール１７とするマトリック
ス状光吸収層１０を形成する。

【０００７】その後、上記光吸収層１０の形成されたパ
ネル１の内面に、蛍光体と感光剤を主成分とする感光性
蛍光体スラリを塗布して、同（ｅ）に示すように、感光
性蛍光体スラリ層１８を形成する。そしてこの感光性蛍
光体スラリ層１８をシャドウマスク４を装着し、後述す
る露光装置を用いて露光し、感光性蛍光体スラリ層１８
にシャドウマスク４の円形開孔１４に対応するパターン
を焼付ける。つぎにこのパターンの焼付けられた感光性
蛍光体スラリ層１８を現像して未感光部を除去し、同
（ｆ）に示すように、光吸収層１０の所定のマトリック
スホールにドット状の蛍光体層、たとえば青蛍光体層１
１B を形成する。この青蛍光体層１１B の形成工程を、
緑蛍光体および赤蛍光体について繰返し、同（ｇ）に示
すように、光吸収層１０の所定のマトリックスホールに
ドット状の緑蛍光体層１１G および赤蛍光体層１１R を
形成する。

【０００８】上記フォトレジスト１３および感光性蛍光
体スラリ層１８などにシャドウマスク４の円形開孔１４
に対応するパターンを焼付けるときに用いられる露光装
置は、図８に示すように、パネル１を位置決め支持する
支持台２０の下部に、この支持台２０に位置決め支持さ
れたパネル１に対して、カラー受像管の電子銃から放出
される一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可
能に直管状の超高圧水銀ランプなどの長光源２１を光源
とする光源部２２が設けられ、この光源部２２上に、光
源部２２から放射される光２３の軌道を電子銃から放出
される電子ビームの軌道に近似させる一対のサイドビー
ム対応のΔＳ補正レンズ２４、偏向中心の移動にともな
う補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ２５、パネル１の
内面に対する光量分布を補正する補正フィルター２６な
どが配置されている。これら補正レンズ２４，２５およ
び補正フィルター２６は、光源部２２との相対位置を保
ったまま、光源部２２とともに移動される。

【０００９】このような露光装置によりパネル１の内面
に形成されたフォトレジストや感光性蛍光体スラリ層な
どの感光性蛍光面形成部材層２７にシャドウマスク４の
開孔に対応するパターンを焼付けて、マトリックス状光
吸収層やドット状３色蛍光体層を形成する場合、その光
吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体層の形状は、
光源の形状、光源部２２からの光量、各光学部材の配
置、露光時間などにより支配される。特に蛍光面がドッ
トマトリックス型であるカラー受像管においては、電子
ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度を調
整しやすくするためには、光吸収層のマトリックスホー
ルを真円にすることが望まれる。

【００１０】そのため、上記露光装置では、直管状の超
高圧水銀ランプなどの長光源２１に接近して、スリット
状開口２８を有するカバー２９が設けられ、このカバー
２９に設けられたスリット状開口２８により、実質的に
光源の大きさを規制している。

【００１１】また、光源部２２と補正レンズ２３との間
に、光源部２２から放射される光２９の透過方向の厚み
に偏りのある傾斜平面をもち、シャドウマスク４の開孔
を介してパネル１内面に形成された感光性蛍光面形成部
材層２７に投影される光源像を時間的に移動させる補正
光学系３０が配置されている。この補正光学系３０は、
上記補正レンズ２４，２５および補正フィルター２６と
ともに、光源部２２との相対位置を保ったまま移動さ
れ、かつ駆動装置３１により光源部２２からカバー２９
のスリット状開口２８を介して放射される光２３の光軸
Ｚl を中心として回転駆動される。

【００１２】このように傾斜平面をもつ補正光学系３０
を光源部２２から放射される光２３の光軸Ｚl を中心と
して回転すると、図９に補正光学系３０を１８０°回転
した場合について示したように、シャドウマスク４の任
意開孔１４を通って感光性蛍光面形成部材層２７に達す
る光２３は、補正光学系３０の厚い部分を通るときは実
線で示した軌道を通るが、薄い部分を通るときは破線で
示した軌道を通り、感光性蛍光面形成部材層２７に投影
される光源像が、補正光学系３０の回転にともなって、
時間的に回転移動する。その移動によるずれ量は、パネ
ルの周辺部ほど大きくなる。したがってこの補正光学系
３０の回転により、マトリックス状光吸収層のマトリッ
クスホールを真円とし、かつ蛍光面周辺部のマトリック
スホールを大きくすることができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、情報機
器のディスプレイ管として用いられる高精細インライン
型カラー受像管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の
円形マトリックスホールにドット状３色蛍光体層が埋込
まれるように設けられたドットマトリックス型蛍光面と
なっている。このドットマトリックス型蛍光面は、シャ
ドウマスクをフォトマスクとする写真印刷法により、最
初に光吸収層を形成し、ついで３色蛍光体層を形成する
方法で形成される。

【００１４】したがって上記カラー受像管において、電
子ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度を
調整しやすくするためには、光吸収層のマトリックスホ
ールを真円にすることが望まれる。そのためには、パネ
ルの内面に形成されたフォトレジストにシャドウマスク
の開孔に対応するパターンの焼付けに用いられる露光装
置の長光源からなる光源の大きさを実質的に規制するカ
バーのスリット状開口の幅（長光源長手方向の開口径）
を長光源の管径とほぼ等しくする必要がある。しかしこ
のようにカバーのスリット状開口の幅を長光源の管径と
ほぼ等しくすると、大型カラー受像管のように、光源か
らパネル内面までの距離が大きくなる場合には、フォト
レジストにシャドウマスクの開孔に対応するパターンの
焼付ける露光光量が不足する。

【００１５】この露光光量の不足を解消するためには、
光源の入力電圧を高くすればよいが、その入力電圧には
限界があり、かつ光源の寿命が短くなる。また露光時間
を長くすることでも、露光光量の不足を解消できるが、
このような方法は、生産効率を低下させる。またカバー
のスリット状開口の幅を広くすることでも、露光光量の
不足を解消できるが、図１０に示すように、スリット状
開口２８の幅ｗを広くすると、シャドウマスクの開孔を
介してパネル内面に投影される光源像、およびこの光源
像に基づいて形成される光吸収層のマトリックスホール
が楕円状となり、ランディンク余裕度が小さくなる。

【００１６】また他の方法として、特開平７−２３５２
７１号公報には、スリット状開口の幅を広くし、光源部
を長光源長手方向と直交する方向に振動させる方法が示
されている。しかし光源部を振動させると、光源の中心
位置がずれ、ランディンクがずれるおそれがある。また
形成される光吸収層のマトリックスホールや蛍光体層の
形状が角張るようになる。

【００１７】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、ドットマトリックス型蛍光面の光
吸収層のマトリックスホールやドット状蛍光体層の形状
を良好にすることができるカラー受像管の蛍光面形成用
露光装置を構成することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】

（１） カラー受像管の蛍光面形成用露光装置を、パネ
ルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層にこの感
光性蛍光面形成部材層に対向して配置されたシャドウマ
スクの開孔に対応するパターンを焼付ける光を放射する
長光源を光源とする光源部と、この光源部とシャドウマ
スクとの間に配置され、光源部から感光性蛍光面形成部
材層方向に放射される光の透過方向の厚みに偏りのある
傾斜平面をもつ傾斜レンズと、この傾斜レンズを光源部
から感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸
を中心軸として回転させる第１の駆動部と、傾斜レンズ
を長光源の中心軸と直交する方向を長軸とする楕円状軌
道に沿って回動させる第２の駆動部とを備える構造とし
た。

【００１９】（２） その傾斜レンズの光軸を中心軸と
する回転周期を楕円状軌道に沿った回動周期よりも短く
した。

【００２０】（３） カラー受像管の蛍光面形成用露光
装置を、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部
材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配置され
たシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける
光を放射する長光源を光源とする光源部と、この光源部
と上記シャドウマスクとの間に配置され、上記光源部か
ら上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の透
過方向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ傾斜レンズ
と、この傾斜レンズを光源部から感光性蛍光面形成部材
層方向に放射される光の光軸を中心軸として回転させる
第１の駆動部と、傾斜レンズを長光源の中心軸と直交す
る方向に振動させる第２の駆動部とを備える構造とし
た。

【００２１】（４） その傾斜レンズの光軸を中心軸と
する回転周期を振動周期よりも短くした。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。

【００２３】図１にその一形態であるインライン型カラ
ー受像管のドットマトリックス型蛍光面の形成に用いら
れる露光装置を示す。この露光装置は、パネル１を位置
決め支持する支持台２０を有し、この支持台２０の下部
に、支持台２０に位置決め支持されたパネル１に対し
て、カラー受像管の電子銃から放出される同一水平面上
を通るセンタービームおよび一対のサイドビームからな
る一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に
光源部２２が設けられている。この光源部２２は、直管
状の超高圧水銀ランプなどの長光源２１を光源とし、こ
の長光源２１がその中心軸（管軸）を水平方向として配
置されている。さらにこの長光源２１に接近して、実質
的に光源の大きさを規制するスリット状開口２８が設け
られたカバー２９が配置されている。また、この光源部
２２上に、後述する傾斜レンズ３０、上記長光源２１か
らカバー２９のスリット状開口２８を介して放射される
光２３の軌道を、カラー受像管の電子銃から放出される
電子ビームの軌道に近似させる一対のサイドビーム対応
のΔＳ補正レンズ２４、偏向中心の移動にともなう補正
をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ２５、およびパネル１内
面に対する光量分布を補正する補正フィルタ２６が配置
されている。これら傾斜レンズ３０、ΔＳ補正レンズ２
４、γ−ΔＰ補正レンズ２５および補正フィルタ２６
は、図示しない機構により、上記光源部２２との相対位
置を保ったまま、光源部２２とともに移動される。

【００２４】上記傾斜レンズ３０は、長光源２１からカ
バー２９のスリット状開口２８を介して放射される光２
３の透過方向の厚みに偏りがある傾斜平面をもつレンズ
からなる。特にこの実施の形態においては、この傾斜レ
ンズ３０が、第１の駆動装置４０により、上記長光源２
１からカバー２９のスリット状開口２８を介して放射さ
れる光２３の光軸Ｚl を中心として回転駆動され、かつ
第２の駆動装置４１により、長光源２１の中心軸（水平
方向）と直交する垂直方向を長軸とする楕円状軌道に沿
って回動駆動されるものとなっている。その光軸Ｚl を
中心とする傾斜レンズ３０の回転は、上記垂直方向を長
軸とする楕円状軌道の回動周期よりも短い周期で駆動さ
れる。

【００２５】この傾斜レンズ３０の駆動装置として、図
１（ｂ）には、リニア駆動機構４２X ，４２Y により水
平方向（Ｈ軸方向）および垂直方向（Ｖ軸方向）に独立
に移動可能なＸ−Ｙテーブル４３を第２の駆動装置４１
とし、このＸ−Ｙテーブル上に傾斜レンズ３０を回転自
在に支持し、この傾斜レンズ３０を歯車機構４４からな
る第１の駆動装置４０により回転駆動するものを示し
た。このような駆動装置によれば、制御装置によりその
ＸテーブルおよびＹテーブルの駆動を適宜制御すること
により、第１の駆動装置の駆動により回転する傾斜レン
ズ３０を、長光源の中心軸と直交する垂直方向を長軸と
する楕円状軌道に沿って回動させることができる。

【００２６】上記のように傾斜レンズ３０を長光源２１
からカバー２９のスリット状開口２８を介して放射され
る光２３の光軸Ｚl を中心として回転させ、かつ長光源
２１の中心軸と直交する垂直方向を長軸とする楕円状軌
道に沿って回動させると、実質的に光源の大きさを規制
するカバー２９のスリット状開口２８の幅を広くして、
放射される光２３の光量を多くしても、パネル１の内面
に形成されたフォトレジストに焼付けられるシャドウマ
スク４の開孔に対応するパターンを改善でき、形成され
るマトリックス状光吸収層のマトリックスホールを真円
にすることができる。また光量の増加により、露光時間
を短くすることができる。

【００２７】図２（ａ）ないし（ｄ）に長光源の中心軸
と直交する垂直方向を長軸とする楕円状軌道に沿って回
動させた傾斜レンズの位置とシャドウマスクの任意開孔
を通ってパネルの内面に到達する光の光点位置との関係
を示す。

【００２８】図２（ａ）は、傾斜レンズ３０を回動させ
ず、その回転中心が光軸Ｚl 上に位置する場合（従来の
傾斜レンズの配置位置）を破線で示し、傾斜レンズ３０
を楕円状軌道に沿って回動させ、その回転中心が垂直軸
（Ｖ軸）上に位置するときを実線で示した図である。こ
の図２（ａ）に示したように、傾斜レンズ３０の回動に
ともなって、その回転中心が垂直方向に移動する場合
は、その垂直方向移動距離Ｓv が後述する水平方向移動
距離ＳH よりも相対的に大きくなり、このとき、傾斜レ
ンズ３０の厚い部分が光軸Ｚl に近い位置になるとする
と、シャドウマスク４の任意開孔１４を通ってパネル１
の内面に到達する光２３は、傾斜レンズ３０を回動させ
ない場合の到達点４５a から点４５b へと、垂直方向外
側にシフトする。また傾斜レンズ３０がこの図２（ａ）
の状態から１８０°回動し、図２（ｂ）に示したよう
に、傾斜レンズ３０の回転中心が反対方向にＳV 移動
し、傾斜レンズ３０の薄い部分が光軸Ｚl に近い位置に
なると、シャドウマスク４の任意開孔１４を通ってパネ
ル１の内面に到達する光２３は、点４５a から点４５b
と、垂直方向内側にシフトする。

【００２９】さらに、図２（ｃ）に示したように、傾斜
レンズ３０の回転中心が水平軸上に移動する場合は、傾
斜レンズ３０の回転中心の水平方向移動距離ＳH が上記
垂直方向移動距離Ｓv よりも相対的に小さくなり、この
とき、傾斜レンズ３０の厚い部分が光軸Ｚl に近い位置
になると、シャドウマスク４の任意開孔１４を通ってパ
ネル１の内面に到達する光２３は、点４５a から点４５
b と、水平方向外側にシフトする。また傾斜レンズ３０
がこの図２（ｃ）の状態から１８０°回動し、図２
（ｄ）に示したように、傾斜レンズ３０の回転中心が反
対方向にＳV 移動し、傾斜レンズ３０の薄い部分が光軸
Ｚl に近い位置になると、シャドウマスク４の任意開孔
１４を通ってパネル１の内面に到達する光２３は、点４
５a から点４５b へと、水平方向内側にシフトする。こ
の傾斜レンズ３０の回転中心が水平軸上に位置するとき
の光２３のパネル１内面の到達点４５b のシフト量は、 ＳH ＜ＳV の関係から、傾斜レンズ３０の回転中心が垂直軸上に位
置するときのそれよりも小さい。

【００３０】その結果、上記のように傾斜レンズ３０を
長光源２１からカバー２９のスリット状開口２８を介し
て放射される光２３の光軸Ｚl を中心として回転させ、
かつ長光源２１の中心軸と直交する垂直方向を長軸とす
る楕円状軌道に沿って回動させると、図３（ａ）に、傾
斜レンズを回動させず、その回転中心が光軸Ｚl 上に位
置する場合を破線で示し、傾斜レンズを楕円状軌道に沿
って回動させ、その回転中心が水平軸上および垂直軸上
に位置するときを実線で示したように、シャドウマスク
の開孔を通ってパネルの内面に投影される光源像４６
は、水平、垂直方向にシフトし、そのシフト量は、垂直
方向よりも水平方向の方が小さく、同（ｂ）に示すよう
に、シャドウマスクの開孔に対応するパターン４７は、
垂直方向を長軸とする楕円状となる。

【００３１】したがって図１０に示したように、カバー
２９のスリット状開口２８の幅ｗを広くして、長光源か
ら放射される光の光量を多くしても、シャドウマスクの
開孔を通ってパネル内面に投影される水平方向を長軸と
する楕円状の光源像を補正して真円とすることができ
る。この場合、長光源２１の光軸Ｚl を中心とする傾斜
レンズ３０の回転を楕円状軌道の回動周期よりも短い周
期で回転することにより、限られた露光時間内に、その
光源像の形状を良好にすることができ、結果として、マ
トリックス状光吸収層のマトリックスホールを真円にす
ることができる。

【００３２】なお、上記実施の形態では、傾斜レンズを
長光源の中心軸と直交する垂直方向を長軸とする楕円状
軌道に沿って回動させたが、この楕円状軌道に沿った回
動の代わりに、長光源の中心軸と直交する垂直方向に振
動させてもよい。

【００３３】この場合、パネルの内面に投影される光源
像は、図４に傾斜レンズを回動せず、その回転中心が光
軸上に位置する場合を破線で示し、傾斜レンズを振動さ
せた場合を実線で示したように、シャドウマスクの開孔
を通ってパネルの内面に投影される光源像を垂直方向に
シフトさせることができ、上記実施の形態とほぼ同様の
効果が得られる。

【００３４】なお、上記実施の形態では、マトリックス
状光吸収層のマトリックスホールを形成する場合につい
て説明したが、この発明は、ドット状３色蛍光体層を形
成する場合に適用して、３色蛍光体層の形状を真円にす
ることができる。

【００３５】

【発明の効果】カラー受像管の蛍光面形成用露光装置
を、長光源を光源とする光源部と、この光源部とシャド
ウマスクとの間に配置された傾斜レンズと、この傾斜レ
ンズを光源部から放射される光の光軸を中心軸として回
転させる第１の駆動部と、長光源の中心軸と直交する方
向を長軸とする楕円状軌道に沿って回動または長光源の
中心軸と直交する方向に振動させる第２の駆動部とを備
える構造とし、また、その傾斜レンズの光軸を中心軸と
する回転周期を楕円状軌道に沿った回動周期または振動
周期よりも短くすると、実質的に光源の大きさを規制す
るカバーのスリット状開口の幅を広くして、長光源から
放射される光量を多くしても、パネルの内面に形成され
た感光性蛍光面形成部材層に焼付けられるシャドウマス
クの開孔に対応するパターンを改善でき、形成されるマ
トリックス状光吸収層のマトリックスホールやドット状
３色蛍光体層の形状を真円にすることができる。また光
量の増加により露光時間を短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）はこの発明の実施の一形態であるカ
ラー受像管の蛍光面形成用露光装置の全体の構成を示す
図、図１（ｂ）はその傾斜レンズの駆動装置の構成を示
す図である。

【図２】図２（ａ）ないし（ｄ）はそれぞれ上記傾斜レ
ンズの回動とパネル内面に到達する光の光点の関係を説
明するための図である。

【図３】図３（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記傾斜レ
ンズの回動によりシャドウマスクの開孔を介してパネル
内面に投影される光源像を説明するための図である。

【図４】上記傾斜レンズを振動させた場合にシャドウマ
スクの開孔を介してパネル内面に投影される光源像を説
明するための図である。

【図５】カラー受像管の構成を示す図である。

【図６】図６（ａ）はカラー受像管のドットマトリック
ス型蛍光面の構成を示す平面図、図６（ｂ）はその断面
図である。

【図７】図７（ａ）および（ｇ）はそれぞれ上記ドット
マトリックス型蛍光面の形成方法を説明するための図で
ある。

【図８】上記蛍光面の形成に用いられる従来の露光装置
の構成を示す図である。

【図９】上記従来の露光装置の傾斜レンズの回転とパネ
ル内面に到達する光の光点の関係を説明するための図で
ある。

【図１０】図１０（ａ）は光源部の構成を示す図、図１
０（ｂ）は光源部を構成するカバーのスリット状開口の
幅を広くした場合にシャドウマスクの開孔を介してパネ
ル内面に投影される光源像を説明するための図である。

【符号の説明】

１…パネル ４…シャドウマスク ２１…長光源 ２２…光源部 ２３…光 ２７…感光性蛍光面形成部材層 ２８…スリット状開口 ２９…カバー ３０…傾斜レンズ ４０…第１の駆動装置 ４１…第２の駆動装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配
   置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
   付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、 この光源部と上記シャドウマスクとの間に配置され、上
   記光源部から上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射さ
   れる光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ傾
   斜レンズと、 この傾斜レンズを上記光源部から感光性蛍光面形成部材
   層方向に放射される光の光軸を中心軸として回転させる
   第１の駆動部と、 上記傾斜レンズを上記長光源の中心軸と直交する方向を
   長軸とする楕円状軌道に沿って回動させる第２の駆動部
   とを具備することを特徴とするカラー受像管の蛍光面形
   成用露光装置。
2. 【請求項２】 傾斜レンズは楕円状軌道に沿った回動周
   期よりも光軸を中心軸とする回転周期の方が短いことを
   特徴とする請求項１記載のカラー受像管の蛍光面形成用
   露光装置。
3. 【請求項３】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配
   置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
   付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、 この光源部と上記シャドウマスクとの間に配置され、上
   記光源部から上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射さ
   れる光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ傾
   斜レンズと、 この傾斜レンズを上記光源部から感光性蛍光面形成部材
   層方向に放射される光の光軸を中心軸として回転させる
   第１の駆動部と、 上記傾斜レンズを上記長光源の中心軸と直交する方向に
   振動させる第２の駆動部とを具備することを特徴とする
   カラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
4. 【請求項４】 傾斜レンズは振動周期よりも光軸を中心
   軸とする回転周期の方が短いことを特徴とする請求項３
   記載のカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。