KR0137900B1

KR0137900B1 - 칼라 수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치

Info

Publication number: KR0137900B1
Application number: KR1019940025419A
Authority: KR
Inventors: 고우이치 소네다
Original assignee: 사토 후미오; 가부시키가이샤 도시바
Priority date: 1993-09-30
Filing date: 1994-09-29
Publication date: 1998-04-27
Also published as: JP3280774B2; DE69401559D1; EP0646940A1; TW286411B; JPH07105843A; DE69401559T2; EP0646940B1; MY111421A; US5570145A; KR950009824A

Abstract

본발명은 칼라수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치에 관한 것으로 특히 형광체도트간에 위치하는 블랙매트릭스의 홀부 현상을 원형 형상으로 하기 위한 형성방법 및 노광장치에 관한 것으로, 노광광원(3),불연속렌즈(20),보정렌즈(4)들이 지지대(15)에 얹어 놓여져 설치되어 있으며 이들 광축은 광축(Z)인 패널의 중심축과 일치하고, 불연속렌즈(20)는 렌즈유지틀에 의해 유지되고 또한 회전기구에 의해 관축(Z)을 중심으로 회전가능하게 되어 있으며 불연속렌즈는 두께가 다른 영역으로 형성되고 회전함으로서 광의 도달위치를 약간 벗어나면서 노광시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

칼라 수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치

제 1도는 본발명의 한 실시예에 따른 노광장치를 나타낸 단면도.

제 2도는 본발명의 한 실시예에 따른 노광장치를 나타낸 불연속렌즈의 사시도.

제 3도는 상기 제 2도의 불연속렌즈를 통과하는 광의 광로를 개략적으로 나타낸 도면.

제 4(A)도는 상기 실시예에 따른 노광장치를 사용한 본발명의 노광방법을 나타낸 것으로 불연속렌즈의 제 1영역을 통과한 광의 궤도를 나타낸 모식도.

제 4(B)도는 상기 제 4(A)도의 제 1영역을 통과한 광에 의한 레지스트막상의 조사영역을 나타낸 도면.

제 5(A)도는 상기 실시예에 따른 노광장치를 사용한 본발명의 노광방법을 나타낸 것으로, 불연속렌즈의 제2영역을 통과한 광의 궤도를 나타낸 모식도.

제 5(B)도는 상기 제 5(A)도의 제 2영역을 통과한 광에 의한 레지스트막상의 조사영역을 나타낸 도면.

제 6도는 레지스트막상에 있어서 광의 조사영역의 변화를 나타낸 도면.

제 7도는 불연속렌즈의 제1변형예를 나타낸 사시도.

제 8도는 불연속렌즈의 제2변형예를 나타낸 사시도.

제 9도는 불연속렌즈의 제3변형예를 나타낸 사시도.

제 10도는 불연속렌즈의 제4변형예를 나타낸 사시도.

제 11도는 불연속렌즈의 제5변형예를 나타낸 사시도.

제 12도는 불연속렌즈의 제6변형예를 나타낸 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 페이스 패널, 2 : 섀도우마스크,

3 : 노광광원, 4;보정렌즈,

10 : 지지프레임, 11 : 패널탑재판,

12 : 열림구멍, 14 : 원형구멍,

15 : 지지대, 16 : 구동모터,

18 : 구동풀리, 20 : 불연속렌즈,

21 : 제1영역, 22 : 제2영역,

23 : 구동벨트, 24 : 렌즈프레임,

25 : 경계부, 26 : 레지스트막,

30 : 홀부, 32 : 블랙매트릭스,

33 : 형광체 도트, 34 : 형광면

본발명은 칼라수상광의 형광면의 형성방법 및 노광장치에 관한 것으로, 특히 형광체도트사이에 위치하는 블랙매트릭스의 형성방법 및 노광장치에 관한 것이다.

칼라수상관의 형광면은 페이스패널의 내면에 도포된 3색의 발광색을 가지는 형광체도트와, 이 형광체도트간에 위치한 발광에 관여하지 않는 부분을 채우는 흑색물질(블랙매트릭스)에 의해 구성되고 있다.

통상 이 형광면의 형성공정은 주로 블랙메트릭스 형성공정과 형광체도트를 형성공정으로 크게 구별되고, 종래부터 포토레지스트를 사용한 인쇄법이 채용되고 있다.

즉, 블랙메트릭스를 형성할 때에는 우선 자외선에 의해 경화되는 감광제를 포함하는 폴리비닐알코올(PVA)을 패널내면에 도표해서 포토레지스트막을 형성된다. 다음으로 노광광원을 각 색의 전자비임 방사위치에 대응하는 위치에 세트하고 패널내면에 대향해서 배치된 섀도우마스크를 지나 광원으로 부터의 빛을 포토레지스트막을 조사한다. 이렇게 하여 포토레지스트막을 중섀도우마스크의 열림구멍에 대응한 소정의 부분 즉 형광체도트가 위치하는 부분을 광원으로부터의 빛에 의해 노광한다. 상기 노광공정후 포토레지스트막의 노광되지 않은 부분을 제거해서 레지스트패턴을 제작한다. 이어서 레지스크패턴상에 흑색물질을 도포하고 상기 패널내면에 산화제를 주입해서 레지스트를 분해하여 여분의 흑색물질과 함께 레지스트를 고압분사수로 현상 제거한다. 이렇게 하여 형광체도트가 형성되어야 할 위치에 홀(hole)부를 가지는 블랙메트릭스가 형성된다.

한편 형광체도트를 형성하는 경우 상기 브랭크매트릭스를 설치한 패널내면에 감광성 PVA액에 형광체 입자를 분산시킨 슬러리(Slurry)를 도포하고 새도우마스크를 사용해서 상기와 같은 방법으로 블랙메트릭스의 홀부에 대응하는 부분만을 노광.감광시켜 형광체를 부착시키고 다른 부분은 고압분사수로 현상제거한다. 상기 공정을 각 색의 형광체마다 반복함으로써 형광체도트가 형성된다.

상기한 노광공정의 실시에 사용되는 노광장치는 일반적으로 블랙메트릭스 및 형광체도트가 형성되는 패널과 패널의 내측에 배치되는 섀도우마스크를 지지하는 프레임과 섀도우마스크를 통해 패널내면에 광을 조사하는 노광광원과 노광광원과 섀도우마스크와의 사이에 설치되고 노광광원으로부터 방사된 빛의 궤도를 전자비임의 궤도에 근사시키기 위한 보정렌즈를 구비하고 있다.

노광광원으로부터의 광선을 섀도우마스크의 원형의 열림구멍에 의해 규제되고 포토레지스트막의 도포된 패널내면에 거의 원형의 노광부를 형성하여 상기한 방법으로 블랙매트릭스가 형성된다. 블랙메트릭스의 홀부는 패널을 조사하는 노광광선묶음의 단면형상과 거의 동일하다.

그러나 섀도우마스크의 열림구성의 피치가 작은 고정밀의 디스플레이용 칼라수상관의 경우 섀도우마스크 (2)의 판두께는 칼라수상관의 제조상 섀도우마스크의 강도를 유지하기 위해 두꺼운 편이 바람직하다. 이 때 섀도우마스크의 각 열림구멍 중 전자총측의 표면에서 개구한 소구멍은 소정의 투과율을 가지도록 결정한다. 그러나 섀도우마스크의 형광면측의 표면으로 개구한 대구멍은 섀도우마스크의 강도유지를 위해 충분히 크게 결정할 수 없는 경우가 있고 형광면 주변부에 위치하는 블랙매트릭스를 형성할 때 노광광선은 대구멍과 소구멍과의 경계부에 의해 구성된 열림구멍부에서 규젤될 뿐만 아니라 대구멍과 소구멍으로 규제되게 된다.

그 결과 블랙매트릭스의 홀부는 그 일부가 손상되어 원형이 아닌 타원형이된다. 블랙매트릭스의 홀부의 형광체도트의 형상이 되기 때문에 타원형 홀부에 의해 형광체도트에 결손부가 발생하고 칼라수상관의 발광출력이 저하한다.

이들이 문제를 해결하기 위해 섀도우마스크의 열림구멍형상을 방사방향으로 뻗어있는 타원형으로 개선하거나 포토레지스트막의 노광시에 광원위치를 관측방향을 따라 이동시키는 방법(특개소 62-17925)이 제공되고 있다.

그러나 섀도우마스크의 열림구멍형상을 방사방향으로 뻗어있는 타원형으로 하는 방법에서는 섀도우마스크의 열림구멍과 열림구멍의 사이에 부분이 감소하기 때문에 섀도우마스크강도가 저하한다는 문제가 있다. 또한 칼라수상관의 노광시에 노광위치를 관측을따라 이동시키는 방법에서는 노광장치의 구조가 복잡하게 되고 특히 회전하는 광원을 이용하는 경우에는 보다 한층 더 장치가 복잡해져서 조립정밀도의 저하를 야기시키고 칼라수상관의 품질을 저하시키는 요인이 된다.

본발명은 상기 문제점을 감안해서 만들어진 것으로 그 목적은 칼라수상관의 품질을 저하시키지 않으며 형광면주변부에 있어서 발광출력이 저하하지 않고 형광면 중앙에서 떨어지지 않는 휘도를 얻을 수 있는 칼라수상관의 형광면을 용이하게 제조할 수 있는 방법 및 노광장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본발명에 관련된 제조방법은 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 레지스트막을 형성하는 공정과, 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 상기 레지스트막에 광을 조사하고 상기 열림구멍을 통과한 광에 의해 레지스크막의 형광체도트가 형성되는 부위를 노광하는 공정을 구비하고 상기 노광공정은 노광광원으로부터 상기 섀도우마스크를 향해 광을 조사하는 공정과 상기 광원과 섀도우마스크와의 사이에 설치되고 상기 광원으로부터 광을 각각 서로 다른 광로를 통해 상기 섀도우마스크로 도입하는 복수의 영역을 가지는 불연속렌즈를 상기 광원의 광축의 둘레에 회전시키고 상기 섀도우마스크의 열림구멍을 통과하는 광의 궤도를 2단계 이상으로 변화시키는 공정을 가지고 있다.

또한 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광시키는 본발명에 따른 노광장치는 상기 페이스패널의 축과 동축의 광축을 가지고 상기 섀도우마스크를 통해 상기 페이스패널의 내면에 광을 조사하는 노광광원과 상기 노광광원과 섀도우마스크와의 사이에 상기 광축의 둘레에서 회전이 자유롭게 설치되어 있음과 동시에 회전방향으로 늘어서 설치되고 상기 광원으로부터의 광을 각각 서로 다른 광로를 통해 상기 섀도우마스크를 도입하는 복수의 영역을 가지는 불연속렌즈와, 상기 불연속렌즈를 회전시키고 상기 섀도우마스크의 열림구멍을 통과하는 광의 궤도를 2단계 이상으로 변화시키는 구동수단을 구비한다.

본발명에 의하면 복수의 영역을 가지는 불연속렌즈를 회전시키면서 노광시킴으로써 섀도우마스크의 소정의 열림구멍을 통과하는 광의 궤도를 2단계 이상으로 변화시킬 수 있다. 이와 같이 광의 궤도를 변화시키면 섀도우마스크에 대한 광의 입사각이 변화하고 섀도우마스크의 열림구멍을 통과한 광에 의한 타원형상의 조사범위를 조금 벗어나면서 레지스크막을 노광시킬 수 있다. 이와 같이 소정의 섀도우마스크 열림구멍에 대한 타원형상의 조사범위의 집합과 같은 형태로 레지스크막을 노광시킬 수 있고 원형형상의 홀부를 형성하는 것이 가능하게 된다.

(실시 예)

이하 본발명의 실시예에 대해 도면을 참조해서 상세하게 설명한다.

제1도에 나타낸 바와 같이 본발명의 실시예에 관련된 노광장치는 지지프레임(10)과 지지프레임의 상단면상에 부착되어 있음과 동시에 개구(12)를 가지는 패널탑재판(11)을 구비하고 있다. 패널탑재판(11)에는 칼라수상관의 패이스패널(1)이 그 내면이 프레임(10)의 내축을 향하도록 또는 개구(12)를 덮도록 위치결정되어 얹어 놓여져 있다. 페이스패널(1)에는 다수의 원형 열림구멍(14)을 가지는 섀도우마스크(2)가 부착되고 페이스패널의 내면과 대향되어 있다.

지지프레임(10)의 내축에는 패널(1)을 향해 차례로 노광광원(3), 불연속렌즈(20), 보정렌즈(4)가 설치되어 있다. 이들의 광축은 관축인 패널(1)의 중심축(Z)과 일치시키고 있다 .노광광원(3)은 예를 들면 수은 램프로 구성되고 지지대(15)상에 올려져 있다. 불연속렌즈(20)은 지지대(15)상에 중심축(Z)의 둘레로 회전자유롭게 지지되어 있다. 또한 지지대(15)상에는 구동수단으로서의 모터(16)가 올려져 있고 모터의 구동축에 부착된 구동풀리(PULLEY)(18)와 불연속 렌즈(20)는 구동모터(16)에 의해 약 30내지 60 pm의 속도롤 회전된다.

보정렌즈(4)는 렌즈프레임(24)에 의해 지지프레임(10)에 부착되어 있다. 상기 보정렌즈(4)는 노광광원(3)으로부터의 광선을 조립후의 음극선관의 전자비임의 궤도에 대략 일치시키기 위한 것으로 그 구성은 공지의 사항이기 때문에 상세한 설명을 생략한다.

제2도 및 제 3도에 나타낸 바와 같이 불연속렌즈(20)는 중심축(Z)을 중심으로 하여 배열되고 광원으로부터의 광을 각각 서로 다른 광로를 통해 섀도우마스크(2)축으로 보내는 2이상의 영역을 구비하고 있다. 즉 불연속렌즈(20)는 전체로서 원판형상으로 형성되어 있음과 동시에 두꼐(t1)의 반원형상의 제 1영역(21)과 t1보다 얇은 t2의 반원형상의 제 2영역(22)을 가지고 있다. 제 1 및 제 2영역은 광원(3)의 광축(z1)을 포함하는 평면(25)에서 인접하는 구조로 되어 있다.

본 실시예의 불연속렌즈(20)에서는 제 1 및 제 2영역(21,22)은 동일한 제질에 의해 일체로 형성되고 두께가 다른만큼 광원(3)으로부터 각각 제 1 및 제 2영역을 통과한 광에 광로차가 발생한다. 이것에 의해 2개의 다른 광로차를 가지는 불연속렌즈가 된다. 그리고 불연속렌즈(20)는 구동모터(16)에 의해 관축(z)에 일치하는 광원(3)의 광축(Z1)을 중심으로 회전구동된다.

다음으로 상기 구성의 노광장치를 사용한 노광방법에 대해 설명한다.

우선 페이스패널(1)의 내면에 포토레지스트막을 형성한다. 이 공정은 공지의 방법이기 때문에 상세한 설명은 생략한다. 이어서 페이스패널(1)의 내면에 대향해서 섀도우마스크(2)을 부착한 후 페이스패널(1)을 노광장치의 패널탑재대(11)위의 소정위치에 얹어 놓는다.

다음으로 노광장치를 사용해서 포토레지스트막을 노광한다. 이 경우 상기 구성의 노광장치에서는 광원(3)으로부터의 광은 회전하는 불연속렌즈(20), 보정렌즈(4), 섀도우마스크(2)를 통과한 후 패널(1)의 내면에 도달하지만 이 때 불연속렌즈의 영역에 관계없이 불연속렌즈를 통과한 광은 보정렌즈를 통과하기 때문에 설명을 간략을 위하여 상기 보정렌즈를 대해서는 생각하지 않기로 한다.

상기 조건하에서 불연속렌즈(20)의 작용에 대해 설명하기 위해서 광원(3)으로부터 방사되고 레지스트막의 소정의 위치(A)(형광체도트가 형성되는 부위)를 노광하는 광선의 시간변화에 대해 생각하기로 하자. 먼저 제 4A도에 나타낸 바와 같이 광원(3)으로부터의 광의 불연속렌즈(20)중 두께tl의 제1영역(21)을 통과한 후에 레지스크막 패널(1)내면의 목표점 (A)에 도달하는 경우 제 1영역을 통과할 때의 광의 굴절에 의해 광원위치는 렌지의 두께 t1에 따라 외견상 거리×1만큼 노광되는 패널(1)축에 가깝게 된다. 이때 광선은 섀도우마스크(2)에 대해 θ1의 각도로 입사하게 한다. 그리고 섀도우마스크(2)의 열림구멍(14)을 통과한 광선에 의한 레지스트막(26)상의 제1조사영역(A1)은 제 4B도에 나타낸 바와 같이 타원형상이 된다.

다음으로 불연속렌즈(20)가 회전함으로써 레지스트막(26)상의 목표점(A)을 향한 광선을 제 5A도에 나타낸 바와 같이 불연속렌즈(20)중의 두께t2의 제 2영역(22)을 통과하게 된다. 제 2영역(22)을 통과한 광선은 보정렌즈(40), 섀도우마스크(2)의 개구(14)를 통해 레지스크막(26)상에 도달한다.

섀도우마스크(2)의 열림구멍(14)을 통과한 광선에 의한 레지스트막(26)상의 제2조사영역(A2)으 제5B에 나타낸 바와 같이 타원형상이 된다.

이때 렌즈의 두께t2에 따라 외견상의 광원위치는 거리×2만큼 패널(1)측에 접근하게 된다. 렌즈의 두께 관계가 t1t2이기 때문에 제1 및 제2영역(21,22)이 동일 재질이면 x1x2가 된다. 정확한 광원위치와 섀도우마스크(2)중심과의 거리는 일정하고 섀도우마스크중심에서 목표점까지의 거리도 변화하지 않기 때문에 섀도우마스크로의 입사각θ2는 θ1보다 크게 된다.(θ2θ1) 따라서 목표점(A)을 향한 광선은 불연속렌즈(20)의 제1영역(21)을 통과할 때와 제 2영역(22)을 통과할때 그 광로가 변화한다. 그리고 제 6도에 나타낸 바와 같이 레지스트막(26)상의 제 2조사영역(A2)은 제1조사영역(A1)에 대해 외견상 거리(L)만큼 페이스패널(1)의 중심측으로 이동하게 된다.

불연속렌즈(20)을 소정의 속도로 회전시킴으로써 상기한 광선으로 입사각의 변화가 반복된다. 그리고 불연속렌즈(20)의 각 영역(21,22)의 두께를 조절하고 조사영역(A1,A2)간의 도달이동량(L)을 조정해서 레지스트막(26)을 노광함으로써 종래 타원형상이 되어 있던 형광도트를 형성하기 위한 홀부를 원형에 가깝게 할 수 있다. 그 결과 블랙매트릭스의 홀부를 소정의 크기 및 형상으로 할 수 있다.

상기 서술한 노광방법은 칼라수상관의 전자총으로부터 방사되는 전자비임중관축(z)상에 위치하는 전자비임에 대응한 홀부를 형성하는 경우에 대해 설명한 것이다. 통상은 복수색의 형광체도트를 형성할때에는 각 색의 전자비임에 대응해서 광원의 위치를 조금 벗어나서 노광을 실행한다. 본 실시예의 경우도 관축(z)에서 조금 벗어난 위치에서 방사되는 전자비임에 대응하는 홀부를 형성할 때에는 광원(3)의 위치를 관축에서 벗어나서 레지스트막(26)의 노광을 실행하지만 이때 불연속렌즈(20)도 광원위치에 대응해서 이동하고 광원의 광축(z1)을 중심으로 불연속렌즈가 회전하도록 하고 있다.

또한 본 실시예의 불연속렌즈(20)에서는 광로차를 변화시키는 제 1 및 제 2영역 (21, 22)이 광원(3)의 광축(ZI)을 포함하는 평면(25)에서 인접하는 구조로 되어 있기 때문에 화면전체영역을 고려한 경우에는 평면(25)은 광원의 광축을 중심으로 하는 회전 때문에 인접면으로의 영향을 무시할 수 있도록 된다.

이상 설명한 노광공정후 포토레지스트막의 노광되지 않은 부분을 제거해서 레지스트패턴을 작성한다. 이어서 제 7도에 도시한 바와 같이 공지의 방법에 의해 레지스크막(26)에서 형광체도트가 형성되어야 할 위치에서 홀부(30)를 가지는 블랙메트릭스(32)를 형성하고 각 홀부에 대응하는 색의 형광체도트(33)를 형성함으로써 페이스패널(1)내면에 소정의 형광면(34)이 형성된다. 본 실시예에 의하면 블랙메트릭스의 홀부 형상이 종래의 경우 형광면의 주변부에서 반경 방향과 직교하는 방향으로 장축을 가지고 특히 형광면의 대각주변부에서는 단축/장축비가 88%~95%정도의 타원형상으로 되어 있는 것을 형광면의 전면에서 거의 원형으로 할 수 있도록 되었다. 상기 실시예에서는 실질적으로 1장판으로 두께가 다른 제 1 및 제 2영역을 가지는 불연속렌즈(20)를 사용했지만 불연속렌즈의 형상은 여러 가지로 적용할 수 있다.

제8도에 나타낸 불연속렌즈(20)는 원형의 유리판을 중심으로 분할한 반원 형상의 유리판막으로 구성되고 회전중심이 되는 광원의 광축(z1)을 포함하는 평면이 절단면(43)을 불투명유리로 한 것이다. 이와 같은 구성으로 함으로써 유리판이 존재하는 제 1영역(21)과, 유리판이 존재하지 않은 제 2영역(22)이 광축(Z1)을 포함하는 평면근방에서 인접하고 유리판을 통과하는 경우와 통과하지 않은 경우에 빛의 광로차를 발생한다. 따라서 상기한 실시예와 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

제9도에 나타낸 불연속렌즈(20)는 광원(3)의 광축(Z1)을 포함하는 평면(25)을 끼우고 굴절율(n1)의 제 1영역과 다른 굴절율 (n2)의 제 2영역(22)을 서로 대조시키고 전체가 원판 형상으로 형상되어 있다. 제 1 및 제 2 영역(21, 22)은 다른 굴절율을 가지고 있기 때문에 광원(3)으로부터의 광선은 제 1영역을 통과할 때와 제 2영역을 통과할 때 광로차를 발생한다. 그것에 의해 상술한 실시예와 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

제 10도에 나타낸 불연속렌즈(20)에 의하면 제 2도에 나타낸 불연속렌즈의 경계부(25)를 비스듬히 경사진 형상으로 되어 있다.

또한 제11도에 나타낸 불연속렌즈(20)는 두께t1의 제 1영역(21)과 두께 t2의 제 2영역(22)을 각각 2개씩 교대로 배열한 원판현상으로 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서도 광원(3)으로부터의 광선은 제 1영역을 통과할 때와 제 2영역을 통과할 때 광로차를 발생하고 상기한 실시예와 마찬가지로 작용효과를 얻을 수 있다.

또한 이상 설명한 불연속렌즈는 모두 광로차를 발생시키는 영역이 광원의 광축에 인접한 구조로 되어 있지만 형광면의 주변부에서만 본발명의 효과를 얻고자 할 경우에는 제 12도에 나타낸 바와 같이 구성된 불연속렌즈를 사용해도 좋다. 즉 상기 불연속렌즈(20)에 의하면 제 1영역(21)과 제 2영역(22)의 경계부(25)는 광원의 광축(z1)으로부터 조금 벗어나 위치하고 렌즈중심부 전체가 제 1혹은 제 2영역(제12도에 있어서는 제 1영역(21))으로 구성되어 있다. 단 상기 변형예에서는 경계부(25)중 사선으로 나타낸 부분의 영향에 의해 패널의 중앙부와 주변부로 조도밸런스가 약간 변화할 가능성이 있다. 이와 같은 경우에는 별도로 조도보정필터등으로 대책을 실시하면 좋다.

또한 상기 실시예에서는 2개의 영역을 가지는 불연속렌즈에 의해 섀도우마스크의 열림구멍을 통과하는 광선의 궤도를 2단계로 변화시켰지만 필요에 따라 불연속렌즈의 면적을 늘림으로써 광선의 궤도를 3단계이상으로 변화시켜도 좋다.

또한 상기한 노광방법에 있어서는 블랙매트릭스의 홀부의 형상이 외측이 떨어져 나간 타원형상이 된 것을 원형 형상에 가깝게 한 것에 대해 설명했지만 불 연속헨즈의 영역이 설정의 선택에 의해 홀부의 형상을 관축을 중심으로 하는 방사방향으로 장축을 가지는 타원형상으로도 할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본발명에 의하면 섀도우마스크의 열림구멍에 입사하는 광선의 각도를 변화시키면서 노광할 수 있고 형광면 주변에서의 불랙매트릭스의 홀부를 소정의 크기 형상으로 형성할 수도 있다.

Claims

페이스패널의 내면에 레지스트막을 형성하는 공정과 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 상기 레지스트막에 광을 조사하고 상기 열림구멍을 통과한 광에 의해 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 노광하는 공정으로 이루어지고, 상기 노광공정은 노광광원으로부터 상기 섀도우마스크를 향해 광을 조사하는 공정과, 상기 광원으로부터의 각각 서로 다른 광로를 통해 상기 섀도우마스크로 보내기 위해 상기 광원과 섀도우마스크와의 사이에 설치되는 복수의 영역을 가지는 불연속렌즈를 상기 광원의 광축의 둘레에 회전 시킴으로써 상기 섀도우마스크의 열림구멍을 통과하는 광의 궤도를 2단계이상으로 변화시키는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 형광면의 제조방법.
페이스페널의 축과 동축의 광축을 가지고 섀도우마스크를 통해 상기 페이스패널의 내면에 광을 조사하는 노광광원과 상기 노광광원과 섀도우마스크와의 사이에 상기광축의 둘레로 회전이 자유롭게 설치되어 광원으로부터의 광을 각각 서로 다른 광로를 통해 상기 섀도우마스크로 보내는 복수의 영역을 가지는 불연속렌즈의, 상기 불연속렌즈를 회전시킴으로서 상기 섀도우마스크의 열림구멍을 통과하는 광의 궤도를 2단계 이상으로 변화시키는 구동수단으로 이루어 지는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제2항에 있어서, 상기 불연속렌즈의 상기 영역은 상기 광축방향을 따라 상호 다른 두께를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제3항에 있어서, 상기 불연속렌즈는 원판형상을 갖는 제 1두께를 가지는 반원형상의 제 1영역과 제 1두께와 다른 제 2두께를 가지는 반원형상의 제2영역을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제2항에 있어서, 상기 복수의 영역은 다른 굴절율을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
제 4항에 있어서, 상기 불연속렌즈는 제 1굴절율을 가지는 반원판 형상의 제 1영역과, 제 1굴절율과는 다른 제 2굴절율을 가지는 반원판 형상의 제 2영역을 구비하고 상기 제 1 및 제 2영역은 상기 광축을 포함하는 평면을 중심으로 연결되어 원판을 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제 5항에 있어서, 상기 불연속렌즈가 상기 광축을 포함하는 평면을 가진 소정의 굴절율의 반원 현상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 내면에 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제 2항에 있어서, 상기 불연속렌즈가 상기 복수의 영역간의 경계를 형성하며 광축을 포함하는 평면형상의 경계부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 페이스패널의 도포된 레지스트막의 형광체도트가 형성되는 부위를 다수의 열림구멍을 가지는 섀도우마스크를 통해 노광하는 노광장치.
제 2항에 있어서, 상기 불연속렌즉가 상기 광축과 동일축의 원판형상으로서 상호 인접해서 설치된 제 1 및 제 2영역을 가지며 상기 제 1영역이 상기 광축이 있는 상기 원판의 중심부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.