JPS6054135A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS6054135A JPS6054135A JP16031483A JP16031483A JPS6054135A JP S6054135 A JPS6054135 A JP S6054135A JP 16031483 A JP16031483 A JP 16031483A JP 16031483 A JP16031483 A JP 16031483A JP S6054135 A JPS6054135 A JP S6054135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- face plate
- concave
- exposure
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2273—Auxiliary lenses and filters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、カラーディスプレイ管のけい光面の形成など
に用いる、冷却水を満たしたランプハウス内に発光管を
固定した光源部を回転自在に固定してなる露光装置に関
するものである。
に用いる、冷却水を満たしたランプハウス内に発光管を
固定した光源部を回転自在に固定してなる露光装置に関
するものである。
従来この種の露光装置では、発光管を一部スリット状の
開口部を残しでじゃへい板で覆ったものを水中に設置し
て光源とするため、当該冷却水による屈折に起因して見
掛は上の光源の位置が本来の位置から浮き上がシ、その
ために例えばカラーブラウン管のブラックマトリックス
やけい光膜を形成する際の露光位置精度が低下するとい
う欠点があった。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面となるブラ
ウン管パネル内面に対しほぼその垂直中心軸を回転軸と
して回転させて露光するが、実質的な光源かじゃへい板
の開口部で規定された一方向に長い矩形状を有するため
、特にパネル周辺部では上記浮き上が多量が発光管の長
手方向と垂直方向とで異なり、そのために上記光源の投
影像が光源の回転につれて公転モーションを起こし、そ
の結果、ブラックマトリックス形成時とけい光膜形成時
とで光源寸法を変えるとブラックマトリックスホールと
けい光体ドツトの中心位置にずれが生じてしまう。
開口部を残しでじゃへい板で覆ったものを水中に設置し
て光源とするため、当該冷却水による屈折に起因して見
掛は上の光源の位置が本来の位置から浮き上がシ、その
ために例えばカラーブラウン管のブラックマトリックス
やけい光膜を形成する際の露光位置精度が低下するとい
う欠点があった。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面となるブラ
ウン管パネル内面に対しほぼその垂直中心軸を回転軸と
して回転させて露光するが、実質的な光源かじゃへい板
の開口部で規定された一方向に長い矩形状を有するため
、特にパネル周辺部では上記浮き上が多量が発光管の長
手方向と垂直方向とで異なり、そのために上記光源の投
影像が光源の回転につれて公転モーションを起こし、そ
の結果、ブラックマトリックス形成時とけい光膜形成時
とで光源寸法を変えるとブラックマトリックスホールと
けい光体ドツトの中心位置にずれが生じてしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、被露光面周辺部における光源の浮き上がりによ
る光源投影像の位置ずれを防止して露光精度を向上させ
ることが可能な露光装置を提供することにある。
目的は、被露光面周辺部における光源の浮き上がりによ
る光源投影像の位置ずれを防止して露光精度を向上させ
ることが可能な露光装置を提供することにある。
このような目的を達成するために、本発明は、発光管を
収容する冷却水を満たしたランプハウスの被露光面に面
するフェースプレートを凹レンズ状とし、その凹面の曲
率半径を適当に設定して光源の見掛は上の浮き上がり量
が発光管の長手方向と垂直方向とで等しくなるようにし
たものである。
収容する冷却水を満たしたランプハウスの被露光面に面
するフェースプレートを凹レンズ状とし、その凹面の曲
率半径を適当に設定して光源の見掛は上の浮き上がり量
が発光管の長手方向と垂直方向とで等しくなるようにし
たものである。
ここで凹レンズとは、凹円柱レンズはもちろん、第１図
に示すように一定の半径Ｃ１■＝ｒ工を有する円弧ＡＢ
を当該円弧を含む面上の軸ＸＣ２Ｙを回転軸として、す
なわち円弧ＡＢの中心Ｖから軸ＸＹにおろした垂線とＸ
Ｙとの交点を０２とじてＣ２Ｖ＝ｒ、を回転半径として
回転してできるトリック面を備えたいわゆるトリック・
レンズを含み、その場合は、上記見掛は上の光源の浮き
上がり量の調整は半径ｒ１およびｒ、を調整することで
行なう。以下、実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。
に示すように一定の半径Ｃ１■＝ｒ工を有する円弧ＡＢ
を当該円弧を含む面上の軸ＸＣ２Ｙを回転軸として、す
なわち円弧ＡＢの中心Ｖから軸ＸＹにおろした垂線とＸ
Ｙとの交点を０２とじてＣ２Ｖ＝ｒ、を回転半径として
回転してできるトリック面を備えたいわゆるトリック・
レンズを含み、その場合は、上記見掛は上の光源の浮き
上がり量の調整は半径ｒ１およびｒ、を調整することで
行なう。以下、実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。
第２図は本発明の一実施例を示す露光装置の構造図であ
る。図はカラーブラウン管けい光面の形成に適用した嚇
合を示し、図において装置筐体１の内部下方には超高圧
水銀灯からなる発光管２およびこれを保持固定するラン
プハウス３とが配置されて光源部を構成している。この
光源部は、軸受部４および駆動モータ５を備えた回転台
上に配置され長手方向を含む面内で回転できるようにし
である。他方筺体１の上部には上記光源部に対向してカ
ラーブラウン管を構成するパネル６が被露光面としての
内面側を光源部に対向させた状態でプレート７に位置決
め載置してあり、当該パネル光源部との間には補正レン
ズ８およびフィルタ９が配置しである。またパネル６の
内面にシャドウマスク１０が装着しである。
る。図はカラーブラウン管けい光面の形成に適用した嚇
合を示し、図において装置筐体１の内部下方には超高圧
水銀灯からなる発光管２およびこれを保持固定するラン
プハウス３とが配置されて光源部を構成している。この
光源部は、軸受部４および駆動モータ５を備えた回転台
上に配置され長手方向を含む面内で回転できるようにし
である。他方筺体１の上部には上記光源部に対向してカ
ラーブラウン管を構成するパネル６が被露光面としての
内面側を光源部に対向させた状態でプレート７に位置決
め載置してあり、当該パネル光源部との間には補正レン
ズ８およびフィルタ９が配置しである。またパネル６の
内面にシャドウマスク１０が装着しである。
ここで、発光管２は第３図に示すように発光部２ａおよ
び外管２ｂからなシ、外管２ｂの外周にけしやへい板２
Ｃが取付けである。したがって実質的にはこのしやへい
板２ａの前記パネル６に面した開口部が露光光源となる
。この部分は前記回転台の回転軸！（これはほぼパネル
６の内面の垂直中心軸に一致する）に対してほぼ対称形
である。
び外管２ｂからなシ、外管２ｂの外周にけしやへい板２
Ｃが取付けである。したがって実質的にはこのしやへい
板２ａの前記パネル６に面した開口部が露光光源となる
。この部分は前記回転台の回転軸！（これはほぼパネル
６の内面の垂直中心軸に一致する）に対してほぼ対称形
である。
また、この発光管２のまわシには冷却用の水１１が満た
しである。さらに同図において３ａは第２図のランプハ
ウス３のパネル６に対向する面に設けられた透明なガラ
スからなるフェースプレートである。同図（ａ）は発光
管２の長手方向から見た図、同図（ｂ）はそれに垂直な
方向から見た図であるが、両図から明らかなように、フ
ェースプレー１−３ａは、発光管２の長手方向に軸を有
しかつパネル６の側に凹面を有する平凹円柱レンズ状を
なしている。
しである。さらに同図において３ａは第２図のランプハ
ウス３のパネル６に対向する面に設けられた透明なガラ
スからなるフェースプレートである。同図（ａ）は発光
管２の長手方向から見た図、同図（ｂ）はそれに垂直な
方向から見た図であるが、両図から明らかなように、フ
ェースプレー１−３ａは、発光管２の長手方向に軸を有
しかつパネル６の側に凹面を有する平凹円柱レンズ状を
なしている。
上記構成において、光源部から発した光線は補正レンズ
８およびフィルタ９を通シ、さらにシャドウマスク１０
を通してパネル６の内面に到達する。この場合、第３図
に示したように発光管２を発した光はそれぞれ屈折率の
異なる水１１およびガラス製のフェースプレート３ａを
通して空気中に出て行く。このため、被露光面としての
パネル６の内面上の１点から見た場合、その実質的な露
光光源の中心２Ａ、２Ｂは見掛は上２Ａ’、２Ｂ’の位
置にあることになｐ、ＦＡ、Ｐ’Ｂの浮き上がシを生ず
る。ここで、実質的な露光光源はしやへい板２Ｃで規定
された一方向に長い矩形状を有することから、上記浮き
上がシは見え方向によって、すなわち第３図（ａ）に示
した光線のように長手方向に垂直な方向から見る場合と
同図（ｂ）のように長手方向から見る場合とでその方向
が異なるのみならず大きさも異なり、ＰＢ−ＰＡはＰＢ
の約１０％にもなる。これが、光源の投影像が公転モー
ションを起こし露光精度を低下させる原因となることは
先に述べた通シである。
８およびフィルタ９を通シ、さらにシャドウマスク１０
を通してパネル６の内面に到達する。この場合、第３図
に示したように発光管２を発した光はそれぞれ屈折率の
異なる水１１およびガラス製のフェースプレート３ａを
通して空気中に出て行く。このため、被露光面としての
パネル６の内面上の１点から見た場合、その実質的な露
光光源の中心２Ａ、２Ｂは見掛は上２Ａ’、２Ｂ’の位
置にあることになｐ、ＦＡ、Ｐ’Ｂの浮き上がシを生ず
る。ここで、実質的な露光光源はしやへい板２Ｃで規定
された一方向に長い矩形状を有することから、上記浮き
上がシは見え方向によって、すなわち第３図（ａ）に示
した光線のように長手方向に垂直な方向から見る場合と
同図（ｂ）のように長手方向から見る場合とでその方向
が異なるのみならず大きさも異なり、ＰＢ−ＰＡはＰＢ
の約１０％にもなる。これが、光源の投影像が公転モー
ションを起こし露光精度を低下させる原因となることは
先に述べた通シである。
そこで本実施例では上述したようにフェースプレー）３
ａを平凹円柱レンズ状として上記両方向での浮き上がり
量ＰＡ、ｒｎがほぼ等しくなるようにしである。すなわ
ち、円柱レンズではその軸を含む平面内でレンズに入射
した光線は屈折しない。したがって、このようなレンズ
状のフェースプレート３ａを用いることによｐ１第４図
に示したように発光管２の長手方向に垂直な方向につい
てのみ浮き上がｂｉを、フェースプレート３ａとして２
点鎖線で示したような平板状のガラスを用いた場合のＰ
Ａ’からＰＡに補正し、発光管２の長手方向についての
浮き上がりＪｆｉ Ｐ Ｂに一致さぜることができる。
ａを平凹円柱レンズ状として上記両方向での浮き上がり
量ＰＡ、ｒｎがほぼ等しくなるようにしである。すなわ
ち、円柱レンズではその軸を含む平面内でレンズに入射
した光線は屈折しない。したがって、このようなレンズ
状のフェースプレート３ａを用いることによｐ１第４図
に示したように発光管２の長手方向に垂直な方向につい
てのみ浮き上がｂｉを、フェースプレート３ａとして２
点鎖線で示したような平板状のガラスを用いた場合のＰ
Ａ’からＰＡに補正し、発光管２の長手方向についての
浮き上がりＪｆｉ Ｐ Ｂに一致さぜることができる。
この結果、シャドウマスク１０を通した露光光源の投影
像の真円性が良く々す、形成するけい光膜の品質を向上
さぜることかできる。
像の真円性が良く々す、形成するけい光膜の品質を向上
さぜることかできる。
上述した実施例では、フェースプレー１−３ａを発光管
２の長手方向に軸を有しかつパネル６の側に凹面を有す
る平凹円柱レンズ状に形成したが、発光管２の側、ある
いは両側に凹面を有する円柱レンズを用いても良いこと
は言うまでもない。また、さらにきめ細かい補正を行な
うためには先に述べたようなトリック面、あるいはさら
に他のよシ複雑な曲面を備えたレンズ状に形成しても良
い。
２の長手方向に軸を有しかつパネル６の側に凹面を有す
る平凹円柱レンズ状に形成したが、発光管２の側、ある
いは両側に凹面を有する円柱レンズを用いても良いこと
は言うまでもない。また、さらにきめ細かい補正を行な
うためには先に述べたようなトリック面、あるいはさら
に他のよシ複雑な曲面を備えたレンズ状に形成しても良
い。
以上説明したように、本発明によれば発光管を水中に保
持するランプハウスのフェースプレートを、凹レンズ状
として光源の浮き上がυ量を補正したことにより、光源
部の回転に伴う光源の投影像の位置ずれをなくシ、露光
精度を向上させることができる。したがって、例えばカ
ラーブラウン管の製造においてもけい光体ドツトのずれ
による欠けや１弓、み出しを防止でき、けい光膜の品質
向上をはかることができる。
持するランプハウスのフェースプレートを、凹レンズ状
として光源の浮き上がυ量を補正したことにより、光源
部の回転に伴う光源の投影像の位置ずれをなくシ、露光
精度を向上させることができる。したがって、例えばカ
ラーブラウン管の製造においてもけい光体ドツトのずれ
による欠けや１弓、み出しを防止でき、けい光膜の品質
向上をはかることができる。
第１図は凹レンズ状の定義を説明するための図、第２図
は本発明の一実施例を示す露光装置の構造図、第３図（
ａ）および（＋））は発光部の詳細図、第４図は光源浮
き上７５す量の補正原理を説明するための図である。 ２＃・＠−発光管、２ｃ・・・ｏしゃへい数、３＠・・
・ランプ、３ａＩＩ・・・フェースプレート、６ｅ・・
参パネル（被露光面）、１１＠φ・・冷却水。
は本発明の一実施例を示す露光装置の構造図、第３図（
ａ）および（＋））は発光部の詳細図、第４図は光源浮
き上７５す量の補正原理を説明するための図である。 ２＃・＠−発光管、２ｃ・・・ｏしゃへい数、３＠・・
・ランプ、３ａＩＩ・・・フェースプレート、６ｅ・・
参パネル（被露光面）、１１＠φ・・冷却水。
Claims (1)
- 一部開口部を除きしやへい板で覆った発光管を冷却水を
満たしたランプハウス内に固定してなる光源部を、上記
開口部が上記ランプハウスの透明なフェースプレートを
介して被露光面に対向するようにかつほぼ当該被露光面
に垂直な中心軸を回転軸として回転自在に固定した露光
装置において、上記ランプハウスのフェースプレートを
、上記開口部から露出する発光管によって構成される光
源の冷却水による見掛は上の浮き上がシ量が当該発光管
の長手方向と垂直方向とでほぼ等しくなるような曲率半
径を有する凹面を備えた凹レンズ状としたことを特徴と
する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16031483A JPS6054135A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16031483A JPS6054135A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6054135A true JPS6054135A (ja) | 1985-03-28 |
Family
ID=15712273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16031483A Pending JPS6054135A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6054135A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5570145A (en) * | 1993-09-30 | 1996-10-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming phosphor screen of color cathode-ray tube and exposure apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51105767A (ja) * | 1975-03-14 | 1976-09-18 | Hitachi Ltd | Rokoyokogensochi |
| JPS54125964A (en) * | 1978-03-24 | 1979-09-29 | Hitachi Ltd | Manufacture of fluorescent screen for color picture tube |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP16031483A patent/JPS6054135A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51105767A (ja) * | 1975-03-14 | 1976-09-18 | Hitachi Ltd | Rokoyokogensochi |
| JPS54125964A (en) * | 1978-03-24 | 1979-09-29 | Hitachi Ltd | Manufacture of fluorescent screen for color picture tube |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5570145A (en) * | 1993-09-30 | 1996-10-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming phosphor screen of color cathode-ray tube and exposure apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3736848A (en) | Method of preparing the screen of a colour television picture tube and device performing the method | |
| KR900003906B1 (ko) | 노광장치 | |
| JPS6054135A (ja) | 露光装置 | |
| KR0137900B1 (ko) | 칼라 수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치 | |
| US4568162A (en) | Method for screening line screen slit mask color picture tubes | |
| US4111694A (en) | Method for manufacturing the picture display screen of a color television tube using a cylinder lens | |
| KR100232588B1 (ko) | 주변스크린 구조 개선을 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| JPH1186726A (ja) | カラー陰極線管の露光装置 | |
| JPH0719537B2 (ja) | カラーブラウン管 | |
| JPH0773802A (ja) | カラーブラウン管の製造方法 | |
| JPS6226740A (ja) | カラ−陰極線管のスクリ−ン製造用露光装置 | |
| JP2000260317A (ja) | カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置 | |
| JP3119112B2 (ja) | 露光方法 | |
| US5671460A (en) | Exposing apparatus | |
| KR950004545Y1 (ko) | 브라운관의 형광면 노광장치 | |
| KR950002005Y1 (ko) | 도움형 보정렌즈 | |
| KR200175588Y1 (ko) | 판넬 노광 장치용 노광 필터 | |
| KR100232583B1 (ko) | 주변스크린 구조 개선을 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| KR100222603B1 (ko) | 음극선관의 스크린 형성을 위한 노광방법 | |
| JPS60163336A (ja) | カラ−受像管けい光面の露光方法 | |
| JPS5835844A (ja) | 陰極線管 | |
| JPS6041819B2 (ja) | カラ−受像管螢光面の製造方法 | |
| KR19980040910A (ko) | 칼라브라운관의 패널 노광방법 | |
| JPS63279538A (ja) | カラ−陰極線管の蛍光面作成用露光装置 | |
| JPH11162345A (ja) | 陰極線管露光装置及び露光方法 |