JPS60178451A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS60178451A JPS60178451A JP59034226A JP3422684A JPS60178451A JP S60178451 A JPS60178451 A JP S60178451A JP 59034226 A JP59034226 A JP 59034226A JP 3422684 A JP3422684 A JP 3422684A JP S60178451 A JPS60178451 A JP S60178451A
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- JP
- Japan
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- exposure
- plate
- light
- light emitting
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/89—Optical or photographic arrangements structurally combined or co-operating with the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2273—Auxiliary lenses and filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、カラーディスプレイ管のけい光面の形成など
に用いる、冷却水を満たしたランプハウス内に発光管を
固定した光源部を回転自在に固定してなる露光装置に関
するものである。
に用いる、冷却水を満たしたランプハウス内に発光管を
固定した光源部を回転自在に固定してなる露光装置に関
するものである。
従来この種の露光装置では、発光管を一部スリット状の
開口部を残してしやへい板で覆ったものを水中に設置し
て光源とするため、当該冷却水による屈折に起因して見
掛は上の光源の位置が本来の位置から浮き上がシ、その
ために例えばカラーブラウン管のブラックマトリックス
やけい光膜を形成する際の露光位置精度が低下するとい
う欠点があった。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面となるブラ
ウン管パネル内面に対しはぼその垂直中心軸を回転軸と
して回転させて露光するが、実質的な光源かじゃへい板
の開口部で規定された一方向に長い矩形状を有するため
、特にパネル周辺部では上記浮き上がシ量が発光管の長
手方向と垂直方向とで異なシ、そのために上記光源の投
影像が光源の回転につれて公転モーションを起こし、そ
の結果、ブラックマトリックス形成時とけい光膜形成時
とで光源寸法を変えるとブラックマトリックスホールと
けい光体ドツトの中心位置にずれが生じてしまう。
開口部を残してしやへい板で覆ったものを水中に設置し
て光源とするため、当該冷却水による屈折に起因して見
掛は上の光源の位置が本来の位置から浮き上がシ、その
ために例えばカラーブラウン管のブラックマトリックス
やけい光膜を形成する際の露光位置精度が低下するとい
う欠点があった。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面となるブラ
ウン管パネル内面に対しはぼその垂直中心軸を回転軸と
して回転させて露光するが、実質的な光源かじゃへい板
の開口部で規定された一方向に長い矩形状を有するため
、特にパネル周辺部では上記浮き上がシ量が発光管の長
手方向と垂直方向とで異なシ、そのために上記光源の投
影像が光源の回転につれて公転モーションを起こし、そ
の結果、ブラックマトリックス形成時とけい光膜形成時
とで光源寸法を変えるとブラックマトリックスホールと
けい光体ドツトの中心位置にずれが生じてしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、被露光面周辺部における光源の浮き上がシによ
る光源投影像の位置ずれを防止して露光精度を向上させ
ることが可能な露光装置を提供することにある。
目的は、被露光面周辺部における光源の浮き上がシによ
る光源投影像の位置ずれを防止して露光精度を向上させ
ることが可能な露光装置を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、発光管を収
容する冷却水を満たしたランプハウスの被露光面に面す
るフェースプレートを、発光管の径方向と軸方向とにそ
れぞれ凹面と凸面とをなすサドル（鞍）状レンズとし、
その凹凸面の曲率半径を適当に設定して光源の見掛は上
の浮き上シ量が発光管の長手方向と垂直方向とで等しく
なるようにしたものである。
容する冷却水を満たしたランプハウスの被露光面に面す
るフェースプレートを、発光管の径方向と軸方向とにそ
れぞれ凹面と凸面とをなすサドル（鞍）状レンズとし、
その凹凸面の曲率半径を適当に設定して光源の見掛は上
の浮き上シ量が発光管の長手方向と垂直方向とで等しく
なるようにしたものである。
〔発明の実施例丁
第１図は本発明による露光装置の一例を示す要部断面構
成図であシ、この図はカラーブラウン管のパネル内螢光
面の形成に適用した場合を示すものである。同図におい
て、装置筐体１の内部下方には超高圧水銀灯からなる発
光管２と、この発光管２を保持固定するランプハウス３
とが配置されて光源部４を構成している。またランプハ
ウス３の被露光面側には発光管２から照射される光源光
を集光するサドル（鞍）状レンズからなるフェースプレ
ート５とが配置されている。そして、この光源部４およ
びフェースプレート５は、軸受部６および駆動モータＴ
を備えた回転台８上に配置され、長手方向を含む面内で
回転できるようにしである。他方、この筐体１の上方に
は前記光源部４に対向してカラーブラウン管を構成する
パネル９が被露光面としての内面側を光源部４に対向さ
せた状態でプレー）１０に位置決め載置してあシ、当該
パネル９と光源部５との間には補正レンズ１１およびフ
ィルタ１２が配置しである。また、パネル９の内面には
シャドウマスク１３が装着しであるＯ ここで、前述した光源部において、発光管２は、第２図
（ａ） 、 （ｂ）および第３図に示すように発光部２
ａおよび外管２ｂからなシ、外管２ｂの外周には遮蔽板
２Ｃが巻設しである。したがって実質的にはこの遮蔽板
２ｃの前記パネル９に面した開口部が露光光源となる。
成図であシ、この図はカラーブラウン管のパネル内螢光
面の形成に適用した場合を示すものである。同図におい
て、装置筐体１の内部下方には超高圧水銀灯からなる発
光管２と、この発光管２を保持固定するランプハウス３
とが配置されて光源部４を構成している。またランプハ
ウス３の被露光面側には発光管２から照射される光源光
を集光するサドル（鞍）状レンズからなるフェースプレ
ート５とが配置されている。そして、この光源部４およ
びフェースプレート５は、軸受部６および駆動モータＴ
を備えた回転台８上に配置され、長手方向を含む面内で
回転できるようにしである。他方、この筐体１の上方に
は前記光源部４に対向してカラーブラウン管を構成する
パネル９が被露光面としての内面側を光源部４に対向さ
せた状態でプレー）１０に位置決め載置してあシ、当該
パネル９と光源部５との間には補正レンズ１１およびフ
ィルタ１２が配置しである。また、パネル９の内面には
シャドウマスク１３が装着しであるＯ ここで、前述した光源部において、発光管２は、第２図
（ａ） 、 （ｂ）および第３図に示すように発光部２
ａおよび外管２ｂからなシ、外管２ｂの外周には遮蔽板
２Ｃが巻設しである。したがって実質的にはこの遮蔽板
２ｃの前記パネル９に面した開口部が露光光源となる。
そして、この露光光源は前記回転台８（第１図参照）の
回転軸ｔ（これはパネル９の内面の垂直中心軸に一致す
る）に対してほぼ対称形である。また、この発光管２０
周辺部には冷却の水１４が満たしである。さらにこれら
の図において、５は第１図のランプハウス３のパネル９
に対向する面に設けられた透光性ガラスからなるフェー
スプレートであシ、第２図（＆）は発光管２の長手方向
から見た図、同図（ｂ）はその垂直方向から見た図、第
３図は傾め方向から見た図であるが、これらの図から明
らかなようにフェースプレート５は発光管２の径方向に
凹面５ｍを有しかつ軸方向に凸面５ｂを有するサドル（
鞍）状レンズをなして形成されている。
回転軸ｔ（これはパネル９の内面の垂直中心軸に一致す
る）に対してほぼ対称形である。また、この発光管２０
周辺部には冷却の水１４が満たしである。さらにこれら
の図において、５は第１図のランプハウス３のパネル９
に対向する面に設けられた透光性ガラスからなるフェー
スプレートであシ、第２図（＆）は発光管２の長手方向
から見た図、同図（ｂ）はその垂直方向から見た図、第
３図は傾め方向から見た図であるが、これらの図から明
らかなようにフェースプレート５は発光管２の径方向に
凹面５ｍを有しかつ軸方向に凸面５ｂを有するサドル（
鞍）状レンズをなして形成されている。
このような構成において、光源部４から発した光線はフ
ィルタ１２および補正レンズ１１を透過し、さらに７ヤ
ドウマスク１３を透過してパネル９の内面に到達する。
ィルタ１２および補正レンズ１１を透過し、さらに７ヤ
ドウマスク１３を透過してパネル９の内面に到達する。
この場合、第４図（ａ） ｌ （ｂ）に示すように発光
管２を発した光はそれぞれ屈折率の異なる水１４および
ガラス製の平板状フェースプレート１５を透過して空気
中に出て行く。このため、被露光面としてのパネル９の
内面上の角度θ＝４５初向の一点から見た場合、その実
質的な露光光源の中心２Ａ、２Ｂは見掛は上２Ａ’、２
Ｂ’の位置にあることになシ、ＰＡ、ＰＲの浮き上シを
生ずる。ここで実質的な露光光源は遮蔽板２Ｃで規定さ
れた一方向に長い矩形状を有することから、前記浮き上
がシは見る方向によって、すなわち第４図に示した光線
のように長手勇足に垂直な方向から見る場合と、同図（
ｂ）のように長手方向から見る場合とでその方向が異な
るのみならず、その大きさも第５図（、）および第５図
（ｂ）にそれぞれ対応して示すように見る角度θ＝０°
〜４５°によって異な、ｉ７、ＰＲ−ＰＡはＦＢの約１
０チ程度にもなる。これが光源の投影像が公転モーショ
ンを起こし、露光精度を低下させる原因となることは先
に述べた通シである。
管２を発した光はそれぞれ屈折率の異なる水１４および
ガラス製の平板状フェースプレート１５を透過して空気
中に出て行く。このため、被露光面としてのパネル９の
内面上の角度θ＝４５初向の一点から見た場合、その実
質的な露光光源の中心２Ａ、２Ｂは見掛は上２Ａ’、２
Ｂ’の位置にあることになシ、ＰＡ、ＰＲの浮き上シを
生ずる。ここで実質的な露光光源は遮蔽板２Ｃで規定さ
れた一方向に長い矩形状を有することから、前記浮き上
がシは見る方向によって、すなわち第４図に示した光線
のように長手勇足に垂直な方向から見る場合と、同図（
ｂ）のように長手方向から見る場合とでその方向が異な
るのみならず、その大きさも第５図（、）および第５図
（ｂ）にそれぞれ対応して示すように見る角度θ＝０°
〜４５°によって異な、ｉ７、ＰＲ−ＰＡはＦＢの約１
０チ程度にもなる。これが光源の投影像が公転モーショ
ンを起こし、露光精度を低下させる原因となることは先
に述べた通シである。
そこで、本実施例では前述したようにフェースプレート
５をサドル状レンズ構造として前記両方向での浮き上が
シ量ＰＡ、ＦＢがは＃丁等しくなるようにしである。す
なわち、サドル状レンズでは発光管の長手方向と垂直な
方向に凹面４ａを有し長手方向に凸面４ｂをもたせてそ
のサドル状曲面内に入射した光線はこれらの曲面の曲率
半径に対応して屈折することになる。したがって、この
よう＆？ドル状レンズの７エースプレート５を用いるこ
とによシ、発光管２の長手方向に垂直な方向についての
浮き上がシ量ＰＡと長手方向についての浮き上がシ量Ｐ
Ｂとを両者はぼ同等の浮き上がシ量（ＰＡξＰＢ）とな
るように相対的に補正して一致させることができる。こ
の結果、シャドウマスク１３を透過した露光光源の投影
像の真円性が良くなシ、形成するけい光膜の品質を向上
させることができる。
５をサドル状レンズ構造として前記両方向での浮き上が
シ量ＰＡ、ＦＢがは＃丁等しくなるようにしである。す
なわち、サドル状レンズでは発光管の長手方向と垂直な
方向に凹面４ａを有し長手方向に凸面４ｂをもたせてそ
のサドル状曲面内に入射した光線はこれらの曲面の曲率
半径に対応して屈折することになる。したがって、この
よう＆？ドル状レンズの７エースプレート５を用いるこ
とによシ、発光管２の長手方向に垂直な方向についての
浮き上がシ量ＰＡと長手方向についての浮き上がシ量Ｐ
Ｂとを両者はぼ同等の浮き上がシ量（ＰＡξＰＢ）とな
るように相対的に補正して一致させることができる。こ
の結果、シャドウマスク１３を透過した露光光源の投影
像の真円性が良くなシ、形成するけい光膜の品質を向上
させることができる。
第６図（ａ） ｔ （ｂ）はそれぞれ従来の厚さ約４ｆ
ｒＩｌｒｌの平板状フェースプレート１５２本実施例の
曲率半径４０ｍｍのサドル状レンズからなるフェースグ
レート５を用いた場合の露光光のスポット形状（光プロ
ファイル形状）を示したものである。ここで、発光管２
のアーク幅は約１ ｍｎ＋ 、スリット幅は約２馴の光
源に対して角度θ＝４５ から観察したプロファイルは
、同図（ａ）においては前述した光源の動き、すなわち
第５図（、）の位置座標Ａ （０，２４、３゜６５）か
ら第５図（ｂ）の位置座標Ｂ（−０，８２、３，７５）
までの動きは （−０，８２〜０．２４） ＋（３，７
５−３，６５）”−１，０６ｍｍとなシ、光源からシャ
ドウマスク１３までの距離（Ｐ）、シャドウマスク１３
からけい光膜までの距Ｍ （Ｑ）の比率がＱ／Ｐ＝ ／
’；’Ｉであることで、１．０６ ｘＱ、／ Ｐ ＝
３．９５ ｐ ｍの直径Ｄ１となる。
ｒＩｌｒｌの平板状フェースプレート１５２本実施例の
曲率半径４０ｍｍのサドル状レンズからなるフェースグ
レート５を用いた場合の露光光のスポット形状（光プロ
ファイル形状）を示したものである。ここで、発光管２
のアーク幅は約１ ｍｎ＋ 、スリット幅は約２馴の光
源に対して角度θ＝４５ から観察したプロファイルは
、同図（ａ）においては前述した光源の動き、すなわち
第５図（、）の位置座標Ａ （０，２４、３゜６５）か
ら第５図（ｂ）の位置座標Ｂ（−０，８２、３，７５）
までの動きは （−０，８２〜０．２４） ＋（３，７
５−３，６５）”−１，０６ｍｍとなシ、光源からシャ
ドウマスク１３までの距離（Ｐ）、シャドウマスク１３
からけい光膜までの距Ｍ （Ｑ）の比率がＱ／Ｐ＝ ／
’；’Ｉであることで、１．０６ ｘＱ、／ Ｐ ＝
３．９５ ｐ ｍの直径Ｄ１となる。
なお、曲線ａは光源の径方向のスポット形状９曲線すは
軸方向のスポット形状１曲線Ｃは曲線１と曲線すとから
合成されるスポット形状である。これに対して同図（ｂ
）では曲率半径４０ｍｍのサドル状レンズを用いること
によシ光源の動きは約０．４６ｍとなり、位置座標Ａ点
に比べ／２３になることで、０．４６ ＸＱ／Ｐ″ｔ１
７μｍの直径Ｄ２となシ、その合成スポット形状も向上
することがわかった。
軸方向のスポット形状１曲線Ｃは曲線１と曲線すとから
合成されるスポット形状である。これに対して同図（ｂ
）では曲率半径４０ｍｍのサドル状レンズを用いること
によシ光源の動きは約０．４６ｍとなり、位置座標Ａ点
に比べ／２３になることで、０．４６ ＸＱ／Ｐ″ｔ１
７μｍの直径Ｄ２となシ、その合成スポット形状も向上
することがわかった。
また、同図（、）の曲、ｉ１！ｃは光の回折によシ曲ａ
ａ〉曲線ｂ〉曲線Ｃの順の大きさとなるが、同図（ｂ）
の曲線Ｃは曲線ａ〉曲線Ｃ〉曲線すの装置に大きくなる
こともわかった〇 次にこの光源を使用してけい光膜露光に適用した一例を
第７図に示す。同図は縦軸に露光光のスポット径Ｄ１横
軸に露光エネルギー密度つまシ光源の発光量（Ｗ／ｙ／
）Ｘ時間（ｒ、ｅｃ ） ＝ ＥＸＰ Ｅｎ（ｊ。
ａ〉曲線ｂ〉曲線Ｃの順の大きさとなるが、同図（ｂ）
の曲線Ｃは曲線ａ〉曲線Ｃ〉曲線すの装置に大きくなる
こともわかった〇 次にこの光源を使用してけい光膜露光に適用した一例を
第７図に示す。同図は縦軸に露光光のスポット径Ｄ１横
軸に露光エネルギー密度つまシ光源の発光量（Ｗ／ｙ／
）Ｘ時間（ｒ、ｅｃ ） ＝ ＥＸＰ Ｅｎ（ｊ。
Ｕシー）をそれぞれ示しである。同図において、曲線Ｉ
２曲線Ｈの破線で示す部分はけい光膜にドツトを形成し
た際にドツト落ちを生ずる領域を示したものであシ、曲
線■で示す従来光源はドツト落ちを生じない限界の大き
さが約１９０μ？ｎに対し、曲線■で示す本実施例の光
源を使用すれば、約１７５μｍと小さなけい光体ドツト
が安定して形成することができる。このように露光光の
スポット形状を向上させることによシ、ドツト落ち裕度
（Ｌ＝１５μｍ）の拡大が図れる他に露光エネルギー密
度が向上することによシ、けい光膜の密度の向上および
ドツトの形状向上が図れることでドツトずれの向上も図
れ、生産性９品質ともに向上することがわかる。
２曲線Ｈの破線で示す部分はけい光膜にドツトを形成し
た際にドツト落ちを生ずる領域を示したものであシ、曲
線■で示す従来光源はドツト落ちを生じない限界の大き
さが約１９０μ？ｎに対し、曲線■で示す本実施例の光
源を使用すれば、約１７５μｍと小さなけい光体ドツト
が安定して形成することができる。このように露光光の
スポット形状を向上させることによシ、ドツト落ち裕度
（Ｌ＝１５μｍ）の拡大が図れる他に露光エネルギー密
度が向上することによシ、けい光膜の密度の向上および
ドツトの形状向上が図れることでドツトずれの向上も図
れ、生産性９品質ともに向上することがわかる。
なお、前述した実施例においては、けい光体ドツト形成
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、ブラックマトリックス形成に応用すれば、プラ
ックマトリックスホールの形状、精度および切れが良く
なることは言うまでもなく、ドライプロセスに応用すれ
ば、露光密度向上によシ露光時間の短縮が可能となる〇
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、発光管を水中に保
持するランプハウスのフェースプレートを、サドル状レ
ンズとして光源の浮き上シ量を補正したことによシ、光
源部の回転に伴なう光源の位置ずれをなくシ、露光精度
を向上させることができる。したがって、例えばカラー
ブラウン管の製造においてもけい光体ドツトのずれによ
る欠けやはみ出し等を防止でき、け込光膜の品質向上お
よび生産性の向上をはかることができる。
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、ブラックマトリックス形成に応用すれば、プラ
ックマトリックスホールの形状、精度および切れが良く
なることは言うまでもなく、ドライプロセスに応用すれ
ば、露光密度向上によシ露光時間の短縮が可能となる〇
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、発光管を水中に保
持するランプハウスのフェースプレートを、サドル状レ
ンズとして光源の浮き上シ量を補正したことによシ、光
源部の回転に伴なう光源の位置ずれをなくシ、露光精度
を向上させることができる。したがって、例えばカラー
ブラウン管の製造においてもけい光体ドツトのずれによ
る欠けやはみ出し等を防止でき、け込光膜の品質向上お
よび生産性の向上をはかることができる。
第１図は本発明による露光装置の一例を示す要部断面構
成図、第２図（、） 、 （ｂ）は第１図に示す発光部
の詳細図、第３図は第１図に示す発光部の斜視図、第４
図（ａ） ＋ （ｂ）は従来の露光装置発光部の詳細図
、第５図（ａ） ｌ （ｂ）は従来のフェースプレート
による光源浮き上がシ量を示す図、第６図（ａ） ｌ
（ｂ）は従来および本発明の７エースプレートによる露
光光スポット径を示す図、第７図は従来および本発明の
光源による露光光スポット径の変化を示す図である。 １・φ・争装置筐体、２・参〇・発光管、２ａ・・・φ
発光部、２ｂ・・・・外管、２（１・・・・遮蔽板、３
・・・１１ランプハウス、４・・・・光源部、５・・・
・フェースプレート、５ＩＬ・・・・凹面、５ｂ・・・
・凸面、６・・・・軸受部、７・・・・駆動モータ、８
・・・・回転台、９・・φ・パネル、１０・１１＋１・
プレート、１１・・・・補正レンズ、１２・・拳・フィ
ルタ、１３・・・・シャドウマスク、１４・拳・・水、
１５・・・中フェースプレート。 第２図 （（］） （ｂ） 第６ （ａ） ・ビ が 霧え」このスす、ａ、、、 トイ杢、（たｍ）（ｂ） ざ
成図、第２図（、） 、 （ｂ）は第１図に示す発光部
の詳細図、第３図は第１図に示す発光部の斜視図、第４
図（ａ） ＋ （ｂ）は従来の露光装置発光部の詳細図
、第５図（ａ） ｌ （ｂ）は従来のフェースプレート
による光源浮き上がシ量を示す図、第６図（ａ） ｌ
（ｂ）は従来および本発明の７エースプレートによる露
光光スポット径を示す図、第７図は従来および本発明の
光源による露光光スポット径の変化を示す図である。 １・φ・争装置筐体、２・参〇・発光管、２ａ・・・φ
発光部、２ｂ・・・・外管、２（１・・・・遮蔽板、３
・・・１１ランプハウス、４・・・・光源部、５・・・
・フェースプレート、５ＩＬ・・・・凹面、５ｂ・・・
・凸面、６・・・・軸受部、７・・・・駆動モータ、８
・・・・回転台、９・・φ・パネル、１０・１１＋１・
プレート、１１・・・・補正レンズ、１２・・拳・フィ
ルタ、１３・・・・シャドウマスク、１４・拳・・水、
１５・・・中フェースプレート。 第２図 （（］） （ｂ） 第６ （ａ） ・ビ が 霧え」このスす、ａ、、、 トイ杢、（たｍ）（ｂ） ざ
Claims (1)
- 一部開口部を除き遮蔽板で覆った発光管を冷却水を満た
したランプハウス内に固定してなる光源部を、前記開口
部が前記ランプハウスの透光性フェースプレートを介し
て被露光面に対向するようにかつほぼ当該被露光面に垂
直な中心軸を回転軸として回転自在に固定した露光装置
において、前記ランプハウスの７エースプレートを、発
光管の径方向に凹面を有しかつ、軸方向に凸面を有する
サドル状レンズとしたことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034226A JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
| KR1019850001125A KR900003906B1 (ko) | 1984-02-27 | 1985-02-22 | 노광장치 |
| US06/706,183 US4586799A (en) | 1984-02-27 | 1985-02-27 | Exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034226A JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178451A true JPS60178451A (ja) | 1985-09-12 |
| JPH0566699B2 JPH0566699B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=12408230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59034226A Granted JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4586799A (ja) |
| JP (1) | JPS60178451A (ja) |
| KR (1) | KR900003906B1 (ja) |
Cited By (1)
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- 1985-02-27 US US06/706,183 patent/US4586799A/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH0566699B2 (ja) | 1993-09-22 |
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