JPH07118264B2 - 露光装置用光源 - Google Patents
露光装置用光源Info
- Publication number
- JPH07118264B2 JPH07118264B2 JP60131705A JP13170585A JPH07118264B2 JP H07118264 B2 JPH07118264 B2 JP H07118264B2 JP 60131705 A JP60131705 A JP 60131705A JP 13170585 A JP13170585 A JP 13170585A JP H07118264 B2 JPH07118264 B2 JP H07118264B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- slit
- exposure
- tube
- tube axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2274—Light sources particularly adapted therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、カラー陰極線管のけい光面の形成などに用い
る露光装置用の光源に関する。
る露光装置用の光源に関する。
従来この種の露光装置として、円筒状の発光管を周方向
にスリツトを設けたしや光スリーブで覆い、これを管軸
に垂直な軸の回りに回転させて点光源を得るものがあ
る。すなわち、この光源をブラウン管パネルのけい光面
を形成する内面の中心法線上に、上記スリツト部が上記
パネル内面に対向するように配置し、例えばドツト状の
アパーチヤを有するシヤドウマスクを介し露光すること
により、上記パネル内面に形成した感光膜にドツト状の
各絵素に対応する露光パターンが得られる。この時、偏
光コイルの取付位置のばらつきなどによりパネル周辺部
で電子ビームの照射位置がパネルの中心から周辺に向か
る放射方向にずれた場合でも隣接する絵素を照射するこ
とがないように、露光パターンは特にパネル周辺部で上
記放射方向の寸法が小さい偏平形状であることが望まし
い。すなわち、このようは偏平形状であれば、放射方向
で露光パターン間の間隔が広くなり、電子ビームのビー
ム方向のばらつきに対して裕度が大きくなる。
にスリツトを設けたしや光スリーブで覆い、これを管軸
に垂直な軸の回りに回転させて点光源を得るものがあ
る。すなわち、この光源をブラウン管パネルのけい光面
を形成する内面の中心法線上に、上記スリツト部が上記
パネル内面に対向するように配置し、例えばドツト状の
アパーチヤを有するシヤドウマスクを介し露光すること
により、上記パネル内面に形成した感光膜にドツト状の
各絵素に対応する露光パターンが得られる。この時、偏
光コイルの取付位置のばらつきなどによりパネル周辺部
で電子ビームの照射位置がパネルの中心から周辺に向か
る放射方向にずれた場合でも隣接する絵素を照射するこ
とがないように、露光パターンは特にパネル周辺部で上
記放射方向の寸法が小さい偏平形状であることが望まし
い。すなわち、このようは偏平形状であれば、放射方向
で露光パターン間の間隔が広くなり、電子ビームのビー
ム方向のばらつきに対して裕度が大きくなる。
ところが、水銀灯などからなる上記発光管の冷却効果を
高めるため、当該発光管としや光スリーブとの間を離
し、冷却水を満たした場合には、スリーブを発光管に密
着させた場合に比較して露光パターンの偏平の程度が小
さくなるという問題が生ずる。例えば、第１図に示すよ
うな水銀灯１をスリーブ２で覆い、冷却水３を満たした
光源を矢印のように自転させ、スリツト2Aを通るアーク
光４を第２図および第４図に示すようにシヤドウマスク
５を介してパネル６の内面に照射する場合、第２図に示
すように水銀灯１の周方向、すなわちスリツト2Aの長さ
方向で露光される位置と第３図に示すように水銀灯１の
管軸方向、すなわちスリツト2Aの幅方向で露光される位
置とが異なるために、パネル周辺部で両スポツト7,8の
中心位置は第４図に示すようにずれ、図中破線で示した
ような合成露光パターン９が得られる。しかし、上述し
たように水銀灯１とスリーブ２との間が離れているギヤ
ツプ式のため、両者が密着した場合に対し、管軸方向で
の露光スポツト８はパネル周辺に向かつてずれ、合成の
露光パターン９は密着式の場合に比較して放射方向の寸
法が大きくなつてしまう。
高めるため、当該発光管としや光スリーブとの間を離
し、冷却水を満たした場合には、スリーブを発光管に密
着させた場合に比較して露光パターンの偏平の程度が小
さくなるという問題が生ずる。例えば、第１図に示すよ
うな水銀灯１をスリーブ２で覆い、冷却水３を満たした
光源を矢印のように自転させ、スリツト2Aを通るアーク
光４を第２図および第４図に示すようにシヤドウマスク
５を介してパネル６の内面に照射する場合、第２図に示
すように水銀灯１の周方向、すなわちスリツト2Aの長さ
方向で露光される位置と第３図に示すように水銀灯１の
管軸方向、すなわちスリツト2Aの幅方向で露光される位
置とが異なるために、パネル周辺部で両スポツト7,8の
中心位置は第４図に示すようにずれ、図中破線で示した
ような合成露光パターン９が得られる。しかし、上述し
たように水銀灯１とスリーブ２との間が離れているギヤ
ツプ式のため、両者が密着した場合に対し、管軸方向で
の露光スポツト８はパネル周辺に向かつてずれ、合成の
露光パターン９は密着式の場合に比較して放射方向の寸
法が大きくなつてしまう。
このような方向による露光パターンのずれに起用する問
題の対策として、従来サドルレンズを介在させる方法が
提案されている（特願昭59−34226号）。これは、発光
管の管軸方向とそれに垂直な方向とで厚みの分布に変化
をもたせたサドル状のレンズにより浮き上がりの補正を
行なうものであるが、屈折を利用するものであり、パネ
ル全面にわたつての均一な補正には必ずしも十分ではな
い。このため、従来露光パターンが即発光位置となるこ
とから特に高い位置精度および形状精度を要求されるブ
ラツクマトリクス膜の形成には、光量の大きいこの回転
露光方式を用いることができなかつた。
題の対策として、従来サドルレンズを介在させる方法が
提案されている（特願昭59−34226号）。これは、発光
管の管軸方向とそれに垂直な方向とで厚みの分布に変化
をもたせたサドル状のレンズにより浮き上がりの補正を
行なうものであるが、屈折を利用するものであり、パネ
ル全面にわたつての均一な補正には必ずしも十分ではな
い。このため、従来露光パターンが即発光位置となるこ
とから特に高い位置精度および形状精度を要求されるブ
ラツクマトリクス膜の形成には、光量の大きいこの回転
露光方式を用いることができなかつた。
したがつて本発明の目的は、ギヤツプ式の発光管による
回転露光方式でしかも被露光面周辺部で放射方向寸法の
小さい偏平形状の露光パターンが得られる露光装置用光
源を提供することにある。
回転露光方式でしかも被露光面周辺部で放射方向寸法の
小さい偏平形状の露光パターンが得られる露光装置用光
源を提供することにある。
このために本発明による露光装置用光源は、しや光スリ
ーブのスリツトの管軸方向に対向する縁部の一部を管軸
方向から発光管側に向けて延在させ、さらにしや光スリ
ーブの外周に、管軸方向の光線を一部しや光する減光フ
イルタを装着したものである。
ーブのスリツトの管軸方向に対向する縁部の一部を管軸
方向から発光管側に向けて延在させ、さらにしや光スリ
ーブの外周に、管軸方向の光線を一部しや光する減光フ
イルタを装着したものである。
第５図は本発明の動作原理を説明するための斜視図であ
る。水銀灯１の外周を、周方向にスリツト11Aを設けた
しや光スリーブ11で覆い、間に冷却水３を満たした基本
構成は第１図と同様であるが、スリツト11Aの管軸方向
に対向する縁部の一部を図示のように管軸方向から水銀
灯１の側に向けて延在させてある。延在部12は水銀灯１
の表面に接触しており、両延在部間が管軸方向露光時の
実質的な光源となり、この限りで密着式と同様の効果が
得られ、第７図に示すように従来の管軸方向露光スポツ
ト８に対し中心がパネル中心方向に移動したスポツト13
が得られる。のみならず、本来のスリツト幅ａに対し上
記両延在部間の間隔ｂをｂ＜ａと狭めてあるため、楕円
状スポツト13の長径は幅ｂのスリツトをそのまま用いた
場合より短く、より偏平な合成露光パターン14が得られ
る。一方、水銀灯１の表面に向けて延在させてあるのは
スリツト11Aの縁部の一部にすぎず、他の部分では冷却
水３は自由に共通できその冷却効果が損われることはな
い。
る。水銀灯１の外周を、周方向にスリツト11Aを設けた
しや光スリーブ11で覆い、間に冷却水３を満たした基本
構成は第１図と同様であるが、スリツト11Aの管軸方向
に対向する縁部の一部を図示のように管軸方向から水銀
灯１の側に向けて延在させてある。延在部12は水銀灯１
の表面に接触しており、両延在部間が管軸方向露光時の
実質的な光源となり、この限りで密着式と同様の効果が
得られ、第７図に示すように従来の管軸方向露光スポツ
ト８に対し中心がパネル中心方向に移動したスポツト13
が得られる。のみならず、本来のスリツト幅ａに対し上
記両延在部間の間隔ｂをｂ＜ａと狭めてあるため、楕円
状スポツト13の長径は幅ｂのスリツトをそのまま用いた
場合より短く、より偏平な合成露光パターン14が得られ
る。一方、水銀灯１の表面に向けて延在させてあるのは
スリツト11Aの縁部の一部にすぎず、他の部分では冷却
水３は自由に共通できその冷却効果が損われることはな
い。
第８図な本発明の一実施例を示す斜視図であるが、本実
施例では、上述した構造のスリーブ11の外周に、さらに
フイルタ15を装着してある。このフイルタ15は、図中破
線で示したような、管軸方向について光線の一部をしや
断するしや光部15Aを有している。このため、露光光が
減光する結果、第９図に示すようにスポツト13に比較し
て小さな管軸方向露光スポツト16が得られ、より偏平は
露光パターン17が得られる。
施例では、上述した構造のスリーブ11の外周に、さらに
フイルタ15を装着してある。このフイルタ15は、図中破
線で示したような、管軸方向について光線の一部をしや
断するしや光部15Aを有している。このため、露光光が
減光する結果、第９図に示すようにスポツト13に比較し
て小さな管軸方向露光スポツト16が得られ、より偏平は
露光パターン17が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、しや光スリーブ
のスリツトの管軸方向に対向する縁部の一部を管軸方向
から発光管表面に向けて延在させ、かつこの遮光スリー
ブの外周に、管軸方向の光線の一部を遮光する減光フィ
ルタを装着したことにより、被露光面周辺部で放射方向
寸法の小さい偏平形状の露光パターンを得ることが可能
となり、電子ビームの照射方向のずれに対して裕度の大
きい良質のけい光面を得ることが可能となる。
のスリツトの管軸方向に対向する縁部の一部を管軸方向
から発光管表面に向けて延在させ、かつこの遮光スリー
ブの外周に、管軸方向の光線の一部を遮光する減光フィ
ルタを装着したことにより、被露光面周辺部で放射方向
寸法の小さい偏平形状の露光パターンを得ることが可能
となり、電子ビームの照射方向のずれに対して裕度の大
きい良質のけい光面を得ることが可能となる。
第１図は従来例を示す斜視図、第２図および第３図はそ
の露光方法を説明するための図、第４図は露光パターン
を示す平面図、第５図は本発明の動作原理を説明するた
めの斜視図、第６図はその作用を説明するための図、第
７図は露光パターンを示す平面図、第８図は本発明の一
実施例を示す斜視図、第９図は露光パターンを示す平面
図である。 １……水銀灯（発光管）、３……冷却水、11……スリー
ブ、11A……スリツト、12……延在部、15……フイル
タ、15A……しや光部。
の露光方法を説明するための図、第４図は露光パターン
を示す平面図、第５図は本発明の動作原理を説明するた
めの斜視図、第６図はその作用を説明するための図、第
７図は露光パターンを示す平面図、第８図は本発明の一
実施例を示す斜視図、第９図は露光パターンを示す平面
図である。 １……水銀灯（発光管）、３……冷却水、11……スリー
ブ、11A……スリツト、12……延在部、15……フイル
タ、15A……しや光部。
Claims (1)
- 【請求項１】円筒状の発光管を周方向にスリットを設け
たしや光スリーブで覆い、間に冷媒を満たしてなる光源
を管軸に垂直な軸の回りに回転させて点光源を得る露光
装置において、上記しや光スリーブのスリットの管軸方
向に対向する縁部の一部を管軸方向から発光管表面に向
けて延在させるとともに、このしや光スリーブの外周
に、管軸方向の光線を一部しや光する減光フィルタを装
着したことを特徴とする露光装置用光源。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60131705A JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
| US06/875,445 US4670824A (en) | 1985-06-19 | 1986-06-17 | Light source unit for exposure apparatus |
| KR1019860004789A KR890005190B1 (ko) | 1985-06-19 | 1986-06-17 | 노광 장치용 광원 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60131705A JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61290626A JPS61290626A (ja) | 1986-12-20 |
| JPH07118264B2 true JPH07118264B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=15064271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60131705A Expired - Lifetime JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4670824A (ja) |
| JP (1) | JPH07118264B2 (ja) |
| KR (1) | KR890005190B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0787077B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1995-09-20 | 三菱電機株式会社 | インライン型シャドウマスク式カラーブラウン管の露光装置 |
| US5270753A (en) * | 1992-06-29 | 1993-12-14 | Zenith Electronics Corporation | Optical aperture device for manufacturing color cathode ray tubes |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE758627A (fr) * | 1969-11-07 | 1971-04-16 | Oetiker Jakob | Element structurel optique |
| US3648576A (en) * | 1970-02-09 | 1972-03-14 | Buckbee Mears Co | Temporarily reducing the diametrical opening of apertures by use of a removable annular member |
| US4152154A (en) * | 1970-06-05 | 1979-05-01 | U.S. Philips Corporation | Method of optically projecting a pattern of substantially circular apertures on a photosensitive layer by rotating light source |
| NL7602752A (nl) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Philips Nv | Belichtingsinrichting voor het vervaardigen van beeldschermen van kleurentelevisiebeeldbuizen en beeldbuis vervaardigd met een dergelijke inrich- ting. |
| US4351608A (en) * | 1979-11-13 | 1982-09-28 | Ciba-Geigy Ag | Filter head |
| JPS57158921A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Hitachi Ltd | Method for exposing fluorescent screen of color picture tube |
| US4354746A (en) * | 1981-09-24 | 1982-10-19 | Rca Corporation | Unitary light shield for use in color picture tube lighthouses |
| JPS6020043A (ja) * | 1983-07-13 | 1985-02-01 | Hanshin Electric Co Ltd | 燃焼制御装置 |
| JPS60178451A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP60131705A patent/JPH07118264B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-06-17 US US06/875,445 patent/US4670824A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-06-17 KR KR1019860004789A patent/KR890005190B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870000735A (ko) | 1987-02-20 |
| JPS61290626A (ja) | 1986-12-20 |
| KR890005190B1 (ko) | 1989-12-16 |
| US4670824A (en) | 1987-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |