JPS61290626A - 露光装置用光源 - Google Patents
露光装置用光源Info
- Publication number
- JPS61290626A JPS61290626A JP60131705A JP13170585A JPS61290626A JP S61290626 A JPS61290626 A JP S61290626A JP 60131705 A JP60131705 A JP 60131705A JP 13170585 A JP13170585 A JP 13170585A JP S61290626 A JPS61290626 A JP S61290626A
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- JP
- Japan
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- tube
- light source
- slit
- axial direction
- axis direction
- Prior art date
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2274—Light sources particularly adapted therefor
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、カラー陰極線管のけい光面の形成などに用い
る露光装置用の光源に関する。
る露光装置用の光源に関する。
従来この種の露光装置として、円筒状の発光管を周方向
にスリットを設けたじゃ光スリーブで覆い、これを管軸
に垂直な軸の回りに回転させて点光源を得るものがある
。すなわち、この光源をブラウン管パネルのけい光面を
形成する内面の中心法線上に、上記スリット部が上記パ
ネル内面に対向するように配置し、例えばドツト状のア
パーチャを有するシャドウマスクを介し露光することに
よシ、上記パネル内面に形成した感光膜にドツト状の各
絵素に対応する露光パターンが得られる。
にスリットを設けたじゃ光スリーブで覆い、これを管軸
に垂直な軸の回りに回転させて点光源を得るものがある
。すなわち、この光源をブラウン管パネルのけい光面を
形成する内面の中心法線上に、上記スリット部が上記パ
ネル内面に対向するように配置し、例えばドツト状のア
パーチャを有するシャドウマスクを介し露光することに
よシ、上記パネル内面に形成した感光膜にドツト状の各
絵素に対応する露光パターンが得られる。
この時、偏光コイルの取付位置のばらつきなどによシバ
ネル周辺部で電子ビームの照射位置がパネルの中心から
周辺に向かう放射方向にずれた場合でも隣接する絵素を
照射することがないように１露光パターンは特にパネル
周辺部で上記放射方向の寸法が小さい偏平形状であるこ
とが望ましい。
ネル周辺部で電子ビームの照射位置がパネルの中心から
周辺に向かう放射方向にずれた場合でも隣接する絵素を
照射することがないように１露光パターンは特にパネル
周辺部で上記放射方向の寸法が小さい偏平形状であるこ
とが望ましい。
すなわち、このような偏平形状であれば、放射方向で露
光パターン間の間隔が広くな夛、電子ビームのビーム方
向のばらつきに対して裕度が大きくなる。
光パターン間の間隔が広くな夛、電子ビームのビーム方
向のばらつきに対して裕度が大きくなる。
ところが、水銀灯などからなる上記発光管の冷却効果を
高めるため、当該発光管とじゃ光スリーブとの間を離し
、冷却水を満たした場合には、スリーブを発光管に密着
させた場合に比較して露光パターンの偏平の程度が小さ
くなるという問題が生ずる。例えば、第１図に示すよう
な水銀灯１をスリーブ２で覆い、冷却水３を満たした光
源を矢印のように自転させ、スリット２人を通るアーク
光４の光を第２図および第４図に示すようにシャドウｉ
スク５を介してパネル６の内面に照射する場合、第２図
に示すように水銀灯１の周方向、すなわちスリット２Ａ
の長さ方向で露光される位置と第３図に示すように水銀
灯１の管軸方向、すなわちスリン）２Ａの幅方向で露光
される位置とが異なるために、パネル周辺部で両スポッ
ト７．８の中心位置は第４図に示すようにずれ、図中破
線で示したような合成露光パターン９が得られる。
高めるため、当該発光管とじゃ光スリーブとの間を離し
、冷却水を満たした場合には、スリーブを発光管に密着
させた場合に比較して露光パターンの偏平の程度が小さ
くなるという問題が生ずる。例えば、第１図に示すよう
な水銀灯１をスリーブ２で覆い、冷却水３を満たした光
源を矢印のように自転させ、スリット２人を通るアーク
光４の光を第２図および第４図に示すようにシャドウｉ
スク５を介してパネル６の内面に照射する場合、第２図
に示すように水銀灯１の周方向、すなわちスリット２Ａ
の長さ方向で露光される位置と第３図に示すように水銀
灯１の管軸方向、すなわちスリン）２Ａの幅方向で露光
される位置とが異なるために、パネル周辺部で両スポッ
ト７．８の中心位置は第４図に示すようにずれ、図中破
線で示したような合成露光パターン９が得られる。
しかし、上述したように水銀灯１とスリーブ２との間が
離れているギャップ式のため、両者が密着した場合に対
し、管軸一方向での露光スポット８はパネル周辺に向か
ってずれ、合成の露光パターン９は密着式の場合に比較
して放射方向の寸法が太き（なってしまう。
離れているギャップ式のため、両者が密着した場合に対
し、管軸一方向での露光スポット８はパネル周辺に向か
ってずれ、合成の露光パターン９は密着式の場合に比較
して放射方向の寸法が太き（なってしまう。
このような方向による露光パターンのずれに一因する問
題の対策として、従来サドルレンズを介在させる方法が
提案されている（特願昭５９−３４２２６号）。これは
、発光管の管軸方向とそれに垂直な方向とで厚みの分布
に変化をもたせたサドル状のレンズＫｉシ浮き上が９の
補正を行なうものであるが、屈折を利用するものであシ
、パネル全面にわたっての均一な補正には必ずしも十分
ではない。このため、従来露光パターンが即発光位置と
なることから特に高い位置精度上よび形状精度を要求さ
れるブラック！トリクス膜の形成には、光量の大きいこ
の回転露光方式を用いることができなかった。
題の対策として、従来サドルレンズを介在させる方法が
提案されている（特願昭５９−３４２２６号）。これは
、発光管の管軸方向とそれに垂直な方向とで厚みの分布
に変化をもたせたサドル状のレンズＫｉシ浮き上が９の
補正を行なうものであるが、屈折を利用するものであシ
、パネル全面にわたっての均一な補正には必ずしも十分
ではない。このため、従来露光パターンが即発光位置と
なることから特に高い位置精度上よび形状精度を要求さ
れるブラック！トリクス膜の形成には、光量の大きいこ
の回転露光方式を用いることができなかった。
したがって本発明の目的は、ギャップ式の発光管による
回転露光方式でしかも被露光面周辺部で放射方向寸法の
小さい偏平形状の露光パターンが得られる露光装置用光
源を提供することにある。
回転露光方式でしかも被露光面周辺部で放射方向寸法の
小さい偏平形状の露光パターンが得られる露光装置用光
源を提供することにある。
このために本発明による第１の露光装置用光源は、しや
光スリーブのスリットの管軸方向に対向する縁部の一部
を管軸方向から発光管側に向けて延在させたものである
。また本発明による第２の露光装置、用光源は、さらＫ
しや光スリーブの外周に、管軸方向の光線を一部じゃ光
する減光フィルタを装着したものである。
光スリーブのスリットの管軸方向に対向する縁部の一部
を管軸方向から発光管側に向けて延在させたものである
。また本発明による第２の露光装置、用光源は、さらＫ
しや光スリーブの外周に、管軸方向の光線を一部じゃ光
する減光フィルタを装着したものである。
第５図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
水銀灯１の外周を、周方向にスリット１１Ａを設けたじ
ゃ光スリーブ１１で覆い、間に冷却水３を満たした基本
構成は第１図と同様であるが、本実施例ではスリン）Ｉ
ＩＡの管軸方向に対向する縁部の一部を図示のように管
軸方向から水銀灯１の側に向けて延在させである。延在
部１２は水銀灯１の表面に接触しており、両延在部間が
管軸方向露光時の実質的な光源となシ、この限シで密着
式と同様の効果が得られ、第７図に示すように従来の管
軸方向露光スポット８に対し中心がパネル中心方向く移
動したスポット１３が得られる。のみならず、本実施例
では本来のスリット幅ａに対し上記両延在部間の間隔ｂ
ｔ−ｂ （ａと狭めであるため、楕円状スポット１３
の長径は幅すのスリットをそのまま用いた場合よプ短く
、よシ偏平な合成露光パターン１４が得られる。一方、
水銀灯１の表面に向けて延在させであるのはスリン）Ｉ
ＩＡの縁部の一部にすぎず、他の部分では冷却水３は自
由に流通できその冷却効果が損われることはない。
ゃ光スリーブ１１で覆い、間に冷却水３を満たした基本
構成は第１図と同様であるが、本実施例ではスリン）Ｉ
ＩＡの管軸方向に対向する縁部の一部を図示のように管
軸方向から水銀灯１の側に向けて延在させである。延在
部１２は水銀灯１の表面に接触しており、両延在部間が
管軸方向露光時の実質的な光源となシ、この限シで密着
式と同様の効果が得られ、第７図に示すように従来の管
軸方向露光スポット８に対し中心がパネル中心方向く移
動したスポット１３が得られる。のみならず、本実施例
では本来のスリット幅ａに対し上記両延在部間の間隔ｂ
ｔ−ｂ （ａと狭めであるため、楕円状スポット１３
の長径は幅すのスリットをそのまま用いた場合よプ短く
、よシ偏平な合成露光パターン１４が得られる。一方、
水銀灯１の表面に向けて延在させであるのはスリン）Ｉ
ＩＡの縁部の一部にすぎず、他の部分では冷却水３は自
由に流通できその冷却効果が損われることはない。
さらに第８図は本発明の他の実施例を示す斜視図である
が、本実施例では、上述した構造のスリーブ１１の外周
に、さらにフィルタ１５を装着しである。このフィルタ
１５は、図中斜線で示したような、管軸方向について光
線の一部をしゃ断するじゃ元部１５Ａを有している。こ
のため、露光光が減光する結果、第９図に示すようにス
ポット１３に比較して小さな管軸方向露光スポット１Ｂ
が得られ、よシ偏平な露光パターン１７が得られる。
が、本実施例では、上述した構造のスリーブ１１の外周
に、さらにフィルタ１５を装着しである。このフィルタ
１５は、図中斜線で示したような、管軸方向について光
線の一部をしゃ断するじゃ元部１５Ａを有している。こ
のため、露光光が減光する結果、第９図に示すようにス
ポット１３に比較して小さな管軸方向露光スポット１Ｂ
が得られ、よシ偏平な露光パターン１７が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、しや光スリーブ
のスリットの管軸方向く対向する縁部の一部を管軸方向
から発光管表面に向けて延在させたことによシ、被露光
面周辺部で放射方向寸法の小さい偏平形状の露光パター
ンを得ることが可能となシ、電子ビームの照射方向のず
れに対して裕度の大きい良質のけい光面を得ることが可
能となる。
のスリットの管軸方向く対向する縁部の一部を管軸方向
から発光管表面に向けて延在させたことによシ、被露光
面周辺部で放射方向寸法の小さい偏平形状の露光パター
ンを得ることが可能となシ、電子ビームの照射方向のず
れに対して裕度の大きい良質のけい光面を得ることが可
能となる。
第１図は従来例を示す斜視図、第２図および第３図はそ
の露光方法を説明するだめの図、第４図は露光パターン
を示す平面図、第５図は本発明の一実施例を示す斜視図
、第６図はその作用を説明するための図、第７図は露光
パターンを示す平面図、第８図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第９図は露光パターンを示す平面図である
。 １串・拳・水銀灯（発光管）、３・・・・冷却水、１１
・・争争スリーブ、１１Ａ・・φ・スリン）、１２＠
・・Φ延在部、１５・９・拳フィルタ、１５Ａ・・番・
しや元部、。
の露光方法を説明するだめの図、第４図は露光パターン
を示す平面図、第５図は本発明の一実施例を示す斜視図
、第６図はその作用を説明するための図、第７図は露光
パターンを示す平面図、第８図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第９図は露光パターンを示す平面図である
。 １串・拳・水銀灯（発光管）、３・・・・冷却水、１１
・・争争スリーブ、１１Ａ・・φ・スリン）、１２＠
・・Φ延在部、１５・９・拳フィルタ、１５Ａ・・番・
しや元部、。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、円筒状の発光管を周方向にスリットを設けたしや光
スリーブで覆い、間に冷媒を満たしてなる光源を管軸に
垂直な軸の回りに回転させて点光源を得る露光装置にお
いて、上記しや光スリーブのスリットの管軸方向に対向
する縁部の一部を管軸方向から発光管表面に向けて延在
させたことを特徴とする露光装置用光源。 ２、円筒状の発光管を周方向にスリットを設けたしや光
スリーブで覆い、間に冷媒を満たしてなる光源を管軸に
垂直な軸の回りに回転させて点光源を得る露光装置にお
いて、上記しや光スリーブのスリットの管軸方向に対向
する縁部の一部を管軸方向から発光管表面に向けて延在
させるとともに、このしや光スリーブの外周に、管軸方
向の光線を一部しや光する減光フィルタを装着したこと
を特徴とする露光装置用光源。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60131705A JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
| KR1019860004789A KR890005190B1 (ko) | 1985-06-19 | 1986-06-17 | 노광 장치용 광원 |
| US06/875,445 US4670824A (en) | 1985-06-19 | 1986-06-17 | Light source unit for exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60131705A JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61290626A true JPS61290626A (ja) | 1986-12-20 |
| JPH07118264B2 JPH07118264B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=15064271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60131705A Expired - Lifetime JPH07118264B2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 露光装置用光源 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4670824A (ja) |
| JP (1) | JPH07118264B2 (ja) |
| KR (1) | KR890005190B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0787077B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1995-09-20 | 三菱電機株式会社 | インライン型シャドウマスク式カラーブラウン管の露光装置 |
| US5270753A (en) * | 1992-06-29 | 1993-12-14 | Zenith Electronics Corporation | Optical aperture device for manufacturing color cathode ray tubes |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6020043A (ja) * | 1983-07-13 | 1985-02-01 | Hanshin Electric Co Ltd | 燃焼制御装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE758627A (fr) * | 1969-11-07 | 1971-04-16 | Oetiker Jakob | Element structurel optique |
| US3648576A (en) * | 1970-02-09 | 1972-03-14 | Buckbee Mears Co | Temporarily reducing the diametrical opening of apertures by use of a removable annular member |
| US4152154A (en) * | 1970-06-05 | 1979-05-01 | U.S. Philips Corporation | Method of optically projecting a pattern of substantially circular apertures on a photosensitive layer by rotating light source |
| NL7602752A (nl) * | 1976-03-17 | 1977-09-20 | Philips Nv | Belichtingsinrichting voor het vervaardigen van beeldschermen van kleurentelevisiebeeldbuizen en beeldbuis vervaardigd met een dergelijke inrich- ting. |
| US4351608A (en) * | 1979-11-13 | 1982-09-28 | Ciba-Geigy Ag | Filter head |
| JPS57158921A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Hitachi Ltd | Method for exposing fluorescent screen of color picture tube |
| US4354746A (en) * | 1981-09-24 | 1982-10-19 | Rca Corporation | Unitary light shield for use in color picture tube lighthouses |
| JPS60178451A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP60131705A patent/JPH07118264B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-06-17 US US06/875,445 patent/US4670824A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-06-17 KR KR1019860004789A patent/KR890005190B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6020043A (ja) * | 1983-07-13 | 1985-02-01 | Hanshin Electric Co Ltd | 燃焼制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR890005190B1 (ko) | 1989-12-16 |
| US4670824A (en) | 1987-06-02 |
| JPH07118264B2 (ja) | 1995-12-18 |
| KR870000735A (ko) | 1987-02-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |