JPH0418411B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、カラー受像管の露光装置とりわけ露
光光量の調整装置に関するものである。

発明の技術的背景 第１図を用いて従来の露光装置について説明す
る。カラー受像管のフエースプレートであるガラ
ス製パネル１にはその内部の所定位置にシヤドウ
マスク２が係止されている。このシヤドウマスク
２はＲ、Ｇ、B3色に相当する３電子銃より射出
した３電子ビームのパネル１内面への着陸点を選
別する。従つてカラー受像管用露光装置の目的は
上述の電子ビーム着陸点に、正確に所定の大きさ
の蛍光体ドツトを形成することにある。この露光
装置は光源３、補正レンズ４、配光フイルター５
から構成されており、それぞれの機能を以下に説
明する。光源３は通常高圧水銀ランプ等からなり
所定波長の紫外線を放出する。補正レンズ４は上
記光源３より射出した光線軌道に補正を加えるも
のであり、光学レンズの一種である。即ち電子ビ
ームが偏向ヨークにより偏向された后上述のシヤ
ドウマスク２を通過して、パネル１内面に着陸す
る点に光源３より射出した光線の着陸点を一致さ
せるためのものであつて、非常に複雑な曲面式に
より表わされる非球面レンズである。配光フイル
ター５はガラス製基板上にNi、Cr等の金属蒸着
膜を形成することにより、パネル１内面に到達す
る光量を調整するものである。一般にパネル１中
心は光源３との距離が最も近く、パネル１周辺程
遠いため逆２乗法則に従つてパネル周辺は光量が
減少する。この様な光量では周辺の蛍光体ドツト
が所定のサイズよりも小さくなつて望ましくな
い。従つて配光フイルター５としては所定のドツ
トサイズを得るため中央部透過率50〜70％周辺部
透過率80〜100％とするのが一般的である。

次に蛍光体ドツトの形成過程について説明す
る。蛍光体ドツトの形成は大別して３工程にわけ
ることが出来る。第１の工程は蛍光体粒子及び感
光剤の混合液であるスラリーを塗布し、パネル内
面に均一厚みの膜を形成し乾燥させる工程。第２
の工程は上記成膜完了后のパネルを露光装置にて
所定時間露光し、感光固化する工程、第３の工程
は露光后のパネルを温水等により現像し最終目的
である蛍光体ドツトを形成する工程である。一方
コントラスト向上を計る黒色光吸収層を有するカ
ラー受像管に於ては、上述の蛍光体ドツト形成工
程前に上記黒色光吸収層を形成する必要がある。
この黒色光吸収層の形成工程は、前述の蛍光体ド
ツト形成工程とほぼ同一原理で実施され、第１工
程は感光膜形成、第２工程は露光工程、第３工程
は現像工程であり続いて第４工程黒色吸光物質の
塗布と反転工程である。

背景技術の問題点 上述の通り蛍光体ドツト及び黒色光吸収層形成
工程は非常に複雑であり、所望の大きさの蛍光体
ドツト又は黒色光吸収層を形成する露光光量分布
は必らずしも単純ではない。即ち上述の成膜条
件、膜厚分布現像条件、反転条件等により必要光
量分布が決まる。また電子ビームのランデイング
余裕度から要求される蛍光体ドツト又は黒色光吸
収層の大きさもあり、これらを考慮すると配光フ
イルター５の透過率分布は非常に複雑なものとな
る。第２図は配光フイルターの透過率分布の１例
を示す。この例は等過率線が真円ではなく、偏平
になつており一般には楕円フイルターと呼ばれ
る。即ちこのフイルターは垂直軸と水平軸とで透
過率分布が異なり相対的に水平軸の透過光量を減
少させ所望の蛍光体ドツト又は黒色光吸収層を形
成するものである。かかる透過率分布を有する金
属蒸着フイルターはその製作が困難であるのに加
え精度的にも良好とは言えない。またパネル水平
端から対角端にかけて局部的に光量不足が生じド
ツトはがれ等の現象を起こす場合がある。この様
なものは色再現が不完全となりTube歩留りを劣
化させる大きな原因となる。この様な局部的光量
調整は上述の金属蒸着フイルターでは事実上不可
能に近い。この様な観点から本願と同一出願人は
先に特願昭56−93023において、上記複雑な透過
率分布を有する配光フイルターを廃止し、相互に
直角方向に移動可能な一対の遮光板からなる露光
用メカニカルフイルタを提案している。しかし乍
ら上記の一対の遮光板を２元的に移動させて光量
調整を行うためには、非等速の２元移動とする必
要があり、装置の設計は非常に複雑となる問題点
を有している。

発明の目的 本発明は以上の点に鑑みてなされたものであ
り、通常の配光フイルターでは困難或は非常に複
雑となる光量分布を容易に得ることのできるカラ
ー受像管露光装置を提供することを目的とする。

発明の概要 本発明は透過率が中心対称に変化する単純な配
光フイルターに加えて、垂直方向にのみ移動する
矩形状の補助配光フイルターを併用することによ
つて、蛍光体ドツト又は黒色光吸収層を所定の位
置に所定の大きさで露光するカラー受像管露光装
置である。

発明の実施例 以下に本発明を実施例をあげて詳細に説明す
る。第３図は本発明の実施例を示す概略構成図で
ある。露光装置の台上にはカラー受像管のフエー
スプレートであるガラス製パネル１が載置され
る。このパネル１内の所定位置には多数のビーム
開孔（図示せず）を有するシヤドウマスク２が係
止されている。このシヤドウマスク２は多数の開
孔を介してＲ、Ｇ、B3色に相当する３電子銃
（図示せず）より射出した３電子ビームのパネル
１内面への着陸点を選別する。このパネル１の内
面に相対して、光源３、補正レンズ４、配光フイ
ルター５及び補助配光装置６が順次配設されてい
る。そして補助配光装置６はフエースプレートの
水平方向に長手方向を有する大旨矩形状の遮光板
とこの遮光板をフエースプレートの垂直方向、即
ち矩形状の短手方向と平行な方向に駆動させるた
めの駆動装置とから構成されている。配光フイル
ター５は主としてパネルの垂直軸上に必要な光量
分布を用いて光の透過率が中心対称即ち単純な真
円状に変化するように形成する。この光量分布は
同一偏向角を有するカラー受像管で画面サイズが
近いものにおいてはほぼ同一である。上記配光フ
イルター５を用いた場合蛍光体ドツト又は黒色光
吸収層が所定のサイズとなる場合とならない場合
がある。前者の場合即ち配光分布が上述の配光フ
イルター５で最適である場合には、補助配光装置
は不要である。あるいは、遮光板６ａの短手方向
の長さ（以下幅と称す）を第４図に示すように均
一の短冊状としてもよい。

しかしながら通常上述の配光フイルター５によ
り所定の蛍光体ドツト又は黒色光吸収層が形成さ
れる場合は非常に少なく前述の如く水平端に向う
に従つて光量を減少させる必要がある場合や水平
端から対角端にかけて局部的に光量を増加させる
必要があるのが実情である。第５図はパネル水平
端に向うに従つて光量を減少させる場合には好適
な遮光板６ｂ形状で遮光板はその長手方向の中央
部と両端部で短手方向の幅が異なつており、この
場合は中央部の幅が最も小さくなるように形成さ
れている。第６図はパネル水平端から対角端にか
けて局部的に光量を増加させる場合に好適な遮光
板６ｃ形状で、この場合は第５図に示す遮光板と
は逆に幅は中央部でふくらんだ形状とされてい
る。

第４図から第６図に示した遮光板は露光時間内
でパネルの垂直軸方向に最低限一回移動させれば
良いが、予め露光するパネルに合せて遮光板の幅
を変化させておけば移動は定速度で行うことがで
きる。また上記遮光板の駆動には、パルスモータ
等を用いれば遮光板の移動時間を正確に制御する
ことが出来る。

上述の遮光板の幅が大きい部位ではパネル上の
露光時間は相対的に短かくなり、逆に幅が小さい
部位では露光時間が相対的に長くなる。この結果
積算光量分布としては配光フイルターによる光量
分布とは異なつた目的とする分布が得られること
となる。

発明の効果 以上の様に、本発明に係る補助配光装置を用い
ることにより、従来の複雑な配光フイルターを用
いなくとも簡単な装置で容易に目的とする光量分
布を実現出来るばかりでなく光量分布の修正を非
常に短時間で実施出来、かつ成膜、現像条件等に
即した最適な光量分布を得ることが出来る。また
配光フイルターとしては基本配光を有するものに
限定出来、フイルターの種類を減少させることに
よりフイルターのコストダウンが可能となる。ま
た本発明に係る遮光板を金属板等で製作すればほ
ぼ半永久的に使用することが出来るなどその工業
的価値は非常に大きい。

尚、配光フイルターとしては、真円状透過率分
布を有するものに限定されるものではなく、随円
形状の透過率分布を有するものに使用しても、本
発明は同様に実施出来ることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の露光装置を示す概略構成図、第
２図は配光フイルターの透過率分布を示す模式
図、第３図は本発明の露光装置の実施例を示す概
略構成図、第４図乃至第６図は補助配光装置の遮
光板を示す概略平面図である。 １……パネル、２……シヤドウマスク、３……
光源、４……補正レンズ、５……配光フイルタ
ー、６……補助配光装置、６ａ，６ｂ，６ｃ……
遮光板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ シヤドウマスクが係止されたフエースプレー
   トの所定位置に上記シヤドウマスクを介して蛍光
   体又は黒色光吸収層を露光形成するカラー受像管
   露光装置に於て、前記露光装置は少くとも光源
   と、光源軌道補正レンズと、光量調整用配光フイ
   ルターと、前記配光フイルターに対し補助的に光
   量を調整する補助配光装置とを備え、この補助配
   光装置は前記フエースプレートの水平方向に長手
   方向を有する矩形状の遮光板と前記蛍光体又は黒
   色光吸収層を形成するための露光中に前記遮光板
   を前記フエースプレートの垂直方向に駆動させる
   駆動装置とから成ることを特徴とするカラー受像
   管露光装置。 ２ 前記遮光板はその長手方向の中央部と両端部
   とで短手方向の幅が異なることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のカラー受像管露光装置。