JPH07105843A - カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置 - Google Patents
カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置Info
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- JPH07105843A JPH07105843A JP5244093A JP24409393A JPH07105843A JP H07105843 A JPH07105843 A JP H07105843A JP 5244093 A JP5244093 A JP 5244093A JP 24409393 A JP24409393 A JP 24409393A JP H07105843 A JPH07105843 A JP H07105843A
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蛍光面のブラックマトリックスのホール部形
状を真円状にする。 【構成】 露光光源3 、不連続レンズ20、補正レンズ4
等が図示しない支持台に載置されて配設されている。な
お、これらの光軸は、管軸ｚであるパネルの中心軸と一
致させている。不連続レンズ20は、図示しないレンズ保
持枠により保持され、さらに図示しない回転機構により
管軸ｚを中心に回転可能になっている。不連続レンズは
厚さの異なる領域から形成され、回転することによりラ
ンディング位置をずれしながら露光することができる。
状を真円状にする。 【構成】 露光光源3 、不連続レンズ20、補正レンズ4
等が図示しない支持台に載置されて配設されている。な
お、これらの光軸は、管軸ｚであるパネルの中心軸と一
致させている。不連続レンズ20は、図示しないレンズ保
持枠により保持され、さらに図示しない回転機構により
管軸ｚを中心に回転可能になっている。不連続レンズは
厚さの異なる領域から形成され、回転することによりラ
ンディング位置をずれしながら露光することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管の蛍光面
の形成方法及び露光装置に関し、特に、蛍光体ドットの
間に位置するブラックマトリックスの形成方法及び露光
装置に関するものである。
の形成方法及び露光装置に関し、特に、蛍光体ドットの
間に位置するブラックマトリックスの形成方法及び露光
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カラー受像管の蛍光面はパネル内面に塗
布された３色の発光色を有する蛍光体ドットと、この蛍
光体ドット間の発光に関与しない部分を埋める黒色物質
（ブラックマトリッス）により構成されている。
布された３色の発光色を有する蛍光体ドットと、この蛍
光体ドット間の発光に関与しない部分を埋める黒色物質
（ブラックマトリッス）により構成されている。
【０００３】通常、この蛍光面の形成工程は、主として
ブラックマトリックス形成工程と蛍光体ドット形成工程
とに大別され、従来からフォトレジストを用いた印刷法
が採られている。
ブラックマトリックス形成工程と蛍光体ドット形成工程
とに大別され、従来からフォトレジストを用いた印刷法
が採られている。
【０００４】即ち、ブラックマトリックスを形成する際
には、まず紫外線により硬化する感光剤を含むＰＶＡを
パネル内面に塗布してフォトレジスト膜を形成する。次
に、露光光源の位置を各色の電子ビーム出射位置に対応
させて、パネル内面に配置されたシャドウマスクの開孔
に対応した所定の部分つまり蛍光体ドットが位置する部
分を光源からの光により露光する。この露光工程の後に
露光されない部分を除去してレジストパターンを作製す
る。このレジストパターンの上に黒色物質を塗布し、さ
らにこのパネル内面に酸化剤を注入してレジストを分解
し、余分な黒色物質とともに高圧噴射水で現像除去する
ことにより、蛍光体ドットが形成されるべき位置にホー
ル部を有するブラックマトリックスを形成する。
には、まず紫外線により硬化する感光剤を含むＰＶＡを
パネル内面に塗布してフォトレジスト膜を形成する。次
に、露光光源の位置を各色の電子ビーム出射位置に対応
させて、パネル内面に配置されたシャドウマスクの開孔
に対応した所定の部分つまり蛍光体ドットが位置する部
分を光源からの光により露光する。この露光工程の後に
露光されない部分を除去してレジストパターンを作製す
る。このレジストパターンの上に黒色物質を塗布し、さ
らにこのパネル内面に酸化剤を注入してレジストを分解
し、余分な黒色物質とともに高圧噴射水で現像除去する
ことにより、蛍光体ドットが形成されるべき位置にホー
ル部を有するブラックマトリックスを形成する。
【０００５】一方、蛍光体ドットは、上記ブラックマト
リックスを設けたパネル内面の感光性ＰＶＡ液に蛍光体
粒子を分散させたスラリを塗布し、シャドウマスクを用
いて上記と同様の方法でブラックマトリックスの開口部
に対応する部分のみを露光・感光し蛍光体を付着させ、
他の部分は高圧噴射水で現像除去するという工程を各色
ごとに繰り返すことにより形成される。
リックスを設けたパネル内面の感光性ＰＶＡ液に蛍光体
粒子を分散させたスラリを塗布し、シャドウマスクを用
いて上記と同様の方法でブラックマトリックスの開口部
に対応する部分のみを露光・感光し蛍光体を付着させ、
他の部分は高圧噴射水で現像除去するという工程を各色
ごとに繰り返すことにより形成される。
【０００６】図９に上述の露光工程にて使用される露光
装置の概略を示す。図９において、1 はブラックマトリ
ックスと蛍光体ドットを形成するパネル、2 はパネルの
内側に配置されるシャドウマスクである。3 は露光光
源、4 は露光光源3 の光の軌道を電子ビームの軌道に近
似させるための補正レンズである。
装置の概略を示す。図９において、1 はブラックマトリ
ックスと蛍光体ドットを形成するパネル、2 はパネルの
内側に配置されるシャドウマスクである。3 は露光光
源、4 は露光光源3 の光の軌道を電子ビームの軌道に近
似させるための補正レンズである。
【０００７】この露光光源3 からの光線5 はシャドウマ
スク2 の円形開孔により規制され、フォトレジスト膜を
塗布したパネル内面にほぼ円形の露光部を形成し、上述
の方法でブラックマトリックスが形成される。ブラック
マトリックスのホール部はパネルを照射した露光光線束
の断面形状とほぼ同一である。
スク2 の円形開孔により規制され、フォトレジスト膜を
塗布したパネル内面にほぼ円形の露光部を形成し、上述
の方法でブラックマトリックスが形成される。ブラック
マトリックスのホール部はパネルを照射した露光光線束
の断面形状とほぼ同一である。
【０００８】しかしながら、シャドウマスクの開孔のピ
ッチが小さい高精細ディスプレー用カラー受像管の場
合、図１０（ａ）に示すように、シャドウマスク2 の板
厚Ｔがカラー受像管の製造上、厚い方が好ましい。その
際、シャドウマスクの円形孔のうち電子銃側の小孔7 に
ついては所定の透過率を有するように定められる。しか
しながら、蛍光面側の大孔8 についてはシャドウマスク
の強度保持のため十分な大きさに定めることができない
場合があり、蛍光面周辺のブラックマトリックスを形成
するとき、露光光線は開孔部で規制されるだけでなく、
大孔8 や小孔7 で規制されることになる。
ッチが小さい高精細ディスプレー用カラー受像管の場
合、図１０（ａ）に示すように、シャドウマスク2 の板
厚Ｔがカラー受像管の製造上、厚い方が好ましい。その
際、シャドウマスクの円形孔のうち電子銃側の小孔7 に
ついては所定の透過率を有するように定められる。しか
しながら、蛍光面側の大孔8 についてはシャドウマスク
の強度保持のため十分な大きさに定めることができない
場合があり、蛍光面周辺のブラックマトリックスを形成
するとき、露光光線は開孔部で規制されるだけでなく、
大孔8 や小孔7 で規制されることになる。
【０００９】その結果、ブラックマトリックスのホール
部の形状は、図１０（ｂ）に示すように斜線部分がけら
れ、円形ではなく半月形または楕円形となる。ブラック
マトリックスのホール部の形状は蛍光体ドットの形状と
なるため、楕円状ホール部により蛍光体ドットに欠損部
が生じカラー受像管の光出力が低下する。
部の形状は、図１０（ｂ）に示すように斜線部分がけら
れ、円形ではなく半月形または楕円形となる。ブラック
マトリックスのホール部の形状は蛍光体ドットの形状と
なるため、楕円状ホール部により蛍光体ドットに欠損部
が生じカラー受像管の光出力が低下する。
【００１０】これらの問題を解決するため、シャドウマ
スクの開孔形をラジアル方向に楕円形に改良したり、カ
ラー受像管の露光時に光源位置を管軸に沿って移動する
方法（特開昭62-17925）が採られている。
スクの開孔形をラジアル方向に楕円形に改良したり、カ
ラー受像管の露光時に光源位置を管軸に沿って移動する
方法（特開昭62-17925）が採られている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来のシャドウマスク
の開孔形をラジアル方向に楕円形にする方法ではシャド
ウマスクの残りの部分が減少するためシャドウマスク強
度が低下するという問題がある。また、カラー受像管の
露光時に光源位置を管軸に沿って移動する方法では露光
装置の構造が複雑になり、特に回転する光源を利用する
場合にはより一層装置が複雑化し、組立精度の低下を引
き起こし、カラー受像管の品質を悪化させる要因とな
る。
の開孔形をラジアル方向に楕円形にする方法ではシャド
ウマスクの残りの部分が減少するためシャドウマスク強
度が低下するという問題がある。また、カラー受像管の
露光時に光源位置を管軸に沿って移動する方法では露光
装置の構造が複雑になり、特に回転する光源を利用する
場合にはより一層装置が複雑化し、組立精度の低下を引
き起こし、カラー受像管の品質を悪化させる要因とな
る。
【００１２】本願発明は、上記問題点に鑑み、カラー受
像管の品位を低下させることなく、簡単な方法で蛍光面
周辺の光出力を低下させることなく輝度を蛍光面中央に
劣らないカラー受像管を作製するための露光装置を提供
することを目的とする。
像管の品位を低下させることなく、簡単な方法で蛍光面
周辺の光出力を低下させることなく輝度を蛍光面中央に
劣らないカラー受像管を作製するための露光装置を提供
することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、カラー受像管のパネル内面に蛍光体ドッ
トが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有する
ブラックマトリックスを形成するにあたり、シャドウマ
スクを介して露光光源からの光によりパネル内面に塗布
されたレジスト膜を露光するカラー受像管用蛍光面形成
方法において、前記露光光源と前記シャドウマスクとの
間に、前記露光光源の光軸を中心に回転し、回転方向に
２以上の領域を有する不連続レンズを配置して、前記シ
ャドウマスクの所定の開孔を通過する光の軌道を２段階
以上に変化させながら露光することを特徴とするカラー
受像管用蛍光面の形成方法である。
め、本発明は、カラー受像管のパネル内面に蛍光体ドッ
トが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有する
ブラックマトリックスを形成するにあたり、シャドウマ
スクを介して露光光源からの光によりパネル内面に塗布
されたレジスト膜を露光するカラー受像管用蛍光面形成
方法において、前記露光光源と前記シャドウマスクとの
間に、前記露光光源の光軸を中心に回転し、回転方向に
２以上の領域を有する不連続レンズを配置して、前記シ
ャドウマスクの所定の開孔を通過する光の軌道を２段階
以上に変化させながら露光することを特徴とするカラー
受像管用蛍光面の形成方法である。
【００１４】また、カラー受像管のパネル内面に蛍光体
ドットが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有
するブラックマトリックスを形成する工程で使用され、
シャドウマスクを介した露光光源からの光によりパネル
内面に塗布されたレジスト膜を露光する露光装置におい
て、前記露光光源と前記シャドウマスクとの間に、前記
露光光源の光軸を中心に回転し、前記シャドウマスクの
所定開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変化させる
２以上の領域が回転方向に配列されてなる不連続レンズ
が配置されていることを特徴するカラー受像管の露光装
置である。
ドットが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有
するブラックマトリックスを形成する工程で使用され、
シャドウマスクを介した露光光源からの光によりパネル
内面に塗布されたレジスト膜を露光する露光装置におい
て、前記露光光源と前記シャドウマスクとの間に、前記
露光光源の光軸を中心に回転し、前記シャドウマスクの
所定開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変化させる
２以上の領域が回転方向に配列されてなる不連続レンズ
が配置されていることを特徴するカラー受像管の露光装
置である。
【００１５】
【作用】本発明によると、２以上の領域を有する不連続
レンズを回転させながら露光することにより、シャドウ
マスクの所定開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変
化させることができる。このように光の軌道を変化させ
るとシャドウマスクに対する入射角が変化し、楕円状の
照射範囲をずらしながら露光することができる。このよ
うに所定のシャドウマスク開孔に対して楕円状照射範囲
の集合のような形で露光することができ、真円状のホー
ル部を形成することが可能となる。
レンズを回転させながら露光することにより、シャドウ
マスクの所定開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変
化させることができる。このように光の軌道を変化させ
るとシャドウマスクに対する入射角が変化し、楕円状の
照射範囲をずらしながら露光することができる。このよ
うに所定のシャドウマスク開孔に対して楕円状照射範囲
の集合のような形で露光することができ、真円状のホー
ル部を形成することが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。本発明による露光装置の全体構成を図１に
示す。この露光装置は、フレーム10の上端面の上にパネ
ル載置板11が設けられており、このパネル載置板11に多
数の円形開孔を有するシャドウマスク2 が取り付けられ
たパネル1 が位置決めして置かれるようになっている。
上記フレーム10の内側には、パネル1 に向かって順次、
露光光源3 、不連続レンズ20、補正レンズ4 等が図示し
ない支持台に載置されて配設されている。なお、これら
の光軸は、管軸であるパネルの中心軸Ｚと一致させてい
る。これらの構成のうち、光源3 は管軸Ｚを中心に回転
するものであり、また補正レンズ4 は光源からの光線を
電子ビームの軌道に略一致させるためのものであり、そ
の構成は既知であるので、詳細説明は省略する。
て説明する。本発明による露光装置の全体構成を図１に
示す。この露光装置は、フレーム10の上端面の上にパネ
ル載置板11が設けられており、このパネル載置板11に多
数の円形開孔を有するシャドウマスク2 が取り付けられ
たパネル1 が位置決めして置かれるようになっている。
上記フレーム10の内側には、パネル1 に向かって順次、
露光光源3 、不連続レンズ20、補正レンズ4 等が図示し
ない支持台に載置されて配設されている。なお、これら
の光軸は、管軸であるパネルの中心軸Ｚと一致させてい
る。これらの構成のうち、光源3 は管軸Ｚを中心に回転
するものであり、また補正レンズ4 は光源からの光線を
電子ビームの軌道に略一致させるためのものであり、そ
の構成は既知であるので、詳細説明は省略する。
【００１７】また、不連続レンズ20は、管軸を中心とし
た回転方向に２以上の領域が配列された構造となってお
り、例えば、図２に示すような構成となっている。すな
わち、厚さｔ1 の半円状の領域21と厚さｔ2 の半円状の
領域22からなり、２つの領域は光源の光軸Ｚ1 を含む平
面上で隣接する構造となっている。本実施例の不連続レ
ンズでは、２つの領域が同じ材質により形成され、厚さ
が相違する分により光路差が生じることになり、２つの
異なる光路差を有する不連続レンズとなる。そしてこの
不連続レンズは図示しないレンズ保持枠により保持さ
れ、さらに図示しない回転機構により管軸Ｚに一致した
光源3 の光軸Ｚ1 を中心に回転可能になっている。
た回転方向に２以上の領域が配列された構造となってお
り、例えば、図２に示すような構成となっている。すな
わち、厚さｔ1 の半円状の領域21と厚さｔ2 の半円状の
領域22からなり、２つの領域は光源の光軸Ｚ1 を含む平
面上で隣接する構造となっている。本実施例の不連続レ
ンズでは、２つの領域が同じ材質により形成され、厚さ
が相違する分により光路差が生じることになり、２つの
異なる光路差を有する不連続レンズとなる。そしてこの
不連続レンズは図示しないレンズ保持枠により保持さ
れ、さらに図示しない回転機構により管軸Ｚに一致した
光源3 の光軸Ｚ1 を中心に回転可能になっている。
【００１８】次に、本実施例の露光装置を用いた露光方
法について説明する。パネル内面にフォトレジスト膜を
形成するまでの工程は、既知の方法であるので、詳細説
明は省略し、フォトレジスト膜を露光する工程のみ説明
する。さらに、上記構成の露光装置では、光源からの光
は、回転する不連続レンズ、補正レンズ、シャドウマス
クを通過した後、パネル内面に到達するが、このとき、
不連続レンズの領域に関わらず不連続レンズを通過した
光は補正レンズを通過するので、説明を簡略化するため
に、この補正レンズについては考えないようにする。
法について説明する。パネル内面にフォトレジスト膜を
形成するまでの工程は、既知の方法であるので、詳細説
明は省略し、フォトレジスト膜を露光する工程のみ説明
する。さらに、上記構成の露光装置では、光源からの光
は、回転する不連続レンズ、補正レンズ、シャドウマス
クを通過した後、パネル内面に到達するが、このとき、
不連続レンズの領域に関わらず不連続レンズを通過した
光は補正レンズを通過するので、説明を簡略化するため
に、この補正レンズについては考えないようにする。
【００１９】上記条件のもとに本願の不連続レンズの作
用について説明するために、パネル内面の所定の位置を
露光する光源から放射された光線の時間変化について考
える。初めに、図３（ａ）に示すように、光源3 からの
光が不連続レンズのうち厚さｔ1 の領域21を通過した後
パネル1 内面の目標点Ａに到達する場合は、光源位置は
レンズの厚さｔ1 に応じて見かけ上ｘ1 だけ露光される
パネル側に近づくことになる。このときシャドウマスク
2 に光線はθ１の角度で入射するとする。このとき、シ
ャドウマスクの開孔を通過した光線31によるパネル内面
上の照射領域は図３（ｂ）に示すように楕円状になる。
次に、不連続レンズが回転して目標点Ａに到達していた
光線が図３（ｃ）に示すように不連続レンズのうちの厚
さｔ2 の領域22を通過するようになる。このとき、レン
ズの厚さｔ2 に応じて見かけ上の光源位置はｘ2 だけパ
ネル側に近づくことになる。レンズの厚さ関係がｔ1 ＞
ｔ2 であるから、領域21及び領域22が同じ材質であれば
ｘ1 ＞ｘ2 となる。真の光源位置とシャドウマスク2 中
心との距離は一定で、シャドウマスク中心から目標点ま
での距離も変化しないから、シャドウマスクへの入射角
θ２はθ１より大きくなる（θ２＞θ１）。このときの
パネル内面上の照射領域も図３（ｄ）に示すように楕円
状になる。また、図３（ｅ）に示すように、蛍光面上に
おける露光光線の中心位置は露光中に見かけ上Ｌだけ移
動することになる。不連続レンズが回転することによ
り、上述の入射角の変化が繰り返される。このランディ
ング移動量Ｌを不連続レンズの厚さを調整して露光する
ことにより、従来ブラックマトリックスの形状が楕円形
状となっていたものを、真円に近づけることができ、ブ
ラックマトリックスの孔の大きさを所望の大きさとする
ことができる。
用について説明するために、パネル内面の所定の位置を
露光する光源から放射された光線の時間変化について考
える。初めに、図３（ａ）に示すように、光源3 からの
光が不連続レンズのうち厚さｔ1 の領域21を通過した後
パネル1 内面の目標点Ａに到達する場合は、光源位置は
レンズの厚さｔ1 に応じて見かけ上ｘ1 だけ露光される
パネル側に近づくことになる。このときシャドウマスク
2 に光線はθ１の角度で入射するとする。このとき、シ
ャドウマスクの開孔を通過した光線31によるパネル内面
上の照射領域は図３（ｂ）に示すように楕円状になる。
次に、不連続レンズが回転して目標点Ａに到達していた
光線が図３（ｃ）に示すように不連続レンズのうちの厚
さｔ2 の領域22を通過するようになる。このとき、レン
ズの厚さｔ2 に応じて見かけ上の光源位置はｘ2 だけパ
ネル側に近づくことになる。レンズの厚さ関係がｔ1 ＞
ｔ2 であるから、領域21及び領域22が同じ材質であれば
ｘ1 ＞ｘ2 となる。真の光源位置とシャドウマスク2 中
心との距離は一定で、シャドウマスク中心から目標点ま
での距離も変化しないから、シャドウマスクへの入射角
θ２はθ１より大きくなる（θ２＞θ１）。このときの
パネル内面上の照射領域も図３（ｄ）に示すように楕円
状になる。また、図３（ｅ）に示すように、蛍光面上に
おける露光光線の中心位置は露光中に見かけ上Ｌだけ移
動することになる。不連続レンズが回転することによ
り、上述の入射角の変化が繰り返される。このランディ
ング移動量Ｌを不連続レンズの厚さを調整して露光する
ことにより、従来ブラックマトリックスの形状が楕円形
状となっていたものを、真円に近づけることができ、ブ
ラックマトリックスの孔の大きさを所望の大きさとする
ことができる。
【００２０】上述の露光方法は、カラー受像管の電子銃
から出射される電子ビームのうち、管軸上に位置する電
子ビームに対応したホール部を形成する場合について説
明したものである。通常は、複数色の蛍光体ドットを形
成する際には各色の電子ビームに対応して光源の位置を
ずらしている。本願発明の場合も、管軸からずれた位置
から出射される電子ビームに対応するホール部を形成す
る際には光源の位置を管軸からずらして行うが、このと
き不連続レンズも光源位置に対応してずれて、光源の光
軸を中心に不連続レンズが回転するようにしている。
から出射される電子ビームのうち、管軸上に位置する電
子ビームに対応したホール部を形成する場合について説
明したものである。通常は、複数色の蛍光体ドットを形
成する際には各色の電子ビームに対応して光源の位置を
ずらしている。本願発明の場合も、管軸からずれた位置
から出射される電子ビームに対応するホール部を形成す
る際には光源の位置を管軸からずらして行うが、このと
き不連続レンズも光源位置に対応してずれて、光源の光
軸を中心に不連続レンズが回転するようにしている。
【００２１】なお、本実施例の不連続レンズでは光路差
を変化させる領域が光源の光軸を含む平面近傍で隣接す
る構造となっているため、画面全体領域で考えた場合に
は、光源の光軸を中心とする回転のために隣接面の影響
を無視できるようになる。
を変化させる領域が光源の光軸を含む平面近傍で隣接す
る構造となっているため、画面全体領域で考えた場合に
は、光源の光軸を中心とする回転のために隣接面の影響
を無視できるようになる。
【００２２】本実施例によると、ブラックマトリックス
のホール部形状が、蛍光面の周辺部で半径方向と直交す
る方向に長軸を有し、特に、対角周辺部では短軸／長軸
比で８８％程度の楕円形状となっていたものを、ほぼ全
面で真円化を達成できるようになった。
のホール部形状が、蛍光面の周辺部で半径方向と直交す
る方向に長軸を有し、特に、対角周辺部では短軸／長軸
比で８８％程度の楕円形状となっていたものを、ほぼ全
面で真円化を達成できるようになった。
【００２３】上記実施例は、実質的に一枚板で厚さの異
なる領域からなる不連続レンズであったが、不連続レン
ズの形状は様々なものが適用可能である。図４に示す不
連続レンズは、円形のガラス板を中心で分割した半円状
のガラス板のみからなり、光源の光軸Ｚ1 を含む平面で
ある切断面43をすりガラスとしたものである。このよう
な構成とすることにより、ガラス板の存在する領域41
と、存在しない領域42とが光軸Ｚ1 を含む平面近傍で隣
接し、ガラス板を通過する場合と通過しない場合で光路
差を生ずるので、上述の実施例と同様の作用を有する。
なる領域からなる不連続レンズであったが、不連続レン
ズの形状は様々なものが適用可能である。図４に示す不
連続レンズは、円形のガラス板を中心で分割した半円状
のガラス板のみからなり、光源の光軸Ｚ1 を含む平面で
ある切断面43をすりガラスとしたものである。このよう
な構成とすることにより、ガラス板の存在する領域41
と、存在しない領域42とが光軸Ｚ1 を含む平面近傍で隣
接し、ガラス板を通過する場合と通過しない場合で光路
差を生ずるので、上述の実施例と同様の作用を有する。
【００２４】図５に示す不連続レンズ50は、光源の光軸
Ｚ1 を含む平面を挟んで屈折率ｎ1の領域51と屈折率ｎ2
の領域52から形成されるものである。図６に示す不連
続レンズ60は、図２に示す不連続レンズの段差部分を滑
らかにした形状のものである。
Ｚ1 を含む平面を挟んで屈折率ｎ1の領域51と屈折率ｎ2
の領域52から形成されるものである。図６に示す不連
続レンズ60は、図２に示す不連続レンズの段差部分を滑
らかにした形状のものである。
【００２５】図７に示す不連続レンズ70は、厚さｔ1 の
領域71と厚さｔ2 の領域72をそれぞれ２つ形成したもの
である。以上説明した不連続レンズはいずれも、光路差
を生じさせる領域が光源の光軸近傍で隣接した構造とな
っているが、周辺部のみで本発明の効果を得ようとする
場合には、図８に示すように隣接部が光源の光軸Ｚ1 か
らずれているものも可能である。ただし、図８に示す例
では、隣接面のうち斜線で示す部分の影響によりパネル
の中央部と周辺部で照度バランスが若干変化する可能性
がある。このような場合には、別途、照度補正フィルタ
ー等で対策を施せば良い。
領域71と厚さｔ2 の領域72をそれぞれ２つ形成したもの
である。以上説明した不連続レンズはいずれも、光路差
を生じさせる領域が光源の光軸近傍で隣接した構造とな
っているが、周辺部のみで本発明の効果を得ようとする
場合には、図８に示すように隣接部が光源の光軸Ｚ1 か
らずれているものも可能である。ただし、図８に示す例
では、隣接面のうち斜線で示す部分の影響によりパネル
の中央部と周辺部で照度バランスが若干変化する可能性
がある。このような場合には、別途、照度補正フィルタ
ー等で対策を施せば良い。
【００２６】さらに、上述の露光方法においては、ブラ
ックマトリックスのホール部の形状が外側が欠けた楕円
形状になったものを真円形状に近づけるものについて説
明したが、不連続レンズの領域の設定の選択により、管
軸を中心とするラジアル方向に長軸を有する楕円形状に
することもできる。
ックマトリックスのホール部の形状が外側が欠けた楕円
形状になったものを真円形状に近づけるものについて説
明したが、不連続レンズの領域の設定の選択により、管
軸を中心とするラジアル方向に長軸を有する楕円形状に
することもできる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
シャドウマスクの開孔に入射する光線の角度を変化させ
ながら露光することができ、蛍光面周辺でのブラックマ
トリックスのホール部を所望の大きさ、形状にて形成す
ることができる。
シャドウマスクの開孔に入射する光線の角度を変化させ
ながら露光することができ、蛍光面周辺でのブラックマ
トリックスのホール部を所望の大きさ、形状にて形成す
ることができる。
【図１】本願発明による露光装置の一実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】図１の露光装置に用いられる不連続レンズの一
実施例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面
図である。
実施例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面
図である。
【図３】図３は本願発明の露光方法による作用を説明す
る図であり、（ａ）は図２のレンズの領域21を通過した
光の軌道を説明する模式図であり、（ｂ）は（ａ）の状
態による照射領域を示す図、（ｃ）は図２のレンズの領
域22を通過した光の軌道を説明する模式図であり、
（ｄ）は（ｃ）の状態による照射領域を示す図、（ｅ）
は照射領域の変化を示す図である。
る図であり、（ａ）は図２のレンズの領域21を通過した
光の軌道を説明する模式図であり、（ｂ）は（ａ）の状
態による照射領域を示す図、（ｃ）は図２のレンズの領
域22を通過した光の軌道を説明する模式図であり、
（ｄ）は（ｃ）の状態による照射領域を示す図、（ｅ）
は照射領域の変化を示す図である。
【図４】不連続レンズの他の実施例を説明する斜視図で
ある。
ある。
【図５】不連続レンズの他の実施例を説明する斜視図で
ある。
ある。
【図６】不連続レンズの他の実施例を説明する斜視図で
ある。
ある。
【図７】不連続レンズの他の実施例を説明する斜視図で
ある。
ある。
【図８】不連続レンズの他の実施例を説明する斜視図で
ある。
ある。
【図９】従来の露光装置の概要を示す断面図である。
【図１０】図９の露光装置による露光状態を説明する図
であり、（ａ）はシャドウマスク開孔を通過する光の軌
道を説明する図であり、（ｂ）は照射領域を示す図であ
る。
であり、（ａ）はシャドウマスク開孔を通過する光の軌
道を説明する図であり、（ｂ）は照射領域を示す図であ
る。
1 …パネル 2 …シャドウマスク 3 …露光光源 4 …補正レンズ 20、40、50、60、70、80…不連続レンズ
Claims (5)
- 【請求項１】 カラー受像管のパネル内面に蛍光体ドッ
トが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有する
ブラックマトリックスを形成するにあたり、シャドウマ
スクを介して露光光源からの光によりパネル内面に塗布
されたレジスト膜を露光するカラー受像管用蛍光面形成
方法において、 前記露光光源と前記シャドウマスクとの間に、前記露光
光源の光軸を中心に回転し、回転方向に２以上の領域を
有する不連続レンズを配置して、前記シャドウマスクの
所定の開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変化させ
ながら露光することを特徴とするカラー受像管用蛍光面
の形成方法。 - 【請求項２】 カラー受像管のパネル内面に蛍光体ドッ
トが形成されるべき位置に所定形状のホール部を有する
ブラックマトリックスを形成する工程で使用され、シャ
ドウマスクを介した露光光源からの光によりパネル内面
に塗布されたレジスト膜を露光する露光装置において、 前記露光光源と前記シャドウマスクとの間に、前記露光
光源の光軸を中心に回転し、前記シャドウマスクの所定
開孔を通過する光の軌道を２段階以上に変化させる２以
上の領域が回転方向に配列されてなる不連続レンズが配
置されていることを特徴するカラー受像管の露光装置。 - 【請求項３】 前記不連続レンズの前記２以上の領域で
厚さが異なっていることを特徴とする請求項２記載の露
光装置。 - 【請求項４】 前記不連続レンズの前記２以上の領域で
屈折率が異なっていることを特徴とする請求項２記載の
露光装置。 - 【請求項５】 前記不連続レンズの前記２以上の領域が
前記光軸を含む平面近傍で隣接していることを特徴とす
る請求項３又は４記載の露光装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24409393A JP3280774B2 (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置 |
| TW083108444A TW286411B (ja) | 1993-09-30 | 1994-09-13 | |
| MYPI94002543A MY111421A (en) | 1993-09-30 | 1994-09-24 | Method of forming phosphor screen of color cathode-ray tube and exposure apparatus |
| US08/313,796 US5570145A (en) | 1993-09-30 | 1994-09-28 | Method of forming phosphor screen of color cathode-ray tube and exposure apparatus |
| DE69401559T DE69401559T2 (de) | 1993-09-30 | 1994-09-28 | Methode zur Erzeugung eines Phosphorschirms für Kathodenstrahlrohr und Belichtungsvorrichtung |
| EP94115285A EP0646940B1 (en) | 1993-09-30 | 1994-09-28 | Method of forming phosphor screen of color cathode-ray tube and exposure apparatus |
| KR1019940025419A KR0137900B1 (ko) | 1993-09-30 | 1994-09-29 | 칼라 수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24409393A JP3280774B2 (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07105843A true JPH07105843A (ja) | 1995-04-21 |
| JP3280774B2 JP3280774B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=17113646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24409393A Expired - Fee Related JP3280774B2 (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置 |
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|---|---|
| US (1) | US5570145A (ja) |
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| JP (1) | JP3280774B2 (ja) |
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| MY (1) | MY111421A (ja) |
| TW (1) | TW286411B (ja) |
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| EP0773673A4 (en) * | 1995-05-31 | 2001-05-23 | Sony Corp | IMAGE RECORDING DEVICE, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, IMAGE RECORDING ADAPTER, DEVICE AND METHOD FOR THE SIGNAL AND INFORMATION PROCESSING |
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| EP1683174B1 (en) * | 2003-08-18 | 2013-10-23 | Gentex Corporation | Optical elements related manufacturing methods and assemblies incorporating optical elements |
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| USD840025S1 (en) * | 2014-08-28 | 2019-02-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4052123A (en) * | 1971-11-29 | 1977-10-04 | Hitachi, Ltd. | Correcting lenses utilized in the manufacture of fluorescent screen of color picture tubes |
| JPS5212563A (en) * | 1975-07-21 | 1977-01-31 | Hitachi Ltd | Prduction method of luorescent screen of color t.v. set |
| JPS6054135A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-28 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
| JPS60163336A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-26 | Hitachi Ltd | カラ−受像管けい光面の露光方法 |
| JPS60178451A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
| JPS6217925A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | 露光方法 |
| GB8712458D0 (en) * | 1987-05-27 | 1987-07-01 | Philips Nv | Producing colour picture tube screen |
| DE69032477T2 (de) * | 1989-05-31 | 1998-12-17 | Toshiba Kawasaki Kk | Einrichtung zur Herstellung einer Farbkathodenstrahlröhre |
| JPH0388233A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-12 | Toshiba Corp | カラー受像管の蛍光面形成用補正レンズの製作方法 |
| JPH0389430A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Toshiba Corp | カラー受像管用露光装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24409393A patent/JP3280774B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-09-13 TW TW083108444A patent/TW286411B/zh active
- 1994-09-24 MY MYPI94002543A patent/MY111421A/en unknown
- 1994-09-28 US US08/313,796 patent/US5570145A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-09-28 DE DE69401559T patent/DE69401559T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-09-28 EP EP94115285A patent/EP0646940B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-09-29 KR KR1019940025419A patent/KR0137900B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY111421A (en) | 2000-04-29 |
| US5570145A (en) | 1996-10-29 |
| KR0137900B1 (ko) | 1998-04-27 |
| JP3280774B2 (ja) | 2002-05-13 |
| EP0646940A1 (en) | 1995-04-05 |
| EP0646940B1 (en) | 1997-01-22 |
| KR950009824A (ko) | 1995-04-24 |
| TW286411B (ja) | 1996-09-21 |
| DE69401559D1 (de) | 1997-03-06 |
| DE69401559T2 (de) | 1997-06-12 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |