CN101002293A - 图像显示装置及其制造方法 - Google Patents

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CN101002293A CNA2005800274462A CN200580027446A CN101002293A CN 101002293 A CN101002293 A CN 101002293A CN A2005800274462 A CNA2005800274462 A CN A2005800274462A CN 200580027446 A CN200580027446 A CN 200580027446A CN 101002293 A CN101002293 A CN 101002293A
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Abstract

提供了一种具有后侧基板和前侧基板(2)的图像显示装置，在后侧基板上排列着多个电子发射元件，前侧基板排列成面对着后侧基板并且具有荧光图案和遮光图案，这些图案排列在与电子发射元件相对应的位置处。标记区域(24)设置在前侧基板(2)内表面的非有效区域上的至少两个区域中，并与干板(40)上的对准标记(45)相对应，每一个标记区域(24)具有三个对准标记25。因此，不需要为每次三色荧光图案曝光而替换R、G、B掩模，并且掩模与基板之间的重新对准也可以省去了。

Description

图像显示装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种使用电子发射元件的平面型图像显示装置及其制造方法。
背景技术
近年来，作为下一代图像显示装置，已经开发出一种平面型图像显示装置。在这种平面型图像显示装置中，许多电子发射元件排列成与荧光面相对。电子发射元件可以是各种类型，并且基本上是场发射类型。使用这种电子发射元件的显示装置通常被称为场发射显示器(在下文中被称为FED)。作为一种FED的类型，一种使用表面传导型电子发射元件的显示装置被称为表面传导型电子发射元件显示器(在下文中被称为SED)。在本说明书中，术语FED被用作包括SED在内的FED的统称。
为了获得清晰的FED显示特性，有必要通过精确的图案化处理形成三色RGB图案，其中包括荧光面和被称为黑色矩阵的遮光图案。对于这种精确的图案化处理，可以使用像光刻和丝网印刷这样的方法。特开平10-326583号公报揭示了一种制造FED的技术。特开2002-351054揭示了一种使曝光掩模与待处理的基板对准的技术。
然而，在现有技术中，必须为三色荧光物质准备R、G、B三种掩模，将R掩模对准到目标基板并曝光，将R掩模改成G掩模，将G掩模对准到目标基板并曝光，将G掩模改成B掩模，将B掩模对准到目标基板并曝光。这样在改换掩模和使掩模与基板对准方面花费了许多时间，并且吞吐量较低。此外，因为要针对每一种三色荧光物质来改换R、G、B掩模，所以当改换掩模时必须重复对准过程。这减小了对准的精确度。
发明内容
本发明的目的是提供一种高生产率、高品质、低成本的图像显示装置及其制造方法。
一种图像显示装置包括后侧基板和前侧基板，在后侧基板上排列了许多电子发射元件，前侧基板与后侧基板对置并且具有荧光图案和遮光图案，这些图案排列在与电子发射元件相对应的位置处，其中在前侧基板内侧非有效部分的至少两个位置处设置了标记区域，对应于干板的对准标记，并且每一个标记区域具有三个对准标记。
上述对准标记在二维平面大小方面最好大于0.06毫米且小于2毫米。在基板的主表面上，“二维平面大小”被定义为对准标记的最大直径。如果二维平面大小低于0.06毫米，则照相机的放大率需要提高。这增大了对准装置的成本，减小了标记识别的容易度。相反，如果二维平面大小高于2毫米，则标记的大小变得太大，且与像素大小的平衡变差，从而降低了对准的精确度。
标记区域(描画区域)最好是在直径为6毫米的圆圈范围之内。如果标记区域超过6毫米直径，则对准标记很可能会超出照相机的视场，并且对准过程会占用许多时间。标记区域的形状可以是圆形或方形，并且照相机的视场也可以是圆形或方形。例如，如果照相机的视场是方形，则视场大小L1×L2可以设置成4毫米×4毫米。
对准标记最好印在前侧基板内侧四个角落处所设置的每个标记区域内。矩形基板四个角处的对准标记有利于对准过程，并且增大了同一颜色的列图案和重复排列R/G/B三种颜色的行图案的对准精确度。
对准标记可以通过光刻和印刷(包括密封转移方法)中的任一种来形成。光刻的对准精确度较高，并且光刻是较佳的。如果使用印刷方法，则丝网印刷是最合适的。形成对准标记的过程也可以与形成黑色矩阵遮光层的过程同时进行，其中黑色矩阵遮光层用于形成垂直的和水平的分割线，这些分割线将荧光层划分得像矩阵一样。
对准标记最好是按预定的间隔串行排列的三个圆圈标记(参照图5A-5D)。对准标记最好是排列在边长预定的三角形的三个顶点处的三个圆圈标记(参照图6A-6D)。对准标记可以是圆圈、正方形、矩形、十字形、T形、双圆圈以及环形中的任一种。从光刻图案化的容易度以及印刷的容易度来看，圆圈标记是最合适的。
标记区域的二维平面大小最好小于构成三色荧光图案的R/G/B像素单位长度的10倍。如果对准标记大小低于R/G/B像素的1倍(相等的大小)，则照相机的放大率需要提高，并且对准装置的成本增大了。相反，如果对准标记大小高于R/G/B像素的10倍，则标记大小变得太大，与像素大小的平衡变差，且对准的精确度减小了。
一种通过将前侧基板对准到具有许多图案开口的干板从而制造图像显示装置的方法，在与后侧基板相对置的前侧基板上形成荧光面，而在后侧基板上排列着许多电子发射元件，该方法包括：
(a)在干板的至少两个位置处的标记区域中，形成三种半透明的对准标记；
(b)在前侧基板上没有形成荧光图案的非有效部分的至少两个位置处的标记区域中，形成作为前侧基板一部分的遮光对准标记，与干板的对准标记对应成1∶1；
(c)当干板和前侧基板平行排列且从后方照亮前侧基板时，针对每一个标记区域从干板的前侧来观察基板和干板的对准标记的重叠状态；以及
(d)将前侧基板与干板相对地对准，使得在至少两个标记区域中照相装置视场内基板和干板的对准标记的重叠状态是平衡的。
在上述方法中，基板对准标记和干板对准标记都是圆形标记，基板对准标记的直径小于干板对准标记的直径，并且在步骤(d)中使前侧基板和干板相对地对准，使得在所有标记区域中基板对准标记进入照相机视场中的干板对准标记内。因为基板对准标记的直径d1小于干板对准标记的直径d2，所以基板对准标记可以很容易地识别，并且这些对准标记的重叠状态最好在至少两个位置处平衡，4个位置处都平衡则更好(参照图5A-5D和图6A-6D)。
基板对准标记和干板对准标记的直径d1和d2的比例最好介于0.5-0.8的范围中。例如，基板对准标记的直径d1是500±2μm，干板对准标记的直径d2是800±2μm。如果直径d1和d2的比例低于0.5，则基板对准标记在干板对准标记中可允许的位移变得过大，并且对准精确度减小了。相反，如果直径d1和d2的比例高于0.8，则基板对准标记变得很难进入干板对准标记中，并且一部分标记常常跑到外面。因此，对准变得很难在至少两个标记区域(最好4个位置)中获得平衡，且对准精确度减小了。
附图说明
图1是用于制造本发明的图像显示装置的装置的方框图；
图2是干板和前侧基板在对准时刻的透视图；
图3A是具有对准标记的前侧基板的平面图；
图3B是具有另一种对准标记的前侧基板的平面图；
图4A是具有对准标记的干板的平面图；
图4B是具有另一种对准标记的干板的平面图；
图5A是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的基板和干板的对准标记的重叠状态；
图5B是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的基板和干板的对准标记的重叠状态；
图5C是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的基板和干板的对准标记的重叠状态；
图5D是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的基板和干板的对准标记的重叠状态；
图6A是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的其它类型的对准标记的重叠状态；
图6B是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的其它类型的对准标记的重叠状态；
图6C是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的其它类型的对准标记的重叠状态；
图6D是放大的平面图，它示出了照相机视场中出现的其它类型的对准标记的重叠状态；
图7A是示出了图像显示装置的制造过程示例的透视截面图；
图7B是示出了图像显示装置的制造过程示例的透视截面图；
图7C是示出了图像显示装置的制造过程示例的透视截面图；
图8是图像显示装置(FED)部分破开的平面图，它示出了前侧基板的荧光面和金属衬垫层；
图9是图像显示装置的一部分荧光面的放大平面图；
图10是示出了图像显示装置(FED)的概要的透视图；以及
图11是图10沿A-A线所截取的横截面图。
具体实施方式
下文将参照附图来解释本发明的最佳模式。
如图1所示，用于制造本发明的图像显示装置的对准装置30包括：基板支架31，掩模支架39，干板40，掩模支架驱动单元50，基板支架驱动单元60，控制器70，CCD照相机72，以及许多其它未示出的外围设备。对准装置30设置在从备用单元32到对准单元33的区域中，并且未示出的曝光单元设置在该区域中或该区域附近。
对准装置30和曝光单元的操作都要经控制器70进行集中控制。控制器70基于从四个CCD照相机72处发送过来的图像拾取信号，控制驱动单元50、60和曝光单元的各种操作，并且将目标基板2与干板40对准。四个照相机72与干板40四个角处所设置的标记区域44相对应地排列着。
如图2所示，排列照相机72，使其每一个的光轴沿y轴延伸并穿过基板和干板的标记区域24和44。背光源(未示出)设置在目标基板2的后方，以便从后侧(即FED组装后的外部)照亮基板2。照相机72固定在其各自的位置处，并不偏离基板2驱动系统和干板40驱动系统。干板40相对于固定的照相机72而固定在其位置处。目标基板2从备用单元32移动至对准单元33，并且对准到干板40和照相机72。
基板支架31设置成可从备用单元32移动至对准单元33，并且具有对准功能以移动作为目标基板的前侧基板2或将其夹住不动。基板支架是矩形并且比矩形基板2稍大一点，并且具有多个位于适当位置处的真空吸入孔(未示出)以吸附并夹住前侧基板2。如图2所示，前侧基板2被基板支架31吸住并夹住，使得较长的边面对着x轴方向，而较短的边面对着y轴方向。备用单元32用作目标基板2的原位置，并且让基板在对准之前先放在那里备用。
三个未示出的线性驱动机构使基板支架31在X、Y、Z三个方向上移动，未示出的θ旋转驱动机构使基板支架31绕Y轴旋转。通过基于来自CCD照相机72的对准标记检测信号来控制基板驱动单元60，控制器70控制着这些驱动机构的各种操作。
基板支架驱动单元60具有未示出的左右两对线性导向装置和球形螺丝。线性导向装置和球形螺丝沿Z轴方向延伸，并且球形螺丝与螺帽(未示出)啮合。该螺帽与支架一端相连，以便将目标基板2与框架(未示出)固定到一起。支架的角由左右两对线性导向装置以可滑动的方式支持着。驱动单元60由控制器70来备用控制，以控制开始/停止移动基板支架的时间以及移动的量。在线性导向装置的一端，设置制动器和未示出的限制开关，以便对驱动单元60使基板支架移动的行程给出限制。
在对准单元中，设置了用于吸附并固定干板40的掩模支架39。掩模支架39由驱动单元50以可移动的方式支撑着，以便在固定干板40的同时在Y轴方向上进行移动。干板40比目标基板2尺寸稍大，并且掩模支架39比基板支架31要大很多。
干板支架驱动单元50具有未示出的左右两对线性导向装置和球形螺丝。线性导向装置和球形螺丝沿Z轴方向延伸，并且球形螺丝与螺帽(未示出)啮合。螺帽54与掩模支架39的一端相连，以便将干板40与框架(未示出)固定到一起。支架39的角由左右两对线性导向装置以可滑动的方式来支撑着。驱动单元50受控制器70备用控制，以便控制开始/停止移动掩模支架39的时间以及移动的量。在线性导向装置的一端，设置了制动器和未示出的限制开关，以便对驱动单元50使掩模支架39移动的行程给出限制。
接下来，参照图3A和3B来解释各种待处理的基板。
如图3A所示，目标基板2在四个角落A、B、C、D处(非有效部分23)具有标记区域24。在每一个标记区域24中，三个遮光对准标记25R、25G和25B沿短边方向等节距串行排列。对准标记25R被用于对准三色荧光物质中的红色图案。对准标记25G被用于对准三色荧光物质中的绿色图案。对准标记25B被用于对准三色荧光物质中的蓝色图案。在该图所示的示例中，对准标记25R、25G和25B从顶部到底部顺序排列。排列顺序并不限于本发明中的这个样子。这些标记可以按照从顶部到底部分别是25G、25B和25R这样的顺序排列，或者按25G、25R和25B这样的顺序，或者按25B、25R和25G这样的顺序，或者按25B、25G和25R这样的顺序，或者按25R、25B和25G这样的顺序。
在图3B所示的另一种目标基板2A中，每一个标记区域24A具有三个遮光对准标记25R、25G和25B，它们排列在等腰三角形或等边三角形的三个顶点上。如图6所示，三个标记25R、25G和25B按等节距P1来排列。在该图所示的示例中，对准标记25G排列在三角形的顶点处。排列方式并不限于本发明中的这个样子。对准标记25R或25B可以排列在三角形的顶点处。
对目标基板2和2A上的有效部分21涂布光刻胶，基板与随后会描述的干板40和40A对准，并且用曝光单元对三色荧光图案依次曝光。
接下来，将参照图4A和4B解释各种类型的干板。
如图4A所示，干板40具有许多图案孔42，它们有规则地排列在中心图案区域(有效部分)41中。这些图案孔42被用作曝光时将光线传递到目标基板的开口。干板40具有位于外围非图案区域(非有效部分)43的四个角落A、B、C、D处的标记区域44。在每一个标记区域44中，三个半透明的对准标记45R、45G和45B沿对角线等节距地排列(节距为P1)。对准标记45R被用于对准三色荧光物质的红色图案。对准标记45G被用于对准三色荧光物质的绿色图案。对准标记45B被用于对准三色荧光物质的蓝色图案。在该图所示的示例中，对准标记25R、25G和25B从顶部到底部按顺序地排列。排列顺序并不限于本发明的这个样子。这些标记可以按照从顶部到底部分别是25G、25B和25R这样的顺序排列，或者按25G、25R和25B这样的顺序，或者按25B、25R和25G这样的顺序，或者按25B、25G和25R这样的顺序，或者按25R、25B和25G这样的顺序。
在图4B所示的另一种干板40A中，每一个标记区域44A具有两个半透明的对准标记45G和45R(与45B一致)，它们沿短边方向串行排列。上面的标记45G被用于对准三色荧光物质的绿色图案。下面的标记45R(45B)被用于对准三色荧光物质的红色和蓝色图案。
接下来，将参照图5A-5D解释目标基板2与干板40的对准。
图5A、5B、5C和5D示出了在对准绿色图案时四个角落A、B、C、D处各个照相机的视场。干板40的标记区域44是用像黑色矩阵的遮光膜来覆盖的，除了对准标记45R、45G和45B以外。在照相机的视场中，只看到用于绿色图案的基板对准标记25G，用于红色和蓝色图案的基板对准标记25R和25B被遮光部分隐藏起来，如图中阴影所示。
在四个角落A、B、C、D处各个照相机的视场中，用于绿色图案的基板对准标记25G处于干板的半透明对准标记45G之内，并且被每一个照相机72拍成图像。所拍摄的四个图像信号被应用于控制器70。基于这些输入信号，控制器70使基板支架驱动单元31移动一点点以免失去基板和干板的对准标记25G和45G在四个角落A、B、C、D处的重叠平衡，精细对准基板2和干板40，并且保持对准标记25G和45G在四个角落A、B、C、D处的重叠平衡。
在本实施例中，当RGB像素作为图案要曝光的大小是600微米时，矩形荧光层的宽度是150微米，并且矩形荧光层中的空间是50微米，照相机视场的大小L1×L2是4毫米×4毫米，基板对准标记25R、25G和25B的直径d1是500微米，干板对准标记25R、25G和25B的直径d2是800微米，并且节距P1是200微米。
当目标基板2在图中向左边移动节距P1时，用于蓝色图案的整个对准标记25B进入干板对准标记45B并且对准到蓝色图案，可以将标记25B拍摄成图像。当目标基板2向右边移动节距P1时，用于红色图案的整个对准标记25R进入干板对准标记45R并且对准到红色图案，可以将标记25R拍摄成图像。
接下来，将参照图6A-6D来解释目标基板2A到干板40A的对准过程。
图6A、6B、6C和6D示出了当对准红色图案时在四个角落A、B、C、D处各个照相机的视场。除了对准标记45R、45G和45B以外，干板40A的标记区域44A是用像黑色矩阵的遮光膜来覆盖的。在照相机的视场中，只看到了用于红色图案的基板对准标记25R，用于绿色图案的基板对准标记25G被遮光部分隐藏着，如图中阴影所示。用于蓝色图案的基板对准标记25B在照相机视场之外。
在四个角落A、B、C、D处各个照相机的视场中，用于绿色图案的基板对准标记25R位于干板的半透明对准标记45R之内，并且被各个照相机72拍成图像。所拍摄的四个图像信号被应用于控制器70。基于这些输入信号，控制器70使基板支架驱动单元31移动一点点，以便不失去基板和干板的对准标记25R和45R在四个角落A、B、C、D处的重叠平衡，精细地对准基板2A和干板40A，并且保持对准标记25R和45R在四个角落A、B、C、D处的重叠平衡。
在本实施例中，当要作为图案而曝光的RGB像素大小是600微米时，矩形荧光层的宽度是150微米，并且矩形荧光层中的空间是50微米，照相机视场L1×L2的大小是4毫米×4毫米，基板对准标记25R、25G和25B的直径d1是100微米，干板对准标记25R、25G和25B的直径d2是400微米，且节距P1是200微米。
当目标基板2A在图中向左边移动节距P1时，用于绿色图案的整个对准标记25G进入干板对准标记45G中并且对准到绿色图案，可以将标记25G拍成图像。当目标基板2A向右边移动节距P1时，用于蓝色图案的整个对准标记25B进入下方的干板对准标记45B(与红色标记一致)中并且对准到蓝色图案，可以将标记25B拍成图像。
下文将参照图7A-7C解释一种用于制造图像显示装置FED的方法，该方法尤其适用于用上述对准装置来制造图像显示装置的前面板的时候。
用预定的化学溶液来清洗作为FED前侧基板的玻璃基板2，并获得所需的干净表面。用遮光层形成溶液来涂敷清洗后的前侧基板2的内部，该遮光层形成溶液包括像黑色色素这样的吸光物质。加热并干燥所涂敷的膜。通过丝网掩模使该膜曝光，该丝网掩模具有多个孔径，这些孔径位于与矩阵图案相对应的位置。使所获得的潜像显影，并且形成像图7A所示的遮光层5b1和5b2的矩阵图案。
通过未示出的支架机器人，将目标基板2转移到基板支架31，并且吸附并固定该基板。基板支架31的接收表面被制成自对准结构，并且基板2自动地大致地对准到基板31。目标基板2是用于FED的前侧基板，并且如前所述，在图案形成表面上涂敷了光刻胶。用基板支架31的真空卡盘来吸附并固定目标基板2，使得光刻胶涂敷表面被设置成对着曝光单元一侧。
然后，使基板2从备用单元32移动到对准单元33，用四个照相机72拍摄对准标记，并将所拍摄的图像信号发送到控制器70。控制器70基于图像信号，精细地对准基板2和干板40，由此基板2对准到干板40。
用混合溶液来涂敷前侧基板2的表面直到预定的厚度，该混合溶液是通过按预定比例将红色(R)荧光粒子混入光刻胶溶液(包含溶剂)而制备的。加热并干燥所涂敷的膜。通过丝网掩模，使该膜曝光并显影，该丝网掩模具有孔径，该孔径位于与红色(R)图案相对应的位置处。关于绿色(G)和蓝色(B)，通过相同的光刻，形成预定的图案。最终，烘烤基板2以消除光刻胶，并且获得了一种具有RGB荧光层6a的荧光面6，该荧光层具有三色矩形或矩形条状图案，像图7B和图9所示的那样在垂直和水平方向上有规则地排列。例如，当像素是节距为600微米的正方形时，荧光层6a的垂直分割线13V的X方向宽度是20-50微米。垂直分割线13V的宽度由相邻荧光层6a的底部间隔来定义，而不管荧光层的截面形状(矩形、梯形、倒置梯形)。荧光层6a的水平分割线13H(条纹)的Y方向宽度是50-250微米。遮光层5b的矩阵存在于这些垂直和水平的分割线13V和13H中，以防止光线泄漏到前侧基板2。
如图7C所示，用R/G/B部分图案在荧光层6a的顶面上形成金属衬垫层7。为了形成金属衬垫层7，例如通过旋转涂敷方法，形成像硝化纤维这样的有机树脂薄膜。通过真空蒸镀，在所形成的有机树脂薄膜上形成铝(Al)膜。最终，烘烤所形成的膜，以消除有机物质。
将按上文形成的荧光面6与电子发射元件一起放入真空外壳中。为此使用真空容器形成方法，即用火石玻璃对具有荧光面6的前侧基板2和具有多个电子发射元件的后侧基板1进行真空密封。此外，在真空外壳中的图案上蒸镀预定的吸气材料，并且在金属衬垫层7的区域中形成蒸镀膜。
图10和图11示出了与本实施例共用的FED结构。FED具有前侧基板2和后侧基板1，它们均由正方形玻璃制成且彼此对置，其间留有1-2毫米的间隔。通过矩形框状侧壁，这些前侧基板2和后侧基板1在它们的四周边缘部分连接起来，从而构成了平面型矩形真空外壳，其内部保持大约10-4Pa的高真空度。
荧光面6形成于前侧基板2的内表面上。荧光面6包括用于发出红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的荧光层6a以及矩阵型的遮光层5b。金属衬垫层7形成于荧光面6上，它充当阳极，还充当反光膜，用于反射来自荧光层6a的光线。在显示操作下，未示出的电路向金属衬垫层7提供预定的阳极电压。
在后侧基板1的内表面上，设置了许多电子发射元件8，它们发出电子束来激发荧光层7。这些电子发射元件8排列在与各个像素相对应的若干列和行中。这些电子发射元件8被未示出的像矩阵那样排列的布线驱动着。在后侧基板1和前侧基板2之间，设置许多盘状或列状间隔物10作为加固件来耐受作用于基板1和2上的大气压。
通过金属衬垫层7，将阳极电压施加到荧光面6上。电子发射元件8所发出的电子束经阳极电压加速，并碰撞到荧光面6上。相应的荧光层6a发光，且图像得以显示。
图8和图9示出了前侧基板2的结构，尤其示出了本发明各实施例所共用的荧光面6。荧光面6具有许多矩形荧光层，用来发出红(R)光、绿(G)光和蓝(B)光。以前侧基板2的长边为X轴，以与长边正交的宽度边为Y轴，荧光层R、G、B按预定的间隙在X轴方向上重复地排列，并且相同颜色的荧光层按预定的间隙重复地排列。在制造过程中允许预定的间隙在某一误差范围内波动，或者在设计的过程中允许其在容许的范围内波动，并且荧光层6a中的间隙在XY平面中不可能是恒定的数值，但是为了解释方便它被视为几乎恒定的数值。
荧光面6具有遮光层5a和5b。这些遮光层具有：矩形框遮光层5a，它沿前侧基板2的四周边缘延伸；以及矩阵图案的遮光层5b，在矩形框遮光层5a内部遮光层5b像矩阵那样在荧光层R、G、B中延伸，像图8所示那样。
根据本发明，在用对准掩模和三色R/G/B荧光物质所共用的掩模(干板)来制备前侧基板之后，并且一旦使前侧基板对准到共用的掩模，则可以在不改换掩模的情况下按顺序地将三色R/G/B图案曝光到基板上，并且吞吐量增大很多。
此外，没有必要在使三色荧光图案曝光的时候改换R、G、B掩模，并且掩模与基板重新对准的过程也不需要了。因此，三色荧光图案的错位可以减小到5微米或更小，并且对准精确度也可以增大很多。

Claims (10)

1.一种包括后侧基板和前侧基板的图像显示装置，在所述后侧基板上排列着许多电子发射元件，所述前侧基板与所述后侧基板对置并且具有荧光图案和遮光图案，这些图案排列在与电子发射元件相对应的位置处，其特征在于，在所述前侧基板内部非有效部分中的至少两个位置处设置了标记区域，与干板的对准标记相对应，并且每一个标记区域具有三个对准标记。
2.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，所述对准标记的二维平面大小是在0.060毫米之上且在2毫米之下。
3.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，所述标记区域位于直径为6毫米的圆圈范围之内。
4.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，所述标记区域的二维平面大小小于由三色荧光图案构成的像素的10倍。
5.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，在所述前侧基板内部四个角落处所设置的标记区域中，通过光刻进行图案化处理，形成了所述对准标记。
6.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，所述对准标记是按预定间隔串行排列的三个圆圈标记，并且在大小方面小于所述干板的对准标记。
7.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于，所述对准标记是排列在具有预定边长的三角形的各个顶点处的三个圆圈标记，并且在大小方面小于所述干板的对准标记。
8.一种通过将前侧基板对准到干板从而制造图像显示装置的方法，其中所述干板具有许多图案孔，在所述前侧基板上形成了荧光面，后侧基板与所述前侧基板对置，并且在所述后侧基板上排列着许多电子发射元件，其特征在于，所述方法包括：
(a)在所述干板的至少两个位置处的标记区域中，形成三个半透明的对准标记；
(b)在所述前侧基板上没有形成荧光图案的非有效部分的至少两个位置处的标记区域中，形成作为前侧基板一部分的遮光对准标记，且与所述干板的对准标记对应成1∶1；
(c)在所述干板和所述前侧基板平行排列且从后方照亮所述前侧基板的状态中，针对每一个标记区域，从所述干板的前侧，观察所述基板和所述干板的对准标记的重叠状态；以及
(d)使所述前侧基板相对地对准到所述干板，使得所述基板和所述干板的对准标记在照相装置视场内的重叠状态在至少两个标记区域中是平衡的。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基板和所述干板的对准标记都是圆圈标记，所述基板的对准标记的直径小于所述干板的对准标记的直径，并且在步骤(d)中使所述前侧基板相对地对准到所述干板，使得在所有的标记区域中，在照相机的视场内所述基板的对准标记进入所述干板的对准标记中。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基板和所述干板的对准标记是正方形、矩形、十字形、T形、双圈以及环形中的一种，所述基板的对准标记的直径小于所述干板的对准标记的直径，并且在步骤(d)中使所述前侧基板相对地对准到所述干板，所以在所有的标记区域中，在照相机的视场内所述基板的对准标记进入所述干板的对准标记中。
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