KR20060094844A - 범프 검사 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

형상 검출부는 CCD 카메라에 의해서 얻어진 오브젝트 화상에 포함되는 범프를 나타내는 화상 중, 올바른 범프의 형상을 갖는 화상을 검출한다. 검사 영역 설정부는 오브젝트 화상의 영역 중, 형상 검출부에 의해서 검출된 화상을 적어도 포함하는 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로서 설정한다. 마스터 화상 기억부는 검사의 기준이 되는 마스터 화상을 기억한다. 비교 검사부는 검사 영역 설정부에 의해서 설정된 검사 영역에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상을 비교함으로써, 범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부를 검사한다.

Description

범프 검사 장치 및 방법{BUMP CHECKING APPARATUS AND METHOD}

도 1은 제1 실시 형태에 따른 범프 검사 장치의 구성을 도시하는 블록도이고,

도 2는 올바르게 형성된 기판의 예를 도시하는 도면이고,

도 3은 범프 검사 장치의 화상 처리 장치(3)에서의 처리의 흐름을 도시하는 흐름도이고,

도 4는 단계 S1에 의해서 얻어진 오브젝트 화상을 도시하는 도면이고,

도 5는 제2 검사 영역 화상을 도시하는 도면이고,

도 6은 본 실시 형태에서 이용되는 마스터 화상을 도시하는 도면이고,

도 7은 본 실시 형태에서 이용되는 제1 검사 영역 화상을 도시하는 도면이고,

도 8은 비교 검사가 행해지는 영역을 설명하기 위한 도면이고,

도 9는 제2 실시 형태에서 이용되는 제1 검사 영역 화상을 도시하는 도면이고,

도 10은 오브젝트 화상을 잘 촬상할 수 없었던 경우에서의 가상적인 비교 검사를 설명하기 위한 도면이고,

도 11은 제2 실시 형태에서 이용하는 마스터 화상을 도시하는 도면이고,

도 12a∼도 12c는 복수의 범프를 동시에 비교하는 경우에서의 화상의 예를 도시하는 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 스테이지 2 : CCD 카메라

3 : 화상 처리 장치 31 : 2치화 처리부

32 : 오브젝트 화상 기억부 33 : 형상 검출부

34 : 범프 위치 기억부 35 : 검사 영역 설정부

36 : 비교 검사부 37 : 마스터 화상 기억부

38 : 검사 영역 화상 기억부 46 : 제1 범프의 화상

47 : 제2 범프의 화상 48 : 제3 범프의 화상

91 : 제1 범프의 화상 92 : 제2 범프의 화상

93 : 제3 범프의 화상 94 : 제1 범프의 화상

95 : 제2 범프의 화상 96 : 제3 범프의 화상

S : 기판

본 발명은, 기판에 형성된 범프를 검사하는 범프 검사 장치 및 범프 검사 방법에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 범프가 소정의 정밀도로 기판에 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 범프 검사 장치 및 범프 검사 방법에 관한 것이다.

종래, 다층 프린트 배선 기판의 층간을 접속하는 방법으로서, 범프에 의한 접속 방법이 제안되어 있다. 즉, 예를 들면, 원추형의 범프를 기판에 형성하여, 범프가 형성된 기판과 다른 기판을 압착함으로써 범프를 기판에 관통시켜 기판끼리를 접속하는 것이다. 이와 같이 기판에 범프가 형성되는 경우, 범프가 형성되는 위치 및 범프의 형상에 관해서 범프를 정밀하게 작성할 필요가 있기 때문에, 범프의 형성 후에 이 기판을 검사할 필요가 있다.

기판에 형성된 범프를 검사하는 방법으로서는, 검사 대상의 기판의 화상(오브젝트 화상)과 샘플이 되는 기판의 화상(마스터 화상)을 비교하는 방법이 있다(예를 들면, 일본국 특개 2001-102761호 공보 참조). 이 방법에서는, 범프가 상면에 형성된 기판을 위에서 촬상하여 2치(値) 화상의 오브젝트 화상을 얻는다. 또, 2치 화상의 마스터 화상을 CAD 데이터 등으로부터 미리 작성해 둔다. 그리고, 오브젝트 화상과 마스터 화상을 비교함으로써 양자의 상위(相違) 부분을 검출하여, 원하는 정밀도로 범프가 형성되어 있는지의 여부를 이 상위 부분에 기초하여 판단한다.

여기에서, 1개의 기판에는 다수의 범프가 형성되는 것이 통상이기 때문에, 범프를 1개 1개 개별로 비교하여 검사를 행하는 것 보다도, 복수의 범프를 동시에 비교하여 검사를 행하는 것이 바람직하다. 이하, 도 12(a)∼도 12(c)를 이용하여, 복수의 범프를 동시에 비교하는 경우에서의 검사 처리를 설명한다.

검사 처리에서는, 우선, 마스터 화상 및 오브젝트 화상이 준비된다. 도 12(a)∼도 12(c)는 복수의 범프를 동시에 비교하는 경우에서의 화상의 예를 도시하는 도면이다. 도 12(a)∼도 12(c)에서는, 제1∼제3 범프라는 3개의 범프에 대해서 동시에 비교 검사를 행하는 경우를 설명한다. 도 12(a)는 마스터 화상의 예를 도시한다. 마스터 화상으로서는, 제1 범프의 화상(91), 제2 범프의 화상(92) 및 제3 범프의 화상(93)이 미리 작성된다. 또, 도 12(b)는 오브젝트 화상의 예를 도시한다. 오브젝트 화상에는, 제1 범프의 화상(94), 제2 범프의 화상(95) 및 제3 범프의 화상(96)이 포함된다.

마스터 화상 및 오브젝트 화상이 준비되면, 각 범프를 적절한 위치에서 비교할 수 있도록 마스터 화상과 오브젝트 화상의 위치 맞춤이 행해진다. 예를 들면, 비교하는 모든 범프에 대해서 상위 부분의 양(면적)이 최소가 되도록 위치 맞춤이 행해진다. 위치 맞춤이 행해진 후, 마스터 화상과 오브젝트 화상의 비교가 행해져, 각 범프에 대해서 상위 부분이 검출된다. 예를 들면, 상위 부분의 면적이 소정의 기준량보다도 큰 범프는, 원하는 정밀도로 작성되어 있지 않다(즉, 결함이다)고 판단된다. 따라서, 위치가 어긋나 있기 때문에 상위 부분의 면적이 기준량보다도 큰 범프, 및 올바른 형상으로 형성되어 있지 않기 때문에 상위 부분의 면적이 기준량보다도 큰 범프는, 결함이라고 판단된다. 도 12(c)는 마스터 화상과 오브젝트 화상을 겹쳐서 표시한 도면이다. 또한, 도 12(c)에서는 도면을 보기 쉽게 할 목적으로, 마스터 화상의 윤곽을 점선으로 나타내고, 오브젝트 화상의 윤곽을 실선으로 나타낸다. 도 12(c)에서는 제1∼제3 범프의 각각에 대해서 상위 부분이 검출된다. 그리고, 검출된 상위 부분의 면적에 기초하여 각 범프가 결함인지의 여부가 판정된다.

여기에서, 실제로는, 범프는 위치 어긋남이 어느 정도 발생한다고 해도 형상 이 정확하게 형성되어 있으면 결함이 아니다. 예를 들면, 직경이 50㎛의 범프이면, ±20㎛ 정도의 위치 어긋남은 허용된다. 도 12(a)∼도 12(c)의 예에서는, 제2 범프는 위치 어긋남이 발생하지만 형상이 정확하게 형성되어 있기 때문에, 결함이 아니라고 판단되어야 한다. 한편, 형상에 관해서는 위치 어긋남보다도 엄격하게 판단할 필요가 있는 경우가 많고, 범프 자체가 소정의 면적을 갖지 않으면 결함이라고 판단된다. 도 12(a)∼도 12(c)의 예에서는, 제3 범프는 형상이 정확하게 형성되어 있지 않기 때문에, 결함이라고 판단되어야 한다. 이상으로부터, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용 범위는, 범프의 형상에 관한 허용 범위보다도 넓다고 말할 수 있다. 즉, 범프의 위치 어긋남에 관해서는, 상기 기준량은 크게 설정되어야 하는 것에 반해서, 범프의 형상에 관해서는, 상기 기준량은 작게 설정되어야 한다.

그러나, 종래 방법에서는, 위치 및 형상의 양쪽에 관해서 같은 기준량으로 검사를 행하기 때문에, 어느 한 쪽에 대해서는 정확한 검사를 행할 수 없었다. 즉, 기준량을 작게 설정하면, 위치 어긋남에 관해서 허용 범위가 좁게 설정되어 버리기 때문에, 다소 위치가 어긋나 있지만 본래 결함이 아닌 범프(도 12(a)∼도 12(c)의 제2 범프)가 결함이라고 판단되어 버린다. 반대로, 기준량을 크게 설정하면, 형상에 관해서 허용 범위가 넓게 설정되어 버리기 때문에, 본래 허용되지 않은 형상의 범프(도 12(a)∼도 12(c)의 제3 범프)가 결함이 아니라고 판단되어 버린다. 따라서, 종래의 검사 방법에서는, 범프의 위치 및 형상에 관해서 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 없었다.

그 때문에, 본 발명의 목적은, 범프의 위치 및 형상에 관해서 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 있는 범프 검사 장치 및 범프 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 이하에 나타내는 구성을 채용하였다. 즉, 제1 국면(局面)은, 기판에 형성된 범프를 검사하는 범프 검사 장치이다. 범프 검사 장치는, 기판을 촬상하는 촬상부와, 촬상부에 의해서 얻어진 오브젝트 화상에 포함되는 범프를 나타내는 화상 중 올바른 범프의 형상을 갖는 화상을 검출하는 형상 검출부와, 오브젝트 화상의 영역 중 형상 검출부에 의해서 검출된 화상을 적어도 포함하는 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로서 설정하는 검사 영역 설정부와, 검사의 기준이 되는 마스터 화상을 기억하는 마스터 화상 기억부와, 검사 영역 설정부에 의해서 설정된 검사 영역에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상을 비교함으로써, 범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 비교 검사부를 구비한다.

또, 제2 국면에서는, 검사 영역 설정부는 형상 검출부에 의해서 검출된 화상의 영역 및 그 주위의 영역을 비검사 영역으로서 설정해도 된다.

또, 제3 국면에서는, 범프 검사 장치는, 마스터 화상 중에서 비교 검사부에 의한 비교의 대상으로 하는 영역을 나타내는 데이터를 기억하는 검사 영역 화상 기억부를 더 구비하여도 된다. 이때, 비교 검사부는, 검사 영역 설정부에 의해서 설정되는 검사 영역이면서 검사 영역 화상 기억부에 기억되어 있는 데이터에 의해서 나타내어지는 영역에 대해서 마스터 화상과 오브젝트 화상을 비교한다.

또, 제4 국면에서는, 검사 영역 화상 기억부에 기억되어 있는 데이터는, 기판에 형성되어야 하는 범프에 대응하는 영역을 나타내는 것이어도 된다. 이때, 마스터 화상은, 기판에 형성되어야 하는 범프의 화상으로부터 일부가 결핍된 화상을 갖는다.

또, 제5 국면은, 기판에 형성된 범프를 검사하기 위한 범프 검사 방법이다. 범프 검사 방법에는, 기판을 촬상하는 촬상 단계와, 촬상 단계에 의해서 얻어진 오브젝트 화상에 포함되는 범프를 나타내는 화상 중 올바른 범프의 형상을 갖는 화상을 검출하는 형상 검출 단계와, 오브젝트 화상의 영역 중 형상 검출 단계에서 검출된 화상을 적어도 포함하는 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로서 설정하는 검사 영역 설정 단계와, 검사 영역 설정 단계에서 설정된 검사 영역에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상을 비교함으로써, 범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 비교 검사 단계가 포함된다.

상기 제1 및 제5 국면에 의하면, 올바른 형상의 범프 화상을 미리 검출하고, 검출한 범프 화상의 영역을 비검사 영역으로 설정한다. 그리고, 검사 영역에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상의 비교 검사를 행함으로써, 형상이 올바르지 않은 범프 및 위치 어긋남이 허용량을 넘는 범프를 결함으로서 검출할 수 있다. 여기에서, 범프의 형상에 관한 허용 범위는 올바른 형상의 범프 화상을 검출하는 처리에서 정해지고, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용 범위는 비검사 영역을 설정하는 처리에서 정해진다. 따라서, 본 발명에 의하면, 범프의 형상 및 위치에 관한 각각의 허용 범위를 각각 독립하여 적절히 설정할 수 있기 때문에, 범프의 위치 및 형상에 관해서 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 있다. 또, 본 발명에 의하면, 비교 검사의 방법으로서 종래의 방법을 적용할 수 있기 때문에, 특별한 비교 검사 알고리즘을 이용하지 않고 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 있다.

상기 제2 국면에 의하면, 위치 어긋남에 관한 허용 범위를 넓게 할 수 있다. 일반적으로는, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용 범위는 크게 취해도 문제없는 경우가 많기 때문에, 위치 어긋남에 관한 허용 범위를 넓게 함으로써, 실정에 준거한 검사를 행할 수 있다.

상기 제3 국면에 의하면, 마스터 화상에 대해서도 비교 검사의 대상으로 하는 영역을 설정함으로써, 비교 검사의 대상으로 하는 영역을 자유롭게 설정할 수 있다.

상기 제4 국면에 의하면, 촬상시에서의 기판의 반사에 의해서 오브젝트 화상을 정확하게 취득할 수 없었던 경우, 비교 검사의 결과가 결함이 된다. 따라서, 기판에 형성되어야 하는 범프(이상적인 범프)의 영역만을 비교 검사의 대상으로 하는 경우에도, 정확하게 취득할 수 없었던 오브젝트 화상에 대해서 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다. 또한, 이상적인 범프의 영역만에 대해서 비교 검사를 행하면 되기 때문에, 비교 검사의 처리량을 저감할 수 있다.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는, 첨부 도면과 대조하여, 이하의 상세한 설명으로부터 한층 더 명확해질 것이다.

(제1 실시 형태)

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 범프 검사 장치의 구성을 도시하는 블록도이다. 범프 검사 장치는 스테이지(1), CCD(Charged Coupled Device) 카메라(2), 및 화상 처리 장치(3)를 구비한다. 범프 검사 장치(1)는 기판(S)에 범프가 올바르게 형성되어 있는지의 여부를 검사하기 위한 것이다.

도 1에서, 스테이지(1)는 검사 대상인 기판(S)을 그 상면에 올려놓는다. 기판(S)에는, 예를 들면 원추형의 범프가 형성되어 있다. 기판(S)에 형성되는 범프는 일반적으로는, 직경이 100∼50㎛, 높이가 100㎛ 정도의 크기이다. CCD 카메라(2)는 기판(S)을 촬상하는 촬상 수단의 일례이고, 스테이지(1)에 올려 놓여진 기판(S)을 위쪽에서 촬상한다. 촬상된 화상 데이터(디지털 데이터)는 후술하는 비교 검사 처리에 이용된다. 본 실시 형태에서는, CCD 카메라(2)에 의해서 얻어진 화상을 오브젝트 화상이라고 부르고, 오브젝트 화상을 나타내는 데이터를 오브젝트 화상 데이터라고 부른다. 또한, 기판(S)의 전체 면을 한 번에 촬상할 수 없는 경우, CCD 카메라(2) 및/또는 스테이지(1)를 이동시킴으로써 촬상 위치를 바꾸어 기판(S)의 전체 면을 촬상하도록 해도 된다. CCD 카메라(2)는 촬상한 기판(S)의 오브젝트 화상 데이터를 화상 처리 장치(3)에 출력한다. 화상 처리 장치(3)는 CCD 카메라(2)로부터 출력된 오브젝트 화상을 이용하여, 기판(S)에 범프가 올바르게 형성되어 있는지의 여부(범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부)를 검사하여, 검사 결과를 출력한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 화상 처리 장치(3)는 2치화 처리부(31), 오브젝트 화상 기억부(32), 형상 검출부(33), 범프 위치 기억부(34), 검사 영역 설정부 (35), 비교 검사부(36), 마스터 화상 기억부(37) 및 검사 영역 화상 기억부(38)를 구비한다. 화상 처리 장치(3)는 전형적으로는 퍼스널 컴퓨터에 의해서 구성되고, 화상 처리 장치에서의 처리는, 화상 처리 장치(3)에 격납된 소정의 프로그램이 실행됨으로써 행해진다. 또한, 화상 처리 장치에서의 처리는 그 일부 또는 전부가 전용(專用)의 처리 회로에 의해서 행해져도 된다.

2치화 처리부(31)는 CCD 카메라(2)로부터 출력된 오브젝트 화상 데이터에 대해서 2치화 처리를 행한다. 즉, 2치화 처리부(31)는 오브젝트 화상을, 각 화소가 2치로 표현되는 2치 화상으로 변환한다. 변환 후의 오브젝트 화상 데이터에서는, 범프가 존재하는 위치가 "1", 범프가 존재하지 않는 위치가 "0"으로 표현된다. 오브젝트 화상 기억부(32)는 2치화 처리부(31)에 의한 변환 후에 얻어지는 오브젝트 화상 데이터를 기억한다. 범프 위치 기억부(34)는 기판(S)에 형성되어야 하는 각 범프의 위치를 나타내는 데이터(범프 위치 데이터)를 기억한다. 이 범프 위치 데이터는 예를 들면 검사자에 의해서 미리 작성되어 범프 위치 기억부(34)에 기억된다. 또한, 범프 위치 데이터는, 각 범프의 위치를 특정할 수 있는 것이면 어떠한 것이어도 되고, 예를 들면, 각 범프의 중심 위치를 나타내는 좌표 데이터이어도 되고, 화상 데이터이어도 된다. 예를 들면, 후술하는 마스터 화상 데이터를 범프 위치 데이터로서 이용해도 된다.

형상 검출부(33)는 오브젝트 화상에 포함되는 범프 화상(범프를 나타내는 화상) 중, 올바른 범프의 형상을 갖는 범프 화상을 검출한다. 본 실시 형태에서는 범프는 원추형상이기 때문에, 올바르게 형성된 범프는 오브젝트 화상에서 원형 영 역으로서 나타내어진다. 요컨대, 본 실시 형태에서는, 형상 검출부(33)는 범프 화상 중, 외형이 원형인 화상을 검출한다. 형상 검출부(33)는 검출한 범프 화상의 영역(오브젝트 화상 상에서의 영역)을 나타내는 데이터를 검사 영역 설정부(35)로 출력한다. 또한, 올바른 형상이 아닌 범프 화상의 영역은 검사 영역 설정부(35)로는 통지되지 않는다.

검사 영역 설정부(35)는 오브젝트 화상에 대해서, 비교 검사의 대상으로 하는 검사 영역과, 비교 검사의 대상으로 하지 않는 비검사 영역을 설정한다. 구체적으로는, 검사 영역 설정부(35)는 올바른 형상의 범프 화상의 영역을 확산하는 처리(확산 처리)를 행함으로써, 검사 영역 및 비검사 영역을 나타내는 화상을 생성한다. 보다 구체적으로는, 검사 영역 설정부(35)는, 올바른 형상의 범프 화상의 영역을 소정 범위만큼 확대시킨 영역을 비검사 영역으로 하는 화상을 나타내는 화상 데이터를 생성한다. 본 실시 형태에서는, 이 화상을 제2 검사 영역 화상이라고 부르고, 제2 검사 영역 화상을 나타내는 화상 데이터를 제2 검사 영역 화상 데이터라고 부른다. 제2 검사 영역 화상 데이터는 오브젝트 화상 데이터와 동일하게, 각 화소가 2치로 표현된 데이터이다. 예를 들면, 제2 검사 영역 화상에서는, 비검사 영역이 "0", 검사 영역이 "1"로 표현된다.

한편, 마스터 화상 기억부(37)는 마스터 화상 데이터를 기억한다. 마스터 화상 데이터란, 비교 검사 처리에서 기준이 되는 기판의 화상(마스터 화상)을 나타내는 데이터이다. 마스터 화상은 이상적으로 범프가 형성된 기판의 화상이다. 마스터 화상 데이터는 양품(良品)을 촬상함으로써 얻어진 화상 데이터이어도 되고, CAD 데이터로 작성된 화상 데이터이어도 된다. 마스터 화상 데이터는 오브젝트 화상 데이터와 동일하게, 각 화소가 2치로 표현된 데이터이다. 마스터 화상 데이터에서는 오브젝트 화상 데이터와 동일하게, 범프가 존재하는 위치가 "1", 범프가 존재하지 않는 위치가 "0"으로 표현된다. 또, 검사 영역 화상 기억부(38)는 제1 검사 영역 화상을 나타내는 화상 데이터(제1 검사 영역 화상 데이터)를 기억한다. 제1 검사 영역 화상 데이터는, 마스터 화상에서의 영역 중, 비교 검사의 대상으로 하는 영역을 지정하는 화상 데이터이다. 제1 검사 영역 화상 데이터는, 제2 검사 영역 화상 데이터와 동일하게, 각 화소가 2치로 표현된 데이터이고, 비검사 영역이 "0", 검사 영역이 "1"로 표현된다.

비교 검사부(36)는 상기 오브젝트 화상 및 상기 마스터 화상을 이용하여 기판(S)에 대한 비교 검사 처리를 행한다. 즉, 비교 검사부(36)는 오브젝트 화상과 마스터 화상의 패턴 매칭을 행하여, 양자에 포함되는 범프 화상의 상위점을 검출한다. 비교 검사부(36)는 검출된 상위점에 기초하여, 각 범프가 소정의 정밀도로 기판에 형성되어 있는지의 여부를 판단한다. 예를 들면, 범프 화상의 상위점의 수가, 미리 정해진 소정 수보다도 적은 경우, 범프가 소정의 정밀도로 기판에 형성되어 있다고 판단되고, 이 소정 수 이상인 경우, 범프가 소정의 정밀도로 기판에 형성되어 있지 않다고 판단된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 비교 검사부(36)는 오브젝트 화상 및 마스터 화상을 단지 이용하는 것이 아니라, 제1 및 제2 검사 영역 화상을 이용하여 각 화상(오브젝트 화상 및 마스터 화상)을 마스크한 후 비교 검사 처리를 행한다. 구체적 으로는, 마스터 화상의 검사 영역은 제1 검사 영역 화상에 의해서 규정되고, 오브젝트 화상의 검사 영역은 제2 검사 영역 화상에 의해서 규정된다. 즉, 마스터 화상은 제1 검사 영역 화상에서 검사 영역으로 되는 영역만이 비교 검사의 대상이 된다. 또, 오브젝트 화상은 제2 검사 영역 화상에서 검사 영역으로 되는 영역만이 비교 검사 처리의 대상이 된다. 그 결과, 비교 검사 처리의 대상이 되는 영역은, 제1 검사 영역 화상과 제2 검사 영역 화상의 양쪽에서 검사 영역으로 되는 영역만이 된다.

이하, 본 실시 형태에 따른 범프 검사 장치의 동작을 설명한다. 또한, 이하에서는, 제1∼제4 범프라는 4개의 범프가 기판에 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 경우를 예로 들어서 설명한다. 도 2는 올바르게 형성된 기판의 예를 도시하는 도면이다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 올바르게 작성된 기판에는, 제1∼제4 범프(41∼44)가 형성된다.

도 3은 범프 검사 장치의 화상 처리 장치(3)에서의 처리의 흐름을 도시하는 흐름도이다. 또한, 도 3에 도시하는 처리의 전에, CCD 카메라(2)는 스테이지(1)에 올려 놓여진 기판(S)의 화상을 촬상해 둔다. 우선 단계 S1에서, 오브젝트 화상이 취득된다. 구체적으로는, 스테이지(1) 상에 올려 놓여진 기판(S)을 촬상함으로써 얻어지는 오브젝트 화상 데이터가 CCD 카메라(2)로부터 2치화 처리부(31)에 취득된다. 2치화 처리부(31)에 취득된 오브젝트 화상 데이터는 각 화소가 2치로 표현되는 화상 데이터로 변환된다. 변환 후의 오브젝트 화상 데이터는 오브젝트 화상 기억부(32)에 기억된다.

도 4는 단계 S1에 의해서 얻어진 오브젝트 화상을 도시하는 도면이다. 도 4에 도시하는 오브젝트 화상에는, 제1 범프를 나타내는 범프 화상(46), 제2 범프를 나타내는 범프 화상(47), 제3 범프를 나타내는 범프 화상(48), 제4 범프를 나타내는 범프 화상(49)이 포함된다. 도 4의 오브젝트 화상으로부터, 기판(S)에서는, 제1 범프는 거의 정상으로 형성되고, 제2 범프는 형상은 올바르지만 위치가 약간 어긋나 형성되고, 제3 범프는 결핍된 형상으로 형성되며, 제4 범프는 형상은 올바르지만 위치가 상당히 어긋나 형성된 것을 알 수 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 제1 범프 및 제2 범프가 정상이라고 판단되고, 제3 범프 및 제4 범프가 결함이라고 판단되는 것을 목표로 한다. 즉, 제2 범프와 같이 약간 위치가 어긋난 것은 허용하고, 제3 범프와 같이 형상이 올바르지 않은 것이나, 제4 범프와 같이 크게 위치가 어긋난 것은 결함이라고 판단한다.

계속해서 단계 S2에서는, 오브젝트 화상을 이용하여, 기판(S)에 형성된 각 범프 중에서 올바른 형상의 범프가 검출된다. 구체적으로는, 형상 검출부(33)는, 오브젝트 화상에 포함되는 각 범프 화상에 대해서, 올바른 형상(여기에서는, 원형)인지의 여부를 판정한다. 형상 검출부(33)에 의한 판정 처리는 예를 들면 다음과 같이 행해진다. 즉, 우선, 범프 위치 기억부(34)에 기억되어 있는 범프 위치 데이터에 기초하여, 각 범프가 형성되어야 하는 위치(범프가 형성되는 이상적인 위치)를 특정한다. 다음에, 특정한 위치에 존재하는 범프 화상의 형상이 원형인지의 여부를 판정한다. 원형인지의 여부의 판정은, 미리 정해진 복수의 방향에 대해서 범프 화상의 영역의 직경을 산출하여, 산출한 직경의 각 값이 소정 범위 내에 있는지 의 여부에 의해서 행한다. 즉, 산출한 직경의 각 값이 소정 범위 내에 있는 경우에는 원형이라고 판정하고, 산출한 직경의 각 값이 소정 범위 내에 없는 경우에는 원형이 아니라고 판정한다. 이 소정 범위를 나타내는 값은 검사자가 자유롭게 설정할 수 있는 것이 바람직하다. 이 값을 변화시킴으로써, 검사자는, 범프의 형상에 관한 허용량을 변화시킬 수 있다. 또한, 원형인지의 여부의 판정은, 범프 위치 데이터에 의해 표시되는 위치를 포함하는 영역의 각각 대해서 행해진다. 도 4의 예에서 말하면, 제1∼제4 범프를 나타내는 각 범프 화상에 대해서 이 판정이 행해진다. 또, 형상 검출부(33)는 올바른 형상이라고 판정된 범프 화상을 나타내는 데이터를 검사 영역 설정부(35)로 전해준다. 이 데이터는 어떠한 형태이어도 되지만, 본 실시 형태에서는 화상 데이터인 것으로 한다. 구체적으로는, 오브젝트 화상 데이터에 포함되는 각 범프 화상 중, 올바른 형상이라고 판정된 범프 화상만을 포함하는 화상 데이터로 한다.

단계 S3에서는, 단계 S2에서 검출된 범프 화상의 영역을 비검사 영역으로 하는 마스크가 작성된다. 구체적으로는, 검사 영역 설정부(35)는, 우선, 형상 검출부(33)로부터 수취한 화상 데이터에 포함되는 각 범프 화상의 중심의 위치를 특정한다. 다음에, 특정한 위치를 중심으로 하는 원 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로 하는 마스크를 나타내는 화상을 작성한다.

계속해서 단계 S4에서는, 단계 S3에서 작성된 화상의 비검사 영역을 확산함으로써 상기 제2 검사 영역 화상이 작성된다. 즉, 검사 영역 설정부(35)는, 단계 S3에서 작성된 화상 데이터의 비검사 영역의 직경을 소정 길이만큼 크게 한다. 이 것에 의해서, 제2 검사 영역 화상이 작성되게 된다. 또한, 비검사 영역을 확산하는 확산량(상기 소정 길이)은 미리 정해져 있는 것으로 한다. 이 확산량은 범프의 위치 어긋남에 관한 허용량을 나타내는 지표가 된다. 따라서, 확산량의 값은 검사자에 의해서 변경 가능하게 되는 것이 바람직하다. 도 5는 제2 검사 영역 화상을 도시하는 도면이다. 도 5에서는, 도 3에 도시하는 오브젝트 화상으로부터 얻어지는 제2 검사 영역 화상을 도시한다. 도 5에서는 사선 영역이 검사 영역이다. 또한, 도 5에서의 점선은, 올바른 형상이라고 판정된 범프 화상의 영역, 즉, 단계 S3에서 설정된 비검사 영역을 나타낸다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 도 3에 도시하는 오브젝트 화상이 얻어진 경우, 제1 범프, 제2 범프, 및 제4 범프를 나타내는 범프 화상의 영역 및 그 주변의 영역이 비검사 영역이 된다.

단계 S5에서는, 오브젝트 화상과 마스터 화상의 비교 검사가 행해진다. 단계 S5의 처리는, 오브젝트 화상 기억부(32)에 기억되어 있는 오브젝트 화상 데이터와, 검사 영역 설정부(35)에 의해서 생성되는 제2 검사 영역 화상 데이터와, 마스터 화상 기억부(37)에 기억되어 있는 마스터 화상 데이터와, 검사 영역 화상 기억부(38)에 기억되어 있는 제1 검사 영역 화상 데이터를 이용하여 행해진다. 도 6은 본 실시 형태에서 이용되는 마스터 화상을 도시하는 도면이다. 또, 도 7은 본 실시 형태에서 이용되는 제1 검사 영역 화상을 도시하는 도면이다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 올바르게 형성된 경우의 각 범프(이상적인 범프)를 나타내는 범프 화상이 마스터 화상으로서 이용된다. 또, 도 7에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서의 제1 검사 영역 화상 데이터는, 전체 면을 검사 영역으로 하는 화상 데이터이다. 이하, 단계 S5에서의 비교 검사부(36)의 처리의 상세를 설명한다.

비교 검사부(36)는 우선, 오브젝트 화상 및 마스터 화상에 대해서 비교 검사를 행하는 영역을 결정한다. 구체적으로는, 오브젝트 화상에서의 비교 검사의 대상이 되는 영역은, 제2 검사 영역 화상에 의해서 규정된다. 즉, 오브젝트 화상 중, 제2 검사 영역 화상에서 검사 영역으로 되는 영역이 비교 검사의 대상이 된다. 도 4 및 도 5를 예로 들어서 설명하면, 도 4에 도시하는 제1, 제2 및 제4 범프를 나타내는 범프 화상의 영역 및 그 주변의 영역은, 비교 검사의 대상으로 되지 않는다. 한편, 마스터 화상에서의 비교 검사의 대상이 되는 영역은, 제1 검사 영역 화상에 의해서 규정된다. 본 실시 형태에서는, 제1 검사 영역 화상에서는 그 전체 면이 검사 영역이기 때문에(도 7 참조), 마스터 화상의 전체 면이 비교 검사의 대상이 된다.

비교 검사를 행하는 영역을 결정하면, 비교 검사부(36)는 오브젝트 화상 및 마스터 화상에 대해서 검사 영역 내의 범프 화상의 위치를 맞추는 처리를 행한다. 위치 맞춤 처리에서는, 예를 들면, 비교 검사의 대상이 되는 전체 영역에서 오브젝트 화상과 마스터 화상의 상위점의 양(면적, 즉 화소수)이 최소가 되도록 위치가 결정된다. 상위점이란, 오브젝트 화상과 마스터 화상에서 값(0 또는 1)이 다른 화소이다. 위치 맞춤 처리의 후, 비교 검사부(36)는 오브젝트 화상과 마스터 화상의 비교 검사를 행한다. 또한, 오브젝트 화상 및 마스터 화상 중 어느 한 쪽만에 대해서 비교 검사의 대상으로 되어 있는 영역에 대해서는, 비교 검사는 행해지지 않 는다. 요컨대, 비교 검사부(36)는 제1 검사 영역 화상과 제2 검사 영역 화상의 양쪽에서 검사 영역이 되는 영역에 대해서 비교 검사를 행한다. 도 8은 비교 검사가 행해지는 영역을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 8에서는, 오브젝트 화상에 포함되는 범프 화상과 마스터 화상에 포함되는 범프 화상을 겹쳐서 기재한다. 도 8에서는, 점선의 내측의 영역 이외의 영역이 비교 검사의 대상이 된다. 따라서, 도 3에 도시하는 오브젝트 화상이 얻어진 경우에는, 범프 화상(46)과 범프 화상(51)에 대해서는 비교 검사가 행해지지 않는다. 또, 범프 화상(47)과 범프 화상(52)에 대해서는 비교 검사가 행해지지 않는다. 또, 범프 화상(49)과 범프 화상(54)에 대해서는, 범프 화상(49)이 비검사 영역 내에 존재하지만, 범프 화상(54)의 일부가 비검사 영역의 외측에 존재하기 때문에, 이 일부에 대해서 비교 검사가 행해진다.

비교 검사에서는, 비교 검사부(36)는 1개의 범프를 나타내는 범프 화상마다 검사 결과를 출력한다. 구체적으로는, 각 범프에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상의 상위점이 검출되어, 상위점의 수가 미리 정해진 소정 수보다도 적은 경우 그 범프는 정상이라고 판단되고, 이 소정 수 이상인 경우 그 범프는 결함이라고 판단된다. 도 8을 예로 들어서 설명하면, 범프 화상(48 및 53)에 대해서 비교 검사를 행함으로써 제3 범프에 관한 검사 결과가 얻어진다. 여기에서는, 범프 화상(48)은 원형의 일부가 결핍된 형상이고, 결핍된 부분이 있는 만큼, 결핍되지 않은 경우에 비해서 상위점의 수가 많아진다. 따라서, 제3 범프에 대한 검사 결과는「결함」이 되는 것으로 한다. 바꾸어 말하면, 상기 소정 수는, 형상 검출부(33)에 의해서 올바른 형상이 아니라고 판단되는 범프 화상을 결함이라고 판단하는 것과 같은 값으로 설정된다.

또, 도 8에서, 점선의 외측에 있는 범프 화상(54)의 영역은, 모두 상위점이라고 판단된다. 따라서, 상위점의 수는 상기 소정 수를 넘는다고 생각되기 때문에, 제4 범프에 대한 검사 결과는「결함」이 된다. 이와 같이, 마스터 화상에 포함되는 범프 화상의 위치가, 제2 검사 영역 화상에서의 비검사 영역의 범위 내를 넘는 경우, 그 범프 화상에 대응하는 범프는 결함이라고 판단된다. 따라서, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용량은, 제2 검사 영역 화상의 비검사 영역의 범위에 의해서 결정되는, 즉, 상기 확산량에 의해서 결정된다. 예를 들면, 확산량을 크게 설정하면, 제2 검사 영역 화상에서의 비검사 영역의 범위가 커지기 때문에, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용량이 커진다. 반대로, 확산량을 작게 설정하면, 제2 검사 영역 화상에서의 비검사 영역의 범위가 작아지기 때문에, 범프의 위치 어긋남에 관한 허용량이 작아진다.

또한, 단계 S5에서의 비교 검사의 구체적인 방법은, 오브젝트 화상과 마스터 화상의 상위점에 기초한 방법이면 되고, 종래의 비교 검사 알고리즘을 적용할 수 있다.

또, 비교 검사부는 비교 검사의 대상이 되지 않았던 범프를 「정상」이라고 판단하는 것으로 한다. 도 8에서, 제1 및 제2 범프는 비교 검사의 대상이 되지 않기 때문에, 제1 및 제2 범프에 대한 검사 결과는「정상」이 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 비교 검사의 결과가 화상으로서 표시 장치(도시하지 않음)에 표시되는 것으로 한다. 예를 들면, 비교 검사부(36)는 오브젝트 화 상과 마스터 화상을 서로 겹친 화상을 표시 장치에 표시하도록 해도 된다. 이때, 정상이라고 판단되는 범프와 결함이라고 판단되는 범프에서 색을 바꾸도록 하면, 정상인 범프와 결함인 범프를 구별하여 표시할 수 있다. 또, 오브젝트 화상과 마스터 화상을 서로 겹친 화상 중, 상기 제2 검사 영역 화상의 검사 영역 내만을 표시하도록 해도 된다. 이때, 정상적인 범프는 비검사 영역 내에 존재하기 때문에 표시되지 않고, 결함인 범프만이 표시되게 된다. 이에 의해서도, 정상인 범프와 결함인 범프를 구별하여 표시할 수 있다. 또한, 비교 검사의 결과의 제시 방법은, 각 범프에 대해서 정상 또는 결함을 작업자에게 제시하는 방법이면 어떠한 방법이어도 되지만, 결함의 여부를 작업자에게 최종 판단시키는 경우에는, 상기한 바와 같이 화상으로서 표시하는 방법이 바람직하다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 범프 검사 장치는 우선, 범프의 형상을 식별하는 처리를 행한다(상기 단계 S2). 이 처리에 의해서, 형상에 관해서 정상이라고 판단되는 범프(예를 들면 상기 제1 및 제2 범프)가 검출된다. 그 후, 범프 검사 장치는, 오브젝트 화상과 마스터 화상의 비교 검사를 행하여(상기 단계 S5), 올바른 형상으로 형성되어 있지 않은 범프, 및, 위치를 허용할 수 없을 정도로 어긋나 형성되어 있는 범프가 검출된다. 이와 같이, 범프의 형상에 관한 판단과, 위치에 관한 판단을 별개로 행함으로써, 형상에 관한 판단의 임계치와 위치에 관한 판단의 임계치를 별개로 할 수 있다. 구체적으로는, 단계 S2에서의 소정 범위를 나타내는 값을 변화시킴으로써, 범프의 형상에 관한 허용치를 변화시킬 수 있다. 또, 단계 S4에서의 소정 길이의 값을 변화시킴으로써, 범프의 위치에 관한 허 용치를 변화시킬 수 있다. 본 실시 형태에 의하면, 형상 및 위치에 관해서 임계치를 각각 적절히 설정할 수 있기 때문에, 범프의 위치 및 형상에 관해서 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 있다.

(제2 실시 형태)

이하, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 범프 검사 장치에 대해서 설명한다. 제2 실시 형태에서는, 상기 제1 검사 영역 화상 및 마스터 화상의 내용이 제1 실시 형태와 다른 것 외에는, 제1 실시 형태와 동일하다. 즉, 범프 검사 장치의 기본적인 구성(도 1) 및 동작(도 3)은 제1 실시 형태와 동일하다. 또한, 이하의 설명에서, 샘플이 되는 기판의 위치 및 형상(도 2) 및 취득되는 오브젝트 화상(도 4)은 제1 실시 형태와 같은 것으로 한다.

도 9는 제2 실시 형태에서 이용되는 제1 검사 영역 화상을 도시하는 도면이다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 제2 실시 형태에서는, 범프가 형성되어야 하는 영역(범프가 형성되는 이상적인 영역)만을 검사 영역으로 한다. 따라서, 비교 검사 처리를 최소한으로 억제할 수 있고, 화상 처리 장치(3)의 처리 부담을 경감하는 동시에 처리를 단시간에 행할 수 있다.

여기에서, 상기 제1 실시 형태에서는, 마스터 화상에 포함되는 범프 화상은, 이상적인 범프 그 자체를 나타내는 것이었다. 요컨대, 제1 실시 형태에서의 마스터 화상은, 도 9에 도시하는 검사 영역과 같은 영역을 나타내는 것이었다. 여기에서, 제2 실시 형태에서 제1 실시 형태와 같은 마스터 화상을 이용하면, 범프의 검사를 정확하게 행할 수 없을 우려가 있다. 이하, 도 10을 이용하여 상세를 설명한 다.

도 10은 오브젝트 화상을 잘 촬상할 없었던 경우에서의 가상적인 비교 검사를 설명하기 위한 도면이다. CCD 카메라(2)에 의해서 기판(S)을 촬상할 때, 기판(S)에 형성된 구리 패턴 등이 반사됨으로써, 범프의 패턴을 잘 촬상할 수 없는 경우가 있다. 이 경우, 구체적으로는 오브젝트 화상 데이터는, 전체 면이 "1(범프가 형성되어 있는 것을 의미한다)"이 되어 버린다(도 10(a)의 화상을 참조). 이와 같은 오브젝트 화상은 비교 검사에서 결함이라고 판단되어야 한다.

그러나, 이와 같은 오브젝트 화상에 대해서, 상술한 제1 검사 영역 화상 및 마스터 화상을 이용하여 비교 검사를 행하면, 결함을 검출할 수 없다. 즉, 전체 면이 "1"인 오브젝트 화상에 대해서 상기 단계 S2의 처리를 행하면, 올바른 형상의 범프 화상은 검출되지 않기 때문에, 제2 검사 영역 화상에서는 전체 면이 검사 영역이 된다(도 10(b)의 화상을 참조). 한편, 제1 검사 영역 화상은, 범프가 형성되는 이상적인 영역을 검사 영역으로 하기(도 10(e)의 화상을 참조) 때문에, 비교 검사 처리의 대상이 되는 영역은, 제1 검사 영역 화상의 모든 검사 영역이 된다. 여기에서, 오브젝트 화상은 전체 면이 "1"이기 때문에, 제1 검사 영역 화상의 검사 영역에 대해서는, 오브젝트 화상의 각 화소의 값은 모두 "1"이다. 또, 마스터 화상은, 제1 검사 영역 화상의 검사 영역에 대해서는, 오브젝트 화상의 각 화소의 값은 모두 "1"이다(도 10(d)의 화상을 참조). 따라서, 제1 검사 영역 화상의 검사 영역에 대해서는, 오브젝트 화상과 마스터 화상의 사이에 상위점은 없고(도 10(c)의 화상을 참조), 그 결과, 각 범프는 정상이라고 판단되어 버린다.

그래서, 제2 실시 형태에서는, 이상적인 범프를 나타내는 범프 화상의 일부를 결핍시킨 화상을 마스터 화상으로서 이용한다. 도 11은 제2 실시 형태에서 이용하는 마스터 화상을 도시하는 도면이다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 제2 실시 형태에서의 마스터 화상에서는, 이상적인 범프를 나타내는 범프 화상의 중심 부분이 결핍되어 있다. 또한, 결핍 부분의 형상 및 크기는 어떠한 것이어도 된다. 단, 이상적인 범프를 나타내는 범프 화상과 그 범프 화상의 일부가 결핍된 마스터 화상을 비교 검사하면 결함이라고 판정되도록, 결핍 부분을 설정할 필요가 있다. 요컨대, 이상적인 범프를 나타내는 범프 화상과 마스터 화상에서는 비교 검사의 결과가 결함이 될 정도의 상위점이 생기도록 결핍 부분을 설정할 필요가 있다.

이상과 같이 마스터 화상에 결핍 부분을 설정함으로써, 만약 도 10(a)에 도시하는 바와 같은 오브젝트 화상에 대해서 비교 검사를 행하는 경우에는, 상기 중심 부분에 대해서 오브젝트 화상과 마스터 화상에 상위점이 생긴다. 그 결과, 비교 검사 처리에서 각 범프는 결함이라고 판단된다. 따라서, 제2 실시 형태에서는, 마스터 화상에 결핍 부분을 설정함으로써, 반사 등에 의해서 오브젝트 화상을 올바르게 촬상할 수 없었던 경우에도 결함을 올바르게 판단할 수 있다.

또한, 상기 제2 실시 형태에서, 올바르게 형성된 범프에 대해서는, 그것을 나타내는 범프 화상 및 그 주변의 영역이 제2 검사 영역 화상에서 비검사 영역이 되기 때문에, 비교 검사가 행해지지 않는다. 그 결과, 이 범프는 정상이라고 판단되기 때문에, 마스터 화상에 결핍 부분을 설정해도 문제는 없다.

이상, 본 발명을 상세하게 설명해 왔지만, 전술한 설명은 모든 점에서 본 발 명의 예시에 지나지 않고, 그 범위를 한정하고자 하는 것이 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 여러 가지의 개량이나 변형을 행할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

본 발명에 의하면, 범프의 위치 및 형상에 관해서 결함의 유무를 정확하게 판단할 수 있는 범프 검사 장치 및 범프 검사 방법이 제공된다.

Claims (5)

1. 기판에 형성된 범프를 검사하는 범프 검사 장치로서,

   상기 기판을 촬상하는 촬상부와,

   상기 촬상부에 의해서 얻어진 오브젝트 화상에 포함되는 범프를 나타내는 화상 중, 올바른 범프의 형상을 갖는 화상을 검출하는 형상 검출부와,

   상기 오브젝트 화상의 영역 중, 상기 형상 검출부에 의해서 검출된 화상을 적어도 포함하는 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로서 설정하는 검사 영역 설정부와,

   검사의 기준이 되는 마스터 화상을 기억하는 마스터 화상 기억부와,

   상기 검사 영역 설정부에 의해서 설정된 검사 영역에 대해서 상기 오브젝트 화상과 상기 마스터 화상을 비교함으로써, 범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 비교 검사부를 구비하는 범프 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 검사 영역 설정부는 상기 형상 검출부에 의해서 검출된 화상의 영역 및 그 주위의 영역을 비검사 영역으로서 설정하는 범프 검사 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 마스터 화상 중에서 상기 비교 검사부에 의한 비교의 대상으로 하는 영역을 나타내는 데이터를 기억하는 검사 영역 화상 기억부를 더 구비하고,

   상기 비교 검사부는, 상기 검사 영역 설정부에 의해서 설정되는 검사 영역이면서 상기 검사 영역 화상 기억부에 기억되어 있는 데이터에 의해서 나타내어지는 영역에 대해서 상기 마스터 화상과 오브젝트 화상을 비교하는 범프 검사 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 검사 영역 화상 기억부에 기억되어 있는 데이터는, 기판에 형성되어야 하는 범프에 대응하는 영역을 나타내고,

   상기 마스터 화상은 기판에 형성되어야 하는 범프의 화상으로부터 일부가 결핍된 화상을 갖는 범프 검사 장치.
5. 기판에 형성된 범프를 검사하기 위한 범프 검사 방법으로서,

   상기 기판을 촬상하는 촬상 단계와,

   상기 촬상 단계에 의해서 얻어진 오브젝트 화상에 포함되는 범프를 나타내는 화상 중, 올바른 범프의 형상을 갖는 화상을 검출하는 형상 검출 단계와,

   상기 오브젝트 화상의 영역 중, 상기 형상 검출 단계에서 검출된 화상을 적어도 포함하는 영역을 비검사 영역으로 하고, 그 밖의 영역을 검사 영역으로서 설정하는 검사 영역 설정 단계와,

   상기 검사 영역 설정 단계에서 설정된 검사 영역에 대해서 상기 오브젝트 화상과 상기 마스터 화상을 비교함으로써, 범프가 소정의 정밀도로 형성되어 있는지의 여부를 검사하는 비교 검사 단계를 포함하는 범프 검사 방법.

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