CN1825095A - 凸起检查装置以及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种凸起检查装置以及方法，形状检出部，从由CCD照相机取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像。检查区域设定部，在目标图像的区域中，将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定。主图像存储部，存储成为检查的基准的主图像。比较检查部，针对由检查区域设定部设定的检查区域，比较目标图像与主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

Description

凸起检查装置以及方法

技术领域

本发明涉及一种检查在基板上形成的凸起(bump)的凸起检查装置以及凸起检查方法，特别是涉及检查在基板上是否以规定的精度形成凸起的凸起检查装置以及凸起检查方法。

背景技术

以往，作为连接多层印刷电路板的层间的方法，提出了由凸起进行连接的方法。即，例如在基板上形成圆锥状的凸起，通过将形成了凸起的基板与其它基板进行压接，从而使凸起贯穿基板而将基板彼此连接。这样在基板上形成凸起时，关于形成凸起的位置以及凸起的形状由于需要以高精度作成凸起，所以需要在凸起形成后对该基板进行检查。

作为检查形成在基板上的凸起的方法，有对检查对象的基板的图像(目标图像)与成为样本的基板的图像(主图像)进行比较的方法(例如参照JP特开2001-102761号公报)。在该方法中，从上面拍摄在其上表面形成了凸起的基板，而取得二值图像的目标图像。另外，根据CAD数据等预先作成二值图像的主图像。而且，通过比较目标图像与主图像从而检测出两者的相异部分，根据该相异部分判断凸起是否是以规定的精度形成。

这里，由于通常在一个基板上形成多个凸起，所以与分别对凸起一个一个比较而进行检查相比，优选对多个凸起同时比较而进行检查。以下，利用图12A～图12C，说明同时比较多个凸起时的检查处理。

在检查处理中，首先，准备主图像以及目标图像。图12A～图12C是表示同时比较多个凸起时的图像的例子的图。在图12A～图12C中，说明针对称为第一～第三凸起的三个凸起同时进行比较、检查的情况。图12A表示主图像的例子。作为主图像，预先作成第一凸起的图像91、第二凸起的图像92、以及第三凸起的图像93。另外，图12B表示目标图像的例子。目标图像包含有第一凸起的图像94、第二凸起的图像95、以及第三凸起的图像96。

当准备主图像以及目标图像时，以能够在适当的位置比较各凸起的方式，进行主图像与目标图像的对位。例如，针对要比较的全部凸起，以使相异部分的量(面积)为最小的方式进行对位。进行对位后，对主图像与目标图像进行比较，针对各凸起检测出相异部分。例如，相异部分的面积比规定的基准量大的凸起，被判断为没有以期望的精度作成(即是缺陷)。因此，以下两种凸起被判断为缺陷，即，由于位置偏移而导致相异部分的面积比基准量大的凸起，以及由于没有形成为正确形状而导致相异部分的面积比基准量大的凸起。图12C是重叠主图像与目标图像而进行表示的图。此外，在图12C中，以图容易明白为目的，用左下斜线表示主图像的轮廓，用右下斜线表示目标图像的轮廓。在图12C中，分别针对第一～第三凸起检测出相异部分。而且，基于检测出的相异部分的面积来判定各凸起是否为缺陷。

这里，实际上，凸起即使存在一定程度的位置偏移，只要形成了正确的形状就不是缺陷。例如，如果是直径为50μm的凸起，则±20μm左右的位置偏移是允许的。在图12A～图12C的例子中，由于第二凸起虽然发生位置偏移但仍是形成正确的形状，所以应该判断为不是缺陷。另一方面，通常关于形状需要比位置偏移更加严格的进行判断，如果凸起自身不具有规定的面积则判断为缺陷。在图12A～图12C的例子中，由于第三凸起没有形成正确的形状，所以应该判断为缺陷。由此，关于凸起的位置偏移的允许范围，可以说比关于凸起的形状的允许范围要宽。即，关于凸起的位置偏移，上述基准量应该设定得较大，相对与此，关于凸起的形状，上述基准量应该设定得较小。

可是，在以往的方法中，由于对位置以及形状双方都以相同的基准量进行检查，所以针对其中一方不能进行正确的检查。即，如果基准量设定得较小，则由于关于位置偏移也将允许范围设定得较窄，导致将多少有些位置偏移但本来不是缺陷的凸起(图12A～图12C的第二凸起)也被判断为缺陷了。反之，如果基准量设定得较大，则由于关于形状也将允许范围设定得较宽，导致本来不被允许的形状的凸起(图12A～图12C的第三凸起)也被判断为不是缺陷了。因此，以往的检查方法不能够对凸起的位置以及形状正确判断缺陷的有无。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够关于凸起的位置以及形状正确判断缺陷的有无的凸起检查装置以及凸起检查方法。

为了解决上述问题，本发明采用了以下所示的结构。即，第一个方面是对形成在基板上的凸起进行检查的凸起检查装置。凸起检查装置具有：拍摄部，其对基板进行拍摄；形状检出部，其从由拍摄部取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；检查区域设定部，其在目标图像的区域中，将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；主图像存储部，其存储成为检查的基准的主图像；比较检查部，其针对由检查区域设定部设定的检查区域，比较目标图像与主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

另外，在第二个方面中，检查区域设定部也可以将由形状检出部检测出的图像的区域及其周围的区域作为非检查区域来设定。

另外，在第三个方面中，凸起检查装置还可以具有检查区域存储部，该其检查区域存储部存储表示在主图像中成为比较检查部的比较对象的区域的数据。此时，比较检查部针对由检查区域设定部设定的检查区域，并且是由存储在检查区域存储部中的数据表示的区域，比较主图像与目标图像。

另外，在第四个方面中，存储在检查区域存储部中的数据，也可表示与应形成在基板上的凸起对应的区域。此时，主图像具有从应形成在基板上的凸起的图像中欠缺了一部分的图像。

另外，第五个方面是用于检查形成在基板上的凸起的凸起检查方法。凸起检查方法包含：拍摄步骤，对基板进行拍摄；形状检出步骤，从通过拍摄步骤而取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；检查区域设定步骤，在目标图像的区域中，将至少包含在形状检出步骤中检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；比较检查步骤，针对在检查区域设定步骤中设定的检查区域，比较目标图像与主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

根据上述第一以及第五个方面，预先检测出正确形状的凸起图像，将检测出的图像的区域设定为非检查区域。而且，通过针对检查区域而比较检查目标图像与主图像，能够将形状不正确的凸起以及位置偏移超出允许量的凸起作为缺陷而检测出。这里，关于凸起的形状的允许范围在检测出正确形状的凸起图像的处理中决定，关于凸起的位置偏移的允许范围在设定非检查区域的处理中决定。因此，根据本发明，由于能够分别独立且适当的设定关于凸起的形状及位置的各自的允许范围，所以关于凸起的位置及形状能够正确判断有无缺陷。另外，根据本发明，作为比较检查的方法由于可以适用以往的方法，所以能够不必使用特别的比较检查算法而正确判断缺陷的有无。

根据上述第二个方面，能够扩大关于位置偏移的允许范围。一般的说，由于通常关于凸起的位置偏移的允许范围即使较大也不会出问题，所以通过扩大关于位置偏移的允许范围，能够进行符合实际情况的检查。

根据上述第三个方面，通过对主图像也设定成为比较检查的对象的区域，而能够自由设定成为比较检查的对象的区域。

根据上述第四个方面，由于拍摄时的基板的反射而没能够正确取得目标图像时，比较检查的结果为缺陷。因此，即使是只将应形成在基板上的凸起(理想的凸起)的区域作为比较检查的对象时，对于没能正确取得的目标图像也能够得到准确的结果。进而，由于只要针对理想的凸起的区域进行比较检查即可，所以能够降低比较检查的处理量。

本发明的这些以及其他的目的、特征、方面、效果，参照附图，从以下的详细说明能进一步变得清楚明确。

附图说明

图1是表示第一实施方式的凸起检查装置的结构的框图。

图2是表示正确形成的基板的例子的图。

图3是表示凸起检查装置的图像处理装置3的处理流程的流程图。

图4是表示通过步骤S1取得的目标图像的图。

图5是表示第二检查区域图像的图。

图6是表示在本实施方式中使用的主图像的图。

图7是表示在本实施方式中使用的第一检查区域图像的图。

图8是用于说明进行比较检查的区域的图。

图9是表示在第二实施方式中使用的第一检查区域图像的图。

图10是用于说明在不能够清晰的拍摄目标图像时的假想的比较检查的图。

图11是表示在第二实施方式中使用的主图像的图。

图12A～图12C是表示同时比较多个凸起时的图像的例子的图。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是表示本发明第一实施方式的凸起检查装置的结构的框图。凸起检查装置具有：载物台1、CCD(Charged Coupled Device：电子耦合组件)照相机2、以及图像处理装置3。凸起检查装置是用于检查在基板S上是否正确形成了凸起的装置。

在图1中，载物台1，将作为检查对象的基板S装载在其上表面上。在基板S上例如形成有圆锥状的凸起。形成在基板S上的凸起，一般的大小是直径为100～50μm，高度为100μm左右。CCD照相机2是拍摄基板S的拍摄装置的一例，是从上方拍摄被装载在载物台1上的基板S。所拍摄的图像数据(数字数据)用于后述的比较检查处理。在本实施方式中，将通过CCD照相机2而取得的图像称为目标图像，并将表示目标图像的数据称为目标图像数据。此外，在不能够一次拍摄基板S的整个表面时，也可以通过移动CCD照相机2以及/或者载物台1来改变拍摄位置，从而拍摄基板S的整个表面。CCD照相机2将拍摄到的基板S的目标图像数据输出到图像处理装置3。图像处理装置3利用从CCD照相机2输出的目标图像，检查在基板S上是否正确形成有凸起(凸起是否以规定的精度形成)，并输出检查结果。

如图1所示，图像处理装置3具有：二值化处理部31、目标图像存储部32、形状检出部33、凸起位置存储部34、检查区域设定部35、比较检查部36、主图像存储部37、以及检查区域图像存储部38。图像处理装置3典型的由个人电脑构成，图像处理装置中的处理是通过执行存储在图像处理装置3内的规定的程序来进行的。此外，图像处理装置中的处理，其部分或者全部可以通过专用的处理电路来进行。

二值化处理部31对从CCD照相机2输出的目标图像数据进行二值化处理。即，二值化处理部31将目标图像转换为以二进制表示各像素的二值图像。在转换后的目标图像数据中，存在凸起的位置用“1”表示，不存在凸起的位置用“0”表示。目标图像存储部32存储由二值化处理部31转换后得到的目标图像数据。凸起位置存储部34存储显示应该形成在基板S上的各凸起的位置的数据(凸起位置数据)。该凸起位置数据例如可由检查者预先作成，并存储在凸起位置存储部34内。此外，凸起位置数据只要能够确定各凸起的位置即可，可以是任何数据，例如，也可以为表示各凸起的中心位置的坐标数据，也可以是图像数据。例如，还可以将后述的主图像数据作为凸起位置数据来使用。

形状检出部33，从目标图像所包含的凸起图像(表示凸起的图像)中，检测出具有正确的凸起的形状的凸起图像。在本实施方式中，由于凸起是圆锥状，所以正确形成的凸起在目标图像中表示为圆形区域。即，在本实施方式中，形状检出部33从凸起图像中检测出外形为圆形的图像。形状检出部33将表示所检测出的凸起图像的区域(目标图像上的区域)的数据向检查区域设定部35输出。此外，不是正确形状的凸起图像的区域不会向检查区域设定部35通知。

检查区域设定部35针对目标图像，设定作为比较检查的对象的检查区域、和不作为比较检查的对象的非检查区域。具体的说，检查区域设定部35通过进行将正确形状的凸起图像的区域扩散的处理(扩散处理)，而生成表示检查区域以及非检查区域的图像。更具体的说，检查区域设定部35生成表示将把正确形状的凸起图像的区域只扩大规定范围的区域作为非检查区域的图像的图像数据。在本实施方式中，将该图像称为第二检查区域图像，将表示第二检查区域图像的图像数据称为第二检查区域图像数据。第二检查区域图像数据与目标图像数据同样是由二进制表示各像素的数据。例如，在第二检查区域图像中，将非检查区域用“0”表示，将检查区域用“1”表示。

另一方面，主图像存储部37存储主图像数据。所谓主图像数据，是表示在比较检查处理中成为基准的基板的图像(主图像)的数据。主图像是形成了理想的凸起的基板的图像。主图像数据既可以是通过拍摄清晰照片而得到的图像数据，也可以是由CAD数据作成的图像数据。主图像数据与目标图像数据同样是以二进制表示各像素的数据。在主图像数据中，与目标图像数据同样，将存在凸起的位置用“1”表示，将不存在凸起的位置用“0”表示。另外，检查区域图像存储部38存储表示第一检查区域图像的图像数据(第一检查区域图像数据)。第一检查区域图像数据是在主图像的区域中，指定成为比较检查的对象的区域的图像数据。第一检查区域图像数据与第二检查区域图像数据同样，是用二进制表示各像素的数据，将非检查区域用“0”表示，检查区域用“1”表示。

比较检查部36利用上述目标图像以及主图像进行对基板S的比较检查处理。即，比较检查部36进行目标图像与主图像的图形匹配，检测出两者包含的凸起图像的相异点。比较检查部36基于检测出的相异点，判断各凸起是否以规定的精度形成在基板上。例如，凸起图像的相异点的数目比预定的规定数目少时，判断为凸起以规定的精度形成在基板上，凸起图像的相异点的数目为该规定数目以上时，判断为凸起没有以规定的精度形成在基板上。

此外，在本实施方式中，比较检查部36并不是只利用目标图像以及主图像，还利用第一以及第二检查区域图像对各图像(目标图像以及主图像)进行掩模后进行比较检查处理。具体的说，主图像的检查区域由第一检查区域图像规定，目标图像的检查区域由第二检查区域图像规定。即，主图像是只有在第一检查区域图像中被作为检查区域的区域成为比较检查的对象。另外，目标图像是只有在第二检查区域图像中被作为检查区域的区域成为比较检查的对象。其结果，成为比较检查处理的对象的区域仅是在第一检查区域图像与第二检查区域图像双方中成为检查区域的区域。

以下，说明本实施方式的凸起检查装置的动作。此外，以下，以检查称作第一～第四凸起的4个凸起是否正确形成在基板上的情况为例，进行说明。图2是表示正确形成的基板的例子的图。如图2所示，在正确作成的基板上，形成第一～第四凸起41～44。

图3是表示凸起检查装置的图像处理装置3中的处理的流程的流程图。此外，在图3所示的处理之前，CCD照相机2拍摄装载在载物台1上的基板S的图像。首先在步骤S1中，取得目标图像。具体的说，由二值化处理部31从CCD照相机2取得通过拍摄装载在载物台1上的基板S而得到的目标图像数据。由二值化处理部31取得的目标图像数据被转换为以二进制表示各像素的图像数据。转换后的目标图像数据存储在目标图像存储部32内。

图4是表示通过步骤S1而得到的目标图像的图。在图4所示的目标图像中，包含表示第一凸起的凸起图像46、表示第二凸起的凸起图像47、表示第三凸起的凸起图像48、表示第四凸起的凸起图像49。从图4的目标图像可知，在基板S上，第一凸起大致正常的形成，第二凸起虽然形状正确但是位置稍有偏移而形成，第三凸起形成为缺损的形状，第四凸起虽然形状正确但是位置有较大偏移而形成。另外，在本实施方式中，将判断出第一凸起以及第二凸起为正常、并判断出第三以及第四凸起为有缺陷的情况为目标。即，允许如第二凸起那样的位置稍许偏移的现象，并判断如第三凸起那样的形状不正确、和如第四凸起那样的位置较大偏移的现象为缺陷。

接着在步骤S2中，利用目标图像，从形成在基板S上的各凸起中检出正确形状的凸起。具体的说，形状检出部33针对目标图像中包含的各凸起图像，判定是否是正确的形状(在这里是圆形)。基于形状检出部33的判定处理例如如下进行。即，首先，基于存储在凸起位置存储部34内的凸起位置数据，确定应该形成各凸起的位置(形成凸起的理想位置)。接着，判定存在于所确定的位置的凸起图像的形状是否是圆形。针对预定的多个方向计算出凸起图像的区域的直径，根据计算出的直径的各值是否在规定范围内来进行是否是圆形的判定。即，计算出的直径的各值在规定的范围内时判定为圆形，计算出的直径的各值不在规定的范围内时判定为不是圆形。表示该规定范围的值优选能够由检查者自由设定。通过变更该值，检查者能够变更关于凸起形状的允许量。此外，可以分别针对包含由凸起位置数据所示的位置的区域来进行是否是圆形的判定。以图4的例子而言，针对表示第一～第四凸起的各凸起图像来进行该判定。另外，形状检出部33将表示被判定为正确形状的凸起图像的数据向检查区域设定部35传送。该数据可以是任何形式，但在本实施方式中为图像数据。具体的说，就是在目标图像数据中所包含的各凸起图像中，仅包含被判定为正确形状的凸起图像的图像数据。

在步骤S3中，作成将在步骤S2中检测出的凸起图像的区域作为非检查区域的掩模。具体的说，检查区域设定部35，首先确定从形状检出部33接收的图像数据中所包含的各凸起图像的中心位置。接着，作成表示将以所确定的位置为中心的圆的区域作为非检查区域、将其他区域作为检查区域的掩模的图像。

接着在步骤S4中，通过将在步骤S3中作成的图像的非检查区域进行扩散，而作成上述第二检查区域图像。即，检查区域设定部35，将在步骤S3中作成的图像数据的非检查区域的直径只扩大规定的长度。由此，作成了第二检查区域图像。此外，对非检查区域进行扩散的扩散量(上述规定长度)是预先确定的。该扩散量成为表示关于凸起位置偏移的允许量的指标。因此，优选扩散量的值可由检查者进行变更。图5是表示第二检查区域图像的图。在图5中，表示从图4所示的目标图像取得的第二检查区域图像。在图5中斜线区域为检查区域。此外，图5中的虚线是表示被判定为正确形状的凸起图像的区域，即，表示在步骤S3中设定的非检查区域。如图5所示，取得图4所示的目标图像时，表示第一凸起、第二凸起、以及第四凸起的凸起图像的区域及其周边的区域成为非检查区域。

在步骤S5中，进行目标图像与主图像的比较检查。步骤S5的处理是利用在目标图像存储部32中存储的目标图像数据、由检查区域设定部35生成的第二检查区域图像数据、在主图像存储部37中存储的主图像数据、在检查区域图像存储部38中存储的第一检查区域图像数据来进行的。图6是表示在本实施方式中使用的主图像的图。另外，图7是表示在本实施方式中使用的第一检查区域图像的图。如图6所示，在本实施方式中，将表示正确形成时的各凸起(理想的凸起)的凸起图像作为主图像而使用。另外，如图7所示，本实施方式的第一检查区域图像数据是将整个表面作为检查区域的图像数据。以下，详细说明步骤S5中的比较检查部36的处理。

比较检查部36首先确定针对目标图像以及主图像进行比较检查的区域。具体的说，目标图像中的成为比较检查的对象的区域，由第二检查区域图像规定。即，目标图像中，在第二检查区域图像中成为检查区域的区域成为比较检查的对象。当以图4以及图5为例进行说明时，表示图4所示的第一、第二以及第四凸起的凸起图像的区域及其周边的区域不作为比较检查的对象。另一方面，主图像中的成为比较检查的对象的区域，由第一检查区域图像规定。在本实施方式中，由于在第一检查区域图像中其整个表面为检查区域(参照图7)，所以主图像的整个表面成为比较检查的对象。

当确定进行比较检查的区域时，比较检查部36针对目标图像以及主图像，进行将检查区域内的凸起图像的位置对位的处理。在对位处理中，例如，在成为比较检查的对象的全部区域中，以目标图像与主图像的相异点的量(面积，即像素数)为最小的方式确定位置。所谓相异点，就是在目标图像与主图像中值(0或1)不同的像素。对位处理之后，比较检查部36进行目标图像与主图像的比较检查。此外，对只针对目标图像以及主图像的任意一方成为比较检查的对象的区域，不进行比较检查。即，比较检查部36针对在第一检查区域图像与第二检查区域图像双方中成为检查区域的区域进行比较检查。图8是用于说明进行比较检查的区域的图。此外，在图8中，重叠记载了包含在目标图像中的凸起图像和包含在主图像中的凸起图像。在图8中，虚线的内侧的区域以外的区域成为比较检查的对象。因此，在取得图4所示的目标图像时，对凸起图像46与凸起图像51不进行比较检查。另外，对凸起图像47与凸起图像52不进行比较检查。另外，对凸起图像49与凸起图像54，虽然凸起图像49存在于非检查区域内，但是由于凸起图像54的一部分存在于非检查区域的外侧，所以对该部分进行比较检查。

在比较检查中，比较检查部36输出每个表示一个凸起的凸起图像的检查结果。具体的说，针对各凸起检测出目标图像与主图像的相异点，在相异点的数目比预定的规定数少时，判断该凸起为正常，相异点的数目为该规定数以上时，判断该凸起为缺陷。当以图8为例进行说明时，通过对凸起图像48以及53进行比较检查，而取得关于第三凸起的检查结果。在这里，凸起图像48是圆形欠缺了一部分的形状，与不欠缺该欠缺部分的情况相比，相异点增多了。因此，针对第三凸起的检查结果为“缺陷”。换而言之，上述规定数是设定成将由形状检出部33判断为不是正确形状的凸起图像判断为缺陷这样的值。

另外，在图8中，在虚线外侧的凸起图像54的区域，全部判断为相异点。因此，考虑到相异点的数目超过上述规定数，所以针对第四凸起的检查结果是“缺陷”。这样，在主图像中包含的凸起图像的位置，在超过第二检查区域图像中的非检查区域的范围时，与该凸起图像对应的凸起被判断为缺陷。因此，关于凸起的位置偏移的允许量由第二检查区域图像的非检查区域的范围来确定。即，由上述扩散量来确定。例如，如果将扩散量设定得较大，则第二检查区域图像中的非检查区域的范围增大，因此关于凸起的位置偏移的允许量变大。反之，如果将扩散量设定得较小，则第二检查区域图像的非检查区域的范围减小，因此关于凸起的位置偏移的允许量减小。

此外，步骤S5中的比较检查的具体的方法，只要是基于目标图像与主图像的相异点的方法即可，能够适用以往的比较检查算法。

另外，比较检查部将没有成为比较检查的对象的凸起判断为“正常”。在图8中，由于第一以及第二凸起不是比较检查对象，所以针对第一以及第二凸起的检查结果为“正常”。

此外，在本实施方式中，比较检查的结果作为图像而显示在显示装置(未图示)上。例如，比较检查部36可以将重叠了目标图像与主图像的图像显示在显示装置上。此时，只要在判断为正常的凸起、与判断为缺陷的凸起之间改变颜色的话，就能够区别显示正常的凸起与缺陷的凸起。另外，在重叠目标图像与主图像的图像中，可以只显示上述第二检查区域图像的检查区域内的部分。此时，由于正常的凸起存在于非检查区域内所以不显示，而只显示缺陷的凸起。由此也能够区别显示正常的凸起与缺陷的凸起。此外，比较检查的结果的提示方法只要是针对各凸起向工作者提示正常或者缺陷的方法即可，可以是任何方法，但在让工作者最终判断是否为缺陷时，优选上述这样作为图像而显示的方法。

如上所述，根据本实施方式，凸起检查装置首先进行识别凸起的形状的处理(上述步骤S2)。通过该处理，检测出关于形状判断为正常的凸起(例如上述第一以及第二凸起)。之后，凸起检查装置进行目标图像与主图像的比较检查(上述步骤S5)，从而检测出没有形成为正确的形状的凸起、以及位置偏移到不能允许的程度而形成的凸起。这样，通过分别进行关于凸起形状的判断、和关于位置的判断，能够分别设置关于形状的判断的阈值和关于位置的判断的阈值。具体的说，通过改变表示步骤S2中的规定范围的值，从而能够改变关于凸起的形状的允许值。另外，通过改变步骤S4中的规定长度的值，从而能够改变关于凸起的位置的允许值。根据本实施方式，由于能够对于形状以及位置而分别适当设定阈值，所以关于凸起的位置以及形状能够正确判断有无缺陷。

(第二实施方式)

以下，针对本发明的第二实施方式的凸起检查装置进行说明。在第二实施方式中，除上述第一检查区域图像以及主图像的内容与第一实施方式不同之外，其他都与第一实施方式相同。即，凸起检查装置的基本的结构(图1)以及动作(图3)与第一实施方式相同。此外，在以下的说明中，成为样本的基板的位置以及形状(图2)以及所取得的目标图像(图4)，与第一实施方式相同。

图9是表示在第二实施方式中使用的第一检查区域图像的图。如图9所示，在第二实施方式中，只将应该形成凸起的区域(形成凸起的理想区域)作为检查区域。因此，能够将比较检查处理抑制到最小限度，在减轻图像处理装置3的处理负担的同时，能够在短时间内进行处理。

这里，在上述第一实施方式中，主图像中所包含的凸起图像是表示理想的凸起本身的图像。即，第一实施方式中的主图像是表示与图9所示的检查区域相同的区域的图像。这里，当在第二实施方式中与第一实施方式相同而使用主图像时，有可能不能正确的进行凸起的检查。以下，针对图10进行详细说明。

图10是用于说明在不能够清晰的拍摄目标图像时的假想的比较检查的图。是由CCD照相机拍摄基板S时，由于形成在基板S上的铜图形等的反射，不能够清晰拍摄凸起的图形的情况。此时，具体的说目标图像数据是整个表面都成了“1”(是指形成了凸起)(参照图10中(a)的图像)。这样的目标图像在比较检查中应该被判断为缺陷。

可是，针对这样的目标图像，当利用上述的第一检查区域图像以及主图像进行比较检查时，不能检测出缺陷。即，当针对整个表面是“1”的目标图像进行上述步骤S2的处理时，不能检测出正确形状的凸起图像，因此在第二检查区域图像中整个表面成为检查区域(参照图10中(b)的图像)。另一方面，第一检查区域图像由于将形成凸起的理想的区域作为检查区域(参照图10中(e)的图像)，所以成为比较检查处理的对象的区域，成为第一检查区域图像的全部的检查区域。这里，由于目标图像是整个表面为“1”，所以针对第一检查区域图像的检查区域来说，目标图像的各像素的值全部为“1”。另外，主图像针对第一检查区域图像的检查区域来说，目标图像的各像素的值全部为“1”(参照图10中(d)的图像)。因此，针对第一检查区域图像的检查区域，目标图像与主图像之间没有相异点(参照图10中(c)的图像)，其结果，各凸起被判断为正常。

因此，在第二实施方式中，将表示理想的凸起的凸起图像欠缺了一部分的图像作为主图像来使用。图11是表示在第二实施方式中使用的主图像的图。如图11所示，在第二实施方式的主图像中，欠缺了表示理想的凸起的凸起图像的中心部分。此外，欠缺部分的形状以及大小任意均可。但是，为了只要对表示理想的凸起的凸起图像与欠缺了该凸起图像的一部分的主图像进行比较检查就判定为缺陷，需要设定欠缺部分。即，为了在表示理想的凸起的凸起图像与主图像中，产生比较检查的结果为欠缺的程度的相异点，而需要设定欠缺部分。

如上所述通过在主图像中设定欠缺部分，若针对如图10中(a)所示的目标图像进行比较检查时，针对上述中心部分在目标图像与主图像产生相异点。其结果，在比较检查处理中各凸起被判断为缺陷。因此，在第二实施方式中，通过在主图像中设定欠缺部分，即使在由于反射等原因而不能正确拍摄目标图像时，也能够正确判断缺陷。

此外，在上述第二实施方式中，针对正确形成的凸起，由于表示该凸起的凸起图像及其周边的区域在第二检查区域图像中成为非检查区域，所以不进行比较检查。其结果，由于该凸起被判断为正常，所以即使在主图像中设定欠缺部分也不会出问题。

以上，虽然针对本发明进行了详细说明，但是上述说明在所有观点中不过是本发明的例示，并不限定其范围。当然可以进行不脱离本发明的范围的种种的改良和变形。

Claims (5)

1.一种凸起检查装置，检查形成在基板上的凸起，其特征在于，具有：

拍摄部，其对上述基板进行拍摄；

形状检出部，其从由上述拍摄部取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；

检查区域设定部，其在上述目标图像的区域中，将至少包含由上述形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；

主图像存储部，其存储成为检查的基准的主图像；

比较检查部，其针对由上述检查区域设定部设定的检查区域，比较上述目标图像与上述主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

2.如权利要求1所述的凸起检查装置，其特征在于，上述检查区域设定部将由上述形状检出部检测出的图像的区域及其周边的区域作为非检查区域来设定。

3.如权利要求1所述的凸起检查装置，其特征在于，还具有检查区域存储部，该检查区域存储部存储表示在上述主图像中成为上述比较检查部的比较对象的区域的数据，

上述比较检查部是针对由上述检查区域设定部设定的检查区域、并且是由存储在上述检查区域存储部中的数据表示的区域，比较上述主图像与目标图像。

4.如权利要求3所述的凸起检查装置，其特征在于，存储在上述检查区域存储部中的数据，表示与应形成在基板上的凸起对应的区域，

上述主图像具有从应形成在基板上的凸起的图像中欠缺了一部分的图像。

5.一种凸起检查方法，用于检查形成在基板上的凸起，其特征在于，包含：

拍摄步骤，对上述基板进行拍摄；

形状检出步骤，从通过上述拍摄步骤而取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；

检查区域设定步骤，在上述目标图像的区域中，将至少包含在上述形状检出步骤中检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；

比较检查步骤，针对在上述检查区域设定步骤中设定的检查区域，比较上述目标图像与上述主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

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