KR20060090585A - Air-floating unit, transporting method, and air-floating-type transporting apparatus - Google Patents

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KR20060090585A
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Abstract

평면기판의 하방에 설치된 에어(공기) 부상 유닛으로부터 공기를 분출하여 평면기판을 부상시키면서, 운송기구에 의해 전방으로 이송하는 에어 부상 반송장치에 있어서, 상기 평면기판의 반송방향의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 상기 평면기판의 부상량을 크게 하는 기구가 설치된다.In an air floating conveying apparatus which ejects air from an air (air) floating unit provided below the flat substrate and floats the flat substrate, and transports it forward by a transport mechanism, the air positioned at the tip end of the flat substrate in the conveying direction. In the vicinity of the downstream end of the floating unit, a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate is provided.

평면기판, 에어 부상 유닛, 경사노즐, 수직노즐, 분출노즐, 에어 부상 반송장치 Flat Board, Air Floating Unit, Inclined Nozzle, Vertical Nozzle, Blow Nozzle, Air Floating Conveyor

Description

에어 부상 유닛, 반송방법, 및 에어 부상 반송장치{AIR-FLOATING UNIT, TRANSPORTING METHOD, AND AIR-FLOATING-TYPE TRANSPORTING APPARATUS}AIR-FLOATING UNIT, TRANSPORTING METHOD, AND AIR-FLOATING-TYPE TRANSPORTING APPARATUS}

도 1은, 본 발명에 따른 에어 부상 반송장치의 제1 실시형태를 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a first embodiment of an air floating conveying apparatus according to the present invention;

도 2는, 상기 에어 부상 반송장치의 제2 실시형태를 나타낸 사시도,2 is a perspective view showing a second embodiment of the air floating conveying apparatus;

도 3은, 상기 에어 부상 반송장치의 제3 실시형태를 나타낸 사시도, 3 is a perspective view showing a third embodiment of the air floating conveying apparatus;

도 4는, 에어 부상 반송장치로 강성이 작은 평면기판을 반송한 경우를 나타내는 도면,4 is a view showing a case where a flat substrate having a small rigidity is conveyed by the air floating conveying apparatus;

도 5는, 에어 부상 반송장치에서 높이 조정이 불충분한 경우를 나타내는 도면,5 is a view showing a case where the height adjustment is insufficient in the air floating conveying apparatus;

도 6은, 에어 부상 반송장치에 있어서, 전체 노즐에서의 에어 분출량을 증가한 경우를 나타내는 도면, 그리고6 is a view showing a case where the air blowing amount at all nozzles is increased in the air floating conveying apparatus; and

도 7은, 본 발명에 따른 에어 부상 반송장치의 제4 실시형태를 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view showing a fourth embodiment of an air floating conveying apparatus according to the present invention.

본 발명은, 반도체기판, 액정기판 등의 박판(薄板) 반송장치에 관한 것으로, 특히 공기로 부상시킴으로써 파손이나 흠이 없이 반송할 수 있는 에어 부상 유닛, 반송방법, 및 에어 부상 반송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to thin plate conveying devices, such as semiconductor substrates and liquid crystal substrates, and more particularly, to an air floating unit, a conveying method, and an air floating conveying device which can be conveyed without damage or damage by floating with air. .

본 원은, 2005년 2월 9일 출원된 일본특허출원 제2005-033040호에 대하여 우선권을 주장하고, 그 내용들을 여기에서 원용한다.This application claims priority about Japanese Patent Application No. 2005-033040 for which it applied on February 9, 2005, and uses the content here.

일반적으로, 액정기판 등의 얇은 평면기판을 에어(공기) 부상시키면서 반송하는 장치는, 종종 제안되고 있다.In general, a device for conveying a thin flat substrate such as a liquid crystal substrate while allowing air (air) to float is often proposed.

예를 들어, 도 4에 나타낸 바와 같은 에어 부상 반송장치에 있어서, 평면기판(1)의 하면을 향해 공기를 분출하는 복수의 노즐(2)을 구비한 에어 부상 유닛(3)이 소정의 간격으로 배치된다. 이와 같은 구성의 에어 부상 반송장치에 있어서, 도면외의 운송기구에 의해 평면기판(1)을 화살표 A방향으로 반송할 때에, 평면기판(1)의 강성이 작은 경우, 도 4에 나타낸 바와 같이 에어 부상 유니트(3)의 불연속부의 공기가 분출되지 않는 곳에서 휨 T가 발생해 버린다. 따라서, 평면기판(1)이 에어 부상 유닛(3)의 극간(틈)을 건널 때, 에어 부상 유닛(3)과 간섭하여, 평면기판(1)을 파손하거나 손상시킬 우려가 있었다.For example, in the air floating conveying apparatus as shown in FIG. 4, the air floating unit 3 having a plurality of nozzles 2 for blowing air toward the lower surface of the flat substrate 1 is spaced at predetermined intervals. Is placed. In the air floating conveying apparatus having such a configuration, when the flat substrate 1 is conveyed in the direction of arrow A by a transport mechanism other than the drawing, when the rigidity of the flat substrate 1 is small, as shown in FIG. The warp T occurs in the place where the air of the discontinuous part of the unit 3 is not blown off. Therefore, when the flat substrate 1 crosses the clearance gap of the air floating unit 3, the flat substrate 1 may interfere with the air floating unit 3 to damage or damage the flat substrate 1.

또한, 도 5에 나타낸 바와 같이 복수 개 배치된 에어 부상 유닛(3)의 높이 조정이 불충분하여 높이 어긋남 H가 존재하는 경우, 평면기판(1)의 강성이 충분히 크고 휨이 거의 발생하지 않는 경우에도, 평면기판(1)과 에어 부상 유닛(3)이 간섭할 우려가 있었다.In addition, as shown in FIG. 5, when the height adjustment of the plurality of air floating units 3 disposed is insufficient and there is a height shift H, even when the rigidity of the flat substrate 1 is large enough and warping hardly occurs. There was a fear that the flat substrate 1 and the air floating unit 3 would interfere with each other.

그래서, 이러한 결점을 해소하고자 도 6에 나타낸 바와 같은 구성의 에어 부 상 반송장치를 생각할 수 있다. 이 에어 부상 반송장치는, 평면기판(1)의 휜 정도 T 혹은 높이 어긋남 H를 고려하여, 평면기판(1) 전체의 부상량을 크게 하기 위하여 노즐(2)로부터의 에어 분출량을 크게 설정한 것이다.Therefore, in order to solve this drawback, the air float conveyance apparatus of the structure as shown in FIG. 6 can be considered. This air floating conveying apparatus considers the degree of deflection T or the height deviation H of the flat substrate 1 so as to increase the air blowing amount from the nozzle 2 in order to increase the floating amount of the entire flat substrate 1. will be.

더욱이, 예를 들어, 일본국 특허공개 2003-292153호 공보, 일본국 특허공개 2002-151571호 공보, 일본국 특허공개 2002-151570호 공보에는, 상기 기술에 관련된 선행기술이 개시되어 있다.Further, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-292153, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151571, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151570 disclose prior art related to the above technology.

그러나, 이들 종래의 노즐로부터 에어 분출량을 크게 하여, 평면기판 전체의 부상량을 크게 하는 에어 부상 반송장치에서는, 에어 소비량이 현저하게 증가한다는 문제점이 있었다.However, there has been a problem that the air consumption is remarkably increased in the air floating conveying apparatus which increases the air blowing amount from these conventional nozzles and increases the floating amount of the entire flat substrate.

본 발명은, 상기한 문제점에 착안하여 제안된 것으로, 에어 소비량의 증가를 억제하면서, 평면기판의 휨과 에어 부상 유닛의 높이 위치 어긋남에 의해 평면기판과 에어 부상 유닛이 간섭하는 것을 방지할 수 있는 에어 부상 유닛, 반송 방법, 및 에어 부상 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in view of the above-described problems, and can suppress interference between the flat substrate and the air floating unit by the warp of the flat substrate and the positional displacement of the air floating unit while suppressing the increase in the air consumption. An object is to provide an air floating unit, a conveying method, and an air floating conveying apparatus.

본 발명은, 반송 면으로부터 공기를 분출하여 피부상물을 부상시키는 에어 부상 유닛에 있어서, 유닛의 반송 면으로부터 피부상물의 하면 및 유닛 단부에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키는 노즐을 설치한 것을 특징으로 한다.The air floating unit which ejects air from the conveying surface and floats a skin-like object, WHEREIN: The nozzle which ejects air from the conveyance surface of a unit toward the center part from the lower surface of a skin-like object, and a unit edge part is provided, It is characterized by the above-mentioned. .

또한, 본 발명은, 반송 면으로부터 공기를 분출하여 피부상물을 부상시키는 에어 부상 유닛에 있어서, 유닛의 반송 면으로부터 피부상물의 하면 및 유닛 단부 에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키면서 피부상물을 반송하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention relates to an air floating unit in which air is ejected from a conveying surface to float a skin object, wherein the skin object is conveyed from the conveying surface of the unit while blowing air from the lower surface of the skin object and toward the center from the end of the unit. It features.

또한, 본 발명은, 평면기판의 아래 방향 및/또는 측면 방향에 배치된 에어 부상 유닛으로부터 공기를 분출하여 평면기판을 부상시키면서, 운송 기구에 의해 전방으로 이송하는 에어 부상 반송장치에 있어서, 상기 평면기판의 반송방향의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛의 하류단 근처에 상기 평면기판의 부상량을 크게 하는 기구를 설치한 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention provides an air floating conveying apparatus for conveying forward by a transport mechanism while ejecting air from an air floating unit disposed in a downward direction and / or a lateral direction of a flat substrate to float the flat substrate, wherein the plane A mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate is provided near the downstream end of the air floating unit located at the tip of the substrate in the conveying direction.

또한, 본 발명은, 상기 부상량을 크게 하는 기구가 공기 분출량이 큰 노즐인 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle having a large air blowing amount.

또한, 본 발명은, 상기 부상량을 크게 하는 기구가 상기 평면기판의 반송방향과 역방향의 유성분을 가지는 노즐인 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle having an oil component opposite to the conveying direction of the flat substrate.

상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단에서 중앙을 향해 공기를 분출하는 노즐인 것을 특징으로 한다.The mechanism for increasing the floating amount is characterized by a nozzle for blowing air toward the center from the downstream end of the air floating unit.

상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 설치된 별도의 분출 노즐인 것을 특징으로 한다.The mechanism for increasing the floating amount is characterized by being a separate jet nozzle provided near the downstream end of the air floating unit.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 설치된 별도의 분출 노즐인 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 에어 부상 유닛이 복수 개 설치되어, 각 부상 유닛의 어느 하나의 부상력이 다른 부상 유닛의 부상력과 다른 것을 특징으로 한다.Further, in the present invention, the mechanism for increasing the floating amount is a separate jet nozzle provided near the downstream end of the air floating unit. In addition, a plurality of the air floating unit is provided, characterized in that any one floating force of each floating unit is different from the floating force of the other floating unit.

이하, 실시형태를 나타내는 도면에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail based on drawing which shows embodiment.

제1 실시형태First embodiment

도 1은, 본 발명에 따른 에어 부상 반송장치의 제1 실시형태를 나타내는 설명도이다. 여기서, 에어 부상 반송장치는, 평면기판(10)의 하방에 배치된 에어 부상 유닛(11)로 부터 공기를 분출하여 평면기판(10)을 부상시키면서, 도면에 도시되지 않은 운송기구에 의해 전방으로 이송하는 것으로서, 평면기판(10)의 반송방향 A의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛(11)의 하류단 근방(11a)에 평면기판(10)의 부상량을 크게 하는 기구인 평면기판(10)의 반송방향 A와 역방향의 유성분을 가지는 경사 노즐(12)를 설치한 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing which shows 1st Embodiment of the air floating conveyance apparatus which concerns on this invention. Here, the air floating conveying apparatus ejects air from the air floating unit 11 disposed below the flat substrate 10 to float the flat substrate 10 and moves forward by a transport mechanism not shown in the drawing. The flat substrate 10 is a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate 10 near the downstream end 11a of the air floating unit 11 positioned at the tip of the flat substrate 10 in the conveying direction A of the flat substrate 10. The inclined nozzle 12 which has the oil component of the conveyance direction A of the reverse direction is provided.

본 실시의 형태에 있어서, 에어 부상 유닛(11)은 위를 향해 개구한 복수의 수직 노즐(13)을 가지고 있다.수직 노즐(13)에는 에어 공급관(14)으로부터 일괄적으로 공기가 공급된다. 또한, 에어 부상 유닛(11)의 하류단 근방(11a)에 설치된 경사 노즐(12)에도 마찬가지로 에어 공급관(14)으로부터 공기가 공급된다. 경사 노즐(12)는, 에어 부상 유닛(11)의 하류단에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키는 것이다.In the present embodiment, the air floating unit 11 has a plurality of vertical nozzles 13 opened upwards. Air is collectively supplied from the air supply pipe 14 to the vertical nozzles 13. In addition, air is also supplied from the air supply pipe 14 to the inclined nozzle 12 provided in the vicinity 11a of the downstream end of the air floating unit 11. The inclined nozzle 12 blows air toward the center from the downstream end of the air floating unit 11.

다음으로, 이상과 같이 구성된 에어 부상 반송장치의 동작과 함께, 반송방법에 대해 설명한다. 우선, 도 1에 도시한 바와 같이 에어 부상 유닛(11)의 하류단에 경사 노즐(12)을 설치하였으므로, 평면기판(10)의 반송방향 A로의 공기의 흐름이 저지됨과 동시에, 역방향의 공기 흐름에 의해, 이 부근에 체류하는 공기량이 증가하여, 평면기판(10)의 선단이 위로 L만큼 들어올릴 수 있다. 따라서, 평면기판(10)의 강성이 작아 휨이 발생한다거나, 에어 부상 유닛(11)의 높이 조정이 불충분하더 라도, 평면기판(10)이 에어 부상 유닛(11)의 극간을 넘어 이동할 때에 에어 부상 유닛(11)과 접촉하여, 파손하거나 하는 우려가 없다. 또한, 경사 노즐(12)로부터의 공기 분출량은, 수직 노즐(13)로부터의 공기 분출량과 동일하므로, 장치 전체의 공기 소비량의 증가를 초래하는 일도 없다.Next, a conveyance method is demonstrated with the operation | movement of the air floating conveyance apparatus comprised as mentioned above. First, as shown in Fig. 1, since the inclined nozzle 12 is provided at the downstream end of the air floating unit 11, the flow of air in the conveying direction A of the flat substrate 10 is blocked and at the same time, the air flow in the reverse direction. As a result, the amount of air remaining in the vicinity increases, and the tip of the flat substrate 10 can be lifted upward by L. As shown in FIG. Therefore, even if the rigidity of the flat substrate 10 is small and warpage occurs or the height adjustment of the air floating unit 11 is insufficient, air floating is caused when the flat substrate 10 moves over the gap between the air floating units 11. There is no fear of damaging the unit 11 in contact with it. In addition, since the air blowing amount from the inclination nozzle 12 is the same as the air blowing amount from the vertical nozzle 13, it does not cause the increase of the air consumption of the whole apparatus.

제2 실시형태2nd Embodiment

또한, 도 2는 본 발명의 에어 부상 반송장치의 제2 실시형태를 나타낸 설명도이다. 제2 실시형태에 있어서, 도 2에 도시한 바와 같이 평면기판(10)의 부상량을 크게 하는 기구인 별도의 분출 노즐(15)이 에어 부상 유닛921)의 하류에 설치되어 있다. 분출 노즐(15)은, 에어 부상 유닛(21)의 하류단에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키는 것이다.2 is explanatory drawing which showed 2nd Embodiment of the air floating conveyance apparatus of this invention. In the second embodiment, as illustrated in FIG. 2, a separate jet nozzle 15, which is a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate 10, is provided downstream of the air floating unit 921. The blowing nozzle 15 blows off air toward the center part from the downstream end of the air floating unit 21.

이상과 같이 구성된 에어 부상 반송장치에 있어서도, 에어 부상 유닛(21)의 하류단에서 중앙부를 향해서 공기가 분출되어, 평면기판(10)의 반송방향 A로의 공기의 흐름이 저지됨과 동시에, 역방향의 공기 흐름에 의해 평면기판(10)의 선단이 위로 L만큼 들어 올려질 수 있다. 따라서, 평면기판(10)의 강성이 작아 휨이 발생한다거나, 에어 부상 유닛(21)의 높이조정이 불충분하더라도, 평면기판(10)이 에어 부상 유닛의 극간을 건너 이동하는 때에 에어 부상 유닛(21)과 접촉하여, 파손하거나 하는 우려가 없다. 또한, 분출 노즐(15)로부터의 공기 분출량은, 수직 노즐(13)로부터의 공기 분출량과 거의 동일하므로, 공기 소비량의 증가를 초래하는 일도 없다. 게다가, 분출 노즐(15)은 별도로 설치되어 있기 때문에, 자유롭게 분출방향 및 분출량을 조정할 수 있다.Also in the air floating conveyance apparatus comprised as mentioned above, air is blown toward the center part from the downstream end of the air floating unit 21, the flow of air to the conveyance direction A of the flat board | substrate 10 is interrupted, and the air of a reverse direction is carried out. By the flow, the tip of the flat substrate 10 can be lifted upward by L. Therefore, even if the rigidity of the flat substrate 10 is small and warpage occurs or the height adjustment of the air floating unit 21 is insufficient, the air floating unit 21 is moved when the flat substrate 10 moves across the gap of the air floating unit. ), There is no fear of damage. In addition, since the air blowing amount from the blowing nozzle 15 is substantially the same as the air blowing amount from the vertical nozzle 13, it does not cause an increase in air consumption. In addition, since the jet nozzle 15 is provided separately, the jet direction and the jet amount can be adjusted freely.

제3 실시형태 Third embodiment

도 3은, 본 발명의 에어 부상 반송장치의 제3 실시형태를 나타낸 설명도이다. 본 실시의 형태에 있어서, 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛(31)의 하류단 근방에 설치한, 공기 분출량이 큰 노즐(30)이다. 노즐(30)은, 에어 부상 유닛(31)에 배치된 에어 공급관(32)에 연결되어 있고, 수직으로 공기를 분출한다. 또한, 수직 노즐(13)도 에어 공급관(32)에 각각 연결되어있다. 더욱이, 에어 분출량이 큰 노즐(30) 대신에, 수직 노즐(13)의 배치밀도를 증가시켜, 분출 공기량을 증가시켜도 좋다.3 is an explanatory diagram showing a third embodiment of the air flotation conveying apparatus of the present invention. In the present embodiment, the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle 30 having a large air blowing amount provided near the downstream end of the air floating unit 31. The nozzle 30 is connected to the air supply pipe 32 arrange | positioned at the air floating unit 31, and blows air vertically. In addition, the vertical nozzles 13 are also connected to the air supply pipes 32, respectively. Further, instead of the nozzle 30 having a large air blowing amount, the arrangement density of the vertical nozzle 13 may be increased to increase the blowing air amount.

다음으로, 이상과 같이 구성된 에어 부상 반송장치는, 에어 부상 유닛(31)의 하류단에서 분출 공기량이 증가하므로, 평면기판(10)의 선단이 위로 L만큼 들어올려질 수 있다. 따라서, 평면기판(10)의 강성이 작아 휨이 발생한다거나, 에어 부상 유닛(31)의 높이조정이 불충분하더라도, 평면기판(10)이 에어 부상 유닛의 극간을 건너 이동하는 때에 에어 부상 유닛(31)과 접촉하여, 파손하거나 하는 우려가 없다. Next, in the air floating conveying apparatus configured as described above, since the amount of blown air is increased at the downstream end of the air floating unit 31, the tip of the flat substrate 10 can be lifted by L upwards. Therefore, even if the rigidity of the flat substrate 10 is small and warpage occurs or the height adjustment of the air floating unit 31 is insufficient, the air floating unit 31 is moved when the flat substrate 10 moves across the gap of the air floating unit. ), There is no fear of damage.

또한, 에어 부상 유닛 전체의 공기 분출량을 증가시켜, 평면기판(10)의 부상량을 전체적으로 크게 하는 방법에 비해, 공기 소비량을 적게 할 수 있다.In addition, it is possible to reduce the air consumption compared with the method of increasing the air blowing amount of the entire air floating unit to increase the floating amount of the flat substrate 10 as a whole.

게다가, 본 발명의 제2 실시형태에 있어서, 별도의 분출 노즐(15)은 수직으로 공기를 분출하는 분출 공기량이 큰 노즐이어도 좋다.In addition, in the second embodiment of the present invention, the separate jet nozzle 15 may be a nozzle having a large jet air amount that ejects air vertically.

제4 실시형태Fourth embodiment

도 7은, 본 발명의 제4 실시형태를 나타내는 도면이다.7 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

이 제4 실시형태에서는, 평면기판(10)의 주위 네 방향에 각각 에어 부상 유닛(31)을 설치하여, 이들 에어 부상 유닛(31)으로부터 평면기판(10) 하면의 외측에서 내측을 향해 공기를 분출시키도록 한 것이다. In this fourth embodiment, air floating units 31 are provided in four circumferential directions of the flat substrate 10, respectively, and air is blown from the air floating units 31 toward the inside from the outside of the bottom surface of the flat substrate 10. FIG. It was to be ejected.

이 제4 실시형태에 있어서도, 분출된 공기에 의해 평면기판(10)을 부상시킬 수 있다.Also in this fourth embodiment, the flat substrate 10 can be floated by the blown air.

더욱이, 상기 제1 내지 제4 실시형태에 있어서, 복수의 에어 부상 유닛의 공기의 부상력(공기의 풍량 및/또는 압력)에 강약을 부여함으로써, 예를들어 유연성 있는 소재로 형성된 피반송물을 소정의 형태로 휜 상태로 반송하는 것도 가능하다.Furthermore, in the first to fourth embodiments, by applying a strong strength to the floating force (air volume and / or pressure of the air) of the air of the plurality of air floating unit, for example, a conveyed object formed of a flexible material is predetermined. It is also possible to return in the state of in the form of.

상기에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시예 및 실험예를 중심으로 상세히 설명되었지만, 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속하는 것도 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail with reference to the specific examples and experimental examples described above, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the scope and spirit of the present invention, and such modifications and modifications are attached thereto. It is also natural that the claims belong.

본 발명은 상기한 구성으로 이루어지므로, 이하에서 설명하는 바와 같은 효과를 달성할 수 있다.Since the present invention consists of the above-described configuration, the effects as described below can be achieved.

본 발명에 따르면, 평면기판의 하방에 배치된 에어 부상 유닛에서부터 공기를 분출하여 평면기판을 부상시키면서, 운송기구에 의해 전방으로 이송하는 에어 부상 반송장치에 있어서, 상기 평면기판의 반송방향의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 상기 평면기판의 부상량을 크게 하는 기구를 설치하였기 때문에, 평면기판의 휨과 에어 부상 유닛의 높이 어긋남에 의해 평면기판과 에어 부 상 유닛이 간섭하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 공기 소비량의 증가를 억제할 수 있다.According to the present invention, in the air floating conveying apparatus which ejects air from the air floating unit disposed below the flat substrate and floats the flat substrate to be transported forward by a transport mechanism, Since a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate is provided near the downstream end of the air floating unit, the flat substrate and the air floating unit are damaged due to the bending of the flat substrate and the height misalignment of the air floating unit. Can be prevented. In addition, an increase in air consumption can be suppressed.

또한, 본 발명에서, 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 공기 분출량이 큰 노즐이므로, 평면기판의 선단부가 크게 부상하여 에어 부상 유닛의 간극에서 다음의 에어 부상 유닛에 접촉함이 없이, 평면기판을 파손할 우려가 없다.Further, in the present invention, the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle having a large amount of air blowing, so that the tip of the flat substrate is largely floated so that the flat substrate is not contacted with the next air floating unit in the gap of the air floating unit. There is no risk of damage.

또한, 본 발명에서, 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 상기 평면기판의 반송방향과 역방향의 유성분을 가지는 노즐이기 때문에, 평면기판의 진행방향과 역방향의 공기에 의해, 선단부가 크게 부상하여 에어 부상 유닛의 간극에서 다음의 에어 부상 유닛에 접촉하는 일이 없다. 또한, 노즐의 공기 소비량이 증가하는 일도 없다.Further, in the present invention, since the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle having an oil component in a reverse direction to the conveying direction of the flat substrate, the tip portion is largely floated by air in the opposite direction to the traveling direction of the flat substrate, resulting in air floating. Never touch the next air floating unit in the gap of the unit. In addition, the air consumption of the nozzle does not increase.

또한, 본 발명에서, 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단에서 중앙을 향해 공기를 분출하는 노즐이기 때문에, 평면기판의 선단 근방에 걸친 공기의 배출이 방지할 수 있어, 체류하는 공기량이 증가하여 평면기판의 부상량이 증가한다. 그래도, 노즐에서의 공기 소비량이 증가하는 일은 없다. 또한, 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 설치된 별도의 분출 노즐이므로, 에어 부상 유닛 자체의 구조를 바꾸지 않고, 평면기판의 휨과 에어 부상 유닛의 높이 어긋남에 의해 평면기판과 에어 부상 유닛이 간섭하여 손상시키는 것을 막을 수 있다. 게다가, 에어 부상 유닛의 부상력에 차를 가지도록 함으로써,유연성 있는 소재로 이루어진 피반송물의 경우, 이것을 원하는 형상으로 변형시키면서 반송 혹은 지지하는 것이 가능하다.Further, in the present invention, since the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle that blows air from the downstream end of the air floating unit toward the center, it is possible to prevent the discharge of air over the front end of the flat substrate and As the amount of air increases, the floating amount of the flat substrate increases. Nevertheless, the air consumption at the nozzle does not increase. In addition, since the mechanism for increasing the floating amount is a separate jet nozzle provided near the downstream end of the air floating unit, the plane may be flattened by the deflection of the flat substrate and the height deviation of the air floating unit without changing the structure of the air floating unit itself. The substrate and the air floating unit can be prevented from interfering and damaging. In addition, by having a difference in the floating force of the air floating unit, in the case of a conveyed object made of a flexible material, it is possible to convey or support it while deforming it to a desired shape.

평면기판의 반송방향의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛의 하류단 근방에, 평면기판의 부상량을 크게 하는 기구를 설치하였기 때문에, 평면기판의 휨과 에어 부상 유닛의 높이 어긋남에 의해 평면기판과 에어 부상 유닛이 간섭하여 손상시키는 것을 방지한다는 목적을 달성할 수 있다.Since a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate is provided near the downstream end of the air floating unit located at the tip of the flat substrate in the conveying direction, the flat substrate and the air floating unit are shifted due to the warp of the flat substrate and the height deviation of the air floating unit. The purpose of preventing the floating unit from interfering and damaging can be achieved.

본 발명의 상기 목적, 그 밖의 목적, 특징, 이점 등에 대해서는, 첨부도면 및 청구범위에 나타낸 본 발명의 실시형태의 기재로부터, 당업자에게 자명할 것이다.The above objects, other objects, features, advantages, and the like of the present invention will be apparent to those skilled in the art from the description of the embodiments of the present invention shown in the accompanying drawings and claims.

Claims (8)

반송 면으로부터 공기를 분출하여 피부상물을 부상시키는 에어 부상 유닛에 있어서, 유닛의 반송 면으로부터 피부상물의 하면 및 유닛 단부에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키는 노즐이 설치된 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛.An air floating unit which ejects air from a conveying surface to float a skin object, wherein the air floating unit is provided with a nozzle that ejects air from the conveying surface of the unit toward the center portion at the lower surface of the skin object and from the end of the unit. 반송 면으로부터 공기를 분출하여 피부상물을 부상시키는 에어 부상 유닛에 있어서, 유닛의 반송 면으로부터 피부상물의 하면 및 유닛 단부에서 중앙부를 향해 공기를 분출시키면서 피부상물을 반송하는 것을 특징으로 하는 반송방법.An air floating unit which ejects air from a conveying surface to float a skin-like object, wherein the skin-like object is conveyed from the conveying surface of the unit while ejecting air from the lower surface of the skin-like object and toward the center from the end of the unit. 평면기판의 아래 방향 및/또는 측면 방향에 배치된 에어 부상 유닛으로부터 공기를 분출하여 평면기판을 부상시키면서, 운송 기구에 의해 전방으로 이송하는 에어 부상 반송장치에 있어서, 상기 평면기판의 반송방향의 선단에 위치하는 에어 부상 유닛의 하류단 근처에 상기 평면기판의 부상량을 크게 하는 기구가 설치된 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치. An air floating conveying apparatus which ejects air from an air floating unit disposed in a downward direction and / or a lateral direction of a flat substrate and floats the flat substrate and is conveyed forward by a transport mechanism, wherein the tip of the flat substrate is in a conveying direction. And a mechanism for increasing the floating amount of the flat substrate near a downstream end of the air floating unit located in the air floating conveying apparatus. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 부상량을 크게 하는 기구가 공기 분출량이 큰 노즐인 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치. The air floating conveyance apparatus characterized by the above-mentioned. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 부상량을 크게 하는 기구가 상기 평면기판의 반송방향과 역방향의 유성분을 가지는 노즐인 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치.And a mechanism for increasing the floating amount is a nozzle having an oil component in a direction opposite to the conveying direction of the flat substrate. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단에서 중앙을 향해 공기를 분출하는 노즐인 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치. The air floating conveying apparatus is characterized in that the mechanism for increasing the floating amount is a nozzle that ejects air from the downstream end of the air floating unit toward the center. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 부상량을 크게 하는 기구는, 에어 부상 유닛의 하류단 근방에 설치된 별도의 분출 노즐인 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치. The air floating conveying apparatus is characterized in that the mechanism for increasing the floating amount is a separate jet nozzle provided near the downstream end of the air floating unit. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 에어 부상 유닛이 복수 개 설치되어, 각 부상 유닛의 어느 하나의 부상력이 다른 부상 유닛의 부상력과 다른 것을 특징으로 하는 에어 부상 반송장치. And a plurality of air floating units, so that any floating force of each floating unit is different from that of the other floating units.
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