KR100880169B1 - Guide unit for a plate floated by aircushion - Google Patents

Guide unit for a plate floated by aircushion Download PDF

Info

Publication number
KR100880169B1
KR100880169B1 KR1020070110521A KR20070110521A KR100880169B1 KR 100880169 B1 KR100880169 B1 KR 100880169B1 KR 1020070110521 A KR1020070110521 A KR 1020070110521A KR 20070110521 A KR20070110521 A KR 20070110521A KR 100880169 B1 KR100880169 B1 KR 100880169B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
guide
jet
transfer line
force
Prior art date
Application number
KR1020070110521A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김영태
장영배
김재우
이기선
권오대
Original Assignee
주식회사 홍성엠아이티
주식회사 에이엠에이치시스템즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 홍성엠아이티, 주식회사 에이엠에이치시스템즈 filed Critical 주식회사 홍성엠아이티
Priority to KR1020070110521A priority Critical patent/KR100880169B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100880169B1 publication Critical patent/KR100880169B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/04—Drums, rollers, or wheels
    • B65G23/08—Drums, rollers, or wheels with self-contained driving mechanisms, e.g. motors and associated gearing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/02—Devices for feeding articles or materials to conveyors
    • B65G47/04—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles
    • B65G47/12—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles
    • B65G47/14—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding
    • B65G47/1407—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl
    • B65G47/1478—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl by means of pick-up devices, the container remaining immobile
    • B65G47/1485—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl by means of pick-up devices, the container remaining immobile using suction or magnetic forces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/02—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

A guide of the apparatus for transferring floating plate is provided that the flat board is accurately arranged in the center of the transfer line and the damage of the flat board is prevented. A guide of the apparatus for transferring floating plate comprises a guide plate(210) which is separated from the side of the transfer line(110) and is installed, a jet generator(220) discharging the jet as the guide plate(210), a duct(230) in which a discharge hole(232) is punched along by the transfer line, and which is connected to the guide plate. The jet discharged from the jet generator flows according to the incline of the guide plate and acts on the flat board.

Description

부양식 평판 이송장치의 가이드{Guide unit for a plate floated by aircushion}Guide unit for a plate floated by aircushion}

본 발명은 피이송체인 평판을 공기의 압력 혹은 정전기력으로 부양시켜 이송시키는 부양식 평판 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 이송장치에서 평판이 이송라인의 중심에 위치하도록 이송라인의 양측면에서 평판을 향해서 제트를 토출하도록 하여, 평판을 정렬하고 파손이 방지되도록 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드에 관한 것이다.The present invention relates to a buoyant flat plate conveying apparatus that floats and conveys the plate to be conveyed by air pressure or electrostatic force, and more particularly, the flat plate at both sides of the conveying line so that the plate is located in the center of the conveying line. It relates to a guide of a floating flatbed conveying device to discharge the jet toward the, to align the flat plate and to prevent breakage.

피이송체를 원하는 위치로 이송하기 위한 이송장치로는 일반적으로 구동모터와 연결되어 회전력을 부여받도록 설치된 컨베어벨트나 다수의 이송롤러가 있다.As a conveying device for conveying the object to be transferred to a desired position, there is a conveyor belt or a plurality of conveying rollers which are connected to a driving motor to receive a rotational force.

그러나 이러한 이송장치들은 모두 피이송체의 일측면과 접촉된 상태로 이송이 이루어지기 때문에 접촉부에 이물질이 묻거나 흠집이 생길 뿐 아니라, 접촉부에 지지하중이 집중되어 접촉부에 손상을 유발하기도 하므로 먼지나 압력에 민감한 정밀제품의 이송에는 적합하지 않은 문제점이 있었다.However, all of these transfer devices are transported in contact with one side of the to-be-transmitted body, so not only foreign matters or scratches are caused on the contact portion, but also the support load is concentrated on the contact portion, which causes damage to the contact portion. There was a problem that the transfer of pressure-sensitive precision products is not suitable.

이러한 문제를 해소하기 위하여 최근 공기의 압력 혹은 정전기력을 통해 피이송체를 부양시켜 이송시키는 부양식 이송장치의 연구가 활발히 진행되고 있으며, 그 예로서 공기부양식 이송장치를 하기에서 첨부된 도 1을 참조하여 설명한다.In order to solve such a problem, a research on a floatation conveying device for supporting and conveying a conveyed object through air pressure or electrostatic force has been actively conducted. As an example, FIG. It demonstrates with reference.

도 1은 종래의 공기부양식 이송장치를 나타내는 사시도로서, 평판(P)의 양측이 놓이도록 한 쌍의 지지레일(10)을 설치하고, 상기 지지레일(10) 일측에 평판(P)의 하부로 공기를 토출하도록 다수의 공기노즐(20)을 설치하되, 상기 공기노즐(20)은 평판(P)의 진행방향을 향해 경사지게 배치하여 상기 공기노즐(20)로부터 토출되는 방향성을 갖는 공기를 통해 상기 평판(P)이 일측으로 부양이송되도록 하면서, 지지레일(10)의 단부에는 상기 공기노즐(20)과 반대방향으로 경사지게 흡입노즐(30)을 설치하여 이송된 평판(P)을 흡착시킴으로써 이송이 중지되도록 구성된다.1 is a perspective view showing a conventional air-formed conveying apparatus, a pair of support rails 10 are installed so that both sides of the plate P are placed, and the lower portion of the plate P on one side of the support rail 10. A plurality of air nozzles 20 are installed to discharge air to the air, and the air nozzles 20 are disposed to be inclined toward the traveling direction of the flat plate P through the air having the directivity discharged from the air nozzles 20. While the flat plate (P) is to be transferred to one side, the suction rail 30 is inclined in the opposite direction to the air nozzle 20 at the end of the support rail 10 by adsorbing the transferred flat plate (P) It is configured to stop.

이러한 공기 부양식 이송장치는 상기한 컨베어 벨트나 이송 롤러를 통한 이송장치에 비하여 비접촉 이송에 따른 장점 이외에 모터, 기어, 벨트, 이송 롤러 등이 요구되지 않으므로 이송장치의 구성이 매우 간단해지고 제품이송시 충격이 발생하지 않으며, 구성 부품들 간의 접촉으로 인한 각종 먼지나 이물질의 생성을 유발시키지 않는다는 여러 가지 장점 때문에 주로 충격에 약하고 청정상태가 유지되어야만 하는 민감한 평판(P) 즉, LCD, PDP, OLED 등에 사용되는 유리기판을 이송시키는 분야에서 가장 많이 적용되고 있다.Such an air floating conveying device has no advantages due to the non-contact conveying as compared to the conveying device through the conveyor belt or the conveying roller, and thus does not require a motor, a gear, a belt, a conveying roller, etc. Due to various advantages such as no impact and no generation of dust or foreign substances due to contact between components, sensitive flat plates (P), which are weak to impact and must be kept clean, that is, LCD, PDP, OLED, etc. It is most applied in the field of conveying the glass substrate used.

그러나, 상기한 종래의 공기 부양식 이송장치에 따르면, 공기에 의해 부양된 평판(P)은 매우 불안정한 상태이기 때문에 평판(P)의 하부로 토출되는 공기의 토출압에 미세한 변화가 생기거나 평판(P)에 작은 외력이 작용할 경우, 평판(P)에 불균형한 부양력과 이송력이 작용하면서 평판(P)이 일측으로 기울어져 전복되거나 지지레일(10)로부터 이탈하게 되는 문제가 발생된다.However, according to the conventional air buoyancy conveying apparatus described above, since the flat plate P supported by the air is in a very unstable state, a minute change occurs in the discharge pressure of air discharged to the bottom of the flat plate P, or the flat plate ( When a small external force acts on P), an unbalanced flotation force and a transfer force act on the plate P, thereby causing the plate P to be inclined to one side to be rolled over or to be separated from the support rail 10.

또한, 이송 초기에는 이송레일들(10)의 중앙으로 평판(P)을 정확하게 올려놓아야 하고, 평판(P)을 다른 방향으로 이송시킬 때에는 교차지점 중앙으로 평판(P)을 정확하게 위치시켜야 하나, 이러한 위치제어가 매우 어려워서 실제 작업라인에서는 별도의 이송로봇을 이용하여 평판(P)을 잡아서 다른 방향으로 설치된 지지레일로 이동시키는 것에 의하여 평판(P)의 방향전환이 이루어지고 있는 실정이다.In addition, in the initial stage of transfer, the plate P should be correctly placed at the center of the transfer rails 10, and when the plate P is transferred in another direction, the plate P should be accurately positioned at the center of the intersection point. Since the position control is very difficult, the direction of the flat plate P is changed by grabbing the flat plate P using a separate transfer robot and moving it to a support rail installed in another direction.

이러한 문제점을 해결하기 위한 선행기술로 대한민국 등록특허 제10-0737940호에는 평판의 이송라인 가장자리에 가이드 롤러를 설치하여 평판의 이동을 안내하는 기술이 공개되어 있으나, 이 경우 이송과정에서는 평판이 정확하게 위치 정렬되지만 진입 초기에 정확한 위치로 진입되지 않을 경우에는 평판의 모서리에 크랙이 발생되는 등의 문제점이 있었다.As a prior art to solve this problem, Korean Patent No. 10-0737940 discloses a technology for guiding the movement of the plate by installing a guide roller at the edge of the plate transfer line, but in this case, the plate is accurately positioned When aligned but not entered into the correct position at the beginning of the entry, there was a problem such as cracks generated in the edge of the plate.

이러한 문제점을 해결하기 위한 선행기술로 대한민국 등록특허 제10-0745029호(공기부양식 평판 이송장치의 평판 위치 제어방법)에 평판이 중심에서 이송되도록 하기 위하여 고속 유체의 벽면 흡착 효과인 코안다 효과로 이송용 공기를 토출하는 이송장치를 이송방향으로 ‘V’형으로 배치한 것이 공개되어 있다.In order to solve this problem, the Korean Patent No. 10-0745029 (Method for controlling the position of the flat plate feeder of the air-formed plate) has a Coanda effect, which is a wall adsorption effect of a high-speed fluid in order to transport the plate from the center. It is disclosed that the transfer device for discharging air for transfer is arranged in the 'V' shape in the transfer direction.

그러나, 상기한 대한민국 등록특허 제10-0745029호에서도 공기에 의해 부양된 평판이 불안정한 상태이기 때문에 평판의 하부로 토출되는 공기의 토출압에 미세한 변화가 생기거나 평판에 작은 외력이 작용할 경우, 평판에 불균형한 부양력과 이송력이 작용하면서 평판이 일측으로 기울어져 전복되거나 원하는 이송방향으로 이송되지 않고 기울어지게 이송되거나 이송장치로부터 이탈하게 되는 문제가 발생되었다.However, even in the Republic of Korea Patent No. 10-0745029 described above, because the flat plate supported by the air is unstable, when a minute change occurs in the discharge pressure of the air discharged to the bottom of the flat plate or a small external force acts on the flat plate, While the unbalanced flotation and the conveying force is acting, the plate is tilted to one side and rolled over, or is inclined without being conveyed in a desired conveying direction, or is separated from the conveying device.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 평판 이송장치에서 평판이 중심에 위치하면서 원하는 방향으로 이송되도록 하기 위하여 이송레일의 일측 혹은 양측부에 평판의 저면 혹은 상부면과 경사지게 위치되는 가이드 플레이트를 설치하고, 상기 가이드 플레이트로 제트를 토출하여 토출된 제트가 가이드 플레이트를 따라 흐르면서 평판에 작용하여 평판이 이송장치에서 안정하게 정렬되도록 하여 평판의 파손을 방지함과 아울러 정확한 방향으로 이송되도록 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드를 제공하는 데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a guide plate which is inclined with the bottom or upper surface of the plate on one or both sides of the conveying rail in order to be transported in the desired direction while the plate is located in the center of the plate conveying apparatus And discharge the jet to the guide plate, and the discharged jet flows along the guide plate to act on the flat plate so that the flat plate can be stably aligned in the transfer device to prevent breakage of the flat plate and to be conveyed in the correct direction. To provide a guide of the plate feeder.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은 공기의 압력 혹은 정전기력으로 평판을 이송시키는 부양식 평판 이송장치에 있어서, 이송라인의 일측에 피이송체인 평판의 저면 혹은 상부면과 경사지게 위치되는 가이드 플레이트를 이송라인의 측부와 간격을 갖도록 설치하고, 상기 가이드 플레이트의 상부에는 가이드 플레이트를 향해서 제트를 토출하도록 배출공이 천공된 덕트를 설치하고, 덕트는 제트를 발생시키는 컴프레서, 펌프 등의 제트 발생수단과 연결하여, 토출된 제트가 가이드 플레이트를 따라 흐르면서 평판에 작용하여 평판이 이송라인에서 정확한 위치로 안정되게 위치되도록 함으로써, 평판의 파손이 방지되도록 함과 아울러 정확한 방향으로 이송되도록 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드를 제공하는 데 있다.A characteristic feature of the present invention for achieving the above object is a guide plate which is inclined with the bottom surface or the upper surface of the plate to be conveyed in one side of the conveying line in the flat plate conveying apparatus for conveying the plate by air pressure or electrostatic force Is installed at a distance from the side of the transfer line, and an upper portion of the guide plate is provided with a duct having a perforated discharge hole to discharge the jet toward the guide plate, and the duct includes jet generating means such as a compressor or a pump to generate the jet; By connecting the discharged jet flows along the guide plate and acts on the plate to ensure that the plate is stably positioned at the correct position in the transfer line, thereby preventing the breakage of the plate and conveying the plate in the correct direction. To provide a guide.

상기한 구성에서 본 발명의 가이드에는 가이드 플레이트에 외부 공기를 평판 방향으로 흡입시키는 흡입홀을 더 설치하여 제트의 유량을 증가시켜 제트 흐름이 원활하게 하도록 한다.In the above configuration, the guide of the present invention further installs a suction hole for suctioning the outside air in the flat plate direction in the guide plate to increase the flow rate of the jet to facilitate the jet flow.

그리고, 제트에 의하여 발생되는 미는 힘과 당기는 힘 중에서 당기는 힘을 증가시켜 힘의 균형을 이루도록 해주는 바이어스 힘을 걸어주는 수단이 더 구비되며, 그 예로는 일측에 가이드가 설치된 이송라인의 반대측에서 코안다제트를 평판을 향해서 토출하거나 제트를 평판에 대하여 하부에서 상부로 경사지게 혹은 수평으로 제공하거나, 이송라인을 경사지게 즉 가이드 반대편이 더 높도록 경사지게 설치하거나, 평판의 단부가 위치되는 공간의 치수를 좁게 형성하는 방법 중에서 하나를 택일하여 사용할 수 있다.In addition, there is further provided a means for applying a bias force to balance the force by increasing the pulling force of the pushing force and the pulling force generated by the jet, for example, on the opposite side of the transfer line is installed on one side guide Ejecting jets toward the plate, or providing the jet inclined or horizontally from the bottom to the top with respect to the plate, or inclining the transfer line to be inclined so that the opposite side of the guide is higher, or narrowing the dimensions of the space where the end of the plate is located One of the methods can be used alternatively.

그리고, 제트는 공기, 액체 등을 사용하며, 배출공은 슬롯형이거나 원형, 타원형, 다각형 등의 구멍모양으로 이송라인을 따라 천공형성된다.In addition, the jet uses air, liquid, and the like, and the discharge hole is slotted or formed in a hole shape such as a circle, oval, polygon, or the like along the transfer line.

더욱이, 상기한 가이드는 이송라인의 양측에 설치하며, 이 경우 바이어스 힘을 걸어주기 위한 수단은 필요하지 않게 된다.Furthermore, the guides are installed on both sides of the transfer line, in which case no means for applying a bias force is required.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 의하면 평판의 측부로 제트가 작용하여 평판이 이송라인의 중앙에 정확하게 정렬됨과 아울러, 정렬된 상태가 유동되지 않으므로 평판을 안정하게 이송시킬 수 있게 된다.According to the present invention configured as described above, the jet acts on the side of the plate so that the plate is accurately aligned at the center of the transfer line, and the aligned state is not flowed, thereby stably transporting the plate.

아울러, 평판의 진입 과정에서도 가이드 플레이트와 평판 사이의 간격 및 가이드 플레이트로부터 배출되는 제트에 의하여 평판이 삐뚫어지게 투입되지 않으므로 평판의 파손이 발생하지 않는 효과가 있다.In addition, since the plate is not penetrated by the gap between the guide plate and the plate and the jet discharged from the guide plate, the plate may not be damaged.

그리고, 종래의 가이드 롤러를 설치하는 것에 비하여 구성이 간단하여, 유지 관리가 용이할 뿐 아니라 설치비용이 절감되는 효과가 있다.In addition, since the configuration is simpler than installing the conventional guide roller, the maintenance is easy and the installation cost is reduced.

본 발명의 실시예를 하기에서 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 살펴보며, 본 발명의 실시예에서 제트는 공기를 사용하고, 제트 발생수단은 컴프레서를 사용한다.An embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. In the embodiment of the present invention, the jet uses air, and the jet generating means uses a compressor.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기부양식 이송장치의 평판 가이드를 나타내는 측면도로서, 본 발명에 따른 공기부양식 이송장치의 평판 가이드는 평판(P)을 부양시키기 위한 다수의 배출공(111)을 갖는 이송라인(110)의 일측부에 가이드 플레이트(210)를 피이송체인 평판(P)의 저면 혹은 상부면과 경사지도록 하면서 이송라인(110)의 측면 종단과 간격을 갖도록 설치하고, 상기 가이드 플레이트(210)의 상부에는 압축공기 제트를 가이드 플레이트(210)를 향해서 토출하도록 컴프레서(220)와 연결되고 가이드 플레이트(210)를 향해서 배출공(232)이 천공된 덕트(230)를 설치한다.Figure 2 is a side view showing a flat guide of the air-floating conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, the flat guide of the air-floating conveying apparatus according to the present invention is a plurality of discharge holes for supporting the plate (P) ( On one side of the transfer line 110 having a 111 to install a guide plate 210 so as to be inclined with the bottom or the upper surface of the plate (P) to be transferred to be spaced apart from the side end of the transfer line 110, An upper portion of the guide plate 210 is provided with a duct 230 which is connected to the compressor 220 to discharge the compressed air jet toward the guide plate 210 and the discharge hole 232 is bored toward the guide plate 210. do.

그리고, 이송라인(110)의 하측면(112)은 가이드 플레이트(210)와 일정한 간격을 갖도록 가이드 플레이트(210)와 동일한 경사로 경사지게 이격 형성한다.In addition, the lower side 112 of the transfer line 110 is formed to be inclined spaced apart at the same inclination with the guide plate 210 to have a predetermined interval with the guide plate 210.

상기한 덕트(230)에 형성되는 배출공(232)은 슬롯(slot)형으로 형성되거나, 원형, 타원형 혹은 다각형으로 형성되어 이송라인(110)을 따라 배열 형성된다.The discharge hole 232 formed in the duct 230 is formed in a slot shape, or formed in a circular, elliptical or polygonal shape and arranged along the transfer line 110.

그리고, 상기한 배출공(232)은 도 2에 나타내는 바와 같이 가이드 플레이트(210)와 수평한 방향으로 천공하거나, 도 3에 나타내는 바와 같이 배출공(232)을 지면에 대하여 수직으로 천공하여 제트가 가이드 플레이트(210)에 부딪히면서 그 흐름이 변경되도록 할 수도 있으나, 이들 실시예 모두 제트는 경사 플레이트(210)를 따라서 흐르게 된다.The discharge hole 232 is drilled in a horizontal direction with the guide plate 210 as shown in FIG. 2, or the discharge hole 232 is drilled perpendicularly to the ground as shown in FIG. 3. While hitting the guide plate 210 may cause the flow to change, in all of these embodiments the jet will flow along the inclined plate 210.

또한, 도 3 및 도 4a에 나타내는 바와 같이 덕트(230)와 가이드 플레이트(210)를 연결하는 연결프레임(240)에 연결프레임(240)의 평판(P) 반대편 공기를 평판방향으로 흡입시켜주는 흡입홀(242a)(242b)을 더 천공하여 제트의 유량을 증가시켜 흐름을 원할하게 할 수도 있다.In addition, as shown in FIGS. 3 and 4A, the suction that sucks air on the opposite side of the flat plate P of the connecting frame 240 to the connecting frame 240 connecting the duct 230 and the guide plate 210 in the flat direction. Holes 242a and 242b may be further drilled to increase the flow rate of the jet to smooth the flow.

아울러, 상기한 가이드는 본 발명의 실시예에서는 일측에만 설치하는 것을 예로서 설명하였지만 이송라인의 양측에 대칭되게 설치할 수도 있다.In addition, the guide described in the embodiment of the present invention installed on only one side as an example, but may be installed symmetrically on both sides of the transfer line.

그리고, 제트에 의하여 발생되는 미는 힘과 당기는 힘 중에서 당기는 힘을 더 강하게 하여 균형을 맞춰주기 위하여 바이어스 힘을 제공하는 방법으로, 도 4a에 점선으로 나타내는 화살표와 같와 같이 평판(P)이 삽입되는 부분의 간격(D)을 좁게 형성하여 평판(P) 상부의 공기를 제트방향으로 유입시키는 방법 외에, 도 4b에 나타내는 바와 같이 상기한 이송라인(110)의 가이드(200) 반대측에 코안다제트 발생수단(410)을 구비하여 평판을 향해서 코안다제트를 토출하거나, 도 4c에 나타내는 바와 같이 이송라인(110)의 일측에는 상기한 가이드(200)를 설치하고 반대측에는 컴프레서와 노즐 등으로 구성된 제트발생수단(420)을 구비하여 제트를 평판(P)에 대하여 점선으로 나타내는 바와 같이 하부에서 상부로 경사지게 혹은 실선으로 나타내는 바와 같이 수평으로 제공하거나, 도 4d에 나타내는 바와 같이 가이 드(200) 반대편이 더 높도록 이송라인(110)을 경사지게 설치하는 방법 중에서 택일하여 사용한다.In addition, a method of providing a biasing force to balance the pushing force generated by the jet and the pulling force, which is stronger, is a portion into which the flat plate P is inserted as shown by the dotted line in FIG. 4A. Coanda jet generating means on the opposite side of the guide 200 of the transfer line 110, as shown in Figure 4b, in addition to the method of forming a narrow gap (D) of the inflow of the air in the upper portion of the flat plate (P) in the jet direction 410 to discharge the coanda jet toward the flat plate, or as shown in Figure 4c the jet generating means composed of the above-mentioned guide 200 on one side of the transfer line 110 and a compressor and a nozzle on the opposite side 420 to provide the jet inclined from bottom to top as shown by the dotted line with respect to the plate P or horizontally as shown by the solid line Alternatively, as shown in FIG. 4D, alternatively, a method of installing the feed line 110 inclined so that the opposite side of the guide 200 is higher may be used.

상기한 구성에서 코안다제트 발생수단(410)은 본 출원의 발명인이 선출원한 대한민국 특허출원 10-2006-0041905호에 그 구성이 제시되어 있다.Coanda jet generating means 410 in the above configuration is shown in the Korean Patent Application No. 10-2006-0041905 filed by the inventor of the present application.

이와 같이 구성된 가이드에서의 작용을 하기에서 도 5 내지 도 7을 참조하여 살펴본다.The operation of the guide configured as described above will be described with reference to FIGS. 5 to 7.

평판은 배출공을 통해서 토출되는 제트의 분출방향에 연하여 설치된 평면에서 일정한 거리를 유지하려는 특성이 있다. 이와 같이 제트가 분출될 경우 평판의 위치와 평판에 작용되는 제트에의한 힘의 관계를 개략적으로 나타내면 도 5와 같다.The flat plate has a characteristic of maintaining a constant distance from the plane installed in connection with the jet direction of the jet discharged through the discharge hole. In this way, when the jet is ejected, the relationship between the position of the plate and the force by the jet acting on the plate is schematically shown in FIG.

도 5에서 h방향으로의 위치가 평형점(E)에 있을 때는 미는 힘(Push)과 당기는 힘(Pull)이 평형을 이루어 평판에 작용되는 힘은 균형을 이루게 된다. 그러나, 평판이 평형점(E)에서 제트의 토출방향 반대측 즉, -h방향으로 움직이면 미는힘 즉 +h방향으로 힘이 작용함을 알 수 있는데, 보통 이 힘은 움직인 거리에 대하여 급격히 작용한다. 즉 평형위치로 가도록 힘이 작용한다는 것이다. 만약 평형점(E)에서 제트의 토출방향 즉 +h방향으로 더 움직이면 당기는 힘 즉 -h방향으로 힘이 작용함을 알 수 있는데, 보통 이 힘은 +h방향으로 움직인 거리가 증가하여 그림에서 A점에 이르면 당기는 힘은 감소하게 된다.In FIG. 5, when the position in the h direction is at the equilibrium point E, the pushing force and the pulling force are balanced to balance the force applied to the flat plate. However, it can be seen that when the plate moves at the equilibrium point E in the opposite direction of the ejection direction of the jet, that is, in the -h direction, the pushing force, or the force in the + h direction, acts rapidly against the distance traveled. . That is, the force acts to get to the equilibrium position. If it moves further in the ejection direction of the jet (+ h) at the equilibrium point (E), it can be seen that the pulling force, or force in the -h direction, acts as the distance increased in the + h direction. At the point A, the pulling force decreases.

계속하여 평형상태에서 +h방향으로 벗어나 그림에서 B점에 이르면, 평판에 작용하는 힘의 방향이 바뀌어서 평형점으로 복귀하는 힘은 없어지고 평형점에서 멀어지는 힘 즉 미는 힘이 작용하는 문제점이 있다. 즉 원점에서 점 E사이에서는 평판을 밀어내는 힘이, 점E에서 점B구간에서는 평판을 끌어당기는 힘이, 점 B보다 멀어진 경우에는 평판을 밀어내는 힘이 작용한다.If it continues to move from the equilibrium state to the + h direction and reaches the point B in the figure, the direction of the force acting on the plate is changed so that the force returning to the equilibrium point is lost and the force away from the equilibrium point, that is, the pushing force acts. In other words, the force pushing the plate from the origin to the point E, the force pulling the plate from the point B to the point B, and the force pushing the plate away from the point B acts.

평판의 가이드 형상과 유동 조건을 변경하면, 그에 따라서 작용하는 힘은 도 6과 같은 경향을 나타낸다.When the guide shape of the plate and the flow conditions are changed, the force acting accordingly shows the tendency as shown in FIG.

도 6에서 도 5와 비교하여 평판을 미는 구간과 끌어당기는 구간만 있고 다시 밀어내는 구간이 없을 수도 있다. 이것은 평판이 제트 영역을 벗어나게 되었을 때 평판에 전혀 힘을 가할 수 없게 되는 것이다.In FIG. 6, compared to FIG. 5, only the pushing section and the pulling section may be present and there may be no pushing section. This means that when the plate is out of the jet zone, no force can be applied to the plate.

이와 같이 평판에 작용하는 힘은, 미는 힘은 비교적 큰 편이나, 끌어당기는 힘은 약한 편이므로, 이러한 문제를 해결하기 위하여 평판을 제트의 반대방향으로 밀어주는 방법을 생각할 수 있다. 즉 상기한 도 4a 내지 도 4d에서 나타내는 바와 같은 다양한 방법 중에서 하나를 택일하여 바이어스(bias)힘을 걸어준다. 이 힘은 여러 가지 방법이 있을 수 있다. 이 힘은 부양된 평판을 생각하면 큰 힘일 필요가 없다.Since the force acting on the plate is relatively large, but the pulling force is weak, it is conceivable to push the plate in the opposite direction of the jet to solve this problem. In other words, one of the various methods as shown in FIGS. 4A to 4D is applied to apply a bias force. This power can be in several ways. This power need not be great in view of the esteemed reputation.

도 7에서 나타내는 바와 같이 바이어스 힘을 가하기 전의 그래프에서 바이어스 힘만큼을 빼면, 거리에 대한 힘은 C-D의 그래프가 된다.As shown in Fig. 7, subtracting the bias force from the graph before applying the bias force, the force versus distance becomes a graph of C-D.

도 7에서 알 수 있듯이 평형점은 E에서 C로 이동되었고, 최대 복원력도 A에서 D로 이동되었기 때문에 언제든지 평형점인 C로 복귀하려는 힘이 발생한다. 즉 점 C보다 가까운 거리에서는 평판은 밀어내는 힘을 받고, 먼 거리에서는 끌어당기 는 힘을 받게 된다.As can be seen in FIG. 7, since the equilibrium point is moved from E to C, and the maximum restoring force is also moved from A to D, a force to return to the equilibrium point C occurs at any time. In other words, at a distance closer to point C, the plate is forced to push, and at far distances it is pulled.

따라서, 본 발명에 의하면 토출된 제트가 가이드 플레이트를 따라서 평판에 작용하면서 평판을 미는 힘과 당기는 힘이 균형을 이루면서 평판이 원하는 위치에서 유동하지않고 이동되므로, 평판의 파손이 방지됨과 아울러 정확한 방향으로 이송된다.Therefore, according to the present invention, since the discharged jet acts on the plate along the guide plate while the plate pushing force and the pulling force are balanced, the plate is moved without flowing at a desired position, thereby preventing breakage of the plate and in the correct direction. Transferred.

도 1은 종래의 공기부양식 이송장치를 나타내는 도면1 is a view showing a conventional air buoyancy conveying apparatus

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공기부양식 이송장치의 평판 가이드를 나타내는 측면도Figure 2 is a side view showing a flat guide of the air buoyancy conveying apparatus according to an embodiment of the present invention

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기부양식 이송장치의 평판 가이드를 나타내는 측면도Figure 3 is a side view showing a flat guide of the air buoyancy conveying apparatus according to another embodiment of the present invention

도 4a는 흡입홀의 실시예를 나타내는 측면도Figure 4a is a side view showing an embodiment of the suction hole

도 4b 내지 도 4d는 바이어스 힘을 제공하는 실시예를 나타내는 도면4B-4D illustrate embodiments of providing a bias force

도 5 내지 도 7은 제트의 작용을 나타내는 그래프.5 to 7 are graphs showing the action of the jet.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

P : 평판 110 : 이송라인P: Plate 110: Transfer Line

210 : 가이드 플레이트 220 : 컴프레서210: guide plate 220: compressor

230 : 덕트 232 : 배출공230: duct 232: discharge hole

242a, 242b : 흡입홀242a, 242b: suction hole

Claims (5)

피이송체인 평판(P)을 이송라인(110)에서 발생되는 공기의 압력 혹은 정전기력으로 부양시켜 이송시키는 부양식 평판 이송장치에서 평판의 이송방향을 안내하기 위한 가이드에 있어서,In the guide for guiding the conveying direction of the flat plate in the flat plate conveying device to convey the plate to be conveyed by the pressure or electrostatic force of the air generated in the conveying line 110, 이송라인(110)의 일측에 피이송체인 평판(P)의 저면 혹은 상부면과 경사지게 위치되며, 이송라인(110)의 측부와 간격을 갖도록 설치되는 가이드 플레이트(210),A guide plate 210 positioned at one side of the transfer line 110 to be inclined with the bottom or top surface of the plate P being transferred, and having a distance from the side of the transfer line 110; 상기 가이드 플레이트(210)로 제트를 토출하는 제트 발생수단(220),Jet generating means 220 for discharging the jet to the guide plate 210, 상기한 제트 발생수단(220)과 연결되어 제트 발생수단(220)으로부터 토출된 제트가 가이드 플레이트(210)의 경사면을 따라 흐르면서 평판에 작용하도록 배출공(232)이 이송라인(110)을 따라서 천공되어 가이드 플레이트(210)에 연결설치되는 덕트(230)로 구성되는 것을 특징으로 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드.The discharge hole 232 is perforated along the transfer line 110 so that the jet discharged from the jet generating means 220 and connected to the jet generating means 220 flows along the inclined surface of the guide plate 210 to act on the flat plate. Guide of the flat plate conveying apparatus, characterized in that consisting of a duct 230 is connected to the guide plate 210 is installed. 제 1항에 있어서, 배출공(232)은 슬롯형이거나 원형, 타원형, 다각형 중에서 택일된 모양으로 이송라인(110)을 따라 천공되는 것을 특징으로 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드.The guide according to claim 1, wherein the discharge hole (232) is slotted or drilled along the transfer line (110) in an alternative shape among circular, oval, and polygonal shapes. 제 1항에 있어서, 상기한 가이드에는 제트의 유량을 증가시켜 흐름을 원할하게 하기 위하여 가이드 플레이트에 외부 공기를 평판 방향으로 흡입시키는 흡입홀(242a)(242b)이 더 천공되는 것을 특징으로 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드.According to claim 1, The guide is further characterized in that the perforated holes (242a, 242b) for sucking the outside air in the flat plate direction to increase the flow rate of the jet to smooth the flow Guide to form plate feeder. 제 1항에 있어서, 상기한 가이드에는 제트에 의하여 발생되는 미는 힘과 당기는 힘 중에서 당기는 힘을 증가시켜 힘의 균형을 이루도록 해주는 바이어스 힘을 걸어주는 수단이 더 구비되며, 상기한 바이어스 힘을 걸어주는 수단은 상기한 이송라인의 가이드(200) 반대측에 코안다제트 발생수단(410)을 구비하여 평판을 향해서 코안다제트를 토출하거나, 이송라인의 가이드(200) 반대측에 제트발생수단(420)을 구비하여 제트를 평판에 대하여 하부에서 상부로 경사지게 혹은 수평으로 제공하거나, 가이드(200) 반대편이 더 높도록 이송라인(110)을 경사지게 설치하거나, 평판(P)의 단부가 위치되는 공간의 간격(D)을 좁게하는 것 중에서 택일하여 사용되는 것을 특징으로 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드.The method of claim 1, wherein the guide is further provided with a means for applying a bias force to balance the force by increasing the pulling force of the pushing force and the pulling force generated by the jet, The means is provided with a coanda jet generating means 410 on the opposite side of the guide 200 of the transfer line to discharge the coanda jet toward the flat plate, or the jet generating means 420 on the opposite side of the guide 200 of the transfer line To provide the jet inclined or horizontally from the bottom to the top with respect to the plate, or to install the feed line 110 inclined so that the opposite side of the guide 200 is higher, or the space of the space where the end of the plate (P) is located ( D) guide of the flat plate conveying apparatus, characterized in that it is used alternatively from narrowing. 제 1항 내지 제 3항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기한 가이드는 이송라인의 양측에 대칭되게 설치되는 것을 특징으로 하는 부양식 평판 이송장치의 가이드.The guide according to any one of claims 1 to 3, wherein the guide is installed symmetrically on both sides of the transfer line.
KR1020070110521A 2007-10-31 2007-10-31 Guide unit for a plate floated by aircushion KR100880169B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070110521A KR100880169B1 (en) 2007-10-31 2007-10-31 Guide unit for a plate floated by aircushion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070110521A KR100880169B1 (en) 2007-10-31 2007-10-31 Guide unit for a plate floated by aircushion

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100880169B1 true KR100880169B1 (en) 2009-01-23

Family

ID=40483069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070110521A KR100880169B1 (en) 2007-10-31 2007-10-31 Guide unit for a plate floated by aircushion

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100880169B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH088320A (en) * 1994-06-17 1996-01-12 Hitachi Ltd Pneumatic carrier and foreign matter removing method therefor
JP2000272752A (en) 1998-11-25 2000-10-03 Watanabe Shoko:Kk Storage unit and storage device for plate substrate
JP2006156793A (en) 2004-11-30 2006-06-15 Sumitomo Metal Micro Devices Inc Flexible substrate detacher
KR20070109222A (en) * 2006-05-10 2007-11-15 이기선 Pneumatic apparatus for floating and translating plates

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH088320A (en) * 1994-06-17 1996-01-12 Hitachi Ltd Pneumatic carrier and foreign matter removing method therefor
JP2000272752A (en) 1998-11-25 2000-10-03 Watanabe Shoko:Kk Storage unit and storage device for plate substrate
JP2006156793A (en) 2004-11-30 2006-06-15 Sumitomo Metal Micro Devices Inc Flexible substrate detacher
KR20070109222A (en) * 2006-05-10 2007-11-15 이기선 Pneumatic apparatus for floating and translating plates

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4501713B2 (en) Air levitation transfer device
KR101588440B1 (en) Swirl flow forming body and non-contact conveying device
JP5406852B2 (en) Non-contact transfer device
CN108249159B (en) Floating transfer device and substrate processing device
KR101064893B1 (en) Plate flotation system
JP2008130892A (en) Air float carrying apparatus and air carrying method
KR100880169B1 (en) Guide unit for a plate floated by aircushion
KR20110077341A (en) Substrate coater apparatus
JP6860356B2 (en) Coating device and coating method
KR100876558B1 (en) Changing unit of transfer direction for a plate transfer system
JP2010254453A (en) Floating device
KR100880170B1 (en) Station unit for a plate transfer system
KR100745029B1 (en) Position control method for a plate floated by air cushion
WO2013121634A1 (en) Float transportation device and float transportation method
JP3933123B2 (en) Air transfer device
JP2012101897A (en) Conveying device
WO2015033520A1 (en) Glass plate air conveyer
KR101141146B1 (en) Substrate transfer method
WO2015008539A1 (en) Contactless conveyance device and contactless conveyance method
JP2001048330A (en) Air-levitation-type belt conveyer device
KR20080005948U (en) Substrate levitation pad and large area substrate levitation device using the same
KR102268617B1 (en) Apparatus for processing substrate
JP2008201565A (en) Conveying device
JP5790121B2 (en) Levitation transfer device
JP5526879B2 (en) Floating transport device and roller drive unit

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120116

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee