KR20060052282A - 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드 - Google Patents

전자 부품 장착 장치의 장착 헤드 Download PDF

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하루히꼬 야마구찌
이꾸오 다께무라
마나부 오까모또
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가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠
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Abstract

본 발명의 과제는 장착 헤드의 외경을 작게 함으로써, 작은 토크로 충분하도록 하는 것이다.
노즐 회전 모터(38)의 하방에 원통 캠 회전 모터(45)를 배치하고, 노즐 홀더(31)의 축선 상에 노즐 회전 모터(38)의 회전자로서의 제1 회전축 부재(35)가 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)를 관통하는 동시에 원통 캠 부재(41)의 축선 상에 원통 캠 회전 모터(45)의 회전자로서의 제2 회전축 부재(43)가 상기 원통 캠 회전 모터(45)를 관통하도록 배치하고, 사용하는 임의의 하나의 흡착 노즐(11)을 돌출 위치에서 상기 노즐 홀더(31)의 하단부면으로부터 돌출시킨다.
노즐 홀더, 원통 캠 회전 모터, 원통 캠 부재, 노즐 회전 모터, 돌출 캠면

Description

전자 부품 장착 장치의 장착 헤드{A MOUNTING HEAD OF AN ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING DEVICE}
도1은 전자 부품 장착 장치의 평면도.
도2는 장착 헤드의 종단면도.
도3은 장착 헤드의 일부 확대 종단면도.
도4는 도3의 A-A 단면도.
도5는 일부 삭제한 원통 캠 부재(원통 캠) 및 노즐 홀더를 도시하는 측면도.
도6은 설명의 편의상, 원통 캠 및 노즐 홀더를 전개한 상태로 한 흡착 노즐의 하단 레벨이 저레벨 위치의 설명도.
도7은 설명의 편의상, 원통 캠 및 노즐 홀더를 전개한 상태로 한 흡착 노즐의 하단 레벨이 고레벨 위치의 설명도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11 : 흡착 노즐
31 : 노즐 홀더
35 : 제1 회전축 부재
38 : 노즐 회전 모터(제1 회전 구동 모터)
41 : 원통 캠 부재
42 : 원통 캠
42A, 42B, 42C : 돌출 캠면
43 : 제2 회전축 부재
45 : 원통 캠 회전 모터(제2 회전 구동 모터)
[문헌 1] 일본 특허 공개 제2001-53492호 공보
본 발명은, 흡착한 전자 부품을 기판 등에 장착하는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드에 관한 것이다.
사용하는 흡착 노즐을 다른 흡착 노즐에 바꾸는 동작에 지장을 주는 일 없이, 흡착 노즐의 수명을 길게 할 수 있는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드가 특허 문헌 1에 제안되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2001-53492호 공보
그러나, 장착 헤드에 마련된 복수의 흡착 노즐 중 임의의 흡착 노즐을 선택하기 위한 노즐 선택 모터와, 흡착 노즐을 θ 회전시키기 위한 캠 회전 모터가 상하로 배치되거나 복수의 흡착 노즐을 출몰 가능하게 장착하는 노즐 홀더의 외측에 상기 각 모터의 고정자(전자석)를 배치하고 있기 때문에, 장착 헤드의 외경이 커져 큰 토크가 필요하였다.
그래서 본 발명은 장착 헤드의 외경을 작게 함으로써, 작은 토크로 충분하도록 하는 것을 목적으로 한다.
이로 인해 제1 발명은, 복수개의 흡착 노즐을 배치하는 동시에 상기 각 흡착 노즐을 출몰 가능하게 지지하는 노즐 홀더와, 이 노즐 홀더를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제1 회전 구동 모터와, 상기 각 흡착 노즐의 상부에 부착된 캠 종동부가 접하는 동시에 상기 흡착 노즐을 돌출시키는 돌출 캠면을 갖는 원통 캠 부재와, 이 원통 캠 부재를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제2 회전 구동 모터를 구비하고, 사용하는 임의의 하나의 상기 흡착 노즐을 돌출 위치에서 상기 노즐 홀더의 하단부면으로부터 돌출시키도록 한 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터와 상기 제2 회전 구동 모터와의 어느 한 쪽을 위로, 다른 쪽을 그 밑으로 배치하고, 상기 노즐 홀더의 축선 상에 제1 회전 구동 모터의 회전자로서의 제1 회전축 부재를 배치하고, 상기 원통 캠 부재의 축선 상에 제2 회전 구동 모터의 회전자로서의 제2 회전축 부재를 배치한 것을 특징으로 한다.
제2 발명은, 복수개의 흡착 노즐을 배치하는 동시에 상기 각 흡착 노즐을 출몰 가능하게 지지하는 노즐 홀더와, 이 노즐 홀더를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제1 회전 구동 모터와, 상기 노즐 홀더의 외측에 위치하여 상기 각 흡착 노즐의 상부에 부착된 캠 종동부가 접하는 동시에 상기 흡착 노즐을 돌출시키는 돌출 캠면을 갖는 원통 캠 부재와, 이 원통 캠 부재를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제2 회전 구동 모터를 구비하고, 사용하는 임의의 하나의 상기 흡착 노즐을 돌출 위치에서 상기 노즐 홀더의 하단부면으로부터 돌출시키도록 한 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터의 하방에 상기 제2 회전 구동 모터를 배치하고, 상기 노즐 홀더의 축선 상에 제1 회전 구동 모터의 회전자로서의 제1 회전축 부재가 상기 제1 회전 구동 모터 및 상기 제2 회전 구동 모터를 관통하는 동시에 상기 원통 캠 부재의 축선 상에 제2 회전 구동 모터의 회전자로서의 제2 회전축 부재가 상기 제2 회전 구동 모터를 관통하도록 배치한 것을 특징으로 한다.
제3 발명은, 제2 발명에 있어서, 상기 제2 회전축 부재에는 중공부를 형성하고, 이 중공부 내에서 상기 제1 회전축 부재가 회전 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
제4 발명은, 제1 또는 제2 발명에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터 및 상기 제2 회전 구동 모터는 각각 스텝핑 모터로 구성한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 관한 장착 헤드를 탑재한 전자 부품 장착 장치에 대해 설명한다. 도1은 전자 부품 장착 장치(1)의 평면도이며, 이 전자 부품 장착 장치(1)는 장치 본체(2)를 협지하여 서로 평행하게 전자 부품을 공급하는 공급계(3)와, 전자 부품을 프린트 기판(P)에 장착하는 장착계(4)를 배치하여 구성되어 있다. 상기 장치 본체(2)에는 구동계의 주체를 이루는 인덱스 유닛과, 이에 연결된 회전 테이블(12)과, 회전 테이블(12)의 외주부에 탑재한 복수개(예를 들어 12개)의 장착 헤드(10)가 마련되어 있고, 상기 회전 테이블(12)은 인덱스 유닛에 의해, 장착 헤드(10)의 개수에 대응하는 간헐 피치로 간헐 회전된다. 그리고, 회전 테이블(12)이 간헐 회전하면, 각 장착 헤드(10)에 탑재한 흡착 노즐(11)이 공급계(3) 및 장착계(4)에 적절하게 임하고, 공급계(3)로부터 공급된 전자 부품을 흡착한 후, 장착계(4)에 회전 반송하여 장착계(4)로 도입한 프린트 기판(P)에 이를 장착한다.
상기 공급계(3)는 프린트 기판(P)에 장착하는 전자 부품의 종류에 따른 수의 부품 공급 유닛(5)을 갖고 부품 공급 유닛(5)은 한 쌍의 가이드 레일(6)에 슬라이드 가능하게 안내된 공급대(7)에 가로 및 착탈 가능하게 부착되어 있다. 상기 공급대(7)에는 그 슬라이드 방향으로 볼 나사(8)가 나사 결합되어 있고, 공급대(7)는 볼 나사(8)의 한 쪽 단부에 연결된 이송 모터(9)의 정역 회전에 의해 진퇴되고, 장착 헤드(10)의 흡착 위치에 원하는 부품 공급 유닛(5)을 선택적으로 임하게 한다. 각 부품 공급 유닛(5)에는 소정의 피치로 전자 부품이 장전된 캐리어 테이프가 테이프 릴에 권취된 상태에서 탑재되어 있고, 전자 부품은 테이프 릴로부터 권취된 캐리어 테이프로부터 수시로 흡착 노즐(11)에 의해 흡착되어 간다.
상기 장착계(4)는 장착한 프린트 기판(P)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시키는 XY 테이블(15)과, XY 테이블(15)의 전후로 배치한 반입 컨베이어(16) 및 반출 컨베이어(17)와, 반입 컨베이어(16) 상의 프린트 기판(P)을 XY 테이블(15)에, 동시에 XY 테이블(15) 상의 프린트 기판(P)을 반출 컨베이어(17)로 이송하는 기판 이송 장치(18)로 구성되어 있다.
그리고, 반입 컨베이어(16)의 하류단부까지 보내져 온 프린트 기판(P)은 기판 이송 장치(18)에 의해 XY 테이블(15) 상으로 이송되고, 동시에 전자 부품의 장 착이 완료된 XY 테이블(15) 상의 프린트 기판(P)은 이 기판 이송 장치(18)에 의해 반출 컨베이어(17)로 이송된다. 상기 XY 테이블(15) 상으로 도입된 프린트 기판(P)은 XY 테이블(15)에 의해 적절하게 평면 방향으로 이동되고, 각 장착 헤드(10)에 의해 차례 차례로 보내져 오는 전자 부품에 대응하여 그 부품 장착 부위를 장착 위치에 임하고, 각 흡착 노즐(11)로부터 전자 부품의 장착을 받는다.
상기 장치 본체(2)는, 지지 대상에 구동계의 주체를 이루는 인덱스 유닛을 갖고 있고, 인덱스 유닛은 회전 테이블(12)을 간헐 회전시키는 동시에, 회전 테이블(12)의 간헐 주기에 동기(연동)시켜 장치 본체(2)의 각종의 장치를 작동시킨다.
상기 회전 테이블(12)은 인덱스 유닛에 의해 회전하는 축통(도시하지 않음)에 고정되어 평면에서 보아 시계 방향으로 간헐 회전한다. 그리고, 회전 테이블(12)의 외주부에는, 각 리니어 블록(20)에 따라서 주위 방향에 등간격으로 마련된 12개의 각 장착 헤드(10)가 리니어 레일(21)을 통해 상하 이동 가능하게 부착되어 있다. 그리고, 상기 축통의 상부를 둘러싸도록 중공 원통형의 회전 테이블 안내용의 원통 캠 부재의 하단 주연부에 대략 전체 주위에 걸쳐 형성된 캠의 표면 및 하면에 압박되면서 양쪽 캠 종동부(22)가 회전하고, 상기 캠의 형상대로, 각 장착 헤드(10)는 전술한 바와 같이 각 리니어 블록(20)에 따라서 상하하면서 회전 테이블(12)과 함께 회전한다.
이 경우, 회전 테이블(12)의 간헐 회전은 장착 헤드(13)의 수에 맞춰 1 회전에 대해 12 간헐 주기로 되어 있고, 이 간헐 회전에 의해 공전하는 각 장착 헤드(10)는 12 부위의 정지 위치에 각각 정지한다. 그리고, 12 부위의 정지 위치에는 전자 부품을 흡착하는 흡착 위치 및 장착하는 장착 위치 외, 흡착한 전자 부품의 촬상 및 위치 보정을 행하는 위치나 장착 헤드(10)에 있어서의 노즐 절환(교환)을 행하는 위치 등이 포함되어 있다.
다음에, 도2 내지 도7을 기초로 하여 장착 헤드(10)에 대해 상세하게 서술한다. 각 장착 헤드(10)는 주위 방향에 등간격으로 배치한 예를 들어 5개의 흡착 노즐(11)을 각각 출몰 가능하게 지지하는 동시에 흡착 노즐(11)의 상하 출몰 이동을 안내하는 5개의 노즐 상하 홈(31A)이 개설된 노즐 홀더(31)와, 상기 리니어 레일(21)에 고정되어 노즐 홀더(31)를 회전자 베어링(32)을 통해 회전 가능하게 지지하는 홀더 지지 부재(33)와, 노즐 홀더(31)의 상부에 하단부가 고정되는 동시에 상부가 상기 리니어 레일(21)에 고정된 지지 부재(36)에 회전 가능하게 지지되어 축심에 진공 통로(34)가 형성된 중공 원통형의 제1 회전축 부재(35)를 구비하고 있다. 그리고, 노즐 홀더(31)에 고정된 상기 제1 회전축 부재(35)를 회전자로서, 또한 이 제1 회전축 부재(35)가 회전 이동 가능하게 관통되어 전자석인 고정자(37)를 구비한 정역 회전 가능한 노즐 회전 모터(제1 회전 구동 모터 : 예를 들어 스텝핑 모터)(38)가, 상기 지지 부재(36)의 하면에 고정되어 있다. 따라서, 이 노즐 회전 모터(38)의 구동에 의해, 홀더 지지 부재(33)에 대해 회전자 베어링(32)을 통해 노즐 홀더(31)가 회전한다. 즉, 복수개의 흡착 노즐(11)이 노즐 홀더(31)의 축선 주위에 공전한다.
또한, 노즐 홀더(31)의 상부와 홀더 지지 부재(33) 사이에는, 원통 캠 베어링(40)을 통해 회전 가능한 원통 캠 부재(41)가 마련된다. 그리고, 이 원통 캠 부 재(41)의 내측 하부에 전체 주위에 걸쳐 낮은 원통 캠(42)을 세워 설치로 형성하는 동시에, 상부에는 상기 제1 회전축 부재(35)의 주위에서 회전 가능한 제2 회전축 부재(43)가 접속된다. 상기 제2 회전축 부재(43)의 중공부 내에서 상기 제1 회전축 부재(35)가 회전 가능하게 구성된다. 또, 제2 회전축 부재(43)를 회전자로서, 또한 이 제2 회전축 부재(43)[및 제1 회전축 부재(35)도]가 회전 이동 가능하게 관통되어 전자석인 고정자(44)를 구비한 정역 회전 가능한 원통 캠 회전 모터(제2 회전 구동 모터 : 예를 들어 스텝핑 모터)(45)가, 상기 노즐 회전 모터(38)의 하면에 고정되어 있다. 따라서, 이 원통 캠 회전 모터(45)의 구동에 의해, 원통 캠 베어링(40)을 통해 원통 캠 부재(41)가 회전한다. 즉, 이 원통 캠 회전 모터(45)의 구동에 의해, 원통 캠 부재(41)가 노즐 홀더(31)의 축선 주위에 회전한다.
또, 각 흡착 노즐(11)의 상부에는 노즐 홀더(31)의 외측을 향해, 흡착 노즐(11)의 높이를 구속하는 제1 캠 종동부(50) 및 흡착 노즐(11)의 회전을 방지하는 제2 캠 종동부(51)를 회전 가능하게 지지하는 지지 부재(52)가 설치되어 있다. 즉, 이 지지 부재(52)의 가는 직경부에 제1 캠 종동부(50) 및 제2 캠 종동부(51)가 회전 가능하게 마련되고, 이 제1 캠 종동부(50)는 원통 캠 부재(41)의 원통 캠(42) 상면 위에 장착하여 회전하고, 또한 제2 캠 종동부(51)는 노즐 홀더(31)의 노즐 상하 홈(31A)의 홈 형성 바닥면 상에 장착 가능하다. 이 제1 캠 종동부(50) 및 제2 캠 종동부(51)는 베어링으로 구성된다.
또, 도5 내지 도7에 도시한 바와 같이, 상기 원통 캠 부재(41)의 원통 캠(42)의 상단부면에는 캠면이 형성되어 있고, 이 캠면의 일부에는 흡착 노즐(11)을 하강시켜 돌출시키는 제1 및 제2 돌출 캠면(42A, 42B)이 형성되어 있다. 그리고, 흡착 노즐(11) 내에는 압축 스프링(55)이 하단부가 지지된 상태로 삽입되고, 커플링(56)의 하단부에 고정된 6개의 압하 핀(57) 및 볼(58)을 통해 압축 스프링(55)을 압박하고, 흡착 노즐(11)을 하방으로 압박하고 있으므로, 이 제1 캠 종동부(50)는 원통 캠 부재(41)의 원통 캠(42) 상면 위에 압접하면서 회전하게 된다.
그리고, 사용하는 흡착 노즐(11)이 선택되어 제1 캠 종동부(50)가 돌출 캠면(42A) 상에 있을 때에는 상기 흡착 노즐(11)의 하단부 레벨이 저레벨 위치가 되고, 돌출 캠면(42B) 상에 있을 때에는 고레벨 위치가 되고, 또한 이 양자에 연속된 돌출 캠면(42C) 상에 있을 때에는 양자의 중간 레벨 위치가 되고, XY 테이블(15) 상의 프린트 기판(P) 상에 전자 부품을 장착할 때 장착하는 전자 부품의 두께에 따라서 흡착 노즐(11)의 높이 레벨 위치를 조정하는 것이 가능하게 되는 것이다.
또, 장착 헤드(10)에는 노즐 홀더(31)의 회전 각도 위치를 검출하는 노즐 위치 검출용 인코더(위치 검출 수단)(59) 및 원통 캠 부재(41)의 회전 각도 위치를 검출하는 캠 위치 검출용 인코더(위치 검출 수단)(60)가 설치되어 있다. 양쪽 인코더(59, 60)는 마이크로 컴퓨터 CPU(제어 수단)에 접속되고, CPU에는 각 모터 드라이버(제어 수단)를 통해 상기 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)가 접속되고, 각 모터는 제어된다.
또, 흡착 노즐(11)에 흡착 보유 지지된 전자 부품을 부품 인식 카메라가 촬상할 때에, 상기 전자 부품에 확산광을 접촉하기 위한 확산판(62)이 설치된 부착 부재(63)가, 상기 노즐 홀더(31) 하부에 고정되어 있다.
여기서, 임의의 하나의 흡착 노즐(11)의 돌출 동작[사용하는 흡착 노즐(11)의 선택 동작]을 차례대로 설명한다. 우선, 노즐 회전 모터(38)에 의해, 노즐 위치 검출용 인코더(59)의 검출 결과를 기초로 한 CPU의 제어에 의해, 정역의 회전 방향 및 스텝수가 결정되어 노즐 회전 모터(38)를 구동시킨다. 이에 의해, 사용하는 흡착 노즐(11)의 하단 레벨을 저레벨 위치로 하기 위해서는, 상기 흡착 노즐(11)의 제1 캠 종동부(50)가 돌출 캠면(42A) 상에 오도록, 노즐 홀더(31)를 회전시켜 사용하는 흡착 노즐(11)이 돌출 캠면(42A)의 위치, 즉 사용하는 흡착 노즐(11)이 다른 흡착 노즐(11)보다도 하강하는 돌출 위치로 이동시킨다(도5 및 도6 참조). 즉, 사용하는 흡착 노즐(11)이 돌출 캠면(42A)의 위치로 이동하면, 돌출 캠면(42A)의 캠 작용으로 흡착 노즐(11)이 하강하고, 그 선단부가 노즐 홀더(31)의 하단부면으로부터 돌출한다. 이에 의해, 사용하는 흡착 노즐(11)이 선택되게 된다.
그리고, 기억 장치(도시하지 않음)에 저장된 장착 위치나 장착해야 할 각도 등에 관한 장착 데이터에 따라서, 프린트 기판(P)에 장착할 때 장착 각도가 되도록, 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)에 의해, 노즐 위치 검출용 인코더(59) 및 캠 위치 검출용 인코더(60)의 검출 결과를 기초로 한 CPU의 제어에 의해, 정역의 회전 방향 및 스텝수가 결정되고, 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)를 같은 방향으로 동기 구동시켜 노즐 홀더(31) 및 원통 캠 부재(41)를 함께 회전시킴으로써, 결과로서 사용하는 흡착 노즐(11)의 θ 회전이 이루어지게 되고, 원하는 장착 각도로 프린트 기판(P) 상에 전자 부품을 장착할 수 있다.
또, 원통 캠 부재(41)의 원통 캠(42)을 이용하여, 예를 들어 전자 부품을 부 품 공급 유닛(5)으로부터 전자 부품을 취출하기 위해 흡착 또는 프린트 기판(P) 상에 상기 전자 부품을 장착할 때에, 전자 부품을 약간의 거리만큼 승강시킬 수 있다. 돌출 캠면(42A) 상에 있을 때에는 상기 흡착 노즐(11)의 하단 레벨이 저레벨 위치가 되고, 돌출 캠면(42B) 상에 있을 때에는 고레벨 위치가 되고, 또한 이 양자에 연속된 돌출 캠면(42C) 상에 있을 때에는 양자의 중간 레벨 위치가 되고, 전자 부품을 부품 공급 유닛(5)으로부터 전자 부품을 취출하기 위해 전자 부품의 표면 레벨에 맞추고, 또한 XY 테이블(15) 상의 프린트 기판(P) 상에 전자 부품을 장착할 때 장착하는 전자 부품의 두께에 따라서 흡착 노즐(11)의 높이 레벨 위치를 조정하는 것이 가능해지는 것이다.
이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)에 의해, 원통 캠 부재(41)[원통 캠(42)] 및 노즐 홀더(31)를 정역 회전시킴으로써, 각각을 소정의 위치까지 신속하게 회전시킬 수 있는 동시에, 원하는 돌출 위치에 원하는 흡착 노즐(11)만을 돌출시킬 수 있다. 즉, 적절한 위치에 사용하는 흡착 노즐(11)을 정확하면서 신속하게, 회전 테이블(12)의 간헐 회전의 정지위치에 의해 또는 회전 테이블(12)의 간헐 회전 중에서도 돌출시킬 수 있다. 게다가, 종래는 복수의 흡착 노즐을 출몰 가능하게 장착하는 노즐 홀더의 외측에 상기 각 모터의 마그넷을 배치하고 있기 때문에, 장착 헤드의 외경이 커져 큰 토크가 필요하였지만, 본 발명에 따르면 장착 헤드의 외경을 작게 함으로써, 작은 토크로 충분하다.
또, 본 실시 형태에서는 노즐 회전 모터(38) 및 원통 캠 회전 모터(45)를 스 텝핑 모터로 구성하는 것이지만, 서보 모터로 구성해도 좋다. 이러한 경우에는, 이들 서보 모터가 내장되는 인코더가 노즐 위치 검출용 인코더(59) 및 캠 위치 검출용 인코더(60)와 동일한 기능을 할 수 있으므로, 이들 인코더(59, 60)를 마련하지 않도록 하는 것도 가능하다.
이상과 같이 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 상술의 설명에 기초하여 당업자에게 있어서 여러 가지의 대체예, 수정 또는 변형이 가능하고, 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 전술의 여러 가지의 대체예, 수정 또는 변형을 포함하는 것이다.
본 발명에 따르면, 장착 헤드의 외경을 작게 함으로써, 작은 토크로 충분하도록 할 수 있다. 또, 특히 제2 발명에 따르면, 위에 위치한 제1 회전 구동 모터와 노즐 홀더 사이, 밑에 위치한 제2 회전 구동 모터와 외측의 원통 캠 부재 사이의 접속 구성, 즉 회전력의 전달 기구를 간략화할 수 있다.

Claims (4)

  1. 복수개의 흡착 노즐을 배치하는 동시에 상기 각 흡착 노즐을 출몰 가능하게 지지하는 노즐 홀더와, 이 노즐 홀더를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제1 회전 구동 모터와, 상기 각 흡착 노즐의 상부에 부착된 캠 종동부가 접하는 동시에 상기 흡착 노즐을 돌출시키는 돌출 캠면을 갖는 원통 캠 부재와, 이 원통 캠 부재를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제2 회전 구동 모터를 구비하고, 사용하는 임의의 하나의 상기 흡착 노즐을 돌출 위치에서 상기 노즐 홀더의 하단부면으로부터 돌출시키도록 한 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터와 상기 제2 회전 구동 모터 중 어느 한 쪽을 위로, 다른 쪽을 그 밑으로 배치하고, 상기 노즐 홀더의 축선 상에 제1 회전 구동 모터의 회전자로서의 제1 회전축 부재를 배치하고, 상기 원통 캠 부재의 축선 상에 제2 회전 구동 모터의 회전자로서의 제2 회전축 부재를 배치한 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드.
  2. 복수개의 흡착 노즐을 배치하는 동시에 상기 각 흡착 노즐을 출몰 가능하게 지지하는 노즐 홀더와, 이 노즐 홀더를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제1 회전 구동 모터와, 상기 노즐 홀더의 외측에 위치하여 상기 각 흡착 노즐의 상부에 부착된 캠 종동부가 접하는 동시에 상기 흡착 노즐을 돌출시키는 돌출 캠면을 갖는 원통 캠 부재와, 이 원통 캠 부재를 그 축선 주위에 정역 회전시키는 제2 회전 구동 모터를 구비하고, 사용하는 임의의 하나의 상기 흡착 노즐을 돌출 위치에서 상기 노즐 홀더의 하단부면으로부터 돌출시키도록 한 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터의 하방에 상기 제2 회전 구동 모터를 배치하고, 상기 노즐 홀더의 축선 상에 제1 회전 구동 모터의 회전자로서의 제1 회전축 부재가 상기 제1 회전 구동 모터 및 상기 제2 회전 구동 모터를 관통하는 동시에 상기 원통 캠 부재의 축선 상에 제2 회전 구동 모터의 회전자로서의 제2 회전축 부재가 상기 제2 회전 구동 모터를 관통하도록 배치한 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2 회전축 부재에는 중공부를 형성하고, 이 중공부 내에서 상기 제1 회전축 부재가 회전 가능하게 한 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 회전 구동 모터 및 상기 제2 회전 구동 모터는 각각 스텝핑 모터로 구성한 것을 특징으로 하는 전자 부품 장착 장치의 장착 헤드.
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