KR20060044880A - 레지스트막 부착 기판의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치를 사용해서 레지스트제의 도포를 행하는 경우에 대해서, 도포막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 도포막의 막 두께 분포를 작게 하고, 도포된 레지스트제에 의해 형성되는 레지스트막의 막 두께 균일성을 향상시킨다.

레지스트제의 도포막(21a)의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 액면 높이(H)와, 모관 형상 틈새 간격(T)과, 도포 노즐(22) 및 피 도포면(10a)의 상대적인 주사 속도(V)를 조정 가능한 범위 내에서 조정함으로써, 도포 갭(G)이 넓어지도록 한다.

레지스트막, 도포 노즐, 모관 형상 틈새 간격

Description

레지스트막 부착 기판의 제조 방법{Method of manufacturing a board coated with a resist film}

도 1은, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에서 도포막의 막 두께에 영향을 미치는 각 파라미터와 도포막의 막 두께와의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 2는, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법을 실시하는 도포 장치의 도포 수단이 도포를 행하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.

도 3은, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에서 도포갭과 막 두께 분포와의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 4는, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에서 액면 높이의 모관 형상 틈새 간격에 대한 비율과 도포 갭 및 막 두께 분포와의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 5는, 도포 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.

도 6은, 상기 도포 장치의 도포 수단의 구성을 나타내는 단면도이다.

도 7은, 상기 도포 장치의 도포 수단의 중요부의 구성을 나타내는 단면도이다.

도 8은, 도포 장치의 구성을 나타내는 정면도이다.

도 9는, 본 발명에 따른 제조 방법의 제1 순서를 나타내는 흐름도이다.

도 10은, 본 발명에 따른 제조 방법의 제2 순서를 나타내는 흐름도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명)

1 : 도포 장치

2 : 도포 수단

3 : 흡착 수단

4 : 이동 수단

5 : 유지 수단

10 : 기판

10a : 피 도포면

11 : 베이스 프레임

12 : 이동 프레임

20 : 액조

21 : 레지스트제

21a : 도포막

22 : 도포 노즐

23 : 모관 형상 틈새

본 발명은, 기판에 레지스트제를 도포하여 레지스트막을 형성하고, 예를 들면, 포토마스크(photomask) 등을 제조하기 위한 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

종래, 포토레지스트(photoresist) 등 레지스트 막을 실리콘 웨이퍼(silicon wafer) 등의 기판 상에 형성하는 레지스트제를 상기 기판에 도포하여 레지스트막 부착 기판을 제조하기 위한 레지스트막 부착 기판의 제조방법이 제안되고 있다. 그리고, 이러한 레지스트제의 도포를 실시하는 장치로서, 도포 장치(coater)가 제안되고 있다.

종래의 도포 장치로서는, 흔히 스핀 코터(spin coater)가 알려져 있다. 이 스핀 코터는, 수평하게 지지한 기판의 피 도포면의 중앙 부분에 액체 상태의 레지스트제를 방울지게 떨어뜨린 후, 상기 기판을 수평면 내에서 고속 회전 시킴으로써, 원심력의 작용에 의해 피 도포면 상에 레지스트제를 늘여 펼쳐서, 피 도포면의 전면에 걸쳐 도포막을 형성하는 것이다.

그러나, 이러한 스핀 코터에서는, 기판의 주변 가장자리 부분에, 프린지(fringe)라고 불리우는 레지스트제의 덩어리가 발생하는 문제가 있었다. 이러한 프린지가 발생하면, 도포된 레지스트제에 의해 형성되는 레지스트막의 두께가 불균일하게 된다. 그리고, 이러한 프린지는, 액정 표시 장치나 액정 표시 장치 제조용의 포토마스크의 기판 등, 한 변의 길이가, 예를 들면, 300mm 이상이 되는 대형 기판에서, 특히 발생하기 쉽다.

액정 표시 장치나 액정 표시 장치 제조용의 포토마스크 등에서는, 최근에, 형성되는 패턴이 고정밀화되고 있으므로, 대형 기판의 전면에 걸쳐 균일한 두께의 레지스트막을 형성할 수 있는 기술이 요구되고 있다. 즉, 레지스트막의 두께가 불균일할 경우, 그 레지스트막에 의해 형성된 레지스트 패턴을 마스크로 한, 턴(turn)가공 정밀도에 내면 불규칙성이 발생해 버린다.

이러한 실정을 감안하여, 종래, 특개 2001-62370 공보에 기재된 바와 같이, 'CAP 코터(coater)'라고 통칭되는 도포 장치가 제안되어 있다. 상기 'CAP 코터'에서는, 액체 상태의 레지스트제가 담긴 액조에 모관 형상의 틈새를 가지는 도포 노즐을 담구어 놓고, 한편, 피 도포면을 아래쪽을 향한 자세로 흡착판에 의해 기판을 유지해 두며, 다음으로, 도포 노즐을 레지스트제 안으로부터 상승시켜서 이 노포 노즐의 상단부를 기판의 피 도포면에 근접시킨다. 그러면, 액조에 담긴 액체 상태의 레지스트제가 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승되고, 이 레지스트제가 도포 노즐의 상단부를 통해 기판의 피 도포면에 접액된다. 이처럼, 레지스트제가 피 도포면에 접액된 상태에서, 도포 노즐 및 피 도포면을 피 도포면의 전면에 걸쳐 상대적으로 주사시킴으로써, 피 도포면의 전면에 걸쳐서 레지스트제의 도포막이 형성된다.

보다 구체적으로는, 이 도포 장치는, 액조 및 도포 노즐의 높이 위치를 조정하는 제어부를 가지고 있다. 이 제어부는, 먼저, 소정의 액면 위치까지 레지스트제가 담겨 있는 액조와, 이 레지스트제 안에 완전히 잠긴 상태의 도포 노즐을 함께 상승시켜서, 기판의 피 도포면에 아래쪽으로부터 근접시킨다. 다음으로, 제어부는 액조의 상승을 정지시키고, 도포 노즐의 상단을 이 액조 내의 레지스트제의 액면으로부터 위쪽으로 돌출시킨다. 이 때, 도포 노즐은, 레지스트제 안에 완전히 잠겨 있는 상태로부터, 상기 레지스트제의 액면의 위쪽으로 돌출되므로, 모관 형상의 틈새 내에 레지스트제가 채워진 상태가 된다.

다음으로, 제어부는, 다시 액조를 도포 노즐과 함께 상승시키고, 도포 노즐의 상단 부분의 레지스트제를 기판의 피 도포면에 근접시키며, 액조 및 도포 노즐의 상승을 정지시킨다. 즉, 제어부는, 도포 노즐의 모관 형상의 틈새 내에 채워져 있던 레지스트제를 피 도포면에 접촉시킨 상태에서, 액조 및 도포 노즐을 정지시킨다.

그리고, 제어부는, 도포 노즐의 상단부의 레지스트제가 기판의 피 도포면에 접액된 상태에서, 액조 및 도포 노즐을 소정의 '도포 높이'의 위치까지 하강시킨다. 이 상태에서, 제어부는, 기판을 면방향으로 이동시키고, 도포 노즐의 상단부를 피 도포면의 전면에 걸쳐 주사시켜서, 이 피 도포면의 전면에 걸쳐 레지스트제의 도포막을 형성한다.

이와 같은 도포 장치를 사용하는 제조 방법에 의해서, 기판의 주변 가장자리부분에 플린지를 발생시키지 않고, 기판의 전면에 걸쳐 균일한 두께의 레지스트막을 형성할 수 있다.

그런데, 전술한 바와 같이 'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치를 사용해도, 기판에 형성되는 패턴을 보다 고정밀화 하고자 하는 경우에는, 레지스트막의 두께의 균일성이 불충분해지는 경우가 있었다.

그러나, 종래, 이러한 도포 장치를 사용해서 레지스트제의 도포를 행하는 경우에 대해서, 막 두께 분포가 보다 작은 도포막을 형성하고, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있을지의 여부에 대한 검토가 행해지지 않았다.

그래서 본 발명은, 상술한 실정을 감안하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은, 'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치를 사용해서 레지스트제의 도포를 행하는 경우에 대해서, 도포 막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 도포 막의 막 두께 분포를 작게하고, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법을 제공하는데 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 실정을 감안하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은, 'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치를 사용해서 레지스트제의 도포를 행하는 경우에 대해서, 도포 막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 도포 막의 막 두께 분포를 작게하고, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명자는, 상기 과제를 해결하기 위한 연구를 진행한 결과, 'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치를 사용해서 기판에 레지스트제를 도포하는 경우, 도포 막의 막 두께 분포를 좌우하는 파라미터(parameter)는 기판과 도포 노즐의 상단부와의 간격, 즉, 도포 갭에 있고, 도포 갭이 클수록 막 두께 분포가 작아지는 것을 발견했다.

즉, 도포 갭을 G로 하고, 일단 피 도포면에 접액한 레지스트제가 피 도포면으로부터 이액(離液)하는 이액간격을 G′로 했을 때, 도포 갭(G)은, 이액 간격 (G′)보다도 작을 필요가 있다. 그리고, 본 발명자는, 도포 갭(G)이 이액 간격 (G′)보다도 작은 상태에서, 도포 갭(G)을, 되도록 크게 하는 것이 바람직한 것을 발견했다. 그러나, 단지 도포 갭(G)을 크게 해 가면, 피 도포면에 일단 접액한 레지스트제가 이액하기 쉬워지는 문제가 발생한다.

그래서, 본 발명자는, 도포 갭(G)을 크게 하기 위한 방법에 대해서 검토했다. 도포 갭(G)을, 피 도포면으로부터 레지스트제의 이액(액체 분리)을 발생시키지 않으면서 크게 하려면, 도포 노즐로부터 레지스트제가 토출되는 때에 발생하는 도포 노즐과 레지스트제 간의 저항을 낮출 필요가 있다. 이러한 도포 노즐과 레지스트제 간의 저항을 낮추기 위해서는, 레지스트제가 상승하는 도포 노즐의 모관 형상의 틈새의 간격(이하, 모관 형상 틈새 간격(T)이라고 함)을 넓게 할 필요가 있다. 또, 이러한 저항을 낮추기 위해서는, 도포 시의 레지스트제의 액면으로부터 도포 노즐 상단까지의 높이(이하, 액면 높이(H)로 함)를 낮게 할 필요가 있다.

한편, 레지스트제가 도포된 도포 막의 막 두께를 제어하기 위한 파라미터로서는, 전술한 도포 갭(G), 모관 형상 틈새 간격(T) 및 액면 높이(H) 외에, 도포 노즐과 기판의 피 도포면과의 상대적인 주사 속도(V) 및 레지스트제의 점도를 들 수 있다.

도 1은, 도포 막의 막 두께에 영향을 미치는 각 파라미터와 도포 막의 막 두께와의 관계를 도시한 그래프이다.

도포 노즐과 기판의 피 도포면과의 상대적인 주사 속도(V)와 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (a)에 도시한 바와 같이, 속도가 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 모관 형상 틈새 간격(T)과 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (b)에 도시한 바와 같이, 모관 형상 틈새 간격(T)이 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 레지스트제의 점도와 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (d)에 도시한 바와 같이, 레지스트제의 점도가 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 액면 높이(H)와 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (e)에 도시한 바와 같이, 액면 높이(H)가 높아질수록 막 두께가 얇아지는 관계가 있다.

그리고, 도포 갭(G)와 도포 막의 막 두께 간에도, 도 1 중의 (c)에 도시한 바와 같이, 도포 갭(G)이 커질수록 막 두께가 얇아지는 관계가 있다. 그러나, 전술한 바와 같이, 이 도포 갭(G)은, 막 두께가 아니라, 막 두께 분포 억제의 관점에서 설정해야만 하는 것이다.

도포 갭(G; 이액하지 않을 만한 간격으로 하는 것이 전제)은, 모관 형상 틈새로부터 상승하는 레지스트제의 저항을 작게 함으로써, 절대적인 간격을 크게 할 수 있다. 모관 형상 틈새로부터 상승하는 레지스트제의 저항을 작게 하는 방법으로서는, 모관 형상 틈새 간격(T)을 크게 하는 방법, 액면 높이를 작게 하는 방법, 및 레지스트제의 점성을 크게 하는 방법을 생각할 수 있는데, 실용상 레지스트의 점성을 고정한 경우, 모관 형상 틈새 간격(T)을 크게 하는 방법과 액면 높이(H)를 작게 하는 방법을 들 수 있다. 본 발명에서는, 도포 갭(G)이 원하는 큰 값이 되도록, 모 관 형상 틈새 간격(T)과 액면 높이(H)를 선정한다. 그리고, 막 두께의 제어는, 다른 파라미터인 기판과 도포 노즐과의 상대적인 주사 속도(V)로 행하도록 했다.

본 발명에서는, 도포 막의 막 두께를 소정의 막 두께로 하면서, 또, 막 두께 분포를 작게 하기 위해, 모관 형상 틈새 간격(T), 액면 높이(H) 및 주사 속도(V)를 조정 가능한 범위 내에서 조정함으로써 도포 갭(G)을 크게 할 수 있고, 막 두께 분포의 개선을 도모할 수 있다.

그리고, 본 발명에서는, 모관 형상 틈새 간격(T) 및 액면 높이(H)에 대해서는, H/T〈45가 성립하는 것, 즉, 액면 높이(H)를 모관 형상 틈새 간격(T)의 45배 보다도 작게 함으로써, 도포 갭(G)를, 막 두께 분포가 양호한 값, 예를 들면, 막 두께의 1% 이내인 값으로 할 수 있는 크기로 하는 것이 가능하다.

또, 도포 갭(G)은, 전술한 바와 같이, 크게 하는 쪽이 도포 막의 막 두께 분포를 양호하게 할 수 있는데, 예를 들면, 1% 이내의 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 적어도 200㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더욱 양호한 막 두께 분포, 예를 들면, 막 두께 0.75% 이내인 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 250㎛ 이상, 막 두께 0.5% 이내의 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 300㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하다.

그리고 본 발명에서는, 도포 막의 막 두께는, 200nm 내지 2000nm 으로 할 수 있다. 이러한 막 두께의 도포 막을 형성하려면, 기판의 피 도포면과 도포 노즐과의 상대적인 주사 속도(V)는, 분속 0.1m 내지 0.5m로 하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명에서는, 기판을 투명 기판으로 하고, 레지스트제를, 투명 기판 상에 차광막 패턴을 형성하여 이 투명 기판을 포토마스크로 하기 위한 레지스트막을 형성함으로써, 레지스트막 부착 기판으로서, 포토마스크를 제조할 수 있다.

즉, 본 발명은 이하의 구성을 구비한다.

청구항 1에 기재된 본 발명은, 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 피 도포면에 접액시키면서, 도포 노즐 및 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 피 도포면에 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서, 레지스트제 도포 공정에서, 피 도포면에 도포되는 레지스트제의 도포막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 액조의 레지스트제의 액면으로부터 도포 노즐의 상단까지의 높이를 조정 가능한 범위 내에서 낮게 함으로써 및/또는 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모세 형상 틈새의 간격을 조정 가능한 범위 내에서 넓게 함으로써, 조정 가능한 범위 내에서 크게 조정된 도포 갭을 이용해서 레지스트의 도포를 행하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 2에 기재된 본 발명은, 청구항 1에 기재된 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에서, 액조의 레지스트제의 액면으로부터 도포 노즐의 상단까지의 높이를, 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모세 형상 틈새의 간격의 1배 이상이며 45배 미만으로 하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 3에 기재된 본 발명은, 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 피 도포면에 접액시키면서, 도포 노즐 및 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 피 도포면에 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서, 기판은, 한 변이 300mm 이상의 사각형 기판으로서, 레지스트제 도포 공정에서, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 200㎛ 이상으로 함으로써, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 1% 이하인 도포막을 형성하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 청구항 4에 기재된 본 발명은, 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 피 도포면에 접액시키면서, 도포 노즐 및 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 피 도포면에 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서, 기판은, 한 변이 300mm 이상의 사각형 기판으로서, 레지스트제 도포 공정에서, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 250㎛ 이상으로 함으로써, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.75% 이하인 도포 막을 형성하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 5에 기재된 본 발명은, 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 피 도포면에 접액시키면서, 도포 노즐 및 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 피 도포면에 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서, 기판은, 한 변이 300mm 이상인 방형 기판으로서, 레지스트제 도포 공정에서, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 300㎛ 이상으로 함으로써, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.5% 이하인 도포막을 형성하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 사각형 기판이라는 것은, 정사각형 또는 직사각형 기판이고, 직사각형의 경우는, 그 짧은 변이 300mm 이상이다.

또, 막 두께 분포라는 것은, 기판의 적어도 70%의 영역 내에 균등하게 배치시킨 다른 세개의 점 이상의 막 두께를 측정한 결과를 이하의 식에 의해 산출한 것이다.

막 두께 분포(%) = (tmax - tmin)/tava×100

여기서, tmax는 막 두께의 최대치, tmin은 막 두께의 최소치, tava는 막 두께의 평균치이다. 측정 영역에 대해서는, 포토마스크나 디바이스 기판의 경우, 패 턴(화소) 형성 영역으로 하는 것이 더욱 바람직하다.

그리고, 청구항 6에 기재된 본 발명은, 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서, 기판은, 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하며 설명한다.

도 2는, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법을 실시하는 도포 장치에서의 도포 수단이 도포를 행하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.

본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 액조(20)에 담긴 액체 상태의 레지스트제(21)를 도포 노즐(22)의 슬릿(slit) 형상인 모관 형상 틈새(23)에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판(10)의 피 도포면(10a)을 아래쪽을 향하게 하여 도포 노즐(22)의 상단부에 근접시키고, 도포 노즐(22)에 의해 상승된 레지스트제(21)를 상기 도포 노즐(22)의 상단부를 통해 피 도포면에 접액시키면서, 도포 노즐(22) 및 피 도포면(10a)을 상대적으로 주사시켜서, 피 도포면(10a)에 레지스트제(21)를 도포하는 공정을 가지는 제조 방법으로서, 'CAP 코터'라고 통칭되는 도포 장치에 의해 실시되는 제조 방법이다. 도포 노즐(22) 및 피 도포면(10a)의 상대적인 주사 방향은, 도 2 중 화살표(V)로 나타낸 바와 같이, 도포 노즐(22)의 상단부에서 모관 형상 틈새(23)가 형성하는 슬릿에 직교하는 방향이다.

본 발명자는, 이러한 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에서, 도포 막(21a) 의 막 두께 분포(막 두께의 불균일성)를 좌우하는 파라미터가, 기판(10)의 피 도포면(10a)과 도포 노즐(22)의 상단부 사이의, 도 2 중 화살표(G)로 나타낸 간격(이하, 도포 갭(G)이라고 함)에 있는 것을 발견했다.

도 3은, 도포 갭(G)과 막 두께 분포와의 관계를 나타내는 그래프이다.

도포 갭(G)과 도포 막의 막 두께 분포 사이에는, 도 3 및 이하의 [표 1]에 나타낸 바와 같이, 도포 갭(G)이 커짐에 따라, 막 두께 분포가 작아지는 관계가 있다. 이러한 관계는, 도포 노즐(22) 및 피 도포면(10a)의 상대적인 주사 속도(V)를, 분속 0.25m, 분속 0.50m, 분속 0.75m로 변화시켜도 같은 양상이다. 따라서, 막 두께 분포가 작고 막 두께의 균일성이 높은 도포막(21a)을 얻으려면, 도포 갭(G)을 크게 하면 좋다는 것이다.

또한, [표1]에 나타낸 데이터는, 도 3에 나타낸 그래프의 기초가 된 데이터이고, 도포 갭(G)을 50㎛, 150㎛, 250㎛으로 한 각각의 경우에 대해, 도포 노즐(22) 및 피 도포면(10a)의 상대적인 주사 속도(V)를 분속 0.25m, 분속 0.50m, 분속 0.75m로 한 합계 9종류의 샘플에 대해, 각각 450mm×550mm의 기판의 중앙부 390mm×490mm의 영역에서 등간격인 12군데(3 ×4)의 측정 포인트에 대해 도포막(21a)의 막 두께를 측정하고, 이들 측정 결과의 평균 및 막 두께 분포(불규칙 분포)를 나타낸 것이다. 이 막 두께 분포(%)는, 막 두께의 평균치를 tave로 하고, 막 두께의 최대치를 tmax로 하며, 막 두께의 최소치를 tmin으로 했을 때, 이하의 식에 의해 산출할 수 있다.

막 두께 분포(%) = (tmax - tmin)/tave

그런데, 일단 피 도포면(10a)에 접액한 레지스트제(21)가 피 도포면(10a)으로부터 이액하는 간격을 이액 간격(G′)으로 했을 때, 도포 갭(G)은, 이 이액간격(G′)보다도 작을 필요가 있다. 따라서, 도포 갭(G)은, 이액 간격(G′) 보다도 작은 범위 내에서, 되도록 크게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 단지 도포 갭(G)을 계속 크게 하면, 피 도포면(10a)에 일단 접액한 레지스트제(21)의 액체 분리, 즉, 레지스트제(21)의 피 도포면(10a)으로부터의 이액이 발생하기 쉬워진다.

도포 갭(G)을, 피 도포면(10a)으로부터 레지스트제(21)의 액체 분리를 발생시키지 않고 크게 하려면, 도포 노즐(22)로부터 레지스트제(21)가 토출되는 때에 발생하는 도포 노즐(22)과 레지스트제(21) 간의 저항을 낮출 필요가 있다. 이와 같이 도포 노즐(22)와 레지스트제(21) 간의 저항을 낮추기 위해서는, 레지스트제(21)가 상승하는 도포 노즐(22)의 모관 형상 틈새(23)의 간격(이하, 모관 형상 틈새 간격(T)이라고 함)을 넓게 할 필요가 있다. 또, 이와 같은 저항을 낮추기 위해서는, 도포 시 레지스트제(21)의 액면으로부터 도포 노즐(22)의 상단부까지의 높이(이하, 액면 높이(H)라고 함)를 낮게 할 필요가 있다.

한편, 레지스트제가 도포된 도포 막의 막 두께를 제어하기 위한 파라미터로서는, 상술한 바와 같이, 도포 갭(G), 모관 형상 틈새 간격(T) 및 액면 높이(H)의 외에, 도포 노즐(22)과 기판(10)의 피 도포면(10a)과의 상대적인 주사 속도(V) 및 레지스트제의 점도를 들 수 있다.

도포 노즐(22)과 기판(10)의 피 도포면(10a)과의 상대적인 주사 속도(V)와 도포막(21a)의 막 두께와의 관계는, 전술한 도 1 중의 (a)에 나타낸 바와 같이, 속도가 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 모관 형상 틈새 간격(T)과 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (b)에 나타낸 바와 같이, 모관 형상 틈새 간격(T)이 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 레지스트제의 점도와 도포 막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (d)에 나타낸 바와 같이, 레지스트제의 점도가 커질수록 막 두께가 두꺼워지는 관계가 있다. 액면 높이(H)와 도포막의 막 두께와의 관계는, 도 1 중의 (e)에 나타낸 바와 같이, 액면 높이(H)가 높아질수록 막 두께가 얇아지는 관계가 있다.

그리고, 도포 갭(G)과 도포 막의 막 두께 간에도, 도 1 중의 (c)에 나타낸 바와 같이, 도포 갭(G)이 커질수록 막 두께가 얇아지는 관계가 있다. 그러나, 이 도포 갭(G)은, 막 두께가 아니라, 막 두께 분포의 억제의 관점에서 설정되어야만 한다.

도포 갭(G; 이액하지 않을 만한 간격으로 하는 것이 전제)은, 모관 형상 틈새로부터 상승하는 레지스트제의 저항을 작게 함으로써, 절대적인 간격을 크게 할 수 있다. 모관 형상 틈새로부터 상승하는 레지스트제의 저항을 작게 하는 방법으로서는, 모관 형상 틈새 간격(T)을 크게 하는 방법, 액면 높이를 작게 하는 방법 및 레지스트제의 점성을 크게 하는 방법을 생각할 수 있는데, 실용상 레지스트의 점성을 고정한 경우, 모관 형상 틈새 간격(T)을 크게 하는 방법과 액면 높이(H)를 작게 하는 방법을 들 수 있다. 본 발명에서는, 도포 갭(G)이 원하는 큰 값이 되도록, 모관 형상 틈새 간격(T)과 액면 높이(H)를 선정한다. 그리고, 막 두께의 제어는, 다른 파라미터인 기판과 도포 노즐과의 상대적인 주사 속도(V)로 행하도록 했다.

본 발명에서는, 도포 막(21a)의 막 두께를 소정의 막 두께로 하고, 또, 막 두께 분포를 작게 하기 위해, 모관 형상 틈새 간격(T), 액면 높이(H) 및 주사 속도(V)를 조정 가능한 범위 내에서 조정함으로써, 결과적으로 도포 갭(G)을 크게 할 수 있고, 막 두께 분포의 개선을 도모할 수 있다.

본 발명에서는, 모관 형상 틈새 간격(T) 및 액면 높이(H)에 대해서는, 이하의 [표 2]에 나타내는 바와 같이, H/T〈45가 성립하는 것, 즉, 액면 높이(H)를 모관 형상 틈새 간격(T)의 45배 미만으로 함으로써, 도포 갭(G)을, 막 두께 분포가 양호한 값으로 할 수 있다. 액면 높이(H)가 모관 형상 틈새 간격(T)의 45배 이상이 되면, 모관 형상 틈새 간격(T)이 너무 작아서, 도포 노즐(22)과 레지스트제(21) 간의 저항이 높아지기 때문이다.

도 4는, 액면 높이(H)의 모관 형상 틈새 간격(T)에 대한 비율과 도포갭(G) 및 막 두께 분포와의 관계를 나타내는 그래프이다.

[표 2] 및 도 4에서, H/T가 35 이상 45 미만인 경우에는, 도포 갭(G)은, 200㎛ 내지 250㎛로 할 수 있다. 이 경우, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막(21a)의 막 두께 분포는, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 1% 이하로 할 수 있다. H/T가 25 이상 35 미만인 경우에는, 도포갭(G)은, 250㎛ 내지 300㎛로 할 수 있다. 이 경우, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막(21a)의 막 두께 분포는, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 0.75% 이하로 할 수 있다. H/T가 25 미만인 경우에는, 도포갭(G)은, 300㎛ 내지 350㎛으로 할 수 있다. 이 경우, 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막(21a)의 막 두께 분포는, 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 0.5% 이하로 할 수 있다. 도포막(21a)의 막 두께 분포는, 예를 들면, 미세 패턴을 가지는 그레이톤 마스크(graytone mask) 등, 정밀도가 높은 대형 마스크를 제조하는 경우에는, 막 두께의 0.5% 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, H/T는, 1 이상으로 하는 것이 실용상 바람직하다. 실용상으로, 최적의 범위는, 10〈H/T〈25이다.

액면 높이(H)에 대해서는, 작은 경우, 도포 노즐(22)과 레지스트제(21) 간의저항이 낮아지고, 또, 도포 노즐(22)의 상단부에 형성되는 레지스트제(21)의 메니스커스(meniscus)가 형성되기 쉬워진다. 그러나, 액면 높이(H)가 너무 작으면, 액조(20)와 기판(10)이 너무 근접해서 안전하게 도포하는 것이 곤란해진다. 또, 액면 높이(H)가 극단적으로 작으면, 도포 노즐(22)에서의 모세관 현상이 발생하지 않게 된다. 그리고, 액면 높이(H)가 너무 크면, 도포 노즐(22)과 레지스트제(21) 간의 저항이 높아지고, 또한, 도포 노즐(22)의 상단부에 형성되는 레지스트제(21)의 메니스커스의 재현성이 불안정해지는 문제가 발생한다. 액면 높이(H)에 대해서는, 이러한 문제점이 발생하지 않는 범위가 조정 가능한 범위가 된다. 이러한 점으로부터, 액면 높이(H)는, 1mm 내지 12mm의 범위에서 선택하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 5mm 내지 11mm로 하면 좋다.

모관 형상 틈새 간격(T)에 대해서는, 넓은 경우, 도포 노즐(22)와 레지스트제(21) 간의 저항이 낮아진다. 그러나, 모관 형상 틈새 간격(T)이 너무 넓으면, 모관 형상 틈새(23)에서의 모세관 현상 자체가 일어나지 않게 될 가능성이 있고, 또, 도포 노즐(22)의 상단부에 형성되는 레지스트제(21)의 메니스커스가 형성되기 어려워진다. 그리고, 모관 형상 틈새 간격(T)이 너무 좁으면, 도포 노즐(22)과 레지스트제(21) 간의 저항이 높아져 버린다. 모관 형상 틈새 간격(T)에 대해서는, 이러한 문제가 발생하지 않는 범위가 조정 가능한 범위가 된다. 이러한 점으로부터, 모관 형상 틈새 간격(T)은, 50㎛ 내지 800㎛의 범위에서 선택하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 200㎛ 내지 600㎛으로 하면 좋다.

레지스트제(21)의 도포막(21a)의 막 두께에 대해서는, 200nm 내지 2000nm으로 할 수 있다. 이러한 막 두께로 하기 위해서는, 도포 노즐(22)과 기판(10)의 피 도포면(10a)과의 상대적인 주사 속도(V)는, 분속 0.5m 내지 분속 0.1m로 하는 것이 바람직하다.

도포 갭(G)에 대해서는, 전술한 바와 같이, 커진 쪽이 도포막(21a)의 막 두께 분포를 양호하게 할 수 있는데, 도포갭(G)이 커지면, 이 도포 갭(G)이 이액 간격(G′)이 된다고 해도, 피 도포면(10a)에 일단 접액한 레지스트제(21)가 피 도포면(10a)으로부터 이액해 버린다. 따라서, 도포갭(G)은, 이액 간격(G′)보다도 작지 않으면 안된다. 본 발명에서는, 도포갭(G)은, 이액 간격(G′)보다도 작은 범위내에서, 가능한 한 크게 되는 것이 바람직하다. 즉, 도포 갭(G)은, 이액 간격(G′)의 적어도 50%이상이 되고, 또, 이액 간격(G′) 미만인 간격이 되는 것이 바람직하다. 따라서, 액면 높이(H), 모관 형상 틈새 간격(T) 및 주사 속도(V)에 대해서는, 도포 갭(G)이 이액 간격(G′) 미만이 되는 범위가 조정 가능한 범위라는 것이다.

또, 도포 갭(G)은, 이액 간격(G′)의 70% 내지 95%가 되는 것이 보다 바람직하다. 도포 갭(G)이 이액 간격(G′)의 70% 이상이 됨으로써, 막 두께 분포가 극히 양호하게 억제된다. 도포 갭(G)이 이액 간격(G′)의 80%이상이 되면, 막 두께 분포는 보다 잘 억제된다. 다만, 도포 갭(G′)이 이액 간격(G′)의 95%보다 커지면, 기판의 크기 등 제조건에 따라서는, 레지스트제를 도포하고 있는 도중에, 단편적인 액체 분리, 즉 레지스트제의 피 도포면으로부터의 이액이 발생할 가능성이 있다. 이러한 액체 분리를 확실히 방지하는 관점에서는, 도포 갭(G)이 이액 간격(G′)의 90% 이하가 되는 것이 바람직하다.

도포 갭(G)은, 예를 들면, 막 두께 1% 이내의 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 200㎛ 이상이 되는 것이 바람직하다. 더욱 양호한 막 두께 분포, 예를 들면, 막 두께의 0.75% 이내의 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 도포 갭(G)은, 250㎛ 이상, 막 두께의 0.5% 이내의 막 두께 분포를 얻기 위해서는, 300㎛ 이상이 되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.

[도포 장치의 구성]

본 발명의 실시예에 대해 설명함에 있어서, 먼저, 본 발명에서 피 도포면(10a)을 가지는 기판(10)을 유지하고 도포 노즐(22)에 대해 이동조작하는 구성을 가지는 도포 장치의 구성에 대해서, 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다. 이 도포 장치에서, 본 발명에 따른 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에 따라, 기판(10)에 대해 레지스트제(21)가 도포된다.

도 5는, 도포 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.

이 도포 장치는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 베이스 프레임(base frame, 11)과, 이 베이스 프레임(11)에 설치된 도포 수단(2)과, 베이스 프레임(11) 상에 이동 가능하게 지지되어 이동 수단(4)에 의해 수평 방향으로 이동조작되는 이동 프레임(12)과, 이 이동 프레임(12)에 설치되어 기판(10)을 흡착하는 흡착 수단(3)과, 기판(10)을 탈착 가능하게 유지하는 유지 수단(5)을 구비하여 구성되어 있다. 이들 도포 수단(2), 흡착 수단(3), 이동 수단(4) 및 유지 수단(5)은, 도시하지 않는 제어부에 의해 제어되어 동작한다.

이 실시예에서는, 기판(10)은, 투명 기판에 차광막이 형성된 포토마스크 블랭크(사이즈: 390mm×490mm)이고, 또, 도포 수단(2)에 의해 기판(10)에 도포되는 레지스트제는, 기판(10) 상에 차광막 패턴을 형성하고 이 기판(10)을 포토마스크로 하기 위한 레지스트막을 형성하는 것이다.

도 6은, 이 도포 장치의 도포 수단(2)의 구성을 나타내는 단면도이다.

도포 수단(2)은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 액조(20)에 담긴 액체 상태의 레지스트제(21)를 도포 노즐(22)의 모관 형상 틈새(23)에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 아래쪽을 향한 기판(10)의 피 도포면(10a)에 도포 노즐(22)의 상단부를 근접시키고, 도포 노즐(22)에 의해 상승된 레지스트제(21)를 상기 도포 노즐(22)의 상단부를 통해 피 도포면(10a)에 접액시키도록 구성되어 있다.

즉, 이 도포 수단(2)은, 액체 상태의 레지스트제(21)를 담은 액조(20)을 가지고 있다. 이 액조(20)는, 기판(10)의 횡방향, 즉 후술하는 바와 같이, 이동 프레임(12)에 의해 이동되는 방향인 종방향에 직교하는 방향의 한 변의 길이에 상당하는 길이(도 6 중에서 지면에 직교하는 방향이 되어 있다)를 가지며 구성되어 있다. 이 액조(20)는, 지지 프레임(24)의 상단부 쪽에, 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되어 지지되고 있다. 그리고, 이 액조(20)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 지지 프레임(24)에 대해, 상하 방향으로 이동 조작된다. 이 구동 기구는, 제어부에 의해 제어되어 동작한다.

그리고, 지지 프레임(24)은, 아래쪽 단부에서, 서로 직교하여 배치된 리니어 웨이(25, 26; linear way)를 통해, 베이스 프레임(11)의 기저 프레임(72) 상에 지지되어 있다. 즉, 이 지지 프레임(24)은, 기저 프레임(72) 상에서, 직교하는 2방향으로의 위치 조정이 가능하게 되어 있다. 지지 프레임(24)에는, 슬라이드 기구(27)을 사이에 두고, 액조(20)내에 수납된 도포 노즐(22)을 지지하는 지지 기둥(28)이 설치되어 있다.

도 7은, 이 도포 장치에서 도포 수단(2)의 중요부의 구성을 나타내는 단면도이다.

지지 기둥(28)은, 도 7에 나타낸 바와 같이, 액조(20)의 저면부에 설치된 투공(20b)을 통해, 이 액조(20) 내에 상단부를 진입시키고 있다. 그리고, 이 지지 기둥(28)의 상단부에는, 도포 노즐(22)이 설치되어 있다. 이 도포 노즐(22)은, 지지 기둥(28)에 지지되어, 액조(20) 내에 수납되어 있다. 이 도포 노즐(22)은, 기판(10)의 횡방향의 길이에 상당하는 길이(도 7 중에서 지면에 직교하는 방향이 되어 있다)를 가지고 구성되고, 이 길이 방향을 따라, 슬릿 형상의 모관형상 틈새(23)를 가지고 있다. 이 도포 노즐(22)은, 이 모관 형상 틈새(23)를 사이에 두고, 상단부의 폭이 좁게 형성되고 부리처럼 뾰족한 단면 형상을 가지며 구성되어 있다. 모관 형상 틈새(23)의 상단부는, 도포 노즐(22)의 상단부에서, 이 도포 노즐(22)의 대략 전체 길이에 걸친 슬릿 형상으로 개구되어 있다. 또, 이 모관 형상 틈새(23)는, 도포 노즐(22)의 아래쪽을 향해서도 개구되어 있다.

슬라이드 기구(27)는, 도시되지 않은 구동 기구에 의해, 제어부의 제어에 따라, 지지 기둥(28)을 지지 플레이트(24)에 대해 상하 방향으로 이동조작한다. 즉, 액조(20)와 도포 노즐(22)과는, 서로 독립적으로, 지지 플레이트(24)에 대해 상하 방향으로 이동 조작될 수 있다.

액조(20)의 상면부에는, 도포 노즐(22)의 상단부가 이 액조(20)의 위쪽으로 돌출되기 위한 투공부(20a)가 설치되어 있다. 또, 액조(20)의 저면부의 투공(20b)의 주위부와 도포 노즐(22)의 저면부는, 주름 호스(29)로 이어져 있고, 이 투공(20b)으로부터 레지스트제(21)가 새는 것이 방지된다.

그리고, 이동 프레임(12)은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 흡착 수단(3)을 통해 기판(10)을 흡착 유지하고, 이 기판(10)을 도포 수단(2)에 대해 수평 방향으로 이동시키는 기구이다. 이 이동 프레임(12)은, 대향하는 한 쌍의 측판과, 이들 측판을 연결하는 천판(天板)이 일체적으로 연결되어 구성되어 있고, 강성 부족에 의해 기판(10)과 도포 수단(2)과의 위치 정밀도가 떨어지지 않도록, 충분한 기계적 강도를 가지며 구성되어 있다.

이 이동 프레임(12)은, 베이스 프레임(11) 상에 설치된 리니어 웨이(41)를 통해, 베이스 프레임(11)에 의해 지지되어 있고, 이 베이스 프레임(11) 상을 수평방향으로 이동 가능하게 이루어져 있다. 또, 이 이동 프레임(12)의 한 쪽 측판에는, 이동 부재(13)가 설치되어 있다. 이 이동 부재(13)에는, 너트부가 형성되어 있다. 이 이동 부재(13)의 너트부에는, 베이스 프레임(11)에 설치된 이동 수단(4)을 구성하는 볼 스크류(42; ball screw)가 결합한다.

그리고, 이 이동 프레임(12)의 천판의 대략 중앙부에는, 도시하지 않은 복수의 흡착 구멍이 뚫려 설치된 흡착판을 가지고, 기판(10)을 흡착하는 흡착 수단(3)이 배치되어 있다.

이동 수단(4)은, 이동 부재(13)의 너트부에 결합하는 볼 스크류(42)와, 볼 스크류(42)를 회전 조작하는 모터(43)로 구성되어 있다.

이 이동 수단(4)에서, 모터(43)는, 제어부에 의한 제어에 따라 구동하고, 볼 스크류(42)를 회전 조작한다. 제어부에 의한 제어에 따라, 볼 스크류(42)가 소정의 방향으로 소정의 회전수만큼 회전됨으로써, 이동 부재(13)는, 소정의 방향으로 소정의 거리만큼 이동 프레임(12)과 함께 수평으로 이동조작된다.

또, 흡착 수단(3)과 도포 수단(2)과의 수직 방향 위치(높이) 정밀도는, 리니어 웨이(41)와 흡착 수단(3) 간의 거리(높이)의 오차, 리니어 웨이(41)와 도포 수단(2) 간의 거리(높이)의 오차 및, 리니어 웨이(41) 그 자체의 형상 오차에 의해 결정된다.

유지 수단(5)은, 이 도포 장치 외측으로부터 반입되는 기판(10)을, 먼저, 대략 수직으로 경사진 형태로 유지하고, 다음으로 이 기판(10)을 수평 상태로 하여, 이 기판(10)을 이동 프레임(12)에 설치된 흡착 수단(3)으로 보내기 위한 기구이다. 또, 이 유지 수단(5)은, 도포 수단(2)에 의한 레지스트제의 도포가 완료된 기판(10)을 흡착 수단(3)으로부터 받아서 수평 상태로 하여 유지하고, 다음으로, 이 기판(10)을 대략 수직으로 경사진 상태로 하여, 이 기판(10)의 도포 장치 외측으로의 반출을 가능하게 하기 위한 기구이다.

도 8은, 도포 장치의 구성을 나타낸 정면도이다.

이 유지 수단(5)은, 도 5 및 도 8에 나타낸 바와 같이. 베이스 플레이트(69)와, 이 베이스 플레이트(69) 상에서, 수평 상태와 대략 수직으로 경사진 상태에 걸쳐 회전 운동 가능하게 지지된 회전 운동 플레이트(65)를 가지며 구성되어 있다.

그리고, 이 유지 수단(5)은, 회전 운동 플레이트(65) 상에, 리니어 웨이(64), 한 쌍의 레일(63) 및 리니어 웨이(62)를 통해, 각각이 유지 플레이트(61)에 고정된 네 개의 유지 부재(55)를 구비하고 있다. 이들 유지 부재(55)는, 기판(10)의 사각의 주변 가장자리 부분을 유지하는 것이다.

각 유지 부재(55)의 근방에는, 유지 부재(55)에 유지된 기판(10)이 유지 부재(55)로부터 떨어지지 않도록, 도시되지 않은 누름 수단이 설치되어 있다. 이 누름 수단은, 예를 들면, 상하 운동 및 수평 방향으로의 회전 운동이 가능하게 형성된 누름 플레이트에 의해 구성되어 있다. 이 누름 수단은, 유지 부재(55)에 유지된 기판(10)을 유지 부재(55) 측으로 누른다.

유지 플레이트(61)는, 리니어 웨이(62)를 통해서, 도 5 중의 화살표(Y)로 나타낸 베이스 프레임(11) 상의 리니어 웨이(41)에 평행한 방향으로 배치된 한 쌍의 레일(63) 상에 각 2개씩 배치되어 있다. 도포 수단(2)에 가까운 쪽의 두 개의 유지 플레이트(61)는, 볼 스크류와 모터를 가지는 도시되지 않은 구동 수단에 의해, 도 5 중 화살표(Y) 방향으로 이동 조작 가능하게 되어 있다. 이에 따라, 기판(10)의 세로 길이가 다른 경우에도, 이 구동 수단에 의해 2개의 유지 플레이트(61)를 Y방향으로 이동시켜서, 각 유지 부재(55)를 기판(10)의 4각의 주변 가장자리 부분에 대향시킬 수 있다.

또, 한 쌍의 레일(63)은, 도 5 중 화살표(X)로 나타낸 베이스 프레임(11) 상의 리니어 웨이(41)에 직교하는 방향으로 배치된 리니어 웨이(64)를 통해, 각각의 양 단부에서 회전 운동 플레이트(65)에 설치되어 있다. 이들 레일(63)은, 볼 스크류와 모터를 가진 도시되지 않은 구동 수단에 의해, 도 5 중 화살표(X) 방향으로 이동 조작 가능하게 되어 있다. 이에 따라, 기판(10)의 가로 길이가 다른 경우에도, 이 구동 수단에 의해 2개의 유지 플레이트(61)를 X방향으로 이동시켜서, 각 유지부재(55)를 기판(10)의 사각의 주변 가장자리 부분에 대향시킬 수 있다.

회전 운동 플레이트(65)는, 도포 수단(2)으로부터 먼 쪽의 단부가, 회전 운동축(66)에 의해, 베이스 플레이트(69)에 대해 회전 운동 가능하게 지지되어 있다. 이 회전 운동 플레이트(65)는, 수평 상태가 되었을 때에는, 도포 수단(2)에 가까운 쪽의 단부가, 베이스 플레이트(69) 상에 돌출 설치된 스토퍼(68; stopper)에 의해 지지된다.

그리고, 이 회전 운동 플레이트(65)는, 한쪽 단부가 베이스 플레이트(69)에 설치된 회전 운동 실린더(67)에 의해, 회전 운동축(66) 주위를 회전 운동하도록 조작된다. 즉, 이 회전 운동 실린더(67)는, 다른쪽 단부가 회전 운동 플레이트(65)에 연결되어 있어. 신축 조작이 가능하게 되어 있다.

또, 베이스 프레임(69)에는, 하면의 네 각에, 가이드 봉(71)이 돌출 설치되어 있다. 이들 가이드 봉(71)은, 베이스 프레임(11)에 고정된 유지 수단 프레임(70)에 관통되어 있다. 베이스 플레이트(69)는, 이들 가이드 봉(71)이 유지 수단 프레임(70)에 가이드 됨으로써, 수평 상태를 유지한 채, 유지 수단 프레임(70)에 대해 승강 이동을 할 수 있다. 그리고, 베이스 플레이트(69)는, 베이스 프레임(11)의 기저 프레임(72) 상에 설치된 에어 실린더 등 승강 수단(73)에 의해, 수직 방향으로 승강 이동 조작될 수 있다.

[도포 장치의 동작]

다음으로, 이 도포 장치(1)의 동작에 대해서, 도 5 및 도 9를 참조하여 설명한다.

도 9는, 레지스트막 부착 기판의 제조 방법의 제1 순서를 나타낸 흐름도이다.

먼저, 이 도포장치(1)는, 초기 상태로 되어 있다. 이 초기 상태에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 베이스 플레이트(69)가, 승강 수단(73)에 의해 상승되어 있지 않고, 회전 운동 플레이트(65)가 수평 상태로 지지되며, 이동 프레임(12)이 도포 종료 위치에 있고, 도포 수단(2)의 액조(20) 및 도포 노즐(22)이 상승되어 있지 않다.

또, 네 개의 유지 부재(55)의 위치는, 기판(10)의 세로 치수 및 가로 치수에 맞추어 미리 조정되어 있다. 또, 기판(10)은, 한 변이 300mm 이상인 사각형 기판이다. 이 조정은, 레일(63)을 X방향으로 이동시킴으로써, 기판(10)의 가로 치수에 따라 유지 부재(55)의 위치 결정을 행하고, 또, 유지 플레이트(61)를 Y방향으로 이동시킴으로써, 기판(10)의 세로 치수에 따라 유지부재(55)의 위치 결정을 수행함으로써 이루어진다.

다음으로, 이 도포 장치(1)에서는, 회전 운동 실린더(67)에 의해, 회전 운동 플레이트(65)가 도포 수단(2)으로부터 떨어진 방향으로 일어서듯이 회전 운동되어, 설정(set) 위치까지 회전 운동된다.

그리고, 도포 장치(1a)의 정면측에서 작업하는 작업자는, 도 9의 단계(s1)에 나타낸 바와 같이, 기판(10)의 피 도포면(10a)을 도포 장치(1) 측으로 향한 상태로, 이 기판(10)을 각 유지 부재(55)에 유지한다. 이 때, 누름 수단이 기판(10)의 사각부를 각 유지 부재(55)로 누른다. 이에 따라, 비스듬하게 경사진 상태의 각 유지부재(55)에 유지된 기판(10)은, 각 유지 부재(55)로부터 떨어져서 낙하하는 경우는 없다.

다음으로, 회전 운동 플레이트(65)는, 회전 운동 실린더(67)에 의해, 도포 수단(2)에 가까워지는 방향으로 쓰러지듯이 회전 운동되고, 스토퍼(68)에 지지되어 수평 상태가 될 때까지 회전 운동된다.

그리고, 회전 운동 플레이트(65)가 수평이 되고 기판(10)이 수평으로 지지되면, 누름 수단은 기판(10)에 대한 누름을 해제한다. 또, 누름을 해제한 상태의 누름 수단은, 기판(10)의 윗면보다 낮은 상태가 되어, 기판(10)을 흡착하는 흡착 수단(3)에 맞닿지 않게 되어 있다.

다음으로, 도 9의 단계(s2)에 나타낸 바와 같이, 이동 프레임(12)이, 이동 수단(4)에 의해, 흡착 수단(3)의 흡착 위치가 기판(10) 상에 위치하는 장착 위치까지 이동된다. 이 때, 도포 수단(2)의 액조(20) 및 도포 노즐(22)은, 여전히 강하된상태에 있다.

이어서, 승강 수단(73)이, 기판(10)의 윗면이 흡착 수단(3)과 맞닿을 때까지 베이스 플레이트(69)를 상승시킨다. 또, 이 때, 기판(10)의 윗면이 흡착 수단(3)과 맞닿기 전에 베이스 플레이트(69)의 상승을 정지시켜서, 기판(10)의 윗면과 흡착 수단(3) 간의 아주 작은 틈새가 남도록 제어해도 무방하다.

다음으로, 도 9의 단계(s3)에 나타낸 바와 같이, 흡착 수단(3)이, 흡착 구멍으로부터 흡인함으로써, 기판(10)을 흡착한다. 기판(10)이 흡착 수단(3)에 흡착되면, 도 9의 단계(s4)에 나타낸 바와 같이. 승강 수단(73)은 베이스 플레이트(69)를 하강시킨다.

다음으로, 도 9의 단계(s5)에 나타낸 바와 같이, 기판(10)의 아래쪽을 향한 피 도포면(10a)에 대해, 도포 수단(2)에 의한 레지스트제(21)의 도포가 행해진다. 여기서 행해지는 도포 수단(2)에 의한 레지스트제(21)의 도포의 동작에 대해서는 후술하는데, 개략적으로는, 이동 프레임(12)이 도포 수단(2) 상의 위치인 도포 위치측으로 이동되면서, 도포 수단(2)의 액조(20) 및 도포 노즐(22)이 소정 위치까지 상승된다. 그리고, 모세관 현상에 의해 도포 노즐(22)의 상단부까지 상승된 레지스트제(21)가 피 도포면(10a)에 접액되고, 이어서, 도포 노즐(22)의 높이가 소정의 높이로 조정된다. 다음으로, 도포 노즐(22)의 상단부과 기판(10)의 피 도포면(10a) 간의 간극(clearance)이 일정하게 유지된 상태로, 이동 프레임(12)이 도포 위치를 통과함으로써, 기판(10)의 피 도포면(10a)에 막 두께가 균일한 도포막(21a)이 형성된다.

다음으로, 이동 프레임(12)이 도포 종료 위치까지 이동하면, 도포 수단(2)이 하강되고, 이동 프레임(12)이 장착 위치까지 수평 방향으로 이동하여 복귀한다.

그리고, 상승 수단(73)이, 기판(10)에 유지 부재(55)가 맞닿을 때까지, 베이스 플레이트(69)을 상승시킨다. 유지 부재(55)가 기판(10)과 맞닿으면, 흡착 수단(3)은, 흡인을 정지하고, 송풍(air blow)하여 기판(10)을 이탈시킨다. 이 때, 기판(10)은, 유지 부재(55) 상에 배치된다.

또, 유지 부재(55)가 절연성 재료로 구성되어 있으면, 기판(10)에 전하가 축적되어 있는 경우에는, 기판(10)을 유지 부재(55) 상에 배치했을 때, 기판(10)과 유지 부재(55)와의 맞닿는 장소에서 정전기 파괴가 발생할 가능성이 있다. 이러한 정전기 파괴를 방지하기 위해서, 유지 부재(55)는, 금속 등 도전성 재료에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이어서, 승강 수단(73)이, 베이스 플레이트(69)를 강하시키고, 소정 위치에서 정지시킨다. 그리고, 누름 수단이, 기판(10)을 유지 부재(55)에 대해 눌러 고정한다. 이어서, 회전 운동 플레이트(65)가, 회전 운동 실린더(67)에 의해, 도포 수단(2)에서 떨어지는 방향으로 대략 수직으로 경사진 상태까지 회전 운동된다.

회전 운동 플레이트(65)의 회전 운동이 정지하면, 누름 수단에 의한 기판(10)에 대한 누름이 해제된다. 이 상태에서, 작업자는, 도포막(21a)이 형성된 기판(10)을 유지 부재(56)로부터 용이하게 떼낼 수 있다.

이처럼, 이 실시예에서의 도포 장치(1)에서는, 기판(10)의 피 도포면(10a)을 하향시킨 상태에서, 아래쪽으로부터 레지스트제(21)를 도포한다. 그리고, 이동 수단(4)은, 수직 방향의 오차를 크게 할 우려가 있는 반전 수단과 같은 기구를 구비하고 있지 않다. 따라서, 이 도포 장치(1)에서는, 기판(10)과 도포 수단(2)의 도포 노즐(22)과의 수직 방향의 위치 정밀도를 높일 수 있고, 기판(10)에 균일한 두께의 도포막(21a)을 형성할 수 있다.

또, 이 도포 장치(1)에 대해서 기판(10)을 탈착할 시에는, 유지 수단(5)의 회전 운동 플레이트(65)가 회전 운동되어, 대략 수직으로 경사진 상태가 된다. 따라서, 이 도포 장치(1)에서는, 작업자가, 기판(10)을 용이하게 각 유지 부재(55)에 대해 탈착할 수 있다.

또, 이 도포 장치(1)에서는, 유지 수단(5)의 각 유지 부재(55)는, 도 5 중 화살표(X) 및 화살표(Y)로 나타낸 각 방향으로 이동 조작 가능하게 되어 있으므로, 기판(10)의 사이즈에 대응하여 각 유지 부재(55)의 위치를 신속하고 용이히게 변경할 수 있어서, 기종 변환에 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.

[레지스트막 부착 기판의 제조 방법]

다음으로, 전술한 도포 장치(1)에서 이루어진 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에 대해서, 도 2, 도 7 및 도 10을 참조하여 설명한다.

도 10은, 레지스트막 부착 기판의 제조 방법의 제2 순서를 나타낸 흐름도이다.

전술한 도 9의 단계(s5)에서의 레지스트제(21)의 기판(10)으로의 도포는, 이하의 순서에 의해 행해진다.

먼저, 이동 프레임(12)은, 기판(10)에서의 레지스트제(21)의 도포 개시 장소가 도포 수단(2)의 도포 노즐(22)의 상단부의 위쪽이 되는 위치에서 정지된다. 기판(10)에서의 레지스트제(21)의 도포 개시 장소는, 이 기판(10)의 한쪽 가장자리이다.

이 상태에서, 도 10의 단계(s6)에 나타낸 바와 같이, 제어부는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 소정의 액면 위치까지 레지스트제(21)가 담겨져 있는 액조(20)와, 이 레지스트제(21) 중에 완전히 잠긴 상태의 도포 노즐(22)을, 함께 상승시켜서, 기판(10)의 피 도포면(10a)으로 아래쪽으로부터 접근시킨다.

다음으로, 제어부는, 도 10의 단계(s7)에 나타낸 바와 같이, 액조(20)의 상승을 정지시키고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 도포 노즐(22)의 상단부를 이 액조(20) 내의 레지스트터(21)의 액면으로부터 위쪽으로 돌출시킨다. 이 때, 도포 노즐(22)은, 레지스트제(21) 중에 완전히 잠겨 있는 상태로부터, 이 레지스트제(21)의 액면의 위쪽으로 돌출되므로, 모관 형상 틈새(23) 내에 레지스트제(21)가 채워진 상태가 되어 있다. 또, 제어부는, 도포 노즐(22)을 상승시키고, 이 도포 노즐(22)의 상단부의 레지스트제(21)를 기판(10)의 피 도포면(10a)에 접액시키고, 도포 노즐(22)의 상승을 정지시킨다.

이 때, 도 2 중 화살표(G)로 나타낸 도포 갭(G)은, 예를 들면, 50㎛ 정도로 이루어져 있다.

그리고, 제어부는, 도 10의 단계(s8)에 나타낸 바와 같이, 도포 노즐(22)의 상단부의 레지스트제(21)가 기판(10)의 피 도포면(10a)에 접액된 상태로, 액조(20) 및 도포 노즐(22)을 소정의 '도포 높이'의 위치까지 하강시키고, 도포 갭(G)을, 예를 들면, 300㎛ 정도의, 소정의 간격으로 한다.

이 상태에서, 제어부는, 도 10의 단계(s9)에 나타낸 바와 같이, 이동 프레임(12)을 이동시킴으로써 기판(10)을 면 방향으로 이동시키고, 도 2에 도시한 바와 같이, 도포 노즐(22)의 상단부를 피 도포면(10a)의 전면에 걸쳐서 주사시키고, 이 피 도포면(10a)의 전면에 걸쳐 레지스트제(21)의 도포막(21a)을 형성한다.

이 제조 방법에서는, 전술한 바와 같이, 도포 갭(G)이 가능한 한 커지도록, 도포갭(G) 이외의 도포막(21a)의 두께에 영향을 미치는 파라미터에 대해 설정하고, 도포막(21a)의 막 두께가 소정의 두께가 되도록 한다.

즉, 기판(10)과 도포 노즐(22)의 상대적인 주사 속도(V) 및 액면 높이(H)는, 미리 설정되어 있는 도포 노즐(22)의 모관 형상 틈새 간격(T), 레지스트제(21)의 점도를 전제로 하여, 도포막(21a)의 막 두께가 소정의 두께가 되도록 하면서, 도포 갭(G)이, 예를 들면, 300㎛ 이상이 되도록, 제어부에 의해 제어된다.

청구항 1에 기재된 본 발명에서는, 레지스트제 도포 공정에서, 피 도포면에 도포되는 레지스트제의 도포막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 액조의 레지스트제의 액면으로부터 도포 노즐의 상단부까지의 높이를 조정 가능한 범위 내에서 낮게 함으로써 및/또는 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모세 형상 틈새의 간격을 조정 가능한 범위 내에서 넓게 함으로써, 조정 가능한 범위 내에서 크게 조정된 도포 갭을 이용해서 레지스트의 도포를 행하므로, 도포 갭, 즉, 도포 노즐의 상단부와 피 도포면과의 간격을 넓게 할 수 있고, 도포막의 막 두께 분포를 작게 하여, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.

또, 청구항 2에 기재된 본 발명에서는, 액조의 레지스트제의 액면으로부터 도포 노즐의 상단부까지의 높이를, 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모세 형상 틈새의 간격의 1배 이상이며 45배 미만으로 함으로써, 도포 갭을, 막 두께 분포를 양호한 값으로 할 수 있는 크기로 하는 것이 가능하다.

또, 청구항 3에 기재된 본 발명에서는, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 200㎛ 이상으로 함으로써, 한 변이 300mm 이상인 대형의 사각형 기판의 적어도 70% 이상의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 1% 이하인 도포막을 형성하므로, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.

그리고, 청구항 4에 기재된 본 발명에서는, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 250㎛ 이상으로 함으로써, 한 변이 300mm 이상인 대형의 사각형 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.75% 이하인 도포막을 형성하므로, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.

또, 청구항 5에 기재된 본 발명에서는, 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 도포 갭을 300㎛ 이상으로 함으로써, 한 변이 300mm 이상인 대형의 사각형 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.5% 이하인 도포막을 형성하므로, 레지스트막의 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.

그리고, 청구항 6에 기재된 본 발명에서는, 기판은, 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크이므로, 레지스트막의 두께의 균일성이 향상된 포토마스크 블랭크를 제조할 수 있다.

이상, 본 발명에 관계된 레지스트막 부착 기판의 제조 방법에 대해 바람직한 실시예를 나타내고 설명하였는데, 본 발명에 관계된 레지스트막 부착 기판의 제조 방법은, 전술한 실시예에만 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 각종 변경 실시가 가능한 것은 말할 것도 없다.

Claims (10)

1. 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 상기 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 상기 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 상기 피 도포면에 접액시키면서, 상기 도포 노즐 및 상기 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 상기 피 도포면에 상기 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서,

   상기 레지스트제 도포 공정에서, 상기 피 도포면에 도포되는 레지스트제의 도포막의 막 두께를 소정의 두께로 하면서, 상기 액조의 상기 레지스트제의 액면으로부터 상기 도포 노즐의 상단까지의 높이를 조정 가능한 범위 내에서 낮게 함으로써 및/또는 상기 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모관 형상 틈새의 간격을 조정 가능한 범위 내에서 넓게 함으로써, 조정 가능한 범위 내에서 크게 조정된 도포 갭을 이용해서 레지스트의 도포를 행하는 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
2. 제1 항에 있어서,

   상기 액조의 상기 레지스트제의 액면으로부터 상기 도포 노즐의 상단까지의 높이를, 상기 도포 노즐에서 모세관 현상을 발생시키는 모세 형상 틈새의 간격의 1 배 이상이며 45배 미만으로 하는 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
3. 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 상기 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 상기 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 상기 피 도포면에 접액시키면서, 상기 도포 노즐 및 상기 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 상기 피 도포면에 상기 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서,

   상기 기판은, 한 변이 300mm 이상인 사각형 기판으로서, 상기 레지스트제 도포 공정에서, 상기 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 상기 도포 갭을 200㎛ 이상으로 함으로써, 상기 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 1% 이하인 도포막을 형성하는 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
4. 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 상기 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 상기 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 상기 피 도포면에 접액시키면서, 상기 도포 노즐 및 상기 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 상기 피 도포면에 상기 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서,

   상기 기판은, 한 변이 300mm 이상인 사각형 기판으로서, 상기 레지스트제 도포 공정에서, 상기 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 상기 도포 갭을 250㎛ 이상으로 함으로써, 상기 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.75% 이하인 도포막을 형성하는 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
5. 액조에 담겨진 액체 상태의 레지스트제를 도포 노즐에서의 모세관 현상에 의해 상승시키고, 기판의 피 도포면을 아래쪽을 향하게 하여 상기 도포 노즐의 상단부로 소정의 도포 갭을 사이에 두고 근접시키며, 상기 도포 노즐에 의해 상승된 레지스트제를 상기 도포 노즐의 상단부를 통해 상기 피 도포면에 접액시키면서, 상기 도포 노즐 및 상기 피 도포면을 상대적으로 주사시켜서 상기 피 도포면에 상기 레지스트제를 도포하는 레지스트제 도포 공정을 가지는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법으로서,

   상기 기판은, 한 변이 300mm 이상인 방형 기판으로서, 상기 레지스트제 도포 공정에서, 상기 피 도포면에 도포되는 레지스트제 도포막의 막 두께를, 200nm 내지 2000nm의 범위로부터 선택되는 막 두께로 하고, 상기 도포 갭을 300㎛ 이상으로 함 으로써, 상기 기판의 적어도 70%의 영역에서의 도포막의 막 두께 분포가 0.5% 이하인 도포막을 형성하는 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
6. 제1 항에 있어서, 상기 기판은 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
7. 제2 항에 있어서, 상기 기판은 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
8. 제3 항에 있어서, 상기 기판은 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
9. 제4 항에 있어서, 상기 기판은 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.
10. 제5 항에 있어서, 상기 기판은 투명 기판 상에 차광 패턴이 형성된 포토마스 크의 소재가 되는 포토마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 레지스트막 부착 기판의 제조 방법.

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