KR20050123153A - 용접 밀봉 제품 및 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예에는 용기를 밀봉하는 방법이 포함된다. 이 방법은 용기의 둘 이상의 구성요소를 마련하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 반응성 다층 재료를 배치하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 밀봉을 형성하게끔 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계, 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 변형가능한 재료 및 반응성 다층 결합 재료를 사용한 인클로저(enclosure) 구성요소들의 용접 밀봉을 포함한다. 반응성 다층 결합 재료는 반응성 다층 포일(foil) 및 가용성(fusible) 재료를 포함할 수 있다.
용접 밀봉은 다수의 민감한 장치(sensitive devices)를 유해한 환경에 대한 노출로 인한 파괴적인 효과로부터 보호하는 데 사용된다. 이러한 민감한 장치의 예로는 광학 장치(optical devices), 포토닉 장치(photonic devices), 광학 섬유(fiber optics), MEMS 및 생물 의학 장치(biomedical devices)가 있다. 일반적으로, 밀봉은 민감한 요소를 기밀한 인클로저 내에 봉입하여 구성요소를 환경으로부터 고립시킴으로써 달성한다.
민감한 장치 및 구성요소들을 밀봉하는 여러 가지 간단한 방법들이 있다. 그러한 방법으로는 접착제, 에폭시, 및 기계식 파스너(mechanical fasteners)를 사용하는 방법이 있다. 그러나 그러한 방법들은 효과적인 밀봉을 방지할 수 있는 각각의 단점을 가지고 있다. 예를 들어, 접착제 및 에폭시는 열 및 습기에 노출되는 경우 품질이 저하될 수 있다. 또 다른 예를 들자면, 기계식 파스너는 엄격한 기계 허용도를 요구할 수 있고, 잠재적으로 낮은 신뢰도를 감수해야 할 수 있다(즉, 충분히 기밀한 인클로저를 제공하지 못할 수 있다).
고급 애플리케이션에서는, 선호되는 밀봉 방법에 레이저 용접, 전자 빔(e-beam) 용접, 및 열저항(thermal resistance) 용접이 포함된다. 정교하게 적용된 경우, 이러한 방법은 높은 강도의, 실질적으로 기밀한, 균일한 결합을 제공하고, 따라서 누출 정도를 매우 낮은 값으로 제한하는 데 매우 효과적이다. 그러나 이러한 방법들 역시 약점을 가진다. 예를 들어, 이러한 방법을 구현하는 데에는 엄격한 허용도를 요구하고 높은 자본비용을 초래한다. 다른 약점에는 표면 처리의 필요성 (예를 들면, 밀봉 과정의 구현 후 인클로저의 연마 또는 가공), 및 밀봉 과정이 결합되는 인클로저 재료에 열적 손상을 야기할 가능성이 있는데, 이는 극단적인 경우 인클로저 및 그 내부에 배치된 요소 모두의 손실을 초래할 수 있다. 따라서 민감한 요소 및 장치를 용접 밀봉하기 위한 향상된, 더욱 효과적인 수단이 필요하다.
민감한 요소 및 장치를 용접 밀봉하는 한 가지 향상된 방법은 반응성 다층 결합이다. 반응성 다층 결합은 비교적 새로운 결합 기술로서, 가용성 재료의 두 층 및 결합할 두 구성요소 사이에 반응성 다층 포일을 끼운 후 포일을 점화시키는 것을 바탕으로 한다. 포일의 점화는 자체 확산되는 반응을 시작하고, 이는 반응성 포일 온도의 급격한 증가를 일으킨다. 반응에서 방출되는 열은 가용성 재료층을 융해시키고, 냉각시 두 구성요소를 서로 결합시킨다.
반응성 다층 결합은 이미 알려진 바 있다. 이 과정은 미국특허 5,381,944에서 상세히 기술되었고, 그 전체가 참고를 위해 여기에 포함된다. 미국특허 5,381,944의 과정에 대한 여러 개선점이 2000년 5월 2일에 출원된 "Reactive Joining Using Multilayer Materials"의 제목의 미국특허 가출원 60/201,292에 개시되어 있으며, 그 전체가 참고를 위해 여기에 포함된다. 반응성 결합 과정에 사용된 반응성 다층은 통상적으로 Ni 및 Al과 같이 높은 음성 혼합열을 가지는 원소가 엇갈리는 수백 개의 나노단위 층을 증착(vapor depositing)시킴으로써 제조된 나노구조(nanostructured) 재료이다. 이러한 방법의 다양한 구현 형태는 그 전체가 참고를 위해 여기에 포함되는 다음의 출판물에서 개시된다: 미국특허 5,538,795; 미국특허 5,547,715; Journal of Applied Physics, Vol. 94(5), 2003년 9월 1일호의 기사 "Deposition and Characterization of a Self-Propagating CuOx/Al Thermite Reaction in a Multilayer Foil Geometry"; 2001년 5월 1일에 출원된 미국특허출원 09/846,486; 및 D.A. Glocker, S.I. Shah 저 Handbook of Thin Film Process Technology, 1998년도 판의 "Self-Propagating Reactions in Multilayer Materials," 장. 나노구조 반응성 다층을 제조하는 다른 방법에는 그 전체가 참고를 위해 여기에 포함되는 미국특허 6,534,194에 기술된 기계식 가공(mechanical processing)과 전착(electrochemical deposition)이 있다.
그러나 반응성 다층 결합에 의한 인클로저 밀봉은 고급 구성요소에 필요한 허용가능한 누출 정도를 제공하는 데 실패하였다. 이러한 실패는 두 가지 널리 알려진 효과에 기인한다: (i) 반응에 따른 반응성 포일의 밀도 상승, 및 (ii) 반응 온도에서 실온으로의 냉각에 따른 포일의 수축. 이러한 효과는 모두 포일에 균열의 형성을 야기하고, 이는 곧이어 융해된 땜납 또는 브레이즈(braze)로 채워진다. 그 결과, 반응성 결합 구조는 연성 납땜 또는 브레이즈 매트릭스로 둘러싸인 경성 재료(반응한 포일)를 포함한다. 광학 현미경으로 확인될 수 있는 이 결과는, 반응 중에 형성되는 균열 중 몇몇이 가용성 재료로 온전히 채워지지 않기 때문에, 기계적 강도가 높은 결합의 형성에 필수적이지만, 밀봉이 파괴되거나 누출 정도 목표에 미치지 못할 수 있다. 결과적으로, 반응성 결합은 현재 고급 용접 밀봉을 지속적으로 형성하기 위한 적절한 수단을 제시하지 않는다.
도 1A ~ 1B는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 2A ~ 2B는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 3A ~ 3B는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 4A ~ 4B는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 4C는 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 개략도.
도 4D는 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 개략도.
도 5A ~ 5B는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 6A ~ 6B는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 7A ~ 7B는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 7C ~ 7D는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀봉된 제품의 구성요소 및 밀봉된 제품의 일부분을 나타내는 다양한 개략도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀봉 검사 장치를 나타내는 개략도.
본 발명의 실시예에는 용기(container)를 밀봉하는 방법이 포함된다. 이 방법은 용기의 둘 이상의 구성요소를 마련하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 분쇄가능한(crushable) 재료를 배치하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 반응성 다층 재료를 배치하는 단계, 둘 이상의 구성요소 사이에 밀봉을 형성하게끔 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계, 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계를 포함한다.
다양한 실시예에서, 본 발명은 다음과 같은 측면을 하나 이상 포함할 수 있다: 둘 이상의 구성요소 사이에 가용성 재료의 배치하는 단계; 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계가 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 가용성 재료를 변화시키는 단계 포함; 반응성 다층 재료가 반응성 다층 포일 포함; 반응성 다층 재료가 가용성 재료 포함; 밀봉이 용접 밀봉; 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 것이 둘 이상의 구성요소 사이에 다른 밀봉 형성; 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 것이 둘 이상의 구성요소 사이의 밀봉 고정; 다른 밀봉이 용접 밀봉; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계가 둘 이상의 구성요소 중 적어도 하나에 힘을 가하는 단계 포함; 밀봉의 품질을 판단하는 단계; 밀봉의 품질을 판단하는 단계가 밀봉의 누출 정도를 판단하는 단계 포함; 밀봉에 대한 소정의 품질 변수를 마련하는 단계; 밀봉의 품질을 판단하는 단계가 밀봉의 품질이 소정의 품질 변수 이내인지 판단하는 단계 포함; 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계가 반응성 다층 재료의 적어도 일부분을 점화시키는 단계 포함; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 것이 용기의 내부를 외부 환경으로부터 밀봉; 반응성 다층 재료를 밀봉의 희망 강도에 근거하여 선택하는 단계; 분쇄가능한 재료가 영구적으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 가역성으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 연금속 포함; 연금속이 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바(Kovar), 및 연땜납 중 적어도 하나 포함; 분쇄가능한 재료가 압축성 중합체 포함; 압축성 중합체가 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤(viton) 중 적어도 하나 포함; 분쇄가능한 재료가 외부 환경에 대하여 반응성 다층 재료의 내측에 배치; 둘 이상의 구성요소 중 하나에 홈을 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계가 분쇄가능한 재료를 홈에 배치하는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나에 돌기를 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 돌기에 접하여 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나에 다른 돌기를 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계가 다른 돌기에 접하여 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나에 홈을 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계가 분쇄가능한 재료를 홈 안으로 변형시키는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나에 모퉁이를 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계가 변형가능한 재료를 모퉁이에 배치하는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나에 모퉁이를 마련하는 단계; 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계가 분쇄가능한 재료를 모퉁이 안으로 변형시키는 단계 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디.
본 발명의 다른 실시예에는 밀봉된 제품이 포함된다. 이 밀봉된 제품은 용기를 구성하는 둘 이상의 구성요소, 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되는, 변형된 상태에 있고 둘 이상의 구성요소 사이에 밀봉을 형성하는 분쇄가능한 재료, 및 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되고 둘 이상의 구성요소를 결합하는 반응성 다층 재료의 화학 변화 생성물을 포함한다.
다양한 실시예에서, 본 발명은 다음과 같은 측면을 하나 이상 포함할 수 있다: 반응성 다층 재료가 반응성 다층 포일 포함; 반응성 다층 재료가 가용성 재료 포함; 가용성 재료가 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성; 가용성 재료가 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 반응성 다층 재료의 화학 변화 생성물의 내측에 위치; 분쇄가능한 재료 및 화학 변화 생성물이 협동하여 둘 이상의 구성요소 사이에 용접 밀봉 형성; 분쇄가능한 재료가 영구적으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 가역성으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 연금속 포함; 연금속이 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바, 및 연땜납 중 적어도 하나 포함; 분쇄가능한 재료가 압축성 중합체 포함; 압축성 중합체가 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤 중 적어도 하나 포함; 분쇄가능한 재료가 적어도 일부분 둘 이상의 구성요소 중 하나의 홈 내에 배치; 분쇄가능한 재료가 적어도 일부분 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나의 다른 홈 내에 배치; 분쇄가능한 재료가 둘 이상의 구성요소 중 하나의 돌기에 접하여 배치; 분쇄가능한 재료가 둘 이상의 구성요소 중 하나의 다른 돌기에 접하여 배치; 분쇄가능한 재료가 둘 이상의 구성요소 중 하나의 모퉁이에 배치; 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디.
본 발명의 다른 실시예에는 밀봉된 용기를 형성하기 위한 키트가 포함된다. 이 키트는 결합시 용기를 구성하는 둘 이상의 구성요소, 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성된 분쇄가능한 재료, 및 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성된 반응성 다층 재료를 포함한다. 분쇄가능한 재료는 변형된 상태일 때 둘 이상의 구성요소 사이에 실질적으로 밀봉을 형성하도록 구성된다. 반응성 다층 재료의 적어도 일부분은 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 화학적으로 변화되도록 구성되어 있다.
다양한 실시예에서, 본 발명은 다음과 같은 측면을 하나 이상 포함할 수 있다: 반응성 다층 재료가 반응성 다층 포일 포함; 반응성 다층 재료가 가용성 재료 포함; 가용성 재료가 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성; 가용성 재료가 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 외부 환경에 대하여 반응성 다층 재료의 내측에 배치되도록 구성; 분쇄가능한 재료 및 화학 변화 생성물이 협동하여 둘 이상의 구성요소 사이에 용접 밀봉 형성; 분쇄가능한 재료가 영구적으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 가역성으로 변형되도록 구성; 분쇄가능한 재료가 연금속 포함; 연금속이 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바, 및 연땜납 중 적어도 하나 포함; 분쇄가능한 재료가 압축성 중합체 포함; 압축성 중합체가 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤 중 적어도 하나 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나가 적어도 부분적으로 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 홈 포함; 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나가 적어도 부분적으로 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 다른 홈 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나가 분쇄가능한 재료에 접하여 배치되도록 구성된 돌기 포함; 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나가 분쇄가능한 재료에 접하여 배치되도록 구성된 다른 돌기 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나가 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 모퉁이 포함; 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디.
본 발명의 또 다른 실시예에는 밀봉 검사 장치가 포함된다. 밀봉 검사 장치는 챔버, 챔버 안에 배치된 용기를 가압하도록 구성된 기구, 챔버에 대해 기체를 공급 및 제거하도록 구성된 포트, 반응성 다층 재료의 화학 변화를 시작하도록 구성된 트리거, 및 용기로부터의 누출을 감지하도록 구성된 누출 감지기를 포함한다.
다양한 실시예에서, 본 발명은 다음과 같은 측면을 하나 이상 포함할 수 있다: 반응성 다층 재료가 반응성 다층 포일; 기구가 압봉; 챔버가 진공 챔버; 포트가 챔버 내에 진공을 생성하도록 구성; 포트가 기체의 공급원에 연결; 포트가 진공 공급원에 연결.
전술된 및 후술될 일반적인 설명은 모범 및 예시를 위한 것일 뿐이며, 청구항에 나타난 본 발명의 제한을 위한 것이 아님을 이해할 것이다.
본 명세서에 포함되고 그 일부분을 구성하는 참조 도면은 본 발명의 일 (또는 복수의) 실시예를 묘사하며, 기술된 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 해석하는 역할을 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 가능한 경우, 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조번호가 사용될 것이다.
도 1 내지 8은 용접 밀봉 제품 및 제조방법의 다양한 바람직한 실시예를 묘사한다. 용접 밀봉 제품은 기계식 밀봉 및 반응성 다층 결합의 명민한 조합을 포함할 수 있다. 구체적으로, 용접 밀봉 제품은 다음의 조합을 포함할 수 있다: (1) 압력 하에 적절히 변형되는 경우 장치와 환경 사이에 고품질의 밀봉을 제공하는 "분쇄가능한(crushable)" 또는 "연한(soft)" 재료, 및 (2) "분쇄가능한" 또는 "연한" 재료를 변형시키기 위해 가해진 힘(예를 들면, 압력)이 제거된 후 밀봉의 무결성을 유지하는 반응성 다층 결합.
용접 밀봉 제품 제조방법의 바람직한 실시예는 다음을 포함할 수 있다: (a) 봉입 공간을 정의하는 둘 이상의 구성요소 사이에 하나 이상의 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계, (b) 둘 이상의 구성요소(예를 들면, 뚜껑과 용기) 사이에 하나 이상의 반응성 다층 포일을 배치하는 단계, (c) 분쇄가능한 재료를 변형시키고 따라서 조립품에(예를 들면, 둘 이상의 구성요소 중 적어도 하나에) 압력을 가하는 단계, 및 (d) 반응성 다층 결합을 형성하도록 하나 이상의 반응성 다층 포일을 점화시키는 단계.
분쇄가능한 재료는 압력 하에서 변형될 수 있는 와이어(wire), 개스킷(gasket), 워셔(washer), 및/또는 어떠한 다른 적합한 재료의 형태일 수 있다. 영구적 또는 가역성일 수 있는 변형은, 분쇄가능한 재료에 압력이 가해지는 경우 둘 이상의 구성요소 사이에 및/또는 분쇄가능한 재료에 걸쳐 밀봉이 형성되게 할 수 있다. 와이어, 개스킷, 워셔 및/또는 어떠한 다른 적합한 재료의 단면은 직경이 1 밀리미터에서 1 센티미터까지 다양할 수 있으며, 그리고/또는 이러한 재료의 길이가 수 밀리미터에서 1 미터 이상까지 다양할 수 있다. 그러나 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 분쇄가능한 재료가 단면 또는 다른 부면에서 어떠한 적합한 형상 및/또는 어떠한 적합한 크기이든 가질 수 있음을 이해할 것이다.
몇몇의 분쇄가능한 재료는 봉입 공간 및 외부 환경 사이에 압력차가 존재하는 경우에도 밀봉을 유지할 수 있는 충분한 기계 강도를 보유하며 영구적으로(즉, 가소성으로) 변형할 수 있다. 영구적으로 변형하는 분쇄가능한 재료의 예에는 구리, 금, 및/또는 알루미늄과 같은 연금속이 포함된다. 영구적으로 변형할 수 있는 분쇄가능한 재료의 다른 예에는 단단한 코어(예를 들면, 스테인리스 스틸) 및 연한 외각(예를 들면, 구리 및/또는 알루미늄)이 포함될 수 있다.
다른 분쇄가능한 재료는 가압중 가역성으로 변형할 수 있다(즉, 압력이 제거되면, 분쇄가능한 재료는 실질적으로 원상태로 회복된다). 그러한 가역성 분쇄가능한 재료에는 중합체 재료(예를 들면, 부나(buna) 고무, 실리콘 고무, 및/또는 바이톤(viton))가 포함될 수 있다. 가역성 분쇄가능한 재료는 변형된 후에도 재사용될 수 있다는 장점을 지닌다.
또 다른 분쇄가능한 재료에는 스프링 같은(spring-like) 재료(예를 들면, 스테인리스 스틸) 주위의 용이하게 변형되는 재료(예를 들면, 구리 및/또는 알루미늄)의 외각이 포함될 수 있다. 여기에 제시된 분쇄가능한 재료 몇몇은 재사용될 수 있고, 몇몇은 일회용만으로 구성될 수 있다.
용접 밀봉 제품의 제조방법은 하나 이상의 반응성 다층 결합 방법을 포함할 수 있고, 이에 관한 예가 미국특허 5,381,944, 2001년 5월 1일에 출원된 미국특허출원 09/846,486 (미국특허 공개번호 20020182436), 및 2000년 5월 2일에 출원된 미국특허 가출원 60/201,292에 개시되어 있으며, 그 전체는 참고를 위해 여기에 포함된다.
용접 밀봉 제품의 제조방법은 또한 둘 이상의 구성요소 사이에 충분한 결합 강도를 획득하기 위한 하나 이상의 방법을 포함할 수 있다. 밀봉에 적용될 수 있는 강도 요구조건은, 인클로저 구성요소에 가해지는 압력이 분쇄가능한 재료의 변형을 유지하다가 제거된 후에도 그 결합이 분쇄가능한 재료의 변형을 유지해야 한다는 조건에 의해 증대될 수 있다. 예를 들어, 결합은 용접 밀봉 제품의 통상적 떠밀림을, 또는 다른 외부 힘을, 인내할 수 있을 정도로 강도가 높아야 하며, 동시에 인클로저 구성요소에서 압력이 제거된 후 분쇄가능한 재료의 변형을(따라서 밀봉을) 유지할 수 있어야 한다.
반응성 결합 과정을 위한 가용성 재료(예를 들면, 땜납 또는 브레이즈)는 하나 이상의 관련 인자에 근거하여 선택할 수 있다. 이러한 인자에는 강도 요구조건(예를 들면, 사용되는 분쇄가능한 재료의 종류에 따른), 열피로저항도(thermal fatigue resistance), 부식저항도, 낮은 스플래터(splatter), 및/또는 증기 배출량(vapor emission)이 포함된다. 밀봉된 장치가 사용 중 통상적으로 고온에 노출되는 경우, 가용성 재료로 브레이즈를 사용하는 것이 바람직할 수 있다.
도 1A 및 1B는 용접 밀봉 제품(10) 및 제조방법의 바람직한 실시예를 묘사한다. 도 1A 및 1B에 묘사된 바와 같이, 와이어 개스킷(11) 또는 다른 적합한 분쇄가능한(즉, 변형가능한) 재료(11)가 인클로저 구성요소 중 하나의 일부분에, 예를 들어 뚜껑(13)의 홈(12)에, 배치될 수 있다. 홈(12)은 어떠한 적합한 방법으로든 인클로저 구성요소(예를 들면, 뚜껑(13))에 형성될 수 있다. 둘 이상의 인클로저 구성요소의, 예를 들어 뚜껑(13) 및 용기(17)의, 하나 이상의 표면(15, 16)에 및/또는 그 사이에 반응성 다층 포일(14)을 배치할 수 있다.
인클로저 구성요소(13, 17)는 장치(21)가 그 내부에 배치될 수 있는 에워싸인 공간(18)을 정의할 수 있다. 반응성 다층 포일(14) 또한 하나 이상의 가용성 재료(20) 층에 및/또는 그 사이에 배치될 수 있다. 그 다음, 하나의 인클로저 구성요소(13)의 홈(12) 및 다른 인클로저 구성요소(17)의 표면(16) 사이에서, 예를 들어 어떠한 적합한 방법을 사용하여 인클로저 구성요소 중 하나의 어떠한 적절한 부분(예를 들면, 뚜껑(13)의 상부)에 압력을 가함으로써, 분쇄가능한 재료(11)는 변형될 수 있다. 분쇄가능한 재료(11)의 그러한 변형은 에워싸인 공간(18) 및/또는 장치(21)를 외부 환경으로부터 밀봉시킬 수 있다. 그 다음, 반응성 다층 포일(14)이 점화되어 인클로저 구성요소, 예를 들어 뚜껑(13) 및 용기(17) 사이에 강도 높은 기계 결합을 형성할 수 있다. 이 강도 높은 기계 결합은 가용성 재료(20)의 인클로저 구성요소(13, 17)에 대한 결합 또는 인클로저 구성요소(13, 17)의 직접적 결합에 의해 형성될 수 있다. 그 다음, 하나 이상의 인클로저 구성요소에 대한 압력이 제거될 수 있고, 그 결과 비교적 장기간 충분한 무결성을 갖는, 충분히 기밀한 밀봉을 유지하도록 구성된 밀봉된 인클로저(10)가 제공된다.
다양한 실시예에서, 반응성 다층 포일, 결합 재료, 및/또는 다른 적합한 "가용성" 재료가 반응성 다층의 어느 면 및/또는 어느 부분에 배치될 수 있다. 가용성 재료층은 어떠한 적합한 형태일 수 있는데, 예를 들어 독립 구조의(free-standing) 시트(sheet), 인클로저 구성요소(예를 들면, 용기 및/또는 뚜껑)에 사전 배치된 층, 및/또는 포일 표면에 사전 배치된 층일 수 있다. 이와 기타 적합한 형태가 미국특허 5,381,944, 2001년 5월 1일에 출원된 미국특허출원 09/846,486 (미국특허 공개번호 20020182436), 및 2000년 5월 2일에 출원된 미국특허 가출원 60/201,292에 개시되어 있다. 가용성 재료의 예에는 땜납 및/또는 브레이즈가 있다. 땜납 및/또는 브레이즈는 인클로저 구성요소에 배치될 수 있고, 포일 및/도는 인클로저 구성요소 사이에 배치된 독립 구조의 시트일 수 있고, 그리고/또는 포일 표면에 배치될 수 있다.
도 2A 및 2B는 용접 밀봉 제품(30) 및 제조방법의 다른 바람직한 실시예를 묘사한다. 이 실시예는 도 1A 및 1B에 제시된 실시예와 상당 부분 유사한데, 인클로저 구성요소 중 하나(예를 들면, 용기(31))의 표면이 다른 인클로저 구성요소(34)에 배치된 분쇄가능한 재료(33)와 상호작용하도록 구성된 돌출부(32)(예를 들면, 리지(ridge))를 포함할 수 있다는 점이 다르다. 예를 들어, 돌출부(32)는 다른 인클로저 구성요소(예를 들면, 상부 뚜껑(34)의 홈(35)에 실질적으로 반대편에 배치될 수 있다. 돌출부(32)는 도 2A 및 2B에 묘사된 리지 형상과 같이 어떠한 적합한 형상 및/또는 크기를 가질 수 있으며, 어떠한 적합한 방법을 사용하여 인클로저 구성요소(31)의 표면(36)에 형성될 수 있다. 이러한 구성은, 돌출부(32) 및 인클로저 구성요소에 배치된 분쇄가능한 재료(33) 사이의 상호작용 때문에 분쇄가능한 재료(예를 들면, 와이어 개스킷(33))를 변형시키는 데 도 1의 구성에서보다 더 적은 압력이 요구될 수 있다는 점에서 유리하다.
도 3A 및 3B는 용접 밀봉 제품(50) 및 제조방법의 다른 바람직한 실시예를 묘사한다. 이 실시예는 도 1A ~ 1B 및 도 2A ~ 2B에 제시된 실시예와 상당 부분 유사한데, 분쇄가능한 재료(예를 들면, 와이어 개스킷(51))가 인클로저 구성요소 중 하나(예를 들면, 상부 뚜껑(53))의 홈(52) 안에 배치되고, 변형 이전에 다른 인클로저 구성요소(예를 들면, 용기(55))의 대응 홈(54)(예를 들면, 골(trough))에 대해 실질적으로 반대편에 배치된다는 점이 다르다. 골(54) 또는 홈(54)은 인클로저 구성요소(55)에서 다른 표면(57)에 비해 높여진 표면(56)에, 예를 들어 반응성 포일(58)이 배치되는 표면(56)에, 배치될 수 있다. 변형 중에, 분쇄가능한 재료(51)는 홈(52)과 골(54) 사이에서 변형된다. 이러한 구성의 장점은 골(54) 또는 홈(54)이 도 2A ~ 2B의 돌출부(32)보다 가공하기 쉬울 수 있고, 도 1A ~ 1B의 평평한 표면(16) 또는 도 2A ~ 2B의 돌출부(32)의 양 경우에 비해 취급 중 손상에 덜 취약하다는 것이다. 밀봉을 형성하도록 분쇄가능한 재료(51)를 변형시키는 것에는 도 2A ~ 2B의 구성에 가해지는 압력과 유사한 압력이 요구된다(즉, 도 1A ~ 1B의 구성에 가해지는 압력보다 적다). 당업계에서 통상의 지식을 가진 자는 여기에 기술된 어떠한 실시예의 어떠한 특징도 여기에 기술된 다른 특징과 변경, 치환, 및/또는 통합될 수 있음을 이해할 것이다. 예를 들어, 도 4A 및 4B는 도 1A 및 1B의 구성과 유사한 구성을 묘사하는데, 분쇄가능한 재료(71)가 용기(73)의 홈(72)에 배치되고 뚜껑의 대응하는 표면이 반응성 다층과 상호작용하도록 구성되어 있는 점이 다르다. 다른 예에서, 도 4C는 도 2A 및 2B의 구성과 유사한 구성을 묘사하는데, 분쇄가능한 재료(81)가 용기(83)의 홈(82)에 배치되고 돌출부(84)가 뚜껑(85)에 배치된다는 점이 다르다. 다른 예에서, 도 4D는 도 3A 및 3B의 구성과 유사한 구성을 묘사하는데, 분쇄가능한 재료(91)가 용기(93)의 홈(92)에 배치되고 대응하는 골(94) 또는 홈(94)이 뚜껑(95)에 배치된다는 점이 다르다.
도 5A 및 5B는 용접 밀봉 제품(100) 및 제조방법의 다른 바람직한 실시예를 묘사한다. 이 실시예에서는, 분쇄가능한 재료(예를 들면, 와이어 개스킷(101))가 인클로저 구성요소 중 하나(예를 들면, 용기(103))에 가공(또는 다른 방법으로 제조)된 모퉁이(102)에 배치된다. 따라서 여기에 제시된 다른 실시예들과 달리, 분쇄가능한 재료(101) 및/또는 반응성 다층(104)의 만족스러운 맞음새를 제공하기 위해 인클로저 구성요소 중 하나 이상에 추가 가공(또는 다른 제조과정) 단계가 필요할 수 있다. 하나 이상의 인클로저 구성요소에 압력이 가해지면서, 분쇄가능한 재료(101)가 다른 인클로저 구성요소(예를 들면, 뚜껑(106)의 표면(105))에 의해 모퉁이(102)에서 변형되고 그 결과 인클로저 구성요소(예를 들면, 뚜껑(106) 및 용기(103))에 의해 정의되는 봉입 내부 공간(107)을 밀봉할 수 있다. 그 다음, 반응성 다층(104)의 반응성 다층 포일(108)은 인클로저 구성요소(예를 들면, 뚜껑(106) 및 용기(103)의 외부 가장자리)의 실질적으로 인접한 부분들을 결합시키고, 그리고/또는 가용성 재료(109)를 인클로저 구성요소(103, 106)에 결합시키게끔 자극(triggered) 및/또는 점화될 수 있다. 그 결과, 밀봉의 장기 무결성이 달성된다. 이러한 밀봉 구성 및/또는 방법의 구현은 도 1A 내지 4D에 제시된 구성 및/또는 방법에 비해 더 적은 밀봉 압력(예를 들면, 분쇄가능한 재료를 변형하기 위한)을 요구할 수 있기 때문에 유리할 수 있다. 이 구성 및/또는 방법이 도 1A 내지 4D에 제시된 구성 및/또는 방법과 공유하는 다른 장점은, 분쇄가능한 재료의 변형이 적절한 밀봉을 형성하지 않는 경우 반응성 다층 포일을 자극(예를 들면, 점화)하기 전에 분쇄가능한 재료를 제거하고 다른 분쇄가능한 재료로 밀봉 절차를 반복할 수 있다는 점이다.
도 6A 및 6B는 용접 밀봉 제품(120) 및 제조방법의 다른 바람직한 실시예를 묘사한다. 이 실시예에서는, 둘 이상의 인클로저 구성요소(123, 124)의 대응하는 표면(121, 122)이 분쇄가능한 재료(127)와 상호작용하도록 구성된 돌출부(125, 126)(예를 들면, 예리한 리지)를 포함한다. 그 예리함을 유지하기 위해, 리지(125, 126)는 분쇄가능한 재료(127)의 배치 이전에 보호될 필요가 있을 수 있다. 밀봉 이전에 둘 이상의 인클로저 구성요소(123, 124)가 정렬될 때, 각각의 리지(125, 126)는 실질적으로 서로 대응될 수 있다. 리지(125, 126)는 적어도 개스킷, 워셔, 또는 다른 적합한 분쇄가능한 재료(127)에 비해 단단한 재료일 수 있다. 개스킷, 워셔, 및/또는 다른 어떠한 적합한 더 연하고(예를 들면, 리지(125, 126) 및/또는 인클로저 구성요소(123, 124)에 비해) 및/또는 분쇄가능한 재료(127)가 상응하는 리지(123, 124) 사이에 배치될 수 있다. 변형시 효과적인 밀봉을 형성하기 위해 개스킷(127) 및/또는 워셔(127)는 리지(125, 126)에 올바르게 배치될 필요가 있을 수 있다. 하나 이상의 인클로저 구성요소(123, 124)에 충분한 압력을 가하여 더 단단한 예리한 리지(125, 126)가 더 연한 분쇄가능한 재료(127)를 적합하게 변형시키면서 밀봉이 달성될 수 있다. 이러한 접근 방법의 잠재적인 장점에는 다음이 포함된다: (1) 다른 재료에 비해 단순한 개스킷 및/또는 워셔를 취급하기 쉬울 수 있다, (2) 표면의(예를 들면, 인클로저 구성요소의) 평평함 및 마감에 대한 요구 조건이 더 낮을 수 있다, 그리고/또는 (3) 분쇄가능한 재료를 변형시키고 적합한 밀봉을 형성하는 데 필요한 압력이, 예를 들어 여기에 제시된 다른 실시예에 비해, 더 적을 수 있다.
도 7A 내지 7D는 용접 밀봉 제품(140, 160) 및 제조방법의 또 다른 바람직한 실시예를 묘사한다. 이러한 실시예에서는, 연한 워셔, 개스킷, 또는 다른 분리된 분쇄가능한 재료가 생략될 수 있고, 대신 인클로저 구성요소(142, 162)의 예리한 리지(141, 161) 또는 돌출부(141, 161)를 사용하여 다른 인클로저 구성요소(143, 163)의 더 연한 표면을 직접 누르는 데 사용될 수 있다. 연한 또는 단단한 재료는 갈바니 커플(galvanic couple)을 방지하도록 선택되는 것이 바람직할 수 있다. 도 7A 및 7B는 용기(142)의 예리한 리지(141)가 뚜껑(143)의 더 연한 재료에 직접 접하여 및/또는 그 안으로 누르는 실시예를 묘사한다. 도 7C 및 7D는 뚜껑(162)의 예리한 리지(161)가 용기(163)의 더 연한 재료에 직접 접하여 및/또는 그 안으로 누르는 실시예를 묘사한다. 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 각 인클로저 구성요소의 일부분만 더 단단한 및/또는 더 연한 재료로, 예를 들어 인클로저 구성요소 사이에 밀봉을 제공하기에 필요한 정도에 따라, 만들어도 됨을 이해할 것이다. 이러한 디자인의 장점에는 더 적은 가공 노력(즉, 제조하기가 더 용이함), 및 와이어, 개스킷, 워셔, 및/또는 다른 분리된 분쇄가능한 재료의 생략이 포함된다. 이 실시예, 특히 도 7A 및 7B의 구성의 다른 장점은 밀봉이 적절하지 않은 것으로 사료되는 경우 특수한 기하학적 특징을 가지지 않는 인클로저 구성요소(예를 들면, 도 7A 및 7B의 뚜껑(143) 또는 도 7C 및 7D의 용기(163))를 제거 및/또는 교체할 수 있다는 점이다. 다른 구성요소 또한 재사용될 수 있다. 또 다른 장점은, 더 연한 및/또는 분쇄가능한 재료(예를 들면, 도 7A 및 7B의 뚜껑(143) 또는 도 7C 및 7D의 용기(163))로 만들어진 구성요소가 특수한 기하학적 특징을 포함하지 않기 때문에 그 인클로저 구성요소는 여기에 제시된 다른 인클로저 구성요소에 비해 제조 및/또는 교체하기가 상대적으로 저렴할 수 있다는 점이다.
여기에 바람직한 실시예가 제시되는 본 발명의 한 가지 장점은 용기의 봉입 공간 내에 배치된 민감한 요소가 밀봉된 표면 및/또는 분쇄가능한 재료에 의해 반응성 결합 과정에 사용되는 가용성 재료(예를 들면, 땜납 또는 브레이즈)의 흐름으로부터 보호된다는 점이다. 구체적으로 설명하자면, 밀봉된 표면 및/또는 분쇄가능한 재료가 사용되지 않는 기존 방법에서는, 가용성 재료가 융해된 상태에 있는 동안 때때로 용기의 봉입 공간 내로 누출되어 결과적으로 그 안에 수용된 민감한 요소를 손상시킬 수 있다. 그러나 여기에 개시된 실시예에서는, 밀봉 표면 및/또는 분쇄가능한 재료가 가용성 재료의 내측에, 즉 가용성 재료와 봉입 공간 사이에 배치되기 때문에, 가용성 재료가 봉입 공간으로 흘러 그 안에 수용된 민감한 요소를 손상시킬 가능성이 상당히 저감, 또는 완전히 제거된다. 융해된 가용성 재료(예를 들면, 땜납 또는 브레이즈)는 밀봉된 표면 및/또는 분쇄가능한 재료에 의해(예를 들면, 와이어, 개스킷, 워셔 및 그 지지물에 의해, 또는 예리한 리지에 의해) 갇힐 것이다. 이것은 종래의 반응성 결합 방법에 비해 장점이다.
여기에 바람직한 실시예가 제시되는 본 발명의 다른 장점은 밀봉을 영구적으로 하기(예를 들면, 반응성 결합을 통해) 전에 밀봉(예를 들면, 밀봉된 표면 및/또는 분쇄가능한 재료에 의한)의 품질이 분석 및 보장될 수 있다는 점이다. 이것이 가능한 이유는, 점화 및 반응성 결합 이전에 하나 이상의 인클로저 구성요소에 압력을 가하고 밀봉된 표면 및/또는 분쇄가능한 재료를 변형시킴으로써 밀봉을 획득할 수 있기 때문이다. 이러한 가압에 따른 밀봉의 품질이 불만족스러운 것으로 사료되면, 용기 내에 위치하는 민감한 요소의 손실의 위험 없이 인클로저 조립품의 하나 이상의 부분을 조절할 수 있다. 이러한 조절은 와이어, 개스킷, 워셔, 및/또는 다른 적합한 재료의 교체, 하나 이상의 구성요소(예를 들면, 뚜껑 및/또는 용기)의 표면 연마, 또는 인클로저 조립품의 불량 부분을 교체하는 것을 포함할 수 있다. 이렇게 인클로저를 영구적으로 밀봉하기 이전에 밀봉의 품질을 분석할 수 있는 능력은 조립품에 영구적인 또는 회복할 수 없는 변경에 의해 밀봉이 이루어지는 대부분의 접근법 대안과 비교할 때 상당한 장점이다. 이러한 대안의 예에는 레이저 용접, 납땜 또는 브레이징(brazing), 및 나사 또는 기계식 파스너의 사용이 포함된다.
본 발명의 다양한 실시예에서는, 영구적인 결합의 형성 이전에 밀봉 검사 장치를 사용한 밀봉의 품질 검증을 제공한다. 그러한 밀봉 검사 장치(200)의 예가 도 8에 나타나 있다. 도 8에 묘사된 바와 같이, 이 장치(200)는 하나 이상의 진공 챔버(201), 인클로저 구성요소 중 하나(예를 들면, 뚜껑(203))를 다른 인클로저 구성요소(예를 들면, 용기(204)의 상부)에 대하여 배치하고 그리고/또는 인클로저의 하나 이상의 부분에 압력을 가하기 위한 압봉(202) 또는 유사한 기구, 챔버(201)를 기체(예를 들어, He 또는 Ar과 같은 비활성 기체) 또는 기체 혼합물(예를 들어, He을 함유하는 비활성 기체 혼합물)로 채우기 위한 하나 이상의 유입구(205), 챔버(201)로부터 기체(예를 들어, He 또는 Ar과 같은 비활성 기체) 또는 기체 혼합물(예를 들어, He을 함유하는 비활성 기체 혼합물)을 비우기 위한 하나 이상의 유출구(206), 및 반응성 다층(208)(예를 들면, 가용성 및/또는 결합 재료를 구비하거나 또는 구비하지 않을 수 있는 반응성 다층 포일)을 점화시키기 위한 수단(207)을 포함할 수 있다. 압봉(202)은, 예를 들어 압봉(202)의 운동을 보조하고 그리고/또는 압봉(202)과 압봉(202)이 관통하는 챔버(201) 벽 사이의 접촉면을 밀봉하기 위한, 벨로우(212)를 포함할 수 있다. 유입구 및 유출구는 동일한 포트(port)일 수 있다(즉, 기체 또는 기체 혼합물이 동일한 유입구, 유출구, 및/또는 포트를 통하여 챔버를 채우게 및/또는 비우게 할 수 있다). 반응성 다층(208)을 점화시키기 위한 수단(207)에는 전자적, 열적 또는 기계적 자극을 제공할 수 있는 내부 장치, 및/또는 레이저와 같은 외부 장치가 포함된다. 반응성 다층을 점화시키기 위한 수단이 레이저인 경우, 진공 챔버(201)의 벽을 관통하는 광학적 경로가 제공될 수 있다.
다양한 실시예에서, 용접 밀봉 제품의 제조 과정은 다음의 단계를 하나 이상 포함할 수 있다: (1) 챔버(201) 안에 둘 이상의 인클로저 구성요소(예를 들면, 용기 및 뚜껑)를 배치, (2) 당업계에 알려진 적합한 수단을, 예를 들어 유출구(206)에 연결된 진공 펌프를 사용하여 챔버(201)를 비움 (특히 공기 및 습기를 제거하기 위해), (3) 당업계에 알려진 적합한 수단을 사용하여 챔버(201)를 기체 또는 기체 혼합물로 다시 채움(예를 들어, 챔버(201)를 유입구(205)를 통하여 비활성 기체로 채움), (4) 인클로저 구성요소 중 하나를 다른 인클로저 구성요소에 대하여 배치(예를 들면, 용기(204)의 상부에 뚜껑(203) 배치)하고, 챔버 내부(209) 및/또는 장치(210)를 챔버(201)의 나머지 부분으로부터 밀봉하기 위해(예를 들면, 분쇄가능한 재료의 변형, 인클로저 구성요소 중 하나의 예리한 리지를 다른 인클로저 구성요소 안으로 배치, 및/또는 여기에서 제시된 실시예 중 하나의 변형태에 의해) 인클로저 구성요소 중 적어도 하나를 가압(예를 들면, 압봉(202)을 통하여 뚜껑(203)을), (5) 당업계에 알려진 적합한 수단을, 예를 들어 유출구(206)에 연결된 진공 펌프를 사용하여 챔버(201)를 비움, (6) 당업계에 알려진 어떠한 적합한 수단 및/또는 방법(예를 들면, 유출구(206)에 연결된 누출 감지기(211))을 사용하여 누출 정도를 측정/검증. 측정된 누출 정도가 만족할만한 수준이면, 포일 및/또는 반응성 다층(208)을 점화시키고 따라서 인클로저를 영구적으로 밀봉한다. 측정된 누출 정도가 만족할만한 수준이 아니면, 하나 이상의 결점에 대처하고 과정의 하나 이상의 단계를 반복한다. 본 발명의 한 가지 장점은 밀봉 과정 중 민감한 요소의 손실을 제거 또는 최소화한다는 점이다.
당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 전술된 어떠한 실시예의 어떠한 측면도 다른 실시예의 다른 측면과 통합될 수 있음을 이해할 것이다. 또한, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 전술된 측면 중 어떠한 것이 생략되어도 본 발명의 범위에서 벗어나지 않음을 이해할 것이다. 더 나아가, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 참조용으로 개시된 어떠한 실시예도 다만 예시를 위한 것이며, 어떠한 설명이 기술되어 있어도 본 발명을 어떻게도 제한하는 것이 아님을 이해할 것이다.
당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 여기에 개시된 본 발명의 설명 및 실행을 고려한다면 다른 실시예들도 자명할 것이다. 이러한 설명 및 예는 예시용으로만 간주되어야 하며, 본 발명의 기술적 사상 및 범위는 다음의 청구항에 의해서 나타난다.
Claims (76)
- 용기를 밀봉하는 방법에 있어서,상기 용기의 둘 이상의 구성요소를 마련하는 단계;상기 둘 이상의 구성요소 사이에 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계;상기 둘 이상의 구성요소 사이에 반응성 다층 재료를 배치하는 단계;상기 둘 이상의 구성요소 사이에 밀봉을 형성하게끔 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계; 및상기 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 상기 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 사이에 가용성 재료를 배치하는 단계를 더 포함하고, 상기 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계는 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 상기 가용성 재료를 변화시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 반응성 다층 포일을 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 가용성 재료를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 밀봉은 용접 밀봉인 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 것은 상기 둘 이상의 구성요소 사이에 다른 밀봉을 형성하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 것은 상기 둘 이상의 구성요소 사이의 상기 밀봉을 고정시키는 용기 밀봉 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 다른 밀봉은 용접 밀봉인 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 상기 둘 이상의 구성요소 중 적어도 하나에 힘을 가하는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 밀봉의 품질을 판단하는 단계를 더 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 밀봉의 품질을 판단하는 단계는 상기 밀봉의 누출 정도를 판단하는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 밀봉에 대한 소정의 품질 변수를 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 밀봉의 품질을 판단하는 단계는 상기 밀봉의 품질이 상기 소정의 품질 변수 이내인지 판단하는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료를 화학적으로 변화시키는 단계는 상기 반응성 다층 재료의 적어도 일부분을 점화시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 것은 상기 용기의 내부를 외부 환경으로부터 밀봉시키는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료를 상기 밀봉의 희망 강도에 근거하여 선택하는 단계를 더 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 영구적으로 변형되도록 구성된 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 가역성으로 변형되도록 구성된 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 연금속을 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 연금속은 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바(Kovar), 및 연땜납 중 적어도 하나를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 압축성 중합체를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 압축성 중합체는 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤(viton) 중 적어도 하나를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 외부 환경에 대하여 상기 반응성 다층 재료의 내측에 배치되는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나에 홈을 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계는 상기 분쇄가능한 재료를 상기 홈에 배치하는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나에 돌기를 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 상기 돌기에 접하여 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 24 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나에 다른 돌기를 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 상기 다른 돌기에 접하여 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나에 홈을 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 상기 분쇄가능한 재료를 상기 홈 안으로 변형시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나에 모퉁이를 마련하는 단계를 더 포함하되, 상기 분쇄가능한 재료를 배치하는 단계는 상기 변형가능한 재료를 상기 모퉁이에 배치하는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나에 모퉁이를 마련하는 단계를 더 포함하되, 상기 분쇄가능한 재료를 변형시키는 단계는 상기 분쇄가능한 재료를 상기 모퉁이 안으로 변형시키는 단계를 포함하는 용기 밀봉 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디인 용기 밀봉 방법.
- 용기를 구성하는 둘 이상의 구성요소;상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되는, 변형된 상태에 있고 상기 둘 이상의 구성요소 사이에 밀봉을 형성하는 분쇄가능한 재료; 및상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되고 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하는 반응성 다층 재료의 화학 변화 생성물을 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 반응성 다층 포일을 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 가용성 재료를 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 32 항에 있어서,상기 가용성 재료는 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성된 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되는 가용성 재료를 더 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 34 항에 있어서,상기 가용성 재료는 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성된 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 상기 반응성 다층 재료의 상기 화학 변화 생성물의 내측에 위치하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료 및 상기 화학 변화 생성물은 협동하여 상기 둘 이상의 구성요소 사이에 용접 밀봉을 형성하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 영구적으로 변형되도록 구성된 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 가역성으로 변형되도록 구성된 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 연금속을 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 40 항에 있어서,상기 연금속은 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바, 및 연땜납 중 적어도 하나를 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 압축성 중합체를 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 42 항에 있어서,상기 압축성 중합체는 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤 중 적어도 하나를 포함하는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 적어도 일부분 상기 둘 이상의 구성요소 중 하나의 홈 내에 배치되는 밀봉된 제품.
- 제 44 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 적어도 일부분 상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나의 다른 홈 내에 배치되는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 상기 둘 이상의 구성요소 중 하나의 돌기에 접하여 배치되는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 상기 둘 이상의 구성요소 중 하나의 다른 돌기에 접하여 배치되는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 상기 둘 이상의 구성요소 중 하나의 모퉁이에 배치되는 밀봉된 제품.
- 제 30 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디인 밀봉된 제품.
- 밀봉된 용기를 형성하기 위한 키트에 있어서,결합시 상기 용기를 구성하는 둘 이상의 구성요소;상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성된 분쇄가능한 재료; 및상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성된 반응성 다층 재료를 포함하되, 상기 분쇄가능한 재료는 변형된 상태일 때 상기 둘 이상의 구성요소 사이에 실질적으로 밀봉을 형성하도록 구성되고, 상기 반응성 다층 재료의 적어도 일부분은 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하게끔 화학적으로 변화되도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 반응성 다층 포일을 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 가용성 재료를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 52 항에 있어서,상기 가용성 재료는 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 사이에 배치되도록 구성된 가용성 재료를 더 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 54 항에 있어서,상기 가용성 재료는 상기 둘 이상의 구성요소를 결합하도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 외부 환경에 대하여 상기 반응성 다층 재료의 내측에 배치되도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료 및 상기 반응성 다층 재료의 화학 변화 생성물은 협동하여 상기 둘 이상의 구성요소 사이에 용접 밀봉을 형성하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 영구적으로 변형되도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 가역성으로 변형되도록 구성된 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 연금속을 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 60 항에 있어서,상기 연금속은 구리, 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 코바, 및 연땜납 중 적어도 하나를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 분쇄가능한 재료는 압축성 중합체를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 62 항에 있어서,상기 압축성 중합체는 부나 고무, 실리콘 고무, 및 바이톤 중 적어도 하나를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 적어도 부분적으로 상기 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 홈을 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 64 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 적어도 부분적으로 상기 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 다른 홈을 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 상기 분쇄가능한 재료에 접하여 배치되도록 구성된 돌기를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 상기 분쇄가능한 재료에 접하여 배치되도록 구성된 다른 돌기를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 상기 분쇄가능한 재료를 수용하도록 구성된 모퉁이를 포함하는 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 제 50 항에 있어서,상기 둘 이상의 구성요소 중 하나는 뚜껑이고, 상기 둘 이상의 구성요소 중 다른 하나는 용기 바디인 밀봉된 용기 형성용 키트.
- 챔버;상기 챔버 안에 배치된 용기를 가압하도록 구성된 기구;상기 챔버에 대해 기체를 공급 및 제거하도록 구성된 포트;반응성 다층 재료의 화학 변화를 시작하도록 구성된 트리거; 및상기 용기로부터의 누출을 감지하도록 구성된 누출 감지기를 포함하는 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 반응성 다층 재료는 반응성 다층 포일인 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 기구는 압봉인 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 챔버는 진공 챔버인 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 포트는 상기 챔버 내에 진공을 생성하도록 구성된 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 포트는 기체 공급원에 연결된 밀봉 검사 장치.
- 제 70 항에 있어서,상기 포트는 진공 공급원에 연결된 밀봉 검사 장치.
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