KR20170070543A - 실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재 - Google Patents

실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버와 처리 공간을 진공 상태로 유지시키도록 진공 챔버에 이용되는 실링부재에 관한 것이다. 실링부재를 구비한 진공 챔버는, 챔버를 결합하여 구성하며, 대향하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체; 및 상기 챔버 구성체 사이에 삽입되어 상기 결합면에 밀착되는 평면부와 상기 평면부 상에 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일체로 형성된 1 이상의 실링부재; 를 포함한다. 이에 의해, 챔버 구성체 결합 시 별도의 보조부재 없이 직접 결합하여 진공 챔버의 기밀을 향상시킬 수 있고, 결합면에 면 형태의 실링부재를 구비하고, 실링부재가 챔버 구성체에 고정 결합됨으로써, 챔버의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

Description

실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재{VACUUM CHAMBER WITH SEALING MEMBER AND SEALING MEMBER USED IN IT}
본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버와 처리 공간을 진공 상태로 유지시키도록 진공 챔버에 이용되는 실링부재에 관한 것이다.
진공 챔버는 진공 펌프와 연결하여 처리공간을 진공 상태로 유지시키는 챔버이다. 이러한 진공 챔버는 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 처리를 위한 공정 중 외부로부터 불순물의 유입을 차단하는 이외에 비진공 상태보다 높은 수율을 확보하는 등의 목적으로 사용되고 있다.
반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리되는 진공 챔버는, 공정 챔버(Process Chamber)와 각 공정 챔버로 기판을 이송시키는 트랜스퍼 챔버(Transfer Chamber)로 사용된다. 이 중 트랜스퍼 챔버는, 다수개의 공정 챔버와 결합되고, 챔버 내에 기판을 이송하는 로봇이 설치됨에 따라 공정 챔버에 비하여 훨씬 큰 용량을 갖는 대형 챔버가 사용된다.
진공 챔버의 크기가 커질수록 고진공 상태를 유지하기 위해서 고가의 실링부재를 사용하여야 했기 때문에 제조 원가가 높아질 수 밖에 없었다. 특히 최근 기판의 대면적 추세에 따라 이러한 문제가 가중되고 있는 실정이다.
종래의 진공 챔버 제조 방법으로는 복수개의 판재를 조립하여 챔버를 구성하는 조립 방법이 있었다.
조립 방법은, 미리 설계된 복수개의 판재를 현장에서 실링부재와 함께 조립하므로 챔버의 운반과 설치가 용이하다는 장점이 있다. 그러나 복수의 판재가 결합되는 부분이 많아 고진공의 유지가 힘들며, 결합 부분이 취약하여 진공압에 의해 파손되는 문제가 있었다.
종래의 한국 공개특허공보 제100-2009-0101009호에 의하면, 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재, 밀봉보조부재의 각 면에 탈착되는 저면, 측면, 상면챔버부재를 구비하여 각각의 챔버부재를 밀봉보조부재에 밀착 결합시킴으로써 진공 챔버를 구성하였다.
그러나, 이러한 진공 챔버는 판 형태의 챔버부재가 프레임 형태의 밀봉보조부재에 결합되는 방식으로 밀봉보조부재 없이 진공 챔버의 구조를 형성하여 결합하는 것이 불가능하였다.
또한, O링과 같은 선형 실링부재를 사용하여 진공 챔버를 기밀시키는데 한계가 있었고, 두 챔버부재 사이에 밀봉보조부재가 개재되어 결합면에서의 밀폐력을 저감시킨다는 문제가 있었다.
또한, 밀봉보조부재의 형상이 챔버의 프레임 형상이므로, 밀봉보조부재의 크기는 전체 진공 챔버의 크기와 같아 챔버의 이송 및 설치가 어려운 단점이 있었다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 별도의 보조부재 없이 챔버를 결합하여 기밀을 향상시킨 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 챔버의 이송과 설치가 용이한 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 O링과 같은 선형 실링부재의 밀폐력 한계를 극복할 수 있는 실링부재를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실링부재를 구비한 진공 챔버는, 챔버를 결합하여 구성하며, 대향하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체; 및 상기 챔버 구성체 사이에 삽입되어 상기 결합면에 밀착되는 평면부와 상기 평면부 상에 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일체로 형성된 1 이상의 실링부재; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 복수의 챔버 구성체는, 상부에 뚜껑 결합구가 형성된 챔버 본체와 상기 뚜껑 결합구에 결합되는 뚜껑으로 구성된다.
바람직하게, 상기 복수의 챔버 구성체는, 챔버를 횡방향 또는 종방향으로 2 이상 분할한 복수의 분할체로 구성된다.
바람직하게, 상기 복수의 챔버 구성체는, 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성되고, 상기 실링부재는, 상기 결합홈에 상응하는 돌출부가 상기 평면부의 양면에 형성된다.
바람직하게, 상기 각각의 결합면에 형성된 결합홈은 대향하는 위치에 형성된다.
바람직하게, 상기 복수의 챔버 구성체는, 챔버 내부공간을 이루도록 상호 결합되는 상판, 복수개의 측판 및 하판으로 구성된다.
바람직하게, 상기 복수의 챔버 구성체는, 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성되고, 상기 실링부재는, 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일면에 형성되어 상기 결합면에 각각 밀착된다.
바람직하게, 상기 챔버 구성체 중 적어도 어느 하나가 갖는 복수의 결합면은, 폐루프 형상의 결합홈이 형성되고, 상기 실링부재는, 상기 결합홈에 상응하는 돌출부가 폐루프 형상으로 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버 구성체 중 적어도 어느 하나가 갖는 복수의 결합면은, 모두 내측으로 경사지게 형성되고, 상기 실링부재는, 상기 경사진 결합면에 밀착된다.
바람직하게, 상기 실링부재는, 폐루프 구조로 형성된다.
바람직하게, 상기 실링부재는, 상기 챔버 구성체의 외면 일부 또는 전체를 감싸는 구조로 형성된다.
바람직하게, 상기 결합홈은, 입구의 단면보다 내부의 단면이 더 넓게 형성된다.
바람직하게, 상기 결합홈과 상기 돌출부 각각은, 복수개가 등간격으로 형성된다.
바람직하게, 상기 결합홈과 상기 돌출부는, 직선을 따라 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버의 내부공간이 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이고, 상기 결합홈과 상기 돌출부는, 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선을 따라 형성된다.
상술한 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 진공 챔버에 이용되는 실링부재는, 진공 챔버를 결합 구성하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체 사이에 실링하는 실링부재로서, 상기 결합면에 삽입되어 밀착되는 평면부와 상기 평면부 상에 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부를 구비한다.
본 발명의 실링부재를 구비한 진공 챔버에 의하면, 챔버 구성체 결합 시 별도의 보조부재 없이 직접 결합하여 진공 챔버의 기밀을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버를 복수의 챔버 구성체로 구성함으로써, 챔버의 이송과 설치를 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버 구성체의 결합면에 면 형태의 실링부재를 구비하고, 실링부재가 챔버 구성체에 고정 결합됨으로써, 챔버의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 조립 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 챔버 본체를 나타낸 평면도.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 조립 단면도.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 의한 단면도.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 의한 단면도.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 의한 측판을 나타낸 평면도.
도 9a는 본 발명의 제5 실시예에 의한 일부 단면도.
도 9b는 본 발명의 제5 실시예에 의한 다른 실링부재의 형태를 나타낸 일부 단면도.
도 10a는 본 발명의 제6 실시예에 의한 일부 단면도.
도 10b는 본 발명의 제6 실시예에 의한 다른 결합홈의 형태를 나타낸 일부 단면도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 실링부재를 구비한 진공 챔버는 제1 내지 제6 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 분리형 진공 챔버는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 복수의 챔버 구성체와 실링부재(120)로 이루어진다.
챔버(110)는 고진공 상태에서 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리(증착, 식각, 세정, 이송 등)된다. 챔버(110)는 복수의 챔버 구성체에 의해 결합 구성되며, 챔버 구성체는 대향하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된다.
챔버(110)는 공정 챔버 및 로드락 챔버와 같은 다른 챔버와의 결합이 용이하도록 결합되는 챔버 개수에 상응하는 면을 갖는 다면체 구조로 이루어지며, 본 발명에서는 직육면체 구조로 나타내었으나, 육각 기둥, 팔갈 기둥 등 다양한 다면체 구조가 가능하다.
챔버 구성체는 상부에 뚜껑 결합구(111b)가 형성된 챔버 본체(111)와 뚜껑 결합구(111b)에 결합되는 뚜껑(112)으로 구성된다.
챔버 본체(111)는 뚜껑(112)과 결합되는 결합면인 뚜껑 결합구(111b)에 길이 방향을 따라 2개의 결합홈(111a)이 직선으로 형성된다. 이때, 뚜껑 결합구(111b)에 형성되는 결합홈(111a)은 폐루프 형상으로 형성되고, 2개의 결합홈(111a)은 동일한 결합면 상에서 평행하도록 사이의 간격이 등간격으로 형성되는 것이 바람직하다.
뚜껑(112)은 뚜껑 결합구(111b)와 결합되는 결합면에 길이 방향을 따라 2개의 결합홈(112a)이 직선으로 형성되고, 2개의 결합홈(112a)은 동일한 결합면 상에서 평행하도록 사이의 간격이 등간격으로 형성되는 것이 바람직하다.
이때, 챔버 본체(111)와 뚜껑(112) 각각의 결합면에 형성된 결합홈(111a, 111b)은 대향하는 위치에 형성된다. 또한, 챔버 본체(111)와 뚜껑(112)의 결합면은 내측으로 경사지게 형성될 수 있으며, 경사지게 형성되지 않더라도 폐루프 형상으로 형성된다면 어떠한 형상도 가능하다.
실링부재(120)는 챔버(110)의 내부공간을 기밀시킴으로써, 챔버(110) 내부의 고진공 상태를 유지하도록 챔버 구성체 사이에 개재되며, 평면부(121)와 돌출부(122)로 구성된다.
평면부(121)는 챔버 본체(111)와 뚜껑(112)의 결합면과 동일하게 형성되어 밀착된다.
돌출부(122)는 평면부(121) 상에 일체로 형성되고, 결합홈(111a, 112a)에 삽입되도록 평면부(121) 양면에 직선을 따라 2개씩 등간격으로 형성된다. 이로써, 돌출부(122)는 결합홈(111a, 112a)에 삽입되어 실링부재(120)가 챔버 구성체에 고정 결합되는데, 이는 챔버의 밀폐력과 챔버 구성체 사이의 결합력을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 진공 챔버를 구성하면, 챔버 구성체(챔버 본체, 뚜껑) 결합 시 별도의 보조부재 없이 실링부재만을 사이에 개재하여 결합시킬 수 있고, 이로써, 진공 챔버의 기밀을 향상시킬 수 있다.
또한, 실링부재는 면 형태의 평면부에 의해 챔버 구성체가 결합되는 결합면 전체를 덮으며 기밀시킬 수 있어 O링과 같은 선형 실링부재로 실링하는 것에 비하여 진공 챔버의 리크(leak)가 감소된다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 챔버 구성체의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 4, 도 5를 참고하여 설명한다.
챔버(210)는 제1 실시예의 챔버(110)와 달리 챔버 본체가 2 이상 분할체의 결합으로 구성된다. 제2 실시예의 챔버는, 도 4와 같이, 챔버 본체를 횡방향으로 분할한 구조로, 상부챔버(211), 하부챔버(212) 및 뚜껑(213)으로 구성된다.
상부챔버(211)는 뚜껑(213)과 결합되는 결합면에 2개의 결합홈(211a)을 형성하고, 하부챔버(212)와 결합되는 결합면에 1개의 결합홈(211b)을 형성한다.
하부챔버(212)는 상부챔버(211)와 결합되는 결합면에 1개의 결합홈(212a)을 형성한다.
뚜껑(213)은 상부챔버(211)와 결합되는 결합면에 2개의 결합홈(213a)을 형성한다.
이때, 상부챔버(211)와 뚜껑(213)이 결합되는 결합면은 내측으로 경사지게 형성되고, 각각의 결합홈(211a, 213a)은 결합면의 외곽 방향으로 번갈아 형성될 수 있다. 상, 하부챔버(211, 212)가 결합되는 결합면은 챔버(210) 외면에 수직하게 형성되고, 각각의 결합홈(211b, 212a)은 이격되어 형성될 수 있다.
실링부재(220)는 상부챔버(211)와 뚜껑(213) 사이에 개재되는 제1 실링부재(221)와 상, 하부챔버(211, 212) 사이에 개재되는 제2 실링부재(222)로 구성된다.
제1 실링부재(221)는 상부챔버(211)와 뚜껑(213)이 결합되는 결합면에 밀착되는 평면부(223)와 이에 돌출 형성되는 돌출부(224)로 구성된다. 돌출부(224)는 상부챔버(211)와 뚜껑(213)에 형성된 결합홈(211a, 213a)에 삽입되도록 평면부(223) 양면에 2개씩 형성되며, 제1 실링부재(221)의 외곽방향으로 번갈아 형성될 수 있다.
제2 실링부재(222)는 상부챔버(211)와 하부챔버(212)가 결합되는 결합면에 밀착되는 평면부(225)와 이에 돌출 형성되는 돌출부(226)로 구성된다. 돌출부(226)는 상부챔버(211)와 하부챔버(212)에 형성된 결합홈(211b, 212a)에 삽입되도록 평면부(225) 양면에 1개씩 형성되며, 서로 이격하여 형성될 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 각각의 결합면에 형성된 결합홈은 대향하여 형성될 수도 있고, 이에 따라 실링부재의 돌출부 역시 평면부의 양면에 대향하여 형성될 수 있다.
또한, 챔버는 종방향으로 분할한 좌, 우측챔버의 결합일 수 있고, 3 이상으로 분할하는 것 또한 가능하다.
본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 챔버 구성체와 실링부재의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6을 참고하여 설명한다.
챔버 구성체는 챔버(310) 내에 기판이 처리되는 내부공간을 이루도록 상호 결합되는 상판(311), 복수개의 측판(312) 및 하판(313)으로 구성되며, 본 실시예에서는 사각 기둥의 형태라고 가정한다. 이처럼 챔버(310)를 판 형태로 분할하여 구성하는 것은 챔버를 일체로 형성하는 것에 비하여 챔버의 이송과 설치를 용이하게 할 수 있다.
이때, 상판(311)과 측판(312), 측판(312)과 측판(312) 및 측판(312)과 하판(313)이 결합되는 결합면은 내측으로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
챔버 구성체는 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성된다.
구체적으로, 상판(311)은 복수의 측판(312)과 결합되는 4개의 결합면을 갖고, 각 결합면에 2개의 결합홈(311a)이 형성되며, 이 결합홈(311a)은 폐루프 형상이다. 측판(312)은 상판(311)과 하판(313) 및 인접한 측판(312)과 결합되는 4개의 결합면을 갖고, 각 결합면에 2개의 결합홈(312a)이 형성되며, 이 결합홈(312a)은 폐루프 형상이다. 하판(313)은 복수의 측판(312)과 결합되는 4개의 결합면을 갖고, 각 결합면에 2개의 결합홈(313a)이 형성되며, 이 결합홈(313a)은 폐루프 형상이다.
실링부재(320)는 상판(311)의 경사진 결합면에 밀착되는 상판 실링부재(321), 측판(312)의 경사진 결합면에 밀착되는 측판 실링부재(322) 및 하판(313)의 경사진 결합면에 밀착되는 하판 실링부재(323)로 구분된다.
상판 실링부재(321)는 상판(311)의 결합면에 밀착되는 평면부(324)와 평면부(324)의 일면에 돌출 형성되어 상판의 결합홈(311a)에 삽입되는 2개의 돌출부(325)로 구성된다.
측판 실링부재(322)는 측판(312)의 결합면에 밀착되는 평면부(326)와 평면부(326)의 일면에 돌출 형성되어 측판의 결합홈(312a)에 삽입되는 2개의 돌출부(327)로 구성된다.
하판 실링부재(323)는 하판(313)의 결합면에 밀착되는 평면부(328)와 평면부(328)의 일면에 돌출 형성되어 하판의 결합홈(313a)에 삽입되는 2개의 돌출부(329)로 구성된다.
각 평면부(324, 326, 328)의 일면은 각각 2개의 돌출부(325, 327, 329)가 형성되어 결합홈(311a, 312a, 313a)에 삽입되고, 타면은 인접한 판의 실링부재와 밀착된다.
구체적으로, 실링부재(321, 322, 323)는 각 판의 결합홈(311a, 312a, 313a)에 의해 판에 고정되고, 실링부재(321, 322, 323)와 결합된 상판(311), 측판(312) 및 하판(313)이 내부공간을 이루도록 결합된다. 따라서, 하나의 결합면에 두개의 실링부재가 개재된다.
이러한 실링부재(320)는 결합홈에 상응하는 돌출부가 폐루프 형상으로 형성되고, 이 결합홈에 결합되는 실링부재(320) 역시 폐루프 구조로 형성되는 것이 바람직하다.
도면에 도시하지는 않았지만, 제1, 제2 실시예에 각 챔버 구성체에 형성된 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일면에 형성되어 결합면에 각각 밀착되는 복수의 실링부재를 사용할 수 있다.
본 발명의 제4 실시예는 본 발명의 제3 실시예와 대비하여 챔버 내부공간의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제3 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 7, 도 8을 참고하여 설명한다.
챔버(420)의 내부공간은 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조로 형성된다.
내부공간을 이루는 비구면은 챔버(420)의 내벽 중 대향하는 위치에 적어도 1쌍이 대칭구조로 형성된다. 내부공간은 다면체 구조로 형성되며, 각 면은 외측으로 볼록한 타원면 또는 이에 근접한 곡면으로 구성된다. 이처럼 내부공간을 비구면으로 구성하면, 내부공간을 평면의 다면체 구조로 구성한 것에 비하여 챔버 내 진공압에 대한 챔버의 형상 변형을 저감시킬 수 있다.
한편, 도면에 도시하지 않았지만 챔버의 내벽 중 대향하는 면이 없거나, 챔버 측부에 해당하는 내벽이 3각형, 5각형과 같이 홀수 각형인 챔버의 경우, 비구면은 챔버 측부에 해당하는 내벽에 적어도 3개 이상이 동일하게 형성된다.
이러한 비구면 구조는 고진공 상태에서 챔버에 작용하는 진공압이 특정 부분에 집중되지 않도록 분산시킴으로써 형상 변형을 최소화하는 기능을 하게 된다.
다면체 구조로 이루어진 챔버 벽의 두께가 일정하면, 챔버 벽의 중앙부가 진공압에 취약하여 내부 공간을 향해 형상 변형이 발생한다. 이를 보강하기 위하여 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성되는 아치 구조를 이루게 한다. 따라서, 다면체를 이루는 각 면을 분할하면, 아치 구조를 이루는 각 면이 결합되어 전체 챔버를 이루게 되어 각 면의 두께를 일정하게 형성한 구조에 비하여 진공압에 대한 내구력이 크게 강화된다.
챔버(410)는 비구면의 내부공간을 이루도록 상호 결합되는 상판(411), 복수개의 측판(412) 및 하판(413)으로 구성되며, 이는 챔버의 이송과 설치를 용이하게 할 수 있다.
챔버 구성체는 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성된다.
구체적으로, 상판(411)은 결합면에 2개의 결합홈(411a)이 형성되며, 이 결합홈(411a)은 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선을 따라 형성된다. 측판(412)은 결합면에 2개의 결합홈(412a)이 형성되며, 이 결합홈(412a)은 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선을 따라 형성된다. 하판(413)은 결합면에 2개의 결합홈(413a)이 형성되며, 이 결합홈(413a)은 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선을 따라 형성된다.
실링부재(420)는 상판(411), 측판(412) 및 하판(413)의 결합면에 밀착되는 평면부와 평면부의 일면에 돌출 형성되어 각 결합홈(411a, 412a, 413a)에 삽입되는 2개의 돌출부로 구성된다.
여기서 돌출부는 각 결합홈(411a, 412a, 413a)에 삽입되도록 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선, 즉 삽입되는 결합홈(411a, 412a, 413a)과 동일한 곡선으로 형성된다.
이로써, 결합홈(411a, 412a, 413a)과 돌출부를 챔버(410)의 내부공간 형상에 근접하게 형성함으로써, 비구면의 내부공간으로 구성된 챔버(410)의 밀폐력을 더욱 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제5 실시예는 본 발명의 제3 실시예와 대비하여 실링부재의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제3 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 9a, 도 9b를 참고하여 설명한다.
도 9는 챔버를 구성하는 챔버 구성체 중 하판(513)에 실링부재를 결합한 상태를 도시한 것으로, 실링부재는 챔버 구성체의 외면 일부 또는 전체를 감싸는 구조로 형성된다.
도 9a에 도시한 바와 같이, 실링부재(521)는 하판(513)의 결합면에 밀착되는 평면부(523), 평면부(523)에 돌출 형성되어 하판(513)의 결합홈(513a)에 삽입되는 돌출부(524) 및 하판(513) 외면의 테두리부를 감싸도록 평면부(523)로부터 연장 형성된 덮개부(525)로 구성된다.
도 9b에 도시한 바와 같이, 실링부재(522)는 하판(513)의 결합면에 밀착되는 평면부(526), 평면부(526) 상에 돌출 형성되어 하판(513)의 결합홈(513a)에 삽입되는 돌출부(527) 및 하판(513) 외면 전체를 감싸도록 평면부(523)의 단부와 연결된 덮개부(528)로 구성된다.
이처럼 실링부재(521, 522)에 덮개부(525, 528)를 추가로 구비함으로써, 실링부재(521, 522)와 챔버 구성체의 고정력을 높일 수 있고, 이로써, 챔버의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제6 실시예는 본 발명의 제1 실시예와 대비하여 결합홈과 돌출부의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 10a, 도 10b를 참고하여 설명한다.
도 10은 챔버(610)를 구성하는 챔버 구성체 중 상판과 측판이 결합되는 결합면에 형성되는 결합홈과 상판과 측판 사이에 개재되는 실링부재를 도시한 것으로, 결합홈은 입구의 단면보다 내부의 단면이 더 넓게 형성된다.
도 10a에 도시한 바와 같이, 상판(611)과 측판(612)의 결합홈(611a, 612a)은 종단면이 사다리꼴 형상으로 입구의 단면보다 결합홈(611a, 612a) 저면의 단면이 더 넓다.
실링부재(621)는 돌출부(624)가 결합홈(611a, 612a)에 삽입되도록 돌출부(624)가 평면부(623)에 접촉되는 단면보다 돌출부(624) 선단부의 단면이 더 넓게 형성된다.
도 10b에 도시한 바와 같이, 상판(613)과 측판(614)의 결합홈(613a, 614a)은 종단면이 원형으로 입구의 단면보다 넓은 내부의 단면이 존재한다.
실링부재(622)는 돌출부(626)가 결합홈(613a, 614a)에 삽입되도록 구 형상의 돌출부(626)가 평면부(625)에 결합된 형태로 형성된다.
이처럼 결합홈을 입구의 단면보다 내부의 단면이 넓게 형성함으로써, 실링부재와 챔버 구성체의 고정력을 높일 수 있고, 이로써, 챔버의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 해당하는 진공 챔버에 이용되는 실링부재는, 진공 챔버를 결합 구성하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체 사이에 실링하는 실링부재로서, 상기 결합면에 삽입되어 밀착되는 평면부와 평면부 상에 일체로 형성되어 결합홈에 삽입되는 돌출부를 포함하여 구성된다.
본 발명의 실링부재는 챔버 구성체의 결합면 사이에 면 형태로 개재되고, 결합면에 형성된 결합홈에 돌출부가 삽입되어 실링부재를 챔버 구성체에 결합 고정되고, 챔버의 밀폐력을 향상시켜 챔버의 내부공간을 고진공 상태로 용이하게 형성할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
110 : 챔버
111 : 챔버 본체
112 : 뚜껑
111a, 112a : 결합홈
311 : 상판
312 : 측판
313 : 하판
120 : 실링부재
121 : 평면부
122 : 돌출부

Claims (16)

  1. 챔버를 결합하여 구성하며, 대향하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체; 및
    상기 챔버 구성체 사이에 삽입되어 상기 결합면에 밀착되는 평면부와 상기 평면부 상에 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일체로 형성된 1 이상의 실링부재; 를 포함하는 진공 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 챔버 구성체는, 상부에 뚜껑 결합구가 형성된 챔버 본체와 상기 뚜껑 결합구에 결합되는 뚜껑으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 챔버 구성체는, 챔버를 횡방향 또는 종방향으로 2 이상 분할한 복수의 분할체로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 복수의 챔버 구성체는, 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성되고,
    상기 실링부재는, 상기 결합홈에 상응하는 돌출부가 상기 평면부의 양면에 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 각각의 결합면에 형성된 결합홈은 대향하는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 챔버 구성체는, 챔버 내부공간을 이루도록 상호 결합되는 상판, 복수개의 측판 및 하판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  7. 제2항, 제3항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 챔버 구성체는, 대향하는 각각의 결합면에 1 이상의 결합홈이 형성되고,
    상기 실링부재는, 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 일면에 형성되어 상기 결합면에 각각 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 챔버 구성체 중 적어도 어느 하나가 갖는 복수의 결합면은, 폐루프 형상의 결합홈이 형성되고,
    상기 실링부재는, 상기 결합홈에 상응하는 돌출부가 폐루프 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 챔버 구성체 중 적어도 어느 하나가 갖는 복수의 결합면은, 모두 내측으로 경사지게 형성되고,
    상기 실링부재는, 상기 경사진 결합면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 실링부재는, 폐루프 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 실링부재는, 상기 챔버 구성체의 외면 일부 또는 전체를 감싸는 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 결합홈은, 입구의 단면보다 내부의 단면이 더 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 결합홈과 상기 돌출부 각각은, 복수개가 등간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 결합홈과 상기 돌출부는, 직선을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 내부공간이 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이고,
    상기 결합홈과 상기 돌출부는, 인접한 비구면의 곡률에 근접한 곡선을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  16. 진공 챔버를 결합 구성하는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성된 복수의 챔버 구성체 사이에 실링하는 실링부재로서,
    상기 결합면에 삽입되어 밀착되는 평면부와 상기 평면부 상에 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 실링부재.

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