JP5403716B2 - 組立て式密閉チャンバ - Google Patents
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Description
Oリング状の複数のシール部材を用いる場合は、第二のシール溝に嵌挿されたOリング状のシール部材と、連結シール溝に嵌挿されたOリング状のシール部材とにより二重にシールされた状態となるが、二重にシールされた部分とそうでない部分の境界は、第一の側板及び第二の側板を組み合わせることによって周回状に形成された第一の側板及び第二の側板のシール溝の、第一の側板及び第二の側板の境界部にあたり、この部分に僅かな隙間を生ずるが、第一のシール溝の屈曲部近傍の分岐部の断面積より、Oリング状のシール部材の断面積を大きくすることにより、僅かな隙間をシール部材で完全に密閉することが出来る。
図1〜6は本発明の組立て式密閉チャンバの第1実施形態を示すものである。
また、左側面及び右側面には、隣接する排気口付き側面板2のボルト孔H21〜H26と対応するネジ穴S11〜S16とを合わせるための平行ピンPを挿入するためのピン穴h11及びh12とピン穴h13及びh14がそれぞれ設けられている。
次いで本発明の第2実施形態について図7〜12を参照して説明する。なお、第2実施形態に係る本発明の組立て式密閉チャンバと、上記第1実施形態のものとの主な相違点は、シール部材を市販されているOリングを複数用いた点であり、基本的な構造は略共通するので、以下においては、第1実施形態のものと相違する点を重点的に説明し、共通する点については同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
2、20 排気口付き側面板(第二の側板)
3、30 上板、底板
4 スケルトンシール部材
4A、4B シール部材
C1 屈曲部
C2 角部
C3 分岐部
C4 分岐部
C5 分岐部
Claims (3)
- 内部に密閉された空間を有する多角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、
多角形からなる上板及び底板と、
上板及び底板との間に設けられた複数の側板と、
Oリングからなる複数のシール部材と、からなり、
上板と各側板、底板と各側板および隣接する側板間のそれぞれの接合面には、シール部材を嵌挿するためのシール溝が設けられており、
該シール溝に各シール部材を嵌挿させた状態で、上板と各側板、底板と各側板及び隣接する側板間をボルトにより締結することにより形成されていること
を特徴とする組立て式密閉チャンバ。 - 内部に密閉された空間を有する四角柱からなる組立て式密閉チャンバであって、
四角形からなる上板及び底板と、
上板及び底板との間に設けられた四枚の側板と、
上板と側板、底板と側板及び隣接する側板間をシールするためのOリング状の複数のシール部材と、からなり、
四枚の側板は対向配置される二枚の第一の側板及び対向配置される二枚の第二の側板から構成されており、
第一の側板の上板側面及び底板側面には屈曲部を有する第一のシール溝が形成されており、
第二の側板の側面には周回状に第二のシール溝が形成されており、
第一の側板及び第二の側板を枠状に組み合わせて側板枠を形成すると、側板枠の上板側及び底板側にはシール部材を嵌挿するための環状の連結シール溝が形成され、
第二のシール溝にシール部材を嵌挿させた状態で四枚の側板をボルトにより締結し、連結シール溝にシール部材を嵌挿させた状態で側板枠と上板及び底板をボルトにより締結することにより形成されること
を特徴とする組立て式密閉チャンバ。 - 第二のシール溝の上板側及び底板側は、第二のシール溝に嵌挿されたシール部材と、連結シール溝に嵌挿されたシール部材とにより二重にシールされた状態となっていることを特徴とする請求項3に記載の組み立て式密閉チャンバ。
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PCT/JP2010/053092 WO2011104865A1 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 組立て式密閉チャンバ |
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012501593A Active JP5403716B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 組立て式密閉チャンバ |
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Citations (3)
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- 2010-02-26 JP JP2012501593A patent/JP5403716B2/ja active Active
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