JP2006121441A - 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【目的】水晶ウェハに対するクラックの発生を防止して、生産性を高めた水晶振動子の製造方法を提供する。
【構成】平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる断面凹状の水晶片を形成するための多数の溝部を水晶ウェハに設ける第1工程と、前記水晶ウェハを分割して平面矩形状とした多数の前記水晶片を得る第2工程を備えた水晶振動子の製造方法において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交した構成とする。
【選択図】図1
【構成】平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる断面凹状の水晶片を形成するための多数の溝部を水晶ウェハに設ける第1工程と、前記水晶ウェハを分割して平面矩形状とした多数の前記水晶片を得る第2工程を備えた水晶振動子の製造方法において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交した構成とする。
【選択図】図1
Description
本発明は断面凹状とした高周波用の水晶振動子を技術分野とし、特に水晶片のひびや欠け等のクラックを防止した水晶振動子の製造方法に関する。
(発明の背景)水晶振動子は周波数制御素子として知られ、発振子やフィルタ素子として適用される。近年では、例えば光通信の普及から例えば600MHz帯とした高周波用化が進行している。これらの一つに、凹状とした水晶片1を用いた水晶振動子がある。
(従来技術の一例)第3図及び第4図は一従来例の製造方法を説明する図で、第3図(a)は水晶振動子(水晶片)の断面図、同図(b)は同平面図、第4図は水晶ウェハの平面図である。
水晶振動子はATカットした凹状の水晶片1からなり、厚みの小さい振動領域1aとこれより厚みの大きい外周領域1bを有する。水晶片1の平面外形及び振動領域1aはいずれも矩形状とする。これらは、水晶片1の一主面側から設けられた溝部2によって形成される。振動領域1aの両主面には励振電極3(ab)を有し、一端部両側の外周領域1bに引出電極4(ab)を延出する「第3図」。そして、引出電極4(ab)の延出した一端部両側が図示しない導電性接着剤等によって固着されて容器内に密閉封入される。
このようなものでは、一般には、先ず、写真製版技術を用いたエッチングによって、厚みの小さい振動領域1a及び厚みの大きい外周領域1bとなる多数の溝部2を水晶ウェハ5に形成する。これにより、水晶ウェハ5に多数の水晶片1を一体的に形成する。ここでは、励振電極3(ab)及び引出電極4(ab)も同様のエッチングによって一体的に形成する。次に、ダイシングソウ等によって、厚みの大きい外周領域1bのA−A線で示す中心間を縦横に分割して、多数の水晶片1を得る「前第3図」。
これにより、水晶片1を保持できる程度に、外周領域1bの厚みを一定値以上(概ね100μm以上)に維持し、厚みの小さい振動領域1aを得る。この場合、例えば振動周波数を622MHzとすると振動領域1aの厚みは概ね1.8μmとなり、外周領域1bの厚みを前述の一定値以上にすると、溝部2のエッチング量(削り量)を多くするので振動領域1aの平面度を悪化させて、振動特性を低下させる。
このことから、例えば特許文献1に示されるように(第5図の分解断面図)、水晶ウェハ5は、第1と第2水晶ウェハ5(ab)を例えばシロキサン結合(Si−O−Si)によって直接接合して形成する。この場合、第1及び第2水晶ウェハ5(ab)はいずれも鏡面研磨される。第1水晶ウェハ5aはエッチングによって多数の貫通孔6が形成され、第2水晶ウェハ5bは振動周波数に接近した厚みの平板状とする。
これにより、直接接合による水晶ウェハ5には、厚みの小さい振動領域1aと厚みの大きい外周領域1bとする多数の溝部2が形成される。そして、前述同様に励振電極及び引出電極(不図示)を形成した後、水晶ウェハ5の厚みの大きい外周領域の中心間(A−A線)を分割する。この結果、第1と第2水晶片1(xy)が直接接合されて、厚みの小さい振動領域1a及び厚みの大きい外周領域1bを有して、溝部2を有する凹状とした個々の水晶片1を得る。
このような直接接合による水晶ウェハ5であれば、予め、第2水晶ウェハ5bを規定の振動周波数に応じた厚みに研磨すればよいので、エッチングによる振動領域1a(溝部2)の削り量(エッチング量)を小さくして平面度を高める。したがって、例えばクリスタルインピーダンス等の振動特性を良好に維持する。
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の水晶振動子の製造方法では、特に直接接合による水晶ウェハ5を用いた場合には次の問題があった。すなわち、第1水晶ウェハ5aには多数の貫通孔6が形成される。したがって、第1水晶ウェハ5aはそれ自体の強度が小さく撓みやすい(折れ曲がりやすい)。
このため、第2水晶ウェハ5bとの直接接合に至るまでの移送や取り扱い中の機械的接触や振動等によって、第6図に示したように、第1水晶ウェハ5aの縦横に配置された隣接する溝部2の角部間にクラック7が発生する。これは、溝部2の対角方向を中心線として撓みやすいこと及び直交する角部が支点となって応力が集中することに起因すると推察される。これにより、水晶ウェハ5での不良品を多くし、水晶片1の取り分を少なくして生産性を低下させる問題があった。
なお、第1水晶ウェハ5aの取り扱い中のみならず、第2水晶ウェハ5bと直接接合後の水晶ウェハ5においても、例えば各水晶片1に分割する際に同様の問題が生ずる。また、各溝部2の間隔を大きくして強度を高くすればよいが、この場合は水晶ウェハ5に形成する溝部2の数を少なくして生産性を悪化させる。
(発明の目的)本発明は水晶ウェハに対するクラックの発生を防止して、生産性を高めた水晶振動子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、特許請求の範囲(請求項1)に示したように、平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる断面凹状の水晶片を形成するための多数の溝部を水晶ウェハに設ける第1工程と、前記水晶ウェハを分割して平面矩形状とした多数の前記水晶片を得る第2工程を備えた水晶振動子の製造方法において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交した構成とする。
このような構成(製造方法)であれば、水晶片における溝部の内壁4角部は直交する2辺に対して斜交したので、水晶ウェハの隣接する溝部の角部間の距離が大きくなる。また、内壁4角部の支点が直交する点から線状に広がって撓みに対する応力が分散する。したがって、隣接する溝部の角部間の強度を高めてクラックの発生を防止し、水晶ウェハからの水晶片の取り分を多くして(不良品を少なくして)生産性を高める。
本発明の請求項2に示したように、請求項1における前記溝部の内壁4角部は直線状又は円弧状とする。これにより、水晶ウェハの隣接する溝部の角部間の距離を具体的に大きくできる。
同請求項3では、請求項1の前記第1工程は、多数の貫通孔を有する第1水晶ウェハと、平板状の第2水晶ウェハとを直接接合してなる。これにより、水晶ウェハに多数の溝部を形成するとともに、第2水晶ウェハの厚みを予め小さくし得て平面度を高める。また、第1水晶ウェハは第2水晶ウェハに直接接合するまで、独立してそれ自体の強度が小さいので、本発明によるクラック防止の効果が特に大きい。
同請求項4では、平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる、溝部2を有する断面凹状とした水晶片からなる水晶振動子において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交し、前記内壁4角部の壁幅は前記2辺の壁幅よりも厚くした構成とする。これにより、外周領域の4角部底面の面積を大きくするので、導電性接着剤等で固着する場合の固着面積を大きくできて、小型化になるほど有利となる。
第1図及び第2図は本発明の一実施例の製造方法を説明する図で、第1図は水晶振動子(水晶片)の平面図、第2図は水晶ウェハの一部平面図である。なお、前従来例と同一部分の説明は簡略又は省略する。
水晶振動子は前述したように、平面矩形状の溝部2を有して断面凹状とした、厚みの小さい振動領域1aとこれより厚みの大きい外周領域1bとを有する水晶片1からなる。水晶片1は2枚の水晶片1(xy)が直接接合されてなる。振動領域1aには励振電極3(ab)を有し、外周領域1bに引出電極4(ab)が延出する。そして、溝部2の内壁4角部は、直交する外周領域1bの2辺に対して斜交する直線状とし、直交する2辺の壁幅よりも内壁4角部の壁幅を厚くする。
各水晶片1は、前述のように水晶ウェハ5に溝部2を形成する第1工程と、各水晶片1に分割する第2工程を経て形成される。すなわち、ここでの第1工程は、前述した多数の貫通孔6を有する第1水晶ウェハ5aと、振動領域1aの厚みに応じた平板状の第2水晶ウェハ5bを直接接合して水晶ウェハ5を形成する。これにより、水晶ウェハ5に多数の溝部2を形成する。但し、第1水晶ウェハ5aの各貫通孔6の内壁4角部は、水晶片1に対応して、直交する外周領域1bの2辺に対して斜交する直線状とする。これらは、エッチング時のマスクを変えることによって形成される。
このような構成であれば、水晶ウェハ5の隣接する溝部2の直線状とした角部間の距離dは、従来例の直交点である角部間よりも大きくなる。したがって、各水晶片1の対角方向での強度を高める。また、各角部の支点が線状に広がって応力が分散する。このことから、溝部2の対角方向を中心としての撓みに対する強度を高め、隣接する溝部2の角部間に発生するクラックを防止する。したがって、水晶ウェハ5での水晶片1の不良品を少なくして生産性を高める。特に、この場合は、第1水晶ウェハ5aは多数の貫通孔6を有して、第1水晶ウェハ自体の強度が小さいのでその効果は大きい。
また、ここでは、溝部2の内壁4角部は、直交する外周領域1bの2辺に対して斜交する直線状とし、直交する外周領域の2辺の壁幅よりも内壁4角部の壁幅を厚くする(請求項4に相当)。したがって、例えば水晶片1の4角部のうちの少なくとも1箇所を導電性接着剤等で保持する場合、4角部の面積を大きくするので固着面積を大きくできて有利となる。
なお、振動領域1aに導電性接着剤を塗布した場合は、振動領域1aの厚みが小さいため、応力による歪が大きくなって振動特性を極端に悪化させる。これは、平面外形が小さくなって外周領域1bの壁幅狭くなるにしたがい顕著になる。
(他の事項)上記実施例では水晶ウェハ5における溝部2の内壁4角部は直線状としたが、円弧状であってもよい。要は、外周領域1bの直交する2辺に斜交して隣接する溝部2の角部間の距離を大きくする形状であればよい。また、水晶ウェハ5は2枚の水晶ウェハ5(ab)の直接接合としたが、単一の水晶ウェハ5にエッチングによって溝部2を形成する場合でも同様の効果を奏する。但し、前述のように直接接合による場合の方が効果は大きい。
1 水晶片、2 溝部、3 励振電極、4 引出電極、5 水晶ウェハ、6 貫通孔、7 クラック。
Claims (4)
- 平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる断面凹状の水晶片を形成するための多数の溝部を水晶ウェハに設ける第1工程と、前記水晶ウェハを分割して平面矩形状とした多数の前記水晶片を得る第2工程とを備えた水晶振動子の製造方法において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交したことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
- 前記溝部の内壁4角部は直線状又は円弧状とした請求項1における水晶振動子の製造方法。
- 前記第1工程は、多数の貫通孔を有する第1水晶ウェハと、平板状の第2水晶ウェハとを直接接合してなる請求項1における水晶振動子の製造方法。
- 平面矩形状とした厚みの小さい振動領域と前記振動領域の外周に設けられて前記振動領域よりも厚みの大きい外周領域とからなる、溝部を有する断面凹状とした水晶片からなる水晶振動子において、前記溝部の内壁4角部は前記外周領域の直交する2辺に対して斜交し、前記内壁4角部の壁幅は前記2辺の壁幅よりも厚くしたことを特徴とする水晶振動子。
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