JPH11342437A - 真空チャンバーの製造方法 - Google Patents
真空チャンバーの製造方法Info
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- JPH11342437A JPH11342437A JP16422198A JP16422198A JPH11342437A JP H11342437 A JPH11342437 A JP H11342437A JP 16422198 A JP16422198 A JP 16422198A JP 16422198 A JP16422198 A JP 16422198A JP H11342437 A JPH11342437 A JP H11342437A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 締結部のシールにピンホール等の欠陥を防止
でき高い気密性を有し、高温での使用に耐える真空チャ
ンバーの製造方法を提供する。 【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金部材
（１１）（１２）（１３）（１４）（１５）で構成され
る真空チャンバー（１）を製造する方法において、その
接合面は、一方の部材（１２）に凸状突出部（５）を設
け、もう一方の部材（１１）の接合面に凸状突出部に対
向する凹溝（４）を設け、凹溝（４）に凸状突出部
（５）を挿入し圧縮により締結、接合する真空チャンバ
ー（１）を製造する。
でき高い気密性を有し、高温での使用に耐える真空チャ
ンバーの製造方法を提供する。 【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金部材
（１１）（１２）（１３）（１４）（１５）で構成され
る真空チャンバー（１）を製造する方法において、その
接合面は、一方の部材（１２）に凸状突出部（５）を設
け、もう一方の部材（１１）の接合面に凸状突出部に対
向する凹溝（４）を設け、凹溝（４）に凸状突出部
（５）を挿入し圧縮により締結、接合する真空チャンバ
ー（１）を製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、予め製作した複数
のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成され、
これらを組み合わせて圧縮により接合する真空チャンバ
ー（容器）の製造方法に関し、特に半導体の製造や液晶
の製造に用いられる真空チャンバー（容器）の製造方法
に関する。
のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成され、
これらを組み合わせて圧縮により接合する真空チャンバ
ー（容器）の製造方法に関し、特に半導体の製造や液晶
の製造に用いられる真空チャンバー（容器）の製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体の製造等の製造に用いられ
る真空チャンバーは、図７〜図９に示すようなものが知
られている。図７（ａ）（ｂ）に示す真空チャンバー
は、予め製作した板状部材（１１）（１２）（１３）
（１４）（１５）の接合部（３３）を溶接したものであ
る。図８（ａ）（ｂ）に示すものは、金属の塊を削り出
して真空チャンバー（３４）を作るものである。図９
（ａ）（ｂ）に示す真空チャンバーでは、予め製作した
板状部材（１１）（１２）（１３）（１４）（１５）の
接合部（３５）は凹部（３６）にＯリング（３７）を設
け、ボルト（３８）で締めたものである。
る真空チャンバーは、図７〜図９に示すようなものが知
られている。図７（ａ）（ｂ）に示す真空チャンバー
は、予め製作した板状部材（１１）（１２）（１３）
（１４）（１５）の接合部（３３）を溶接したものであ
る。図８（ａ）（ｂ）に示すものは、金属の塊を削り出
して真空チャンバー（３４）を作るものである。図９
（ａ）（ｂ）に示す真空チャンバーでは、予め製作した
板状部材（１１）（１２）（１３）（１４）（１５）の
接合部（３５）は凹部（３６）にＯリング（３７）を設
け、ボルト（３８）で締めたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の図７に
示す溶接によるものは、溶接時に生じるピンホールやガ
スの巻き込みにより、チャンバーを高真空下で使用する
には、その信頼性が低下し半導体等の製作歩留まりが悪
くなる問題がある。また全周を溶接するのでコスト的に
割高になるという問題があった。図８に示すように、金
属の一体の塊から機械加工により削り出す場合は、機械
加工による削り出し作業が多く製作費が嵩みコスト高に
なり、特に真空チャンバー（真空容器）が大型になる
と、その機械加工による削り出し作業工数が多くなり、
また使用する素材の塊も大きくなって製作費が嵩みコス
ト高になるという問題があった。
示す溶接によるものは、溶接時に生じるピンホールやガ
スの巻き込みにより、チャンバーを高真空下で使用する
には、その信頼性が低下し半導体等の製作歩留まりが悪
くなる問題がある。また全周を溶接するのでコスト的に
割高になるという問題があった。図８に示すように、金
属の一体の塊から機械加工により削り出す場合は、機械
加工による削り出し作業が多く製作費が嵩みコスト高に
なり、特に真空チャンバー（真空容器）が大型になる
と、その機械加工による削り出し作業工数が多くなり、
また使用する素材の塊も大きくなって製作費が嵩みコス
ト高になるという問題があった。
【０００４】図９に示すシールパッキンとボルト締めに
よる場合は、シールパッキン用溝（凹部）及びボルトホ
ールを組み込むためのスペースを必要とするため、コン
パクトにできない問題があり、また製作コストも高くな
る。さらに半導体等の製造時の使用雰囲気が高温になる
場合は使用できないという問題があった。本発明は、締
結部のシールにピンホール等の欠陥を防止でき高い気密
性を保つことができ、大きな一体の塊から削り出すより
低コストでの製造が可能であり、高温での使用に耐える
ことができ、また真空容器（真空チャンバー）を製作サ
イズにとらわれることなく、安価に製作し得ることを目
的とする真空チャンバーの製造方法を提供するものであ
る。
よる場合は、シールパッキン用溝（凹部）及びボルトホ
ールを組み込むためのスペースを必要とするため、コン
パクトにできない問題があり、また製作コストも高くな
る。さらに半導体等の製造時の使用雰囲気が高温になる
場合は使用できないという問題があった。本発明は、締
結部のシールにピンホール等の欠陥を防止でき高い気密
性を保つことができ、大きな一体の塊から削り出すより
低コストでの製造が可能であり、高温での使用に耐える
ことができ、また真空容器（真空チャンバー）を製作サ
イズにとらわれることなく、安価に製作し得ることを目
的とする真空チャンバーの製造方法を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、予め製作した
複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成さ
れる真空チャンバーを製造する方法において、前記アル
ミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の一方に凸
状突出部を設け、もう一方の部材の接合面に前記凸状突
出部に対向する凹溝を設け、前記凹溝に前記凸状突出部
を挿入し圧縮により締結、接合することを特徴とするア
ルミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバ
ーの製造方法である。また、本発明は、真空チャンバー
を構成する予め製作したアルミニウム又はアルミニウム
合金部材が、筒状部材と板状部材あるいは全て板状部材
で構成することを特徴とするものである。
複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成さ
れる真空チャンバーを製造する方法において、前記アル
ミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の一方に凸
状突出部を設け、もう一方の部材の接合面に前記凸状突
出部に対向する凹溝を設け、前記凹溝に前記凸状突出部
を挿入し圧縮により締結、接合することを特徴とするア
ルミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバ
ーの製造方法である。また、本発明は、真空チャンバー
を構成する予め製作したアルミニウム又はアルミニウム
合金部材が、筒状部材と板状部材あるいは全て板状部材
で構成することを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】本発明においては、予め製作したアルミニウム
又はアルミニウム合金部材の一方の部材の凸状突出部
を、もう一方の部材の凹溝に挿入し、圧縮して締結、接
合させるもので、溝部に突出部が圧入、充満して高度な
密閉度が確保された真空チャンバーを製造できるもので
ある。さらに環状突出部の圧入のみならず、接合される
アルミニウム又はアルミニウム合金部材を圧縮して金属
接合されることにより高い密閉度を確保することができ
るものである。また締結部は金属接合されているため使
用温度が５００℃前後の高温でも高度な密閉度が保たれ
るものである。
又はアルミニウム合金部材の一方の部材の凸状突出部
を、もう一方の部材の凹溝に挿入し、圧縮して締結、接
合させるもので、溝部に突出部が圧入、充満して高度な
密閉度が確保された真空チャンバーを製造できるもので
ある。さらに環状突出部の圧入のみならず、接合される
アルミニウム又はアルミニウム合金部材を圧縮して金属
接合されることにより高い密閉度を確保することができ
るものである。また締結部は金属接合されているため使
用温度が５００℃前後の高温でも高度な密閉度が保たれ
るものである。
【０００７】また本発明の真空チャンバーは、アルミニ
ウム又はアルミニウム合金部材で構成されているので腐
食ガスに対する耐食性を有する。例えば半導体の製造に
おいてシランガスが用いられる場合、シランガスの成分
に含まれるＳｉで汚染されるが、それを洗浄するために
フッ素を含有する洗浄ガスを通気させるが、アルミニウ
ム又はアルミニウム合金部材であるのでこのような洗浄
ガス（フッ素含有ガス）に対する耐食性を有しているも
のである。
ウム又はアルミニウム合金部材で構成されているので腐
食ガスに対する耐食性を有する。例えば半導体の製造に
おいてシランガスが用いられる場合、シランガスの成分
に含まれるＳｉで汚染されるが、それを洗浄するために
フッ素を含有する洗浄ガスを通気させるが、アルミニウ
ム又はアルミニウム合金部材であるのでこのような洗浄
ガス（フッ素含有ガス）に対する耐食性を有しているも
のである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について詳細
に説明する。本発明において、真空チャンバーを構成す
るアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、その製
法、材質については特定しないが、耐リーク性を考慮す
ると、内部欠陥の少ない圧延板、鍛造品を素材とするこ
とが望ましい。また材質は、例えば、純度９９．５％以
上のＪＩＳ１０５０、ＪＩＳ１１００（ＳｉとＦｅ：
１．０％、Ｃｕ：０．０５〜０．２０％、Ｍｎ：０．０
５％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ
３００３（Ｓｉ：０．６％以下、Ｆｅ：０．７％以下、
Ｃｕ：０．０５〜０．２０％、Ｍｎ：１．０〜１．５
％、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ６０６
３（Ｓｉ：０．２０〜０．６％、Ｆｅ：０．３５％以
下、Ｃｕ：０．１０％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｍ
ｇ：０．４５〜０．９％、Ｃｒ：０．１０％以下、Ｚ
ｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．１０％以下、残部Ａ
ｌ）、ＪＩＳ６０６１（Ｓｉ：０．４０〜０．８％、Ｆ
ｅ：０．７％以下、Ｃｕ：０．１５〜０．４０％、Ｍ
ｎ：０．１５％以下、Ｍｇ：０．８〜１．２％、Ｃｒ：
０．０４〜０．３５％、Ｚｎ：０．２５％以下、Ｔｉ：
０．１５％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ３００４（Ｓｉ：
０．０３％以下、Ｆｅ：０．７％以下、Ｃｕ：０．２５
％以下、Ｍｎ：１．０〜１．５％、Ｍｇ：０．８〜１．
３％、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）等を用いるこ
とができる。
に説明する。本発明において、真空チャンバーを構成す
るアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、その製
法、材質については特定しないが、耐リーク性を考慮す
ると、内部欠陥の少ない圧延板、鍛造品を素材とするこ
とが望ましい。また材質は、例えば、純度９９．５％以
上のＪＩＳ１０５０、ＪＩＳ１１００（ＳｉとＦｅ：
１．０％、Ｃｕ：０．０５〜０．２０％、Ｍｎ：０．０
５％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ
３００３（Ｓｉ：０．６％以下、Ｆｅ：０．７％以下、
Ｃｕ：０．０５〜０．２０％、Ｍｎ：１．０〜１．５
％、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ６０６
３（Ｓｉ：０．２０〜０．６％、Ｆｅ：０．３５％以
下、Ｃｕ：０．１０％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｍ
ｇ：０．４５〜０．９％、Ｃｒ：０．１０％以下、Ｚ
ｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．１０％以下、残部Ａ
ｌ）、ＪＩＳ６０６１（Ｓｉ：０．４０〜０．８％、Ｆ
ｅ：０．７％以下、Ｃｕ：０．１５〜０．４０％、Ｍ
ｎ：０．１５％以下、Ｍｇ：０．８〜１．２％、Ｃｒ：
０．０４〜０．３５％、Ｚｎ：０．２５％以下、Ｔｉ：
０．１５％以下、残部Ａｌ）、ＪＩＳ３００４（Ｓｉ：
０．０３％以下、Ｆｅ：０．７％以下、Ｃｕ：０．２５
％以下、Ｍｎ：１．０〜１．５％、Ｍｇ：０．８〜１．
３％、Ｚｎ：０．１０％以下、残部Ａｌ）等を用いるこ
とができる。
【０００９】本発明において、真空チャンバーを構成す
るアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、予め板状
部材に製作して、これを組み合わせ圧縮し締結、接合す
るものである。予め製作した板状部材の接合面の一方に
凸状突出部を設け、もう一方の部材の接合面に前記凸状
突出部に対向する凹溝を設ける。この凸状突出部と凹溝
は接合面の全周に設けることが好ましい。
るアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、予め板状
部材に製作して、これを組み合わせ圧縮し締結、接合す
るものである。予め製作した板状部材の接合面の一方に
凸状突出部を設け、もう一方の部材の接合面に前記凸状
突出部に対向する凹溝を設ける。この凸状突出部と凹溝
は接合面の全周に設けることが好ましい。
【００１０】また、予め筒状部材と板状部材に製作し
て、これを組み合わせ圧縮し締結、接合するものであ
る。この筒状部材は、角形筒状部材または円形筒状部材
に製作し、その端部に板状部材を組み合わせ真空チャン
バーとする。この場合筒状部材端面に環状凸状突出部を
形成し、この凸状突出部に対向する位置に環状凹溝を板
状部材に形成する。あるいは筒状部材端面に環状凹溝を
形成し、この環状凹溝の対向する位置に環状凸状突出部
を板状部材に形成する。
て、これを組み合わせ圧縮し締結、接合するものであ
る。この筒状部材は、角形筒状部材または円形筒状部材
に製作し、その端部に板状部材を組み合わせ真空チャン
バーとする。この場合筒状部材端面に環状凸状突出部を
形成し、この凸状突出部に対向する位置に環状凹溝を板
状部材に形成する。あるいは筒状部材端面に環状凹溝を
形成し、この環状凹溝の対向する位置に環状凸状突出部
を板状部材に形成する。
【００１１】本発明において、接合面の凸状突出部、対
向する凹溝は、１組又は２組以上設ける。これらは例え
ば機械加工により成形する。また、凹溝に凸状突出部を
挿入し、圧縮により締結、接合するものであるが、圧縮
は鍛圧圧縮が好ましい。また、圧縮により締結、接合す
る前処理として、接合面の表面を洗浄することが望まし
い。例えば、硝酸で表面の油とり、水洗、化性処
理（アルカリ溶液によるエッチング）、水洗、硝酸
での洗浄、水洗、湯洗等の適宜の工程を組みて表面
を洗清浄する。
向する凹溝は、１組又は２組以上設ける。これらは例え
ば機械加工により成形する。また、凹溝に凸状突出部を
挿入し、圧縮により締結、接合するものであるが、圧縮
は鍛圧圧縮が好ましい。また、圧縮により締結、接合す
る前処理として、接合面の表面を洗浄することが望まし
い。例えば、硝酸で表面の油とり、水洗、化性処
理（アルカリ溶液によるエッチング）、水洗、硝酸
での洗浄、水洗、湯洗等の適宜の工程を組みて表面
を洗清浄する。
【００１２】このように、真空チャンバーを構成する部
材の接合部は、凹溝に凸状突出部を組み合わせ、挿入後
鍛圧し、環状溝に環状突出部を充満密封させ、さらに鍛
圧することにより両者を金属接合させることができるの
で、この密閉度、即ち耐リーク性は、半導体製造装置で
求められる高真空に対応できるものであり、１０−８〜
１０−１０Ｔｏｒｒの高真空にも対応できるものであ
る。また、部材接合部の凹溝に凸状突出部を組み合わ
せ、挿入する場合、挿入が可能な範囲であれば、凹溝の
幅より凸状突出部の幅が少し大きく、いわゆる圧入状態
となってもよい。また、凹溝に凸状突出部を組み合わ
せ、挿入後、鍛圧圧縮し締結部を密封充満させ締結し、
さらに金属接合するアルミニウム又はアルミニウム合金
部材が同一材料であると、鍛圧圧縮時のメタルフローに
より複数部材同志が圧着し物理的に金属接合し易い。
材の接合部は、凹溝に凸状突出部を組み合わせ、挿入後
鍛圧し、環状溝に環状突出部を充満密封させ、さらに鍛
圧することにより両者を金属接合させることができるの
で、この密閉度、即ち耐リーク性は、半導体製造装置で
求められる高真空に対応できるものであり、１０−８〜
１０−１０Ｔｏｒｒの高真空にも対応できるものであ
る。また、部材接合部の凹溝に凸状突出部を組み合わ
せ、挿入する場合、挿入が可能な範囲であれば、凹溝の
幅より凸状突出部の幅が少し大きく、いわゆる圧入状態
となってもよい。また、凹溝に凸状突出部を組み合わ
せ、挿入後、鍛圧圧縮し締結部を密封充満させ締結し、
さらに金属接合するアルミニウム又はアルミニウム合金
部材が同一材料であると、鍛圧圧縮時のメタルフローに
より複数部材同志が圧着し物理的に金属接合し易い。
【００１３】アルミニウム又はアルミニウム合金部材の
接合面に形成する凹溝としては、その断面がコの字状
（長形）、台形、逆台形等が用いられるが、凹溝への鍛
圧時の空気の巻き込み等を考慮すると、断面コの字状
（長形）、台形が好ましい。凹溝に組み合わせられる凸
状突出部は断面コの字状（長形）、台形等が用いられ
る。また、凹溝に凸状突出部を組み合わせを容易にする
ために、断面コの字状突出部の先端を面取りした形状に
してもよい。例えば、凹溝は断面コの字状で、これに組
み合わせられる凸状突出部も断面コの字状とする場合、
断面コの字状の凹溝に凸状突出部を組み合わせるには、
凹溝の巾は断面コの字状凸状突出部の巾より極く僅かに
大きくても挿入できるが、締結部の空気巻き込み等の点
では、小さいことが好ましく、また凹溝に凸突出部を挿
入させ密閉させるには、凹溝の深さは断面コの字状凸状
突出部の高さより大きいものが好ましい。
接合面に形成する凹溝としては、その断面がコの字状
（長形）、台形、逆台形等が用いられるが、凹溝への鍛
圧時の空気の巻き込み等を考慮すると、断面コの字状
（長形）、台形が好ましい。凹溝に組み合わせられる凸
状突出部は断面コの字状（長形）、台形等が用いられ
る。また、凹溝に凸状突出部を組み合わせを容易にする
ために、断面コの字状突出部の先端を面取りした形状に
してもよい。例えば、凹溝は断面コの字状で、これに組
み合わせられる凸状突出部も断面コの字状とする場合、
断面コの字状の凹溝に凸状突出部を組み合わせるには、
凹溝の巾は断面コの字状凸状突出部の巾より極く僅かに
大きくても挿入できるが、締結部の空気巻き込み等の点
では、小さいことが好ましく、また凹溝に凸突出部を挿
入させ密閉させるには、凹溝の深さは断面コの字状凸状
突出部の高さより大きいものが好ましい。
【００１４】
【実施例１】本発明の実施例１について、図１〜図４を
参照して説明する。図１（ａ）は真空容器（真空チャン
バー）の概略図（真空容器として必要な排気口、取出し
口、および器具は省略した図）であり、図１（ｂ）は接
合部を示す図である。図２（ａ）（ｂ）は接合部を説明
する図である。図１（ａ）に示す真空容器（１）は、予
め製作したアルミニウム部材（１１）（１２）（１３）
（１４）（１５）で構成されるものである。なお蓋部材
は省略している。アルミニウム部材の接合部の１つは、
図１（ｂ）に示すようにアルミニウム部材（１２）の接
合面に凸状突出部（５）を設け、またアルミニウム部材
（１１）の接合面の対向する位置に凹溝を設ける。
参照して説明する。図１（ａ）は真空容器（真空チャン
バー）の概略図（真空容器として必要な排気口、取出し
口、および器具は省略した図）であり、図１（ｂ）は接
合部を示す図である。図２（ａ）（ｂ）は接合部を説明
する図である。図１（ａ）に示す真空容器（１）は、予
め製作したアルミニウム部材（１１）（１２）（１３）
（１４）（１５）で構成されるものである。なお蓋部材
は省略している。アルミニウム部材の接合部の１つは、
図１（ｂ）に示すようにアルミニウム部材（１２）の接
合面に凸状突出部（５）を設け、またアルミニウム部材
（１１）の接合面の対向する位置に凹溝を設ける。
【００１５】図２（ａ）（ｂ）で、部材（１１）（１
２）の接合部を説明する。図２（ａ）に示すように、ア
ルミニウム部材（１２）の接合面に高さ（Ａ）、幅
（Ｂ）の凸状突出部（５）を形成し、アルミニウム部材
（１１）の接合面に深さ（Ｃ）、幅（Ｄ）の凹溝（４）
を形成する。そしてアルミニウム部材（１２）の凸状突
出部（５）をアルミニウム部材（１１）の凹溝（４）に
挿入する。凹溝（４）の深（Ｃ）は、凸状突出部（５）
の高さ（Ａ）より数％〜数十％浅く製作する。また凹溝
（４）の幅（Ｄ）は、凸状突出部（５）の幅（Ｂ）を挿
入できる寸法に公差に設定する。
２）の接合部を説明する。図２（ａ）に示すように、ア
ルミニウム部材（１２）の接合面に高さ（Ａ）、幅
（Ｂ）の凸状突出部（５）を形成し、アルミニウム部材
（１１）の接合面に深さ（Ｃ）、幅（Ｄ）の凹溝（４）
を形成する。そしてアルミニウム部材（１２）の凸状突
出部（５）をアルミニウム部材（１１）の凹溝（４）に
挿入する。凹溝（４）の深（Ｃ）は、凸状突出部（５）
の高さ（Ａ）より数％〜数十％浅く製作する。また凹溝
（４）の幅（Ｄ）は、凸状突出部（５）の幅（Ｂ）を挿
入できる寸法に公差に設定する。
【００１６】次いで、図２（ｂ）に示すように、アルミ
ニウム部材（１２）の凸状突出部（５）をアルミニウム
部材（１１）の凹溝（４）に挿入し、各部材を組み合わ
せた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示す方
向から圧縮を加え、凸状突出部（５）の高さ（Ａ）寸法
が部分的に圧縮され、体積変形を生じて、凹溝（４）の
深さ（Ｃ）の寸法とさせることで、幅（Ｄ）の凹溝
（４）に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持た
せるものである。例えば、アルミニウム部材として材質
１０５０を用い、凹溝（４）の深（Ｃ）は５ｍｍ、凸状
突出部（５）の高さ（Ａ）は７ｍｍ、凹溝（４）の幅
（Ｄ）は５ｍｍ、凸状突出部（５）の幅（Ｂ）４．８ｍ
ｍとし、これを鍛圧・圧縮により締結、接合した真空チ
ャンバーの真空度は、１０−８〜１０−１０Ｔｏｒｒで
あり、強固なシール性を持った真空チャンバーを製造す
ることができた。
ニウム部材（１２）の凸状突出部（５）をアルミニウム
部材（１１）の凹溝（４）に挿入し、各部材を組み合わ
せた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示す方
向から圧縮を加え、凸状突出部（５）の高さ（Ａ）寸法
が部分的に圧縮され、体積変形を生じて、凹溝（４）の
深さ（Ｃ）の寸法とさせることで、幅（Ｄ）の凹溝
（４）に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持た
せるものである。例えば、アルミニウム部材として材質
１０５０を用い、凹溝（４）の深（Ｃ）は５ｍｍ、凸状
突出部（５）の高さ（Ａ）は７ｍｍ、凹溝（４）の幅
（Ｄ）は５ｍｍ、凸状突出部（５）の幅（Ｂ）４．８ｍ
ｍとし、これを鍛圧・圧縮により締結、接合した真空チ
ャンバーの真空度は、１０−８〜１０−１０Ｔｏｒｒで
あり、強固なシール性を持った真空チャンバーを製造す
ることができた。
【００１７】図３（ａ）（ｂ）は、アルミニウム部材
（１１）の接合面に凸状突出部（５）を形成し、アルミ
ニウム部材（１２）の接合面に凹溝（４）を形成し、ア
ルミニウム部材（１１）の凸状突出部（５）をアルミニ
ウム部材（１２）の凹溝（４）に挿入し、各部材を組み
合わせた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示
す方向から圧縮を加え、部材（１１）凸状突出部（５）
が圧縮され、体積変形を生じさせ部材（１２）の凹溝
（４）に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持た
せるものである。
（１１）の接合面に凸状突出部（５）を形成し、アルミ
ニウム部材（１２）の接合面に凹溝（４）を形成し、ア
ルミニウム部材（１１）の凸状突出部（５）をアルミニ
ウム部材（１２）の凹溝（４）に挿入し、各部材を組み
合わせた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示
す方向から圧縮を加え、部材（１１）凸状突出部（５）
が圧縮され、体積変形を生じさせ部材（１２）の凹溝
（４）に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持た
せるものである。
【００１８】また、図４（ａ）（ｂ）は、接合面の凸状
突出部、対向する凹溝を２組設けたものである。アルミ
ニウム部材（１２）の接合面に２列の凸状突出部（９）
を形成し、アルミニウム部材（１２）の接合面の対向す
る位置に２列の凹溝（８）を形成し、アルミニウム部材
（１２）の２列の凸状突出部（９）をアルミニウム部材
（１１）の２列の凹溝（８）に挿入し、凸状突出部
（９）と凹溝（８）を２組としたものである。２組と凸
状突出部（９）と凹溝（８）で各部材を組み合わせた後
に接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、部材（１
２）の凸状突出部（９）が圧縮され、体積変形を生じさ
せ部材（１１）の凹溝（８）に強固に圧着を生じさせ、
強固で高いシール性を持たせるものである。
突出部、対向する凹溝を２組設けたものである。アルミ
ニウム部材（１２）の接合面に２列の凸状突出部（９）
を形成し、アルミニウム部材（１２）の接合面の対向す
る位置に２列の凹溝（８）を形成し、アルミニウム部材
（１２）の２列の凸状突出部（９）をアルミニウム部材
（１１）の２列の凹溝（８）に挿入し、凸状突出部
（９）と凹溝（８）を２組としたものである。２組と凸
状突出部（９）と凹溝（８）で各部材を組み合わせた後
に接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、部材（１
２）の凸状突出部（９）が圧縮され、体積変形を生じさ
せ部材（１１）の凹溝（８）に強固に圧着を生じさせ、
強固で高いシール性を持たせるものである。
【００１９】
【実施例２】本発明の実施例２について、図５を参照し
て説明する。図５（ａ）は真空容器（真空チャンバー）
の概略図（真空容器として必要な排気口、取出し口、お
よび器具は省略した図）であり、図５（ｂ）は接合部を
示す図である。図５（ａ）に示す真空容器（２）は、予
め製作した筒状部材（１６）と板状部材（１１）とから
なるもので、図５（ｂ）に示すように、筒状部材（１
６）の端面に環状の突出部（７）を形成し、また板状部
材（１１）の対向する位置に環状凹溝（６）を形成し、
筒状部材（１６）の環状突出部（７）を板状部材（１
１）の環状凹溝（６）に挿入し、組み合わせた接合部
に、矢印に示す方向から圧縮を加え、環状突出部（７）
を圧縮して体積変形を生じさせ環状凹溝（６）に強固に
圧着を生じさせ、強固なシール性を持たせたものであ
る。
て説明する。図５（ａ）は真空容器（真空チャンバー）
の概略図（真空容器として必要な排気口、取出し口、お
よび器具は省略した図）であり、図５（ｂ）は接合部を
示す図である。図５（ａ）に示す真空容器（２）は、予
め製作した筒状部材（１６）と板状部材（１１）とから
なるもので、図５（ｂ）に示すように、筒状部材（１
６）の端面に環状の突出部（７）を形成し、また板状部
材（１１）の対向する位置に環状凹溝（６）を形成し、
筒状部材（１６）の環状突出部（７）を板状部材（１
１）の環状凹溝（６）に挿入し、組み合わせた接合部
に、矢印に示す方向から圧縮を加え、環状突出部（７）
を圧縮して体積変形を生じさせ環状凹溝（６）に強固に
圧着を生じさせ、強固なシール性を持たせたものであ
る。
【００２０】
【実施例３】図５（ａ）〜（ｆ）は、真空容器を構成す
る部材（１１）（１２）の接合面の凸状突出部、対向す
る凹溝の実施例を示したものである。図５（ａ）は、凸
状突出部（２１）に面取り部を設けて断面コの字の凹溝
（２２）に凸状突出部を挿入し易くしたものである。図
５（ｂ）は、断面コの字の凹溝（２４）の口を面取して
凸状突出部（２３）が凹溝（２４）に挿入し易くしたも
のである。図５（ｃ）は、断面コの字の凹溝（２６）の
底を角取りしたものであり、また凸状突出部（２５）が
山型のものである。これは凹溝（２６）に凸状突出部
（２５）を組み合わせ易くしたものである。
る部材（１１）（１２）の接合面の凸状突出部、対向す
る凹溝の実施例を示したものである。図５（ａ）は、凸
状突出部（２１）に面取り部を設けて断面コの字の凹溝
（２２）に凸状突出部を挿入し易くしたものである。図
５（ｂ）は、断面コの字の凹溝（２４）の口を面取して
凸状突出部（２３）が凹溝（２４）に挿入し易くしたも
のである。図５（ｃ）は、断面コの字の凹溝（２６）の
底を角取りしたものであり、また凸状突出部（２５）が
山型のものである。これは凹溝（２６）に凸状突出部
（２５）を組み合わせ易くしたものである。
【００２１】図５（ｄ）は、断面コの字の凹溝（２６）
の底に空気溜まりを設けて、凸状突出部（２５）が圧縮
され、体積変形を生じたときに空気の巻き込みが起こら
ないようにしたものである。図５（ｅ）は、凹溝（２
８）の断面が逆台形のもので、凸状突出部（２７）が断
面コの字状のものである。これは凹溝に凸状突出部を充
満させることにより、高い密閉度が保たれるとともに、
機械的にも強い締結がなされるものである。図５（ｆ）
は、断面が台形の凹溝（３０）と断面が台形の凸状突出
部（２９）で、凹溝、凸状突出部の機械加工が容易であ
り、また鍛圧時の空気の巻き込みは起り難いものであ
る。
の底に空気溜まりを設けて、凸状突出部（２５）が圧縮
され、体積変形を生じたときに空気の巻き込みが起こら
ないようにしたものである。図５（ｅ）は、凹溝（２
８）の断面が逆台形のもので、凸状突出部（２７）が断
面コの字状のものである。これは凹溝に凸状突出部を充
満させることにより、高い密閉度が保たれるとともに、
機械的にも強い締結がなされるものである。図５（ｆ）
は、断面が台形の凹溝（３０）と断面が台形の凸状突出
部（２９）で、凹溝、凸状突出部の機械加工が容易であ
り、また鍛圧時の空気の巻き込みは起り難いものであ
る。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の凸状
突出部を凹溝に挿入し、圧縮して締結、接合させるもの
で、溝部に突出部が充満して高度な密閉度が確保された
真空チャンバーを得ることができるという効果を有す
る。接合部が物理的に圧着することで、ピンホール等の
欠陥を防止でき、高真空度で使用しても高い気密性を保
つことができる。また両者が金属的に接合しているため
使用温度が５００℃前後の高温でも高度な密閉度が保た
れる。また機械加工により凹溝、凸状突出部を形成し鍛
圧することで、締結部が金属的に接合した接合部が得ら
れるので、低コストでの製造が可能となる。さらに、従
来技術のようなピンホール等の欠陥を防止できるので高
い気密性を保つことができる。また組み合わせ前の各部
材の組み合わせ部周囲に、機械加工による鍛圧締結用の
凹溝と凸状突出部を付け鍛圧する方法をとるため、大き
な一体の塊から削り出すより遙かに低コストでの製造が
可能となる。またボルトナット締結によるスペースを必
要とせず、Ｏリングを使用しなくてすむため高精度加工
のＯリング溝を必要としないので、安価な製造が可能で
あるという効果を奏するものである。
アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の凸状
突出部を凹溝に挿入し、圧縮して締結、接合させるもの
で、溝部に突出部が充満して高度な密閉度が確保された
真空チャンバーを得ることができるという効果を有す
る。接合部が物理的に圧着することで、ピンホール等の
欠陥を防止でき、高真空度で使用しても高い気密性を保
つことができる。また両者が金属的に接合しているため
使用温度が５００℃前後の高温でも高度な密閉度が保た
れる。また機械加工により凹溝、凸状突出部を形成し鍛
圧することで、締結部が金属的に接合した接合部が得ら
れるので、低コストでの製造が可能となる。さらに、従
来技術のようなピンホール等の欠陥を防止できるので高
い気密性を保つことができる。また組み合わせ前の各部
材の組み合わせ部周囲に、機械加工による鍛圧締結用の
凹溝と凸状突出部を付け鍛圧する方法をとるため、大き
な一体の塊から削り出すより遙かに低コストでの製造が
可能となる。またボルトナット締結によるスペースを必
要とせず、Ｏリングを使用しなくてすむため高精度加工
のＯリング溝を必要としないので、安価な製造が可能で
あるという効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施例１の真空容器を示す図
【図２】本発明の実施例１の真空容器の接合部を説明す
る図
る図
【図３】本発明の実施例１の真空容器の接合部を説明す
る図
る図
【図４】本発明の実施例１の真空容器の接合部を説明す
る図
る図
【図５】本発明の実施例２の真空容器を示す図
【図６】本発明の実施例３の真空容器の接合部を説明す
る図
る図
【図７】従来例を示す図
【図８】従来例を示す図
【図９】従来例を示す図
１，２ 真空容器 ４，凹溝 ５ 凸状突出部 １１，１２，１３，１４，１５，１６ 予め製作したア
ルミニウム部材
ルミニウム部材
Claims (2)
- 【請求項１】 予め製作した複数のアルミニウム又はア
ルミニウム合金部材で構成される真空チャンバーを製造
する方法において、前記アルミニウム又はアルミニウム
合金部材の接合面の一方に凸状突出部を設け、もう一方
の部材の接合面に前記凸状突出部に対向する凹溝を設
け、前記凹溝に前記凸状突出部を挿入し圧縮により締
結、接合することを特徴とするアルミニウム又はアルミ
ニウム合金よりなる真空チャンバーの製造方法。 - 【請求項２】 真空チャンバーを構成する予め製作した
アルミニウム又はアルミニウム合金部材が、筒状部材と
板状部材であることを特徴とする請求項１に記載のアル
ミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバー
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16422198A JP3836602B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 真空チャンバーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16422198A JP3836602B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 真空チャンバーの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11342437A true JPH11342437A (ja) | 1999-12-14 |
| JP3836602B2 JP3836602B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=15788982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16422198A Expired - Fee Related JP3836602B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 真空チャンバーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3836602B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005291693A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-10-20 | Showa Denko Kk | 偏平管製造用板状体、偏平管、熱交換器および熱交換器の製造方法 |
| KR100674879B1 (ko) | 2004-09-17 | 2007-01-26 | 주식회사 디엠에스 | 진공 쳄버의 제작 방법 및 그를 이용한 진공 쳄버 |
| US7205550B2 (en) | 2003-01-08 | 2007-04-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron beam apparatus and method for production of its specimen chamber |
| WO2011104865A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
| US8263908B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-09-11 | Furukawa-Sky Aluminum Corp. | Heater plate and a method for manufacturing the heater plate |
| KR101195125B1 (ko) | 2010-05-15 | 2012-10-29 | 엔알티 주식회사 | 조립형 진공챔버 |
| KR20170070543A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 주식회사 씨에이치솔루션 | 실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재 |
| CN108326514A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-07-27 | 广东长盈精密技术有限公司 | 手机中框加工工艺 |
| US11089142B2 (en) | 2018-01-17 | 2021-08-10 | Guangdong Everwin Precision Technology Co., Ltd. | Process of processing middle frame of mobile phone |
-
1998
- 1998-05-28 JP JP16422198A patent/JP3836602B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7205550B2 (en) | 2003-01-08 | 2007-04-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron beam apparatus and method for production of its specimen chamber |
| US7435958B2 (en) | 2003-01-08 | 2008-10-14 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron beam apparatus and method for production of its specimen chamber |
| US7566892B2 (en) | 2003-01-08 | 2009-07-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron beam apparatus and method for production of its specimen chamber |
| JP2005291693A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-10-20 | Showa Denko Kk | 偏平管製造用板状体、偏平管、熱交換器および熱交換器の製造方法 |
| KR100674879B1 (ko) | 2004-09-17 | 2007-01-26 | 주식회사 디엠에스 | 진공 쳄버의 제작 방법 및 그를 이용한 진공 쳄버 |
| US8263908B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-09-11 | Furukawa-Sky Aluminum Corp. | Heater plate and a method for manufacturing the heater plate |
| WO2011104865A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
| JP5403716B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-01-29 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
| KR101195125B1 (ko) | 2010-05-15 | 2012-10-29 | 엔알티 주식회사 | 조립형 진공챔버 |
| KR20170070543A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 주식회사 씨에이치솔루션 | 실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재 |
| CN108326514A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-07-27 | 广东长盈精密技术有限公司 | 手机中框加工工艺 |
| US11089142B2 (en) | 2018-01-17 | 2021-08-10 | Guangdong Everwin Precision Technology Co., Ltd. | Process of processing middle frame of mobile phone |
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|---|---|
| JP3836602B2 (ja) | 2006-10-25 |
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