JP2010050864A - 圧電デバイスの封止方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 スルーホールの体積に適合した体積の共晶金属の封止材をスルーホールに配置して、共晶金属を溶融しパッケージ内部の気密を保つ圧電デバイスの封止方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイスの封止方法は、貫通孔が複数形成されたベース基板を用意する工程(S302)と、貫通孔の少なくとも一つの体積を計測する計測工程(S306)と、体積より小さな体積を有する共晶金属を配置する工程(S310)と、共晶金属を溶融することにより貫通孔を封止する封止工程(S312)と、を備える。
【選択図】 図6
【解決手段】 圧電デバイスの封止方法は、貫通孔が複数形成されたベース基板を用意する工程(S302)と、貫通孔の少なくとも一つの体積を計測する計測工程(S306)と、体積より小さな体積を有する共晶金属を配置する工程(S310)と、共晶金属を溶融することにより貫通孔を封止する封止工程(S312)と、を備える。
【選択図】 図6
Description
本発明は、ベースに設けられたスルーホールを封止する工程を備えた圧電デバイスを形成するための封止方法に関する。
従来、移動体通信機器やOA機器等の小型軽量化及び高周波数化に伴って、それらに用いられる水晶デバイスも、より一層の小型化及び高周波数化への対応が求められている。
圧電振動子はパッケージ内部に圧電振動片を収容し、圧電振動片はパッケージ内の電極部に結合されている。通常パッケージは、ガラス又はセラミックで形成され、内部に所定の内部空間を備えている。パッケージ底部には、パッケージ内部と底部とに貫通するスルーホールが形成されており、スルーホールは共晶金属などで封止されている。
例えば、パッケージを使った封止技術には特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1では、パッケージの上端面にロウ材などの接着剤が塗布され、加熱可能なチャンバー内で上から荷重をかけながら加熱しロウ材などを溶融し、パッケージを圧着させる。そしてパッケージのスルーホールに、金・ゲルマニューム(Au/Ge)合金などの共晶金属を載せ真空中もしくは不活性ガス中のチャンバー内で、レ−ザー光を照射して高温ハンダが溶融されることでパッケージが封止される。
特開2003−158439号公報
特許文献1に開示された封止方法は、パッケージ底部に形成されたスルーホールに、共晶金属を挿入し、レーザー光を照射して共晶金属を溶融し、スルーホールを封止している。しかし、封止方法は個別対応と成り量産性に問題があった。さらに、スルーホールの封止において、スルーホール体積に対し共晶金属の体積が大きすぎる場合は、溶融時にスルーホールから溢れ出た共晶金属が広がり、表面実装面上の電極配線間を短絡させるおそれがある。
またスルーホールの形成においてレーザー加工を採用した場合は、レーザーの入射面側に水晶の溶けだしによる盛り上がり(バリ)が発生しやすい。この状態でパッケージングされた圧電デバイスは実装面側の平坦度が悪くなり、表面実装の際に不具合が発生するおそれがある。
そこで本発明の目的は、スルーホールの体積に適合した体積の共晶金属の封止材をスルーホールに配置して、共晶金属を溶融しパッケージ内部の気密を保つ圧電デバイスの封止方法を提供することである。
また、パッケージの一部と水晶振動片とを水晶で一体的に形成するとともに、スルーホールの形成においてサンドブラスト加工、レーザー加工又はウェットエッチング加工を採用する。このような加工方法で形成されたスルーホールを、ウエハ単位で封止する封止方法を提供する。
また、パッケージの一部と水晶振動片とを水晶で一体的に形成するとともに、スルーホールの形成においてサンドブラスト加工、レーザー加工又はウェットエッチング加工を採用する。このような加工方法で形成されたスルーホールを、ウエハ単位で封止する封止方法を提供する。
第1の観点による圧電デバイスの封止方法は、貫通孔が複数形成されたベース基板を用意する工程と、貫通孔の少なくとも一つの体積を計測する計測工程と、体積より小さな体積を有する共晶金属を配置する工程と、共晶金属を溶融することにより貫通孔を封止する封止工程と、を備える。
この貫通孔の一つの体積を計測してその体積より小さな体積の共晶金属が貫通孔に配置されるため、共晶金属が溶けて貫通孔が封止しても溶けた共晶金属が貫通孔から溢れ出ることがない。
この貫通孔の一つの体積を計測してその体積より小さな体積の共晶金属が貫通孔に配置されるため、共晶金属が溶けて貫通孔が封止しても溶けた共晶金属が貫通孔から溢れ出ることがない。
第2の観点による圧電デバイスの封止方法は、ベース基板、リッドが複数形成されたリッド基板、及び圧電振動片が複数形成された振動片用の基板の3枚の基板を大気中で接合する接合工程、を備え、封止工程は接合された3枚の基板に対して真空中又は不活性雰囲気中で封止する。
真空中又は不活性雰囲気中等のチェンバー内であれば作業性に制限があるが、封止工程では共晶金属を溶融するだけでよい。
真空中又は不活性雰囲気中等のチェンバー内であれば作業性に制限があるが、封止工程では共晶金属を溶融するだけでよい。
第3の観点による圧電デバイスの圧電振動片は、音叉型の圧電振動片又はATカットの振動片である。
第4の観点による圧電デバイスの接合工程は、陽極接合又はシロキサン結合である。
第4の観点による圧電デバイスの接合工程は、陽極接合又はシロキサン結合である。
第5の観点による圧電デバイスの封止方法は、ベース基板は水晶基板であり、水晶基板に形成された貫通孔はウェットエッチングによって形成された一方の面側が三角形であり他方の面が六角形である孔であり、計測工程は、三角形又は六角形の一辺の長さを計測し、この一辺の長さとベース基板の厚みとに基づいて貫通孔の体積を算出する。
貫通孔の断面が六角形又は三角形であれば、その一辺を計測することで貫通孔の体積を求めるため、簡単に体積を算出することができる。
貫通孔の断面が六角形又は三角形であれば、その一辺を計測することで貫通孔の体積を求めるため、簡単に体積を算出することができる。
第6の観点による圧電デバイスの封止方法は、ベース基板に形成された貫通孔は、サンドブラスト、レーザー加工によって形成された一方の面が円形である孔であり、計測工程は、円形の直径を計測し、この直径とベース基板の厚みとに基づいて貫通孔の体積を演算する。
貫通孔の断面が円形であれば、その直径を計測することで貫通孔の体積を求めるため、簡単に体積を算出することができる。
貫通孔の断面が円形であれば、その直径を計測することで貫通孔の体積を求めるため、簡単に体積を算出することができる。
第7の観点による圧電デバイスの封止方法において、レーザー加工によって貫通孔付近に形成されたバリは、エッチング又は研磨で削り取られる。
レーザー加工により貫通孔はバリが発生するため削り取って平坦化する。
レーザー加工により貫通孔はバリが発生するため削り取って平坦化する。
第8の観点による圧電デバイスの封止方法において、貫通孔の内面には共晶金属との濡れ性に優れた金属被覆が設けられている。
そのため溶けた共晶金属は金属皮膜に沿って流れる。
第9の観点による圧電デバイスの封止方法は、共晶金属が球形に形成された金ゲルマニューム合金(AuGe)、金スズ合金(AuSn)、又は金シリコン(AuSi)合金を含む。
そのため溶けた共晶金属は金属皮膜に沿って流れる。
第9の観点による圧電デバイスの封止方法は、共晶金属が球形に形成された金ゲルマニューム合金(AuGe)、金スズ合金(AuSn)、又は金シリコン(AuSi)合金を含む。
本発明の圧電デバイスは、スルーホールの体積に適した体積の共晶金属をスルーホールに配置し共晶金属を溶融するため、溶融時にスルーホールから溢れ出た共晶金属が広がる心配がなく、表面実装面上の電極配線間を短絡させるおそれもない。さらに、圧電デバイスは、リッド及びベース並びに振動片が全てウエハ単位で接合し、そのウエハに共晶金属を配置して同時に封止することができるため、大量に製造することができる。
<第1実施形態;第1圧電デバイス100の構成>
図1は、本実施例の音叉型水晶振動片30を備えた第1圧電デバイス100の概略図を示している。音叉型水晶振動片30は、基部23及び振動腕21を囲む外枠部29を備え、一対の支持腕22から延びる接続部26により外枠部29と接続し、水晶フレーム20を形成した点にある。図1は、分割した状態の第1圧電デバイス100を、リッド10のリッド部側からみた斜視図である。
図1は、本実施例の音叉型水晶振動片30を備えた第1圧電デバイス100の概略図を示している。音叉型水晶振動片30は、基部23及び振動腕21を囲む外枠部29を備え、一対の支持腕22から延びる接続部26により外枠部29と接続し、水晶フレーム20を形成した点にある。図1は、分割した状態の第1圧電デバイス100を、リッド10のリッド部側からみた斜視図である。
図1に示されるように、第1圧電デバイス100は、最上部のリッド10、水晶フレーム20及びベース40から構成される。リッド10及びベース40は水晶材料から形成される。水晶フレーム20は、エッチングにより形成された音叉型水晶振動片30を有している。
第1圧電デバイス100は、音叉型水晶振動片30を備えた圧電フレーム20を中心に、その圧電フレーム20の上にリッド10が接合され、水晶フレーム20の下にベース40が接合されてパッケージ80が形成されている。つまり、リッド10は水晶フレーム20に、ベース40は水晶フレーム20にシロキサン結合(Si−O−Si)する構成になっている。
水晶フレーム20は、その中央部にいわゆる音叉型水晶振動片30と外側に外枠部29とを有しており、音叉型水晶振動片30と外枠部29との間には空間部SPが形成されている。音叉型水晶振動片30の外形を規定する空間部SPはウェットエッチングにより形成されている。音叉型水晶振動片30は、外枠部29と同じ厚さである。
図2(a)は、第1圧電デバイス100を構成するリッド10の内面図であり、(b)は音叉型水晶振動片30を有する水晶フレーム20の上面図であり、(c)はベース40の上面図であり、(d)は(a)から(c)のE−E断面で第1圧電デバイス100を示した断面構成図である。
図2(a)に示されるようにリッド10は、リッド用凹部17を水晶フレーム20側の片面に有している。
図2(b)に示される水晶フレーム20は、音叉型水晶振動片30と、外枠部29と、支持腕22と、接続部36とから構成され、同じ厚さの水晶ウエハに一体に形成されている。音叉型水晶振動片30は一対の振動腕21と基部23とからなる。
水晶フレーム20は、外枠部29と、基部23と、支持腕22と、接続部26とに第1基部電極31及び第2基部電極32を備える。一対の振動腕21は、表面、裏面及び側面に第1励振電極33及び第2励振電極34が形成されており、第1励振電極33は第1基部電極31につながっており、第2励振電極34は第2基部電極32につながっている。音叉型水晶振動片30は、たとえば32.768kHzで発振する振動片で、極めて小型の振動片となっている。
基部23と一対の振動腕21とで成す振動根元部及び基部23と振動腕21と支持腕22とで成す2箇所の支持根元部の形状は、滑らかなU字形状をしている。音叉型水晶振動片30は、音叉型水晶振動片30と同様に振動腕21及び支持腕22の各幅並びに間隙を揃え、各根元部の形状を揃え、さらに各基部の長さを揃えることで、エッチングを行っても左右対称に形成することができ、左右でバランスがとれた構造となる。
振動腕21の先端付近は一定幅で幅広となりハンマー型の形状となっている。ハンマー型の形状部分は金属膜を備えた錘部を形成している。第1基部電極31と第2基部電極32及び第1励振電極33と第2励振電極34は、ともに、150オングストローム〜700オングストロームのクロム(Cr)層の上に400オングストローム〜2000オングストロームの金(Au)層が形成された構成である。クロム(Cr)層の代わりに、チタン(Ti)層を使用してもよく、また金(Au)層の代わりに、銀(Ag)層を使用してもよい。
一対の支持腕22は、基部23の一端から振動腕21が伸びる方向(Y方向)に伸びて接続部26と外枠部29とに接続している。一対の支持腕22は、振動腕21の振動を第1圧電デバイス100の外部へ振動漏れとして伝えづらくさせ、またパッケージ外部の温度変化、または衝撃の影響を受けづらくさせる効果を持つ。
図2(c)に示されるように、ベース40は、ベース用凹部47を水晶フレーム20側の片面に有している。ベース40は、エッチングによりベース用凹部47を設ける際、同時に第1スルーホール41と第2スルーホール43と段差部49とを形成する。ベース40の表面には、第1接続電極42及び第2接続電極44を形成する。ベース40の裏面には、第1外部電極45及び第2外部電極46を形成する。ベース40は第1スルーホール41及び第2スルーホール43並びに段差部49を形成する。段差部49には、第1スルーホール41及び第2スルーホール43と接続する第1接続電極42及び第2接続電極44を形成する。ベース40の底部には、メタライジングされた第1外部電極45及び第2外部電極46が形成されている。
第1スルーホール41及び第2スルーホール43は、その内面に金属膜15が形成され、その内面の金属膜15は、第1接続電極42及び第2接続電極44と同時にフォトリソグラフィ工程で作成される。内面の金属膜15はクロム(Cr)層又はニッケル(Ni)層の上に金(Au)層又は銀(Ag)層が形成される。内面に金属膜15が形成されている。第1接続電極42は、第1スルーホール41を通じてベース40の底面に設けた第1外部電極45に接続する。第2接続電極44は、第2スルーホール43を通じてベース40の底面に設けた第2外部電極46に接続する。
外枠部29の裏面に形成された第1基部電極31と第2基部電極32とは、それぞれベース40の表面の第1接続電極42及び第2接続電極44に接続する。つまり、第1基部電極31は第1外部電極45と電気的に接続し、第2基部電極32は第2外部電極46と電気的に接続している。
図2(d)の概略断面構成図で示されるように、第1圧電デバイス100は,図2(a)に示されるリッド10と(b)に示される水晶フレーム20と(c)に示されるベース40とを重ね合わせ、1個の圧電デバイスをシロキサン結合する前の図を示している。しかし実際の製造においては、図3に示されるように、1枚の振動片用の水晶ウエハVWに数百から数千の水晶フレーム20と、1枚のリッド用水晶ウエハLWに数百から数千のリッド10と、1枚のベース用水晶ウエハBWに数百から数千のベース40とを用意し、それらをウエハ単位で接合して一度に数百から数千の圧電デバイスを製造する。
<第1圧電デバイス100の製造工程>
図3は、リッド10が形成されたリッド用水晶ウエハLWと、音叉型水晶振動片30及び水晶フレーム20が形成された振動片用の水晶ウエハVWと、ベース40が形成されたベース用水晶ウエハBWとを重ね合わせる前の斜視図である。説明の都合上仮想線で、リッド用水晶ウエハLWにリッド10が示され、振動片用の水晶ウエハVWに水晶フレーム20が示され、ベース用水晶ウエハBWにベース40が示されている。なお、振動片用の水晶ウエハVWに対しては、水晶フレーム20と音叉型水晶振動片30とが区別し易いように空間SPが斜線で示されている。
図3は、リッド10が形成されたリッド用水晶ウエハLWと、音叉型水晶振動片30及び水晶フレーム20が形成された振動片用の水晶ウエハVWと、ベース40が形成されたベース用水晶ウエハBWとを重ね合わせる前の斜視図である。説明の都合上仮想線で、リッド用水晶ウエハLWにリッド10が示され、振動片用の水晶ウエハVWに水晶フレーム20が示され、ベース用水晶ウエハBWにベース40が示されている。なお、振動片用の水晶ウエハVWに対しては、水晶フレーム20と音叉型水晶振動片30とが区別し易いように空間SPが斜線で示されている。
重ね合わせる際には、すでにリッド10のリッド用凹部17は水晶エッチングで形成されている。また、ベース40のベース用凹部47が水晶エッチングで形成されており、さらに第1接続電極42及び第2接続電極44も形成されている。音叉型水晶振動片30には第1基部電極31及び第2基部電極32並びに第1励振電極33及び第2励振電極34が形成されている。リッド用水晶ウエハLW、振動片用の水晶ウエハVW及びベース用水晶ウエハBWは、結合面を鏡面状態にしてプラズマ処理又はイオンビームを照射することにより、リッド用水晶ウエハLW、振動片用の水晶ウエハVW及びベース用水晶ウエハBWの結合面を活性化する。
結合面が活性化された夫々の水晶ウエハの大きさは例えば4インチ角である。また夫々の水晶ウエハにはオリエンテーションフラットが形成されているため、3枚の水晶ウエハを正確に位置合わせして重ね合わせる。リッド用水晶ウエハLW、振動片用の水晶ウエハVW及びベース用水晶ウエハBWの結合面は、位置合わせして重ね合わされた後、大気中で100°Cから200°C程度に加熱した状態で加圧する。これによりシロキサン結合で強固に結合しパッケージ80を形成する。図2で説明したように、水晶ウエハ同士のシロキサン結合の際に、第1基部電極31及び第2基部電極32と第1接続電極42及び第2接続電極44ともしっかりと結合する。
パッケージ80を形成後、真空中又は不活性雰囲気中で第1スルーホール41及び第2スルーホール43の封止を行う。第1スルーホール41及び第2スルーホール43の封止の際には、スルーホールの体積を計測する計測工程と、そのスルーホールに適した体積の共晶金属ボール70を配置する工程とが行われる。これらの工程については後述する。
リッド用水晶ウエハLW及びベース用水晶ウエハBW並びに水晶フレーム20が形成された振動片用の水晶ウエハVWの3枚が結合され、第1スルーホール41及び第2スルーホール43の封止されたウエハは、ダイジングソー又はレーザソーで切断して第1圧電デバイス100が完成する。いわゆるパッケージングと電極の配線の接続とが同時に行うことができ、またウエハ単位で製造できるため、生産性を向上させることができる。
<スルーホールの形状>
図4は、ベース40の底面を上にした第1スルーホール41及び第2スルーホール43を示す拡大断面図である。図4では3種類のスルーホールが示されている。図4(a)は、断面が三角形と六角形とに形成されたスルーホールを示す断面図であり、(b)は、サンドブラスト加工により形成されたスルーホールを示す断面図であり、(c)は、レーザー加工により形成されたスルーホールの断面である。
図4は、ベース40の底面を上にした第1スルーホール41及び第2スルーホール43を示す拡大断面図である。図4では3種類のスルーホールが示されている。図4(a)は、断面が三角形と六角形とに形成されたスルーホールを示す断面図であり、(b)は、サンドブラスト加工により形成されたスルーホールを示す断面図であり、(c)は、レーザー加工により形成されたスルーホールの断面である。
図4(a)に示されるベース40は、Zカットされたベース用水晶ウエハBW(図3参照)で形成される。ベース用水晶ウエハBWのA面及びB面には、クロム(Cr)またはニッケル(Ni)などの耐食膜が形成される。そして、A面の耐食膜に円形の開口が形成される。この開口からウェットエッチング材料が入り込みベース用水晶ウエハBWをエッチングする。これにより、第1スルーホール41及び第2スルーホール43が形成される。このときZカットのベース用水晶ウエハBWのエッチング異方性から、第1スルーホール41又は第2スルーホール43のA面では3辺が長く3辺が短い六角形(a−1)の断面になる。B面は三角形の断面となる。
その後、ベース用水晶ウエハBWのA面及びB面から耐食膜を除去する。その後、ベース40のA面には、第1外部電極45及び第2外部電極46が形成される。またベース40のB面に第1接続電極42及び第2接続電極44が形成され、第1スルーホール41又は第2スルーホール43には金属膜15が形成される。
図4(b)に示されるベース40は、サンドブラスト加工によって第1スルーホール41及び第2スルーホール43が形成された例である。サンドブラスト加工ではベース用水晶ウエハBWの異方性は関係がない。ベース用水晶ウエハBWにマスク又はマスクレスで不図示のノズルからA面にサンドを吐出すると、A面が大きな円形断面(b−1)が、B面に小さな円形断面(b−2)が形成される。その後洗浄されて、ベース40のA面には、第1外部電極45及び第2外部電極46が形成される。またベース40のB面に第1接続電極42及び第2接続電極44が形成され、第1スルーホール41又は第2スルーホール43には金属膜15が形成される。
図4(c)は、レーザー加工によって第1スルーホール41及び第2スルーホール43が形成された例である。Zカットされたベース用水晶ウエハBWにフェムトレーザーなどのレーザー加工によって、円形であるスルーホールを形成する。レーザー加工を行うと、レーザーの入射面であるA面側に水晶の溶け出しにより高さBのバリ(盛り上がり)48が発生する。バリ48はこの状態でパッケージングすると実装面側の平坦度が悪くなり、表面実装の際に不具合が発生するおそれがある。このためエッチング又はポリッシュ研磨加工でこのバリ48を平坦に加工する。その後、第1スルーホール41及び第2スルーホール43に図4(c)では描かれていない金属膜15などが形成される。
<スルーホールの封止の方法>
第1第1圧電デバイス100は、シロキサン結合によりパッケージ80を形成後、第1スルーホール41及び第2スルーホール43に共晶金属ボール70(図1参照)として共晶金属の金・ゲルマニューム(Au12Ge)合金を配置し、真空中又は不活性ガス雰囲気中の真空リフロー炉で一定時間加熱されることで封止が行われる。
第1第1圧電デバイス100は、シロキサン結合によりパッケージ80を形成後、第1スルーホール41及び第2スルーホール43に共晶金属ボール70(図1参照)として共晶金属の金・ゲルマニューム(Au12Ge)合金を配置し、真空中又は不活性ガス雰囲気中の真空リフロー炉で一定時間加熱されることで封止が行われる。
図5(a)及び(b)は、第1スルーホール41周辺の拡大図であり、(a)は共晶金属ボール70が溶ける前、(b)は共晶金属ボール70が溶けて第1スルーホール41が封止された状態を示した図である。第2スルーホール43についても同様であるので第2スルーホール43の説明は割愛する。
図5(a)に示されるように、シロキサン結合されたリッド10、水晶フレーム20及び第1圧電ベース40は、上下を逆にして配置される。そして、上を向いた第1スルーホール41に、金・ゲルマニューム(Au12Ge)合金の共晶金属ボール70が配置される。350度前後の真空リフロー炉内で共晶金属ボール70が溶け始め、プレート冶具などが共晶金属ボール70を押しつぶす。第1スルーホール41に金属膜15が形成されているので、溶けた共晶金属は金属膜15に沿って流れ出す。つまり金属膜15が濡れ性を向上させている。
共晶金属ボール70が押しつぶされると、図5(b)に示されるように、第1スルーホール41内に共晶金属ボール70が溶けて広がり第1スルーホール41内を封止する。第1スルーホール41は図4で示されたように各種の形状があり、またエッチング時間によってスルーホールの大きさが変わる。一方、共晶金属ボール70の大きさにもばらつきがあり、上を向いた第1スルーホール41に適切な大きさの共晶金属ボール70を配置しなければ、第1スルーホール41から溢れ出て第1外部電極45に漏れ出てしまったり、第1スルーホール41を完全に封止できなかったりすることがある。このため、適切な大きさの共晶金属ボール70で第1スルーホール41を封止する必要がある。
<適切な大きさの共晶金属ボールによるスルーホールの封止>
図6は、図4(a)で示されたZカットのベース用水晶ウエハBWを用いて第1スルーホール41及び第2スルーホール43を封止するためのフローチャートである。
図6は、図4(a)で示されたZカットのベース用水晶ウエハBWを用いて第1スルーホール41及び第2スルーホール43を封止するためのフローチャートである。
図6のステップS302では、Zカットされた水晶ウエハに三角形又は六角形のスルーホールが複数形成されたベース用水晶ウエハBWと、振動片用の水晶ウエハVWと、リッド用水晶ウエハLWとがシロキサン結合されたパッケージ80のウエハが用意される。ベース用水晶ウエハBWの厚みは予め計測されたり、Zカットされる際に適切な厚さで切断されたりしている。
ステップS304では、第1スルーホール41及び第2スルーホール43の体積を演算する。ウェットエッチングで形成された第1スルーホール41及び第2スルーホール43は、1枚のベース用水晶ウエハBW内ではほぼ同じ大きさであるから、一つ又は数個のスルーホールの体積を測定すれば、その他の多くのスルーホールも同じ体積とみなせる。このため、多くのスルーホールの中からランダムに一つのスルーホールがランダムに選ばれる。数個の平均を計算するため、数個のスルーホールが選ばれてもよい。
ステップS306では、ベース用水晶ウエハBWの第1スルーホール41又は第2スルーホール43の表面の三角形又は六角形の一辺の長さを計測する。図4(a)で示されたようにスルーホールの断面の六角形は正六角形ではないので長い辺の長さを計測することが望ましい。この計測はカメラ又は顕微鏡を使った画像処理によって行われる。また、ステップS302で示されたベース用水晶ウエハBWの厚みがすでに把握されている。そこで、ベース用水晶ウエハBWの厚みと三角形又は六角形の一辺の長さとに基づいて、第1スルーホール41又は第2スルーホール43の体積を演算する。
ステップS308では、第1スルーホール41又は第2スルーホール43の体積より小さな体積の共晶金属ボール70を用意する。一般に共晶金属ボール70の直径は、φ180ミクロン(μ)、φ200μ、φ220μ及びφ240μなどがありこれらが分類されて販売されている。この販売されている分類に従って各直径の共晶金属ボール70を用意しても良い。また、これらの各直径の共晶金属ボール70も、販売段階では±5%程度の範囲で変動がある。このため、直径を計ることにより、例えばφ200μの共晶金属ボール70であれば、φ190μからφ195μの共晶金属ボール70、195μからφ200μの共晶金属ボール70、200μからφ205μの共晶金属ボール70及び205μからφ210μの共晶金属ボール70とさらに細かく分類して、各直径の共晶金属ボールを用意してもよい。このように分類されている共晶金属ボール70から、第1スルーホール41又は第2スルーホール43の体積より小さな体積で、且つ封止するに十分な共晶金属ボール70を用意する。
ステップS310では、六角形の一辺が計測されたベース用水晶ウエハBWが用意される。このベース用水晶ウエハBWは、リッド用水晶ウエハLW、ベース用水晶ウエハBW及び振動片用の水晶ウエハVWの3枚がシロキサン結合してパッケージ80になった状態である。そのベース用水晶ウエハBWに、ステップS308で用意された共晶金属ボール70を配置する。上述したようにウェットエッチングで形成されたスルーホールは、1枚のベース用水晶ウエハBW内ではほぼ同じ大きさであるから、何百ものスルーホールに用意された共晶金属ボール70を一度に配置する。表面が六角形のスルーホールに対して、スルーホールの体積より小さな体積の共晶金属ボール70は容易に収まりやすい。
ステップS312では、スルーホールに共晶金属ボール70を配置したパッケージ80が真空中又は不活性ガス雰囲気中の真空リフロー炉で一定時間所定の温度で加熱される。Au12Ge合金の場合は、350°C〜370°Cの真空中もしくは不活性ガス中の不図示の真空リフロー炉に保持する。この共晶金属ボール70は溶融しても表面張力で球の状態を維持していることが多いため、不図示のプレート冶具を使って共晶金属ボール70を押しつぶされる。これにより共晶金属ボール70が第1スルーホール41又は第2スルーホール43に入り込む。スルーホールの体積よりも共晶金属ボール70の体積が小さいため、プレートで共晶金属ボール70を押しつぶした際にも、溶けた共晶金属ボール70が外部に漏れ出ることはない。これによりパッケージ80内が真空になった又は不活性ガスで満たされた第1圧電デバイス100が完成する。
図7は、図4(b)又は(c)で示されたサンドブラスト加工又はレーザー加工のベース用水晶ウエハBWを用いて第1スルーホール41及び第2スルーホール43を封止するためのフローチャートである。
図7のステップS402では、円形の第1スルーホール41又は第2スルーホール43が複数形成されたベース用水晶ウエハBWと、振動片用の水晶ウエハVWと、リッド用水晶ウエハLWとがシロキサン結合されたパッケージウエハが用意される。ベース用水晶ウエハBWの厚みは予め計測されている。
ステップS404では、ベース用水晶ウエハBWの一つのスルーホールを特定する。直径を計測するサンドブラスト加工又はレーザー加工で形成されたスルーホールも、1枚のベース用水晶ウエハBW内ではほぼ同じ大きさであるからである。直径の平均を計算するのであれば数個のスルーホールを選択する。
ステップS406では、第1スルーホール41又は第2スルーホール43の体積を演算する。サンドブラスト加工又はレーザー加工で形成されたスルーホールは円形であるから、その直径をカメラ又は顕微鏡を使った画像処理によって計測される。必要であれば、数個のスルーホールの直径を計測してその平均を計算するためにしても良い。
第1スルーホール41又は第2スルーホール43の体積を演算されたパッケージ80は、図6で示されたS308の工程に移される。
<第2実施形態;第2圧電デバイス120の構成>
図8は、AT型水晶振動片65を備えた第2圧電デバイス120の概略図を示している。一般的に、高周波数化に対応した圧電振動デバイスとして、AT型水晶振動片65が利用されている。このAT型水晶振動片65は、水晶振動片の厚み方向の上下表面が、それぞれ対抗方向にすべるような振動により、高周波を発生させる。AT型水晶振動片65の周波数は水晶振動片の厚さによって決まり、厚さと反比例の関係にある。
図8は、AT型水晶振動片65を備えた第2圧電デバイス120の概略図を示している。一般的に、高周波数化に対応した圧電振動デバイスとして、AT型水晶振動片65が利用されている。このAT型水晶振動片65は、水晶振動片の厚み方向の上下表面が、それぞれ対抗方向にすべるような振動により、高周波を発生させる。AT型水晶振動片65の周波数は水晶振動片の厚さによって決まり、厚さと反比例の関係にある。
図8(a)は、第2圧電デバイス120の陽極接合を行う概略断面図であり、(b)は、第2リッド10Aの正面図であり、(c)は、第2水晶フレーム60の正面図であり、(d)は、第2ベース40Aの正面図である。パッケージ形成後、スルーホールの体積を計測する計測工程と、スルーホールに演算された体積より小さな体積の共晶金属ボール70を配置する工程とは、第1圧電デバイス100と同一のため説明を省く。
図8(a)は、第2圧電デバイス120のパッケージ接合に陽極接合を行う概略断面図である。第2圧電デバイス120は、第2水晶フレーム60を中心として、第2水晶フレーム60の下に第2ベース40Aが接合され、第2水晶フレーム60の上にリッド用凹部17Aを備えた第2リッド10Aが接合されている。
図8(b)及び(d)に示される第2リッド10Aおよび第2ベース40Aは、パイレックス(登録商標)ガラス及びホウ珪酸ガラスなどのからなり、ナトリウムイオンなどの金属イオンを含有している。第2リッド10Aは、リッド用凹部17Aを第2水晶フレーム60側の片面に有している。第2ベース40Aは、ベース用凹部47Aを第2水晶フレーム60側の片面に有している。第2水晶フレーム60は、水晶エッチングにより形成されたAT型水晶振動片65を有している。
図8(b)及び(d)に示される第2リッド10Aおよび第2ベース40Aは、パイレックス(登録商標)ガラス及びホウ珪酸ガラスなどのからなり、ナトリウムイオンなどの金属イオンを含有している。第2リッド10Aは、リッド用凹部17Aを第2水晶フレーム60側の片面に有している。第2ベース40Aは、ベース用凹部47Aを第2水晶フレーム60側の片面に有している。第2水晶フレーム60は、水晶エッチングにより形成されたAT型水晶振動片65を有している。
図8(c)に示される第2水晶フレーム60の外枠部61は、表面及び裏面に金属膜63を備える。金属膜63は、スパッタリングもしくは真空蒸着などの手法により形成する。金属膜63は、アルミニュウム(Al)層より成り、アルミニュウム層の厚みは1000Å〜1500Å程度とする。
図8(d)に示されるように、第2ベース40Aは、第1スルーホール41A及び第2スルーホール43Aがウェットエッチング加工、サンドブラスト加工又はレーザー加工で形成される。ガラスは等方性であり、これらの加工方法で形成されるスルーホールは円形となる。したがって、図7で示したようにスルーホールの直径を計測することでスルーホールの体積を求めることができる。
第2圧電デバイス120は、AT型水晶振動片65を備えた第2水晶フレーム60を中心として、リッド用凹部17Aを備えた第2リッド10A及びベース用凹部47Aを備えた第2ベース40Aを重ね、大気中で200°Cから400°Cに加熱しながら加圧し、第2リッド10Aの上面をマイナス電位に、外枠部61の表面及び裏面の金属膜63をプラス電位にして、直流電源90を用いて400Vの直流電圧を10分間印加して陽極接合技術により接合しパッケージ80Aが形成される。
パッケージ80Aは、スルーホールの体積より多少体積の小さい共晶金属ボールによって、真空中又は不活性雰囲気中で第1スルーホール41及び第2スルーホール43が封止される。第1スルーホール41及び第2スルーホール43の封止されたパッケージ80Aは、ダイジングソー又はレーザソーで切断して第2圧電デバイス120が完成する。
なお、説明の都合上第2圧電デバイス120は、第2リッド10A、第2ベース40A及びAT型水晶振動片65を備えた第2水晶フレーム60が単体で描かれているが、図3に描かれているようにウエハ単位で製造が行われる。ウエハ単位で製造できるため、生産性を向上させることができる。また、第2リッド10A及び第2ベース40Aがガラスではなく水晶材料を使用する場合には、ATカットのリッド及びベースを用意し、それらを第2水晶フレーム60とシロキサン結合を行うことができる。
以上、本発明の好適実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において上記各実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。たとえば、本発明の音叉型圧電振動片30を有する水晶フレームは、水晶以外にニオブ酸リチウム等の様々な圧電単結晶材料を用いることができる。
また、実施例では共晶金属として共晶金属ボール70にAu12Ge(溶融温度365°C)合金を用いた例で説明したが、金・スズ(Au20Sn)合金(溶融温度278°C)及び金・シリコン(Au3.15Si)合金(溶融温度363°C)のいずれかを用いることができる。
10 … リッド、10A … 第2リッド
15,63 … 金属膜
17,17A … リッド用凹部
20 … 水晶フレーム
30 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 基部
31 … 第1基部電極、 32 … 第2基部電極
33 … 第1励振電極、 34 … 第2励振電極
40 … ベース、 40A … 第2ベース
41、41A … 第1スルーホール、43,43A … 第2スルーホール
42 … 第1接続電極、 44 … 第2接続電極
45 … 第1外部電極、 46 … 第2外部電極
47,47A … ベース用凹部
48 … バリ
60 … 第2水晶フレーム
65 … AT型水晶振動片
70 … 共晶金属ボール
80,80A … パッケージ
90 … 直流電源
100 … 第1圧電デバイス
120 … 第2圧電デバイス
BW … ベース用水晶ウエハ
LW … リッド用水晶ウエハ
VW … 振動片用水晶ウエハ
15,63 … 金属膜
17,17A … リッド用凹部
20 … 水晶フレーム
30 … 音叉型水晶振動片
21 … 振動腕
23 … 基部
31 … 第1基部電極、 32 … 第2基部電極
33 … 第1励振電極、 34 … 第2励振電極
40 … ベース、 40A … 第2ベース
41、41A … 第1スルーホール、43,43A … 第2スルーホール
42 … 第1接続電極、 44 … 第2接続電極
45 … 第1外部電極、 46 … 第2外部電極
47,47A … ベース用凹部
48 … バリ
60 … 第2水晶フレーム
65 … AT型水晶振動片
70 … 共晶金属ボール
80,80A … パッケージ
90 … 直流電源
100 … 第1圧電デバイス
120 … 第2圧電デバイス
BW … ベース用水晶ウエハ
LW … リッド用水晶ウエハ
VW … 振動片用水晶ウエハ
Claims (9)
- 圧電デバイスの封止方法であって、
貫通孔が複数形成されたベース基板を用意する工程と、
前記貫通孔の少なくとも一つの体積を計測する計測工程と、
前記体積より小さな体積を有する共晶金属を前記貫通孔に配置する工程と、
前記共晶金属を溶融することにより、前記貫通孔を封止する封止工程と、
を備えることを特徴とする圧電デバイスの封止方法。 - 前記ベース基板、リッドが複数形成されたリッド基板、及び圧電振動片が複数形成された振動片用の基板の3枚の基板を大気中で接合する接合工程、を備え、
前記封止工程は、前記接合された3枚の基板に対して真空中又は不活性雰囲気中で封止することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの封止方法。 - 前記圧電振動片は、音叉型の圧電振動片又はATカットの振動片であることを特徴とする請求項2に記載の圧電デバイスの封止方法。
- 前記接合工程は、陽極接合又はシロキサン結合であることを特徴とする請求項2に記載の圧電デバイスの封止方法。
- 前記ベース基板は水晶基板であり、前記水晶基板に形成された貫通孔はウェットエッチングによって形成された一方の面側が三角形であり他方の面が六角形である孔であり、
前記計測工程は前記三角形又は六角形の一辺の長さを計測し、この一辺の長さと前記ベース基板の厚みとに基づいて前記貫通孔の体積を演算することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電デバイスの封止方法。 - 前記ベース基板に形成された貫通孔は、サンドブラスト、レーザー加工によって形成された一方の面が円形である孔であり、
前記計測工程は、前記円形の直径を計測し、この直径と前記ベース基板の厚みとに基づいて前記貫通孔の体積を演算することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電デバイスの封止方法。 - 前記レーザー加工によって前記貫通孔付近に形成されたバリは、エッチング又は研磨で削り取られることを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイスの封止方法。
- 前記貫通孔の内面には、前記共晶金属との濡れ性に優れた金属被覆が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の圧電デバイスの封止方法。
- 前記共晶金属が球形に形成された金ゲルマニューム合金(AuGe)、金スズ合金(AuSn)、又は金シリコン(AuSi)合金を含むことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の圧電デバイスの封止方法。
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JP2008214875A JP2010050864A (ja) | 2008-08-25 | 2008-08-25 | 圧電デバイスの封止方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103508414A (zh) * | 2013-09-13 | 2014-01-15 | 华中科技大学 | 一种mems陀螺仪芯片双面阳极键合工艺 |
JP2019153902A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 京セラ株式会社 | 複合基板の製造方法 |
-
2008
- 2008-08-25 JP JP2008214875A patent/JP2010050864A/ja active Pending
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