KR20050121194A - 박막 배터리 - Google Patents

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KR20050121194A
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지-광 장
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로니지. 존슨
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엑셀라트론 솔리드 스테이트 엘엘씨
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Abstract

폴리이미드 서포팅 기판(11), 캐소드 전류 컬렉터(13), 리튬화 전이 금속 산화물 또는 전이 금속 캐소드(14), 전해질(15), 애노드(16), 애노드 전류 컬렉터(17)를 보유하는 재충전가능 박막 리튬 배터리 전지(10)를 제시한다. 폴리이미드 서포팅 기판(11)은 가열 또는 탈수에 의해 수분이 제거된다. 캐소드(14)는 대략 300℃의 상대적으로 낮은 온도에서 어닐링된다.

Description

박막 배터리{THIN FILM BATTERY}
본 발명은 일반적으로 박막 배터리에 관하고, 구체적으로는 재충전 가능한 리튬 이온 배터리에 관한다.
전통적으로, 오늘날의 캐니스터(canister) 타입의 배터리는 카드뮴, 구리, 납, 산성 전해질과 같은 독성 물질을 포함하고 있다. 이런 화학물질들은 현재 정부차원에서 법규로 금지되거나 또는 화합물 제조가 금지되고 있으며, 이런 이유로 배터리 구성 물질로서도 이 독성물질들의 사용이 제한되고 있다. 독성물질들과 관련된 또 다른 한계는 캐니스터 배터리에 의하여 저장되고 전달되는 에너지의 양이 직접적으로 배터리의 크기와 무게에 관련된다는 것이다. 자동차에 있는 것과 같은 큰 배터리는 많은 양의 전류를 만들지만, 매우 낮은 에너지 밀도(Wh/ℓ)와 특정 에너지(specific energy)(W/g)를 가지게 된다. 이런 이유로, 큰 배터리들은 다양한 용도로 사용할 수 있도록 긴 재충전 시간을 필요로 한다.
높은 에너지 밀도와 특정 에너지(specific energy)에 대한 수요를 해결하기 위해, 배터리 산업은 리튬에 기초한 배터리로 전환되어 왔다. 배터리 산업의 주된 관심사는 액체와 폴리머(polymer) 전해질 시스템에 있었다. 그러나 이런 시스템들은 전해질 용액의 휘발성으로 인해 본래부터 안정성의 문제를 가지고 있다. 리튬에 기초한 배터리들은 전류 컬렉터, 분리기, 기판 등에서의 비활성 물질의 구성 비율이 애노드(anode)와 캐소드(cathode)로 사용되는 활성 에너지 저장 물질들에 비해 상대적으로 높다. 또한 상대적으로 높은 내부 임피던스(impedance)는 가능출력(capability)을 낮추며, 이로 인해 배터리들을 많은 다른 용도로 사용하기에는 불충분해 진다.
박막 리튬 배터리는 캐소드(cathode) 전류 컬렉터와 캐소드(cathode)가 설치되는 비활성 세라믹 기판으로 밀집된(stacked) 박막 배열을 가지도록 만들어져 왔다. 고체 상태의 전해질은 캐소드에 증착되고, 애노드는 전해질에 증착되며, 애노드 전류 컬렉터는 애노드에 적재된다. 전형적으로, 전체 전지(cell)에 걸쳐 보호 코팅을 한다. 이런 형태의 리튬 배터리는 미국 특허 Nos. 5,569,520, 5,597,660에 상세히 기술되어 있다. 이런 배터리의 리튬화(lithiated) 캐소드 물질은 도 1에서와 같은 리튬 전지 정렬(003)을 가지고 있으며, 이런 전지(cell) 정렬은 상당한 가능출력(capability) 손실을 유발하는 높은 내부 전지 저항을 발생시킨다.
최근 적절한 조건하에서 기판에 있는 리튬화 캐소드 물질을 가열냉각하면 상당히 강화된 기능을 가지는 배터리가 됨이 발견되었다. 이는 가열냉각이 리튬화 물질을 결정화시키기 때문이다. 이 결정화된 물질은 육방정계의 배열 구조를 가지는데, 이 구조에서 리튬과 코발트 이온들을 포함하는 교차(alternating) 평면들은 면밀하게 압축된 산소 층에 의해 분리된다. 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)과 700℃에서의 가열냉각에 의한 결정화를 이용하여 알루미늄 기판에 설치된 산화 리튬 코발트 박막은 고도한 선택 방위 또는 산소 층과의 짜임새를 보인. 코발트와 리튬은 도 2의 (101) 평면에서와 같은 기판에 대해 일반적으로 전형적인 배열 방위를 이루게 된다. 이런 방위는 리튬 평면이 전류의 방향에 대해 평행으로 배열되어 있어 캐소드를 통해 리튬이온을 고도로 확산시키기 때문에 선택된다. 선택 방위는 어닐링동안 극도의 가열이 하부에 놓여있는 딱딱한 기판 표면에 대해 일반적으로 평행한 방향으로 많은 양의 저항 에너지를 발생시키기 때문에 형성되는 것으로 알려져 있다. 결정들이 본래 최소의 저항에너지를 갖는 방향으로 만들어지듯이, 가열냉각 과정 및 그 결과로 발생된 저항 에너지의 양은 하부에 놓인 기판 표면에 대해 일반적으로 전형적인 방위로 결정 성장을 촉진하는데, 이런 방위는 결정을 통한 이온 확산에 적합한 방위가 된다.
하지만, 이런 배터리들의 한계는 활성 물질의 층이 놓여 있는 기판의 두께와 무게에 있다. 기판의 크기 때문에 이런 배터리들은 에너지 밀도와 특정 에너지(specific energy) 면에서 다른 구조의 배터리에 견줄 수가 없다. 높은 에너지 밀도의 전지(cell)를 만드는 것에 성공한 적은 없다. 서포팅 기판들은 상대적으로 두꺼운 알루미늄, 사파이어, 실리카 글래스(silica glass), 다양한 형태의 세라믹 물질들로 만들어져 왔다. 이런 배터리들의 기판은 전형적으로 총무게의 95% 이상 혹은 그 이상의 부피 비율을 구성하므로, 배터리 무게와 부피 중의 작은 양 만으로도 활성 물질에 영향을 미칠 수 있다. 배터리의 총 무게와 부피에 대한 활성 물질의 비율은 배터리의 용도를 제한한다. 또한, 세라믹 기판 등은 일반적으로 유연성이 없다. 이런 이유로 이런 세라믹 기판들은 "스마트 카드(smart card)"에서와 같이 구부러져야 되는 상황에 사용되는 배터리를 만드는 데에는 이용할 수가 없다.
선행 기술(산화 리튬 코발트 캐소드로 박막 재충전 가능한 리튬 배터리를 만드는 방법이 B. Wang, J.B.Bates, F.X. Hart, B.C. Sales, R.A. Zuhr, J.D. Robertson이 편찬한"The Electrochemical Society" Vol.143 No.10에 기술되어 있다)에 기초하여 볼 때, 600℃ 미만의 온도에서 가열냉각된 산화 리튬 코발트는 미세구조상에서 많은 변화가 없으며, 리튬 방향이 비결정질로 남아있다. 이런 비결정 상태는 산소와 코발트 층을 통한 리튬 이온 확산을 제한하게 되고, 높은 가능출력(capability) 손실을 유발하는 높은 내부 전지(cell) 저항을 발생시킨다.
그러므로 리튬화 캐소드 물질을 가장 효율적인 방위로 가열냉각 시키기 위해서는 캐소드를 딱딱한 기판에 결합하여야 하고, 시간을 연장하기 위해 약 700℃까지 가열하어야 한다고 알려져 있다. 이런 극도의 가열을 필요로 하는 녹는점이 높은 특정 금속만 캐소드 전류 컬렉터로 이용될 있는 것으로 생각되었다. 이런 녹는점이 높은 금속들은 기판 물질과 결합할 수 없다는데 문제가 있었는데, 그 이유는 이런 금속들은 "건조되면(de-wet)"기판에서 작은 풀(pool)을 형성하기 때문이다. 이런 이유로, 캐소드 전류 컬렉터는 금 또는 백금 층으로 도금된 코발트로 만들어져 왔다. 가열냉각 과정 동안 코발트는 금 또는 백금을 통하여 캐소드 물질로 끌려오는 전이 이온이 되고, 금 또는 백금 층은 전류 컬렉터로서 기능하게 된다.
가볍고 녹는점이 낮은 금속과 폴리머(polymer)들은 가열냉각 과정을 견뎌 낼 수가 없어, 결정화된 캐소드를 가지고 있는 박막 리튬 배터리에서는 기판으로 사용될 수 없는 것으로 알려져 있다. 비록 다른 물질들이 리튬 캐소드로 화학적으로 사용될 수 있긴 했지만, 이는 통상적으로 인정되었었다. 또한 폴리머의 수축률 때문에, 폴리머를 박막 배터리를 만드는데 사용하기가 매우 어려운데, 수축은 폴리머와 도금된 배터리 구성물 사이를 분리시키기 때문이다.
그러므로 선행기술에 의한 배터리들보다 더 작고 가벼우며 높은 재충전성의 배터리가 필요하다. 본 발명은 근본적으로 이런 배터리를 제공하는 것에 관한다.
본 발명의 요약
본 발명의 바람직한 형태에서, 박막 리튬 배터리는 폴리아미드 서포팅 기판, 폴리아미드 서포팅 기판에 적재된 캐소드 전류 컬렉터, 캐소드 전류 컬렉터에 결합된 결정화된 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드, 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드에 적층된 전해질, 전해질에 적층된 애노드, 애노드에 결합된 애노드 전류 컬렉터로 구성된다.
도 1은 평면(003)을 따라 배향된 리튬 인터컬레이션 화합물을 도시한다.
도 2는 바람직한 평면(101)을 따라 배향된 리튬 인터컬레이션 화합물을 도시한다.
도 3은 바람직한 구체예에서 본 발명의 원리를 예시하는 박막 리튬 배터리의 단면도이다.
도 4는 서로 다른 캐소드의 x-레이 회절 그래프이다.
도 5A는 700℃에서 어닐링된 박막 배터리의 전압 가능출력 프로필이다.
도 5B는 본 발명에 따른 박막 배터리의 전압 가능출력 프로필이다.
도 3에서는 바람직한 형태로 본 발명의 원리를 구현하는 재충전가능 박막 리튬 배터리 전지(10)를 도시한다. 상기 배터리 전지(10)는 폴리이미드 서포팅 기판(11), 폴리이미드 기판(11)을 코팅하는 패시베이션 층, 캐소드 전류 컬렉터(13), 캐소드 전류 컬렉터(13)에 전기적으로 접촉하도록 적재된 캐소드(14), 캐소드(14)에 적재된 전해질(15), 전해질(15)에 적재된 애노드(16), 애노드(16)에 전기적으로 접촉하도록 적재된 애노드 전류 컬렉터(17)를 보유한다. 폴리이미드 서포팅 기판(11)은 예로써 Kapton의 상품명으로 Dupont에서 제조되는 폴리(피로멜리티미드-1,4-디페닐 에테르)이다. 적절하게는, 서포팅 기판은 25 마이크론 내지 75 마이크론 두께의 FPC-KN Kapton 층이다. 패시베이션 층은 Lipon(리튬 인 옥시니트리드, 전형적으로 Li2.9PO3.3N0.46) 또는 파릴렌이다. 적절하게는, 캐소드 전류 컬렉터는 니켈로 만들어서포팅만, 다른 금속, 예를 들면, 금, 백금, 코발트, 바나듐 또는 망간으로 만들어 질수도 있다. 캐소드(12)는 리튬 인터컬레이션 화합물, 바람직하게는 금속 산화물, 예를 들면, LiCoO2, LiNiO2, V2O5, V6O 13, LiMn2O4, TiS2 또는 다른 유사한 물질로 만들어진다. 적절하게는, 전해질은 고체-상태 전해질(15), 예를 들면, LiPON이다. 적절하게는, 애노드(14)는 주석-니트리드(Sn3N4) 또는 리튬 금속층으로 만들어진다. 최종적으로, 애노드 전류 컬렉터(16)는 구리, 니켈, 금 또는 다른 적절한 금속으로 만들어진다.
적절하게는, 배터리 전지(10)는 아래의 방식으로 제조된다. 폴리이미드 서포팅 기판(11)은 대략 1시간동안 350℃의 온도에 노출시킨다. 이런 방식으로 폴리이미드 서포팅 기판을 가열하여 폴리이미드 서포팅 기판내에 수분 함량을 감소시킨다. 폴리이미드 서포팅 기판의 이런 탈수는 기판(11)이 열에 노출되는 후속의 배터리 전지 구성 단계동안 이의 수축을 현저하게 감소시킨다. 서포팅 기판의 수축 감소는 서포팅 기판 및 위에 깔린 배터리 캐소드 전류 컬렉터 사이에 수축 계수의 차이로 인하여 발생하는 폴리아미드 서포팅 기판에 대한 컬링 효과(curling effect)를 감소시킨다. 미리 가열되거나 탈수된 폴리이미드 서포팅 기판은 아세톤에 담그고, 이후 이소프로판올에서 세척/일소하며 제조 공정에 사용할 때까지 건조 환경에 보관한다.
탈수된 폴리이미드 서포팅 기판(11)은 원상태로, 또는 폴리이미드 서포팅 기판(11) 및 캐소드(14)를 형성하는 리튬 인터컬레이션 화합물이나 리튬 사이의 가능 상호작용을 예방하는 보호 코팅 또는 패시베이션 층과 함께 사용될 수 있다. 이런 패시베이션 층은 배터리의 수명을 증가시킬 수 있다. 패시베이션 층은 LiPON 층 또는 파릴렌 층이다.
그 다음, 니켈이나 금 층을 폴리이미드 서포팅 기판(11)에 증착하여 캐소드 전류 컬렉터(13)를 형성한다. 이런 물질은 고가이기 때문에, 본원에서는 바람직한 구체예로서 니켈을 이용한다. 니켈 캐소드 전류 컬렉터(13)는 5 mtorr 기압의 아르곤으로 니켈 타킷의 DC 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)에 의해 형성된다. 적절하게는, 니켈 캐소드 전류 컬렉터(13)는 0.01 내지 1 마이크론 두께를 갖는다. 니켈 캐소드 전류 컬렉터는 매우 우수한 전도성을 제공하면서 폴리이미드 서포팅 기판에 매우 우수한 접착성을 갖는 것으로 밝혀졌다.
그 다음, 폴리이미드 서포팅 기판과 캐소드 전류 컬렉터(13)의 콤비네이션을 70℃ 초과의 온도에서 대략 15분동안 적외선 램프에 위치시켜 폴리이미드 물질로부터 흡착성 수분을 제거한다. 이후, 캐소드 층(14)을 캐소드 전류 컬렉터(13)에 증착시킨다. 증착 타깃은 30 mtorr의 아르곤 가스를 이용하여 3 W/㎠ RF 파워에서 5분동안 사전-스퍼터링한다. 이후, LiCoO2 층을 캐소드 전류 컬렉터와 폴리아미드 서포팅 기판(11)의 콤비네이션에 대략 1 내지 4 마이크론의 두께로 증착시킨다. LiCoO2는 30 mtorr 기압의 아르곤과 산소(Ar:O2 = 20:1) 혼합물을 이용하여 3 W/㎠ RF 파워로 증착시킨다. 증착 과정동안 도달된 최대 항정 상태 온도는 150℃이다.
LiCoO2 캐소드는 증착 과정동안 낮은 에너지 RF 플라스마에 의해 반복적으로 처리될 수 있다. 1,000 내지 5,000 옹스트롬의 LiCoO2 캐소드가 증착된 이후, 가해지는 파워는 효과적인 스퍼터링이 진행되지 않는 수준까지 떨어진다. 하지만, 기판의 표면에는 충분히 낮은 에너지 플라스마가 여전히 존재한다. 기판 바이어스(bias)(증착 과정동안 가해지는 파워의 1 내지 20%)를 조정하여, 플라스마 처리로 이온 폭발을 증가시키고 LiCoO2 필름을 결정화시킨다. 모든 처리는 새로 증착된 필름의 두께에 따라 1분 내지 30분동안 지속된다. 기판 바이어스는 스퍼터링 과정동안 LiCoO2 층의 스트레스를 효과적으로 조절하는 데에도 이용될 수 있다. LiCoO2 스트레스를 조절하는데 이용될 수 있는 다른 파라미터는 스퍼터링 과정동안 가해지는 파워와 기판 바이어스 사이의 위상차(phase difference)(0 내지 90도)이다. 폴리이미드 기판에 증착된 LiCoO2 필름은 300 내지 350℃ 온도에서 1시간동안 후속 어닐링하여 결정 구조를 강화시킬 수도 있다.
그 다음, LiPON 전해질(15)을 캐소드(14)에 증착시킨다. LiPON 전해질(15) 증착은 질소를 필름 구조를 통합하는 질소 플라스마에서 리튬 오르토포스페이트의 반응성 스퍼터링을 수반한다. 증착 압력은 2 mtorr 내지 40 mtorr이다. 전해질(15) 두께는 1 내지 2 마이크론이고 아래의 방식으로 형성될 수 있다. 콤비네이션 기판, 캐소드 전류 컬렉터와 캐소드는 콤비네이션을 15분동안 70 내지 100℃ 온도로 가열하는 적외선 램프에 위치시켜 기판(11)로부터 수분을 제거한다. 이후, 콤비네이션을 스퍼터링 장치의 로드-락 챔버(load-rock chamber)에 위치시키기에 앞서, 캐소드 층을 CO2 스프레이로 다시 세척하여 임의의 입자를 제거한다. 챔버는 대략 10-7 torr의 기저압력을 보유한다. 스퍼터링 타깃은 5 mtorr의 질소 가스를 이용하여 1.6 W/㎠ RF 파워에서 5분 내지 30분동안 사전-스퍼터링한다. 사전-스퍼터링 과정이후, 배터리 전지 콤비네이션은 로드-락 챔버에서 증착 챔버로 이전한다. 이후, 5 mtorr의 질소 가스를 이용하여 1.6 W/㎠ RF 파워에서 LiPON 전해질(15) 필름을 기판/캐소드 전류 컬렉터/캐소드의 콤비네이션에 증착시킨다.
그 다음, 질소 대기에서 주석 금속 표적의 DC 스퍼터링으로 애노드(16)를 전해질(15)에 증착시킨다. 스퍼터링 챔버의 기저압력은 대략 10-7 torr이다. 생성된 Sn3N4 필름은 0.65 W/㎠의 DC 파워 및 15 mtorr 질소 가스의 처리압력(processing pressure)으로 증착된다. 이후, 금속층을 Sn3N4 애노드의 상부에 증착시켜 애노드 전류 컬렉터(17)를 형성한다.
대안으로, 리튬이 애노드 물질로 사용될 수도 있다. 이런 경우에, 서포팅 기판, 캐소드 전류 컬렉터, 캐소드, 전해질의 완성된 반쪽 전지는 아르곤 충전된 글로버 박스가 구비된 열 증발 챔버로 이전한다. 이후, 리튬 금속을 전해질로 가열 증발시켜 1 내지 3 마이크론 두께의 애노드를 형성한다.
배터리 전지는 패시베이션 층으로 처리하여 주위의 유해 요소로부터 보호할 수 있다. 이런 경우에, 전지는 2 마이크론의 파릴렌 층으로 처리할 수 있는데, 이는 후속의 핸들링, 포장, 벤딩(bending), 실용에서 배터리의 일체성을 강화시킨다.
각 단계의 증착 과정동안 마스크를 활용하여 증착이 진행되는 범위를 조절한다.
상기한 방식으로 제조된 배터리 전지는 폴리이미드 서포팅 기판 및 위에 깔린 배터리 소자 사이에 매우 우수한 접착성을 보유한다. 더 나아가, 300℃ 온도가 LiCoO2의 완전한 결정화를 유도하지 못하지만 본 발명의 배터리 전지는 여전히 우수한 형상과 성능을 보유한다. 도 4에 도시된 바와 같이, "저압화학증착된(as deposited)"필름에 일반적으로 존재하는 비결정성 캐소드 101과 104 반사와 연관된 x-레이 회절에서 작고 넓은 피크 P1과 P2는 본 발명에 따른 캐소드의 피크 P3과 P4에 의해 확인된 바와 같이 완전히 형성된 구조의 피크 위치로 우향한다. 이런 x-레이 회절 데이터는 본 발명의 공정동안 LiCoO2의 300℃ 어닐링이 피크 P5와 P6에 의해 확인되는 700℃에서 어닐링된 LiCoO2 캐소드에서와 동일한 피크 위치 P3과 P4를 보인다는 것을 시사한다. 차이점은 P3과 P4의 상대적 피크 높이가 좀더 높은 온도에서 어닐링된 피크(P5와 P6)에서보다 낮다는 것이다. 이는 본 발명의 공정동안 증착된 LiCoO2 필름이 바람직한 방향으로 충분히 결정화된다는 것을 의미한다.
도 5A에 도시된 700℃의 높은 온도에서 어닐링된 LiCoO2 필름(A 군) 및 도 5B에 도시된 300℃에서 어닐링된 본 발명의 LiCoO2 필름(B 군)은 유사한 가능출력을 보인다. B 군 배터리(300℃)의 평균 가능출력은 A 군 배터리(700℃)보다 대략 20% 낮다. 이런 비교는 가능출력에서 훨씬 큰 차이를 보였던 기존의 저온 공정에 비하여 훨씬 근접한다. 게다가, 이들 두 군의 장기 가능출력 페이드(long-term capacity fade), 다시 말하면, 배터리가 순환되는 횟수 역시 도 5A와 도 5B의 비교에서 확인되는 바와 같이 매우 유사하다. 다시 말하면, 이는 기존의 저온 제조된 캐소드에 비하여 이점을 제공한다.
탈수된 폴리이미드는 모든 수분이 완전히 결핍된 폴리이미드를 의미하지 않는다. 본 명세서에서 탈수된 폴리이미드는 물질내에서 자연적으로 발생하거나 흡수된 수분의 대부분이 가열 과정을 통하여 제거된 폴리이미드를 의미한다.
따라서, 본 발명에서는 기존의 배터리보다 훨씬 가볍고 작은 고출력의 배터리를 제시한다.
인지하는 바와 같이, 아래의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 상기한 특정 구체예의 다양한 개변이 가능하다.

Claims (13)

  1. 폴리이미드 서포팅 기판;
    상기 폴리이미드 서포팅 기판에 적재된 캐소드 전류 컬렉터;
    상기 캐소드 전류 컬렉터에 결합된 결정화된 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드;
    상기 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드에 증착된 전해질;
    상기 전해질에 증착된 애노드;
    상기 애노드에 결합된 애노드 전류 컬렉터를 포함하는 박막 리튬 배터리.
  2. 제 1 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 탈수된 폴리이미드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  3. 제 1 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 폴리(피로멜리티미드-1,4-디페닐 에테르) 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  4. 제 3 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 탈수된 폴리이미드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  5. 제 1 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판 및 결정화된 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드 사이에 위치된 패시베이션 층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  6. 제 5 항에 있어서, 패시베이션 층은 파릴렌 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  7. 제 5 항에 있어서, 패시베이션 층은 리튬 인 옥시니트리드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  8. 폴리이미드 서포팅 기판;
    상기 폴리이미드 서포팅 기판에 증착된 패시베이션 층;
    상기 패시베이션 층에 적재된 캐소드 전류 컬렉터;
    상기 캐소드 전류 컬렉터에 결합된 결정화된 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드;
    상기 리튬 인터컬레이션 화합물 캐소드에 증착된 전해질;
    상기 전해질에 증착된 애노드;
    상기 애노드에 결합된 애노드 전류 컬렉터를 포함하는 박막 리튬 배터리.
  9. 제 8 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 탈수된 폴리이미드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  10. 제 8 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 폴리(피로멜리티미드-1,4-디페닐 에테르) 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  11. 제 10 항에 있어서, 폴리이미드 서포팅 기판은 탈수된 폴리이미드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  12. 제 8 항에 있어서, 패시베이션 층은 파릴렌 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
  13. 제 8 항에 있어서, 패시베이션 층은 리튬 인 옥시니트리드 물질인 것을 특징으로 하는 박막 리튬 배터리.
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