KR20050085929A - 증착 마스크 장착 방법 - Google Patents

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Abstract

OLED의 형성시 박리 가능한 증착 마스크(12)를 통해 재료를 진공 증착시키는데 사용하기 위해 증착 마스크를 가요성 프레임(14)상에 장착하는 방법은 박리 가능한 증착 마스크가 그상에 형성된 플레이트(38)를 제공하는 단계와, 상기 박리 가능한 증착 마스크상의 경계부에 대응하는 프레임 개구를 규정하는 경계부(10)를 갖는 가요성 프레임을 제공하는 단계와, 상기 가요성 프레임의 경계부를 상기 박리 가능한 증착 마스크의 경계부에 정렬한 후 고정시키며, 상기 플레이트로부터 가요성 프레임과 고정된 박리 가능한 증착 마스크를 제거하는 단계와, 계속적인 재료의 진공 증착동안 박리 가능한 증착 마스크의 평탄성을 유지하는 캐리어(26)내로 박리 가능한 증착 마스크를 구비한 가요성 프레임을 장착하는 단계를 포함한다.

Description

증착 마스크 장착 방법{FLEXIBLE FRAME FOR MOUNTING A DEPOSITION MASK}
본 발명은 유기 발광 다이오드(OLED)의 제조 공정에서 기판상에 증착 마스크(deposition mask)를 통해 유기 재료를 증착시키는 것에 관한 것이다.
섀도우 마스크가 산업 분야에서 오랜 기간동안 재료의 증착을 위해 제조 및 사용된 반면, 액티브 매트릭스 유기 발광 다이오드(active matrix organic light emitting diode)에 사용되는 박리 가능한 증착 마스크에 적용하기 위해서는 이전의 제조분야에서 요구되는 것보다 훨씬 높은 정밀도와 정확도가 요구된다.
박리 가능한 증착 마스크를 제조하는데 사용되는 공정은 플레이트상에 박리 가능한 증착 마스크를 형성한다. 박리 가능한 증착 마스크는 금속 화합물을 사용하여 플레이트상에 전기 주조된 후에, 패터닝된 포토레지스트(photo-resist)를 사용하여 화학적으로 에칭된다. 다음에, 박리 가능한 증착 마스크는 플레이트로부터 수작업으로 제거된다. 제거 공정은 우선 한쪽 코너를 들어올리고 플레이트로부터 전기 주조된 재료를 당김으로써 박리 가능한 증착 마스크를 플레이트로부터 박리하는 단계를 포함한다. 상기 공정은 수동 공정이 사람간에 실행될 수 있는 것만큼 일관적이다. 박리 가능한 증착 마스크는 변형에 민감한 얇은 전성 재료로 제조된다. 제거후의 박리 가능한 증착 마스크는 박리 공정의 지향성 인장에 기인하여 구조적인 변형 및 비틀림(curl)을 갖는다. 또한, 박리 가능한 증착 마스크는 박리 가능한 증착 마스크가 플레이트로부터 박리되는 각도의 임의적인 변화 및 불균일한 박리 방향에 의해 영향을 받는다.
박리 가능한 증착 마스크는 현재는 증착 공정에 사용되는 프레임에 장착되어야 한다. 현재, 박리 가능한 증착 마스크는 정렬 장치(공동 양도된 미국 특허 제 US-A-6,475,287 B1 호)를 사용하여 프레임에 수작업으로 장착된다. 박리 가능한 증착 마스크는 우선 수작업으로 프레임에 정렬되어야 한다. 다음으로, 박리 가능한 증착 마스크는 정렬판을 사용하여 가능한 편평하게 유지된다. 접착 스트립을 박리 가능한 증착 마스크 및 증착 프레임의 외면부에 수작업으로 동시에 도포하여 박리 가능한 증착 마스크를 프레임에 접착시키는 공정동안, 정렬판은 이미 비틀리고 구조적으로 변형된 박리 가능한 증착 마스크를 가능한 편평하게 유지하려고 한다. 개별적인 접착 스트립이 도포될 때, 지향성 응력이 박리 가능한 증착 마스크내로 도입된다. 지향성 응력은 장착된 박리 가능한 증착 마스크에 리플(rippling) 또는 웨이브를 발생시킨다. 리플은 증착 공정에 해롭다. 박리 가능한 증착 마스크는 재료의 정확한 증착을 위해 증착 공정동안 기판에 가능한 동일 평면상에 위치해야 한다.
유기 발광 다이오드(OLED)를 제조할 때, 유기층이 기판상에 부착되는 복수의 단계가 있다. 정확한 증착이 일어나도록 박리 가능한 증착 마스크가 정렬되고 적절하게 장착되는 것이 중요하다. 박리 가능한 증착 마스크는 전형적으로 얇은 전성 재료로 제조된 정밀한 마스크이다. 박리 가능한 증착 마스크는 리소그래피로 패터닝되며, 얇기 때문에 유기 재료는 기판상의 적합한 위치에 증착될 수 있다. 박리 가능한 증착 마스크는 기판에 적절하게 장착되고 정렬되어야 한다. 박리 가능한 증착 마스크를 장착하고 정렬하는데 사용되는 표준 기술에 대하여 하기에 설명된다. 종래 기술은 전형적으로 프레임을 사용하며, 프레임에 대해 마스크를 수작업으로 중심설정한다. 테이프는 종종 박리 가능한 증착 마스크를 프레임에 고정시키기 위해 사용된다. 박리 가능한 증착 마스크가 장착된 프레임은 기판에 대한 진공 챔버내에 위치된다.
발명의 요약
본 발명의 목적은 플레이트로부터 박리 가능한 증착 마스크를 제거한 후에 그내의 리플을 최소화하면서 플레이트로부터 박리 가능한 증착 마스크를 제거하기 위한 개선된 방법을 제공하는 것이다.
이러한 목적은, OLED의 형성시 박리 가능한 증착 마스크를 통해 재료를 진공 증착시키는데 사용하기 위해 증착 마스크를 가요성 프레임상에 장착하는 방법에 있어서, ⓐ 박리 가능한 증착 마스크가 그상에 형성된 플레이트를 제공하는 단계와, ⓑ 상기 박리 가능한 증착 마스크상의 경계부에 대응하는 프레임 개구를 규정하는 경계부를 갖는 가요성 프레임을 제공하는 단계와, ⓒ 상기 가요성 프레임의 경계부를 상기 박리 가능한 증착 마스크의 경계부에 정렬한 후 고정시키며, 상기 플레이트로부터 가요성 프레임과 고정된 박리 가능한 증착 마스크를 제거하는 단계와, ⓓ 계속적인 재료의 진공 증착동안 박리 가능한 증착 마스크의 평탄성을 유지하는 캐리어내로 박리 가능한 증착 마스크를 구비한 가요성 프레임을 장착하는 단계를 포함하는 증착 마스크 장착 방법으로 이루어진다.
본 발명의 장점은 프레임상에 장착될 때 박리 가능한 증착 마스크의 리플이 최소화되는 것이다.
추가적인 장점은 박리 가능한 증착 마스크를 플레이트로부터 제거하기 전에 프레임을 박리 가능한 증착 마스크에 접착 고정시킴으로써 프레임 캐리어상에 박리 가능한 증착 마스크를 장착하는 효율적인 방법을 용이하게 한다.
도 1은 제거 전에 플레이트상의 가요성 프레임의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 박리 가능한 증착 마스크용 가요성 프레임 및 캐리어의 분해도,
도 3은 박리 가능한 증착 마스크를 플레이트로부터 제거하는 동안의 가요성 프레임을 도시한 도면.
도 1은 유기 재료를 증착시키는데 필요한 장방형 중앙 개구(36)를 구비하는 경계부(바람직하게는 알루미늄제임)(10)를 갖는 가요성 프레임(14)의 사시도이다. 장방형 가요성 프레임(14)의 하나의 외측 코너에는 손잡이 탭(grip tab)(18)이 위치된다. 도 1에는, 가요성 프레임(14)의 대향 코너의 두 위치에 위치설정 구멍(locator hole)(20)이 있는 것으로 도시되어 있다. 위치설정 구멍(20)은 두 가지 목적을 제공한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 위치설정 구멍(20)은 박리 가능한 증착 마스크(12)의 대향 코너에 위치되는 정렬 타겟(aligment target)(24, 도 2)[가요성 프레임(14)내의 위치설정 구멍(20)에 대응함]과 가요성 프레임(14)을 수작업으로 정렬시키기 위한 가시적인 정렬 구멍으로서 기능을 한다. 본 발명은 가요성 프레임(14)의 경계부(10)를 박리 가능한 증착 마스크의 경계부에 정렬 및 고정시킨다. 이것은 플레이트(38)로부터의 가요성 프레임(14) 및 고정된 박리 가능한 증착 마스크(12)의 제거를 용이하게 한다. 박리 가능한 증착 마스크(12)는 플레이트(38)상에 전기 주조된다.
도 2는 캐리어(26)에 접착 부착되고 장착된 박리 가능한 증착 마스크(12)를 구비하는 가요성 프레임(14)의 분해도를 도시하고 있다. 박리 가능한 증착 마스크(12)는 접착층(16)에 의해 가요성 프레임(14)이 장착되는 정렬 구멍(22)을 구비한다. 가요성 프레임(14)은 도 3에서 상세히 설명되는 바와 같이 박리 가능한 증착 마스크의 제거가 용이하도록 손잡이 탭(18)을 구비한다. 가요성 프레임(14)의 대향 코너에는 박리 가능한 증착 마스크(12)를 정렬시키는데 사용되는 위치설정 구멍(20)이 있다. 박리 가능한 증착 마스크(12)는 가요성 프레임(14)내의 정렬 구멍(22)과 대응하는 박리 가능한 증착 마스크의 대향 코너에 위치한 정렬 타겟(24)을 구비한다. 또한, 분해도에는 가요성 프레임(14)내의 위치설정 구멍(20)과 정렬되는, 중앙 포켓(30)과 대향하는 코너에 위치한 2개의 핀(28)을 구비하는 캐리어(26)가 도시되어 있다. 중앙 포켓(30)은 열팽창을 제한하지 않도록 경계선상에 간극 허용차를 갖는 가요성 프레임(14)을 수용하는 패턴으로 구성된다. 캐리어(26)는 캐리어(26)의 주변 포켓(30)내의 중심 위치에 있는 개구(34)를 구비하는 것으로 도시되어 있다. 이러한 장착 구성은 재료의 계속적인 진공 증착동안 박리 가능한 증착 마스크(12)의 평탄성을 유지시킨다. 열팽창에 의해 야기되는 측방향 이동을 제한하지 않는 방식으로 접착층(16)을 갖는 가요성 프레임(14) 및 박리 가능한 증착 마스크(12)를 캐리어(26)에 편평하게 샌드위칭하는 방법을 제공하는 키퍼(keeper)(32)가 추가적으로 도시되어 있다. 열팽창은 증착 공정동안 발생한다. 유기 발광 다이오드(OLED)를 형성하는 동안 박리 가능한 증착 마스크를 통해 유기 재료를 증착할 때 온도차가 발생한다는 것은 이해될 것이다.
도 3은, 박리 가능한 증착 마스크(12)를 플레이트(38)로부터 박리하는 방식으로 가요성 프레임(14)을 굴곡시키는 손잡이 탭(18)을 수작업으로 들어올림으로써 박리 가능한 증착 마스크(12)를 플레이트(38)로부터 들어올려 박리하도록 가요성 프레임(14)상에 위치한 손잡이 탭(18)을 사용하여 박리 가능한 증착 마스크(12)를 플레이트(38)로부터 제거하는 공정을 도시한다. 제거 공정이 완료되면 박리 가능한 증착 마스크(12)가 접착 부착된 가요성 프레임(14)이 캐리어(30)에 장착될 수 있다.

Claims (5)

  1. OLED의 형성시 박리 가능한 증착 마스크를 통해 재료를 진공 증착시키는데 사용하기 위해 증착 마스크를 가요성 프레임상에 장착하는 방법에 있어서,
    ⓐ 박리 가능한 증착 마스크가 그상에 형성된 플레이트를 제공하는 단계와,
    ⓑ 상기 박리 가능한 증착 마스크상의 경계부에 대응하는 프레임 개구를 규정하는 경계부를 갖는 가요성 프레임을 제공하는 단계와,
    ⓒ 상기 가요성 프레임의 경계부를 상기 박리 가능한 증착 마스크의 경계부에 정렬한 후 고정시키며, 상기 플레이트로부터 가요성 프레임과 고정된 박리 가능한 증착 마스크를 제거하는 단계와,
    ⓓ 계속적인 재료의 진공 증착동안 박리 가능한 증착 마스크의 평탄성을 유지하는 캐리어내로 박리 가능한 증착 마스크를 구비한 가요성 프레임을 장착하는 단계를 포함하는
    증착 마스크 장착 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    사용자가 상기 가요성 프레임 및 고정된 박리 가능한 증착 마스크를 제거하는 것을 용이하게 하는 상기 가요성 프레임상의 손잡이 탭을 제공하는 단계를 더 포함하는
    증착 마스크 장착 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 가능한 증착 마스크에는 프레임 정렬 기준점(fiducial)이 형성되며, 상기 가요성 프레임은 정렬을 용이하게 하도록 상기 박리 가능한 증착 마스크상의 상기 기준점에 대응하는 정렬 구멍을 포함하는
    증착 마스크 장착 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 재료는 유기 또는 무기 재료인
    증착 마스크 장착 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    캐리어내에 상기 가요성 프레임과 상기 박리 가능한 증착 마스크를 샌드위칭하는 키퍼(keeper)를 더 제공하는
    증착 마스크 장착 방법.
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