KR101472128B1 - 새도우마스크 프레임 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조장치 - Google Patents

새도우마스크 프레임 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 효율을 향상시키고, 비용을 줄일 수 있는 새도우마스크 프레임이 개시된다.
개시된 본 발명의 새도우마스크 프레임은 사각 틀 형상으로 이루어진 베이스 프레임과, 베이스 프레임의 가장자리 상에 배치되어 새도우마스크가 고정되는 복수의 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
새도우마스크, 효율, 프레임, 연마, 분할

Description

새도우마스크 프레임 및 이를 이용한 유기전계발광 표시장치의 제조장치{SHADOW MASK FRAME AND APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO-LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 새도우마스크 프레임에 관한 것으로, 특히 효율을 향상시키고, 비용을 줄일 수 있는 새도우마스크 프레임 및 이를 이용한 유기전계발광 표시장치의 제조장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 크게 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel) 및 유기전계발광 표시장치(Organic electro luminescence Display device) 등이 있다.
이들 중 유기전계발광 표시장치는 전자와 정공의 재결합으로 발광물질을 발광시키는 자발광소자이다.
상기 유기전계발광 표시장치는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장 점을 가지고 있다. 또한, 상기 유기전계발광 표시장치는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도 및 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시장치로 기대되고 있다.
상기 유기전계발광 표시장치는 다수의 서브픽셀이 매트릭스 형태로 배열된다. 각 서브픽셀에는 박막 트랜지스터와 유기발광 다이오드소자가 형성된다. 유기발광 다이오드소자는 제1 전극, 유기 발광층 및 제2 전극으로 이루어질 수 있다. 상기 유기 발광층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층을 포함할 수 있다.
상기 유기 발광층은 서브픽셀마다 형성되어야 하는데, 이를 위해 새도우마스크가 사용된다. 즉, 새도우마스크를 기판 상에 정렬한 후, 증착 장비를 이용하여 유기물을 방출시키면, 유기물이 새도우마스크를 부분적으로 투과하여 원하는 위치에 발광층이 형성된다.
상기 새도우마스크는 서로 이격된 다수의 패턴들로 이루어진다.
상기 새도우마스크를 지지하기 위해 지지 사각 틀의 새도우마스크 프레임이 구비된다. 상기 새도우마스크 프레임은 메탈 재질로서, 상기 새도우마스크의 평탄도를 유지시킴과 아울러 새도우마스크의 유동을 방지하는 역할을 한다.
그러나, 종래의 새도우마스크 프레임은 새도우마스크와의 고정(일반적으로 웰딩(Welding)공정을 통해 고정됨) 과정에서 뒤틀림이 발생하여 기판과 새도우마스크의 평탄도를 유지하기 어려운 문제가 있었다.
특히, 새도우마스크 프레임의 국부적인 뒤틀립은 새도우마스크 뿐만 아니라 새도우마스크 프레임도 폐기처리되어 고가의 비용 손실을 발생한다.
본 발명은 새도우마스크 프레임의 효율을 향상시킬 수 있는 새도우마스크 프레임을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 새로운 구조의 새도우마스크 프레임을 적용하여 비용을 줄일 수 있는 유기전계발광 표시장치의 제조장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 프레임은,
사각 틀 형상으로 이루어진 베이스 프레임; 및 상기 베이스 프레임의 가장자리 상에 배치되어 새도우마스크가 고정되는 복수의 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조장치는,
일정한 간격을 두고 슬릿이 형성되어 기판상에 발광물질을 선택적으로 형성시키기 위한 새도우마스크; 및 사각 틀 형상으로 이루어진 베이스 프레임과 상기 베이스 프레임의 가장자리 상에 배치되어 새도우마스크가 고정되는 복수의 지지부를 포함하는 새도우마스크 프레임;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 새도우마스크와 직접 웰딩(Welding)되는 복수의 고정 지지바 및 에지 지지바가 베이스 프레임 상에 배치되어, 웰딩 과정에서 휘어짐 특히, 국부적인 휘어짐 발생 시에 휘어진 고정 지지바 또는 에지 지지바를 교체함으로써, 새도 우마스크 프레임의 효율을 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 새도우 마스크 프레임의 효율을 높일 수 있는 구조를 적용하여 종래와 대비하여 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 및 새도우마스크 프레임을 도시한 분해사시도이고, 도 2는 새도우마스크 프레임을 도시한 분해사시도이고, 도 3은 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 새도우마스크 프레임의 단면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크(100)는 새도우마스크 프레임(130) 상에 고정된다.
새도우마스크(100)는 관통되어 오픈된 영역, 즉 다수의 슬릿(110)이 형성된다. 상기 슬릿(110)은 새도우마스크(100)의 하부에서 상부로 또는 상부에서 하부로 증착하고 하는 물질이 통과될 수 있다.
새도우마스크 프레임(130)은 사각 틀 형태의 베이스 프레임(131)과, 상기 베이스 프레임(131)의 가장자리를 따라 배치된 복수의 고정 지지부(135a, 135b, 135c, 135d)와, 상기 베이스 프레임(131)의 모서리 영역에 배치되는 복수의 에지 지지부(137a, 137b, 137c, 137d)를 포함한다.
상기 베이스 프레임(131), 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)는 메탈재질로 이루어진다.
베이스 프레임(131)은 내측면에 상기 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)를 가이드하는 가이드 돌기(133)가 구비된다.
가이드 돌기(133)는 상기 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)가 베이스 프레임(131)의 내측 방향으로 유동하지 못하게 가이드하는 역할을 한다.
가이드 돌기(133)는 베이스 프레임(131)의 내측면으로부터 상부방향으로 구부러진 구조로써, 상기 베이스 프레임(131)과 일체로 이루어진다.
본 발명의 일 실시예에서는 가이드 돌기(133)가 상기 베이스 프레임(131)의 모서리 영역에서 서로 끊어진 구조로 이루어지지만, 이에 한정하지 않고, 모두 연결된 구조로 이루어질 수도 있다.
고정 지지부(135a 내지 135d)는 상기 베이스 프레임(131)의 가장자리 상부면과 접촉되며, 상기 가이드 돌기(133)의 외측면과 접촉된다.
고정 지지부(135a 내지 135d)는 바타입으로 이루어지고, 상기 가이드 돌기(133)와 동일한 높이로 이루어진다.
도면에는 도시되지 않았지만, 고정 지지부(135a 내지 135d)는 스크류 방식으로 상기 베이스 프레임(131) 상에 고정되며, 상기 스크류(미도시)는 상기 베이스 프레임(131)의 하부면으로부터 상기 베이스 프레임(131)을 관통하여 상기 고정 지지부(135a 내지 135d)를 고정한다.
에지 지지부(137a 내지 137d)는 상기 베이스 프레임(131)의 모서리 상부면 상에 배치되며, 상기 고정 지지부(135a 내지 135d)의 양끝단과 접촉된다.
즉, 에지 지지부(137a 내지 137d)는 상기 고정 지지부(135a 내지 135d)의 양 끝단과 접촉될 수 있도록 구부러진 구조로 이루어진다.
에지 지지부(137a 내지 137d)의 양측면에는 상기 고정 지지부(135a 내지 135d)의 측면과 접촉될 뿐만 아니라 상기 가이드 돌기(133)와 접촉되도록 단차를 가진다.
도면에는 도시되지 않았지만, 에지 지지부(137a 내지 137d)는 스크류 방식으로 상기 베이스 프레임(131) 상에 고정되며, 상기 스크류(미도시)는 상기 베이스 프레임(131)의 하부면으로부터 상기 베이스 프레임(131)을 관통하여 상기 에지 지지부(137a 내지 137d)를 고정한다.
에지 지지부(137a 내지 137d)와 상기 고정 지지부(135a 내지 135d)는 상기 새도우마스크(100) 고정시 평탄도를 유지할 수 있도록 동일한 높이로 이루어진다.
베이스 프레임(131) 상에 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)가 고정되면, 상기 새도우마스크(100)는 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d) 상에 안착되고, 웰딩 방법으로 상기 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d) 상에 고정된다.
본 발명은 새도우마스크(100)의 교체 시에 상기 새도우마스크(100)를 제거하고, 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)의 상부면을 연마하여 새로운 새도우마스크(100)를 웰딩하여 사용한다. 여기서, 가이드 돌기(133)는 상기 고정 지지부(135a 내지 135d) 및 에지 지지부(137a 내지 137d)의 연마 공정 시에 동시에 연마될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 프레 임(130)은 새도우마스크(100)와 직접 웰딩되는 복수의 고정 지지바(135a 내지 135d) 및 에지 지지바(137a 내지 137d)가 구비됨으로써, 웰딩 과정에서의 휘어짐 특히, 국부적인 휘어짐 발생 시에 휘어진 고정 지지바(135a 내지 135d) 또는 에지 지지바(137a 내지 137d) 만을 교체하여 새도우마스크 프레임(130)의 효율을 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 새도우마스크 프레임(130)의 효율을 높일 수 있는 구조를 적용하여 종래와 대비하여 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 프레임에 고정된 새도우마스크를 이용하여 유기전계 발광소자의 제조방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(210) 위에 ITO와 같은 투명금속을 증착하고, 포토 및 식각공정을 통해 상기 투명금속을 선택적으로 제거하여 투명전극(220)을 형성한다.
상기 투명전극(220)상에는 절연층(230)이 형성되고, 상기 절연층(230) 상에 일정한 간격을 두고 수직방향으로 일정한 높이를 가지는 격벽(250)이 형성된다.
상기 격벽(250) 사이에 화소를 형성시키기 위해 본 발명의 새도우마스크 프레임(도1의 130)에 고정된 새도우마스크(100)를 이용하여 적색 발광체(R)를 증착한다.
도면에는 도시되지 않았지만, 새도우마스크(100)를 이용하여 적색 발광체(R)와 동일한 방법으로 녹색 발광체 및 청색 발광체를 순차적으로 증착한다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 및 새도우마스크 프레임을 도시한 분해사시도이다.
도 2는 새도우마스크 프레임을 도시한 분해사시도이다.
도 3은 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 새도우마스크 프레임의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 새도우마스크 프레임에 고정된 새도우마스크를 이용하여 유기전계 발광소자의 제조방법을 나타낸 공정 단면도이다.

Claims (10)

  1. 사각 틀 형상으로 이루어진 베이스 프레임; 및
    상기 베이스 프레임의 가장자리 상에 배치되어 새도우마스크가 고정되는 복수의 지지부를 포함하고,
    상기 지지부는,
    상기 새도우마스크의 가장자리 영역과 고정되는 고정 지지부; 및
    상기 새도우마스크의 모서리 영역과 고정되는 에지 지지부;를 포함하며,
    상기 베이스 프레임에는 상기 고정 지지부 및 상기 에지 지지부의 유동을 방지하기 위한 가이드 돌기가 더 형성되고,
    상기 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 내측면으로부터 상부방향으로 구부러진 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 새도우마스크 프레임.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 고정 지지부 및 상기 에지 지지부는 양끝단이 서로 면접촉되는 것을 특징으로 하는 새도우마스크 프레임.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 일정한 간격을 두고 슬릿이 형성되어 기판상에 발광물질을 선택적으로 형성시키기 위한 새도우마스크; 및
    사각 틀 형상으로 이루어진 베이스 프레임과 상기 베이스 프레임의 가장자리 상에 배치되어 새도우마스크가 고정되는 복수의 지지부를 포함하는 새도우마스크 프레임;을 포함하고,
    상기 지지부는,
    상기 새도우마스크의 가장자리 영역과 고정되는 고정 지지부; 및
    상기 새도우마스크의 모서리 영역과 고정되는 에지 지지부;를 포함하며,
    상기 베이스 프레임에는 상기 고정 지지부 및 상기 에지 지지부의 유동을 방지하기 위한 가이드 돌기가 더 형성되고,
    상기 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 내측면으로부터 상부방향으로 구부러진 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조장치.
  7. 삭제
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 고정 지지부 및 상기 에지 지지부는 양끝단이 서로 면접촉되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
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