JP2005163182A - マスクフレーム組合わせ体、それを利用した基板及びマスク整列方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクフレーム組合わせ体は、複数の蒸着用開口部を有するほか、前記複数の蒸着用開口部の間に一つ以上のピンホールを有するマスクと、前記マスクの一方の側に配置されるマスクフレームと、前記マスクフレームの一方の側であって前記マスクが配置される側面の反対側に配置される整列補助手段とを備えル。前記整列補助手段は、前記マスクに形成された複数の蒸着用開口部に対応する複数の開口部を備え、前記マスクに形成された一つ以上のピンホールに相応する位置に形成された、前記ピンホールの貫通長さより長さの長い一つ以上のピンを備え、そして前記一つ以上のピンが前記一つ以上のピンホールを貫通するように移動可能である。
【選択図】図1
Description
11 ピンホール
13 蒸着用開口部
20 整列補助手段
21 ピン
22 突出部
23 開口部
24 凹溝部
30 マスクフレーム
35 案内部
40 基板
50 マスクホルダー
Claims (15)
- 複数の蒸着用開口部を有するほか、前記複数の蒸着用開口部の間に一つ以上のピンホールを有するマスクと、
前記マスクの一方の側に配置されるマスクフレームと、
前記マスクフレームの一方の側であって前記マスクが配置される面の反対側に配置される整列補助手段と、を備え、
前記整列補助手段が、前記マスクに形成された複数の蒸着用開口部に対応する複数の開口部と、前記マスクに形成された一つ以上のピンホールに相応する位置に形成された、前記ピンホールの貫通長さより長い一つ以上のピンとを備え、前記一つ以上のピンが前記一つ以上のピンホールを貫通するように移動可能なマスクフレーム組合わせ体。 - 前記一つ以上のピンは、前記整列補助手段の複数の開口部のうち互いに隣接した開口部の頂点と頂点の間に配置されることを特徴とする請求項1に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記一つ以上のピンは、前記整列補助手段の複数の開口部のうち互いに隣接した開口部の辺と辺の間にさらに配置されることを特徴とする請求項2に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記ピンホールの形状は前記ピンの断面の形状に相応することを特徴とする請求項1に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記ピンホールの形状は円形であることを特徴とする請求項4に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記ピンの最大断面積の大きさは、そのピンに対応する前記ピンホール断面の大きさより小さいことを特徴とする請求項1に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記ピンの端部は半球状になっており、弾性材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記整列補助手段は、前記一つ以上のピンの長手方向に垂直な方向に直線運動可能なことを特徴とする請求項1ないし7のうちいずれか1項に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記整列補助手段は、前記整列補助手段上の一点を基準に回転運動可能なことを特徴とする請求項8に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記整列補助手段は外側端部に沿って凹溝部を形成する突出部を備え、前記突出部の凹溝部は前記マスクフレームの下端部と噛み合うことを特徴とする請求項1ないし7のうちいずれか1項に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記マスクフレームをチャンバ内に固定装着させる固定手段をさらに含み、前記突出部の凹溝部と前記マスクフレームの下端部とが互いに噛み合う場合、前記固定手段の下部平面は前記整列補助手段の下部平面とほぼ同一平面上に配置されることを特徴とする請求項10に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- 前記整列補助手段の前記ピンとピンの間の断面積は前記基板から遠ざかる方向に狭く形成されることを特徴とする請求項1ないし7のうちいずれか1項に記載のマスクフレーム組合わせ体。
- マスクと被蒸着基板を整列する方法において、
前記マスクに備えられた一つ以上のピンホールにそれぞれ貫通可能な一つ以上のピンを備えた整列補助手段を前記ピンの長手方向に移動させて前記一つ以上のピンが前記ピンホールを貫通して前記被蒸着基板を支持可能にした後、前記ピンの長手方向に垂直な平面上で前記整列補助手段を移動させて、前記被蒸着基板及び前記マスクを整列することを特徴とするマスク及び被蒸着基板の整列方法。 - 前記整列補助手段を利用したマスク及び被蒸着基板の整列は、前記被蒸着基板を移動させて前記被蒸着基板を前記マスクと整列させた以後にさらに行われることを特徴とする請求項13に記載のマスク及び被蒸着基板の整列方法。
- 前記整列補助手段を利用したマスク及び被蒸着基板の整列は、前記整列補助手段が下降しつつ行われることを特徴とする請求項13に記載のマスク及び被蒸着基板の整列方法。
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