CN107805778A - 一种掩膜板承载装置及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及显示器件的制备设备技术领域，公开了一种掩膜板承载装置及蒸镀装置，该掩膜板承载装置包括承载架，承载架包括并行设置的两个支撑板，两个支撑板之间形成有行走间隙，每一个支撑板上均设有多个高于支撑面的基础挡块，每一个支撑板中与行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块，第一挡块形成有朝向行走间隙的第一端、且与行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面，且沿与支撑面垂直的方向，姿态矫正面的高度高于基础挡块的高度。上述掩膜板承载装置中，第一挡块对掩膜板输送小车上的掩膜板的姿态起到调整作用，使掩膜板可以精确地被放置到承载架上，避免掩膜板位置二次调整，有效的提高了工作效率，有利于提高产能。

Description

一种掩膜板承载装置及蒸镀装置

技术领域

本发明涉及显示器件的制备设备技术领域，特别涉及一种掩膜板承载装置及蒸镀装置。

背景技术

高精度金属掩膜模式是现在制备显示器件的常用方式，通过蒸镀方式将有机电致发光材料按照预定程序蒸镀到背板上，利用掩膜板上的图形，蒸镀红、绿、蓝有机物到规定的位置上。目前生产过程中，承载架上的掩膜板使用手动载车进行取放，但由于人为推送手动载车的过程方向不确定性，经常会发生掩膜板不能精确地放置在承载架的确定槽位内，还需要进行二次调整，这样就出现了制备过程的工作效率降低，产能降低等问题。

发明内容

本发明提供了一种掩膜板承载装置及蒸镀装置，该掩膜板承载装置中，在承载架的行走间隙的第二端设置第一挡块，第一档块对掩膜板起限位作用，且第一挡块的姿态矫正面对掩膜板输送小车上的掩膜板的姿态起到调整作用，使掩膜板可以精确地被放置到承载架的限位空间内，避免掩膜板位置二次调整，有效的提高了工作效率，有利于提高产能。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种掩膜板承载装置，包括用于承载掩膜板的承载架，所述承载架包括并行设置的两个支撑板，两个所述支撑板均形成有用于支撑掩膜板的支撑面，两个所述支撑板之间形成有用于掩膜板输送小车行走的行走间隙，且沿所述支撑板的延伸方向，所述行走间隙的第一端形成用于掩膜板输送小车进出的进出口；

每一个所述支撑板上均设有多个高于所述支撑面的基础挡块，且各所述基础挡块朝向所述行走间隙的表面与所述支撑面配合形成用于限定掩膜板位置的掩膜板限位空间；

每一个所述支撑板中与所述行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块，所述第一挡块形成有朝向所述行走间隙的第一端、且与所述行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面，两个所述支撑板设有的第一挡块的姿态矫正面处于同一平面，且沿与所述支撑面垂直的方向，所述姿态矫正面的高度高于所述基础挡块的高度。

上述掩膜板承载装置中，掩膜板输送小车载着掩膜板从行走间隙第一端的进出口进入行走间隙，则掩膜板也会随掩膜板输送小车进入承载架上的掩膜板限位空间，掩膜板输送小车自行走间隙的第一端向行走间隙的第二端移动，即掩膜板输送小车自行走间隙的第一端向前移动，当掩膜板输送小车自行走间隙的第一端向前移动至掩膜板与第一挡块的姿态矫正面刚接触时，第一挡块对掩膜板起到限位作用，另外，此时掩膜板输送小车可以在人为控制下继续向前轻微移动，则第一挡块的姿态矫正面与掩膜板相抵，第一挡块对掩膜板会产生一定的阻力，而掩膜板在受到第一挡块的一定阻力状况下，可以使掩膜板朝向第一挡块的表面与第一挡块的姿态矫正面完全接触贴合，使掩膜板在掩膜板输送小车上的位置姿态起到调整效果。

以当掩膜板在载车上的位置是斜向状态时为例说明，掩膜板在掩膜板输送小车上的位置摆放为斜向状态，则掩膜板与第一挡块刚接触时，由于掩膜板朝向第一挡块表面相对于第一挡块朝向掩膜板的姿态矫正面是斜向的，则掩膜板朝向第一挡块的表面的一端先与第一挡块的姿态矫正面接触，当掩膜板输送小车继续向前轻微移动，则掩膜板与第一挡块相抵，掩膜板受到第一挡块一定的阻力，在第一挡块的阻力下，掩膜板在掩膜板输送小车上发生移动，即，掩膜板在载车上的位置发生变化，掩膜板相对于承载架上的限位空间的位置调正，使掩膜板准确的与承载架上的限位空间对齐，当掩膜板输送小车竖直向下朝向承载架上的限位空间移动，并将掩膜板放置到承载架上的限位空间内时，使掩膜板可以精确地被放置在承载架上的限位空间内，提高了掩膜板放置的精确度，避免对承载架上的掩膜板的位置进行二次调整，提高掩膜板放置工作的工作效率，进而有效提高了蒸镀过程中的工作效率，有利于提高产能。

上述掩膜板承载装置中，在承载架的行走间隙的第二端设置第一挡块，第一档块对掩膜板起限位作用，且第一挡块的姿态矫正面对掩膜板输送小车上的掩膜板的姿态起到调整作用，使掩膜板可以精确地被放置到承载架的限位空间内，避免掩膜板位置二次调整，有效的提高了工作效率，有利于提高产能。

优选地，每一个所述支撑板中，支撑板与所述行走间隙的第二端对应部位设置有一个所述基础挡块，支撑板设有的第一挡块固定于所述支撑板与行走间隙的第二端对应部位设置的基础挡块。

优选地，每一个所述支撑板中，所述第一挡块与所述基础挡块具有一体式结构。

优选地，每一个所述支撑板中，所述第一挡块朝向所述基础挡块的一侧设有卡槽，所述基础挡块朝向所述第一挡块的端部形成卡接部，所述第一挡块和所述基础挡块之间通过所述卡接部与所述卡槽扣合连接。

优选地，每一个所述支撑板中，所述第一挡块通过螺纹连接固定于所述基础挡块。

优选地，所述第一挡块具有的掩膜板姿态矫正面上设有缓冲层。

优选地，所述掩膜板承载装置还包括：

用于安装于掩膜板中与所述行走间隙平行的两个侧边上的第一保护架；和\或，

用于安装于所述掩膜板中与所述行走间隙第二端对应的角部的第二保护架。

优选地，所述第一保护架朝向所述掩膜板的一侧设有缓冲垫；或者，所述第二保护架朝向所述掩膜板的一侧设有缓冲垫。

优选地，所述第一保护架和所述第二保护架均设有用于固定销钉穿过的销钉孔。

本发明还提供了一种蒸镀装置，包括上述技术方案中提供的任意一种掩膜板承载装置。

附图说明

图1为本发明实施例提供的掩膜板承载装置的承载架的俯视示意图；

图2为本发明实施例中载车放置掩膜板的水平移动方向示意图；

图3为本发明实施例中载车放置掩膜板的竖直移动方向示意图；

图4为本发明实施例中当掩膜板在载车上斜向放置且掩膜板接触的正视图；

图5为本发明实施例中当掩膜板在载车上斜向放置且掩膜板接触的俯视图；

图6为本发明实施例中掩膜板在载车上与槽位对齐时的正视图；

图7为本发明实施例中掩膜板在载车上与槽位对齐时的俯视图；

图8为本发明实施例提供的基础挡块与第一挡块连接的方式一的示意图；

图9为本发明实施例提供的基础挡块与第一挡块连接的方式二的示意图；

图10为本发明实施例提供的第二保护架设置的俯视图；

图11为图10中沿A-A向的截面示意图；

图12为本发明实施例提供的第二保护架的结构示意图；

图13为本发明实施例提供的第一保护架设置的俯视图；

图14为图13中沿B-B向的截面示意图；

图15为本发明实施例提供的第一保护架的结构示意图。

图标：1-支撑板；2-掩膜板；3-掩膜板输送小车；4-第一保护架；

5-第二保护架；11-掩膜板限位空间；12-基础挡块；13-第一挡块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本实施例中，为便于说明，根据装置的工作时的放置位置，本实施例中的掩膜板承载装置中沿基础挡块自由端延伸方向所在方向为竖直方向，且基础挡块自由端朝向的方向为上方，则与竖直方向垂直的方向为水平方向；掩膜板输送小车自行走间隙的第一端向行走间隙的第二端移动为向前移动。

请参考图1至图3，本发明实施例提供的一种掩膜板承载装置，包括用于承载掩膜板2的承载架，承载架包括并行设置的两个支撑板1，两个支撑板1均形成有用于支撑掩膜板2的支撑面，两个支撑板1之间形成有用于掩膜板输送小车3行走的行走间隙，且沿支撑板1的延伸方向，行走间隙的第一端形成用于掩膜板输送小车3进出的进出口；每一个支撑板1上均设有多个高于支撑面的基础挡块12，且各基础挡块12朝向行走间隙的表面与支撑面配合形成用于限定掩膜板2位置的掩膜板限位空间11；每一个支撑板1中与行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块13，第一挡块13形成有朝向行走间隙的第一端、且与行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面，两个支撑板1设有的第一挡块13的姿态矫正面处于同一平面，且沿与支撑面垂直的方向，姿态矫正面的高度高于基础挡块12的高度。

上述掩膜板承载装置中，掩膜板输送小车3载着掩膜板2从行走间隙第一端的进出口进入行走间隙，则掩膜板2也会随掩膜板输送小车3进入承载架上的掩膜板限位空间11，掩膜板输送小车3自行走间隙的第一端向行走间隙的第二端移动，即掩膜板输送小车3自行走间隙的第一端向前移动，如图2和图3所示，当掩膜板输送小车3自行走间隙的第一端向前移动至掩膜板2与第一挡块13的姿态矫正面刚接触时，第一挡块13对掩膜板2起到限位作用，另外，此时掩膜板输送小车3可以在人为控制下继续向前轻微移动，则第一挡块13的姿态矫正面与掩膜板2相抵，第一挡块13对掩膜板2会产生一定的阻力，而掩膜板2在受到第一挡块13的一定阻力状况下，可以使掩膜板2朝向第一挡块13的表面与第一挡块13的姿态矫正面完全接触贴合，使掩膜板2在掩膜板输送小车3上的位置姿态起到调整效果。

如图4至图7所示，以当掩膜板2在载车上的位置是斜向状态时为例说明，掩膜板2在掩膜板输送小车3上的位置摆放为斜向状态，则掩膜板2与第一挡块13刚接触时，由于掩膜板2朝向第一挡块13表面相对于第一挡块13朝向掩膜板2的姿态矫正面是斜向的，则掩膜板2朝向第一挡块13的表面的一端先与第一挡块13的姿态矫正面接触，当掩膜板输送小车3继续向前轻微移动，则掩膜板2与第一挡块13相抵，掩膜板2受到第一挡块13一定的阻力，在第一挡块13的阻力下，掩膜板2在掩膜板输送小车3上发生移动，即，掩膜板2在载车上的位置发生变化，掩膜板2相对于承载架上的掩膜板限位空间11的位置调正，使掩膜板2准确的与承载架上的掩膜板限位空间11对齐，当掩膜板输送小车3竖直向下朝向承载架上的掩膜板限位空间11移动，并将掩膜板2放置到承载架上的掩膜板限位空间11内时，使掩膜板2可以精确地被放置在承载架上的掩膜板限位空间11内，提高了掩膜板2放置的精确度，避免对承载架上的掩膜板2的位置进行二次调整，提高掩膜板2放置工作的工作效率，进而有效提高了蒸镀过程中的工作效率，有利于提高产能。

上述掩膜板承载装置中，在承载架的行走间隙的第二端设置第一挡块13，第一档块对掩膜板2起限位作用，且第一挡块13的姿态矫正面对掩膜板输送小车3上的掩膜板2的姿态起到调整作用，使掩膜板2可以精确地被放置到承载架的掩膜板限位空间11内，避免掩膜板2位置二次调整，有效的提高了工作效率，有利于提高产能。

具体地，每一个支撑板1中，支撑板1与行走间隙的第二端对应部位设置有一个基础挡块12，支撑板1设有的第一挡块13固定于支撑板1与行走间隙的第二端对应部位设置的基础挡块12。第一挡块13设置在支撑板1与行走间隙的第二端对应部位的基础挡块12上，在每一个支撑板1中，使支撑板1与行走间隙的第二端对应部位的基础挡块12沿基础挡块12的自由端方向加长，即，相对于本实施例的掩膜板承载装置的工作放置位置，第一挡块13在相应的基础挡块12上方，上述第一挡块13的设置方式简单可靠，且利于简化装置。

具体地，第一档块连接于基础挡块12的方式有多种选择，如：

方式一

如图8所示，每一个支撑板1中，第一挡块13与基础挡块12具有一体式结构。。第一挡块13与基础挡块12做成一体式结构，结构简单可靠，稳固性好，有利于当第一挡块13与掩膜板2相抵时保证第一挡块13的稳固性，利于准确的调整掩膜板2的位置，使掩膜板2精确地与掩膜板限位空间11相对。

方式二

如图9所示，每一个支撑板1中，第一挡块13朝向基础挡块12的一侧设有卡槽，基础挡块12朝向第一挡块13的端部形成卡接部，第一挡块13和基础挡块12之间通过卡接部与卡槽扣合连接。第一挡块13与基础挡块12扣合卡接，简单可靠，且便于第一挡块13在基础挡块12上安装、拆卸，增加第一挡块13的使用灵活性。

方式三

每一个支撑板1中，第一挡块13通过螺纹连接固定于基础挡块12。在基础挡块12自由端的端面设置至少两个螺纹孔，且在第一挡块13与基础挡块12相对的表面设置于螺纹孔一一对应的通孔，使用至少两个螺钉贯穿通孔与螺纹孔配合连接以将第一挡块13与基础挡块12固定在一起，结构稳固可靠，有利于第一挡块13有利于当第一挡块13与掩膜板2相抵时保证第一挡块13的稳固性，利于准确的调整掩2膜板的位置，使掩膜板2精确地与掩膜板限位空间11相对。

具体地，第一挡块13具有的掩膜板姿态矫正面上设有缓冲层。缓冲层可以为包括橡胶材料的橡胶层，当掩膜板2与第一挡块13接触，并继续朝向第一挡块13移动时，掩膜板2与缓冲层相抵，缓冲层对掩膜板2起到保护作用，防止掩膜板2边侧被损坏。

具体地，掩膜板承载装置还包括：用于安装于掩膜板2中与行走间隙平行的两个侧边上的第一保护架4；和\或，用于安装于掩膜板2中与行走间隙第二端对应的角部的第二保护架5。在掩膜板2放置过程中，将第一保护架4安装在掩膜板2中与行走间隙平行的两个侧边上，或，将第二保护架5安装在掩膜板2中与行走间隙第二端对应的角部，或者，同时将第一保护架4和第二保护架5分别安装在掩膜板2中与行走间隙平行的两个侧边上和掩膜板2中与行走间隙第二端对应的角部。保护架安装于掩膜板2的周侧的侧边，当掩膜板2出现异常接触碰撞或其他接触碰撞时，避免掩膜板2被损坏，利于掩膜板2放置的平整性，使掩膜板2可以准确的放置在槽位内，利于提高蒸镀时的蒸镀效果。

其中，如图13至图15所示，将第一保护架4安装在掩膜板2中与行走间隙平行的两个侧边上。第一保护架4可以避免在发生异常碰撞情况时掩膜板2被损坏，保证掩膜板2放置的平整性，使掩膜板2可以准确的放置在槽位内。如图10至图12所示，将第二保护架5安装在掩膜板2中与行走间隙第二端对应的角部。在掩膜板2与第一挡块13接触相抵时，第二保护架5对掩膜板2起保护作用，避免掩膜板2在与第一挡块13的碰撞中损坏，保证掩膜板2放置的平整性，使掩膜板2可以准确的放置在掩膜板限位空间11内。

具体地，第一保护架4朝向掩膜板2的一侧设有缓冲垫；或者，第二保护架5朝向掩膜板2的一侧设有缓冲垫。缓冲垫可以为包括橡胶材料的橡胶垫，缓冲垫可以在当掩膜板2发生碰撞时起到缓冲作用，进而对掩膜板2起到保护作用。

具体地，第一保护架4和第二保护架5均设有用于固定销钉穿过的销钉孔。第一保护架4和第二保护架5均通过固定销钉固定于掩膜板2，使用固定销钉将第一保护架4或第二保护架5上的销钉孔第一保护架4或第二保护架5固定于掩膜板2上，方式简单可靠，且安装、拆卸方便。

本发明实施例还提供了一种蒸镀装置，包括上述实施例中提供的任意一种掩膜板承载装置。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种掩膜板承载装置，包括用于承载掩膜板的承载架，其特征在于，所述承载架包括并行设置的两个支撑板，两个所述支撑板均形成有用于支撑掩膜板的支撑面，两个所述支撑板之间形成有用于掩膜板输送小车行走的行走间隙，且沿所述支撑板的延伸方向，所述行走间隙的第一端形成用于掩膜板输送小车进出的进出口；

每一个所述支撑板上均设有多个高于所述支撑面的基础挡块，且各所述基础挡块朝向所述行走间隙的表面与所述支撑面配合形成用于限定掩膜板位置的掩膜板限位空间；

每一个所述支撑板中与所述行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块，所述第一挡块形成有朝向所述行走间隙的第一端、且与所述行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面，两个所述支撑板设有的第一挡块的姿态矫正面处于同一平面，且沿与所述支撑面垂直的方向，所述姿态矫正面的高度高于所述基础挡块的高度。

2.根据权利要求1所述的掩膜板承载装置，其特征在于，每一个所述支撑板中，支撑板与所述行走间隙的第二端对应部位设置有一个所述基础挡块，支撑板设有的第一挡块固定于所述支撑板与行走间隙的第二端对应部位设置的基础挡块。

3.根据权利要求2所述的掩膜板承载装置，其特征在于，每一个所述支撑板中，所述第一挡块与所述基础挡块具有一体式结构。

4.根据权利要求2所述的掩膜板承载装置，其特征在于，每一个所述支撑板中，所述第一挡块朝向所述基础挡块的一侧设有卡槽，所述基础挡块朝向所述第一挡块的端部形成卡接部，所述第一挡块和所述基础挡块之间通过所述卡接部与所述卡槽扣合连接。

5.根据权利要求2所述的掩膜板承载装置，其特征在于，每一个所述支撑板中，所述第一挡块通过螺纹连接固定于所述基础挡块。

6.根据权利要求1-5任一项所述的掩膜板承载装置，其特征在于，所述第一挡块具有的掩膜板姿态矫正面上设有缓冲层。

7.根据权利要求1-5任一项所述的掩膜板承载装置，其特征在于，还包括：

用于安装于掩膜板中与所述行走间隙平行的两个侧边上的第一保护架；和\或，

用于安装于所述掩膜板中与所述行走间隙第二端对应的角部的第二保护架。

8.根据权利要求7所述的掩膜板承载装置，其特征在于，所述第一保护架朝向所述掩膜板的一侧设有缓冲垫；或者，所述第二保护架朝向所述掩膜板的一侧设有缓冲垫。

9.根据权利要求7任一项所述的掩膜板承载装置，其特征在于，所述第一保护架和所述第二保护架均设有用于固定销钉穿过的销钉孔。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的掩膜板承载装置。