CN105543778A - 沉积用掩模安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种沉积用掩模安装装置，本发明的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，形成有用于安装所述掩模的下面的安装面和对所述掩模的侧面进行加压的加压面，在所述安装部中，所述加压面与在安装所述掩模时下降的安装面联动而对所述掩模进行加压，从而将所述掩模移送至安装位置上。由此，本发明提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。

Description

沉积用掩模安装装置

技术领域

本发明涉及一种沉积用掩模安装装置，更为详细地涉及一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。

背景技术

以数字融合及普适(Ubiquitous)为代表的信息技术的革命，带来了电子设备飞快的发展。其中，构成核心的技术之一是显示技术。最近，对具有进一步优异的可视性、低成本及低耗电的显示器的要求逐渐增加。随之，PDP(PlasmaDisplayPanel，等离子显示板)、液晶显示装置(LCD：LiquidCrystalDisplay)及有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)备受关注。

有机发光二极管为电流流过就发光的自发光装置，响应速度相比液晶显示器快千倍以上，并且视角较宽。此外，无需液晶显示装置所需的背光及滤色镜等，并且实现为柔性显示器，而且不仅在性能方面，还在配件价格方面也具有很大的优点。

在有机发光二极管的制作中使用的有机薄膜在高真空状态下采用真空沉积方式在基板的表面上依次形成。为了形成有机发光二极管的全彩显示器(fullcolordisplay)，必须具备一种高精细(finepitch)沉积图案。为了形成这种沉积图案，使用形成有图案的掩模。为了提高沉积图案的精度，不仅掩模本身的图案要精密，并且使基板和掩模在机械方面精密对准(alignment)也非常重要。因此，首先固定掩模后，在掩模上精确对准基板。

图1为以往的沉积用掩模固定装置的示意的立体图，图2为表示图1所示沉积用掩模固定装置的掩模被固定的状态的图。

参照图1及图2，以往的沉积用掩模固定装置10包括设置在板状构架上的安装部11和加压部12等的结构。当通过掩模输送臂(未图示)投入掩模M时，安装部11向上方移动而在上面安装掩模M，之后，使掩模M向构架上面移动。之后，加压部12将掩模M向固定销侧加压，从而将掩模最终固定。

但是，这种以往的沉积用掩模固定装置10，为了设置加压部12等的结构需要一种更大面积的构架，并且，还需要用于驱动加压部12的电机、用于控制安装部11和加压部12之间相互动作的控制装置等。因此产生装置的结构复杂，并且需要额外的动力，工艺复杂及用于驱动装置的电路复杂等的问题。

发明内容

因此，本发明是为了解决所述以往的问题而提出的，其目的是提供一种沉积用掩模安装装置，该沉积用掩模安装装置的结构简单，并且在安装部件上安装掩模时，在无需额外动力的情况下，将掩模自动安装到安装位置上。

所述目的通过本发明的沉积用掩模安装装置来实现，本发明的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，包括：安装部件，在安装所述掩模时，使所述掩模下降；及加压部件，与所述安装部件联动而对所述掩模的侧面进行加压，从而将所述掩模移送并安装于安装位置上。

在此，优选所述安装部件通过安装的所述掩模的荷载转动规定角度，所述加压部件与所述安装部件联动而转动，从而移动至所述掩模的侧面。

在此，优选所述安装部进一步包括：连接部件，用于将所述安装部件和所述加压部件彼此连接，所述连接部件设置为能够转动。

在此，优选在所述基底上形成有收容槽，所述安装部进一步包括：固定部件，设置在所述收容槽中，所述连接部件可转动地结合到所述固定部件。

在此，优选所述安装部进一步包括：辊部，设置在所述安装部件或所述加压部件中的至少一个的端部上，并且设置为能够旋转。

在此，优选所述辊部包括：第一辊，形成有用于安装所述掩模的安装面，用于使与所述第一辊的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及第二辊，形成有用于加压所述掩模的加压面，用于将在所述第二辊的外表面上安装的所述掩模引导至所述安装面侧。

在此，优选所述安装部进一步包括：旋转球部，形成为球状，定位在所述安装部件的内部并能够转动，所述旋转球部的一部分裸露在所述安装部件的外部以形成用于安装所述掩模的安装面，所述旋转球部用于使与所述旋转球部的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及辊轮，形成在所述加压部件的端部，形成有用于加压所述掩模的加压面，用于将安装的所述掩模引导至所述安装面侧。

根据本发明，提供一种沉积用掩模安装装置，该沉积用掩模安装装置的结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动地安装在安装位置上。

此外，安装在安装部上的掩模向基底侧下降的同时侧面被加压，因此能够精密及简单地安装掩模。

此外，当掩模输送臂未能在安装面上安装掩模时，由于辊轮将掩模引导至安装面上，因此即使没有额外的移动装置也能安装掩模。

此外，随着装置的结构总体的简化，无需用于驱动装置的电路，并且不会产生因与其他结构的相对位置带来的制约等问题。

附图说明

图1为以往的沉积用掩模安装装置示意的立体图，

图2为表示在图1所示沉积用掩模安装装置中掩模的安装动作的图，

图3为本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置的示意的立体图，

图4为图3所示沉积用掩模安装装置的主视图，

图5为图示图3所示沉积用掩模安装装置的安装部的图，

图6为表示在图3所示沉积用掩模安装装置中掩模的安装位置产生误差时状态的图，

图7为表示图3所示沉积用掩模安装装置的运行的图，

图8为本发明的另一实施例的沉积用掩模安装装置的立体图。

附图标记说明

100:沉积用掩模安装装置110:基底

111:收容槽120:安装部

121:安装部件122:加压部件

123:连接部124:固定部

130:辊部131:第一辊

132:第二辊133:旋转球部

M:掩模S:安装面

P:加压面

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置进行详细说明。

本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置涉及一种在安装部件上安装掩模时，将掩模自动地安装在安装位置上，从而装置的结构简单，并且无需用于安装掩模的额外动力的沉积用掩模安装装置。

图3为本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置示意的立体图，图4为图3所示沉积用掩模安装装置的主视图，图5为图3所示沉积用掩模安装装置的主要部分的放大图。

参照图3～图5，本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置包括基底110、设置在基底110的收容槽111上的安装部120及设置在安装部120上的辊部130。

在进行说明之前，对本实施例中使用的掩模M简单说明如下，即所述掩模M包括形成有微细图案的图案部及具有规定厚度的边缘部，所述边缘部安装在图案部的周围，用于固定图案部。图案部为使沉积原料通过的区域，故其前后面不能被阻断，因此，在本实施例的沉积用掩模安装装置安装掩模M的边缘。

基底110用于在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模M的结构，设置为平板状，在本实施例中设置为具有比掩模M的面积大的面积，以使所述基底110能够稳定地安装掩模M的边缘部分。

基底110形成有多个收容槽111。收容槽111形成为从基底110的上面向内侧凹陷规定深度，在收容槽111内设置有安装部120。在本实施例中形成有四个收容槽111，以对掩模M的两侧面进行加压从而将掩模安装在基底110的上面，但收容槽111的数量不受限制。

另外，在基底110的中央部形成有贯通孔，从而能够使沉积原料通过。本实施例中的沉积装置为向上式沉积装置，从基底110的下方向上方释放沉积原料，因此在基底110的中央部形成有贯通孔，使得沉积原料通过安装在基底110的上面的掩模M向基板侧移动并被沉积。

此外，在基底110上可设置有升降部(未图示)。升降部(未图示)为如下的结构：当通过掩模输送臂(未图示)被投入到基底110上方的掩模M安装于所述升降部(未图示)时，升降部(未图示)下降并将掩模M安装在安装部120上。只是，也可设置为使掩模输送臂(未图示)将掩模M安装在安装部120上，此时可以不需要升降部(未图示)。

图5为图示图3所示沉积用掩模安装装置的安装部的图。参照图5，安装部120为当在安装部件121上安装掩模M时，将掩模M自动地安装在基底110上面的安装位置上的结构，安装部120包括安装部件121、加压部件122、连接部件123及固定部件124。

安装部件121为用于形成安装面S的结构，该安装面S用于安装通过掩模输送臂(未图示)被投入到基底110上方的掩模M，设置在收容槽111上。安装部件121配置为多个并且向上支撑掩模M的下面边缘，从而形成安装面S。

在安装掩模之前，安装面S形成在基底上面的上方。当掩模输送臂(未图示)投入掩模M时，实际上不可能在安装位置上精密地安装，因此需要将安装在基底110上面的掩模M向安装位置侧加压而使之移动。在本实施例中，安装部件121和加压部件122联动而转动，从而安装面S和加压面P联动旋转，因此安装面S形成在基底上面的上方，从而随着加压面P向掩模M的侧面移动，能够使安装面S向基底110的上面侧移动。

另外，安装部件121设置为可转动规定角度，从而能够使安装在安装面S上的掩模M与基底110的上面接触。即，安装部件121连接于通过铰接等方式可转动地结合于固定部124的连接部123而可转动规定角度，当在安装面S上安装掩模M时，通过掩模M的荷载安装部件121转动规定角度，从而使安装面S位于与基底110的上面相同的区域。

此时，优选安装部件121受到向上方的弹性支撑。当在安装面S上安装有掩模M时，安装部件121以连接部123为轴转动规定角度，从而被完全收容在收容槽111上，当没有安装掩模M时，由于安装面S应形成在基底110的上方，因此优选安装部件121受到向上方的弹性支撑，从而使安装部件121从基底上面凸出。

加压部件122为用于对掩模M的侧面进行加压，从而将掩模M移送至安装位置侧以进行安装的结构，其形成有加压面P。加压部件122的一端与连接部123连接，从而设置为可转动规定角度，并且与安装部件121联动而将加压面P移动至掩模M的侧面侧。即，加压部件122随着安装部件121的转动而转动，并对掩模M的侧面进行加压。

另外，加压部件122优选配置为安装面S和加压面P之间的角度具有与在掩模M接触基底110上面时的掩模的下面和侧面之间的角度对应的角度。从而，能够在安装位置上更为精密地安装掩模M。

综上，加压部件122设置为与安装部件121联动而转动，从而通过安装在安装面S上的掩模M使安装部件121转动，并且随着安装部件121的转动，加压部件122转动并对掩模M的侧面进行加压，从而将掩模M安装在安装位置上。

另外，在本实施例中以掩模M具有规定厚度的边缘部，并且与安装部件121及加压部件122进行表面接触为例对安装面S及加压面P进行了说明，但当掩模M的边缘部很薄时也可进行线接触，本发明并不局限于上述用语。

连接部123为用于使安装部件121和加压部件122可转动规定角度的结构，分别与安装部件121和加压部件122的一端部连接。连接部123与被收容在收容槽111上的固定部124可转动地结合，从而连接部123设置为可转动。只是，需要说明的是，连接部123并不必须与固定部124连接，也可在收容槽111的内部与基底110直接连接，但是由于设置在固定部124上，能够实现更为坚固的设置，从而能够防止转动轴的下垂现象。

固定部124为用于防止安装部件121和加压部件122从基底110中脱离，并且使安装部件121和加压部件122可转动规定角度的结构，固定部124固定设置在收容槽111上。固定部124上形成有插入孔，连接部123插入于所述插入孔中并可转动。

图6为表示在图3所示沉积用掩模安装装置中掩模的安装位置产生误差时的状态的图。参照图6，辊部130为用于使掩模M更为容易地移动至安装位置上的结构，包括第一辊131和第二辊132。

第一辊131用于使与基底110上面接触的掩模M更为容易地移动至安装位置上的结构，设置在安装部件121的端部。第一辊131设置为可旋转，当设置有第一辊131时，第一辊131形成安装面S。

在安装面S上安装掩模M时，掩模M被安装在第一辊131的一区域上，并且因掩模M的荷载，安装部件121转动并被收容在收容槽111的内部，由此掩模M与基底110的上面接触。与此同时，加压部件122加压掩模M的侧面，使掩模M移动至安装位置上，此时，通过第一辊131易于使掩模M移动。

第二辊132为用于当通过掩模输送臂(未图示)投入的掩模M因误差未能安装在安装面S上时，使掩模M自动地安装在安装面S上的结构。第二辊132可旋转地设置在加压部件122的端部上。如图6所示，当掩模输送臂(未图示)的运行误差导致掩模M被安装在加压部件122的上面，而不安装在安装部件121上时，掩模M通过可旋转地设置的第二辊132自动地安装在安装部件121即安装面S上。

下面，对本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置的运行进行详细说明。

图7为表示图3所示沉积用掩模安装装置的运行的图。

首先，通过掩模输送臂(未图示)，掩模M位于基底110的上方。之后，通过升降部(未图示)的升降，掩模M被安装在升降部(未图示)上，掩模输送臂(未图示)移到装置外部。

在升降部(未图示)下降后，掩模M被安装在通过安装部件121或第一辊131形成的安装面S上。

当掩模M安装在安装面S上时，安装部件121通过掩模M的荷载以连接部123为基准进行转动而被完全收容在收容槽111中，由此掩模M与基底110的上面接触。与此同时，与安装部件121联动的加压部件122以连接轴123为中心进行转动而对掩模M的侧面进行加压。

掩模M在与基底110接触的状态下，被加压部件122加压而移送至安装位置侧。此时，通过第一辊131，掩模M的移动更为容易。

在安装位置上，通过加压部件122加压掩模M的两侧面，最终在基底110上安装掩模M。

因此，本发明提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。

下面，参照图8，对本发明的一实施例的沉积用掩模安装装置进行说明。在以下说明中，与参照图3～图7进行说明的实施例进行比较，并以不同点为中心进行说明。

图8为本发明的另一实施例的沉积用掩模安装装置的立体图。

在参照图3～图7进行说明的实施例中，在安装部件121的端部上形成有辊轮131而形成有安装面S，相反，在图8的实施例中，如图所示形成有旋转球部133，而旋转球部133的一部分裸露在安装部件121的上面。

旋转球部133为球状，定位在所述安装部件121的内部并可转动。此外，旋转球部133的一部分裸露于安装部件121的外部，该裸露的表面的一部分可形成用于安装掩模M的安装面S。与图3～图7中的辊轮131相同地，当通过加压部件122加压掩模M的侧面时，旋转球部133使移动掩模M易于移动。

当如图3～图7的实施例使用辊轮131时，只有在通过加压部件122进行加压的方向上掩模M易于移动。相反，在图8的实施例中，旋转球部133进行球旋转，因此能够在上下左右所有的方向上进行旋转，当被加压部件122加压时，能够使安装在旋转球部133的裸露的侧面上的掩模M能够自由移动，并且在安装位置上安装掩模M。

本发明的权利范围并不限于上述实施例，在所附的权利要求书的范围内可由多种形式的实施例实现。在不脱离权利要求书所要求保护的本发明精神的范围内，本发明所属技术领域的技术人员均能变形的各种范围也属于本发明的权利要求书所记载的范围内。

Claims (7)

1.一种沉积用掩模安装装置，用于在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模，其特征在于，包括：

基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及

安装部，设置在所述基底上，包括：安装部件，在安装所述掩模时，使所述掩模下降；及加压部件，与所述安装部件联动而对所述掩模的侧面进行加压，从而将所述掩模移送并安装于安装位置上。

2.根据权利要求1所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

所述安装部件通过安装的所述掩模的荷载转动规定角度，所述加压部件与所述安装部件联动而转动，从而移动至所述掩模的侧面。

3.根据权利要求2所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

所述安装部进一步包括：

连接部件，用于将所述安装部件和所述加压部件彼此连接，所述连接部件设置为能够转动。

4.根据权利要求3所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

在所述基底上形成有收容槽，

所述安装部进一步包括：固定部件，设置在所述收容槽中，所述连接部件可转动地结合到所述固定部件。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

所述安装部进一步包括：

辊部，设置在所述安装部件或所述加压部件中的至少一个的端部上，并且设置为能够旋转。

6.根据权利要求5所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

所述辊部包括：

第一辊，形成有用于安装所述掩模的安装面，用于使与所述第一辊的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及

第二辊，形成有用于加压所述掩模的加压面，用于将在所述第二辊的外表面上安装的所述掩模引导至所述安装面侧。

7.根据权利要求1～4中的任一项所述的沉积用掩模安装装置，其特征在于，

所述安装部进一步包括：

旋转球部，形成为球状，定位在所述安装部件的内部并能够转动，所述旋转球部的一部分裸露在所述安装部件的外部以形成用于安装所述掩模的安装面，所述旋转球部用于使与所述旋转球部的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及

辊轮，形成在所述加压部件的端部，形成有用于加压所述掩模的加压面，所述辊轮用于将安装的所述掩模引导至所述安装面侧。