KR20040094759A - 내마모성이 있는 눈부심 방지 코팅을 구비한 투명 기판 - Google Patents

내마모성이 있는 눈부심 방지 코팅을 구비한 투명 기판 Download PDF

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KR20040094759A
KR20040094759A KR10-2004-7013717A KR20047013717A KR20040094759A KR 20040094759 A KR20040094759 A KR 20040094759A KR 20047013717 A KR20047013717 A KR 20047013717A KR 20040094759 A KR20040094759 A KR 20040094759A
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쌩-고벵 글래스 프랑스
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Abstract

본 발명은, 한 면에는 적어도 하나의 기능성 요소(20)를 포함하고 그 반대면에는 눈부심 방지 코팅(11)을 포함한, 특히 유리(19)로 만들어진 투명 기판에 관한 것으로, 상기 기판은 긁힘 방지 및 내마모성 코팅을 포함하며, 상기 코팅은 높은 굴절률과 낮은 굴절률이 교대로 되어 있는 전기 재료의 박막 스택으로 만들어진 눈부심 방지 코팅(11)에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

내마모성이 있는 눈부심 방지 코팅을 구비한 투명 기판{TRANSPARENT SUBSTRATE WITH ANTIGLARE COATING HAVING ABRASION-RESISTANT PROPERTIES}
투명 기판에 증착된 반사 방지 코팅의 기능은 광의 반사를 줄이고, 이에 따라 광 투과를 증가시키는 것이다. 따라서, 이렇게 코팅된 기판은 그 투과 광/반사 광의 비가 증가함으로써, 기판 뒤에 위치한 물체의 가시도를 향상시킨다. 최대한의 반사 방지 효과를 얻고자 할 경우에는, 기판의 양면에 이러한 유형의 코팅을 제공하는 것이 바람직하다.
다음으로 이것은, 예를 들어 관찰자 뒤에 위치한 광으로 조명이 되는 그림을 보호하거나, 내부 조명이 외부 조명에 비해 어두울 때에도 창문 안에 있는 것을 보다 분명하게 구별하도록 상점 창문 부분을 구성하거나 형성하도록 많은 용도에 사용될 수 있다.
반사 방지 코팅의 성능은 여러 기준에 따라 측정 또는 평가될 수 있다. 첫 번째는 물론 광학 기준이 온다. 반사 방지 코팅이 "우수"로 간주되기 위해서는, 투명한 표준 유리 기판의 광 반사를 주어진 값, 예를 들어 2%, 또는 심지어 1% 이하로 감소시킬 수 있어야만 한다.
다층 코팅은 흔히 건물과 자동차의 창유리로 사용된다. 이 코팅은, 일반적으로 굴절률이 크고 굴절률이 작은 층이 교대로 되어 있는, 기판 위에 증착된 얇은 간섭층 (interferential layer)을 포함한다.
국제 특허 출원 WO 01/37006은 우수한 광학 품질 기준을 만족하고, 또한 수직으로 기울어진 넓은 범위의 입사각 (50 내지 70°경사) 내에서 이러한 품질을 유지하는 이점이 있는 다층 반사 방지 코팅을 가르친다. 이러한 유형의 코팅은 특히 전면유리형 창유리와 상점의 카운터용으로 특히 평가된다.
그러나, 임의 유형의 디스플레이 스크린 (예를 들어, 플라즈마 스크린)에 사용되는 플라스틱 반사 방지 필름으로 구성된 다른 반사 방지 코팅이 알려져 있다. 이러한 필름은 일반적으로 디스플레이 스크린용 필터로 작용하는 투명한 창문과 결합된다.
플라즈마 스크린은 두 장의 유리판 사이에 갇힌 플라즈마 가스와, 스크린 맨 뒤 판의 내면에 위치한 인광체(phosphor)를 포함한다. 스크린 작동시, 플라즈마 가스 입자와 인광체와의 상호작용은 800 내지 1000nm의 근적외선 내에 있는 전자기파 방사를 일으키고, 주로 스크린 전면을 통한 이러한 전자기파의 전파는, 특히 가까운 곳에 위치하고, 적외선으로 제어되는 (예를 들어, 원격 제어 수단을 이용해서)장치의 경우에 특히, 매우 문제가 되는 간섭의 원인일 수 있다.
또한, 모든 전자 장비와 마찬가지로, 플라즈마 스크린은 마이크로컴퓨터, 휴대 전화 등과 같이 간섭되지 말아야만 하는 다른 장치에 관해서 기생하는 방사선을 생성할 수 있는 어드레싱 시스템 (addressing system) (드라이버)을 구비한다.
이러한 방사선의 전파를 제거하기 위해, 또는 적어도 이를 줄이기 위해, 한 가지 해결책은, 스크린 전면에, 전자기 차폐물(electromagnetic shielding)을 제공하기 위해 투명하고 금속화된 창문을 설치하는 것이다. 따라서, 이 차폐물은 하나 이상의 금속층 (특히, 은층) 및/또는 하나 이상의 금속 그리드 (metal grid)를 포함할 수 있다. 이 차폐물은, 창문을 구성하고 스크린에 면한 유리 기판에 직접 증착되거나, 스크린에 면한 기판에 결합된 접착 필름에 증착된, 은으로 만들어진 적어도 두 장의 금속층 스택에 의해 제공되는 것이 유리할 수 있다. 일반적으로, 이 접착 필름은 광 반사를 줄임으로써 스크린의 휘도를 향상시키기 위해 (스크린에서 나오는 광 복사에 대해) 반사 방지 기능이 있다. 이 접착 필름은 또한 화학 부식으로부터 전도성 은층을 보호하는 역할을 수행한다.
창문 기판은 강화 유리 또는 강화되지 않은 유리로 만들어질 수 있다.
강화 유리가 깨지고 파편이 될 경우, 유리 조각을 유지할 수 있고, 또한 관찰자의 편안함을 위해 반사 방지 기능을 완수하는 접착 필름이 또한 기판의 외면, 즉 관찰자에 면한 스크린 반대면에 제공된다. 이 필름은 기판의 맨 뒤에 위치하는데, 이는 필름이 기능성 요소 (금속층 스택과 같은)를 증착하기 위해 기판이 거칠 수 있는 여러 가지 처리를 견딜 수 없기 때문이다. 그러나, 모든 예방책에도 불구하고, 이 필름을 수용해야만 하는 면은 처리 단계 중 여러 가지 기판 처리 작업에 의해 또는 심지어 처리 그 자체에 의해 긁히는 일이 발생할 수 있으며, 이는 표면의 품질과 기판 자체의 강도 모두를 손상시킨다. 기판은 사용될 수 없을 것이고 폐기될 것이다.
또한, 필름은 디스플레이 스크린과 결합될 보호 창문의 외면에 위치하기 때문에, 보호 스크린을 반복해서 세척하는 작업은 이러한 반사 방지 필름을 손상시킬 것이다. 이것은 반사 방지 특성을 해치고, 시각을 해쳐서 흐림(haze)을 일으키며, 이렇게 되면 필름을 교체해야 한다.
본 발명은 내마모성이 있는 반사 방지 코팅을 구비한 투명 기판, 가장 구체적으로는 유리에 관한 것이다. 본 발명은 또한 디스플레이 스크린, 예를 들어 플라즈마 스크린용 창유리나 필터로 사용하는 것에 관한 것이다.
도 1은 플라즈마 스크린과 결합된 본 발명에 따른 필터의 개략적인 단면도.
도 2는 여러 반사 방지 코팅을 비교하는 그래프를 도시한 도면.
도 3은 필름 유형과 다층 스택 유형의, 두 가지 코팅 상을 각각 도시한 도면.
도 4는 플라즈마 스크린과 결합된 본 발명에 따른 대안 필터의 단면도를 도시한 도면.
따라서, 본 발명의 목적은, 특히 디스플레이 스크린 필터용으로 사용하고자 하는 것으로, 한 면에 적어도 하나의 기능성 요소가 있고 그 반대 면에는 반사 방지 코팅이 있는 기판을 제공하는 것으로, 이 기판은 그 제조 공정을 빠져나갈 때 스크래치형의 결점을 갖지 않고, 반사 방지 코팅은 내구성이 있으며 내마모성이 있다는 것이 보장된다.
본 발명에 따라, 한 면에 금속 원소 유형의 적어도 하나의 기능성 요소가 있고, 반대 면에 반사 방지 코팅이 있는 기판, 특히 유리 기판은, 이 기판이 내마모성 긁힘 방지 코팅을 포함하고, 상기 코팅은 높은 굴절률과 낮은 굴절률이 교대로 되어 있는 얇은 유전층 스택으로 만들어진 반사 방지 코팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한 적어도 한 면에 반사 방지 코팅이 있는 투명 기판, 특히 유리에 관한 것으로, 이 기판은 발생할 수 있는 기판의 흐림이 1.5% 미만으로 유지되도록 적어도 3H의 저항과 내마모성을 갖고, 상기 코팅은 높은 굴절률과 낮은 굴절률이 교대로 되어 있는 얇은 유전층 스택으로 만들어진 반사 방지 코팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.
한 가지 특징에 따라, 기능성 요소가 증착되기 전, 기판 위에 다층 반사 방지 코팅이 증착된다.
따라서, 일차적으로 반사 방지 층 스택으로 코팅된 기판은 원하는 반사 방지 기능을 수행하고, 이는 반대면을 손상시킬 위험이 전혀 없이 면 중 하나에 기능성 요소를 증착시키기 위해 기판이 처리되도록 하는데, 이는 반대면이 반사 방지 층 스택에 의해 형성된 반사 방지 코팅으로 이미 코팅되었기 때문이다.
다른 특징에 따라, 스택은 Si3N4또는 SnO2와 SiO2층을 기초로 한다. 사실상 이러한 유형의 층의 결합물이 특히 내마모성이 있고, 비교적 넓은 면적, 즉 10cm2를 초과한 경우 내마모성이 있다는 것이 밝혀졌다.
스택은,
- 굴절률(n1)이 1.8 내지 2.2이고, 기하학적인 두께(e1)가 5 내지 50nm인 높은 굴절률의 제 1 층(c1)과,
- 굴절률(n2)이 1.35 내지 1.65이고, 기하학적인 두께(e2)가 5 내지 50nm인 낮은 굴절률의 제 2 층(c2)과,
- 굴절률(n3)이 1.8 내지 2.2이고, 기하학적인 두께(e3)가 70 내지 120nm인 높은 굴절률의 제 3 층(c3)과,
- 굴절률(n4)이 1.35 내지 1.65이고, 기하학적인 두께(e4)가 적어도 80nm인 낮은 굴절률의 제 4 층(c4)을 포함하는 것이 바람직하다.
따라서 발명자는, 창유리나 디스플레이 스크린 필터와 같이 크기가 이미 크고, 지금까지 반사 방지 코팅으로 플라스틱 필름을 사용했으며 긁힘 방지 특성이 없는 기판의 내마모성 긁힘 방지 코팅으로 반사 방지 다층 스택을 사용할 생각이 명확하게 없었다.
결과적으로, 본 발명은 또한 창유리 또는 필터에 관한 것으로, 면 중 한 면 위에 반사 방지 층 스택을 구비하고, 이와 다른 면 위에는, 전자기선을 차폐하기 위해 금속 원소로 형성된 기능성 요소를 구비한 단일 기판으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 용도는 특히, 플라즈마 스크린과 같은 디스플레이 스크린용 필터를 제조하기 위한 것이다.
금속 원소는, 예를 들어 적어도 하나의 전도성 금속층이나, 적어도 두 장의 은층을 포함하는 얇은 층 스택으로 이루어진다. 전도성 금속층은 은을 주성분으로 하고, 다음 순서의 다층 스택 부분을 형성하는 것이 유리하다.
Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ ZnO/ Si3N4.
한 가지 변형예로서, 기능성 요소는 그리드 형태의 전선망으로 구성되거나, 또는 이와 달리 은 주성분의 박층 스택과 그리드 형태 전선망의 결합물로 이루어질 수 있다.
기능성 요소는 기판 위에 직접 증착되거나, 기판에 결합된 플라스틱 필름에증착될 수 있으며, 또는 이와 달리 한 장은 기판에 결합되어 있고 다른 한 장은 다른 기판에 결합되어 있는 두 장의 플라스틱 필름 사이에 적층될 수 있다.
디스플레이 스크린의 경우, 기능성 요소는 반사 방지 코팅과 결합되는 것이 바람직한데, 이는 반사 방지 다층 스택 또는 접착성 반사 방지 필름 중 한 가지일 수 있다.
마지막으로, 디스플레이 스크린 용도로, 강화되지 않은 유리로 제조된 기판을 사용하는 것이 바람직한데, 이는 하나 이상의 기능성 요소와 반사 방지 층 스택을 갖춘 기판이 넓은 면적으로 제조되고, 완전하게 갖추어진 기판이 깨질 위험이 전혀 없이 디스플레이 스크린 필터의 치수로 쉽게 절단될 수 있기 때문이다.
본 발명의 다른 이점과 특징들은 첨부된 도면과 함께 다음의 상세한 설명을 읽으면 분명해질 것이다.
도면에서 본 발명의 요소의 여러 치수 (특히, 두께)는 조사가 보다 용이하도록 일정 비율로 그려지지 않은 점을 먼저 지적해야 한다.
도 1은 플라즈마 스크린(E)의 전면에 결합될 투명한 창문(1)을 도시한다. 이 창문은 전자기선 차폐 보호와 반사 방지 보호를 제공하는 필터를 구성한다.
투명한 창문(1)은 유리판(10)과 같은 단일 기판으로 형성되고, 이 위에는, 한편 스크린에 면한 내면에, 전자기선 차폐 특성이 있는 금속층 스택으로 형성된 제 1 기능성 요소(20)와, 다층 스택(20)을 덮고 있는 내면의 반사 방지 코팅에 의해 형성된 제 2 기능성 요소(21)가 증착되고, 다른 한편 스크린의 반대면이고 가능한 관찰자에 면한 외면에, 반사 방지 코팅뿐만 아니라 내마모성 긁힘 방지 코팅을 구성한 다층 스택(11)이 증착된다.
기판(10)은 두께가 3 내지 6mm, 예를 들어 4mm인 PLANILUX 유형의 투명한 소다 석회 규산염 유리로 만들어진다. 이 제품은 쌩-고벵 글래스 사에 의해 판매된다.
예를 들어, 금속 층 스택(20)은 Ag 유형의 적어도 두 장의 전기 전도성 기능 층에 의해 형성된다. 이러한 금속층은 얇은 보호층 스택 안으로 삽입되고, 바람직한 순서는 다음과 같다.
유리/ Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ ZnO/ Si3N4.
Ti 층은, 특히 은이 산화되지 못하게 함으로써, 은을 보호하는 금속층을 구성한다.
TiO 층은 반사시 기판의 색을 "엷게"하기 위해서, 유리에 인접한 Si3N4와ZnO 층 사이에 삽입될 수 있다.
스택의 모든 층은 알려진 스퍼터링 기술을 통해 스크린에 면하게 되어있는 기판의 내면에 증착된다. 모든 경우에 층은 유리 기판에 직접 증착되고, 때로 선행 기술에서 수행되는 바와 같이 플라스틱 필름 위에는 증착되지 않는데, 이는 예 3의 결과를 통해 나중에 보게될 바와 같이, 이러한 금속층을 지지하는 필름은 더 많은 흐림을 일으키기 때문이다.
기판에 가장 가깝게 위치한 Ag의 제 1 금속층은, Ag의 제 2 금속층의 두께(e2)와 거의 동일한 두께(e1)를 가져서, 두께비 (e1/e2)는 0.8 내지 1.1이고, 바람직하게는 0.9 내지 1이다. 따라서, 67%를 초과하는 광 투과가 매우 적합하다. 금속층의 전체 두께(e1+e2)는 27 내지 30nm이다. 스크린에 대한 적외선의 우수한 반사를 얻기 위해 (즉, 복사선은 가능한 한 기판을 통과하지 않음), 28 내지 29.5nm인 금속층의 전체 두께를 선택하는 것이 바람직할 것이고, 방사선의 투과는 800nm의 파장에 대해 13%를 초과하지 않는다.
아래의 표는 스택의 여러 박층에 대한 두께 값의 예를 나타내고, 이 때 전체 두께 (e1+e2)는 14nm이다.
유리 두께(nm)
Si3N4 20
TiO2 5
ZnO 10
Ag 14
Ti 1.5
Si3N4 73
ZnO 10
Ag 14
Ti 1.5
ZnO 10
Si3N4 22.5
물론, 금속 그리드나 그리드와 층의 결합물과 같이, 전자기 차폐를 위한 금속 원소의 다른 변형예를 생각할 수 있다. 따라서, 국제 특허 출원서 WO 01/81262호를 참조할 수 있다. 또한, 전자기 차폐를 제공하는 기능성 요소(20)는 유리 위에 직접 증착되지만, 한 가지 변형예로 창문 내면에 결합된 접착 플라스틱 필름에 증착되거나, 이와 달리 스크린에 면한 기판(10) 및 유리 기판(10a)과 같이, 두 장의 기판에 접착 결합된 두 장의 플라스틱 삽입물(I) 사이에 적층될 수 있고, 기판(10)은 내부 코팅(21)을 구비한다 (도 4).
제 1 실시예에 따라, 다층 스택(20)을 덮고 있는 내부 반사 방지 코팅(21)은 표준 플라스틱 반사 방지 필름(21a)이거나 스택(11) 유형의 다층 스택(21b)일 수 있다.
스택(11) 유형의 다층 스택(21b)은, 부서질 수 있는 필름과 비교해서, 스택(20)의 은층이 부식으로부터 매우 적절히 보호될 수 있도록 할 수 있는데, 이는 실리카 또는 규소 질화물로 덮여있기 때문이다.
그러나, 기능성 요소(21)에 대한 필름의 이점은, 창문이 깨질 경우 모든 유리 조각이 이 필름에 의해 유지되는 것은 별개로 하고, 스크린의 콘트래스트에 영향을 미칠 수 있다는 점이다. 여러 가지 유형의 필름이 존재하는데, 이들 필름은 광 투과에 의존한다. 따라서, 광 투과가 80%인 필름 (Calsak 사 판매) 또는 광 투과가 70%인 필름과 같이 (Southwall 사가 판매하는 상표명 ARA2-70) 스크린의 콘트래스트를 향상시키기 위해 투과가 낮은 필름을 사용할 수 있을 것이다.
마지막으로, 본 발명에 따른 반사 방지 다층 스택(11)은 Si3N4또는 SnO2와 SiO2를 주성분으로 하는 적어도 두 장의 층 스택으로, 이 층은 이들의 경도 특성 때문에 특히 적합하다. 종래에 이러한 층은 모두, SiO2또는 금속 산화물 층을 만들기 위해 Si 타깃이나 금속 타깃을 이용한 산화 대기에서, 질화물을 만들기 위해 Si 또는 금속 타깃을 이용한 질화 대기에서, 그리고 옥시질화물을 만들기 위한 혼합된 산화/질화 대기에서 자기 향상 반응 스퍼터링을 통해 증착되었다. Si 타깃은, 특히 보다 전도성이 있도록 하기 위해서, 소량의 다른 금속 (특히 Zr 또는 Al)을 포함할 수 있다.
바람직한 반사 방지 스택은 다음과 같다.
유리/ SnO2(또는 Si3N4)/ SiO2/ SnO2(또는 Si3N4)/ SiO2.
아래 표는 각 층의 굴절률(ni)과 나노미터 단위의 기하학적인 두께(ei)를 제공하고, 층(c1)은 유리에 접한다.
층(c1) 층(c2) 층(c3) 층(c4)
ni 2.0 1.46 2.0 1.46
ei 15nm 30nm 70nm 90nm
이 예의 목적은 60°입사각에서 유리 (관찰자 측)의 광 반사 값(RL)을 가능한 한 최소화하기 위한 것이다.
아래의 표는, 본 발명의 예(예 1)와 두 개의 비교예(예 2와 3)에 따른 필터 스크린 제품의 광학 흐림 (optical haze)의 결과와 관찰자 측에서 광 반사의 결과를 나타낸다. 비교에를 위해, 양 필터는, 기능성 요소(21)와 반사 방지 코팅(11)으로, 기판의 어느 한 면에 반사 방지 필름을 구비하지만, Ag 층 스택(20)은 이 중 어느 한 가지 경우 유리에 직접 증착되고 (예 2), 다른 경우 플라스틱 필름에 증착된다 (예 3).
예 1: 접착성 반사 방지 필름(21a)/ Ag 층 스택/ 유리/ 다층 스택(11),
예 2: 접착성 반사 방지 필름/ Ag 층 스택/ 유리/ 접착성 반사 방지 필름,
예 3: 접착성 반사 방지 필름/ 플라스틱 필름 위의 Ag 층 스택/ 유리/ 접착성 반사 방지 필름.
예 1 예 2 예 3
광반사,관찰자 측(%) 3.3 5.3 2.7
광학 흐림,관찰자 면 0.3 0.6 1.3
본 발명의 예 1은 분명하게 채택된 것으로, 그 이유는 다층 반사 방지 코팅(11)은 창문의 외면에서 광 반사를 감소시키면서, 관찰자 측에서는 제조 후 흐림이 덜한 제품을 제조하는 이점을 갖기 때문이다. 흐림 (산란 광)의 감소는 영상의 품질과 관찰자의 시청 품질을 향상시킨다 (특히, 색이 더욱 선명함).
본 발명에 따라, 반사 방지 다층 스택은 또한 내마모성 긁힘 방지 코팅을 구성한다. 아래에는 비교표가 제공되고, 도 2에 관해, 본 발명의 예 (예 1)를 예 2와 비교한 비교 그래프 (각각 내구성 시험, 또는 가속화된 노후 시험, 마모 시험에 관한)가 제공된다.
내구성 시험에 관해서, 창문을 건조 열에서 500 시간, 습식 열에서 120 시간 지나게 한 후, 광 투과(TL)와 흐림의 변화를 측정했다.
80℃에서 500시간 90% RH, 60℃, 120시간
△TL(%) △흐림(%) △TL(%) △흐림(%)
예 1 < 0.2 < 0.2 < 0.3 < 0.2
예 2 < 0.5 < 0.4 < 1 < 0.2
두 개의 제품은 가속화된 노후 시험에서 동일하게 작용한다.
마모 시험에 관해서, 마모 후 흐림의 변화는 예 1의 창문과 예 2의 창문에 250 그램의 하중을 갖는 테이버 어브레이저 (Taber Abraser®) CS 10F 타입의 숫돌차 (grinding wheel)를 사용해서 잘 알려진 방법으로 측정되었다.
도 2의 그래프는, 본 발명의 창문이 테이버 시험에서 종래 기술의 창문보다훨씬 더 나은 마모 작용을 나타냄을 보여준다. 500회전 후, 다층 스택을 구비한 코팅은 거의 긁히지 않는 반면, 플라스틱 필름을 구비한 코팅은 완전히 찢어져서 반사 방지 특성을 완전히 상실해서 실질적인 흐림을 일으킨다. 80배 확대한 도 3의 현미경 사진은 시험 후 두 제품의 외관을 나타내고, 다층 스택을 구비한 창문은 훨씬 더 깨끗하다.
또한, 긁힘 저항성에 관해 수행된 측정은, 다층 스택의 저항성이 필름의 저항성보다 훨씬 더 큼을 보여준다. 필름의 경우에는 단지 2 내지 3H인 반면, 다층 스택의 경우에는 3H 이상이다. H는 표면 코팅과 유기 기판 분야에 사용되는 분류라는 사실이 상기될 것이다. 2H 또는 3H 연필심을 사용한 긁힘 시험이 포함된다.
플라즈마 스크린과 결합된 창문을 예로 들었지만, 본 발명은 물론, 한 면에 적어도 하나의 기능성 요소가 있고 그 반대면에는 내마모성 긁힘 방지 코팅이 있어야만 하는 (이 코팅은 선택적으로 반사 방지의 이점이 있을 수 있음) 어떠한 유형의 기판에도 적용된다.
상술한 바와 같이, 본 발명은, 한 면에는 적어도 하나의 기능성 요소가 있고 그 반대 면에는 반사 방지 코팅이 있는 기판을 제공하는데 사용된다.

Claims (21)

  1. 한 면에는 적어도 하나의 기능성 요소(20)가 있고 그 반대면에는 반사 방지 코팅(11)이 있으며, 상기 코팅은 높은 굴절률과 낮은 굴절률이 교대로 되어 있는 얇은 유전층 스택으로 만들어진 특히, 유리와 같은 투명 기판(10)으로서,
    상기 반사 방지 코팅은 내마모성의 긁힘 방지 코팅으로 사용되는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 반사 방지 코팅(11)에 의해 형성된 상기 내마모성의 긁힘 방지 코팅은, 발생할 수 있는 상기 기판의 흐림(haze)이 1.5% 미만으로 유지되도록, 적어도 3H의 저항성과 내마모성을 갖는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 다층 반사 방지 코팅은 상기 기능성 요소가 증착되기 전 상기 기판에 증착되는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층 스택은 Si3N4또는 SnO2와, SiO2를 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스택은, 연속적으로,
    - 굴절률(n1)이 1.8 내지 2.2이고, 기하학적인 두께(e1)가 5 내지 50nm인 높은 굴절률의 제 1 층(c1)과,
    - 굴절률(n2)이 1.35 내지 1.65이고, 기하학적인 두께(e2)가 5 내지 50nm인 낮은 굴절률의 제 2 층(c2)과,
    - 굴절률(n3)이 1.8 내지 2.2이고, 기하학적인 두께(e3)가 70 내지 120nm인 높은 굴절률의 제 3 층(c3)과,
    - 굴절률(n4)이 1.35 내지 1.65이고, 기하학적인 두께(e4)가 적어도 80nm인 낮은 굴절률의 제 4 층(c4)을
    포함하는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 스택은, Si3N4/ SiO2/ Si3N4/ SiO2인 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 금속성의 전자기 차폐 원소인 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 적어도 하나의 전도성 금속층으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 적어도 두 장의 은층을 포함하는 박층 스택으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 다층 스택은 다음 순서,
    Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ Si3N4/ ZnO/ Ag/ Ti/ ZnO/ Si3N4를 갖는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 그리드 (grid) 형태의 전선망으로 구성된 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  12. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 은 주성분의 박층 스택과 그리드 형태의 전선망의 결합물로 이루어진 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  13. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 상기 기판(10)에 직접 증착되는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  14. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 상기 기판(10)에 결합된 플라스틱 필름에 증착되는 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  15. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 두 장의 플라스틱 필름 사이에 적층되고, 상기 플라스틱 필름 중 하나는 상기 기판(10)에 결합된 반면, 다른 하나는 다른 기판(10a)에 결합된 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  16. 제 7항에 있어서, 상기 기능성 요소(20)는 반사 방지 코팅으로 제조된 제 2 기능성 요소(21)와 결합된 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 제 2 기능성 요소(21)는 반사 방지 다층 스택(21b)인 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 제 2 기능성 요소(21)는 접착성 반사 방지 필름(21a)인 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  19. 제 1항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 강화되지 않은 유리로 제조된 것을 특징으로 하는, 투명 기판.
  20. 창유리 또는 디스플레이 스크린용 필터를 제조하기 위해 제 1항 내지 제 19항 중 어느 한 항에 기재된 기판의 용도.
  21. 플라즈마 스크린을 위한 제 20항에 기재된 용도.
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