KR20060073955A

KR20060073955A - 전자기 보호막용의 박막 스택을 포함하는 투명기판

Info

Publication number: KR20060073955A
Application number: KR1020067004999A
Authority: KR
Inventors: 카렌네 플레우리; 실베인 벨리오트; 에스텔레 메인핀
Original assignee: 쌩-고벵 글래스 프랑스
Priority date: 2003-09-17
Filing date: 2004-08-18
Publication date: 2006-06-29
Also published as: EP1663897A1; JP4800947B2; PL1663897T3; FR2859721B1; US20090015909A1; WO2005028391A1; MXPA06002831A; CN1852871B; EP1663897B1; FR2859721A1; KR101148039B1; CN1852871A; JP2007505810A; DE602004022955D1; ATE441624T1; US20060280951A1; US7452603B2

Abstract

본 발명은 투명기판으로서, 특히 세 개의 은층(Ag₁, Ag₂, Ag₃)을 포함하고, 대안적으로 기판 상에 티타늄 이산화물층(21), 금속 산화물층(22), 은층 중 하나(Ag₁, Ag₂, Ag₃) 및 피복층(23)을 포함하는 박막 다층(20)을 구비하는 유리로 만들어진 투명기판에 있어서,

- 상기 금속 산화물은 아연 산화물;

- 상기 피복층(23)은 손실성금속; 및

- 적어도 하나의 금속 산화물을 포함하는 반사방지층(24)은 기판으로부터 가장 멀리 이격된 은층(Ag₃)의 피복층 상에 증착되는 것을 특징으로 하는 유리로 만들어진 투명기판에 관한 것이다.

Description

전자기 보호막용의 박막 스택을 포함하는 투명기판{TRANSPARENT SUBSTRATE COMPRISING A STACK OF THIN LAYERS FOR ELECTROMAGNETIC ARMOUR}

본 발명의 대상은 투명 기판이고, 특히 유리로 만들어진 투명기판이며, 상기 기판은 전자기 차폐를 하기 위한 적어도 하나의 금속층을 포함하는 박막 다층으로 코팅된다.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 스크린 상에서 이러한 기판의 용도에 대해 보다 상세히 설명되지만, 이것은 그러한 용도에 제한되지 않으며, 이것은 기판이 임의의 전자기 차폐벽에 삽입되는 것이 가능하다.

플라즈마 디스플레이 스크린은 두 개의 유리 플레이트 사이에 포획된 플라즈마 가스 혼합물(Ne, Xe, Ar)과 디스플레이의 후면 디스플레이의 내부 면에 위치하는 인광물질(phosphors)을 포함한다. 두 개의 유리 플레이트 사이의 플라즈마 방전 동안 플라즈마 가스 혼합물에 의해 방출된 자외선 방사는 가시광선(적색, 녹색 또는 청색)을 생성하기 위해서 뒷면 플레이트의 내부면에서 상기 인광물질과 상호작용한다. 가스 입자 탈여기(deexcitation) 메카니즘은 자외선(UV) 방출과 경합하고, 이는 800∼1250㎚의 적외선 방사를 발생시키며 주로 디스플레이의 앞면을 통한 적외선 방사의 전파는 특히 근처에 위치하고 적외선, 예를 들어 리모트 컨트롤 (remote control)에 의해 조절되는 장비에 관해 매우 귀찮은 간섭의 윈인이 될 수 있다.

또한, 모든 전자기기와 같이 플라즈마 디스플레이 스크린은 마이크로컴퓨터 또는 이동 전화 등과 같은 다른 디바이스와 간섭하지 않아야만 하는 기생복사(parasitic radiation)를 발생시킬 수 있는 드라이버 또는 어드레싱 시스템을 구비한다.

이러한 방사의 전파를 제거 또는 최소한으로 감소시키기 위한 해결책은 전자기 차폐를 제공하기 위해서 디스플레이의 앞면에 투명하고 금속화된 필터로 불리우는 창(window)을 설치하는 것이다. 예를 들어, 상기 필터는 주파수 30㎒∼1㎓의 800㎚ 이상의 적외선을 전자기파와 반사하는 은을 기본으로 하는 박막으로 코팅된 투명 기판이다.

그러므로, 프랑스 특허 2 641 272호는 적어도 하나의 금속 산화물층을 포함하는 투명한 하부층(sublayer)과, 손실성 금속 산화물층인 두께가 15㎚를 초과하지 않는 아연 산화물의 층을 포함하는 투명한 피복층 사이에 삽입된 반사성 은층과, 금속 산화물의 상부 피복층을 포함하는 기판을 제안한다.

상기 은층(silver layer)의 두께는 바람직하게 8∼12㎚이다.

상기 하부층인 금속 산화물 층은 여러 산화물에서 선택될 수 있고, 여러 산화물의 혼합물일 수 있다. 바람직한 예는 티타늄 이산화물 층과 상기 티타늄 이산화물 층에 증착된 주석 산화물 층이다.

손실성 금속 산화물의 목적은 스퍼터링 기법으로 증착되는 동안 산화로부터 은층을 보호하는 것이다. 이것은 은(silver)이 손상될 경우, 코팅된 기판은 저 방사율을 잃을 수 있고, 광투과가 매우 감소될 수 있기 때문이다. 종종 바람직한 손실성 금속은 티타늄인데, 이것은 산화에 대해 매우 효과적인 보호를 구비하는 은을 제공하고, 매우 낮은 흡수도의 산화물을 형성하기 위해서 쉽게 산화되는 이점을 가진다.

아연 산화물 층은 하부층에 산소 침투에 대한 보호층으로서 작용하고, 손실성 금속의 두께가 다소 감소될 수 있게 하여, 상기 금속은 보다 용이하게, 보다 완전하게, 보다 균일하게 산화된다. 상기 문서는 특히 층에 양호한 광 투과 특성을 부여할 수 있도록 15㎚의 아연 산화물층의 제한된 두께를 요구한다.

그러나, 단일의 금속층을 구비한 기판은 1.8Ω/□미만의 표면저항을 갖는 것과 같은 충분한 전자기 차폐를 획득하는 데에 적합하지 않다. 더구나, 다른 특허출원은 다수의 금속층, 특히 은층을 포함하는 다층을 제안한다. 그러나, 층 수의 증가는 광 투과를 감소시키며, 즉 두께와 층의 타입 간의 절충은 만족할 만한 광 투과를 이루기 위해서 이루어져야만 하는 것으로 알려졌다.

공개된 PCT 국제공개공보 WO 01/81262호는 두 개의 은층, 상기 은층은 기판에 접한 은층의 경우에 두께(e₁)와 은층을 보호하기 위해서 각 은층 위에 위치하는 티타늄과 같은 손실성 금속 산화물인 다른 층에 대한 두께(e₂)를 구비하는 다층은 제안한다. 배열의 일예는 이하와 같다.:

기판/Si₃N₄/ZnO/Ag/Ti/Si₃N₄/ZnO/Ag/Ti/ZnO/Si₃N₄

1.8Ω/□미만의 표면 저항을 얻기 위해서, 적합한 광 투과가 여전히 유지되는 동안, 상기 두께비율(e₁/e₂)은 0.8∼1.1이고, 바람직하게는 0.9∼1이며, 금속 층의 총 두께(e₁＋e₂)는 27.5∼30㎚이고, 바람직하게는 28∼29.5㎚이다.

유럽특허출원 EP 1 155 816호는 티타늄 산화물 층과 550㎚의 파장에서 굴절률이 2.4미만인 아연 산화물 또는 바람직하게는 실리카 산화물과 같은 층이 교대하는 은층을 세 개 또는 심지어 네 개를 포함하는 다층을 기재하고 있다. 기판에 가장 근접한 은층과 가장 멀리 이격된 은층의 두께는 다른 은층의 두께 당 바람직하게 0.5∼1이다. 1.5Ω/□의 면저항과 67%의 광투과를 갖는 배열의 일예는 16㎚의 두께를 갖는 각각 세 개의 팔라디움-도핑된 은층이 주어진다.

기판/TiO_x/SiN_x/Ag/SiN_x/TiO_x/SiN_x/Ag/SiN_x/TiO_x/SiN_x/Ag/SiN_x/TiO_x

그러나 기존의 해결책의 특성을 보다 개선되도록 하는데에 항상 바람직하여, 광투과의 감소없이 면 저항에 있어서 보다 실질적인 감소를 획득한다.

그러므로, 본 발명의 목적은 전자기파 투과 문제를 완화시키기 위해서, 여전히 만족할 만한 광학특성을 이루면서, 특히 플라즈마 디스플레이에 대한 또 다른 필터 해결책을 찾는 것이다.

본 발명에 따른 투명기판, 특히 유리로 형성된 투명기판은 박막 다층이 제공되며, 상기 다층은 세 개의 은층은 포함하고, 기판 상에서 티타늄 이산화물층, 금속 산화물 층, 은층들 중 하나 및 피복층을 교대로 포함하며,

- 상기 금속 산화물은 아연 산화물;

- 상기 피복층은 손실성 금속; 및

- 적어도 하나의 금속 산화물을 포함하는 반사방지 층은 기판에서 가장 멀리 이격된 은층의 피복층에 증착된다는 점에 특징이 있다.

하나의 특징에 따라, 은층 각각의 두께는 13∼19㎚이다. 세 개 각각의 층(Ag₁, Ag₂, Ag₃)의 두께(e_Ag1, e_Ag2, e_Ag3)는 동일하거나, 그렇지 않으면 상기 층의 두께는 0.8∼1.2의 비율로 변화하고, e_Ag1≤e_Ag3≤e_Ag2와 같다.

또 다른 특징에 따른 기판에 가장 가까운 은층(Ag₁)에 대한 하부층(sublayer)으로서 티타늄 이산화물 층은 10∼20㎚, 바람직하게는 10∼15㎚의 두께를 갖고, 다른 두 개의 은층(Ag₂, Ag₃)에 대한 하부층으로서 티타늄 산화물은 35∼55㎚, 바람직하게는 40∼50㎚의 두께를 갖는다.

바람직하게는 아연 산화물 층은 15㎚ 이상의 두께를 갖는다.

바람직하게 손실성 금속층은 니보븀, 티타늄 또는 지르코늄이고, 2㎚를 초과하지 않는 두께를 갖는다.

또 다른 특징에 따른 반사방지층은 25∼50㎚, 바람직하게는 25∼35㎚의 두께를 갖는다. 바람직하게는 상기 반사방지층은 15∼35㎚의 두께, 바람직하게는 20∼30㎚의 두께를 갖는 적어도 하나의 티타늄 이산화물 층을 포함하고, 또한 상기 티타늄 이산화물층에 증착되고 5∼15㎚의 두께, 바람직하게는 6∼10㎚의 두께를 갖는 다른 금속 산화물층을 포함할 수 있다. 상기 금속 산화물은 바람직하게 주석 산화물(SnO₂) 또는 실리콘 질화물(Si₃N₄)이다.

이러한 특징으로, 본 발명에 따른 기판은 1Ω/□을 초과하지 않고, 바람직하게 0.7∼0.9Ω/□의 표면저항을 갖는다.

상기 기판은 강인화(toughened)되거나 또는 비강인화(untoughened)된 유리, 또는 플라스틱으로 만들어 질 수 있다.

예를 들어 플라즈마 디스플레이 타입의 디스플레이 스크린에 가하여지는 전자기 차폐 필터 상에서 상기 기판을 이용하는 것은 바람직할 것이다. 그러므로 상기 필터는 한 개 이상의 기능성 플라스틱 시트(예를 들어 염색 또는 염료를 구비한) 및/또는 다른 투명한 기판과 더불어 본 발명의 다층을 구비하고 이하의 광학적 특성을 가질 수 있도록 반사방지층으로 선택적으로 코팅된 기판을 포함한다.

- 45∼55%의 광 투과 계수(T_L)

- 투과시에 10% 미만의 순도(purity)

- 5% 미만, 바람직하게는 4% 미만의 광 반사(R_L)

- 20% 미만의 순도를 가지며 반사시에 전체적으로 자청색(violet-blue)

- 반사시에 전체적으로 청색

본 발명의 다른 특징과 이점은 첨부된 도면으로 설명된다.

도 1은 전자기 차폐 필터의 제1실시예를 도시하고;

도 2는 전자기 차폐 필터의 제2실시예를 도시하고; 및

도 3은 본 발명의 다층을 개략적으로 도시한 것이다.

본 발명의 요소인 다양한 크기, 특히 두께에 관련하는 비율은 요소들이 판독이 보다 용이하도록 하기 위해서 도면 상에서 축적에 맞게 도시하지 않았는 것을 먼저 주목하여야 한다.

도 1은 광학적 및 전자기 차폐필터를 형성하기 위해서 플라즈마 디스플레이의 앞면에 결합되도록 의도된 투명구조(1)에 관한 제 1예를 나타낸다.

상기 구조(1)는 제 1의 투명기판(10)을 포함하고, 상기 투명기판의 예는 유리 타입이고, 그러한 변형으로서 플라스틱 타입이 될 수 있고, 디스플레이와 같은 편에 위치하도록 의도되고, 기판(10)의 내부면에 위치한 본 발명에 따른 박막 다층(20)은 구조 내부를 향하고 제1기판에 결합된 상기 유리타입의 제 2 기판(30)은 PVB 필름과 같은 프라스틱 필름(40)에 의해 다층(20)에 접한다. 상기 기능성 플라스틱 필름은 바람직하게 590㎚에 집중된 주황색 파장을 여과하도록 광물성 색소와 주황색 염료를 포함한다. 독자는 플라스틱 필름 또는 구조의 대안적 실시예에 대한 보다 상세한 사항에 대해서 프랑스 특허 출원 FR 03/04636호를 참조할 수 있다.

외부 구조의 기판(10)(30)의 외부면에는 바람직하게 반사반지 코팅(50)이 제공된다.

도 2는 구조(1)의 제2실시예를 나타내며, 이 경우에는 관찰자의 반대편에에 있도록 의도되는 구조의 면 중 하나가 박막 다층(20)을 구비한 기판(10)과 PET와 같은 플라스틱으로 만들어지고 디스프레이와 같은 방면에 위치하도록 의도되며, PVB 필름과 같은 플라스틱 필름(40)에 의해서 다층(20)에 접하는 기판(10)에 결합되고, 상기 제1실시예에서 설명된 다른 기능성들을 유리하게 결합할 수 있는 기판(10)을 포함한다. 구조의 외부에 대한 기판(10)의 외부면은 바람직하게 반사방지 코팅(50)을 구비한다.

그러므로 본 발명은 기판(10)과 같은 기판 상에 증착되는 다층(20)에 관한 것이다. 상기 다층은 세 개의 금속 은층, 즉 기판에 가장 근접하는 층인 Ag₁, 중심층인 Ag₂, 기판에서 가장 멀리 이격된 Ag₃을 포함하고, 이 층의 기능은 30㎒∼1㎓의 주파수와 800㎚의 적외선을 갖는 전자기파를 반사하는 것이다.

상기 다층은 기판 상에서 교대로 증착된 티타늄 이산화물 층(21), 아연 산화물로 구성되는 금속 산화물층(22), 은층 (Ag₁, Ag₂또는 Ag₃) 중 하나, 손실성 금속 코팅층(23)을 포함한다. 손실성 금속층(23)의 상부에 기판에서 가장 이격된 은층(Ag₃) 위에 증착된 적어도 하나의 금속 산화물로 구성된 반사방지층(24)이다.

은층(Ag₁, Ag₂ 및 Ag₃)의 각 두께는 13∼19㎚이다. 각각의 층(Ag₁, Ag₂ 및 Ag₃)의 두께(e_Ag1, e_Ag2 및 e_Ag3)는 동일할 수 있거나 상기 층의 두께는 0.8∼1.2의 비율로 변화하고, e_Ag1≤e_Ag3≤e_Ag2와 같다. 층 두께의 불균형은 동일한 표면저항을 유지하면서 광 반사를 낮추기 위해 바람직하다.

기판에 접하는 은층(Ag₁)에 대한 하부층으로서 티타늄 산화물층(21)은 10∼20㎚, 바람직하게는 10∼15㎚의 두께를 갖는다.

다른 두 개의 은층(Ag₂, Ag₃)에 대한 하부층으로서 티타늄 산화물 층(21)은 35∼55㎚, 바람직하게는 40∼50㎚의 두께를 갖는다.

상기 아연 산화물층(22)은 바람직하게 15㎚이상, 예를 들어 16∼18㎚의 두께를 갖는다.

상기 손실성 금속층(23)은 니오븀, 티타늄, 또는 지르코늄, 바람직하게는 티타늄으로 이루어지고, 2㎚이상, 예를 들어 1.5㎚의 두께를 갖는다.

상기 손실성 금속층은 산화에 대해서 은을 보호하고, 은의 저항도를 개선시키게 한다. 티타늄의 존재가 광 투과를 감소시킬 수 있다 하더라도, 충분히 정확한 광 투과를 유지하면서 보다 낮은 표면저항을 획득되게 한다. 필터의 광학적 특성과 필터의 차폐 특성 간에 발견될 수 있는 절충은 여전히 양호한 광학 특성을 유지하면서 차폐에 선호성을 부여하여 제공된다. 그러므로, 세 개의 은층을 기본으로 하는 본 발명의 배열로 표면저항은 종래기술에 따른 1.5Ω/□대신에 0.8Ω/□로 감소하고, "소비자"제품으로 불려지는 것으로 다뤄지는 유럽 기준 EN 55022의 클래스A에는 충족하지 않으나, 호모-시네마(homo-cinema)타입의 특수제품으로 다뤄지는 클래스 B에는 충족한다.

기판으로부터 이격된 은층(Ag₃)에 대한 반사방지층(24)은 25∼50㎚의 두께, 바람직하게는 25∼35㎚의 두께를 갖는다. 상기 반사방지층은 15∼35㎚의 두께, 바람직하게는 20∼30㎚의 두께를 가진 적어도 티타늄 이산화물을 포함한다.

바람직하게, 상기 반사방지층의 티타늄 이산화물의 상부에 증착된 것은 5∼ 15㎚, 바람직하게는 6∼10㎚의 작은 두께의 또 다른 금속 산화물이다. 상기 금속산화물은 예를 들어 주석 산화물(SnO₂) 또는 실리카 질화물(Si₃N₄)이며, 이것은 반사 및 투과 시에 색의 순도를 개선시키도록 돕는다.

모든 다층의 층은 공지된 스퍼터링 기법으로 기판 상에 증착된다.

이하의 표에서, 우리는 본 발명 다층(20)의 다섯 개의 실시예(Ex1∼Ex5)를 나타낸다. 표에서 제공된 것은 각 층의 두께(㎚)와, 기판(10)에 결합된 각 다층, 광투과(T_L)값(%), 광반사(R_L)(%), 투과시에 투과의 순도(P_e)(%), 반사시에 반사의 순도(P_e)(%), 투과와 반사시에 지배적인 파장, 각각 투과시에 λ_d와 반사시에 λ_d(㎚), 표면저항(R_surf)(Ω/□)이다.

이러한 다섯가지 예는 적합한 차폐가 1Ω/□미만이 되도록 가능하게 한다.

예 1, 2 및 5의 경우에, 은층은 동일하고 15㎚이다. 아연 산화물의 두께는 15㎚ 미만으로 서로 다르고, 예 5의 경우에는 정확하게 10㎚이다. 각 예에 대하여, 티타늄 이산화물의 두께는 다층의 광학적 특성이 최적화되도록 고정되어 있다.

이러한 결과는 예 5보다 큰 아연 산화물의 두께를 가진 예 1 및 2에 대해 광투과는 종래기술로 예측할 수 있는 것과는 반대로 18㎚의 아연 산화물 두께를 구비하는 예 1의 경우에는 실질적으로 동일하고 심지어 약간 더 우수하고, 반사는 예 1 및 2의 경우는 예 5의 경우 보다 더 낮은 이점이 있어서, 상기 디스플레이가 관찰자에 대해 덜 밝고 더 공격적으로 조명되는 것을 가능하게 한다.

예 3과 4는 은층에 대해서 다른 두께와 예 4의 경우에 SnO₂를 기본으로 하는 반사방지층(25)으로 비교를 제공한다. 불균형은 광반사를 감소시키는 이점이 있으나, 투과와 반사 시에 순도를 증가시키는 단점이 있는데, 즉 반사방지층의 추가는 상기와 같은 단점을 극복하고 예 1, 2 및 5와 같거나 실질적으로 같은 반사시 순도를 획득하여, 예 3의 결과와 비교되는 반사시 순도를 감소시키는 것을 돕는다.

	Ex 1	Ex 2	Ex 3	Ex 4	Ex 5
TiO₂	12	12	12	12	13
ZnO	18	16	16	16	10
Ag₁	15	15	13.5	13.5	15
Ti	1.5	1.5	1.5	1.5	1.6
TiO₂	43	43	43	43	48
ZnO	18	16	16	16	10
Ag₂	15	15	16.5	16.5	15
Ti	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5
TiO₂	43	43	43	43	48
ZnO	18	16	16	16	10
Ag₃	15	15	15	15	15
Ti	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5
TiO₂	25	25	25	25	25
SnO₂	0	0	0	7	0
T_L(%)	62	61	62	65	61
R_L(%)	5.8	5.0	4.7	4.7	6
투과시 P_e(%)	5	6	9	6	5
투과시 λ_d(㎚)	500	490	496	499	500
반사시 P_e(%)	30	20	50	40	30
반사시 λ_d(㎚)	-555	-560	-553	-547	-555
R_surf(Ω/□)	0.8	0.8	0.8	0.8	0.8

그러므로, 은층 및 유전성 층의 증착과 본 발명에 따라 설정된 두께를 조절하고 또한 금속 보호층을 이용하여 도 1과 도 2에 도시한 획득된 필터는 이하의 특성을 갖는다.

- 1Ω/? 미만의 표면 저항;

- 45∼55%의 광투과 계수(T_L);

- 10% 미만의 투과시 순도;

- 5% 미만, 바람직하게는 4% 미만의 광반사(R_L);

- 20% 미만의 순도를 갖는 반사시 전체적으로 자청(violet-blue)색; 및

- 투과시 전체적으로 청색

본 발명의 기판을 이용하여 전자기적 차폐 필터는 디스플레이 스크린, 특히 플라즈마 디스플레이에 적용될 수 있다. 이것은 차폐에 대해서 우수한 성능을 제공하여(표면저항이 1Ω/□미만), 결론적으로 1%를 초과하지 않는 900㎚에서 투과하여 특히 적외선을 방해한다. 또한 상기 필터는 광투과 계수가 45∼55%로 우수한 가시성을 나타내고, 디스플레이의 콘트라스트를 개선한다.

Claims

투명기판으로서,

특히 세 개의 은층(Ag₁, Ag₂, Ag₃)을 포함하고, 대안적으로 기판 상에 교대로 티타늄 이산화물층(21), 금속 산화물층(22), 은층(Ag₁, Ag₂, Ag₃) 중 하나 및 피복층(23)을 포함하는 박막 다층(20)을 구비하는 투명기판에 있어서,

- 상기 금속 산화물은 아연 산화물;

- 상기 피복층(23)은 손실성금속; 및

- 적어도 하나의 금속 산화물을 포함하는 반사방지층(24)은 기판으로부터 가장 멀리 이격된 은층(Ag₃)의 피복층 상에 증착되는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항에 있어서, 상기 각각의 은층(Ag₁, Ag₂, Ag₃)의 두께는 13∼19㎚인 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 각각의 층(Ag₁, Ag₂, Ag₃)의 두께(e_Ag1, e_Ag2, e_Ag3)는 동일하거나, 이와는 달리 두께들은 0.8∼1.2의 비율로 다양하고, e_Ag1≤ e_Ag3≤e_Ag2와 같은 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 항 항에 있어서, 상기 기판에 가장 가까운 은층(Ag1)의 서브레어어인 티타늄 이산화물층(21)은 10∼20㎚, 바람직하게는 10∼15㎚의 두께를 갖고, 다른 두 개의 은층(Ag₂, Ag₃)의 하부층인 티타늄 산화물 층(21)은 35∼55㎚, 바람직하게는 40∼50㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 아연 산화물층(22)은 15㎚이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 손실성 금속층(23)은 니오븀(Nb), 티타늄(Ti), 또는 지르코늄(Zr)으로 이루어진 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 한에 있어서, 상기 손실성 금속층(23)의 두께는 2㎚ 이하인 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반사반지층(24)은 25∼50㎚, 바람직하게는 25∼35㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 8항에 있어서, 상기 반사반지층(24)은 15∼35㎚, 바람직하게는 20∼30㎚의 두께를 갖는 적어도 하나의 티타늄 이산화물 층을 포함하는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 반사방지층(24)은 티타늄 이산화물층과 상기 티타늄 이산화물 층 상에 증착된 다른 금속 산화물층을 포함하고 5∼15㎚, 바람직하게는 6∼10㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 10항에 있어서, 상기 반사방지층(24)의 금속 산화물층은 주석 산화물(SnO₂) 또는 실리카 질화물(Si₃N₄)인 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서, 표면저항이 1Ω/□을 초과하는, 바람직하게는 0.7∼0.9Ω/□인 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서, 강인화된 또는 비강인화된 유리, 또는 플라스틱으로 만들어진 것을 특징으로 하는,

유리로 만들어진 투명기판.
제 1항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 기재된 기판을 포함하는 전자기 차폐 필터에 있어서, 상기 필터는 이하의 광학적 특징, 즉

- 45∼55%의 광투과 계수(T_L);

- 투과시 10% 미만의 순도;

- 5% 미만, 바람직하게는 4% 미만의 광반사(R_L);

- 반사시 20% 미만의 순도를 가진 전체적으로 자청색;

- 투과시 전체적으로 청색

인 것을 특징으로 하는,

전자기 차폐 필터.
제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 기재된 적어도 하나의 기판 또는 필터 앞면에 결합하는 플라즈마 디스플레이 타입의 디스플레이 스크린.