JPH11307987A - 電磁波フィルタ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイパネルが画像を表示し
ているとき、プラズマ放電により放射される近赤外線に
より、パネル周辺にある電気製品のリモコンスイッチが
誤動作をするという現象が発生していた。この誤動作を
防止させるために、プラズマディスプレイパネル前面に
設けられる電磁波フイルタとして、誤動作を確実に防止
する近赤外線域の波長を効率よく遮断し、かつ、光透過
性が高いものはなかった。 【解決手段】 ガラス基板上に、屈折率が1.6〜2.
8の誘電体層と0.1原子%以上0.5原子%未満のパ
ラジウムを含有する銀層とを、この順に交互に積層した
7層の積層体からなる電磁波遮断膜を被覆し、電磁波遮
断膜の銀層の厚みを5〜25nm、シート抵抗を3Ω/
□以下とすることにより、波長850nmにおける近赤
外線透過率を20%以下とする。そしてこの電磁波遮断
膜にPETフイルムを粘着材により貼り付ける。
ているとき、プラズマ放電により放射される近赤外線に
より、パネル周辺にある電気製品のリモコンスイッチが
誤動作をするという現象が発生していた。この誤動作を
防止させるために、プラズマディスプレイパネル前面に
設けられる電磁波フイルタとして、誤動作を確実に防止
する近赤外線域の波長を効率よく遮断し、かつ、光透過
性が高いものはなかった。 【解決手段】 ガラス基板上に、屈折率が1.6〜2.
8の誘電体層と0.1原子%以上0.5原子%未満のパ
ラジウムを含有する銀層とを、この順に交互に積層した
7層の積層体からなる電磁波遮断膜を被覆し、電磁波遮
断膜の銀層の厚みを5〜25nm、シート抵抗を3Ω/
□以下とすることにより、波長850nmにおける近赤
外線透過率を20%以下とする。そしてこの電磁波遮断
膜にPETフイルムを粘着材により貼り付ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの前面に設置してプラズマ放電により放出さ
れる電磁波をカットするのに好適に用いられる電磁波フ
ィルタに関し、本来の電磁波遮断性とともに高い可視光
線透過率と低い近赤外透過率を併せ有し、かつ実用に耐
える耐久性を有する電磁波フィルタに関する。また本発
明は、陰極線管(CRT)やフィールドエミッションデ
ィスプレイ(FED)が放出する電磁波をカットするの
に用いることもできる。
レイパネルの前面に設置してプラズマ放電により放出さ
れる電磁波をカットするのに好適に用いられる電磁波フ
ィルタに関し、本来の電磁波遮断性とともに高い可視光
線透過率と低い近赤外透過率を併せ有し、かつ実用に耐
える耐久性を有する電磁波フィルタに関する。また本発
明は、陰極線管(CRT)やフィールドエミッションデ
ィスプレイ(FED)が放出する電磁波をカットするの
に用いることもできる。
【0002】
【従来の技術】ガラス板の如き透明基板の主表面上に電
磁波遮断膜が被覆された可視域で透明な電磁波フィルタ
としては、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交
互に積層された電磁波フィルタが知られている。この目
的のために用いられる電磁波遮蔽膜は、電磁波の遮蔽を
行うために導電性の(小さい面積抵抗を有する)物質を
基板上に塗布あるいは被覆したものが用いられ、高い可
視光線透過率を確保しながら低い抵抗を有する導電体層
として、透明金属酸化物で例示できる誘電体薄膜層と銀
の薄膜層との積層体が知られている。
磁波遮断膜が被覆された可視域で透明な電磁波フィルタ
としては、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交
互に積層された電磁波フィルタが知られている。この目
的のために用いられる電磁波遮蔽膜は、電磁波の遮蔽を
行うために導電性の(小さい面積抵抗を有する)物質を
基板上に塗布あるいは被覆したものが用いられ、高い可
視光線透過率を確保しながら低い抵抗を有する導電体層
として、透明金属酸化物で例示できる誘電体薄膜層と銀
の薄膜層との積層体が知られている。
【0003】特開平5−42624号公報には、銀層を
誘電体層ではさんだ構造の熱線遮断膜が被覆されたガラ
ス板が開示されており、銀層を保護する誘電体層として
酸化亜鉛層と酸化錫層の2層以上の積層体を用いたもの
が開示され、この熱線遮断膜は、窓や電子部品に用いら
れて電磁波遮断膜として使用できることが記載されてい
る。
誘電体層ではさんだ構造の熱線遮断膜が被覆されたガラ
ス板が開示されており、銀層を保護する誘電体層として
酸化亜鉛層と酸化錫層の2層以上の積層体を用いたもの
が開示され、この熱線遮断膜は、窓や電子部品に用いら
れて電磁波遮断膜として使用できることが記載されてい
る。
【0004】特開平9−85893号公報のガラス板上
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
0.3原子%以上含有させた銀層を用いること、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向上させ
ることが記載されており、耐湿熱性が改善された5層構
成(銀層を2層用いる)の積層体が開示されている。
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
0.3原子%以上含有させた銀層を用いること、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向上させ
ることが記載されており、耐湿熱性が改善された5層構
成(銀層を2層用いる)の積層体が開示されている。
【0005】特開平8−104547号公報には、断熱
複層ガラスの熱線遮断膜として、酸化錫層および酸化亜
鉛層を誘電体層とし、銀層を金属層とする5層構成(銀
層を2層用いる)の積層体が開示されており、ガラス窓
としての透過色および反射色を無彩色にするための誘電
体層の厚みを調整することが記載されている。
複層ガラスの熱線遮断膜として、酸化錫層および酸化亜
鉛層を誘電体層とし、銀層を金属層とする5層構成(銀
層を2層用いる)の積層体が開示されており、ガラス窓
としての透過色および反射色を無彩色にするための誘電
体層の厚みを調整することが記載されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
パネルは大型の画像表示として知られているが、その高
輝度の表示を実現するために強力なプラズマ放電を必要
とする。このため放電領域からプラズマディスプレイパ
ネルの前方に向かって、電磁波とともに近赤外線が放出
される。放出される電磁波は、人体に悪影響を及ぼす恐
れがあるとされ、また放出される近赤外線は、プラズマ
ディスプレイパネルの近くにある家電製品のリモコン受
光部で検知され、そのスイッチをオン状態に誤動作させ
るという問題点があり、これを防止する方法が種々検討
されている。
パネルは大型の画像表示として知られているが、その高
輝度の表示を実現するために強力なプラズマ放電を必要
とする。このため放電領域からプラズマディスプレイパ
ネルの前方に向かって、電磁波とともに近赤外線が放出
される。放出される電磁波は、人体に悪影響を及ぼす恐
れがあるとされ、また放出される近赤外線は、プラズマ
ディスプレイパネルの近くにある家電製品のリモコン受
光部で検知され、そのスイッチをオン状態に誤動作させ
るという問題点があり、これを防止する方法が種々検討
されている。
【0007】上記目的を達成するために、プラズマディ
スプレイパネル前面に電磁波遮断性能を有する透明体を
設けることが提案されており、そのために誘電体層と銀
層を交互に積層した電磁波フィルタをプラズマディスプ
レイ前面に貼り付ける方法が検討されている。このよう
な電磁波フィルタは、次の性能が要求される。 1)電磁波遮断能がある。 2)リモコンスイッチによる遠隔操作に用いられる近赤
外線域(800〜900nm域)の熱線に対して透過率
が小さく、周辺の家電製品の誤動作防止能がある。 3)明るい画像表示を維持するために可視光線透過率が
高い。 4)空気中に暴露された状態で使用されるので、耐湿熱
性などの耐久性能がある
スプレイパネル前面に電磁波遮断性能を有する透明体を
設けることが提案されており、そのために誘電体層と銀
層を交互に積層した電磁波フィルタをプラズマディスプ
レイ前面に貼り付ける方法が検討されている。このよう
な電磁波フィルタは、次の性能が要求される。 1)電磁波遮断能がある。 2)リモコンスイッチによる遠隔操作に用いられる近赤
外線域(800〜900nm域)の熱線に対して透過率
が小さく、周辺の家電製品の誤動作防止能がある。 3)明るい画像表示を維持するために可視光線透過率が
高い。 4)空気中に暴露された状態で使用されるので、耐湿熱
性などの耐久性能がある
【0008】ここで、上記2)と3)の性能を同時に満
足させるには、可視域で高透過、近赤外域で低透過の特
性、すなわち可視域と近赤外域の境界で急速に透過率が
低くなる、いわゆる光学ローパスフィルタとしての特性
を有するように電磁波遮断膜を設計することにより、本
発明の課題を解決する着想を得たのである。
足させるには、可視域で高透過、近赤外域で低透過の特
性、すなわち可視域と近赤外域の境界で急速に透過率が
低くなる、いわゆる光学ローパスフィルタとしての特性
を有するように電磁波遮断膜を設計することにより、本
発明の課題を解決する着想を得たのである。
【0009】特開平5−42624号公報に記載のガラ
ス板上の熱線遮断膜は、保護層となるべき誘電体層を酸
化亜鉛層と酸化錫層の2層以上の積層体としているの
で、耐湿熱性で代表される耐久性は優れているが、銀を
1層としているので電磁波遮断性能が十分でなく、プラ
ズマディスプレイの前面に用いても近赤外域の熱線の透
過率が高く、上記のリモコンの誤動作を防止することが
困難であるという問題点があった。
ス板上の熱線遮断膜は、保護層となるべき誘電体層を酸
化亜鉛層と酸化錫層の2層以上の積層体としているの
で、耐湿熱性で代表される耐久性は優れているが、銀を
1層としているので電磁波遮断性能が十分でなく、プラ
ズマディスプレイの前面に用いても近赤外域の熱線の透
過率が高く、上記のリモコンの誤動作を防止することが
困難であるという問題点があった。
【0010】また、特開平9−85893号公報のガラ
ス板上に被覆されている積層体は、金属層としてパラジ
ウムを0.3原子%以上含有させた銀層を用いたこと、
誘電体層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添
加させてその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向
上させたことにより、耐湿熱性が改善されているが、銀
層を2層(5層構成)としているため、プラズマディス
プレイパネルとして要求される上記2)と3)の要求特
性を得ることは困難である。
ス板上に被覆されている積層体は、金属層としてパラジ
ウムを0.3原子%以上含有させた銀層を用いたこと、
誘電体層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添
加させてその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向
上させたことにより、耐湿熱性が改善されているが、銀
層を2層(5層構成)としているため、プラズマディス
プレイパネルとして要求される上記2)と3)の要求特
性を得ることは困難である。
【0011】さらに、特開平8−104547号公報に
開示されている熱線遮断膜についても、銀層を2層とす
る5層構成の積層体であるので、前述の通り、上記2)
と3)の要求特性を得ることは困難である。
開示されている熱線遮断膜についても、銀層を2層とす
る5層構成の積層体であるので、前述の通り、上記2)
と3)の要求特性を得ることは困難である。
【0012】本発明は、プラズマディスプレイパネルの
前面から放出される電磁波およびリモコンスイッチ制御
用の赤外線を遮断する機能と高い可視光線透過率を維持
し、かつ、実用的な耐久性能を有する電磁波フィルタを
提供することを目的とする。
前面から放出される電磁波およびリモコンスイッチ制御
用の赤外線を遮断する機能と高い可視光線透過率を維持
し、かつ、実用的な耐久性能を有する電磁波フィルタを
提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板の一
方の面に透光性の電磁波遮断膜が被覆された電磁波遮断
板と、前記電磁波遮断膜の面に貼られた樹脂フィルムの
保護膜とを含む電磁波フィルタであって、前記電磁波遮
断膜を、透明基板側から550nmの波長における屈折
率が1.6〜2.8の誘電体層と銀主成分層とをこの順
に交互に積層した7層の積層体とし、銀主成分層を銀に
対して0.1原子%以上0.5原子%未満のパラジウム
を含有させたものとし、かつ、その各層の厚みを5〜2
5nmとすることにより、前記電磁波遮断膜のシート抵
抗を3Ω/□以下とし、かつ、波長850nmにおける
近赤外線透過率を20%以下としたことを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタである。
方の面に透光性の電磁波遮断膜が被覆された電磁波遮断
板と、前記電磁波遮断膜の面に貼られた樹脂フィルムの
保護膜とを含む電磁波フィルタであって、前記電磁波遮
断膜を、透明基板側から550nmの波長における屈折
率が1.6〜2.8の誘電体層と銀主成分層とをこの順
に交互に積層した7層の積層体とし、銀主成分層を銀に
対して0.1原子%以上0.5原子%未満のパラジウム
を含有させたものとし、かつ、その各層の厚みを5〜2
5nmとすることにより、前記電磁波遮断膜のシート抵
抗を3Ω/□以下とし、かつ、波長850nmにおける
近赤外線透過率を20%以下としたことを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタである。
【0014】本発明は、鋭意研究した結果、上記構成を
採用することにより、すなわち銀主成分層については3
層に分割すること、銀層にパラジウムを所定範囲量添加
することにより、プラズマディスプレイパネルの前面電
磁波フィルタとして必要な電磁波遮断膜の抵抗値、近赤
外域(約850nm)での透過率および実用的な耐湿熱
性強度が得られることを見出したことによりなされたも
のである。
採用することにより、すなわち銀主成分層については3
層に分割すること、銀層にパラジウムを所定範囲量添加
することにより、プラズマディスプレイパネルの前面電
磁波フィルタとして必要な電磁波遮断膜の抵抗値、近赤
外域(約850nm)での透過率および実用的な耐湿熱
性強度が得られることを見出したことによりなされたも
のである。
【0015】本発明の銀主成分層には、パラジウムが銀
に対して原子%で0.1以上0.5未満の範囲内で含有
される。パラジウムの下限値は、実用的な耐湿熱性を確
保するために定められ、上限値はリモコンスイッチの誤
動作を防ぐために必要な近赤外域の遮断性能を確保する
ことから定められる。
に対して原子%で0.1以上0.5未満の範囲内で含有
される。パラジウムの下限値は、実用的な耐湿熱性を確
保するために定められ、上限値はリモコンスイッチの誤
動作を防ぐために必要な近赤外域の遮断性能を確保する
ことから定められる。
【0016】本発明者は、高輝度のプラズマディスプレ
イパネルから発生する近赤外線を80%以上遮断するこ
とにより、上記の目的が達成されることを実用試験から
見いだした。すなわち、この遮断性能は、銀層のパラジ
ウム含有量が増加すると単調に低下することを、また赤
外線の透過率を20%以下となるようにするためには、
銀主成分中に含有させるパラジウムの上限値を0.5原
子%未満とすることが必要であることを見いだした。一
方、電磁波遮断膜の実用的な耐湿熱性を良くするために
は、銀主成分層中のパラジウム量を、0.1原子%以上
含有させることが必要であることを見いだした。
イパネルから発生する近赤外線を80%以上遮断するこ
とにより、上記の目的が達成されることを実用試験から
見いだした。すなわち、この遮断性能は、銀層のパラジ
ウム含有量が増加すると単調に低下することを、また赤
外線の透過率を20%以下となるようにするためには、
銀主成分中に含有させるパラジウムの上限値を0.5原
子%未満とすることが必要であることを見いだした。一
方、電磁波遮断膜の実用的な耐湿熱性を良くするために
は、銀主成分層中のパラジウム量を、0.1原子%以上
含有させることが必要であることを見いだした。
【0017】より耐湿熱性を強くするには、パラジウム
含有量を、0.15原子%以上とするのが好ましく、さ
らに0.2原子%以上とするのが好ましい。また、近赤
外線の遮断性能を大きくするには0.4原子%以下とす
るのが好ましく、さらに0.35原子%以下とするのが
好ましい。
含有量を、0.15原子%以上とするのが好ましく、さ
らに0.2原子%以上とするのが好ましい。また、近赤
外線の遮断性能を大きくするには0.4原子%以下とす
るのが好ましく、さらに0.35原子%以下とするのが
好ましい。
【0018】可視光線透過率(本発明においてはCea
lab座標系(D65光源)での視感度透過率Yで定義
される)が高いことを重視し、その値を60%よりかな
り高くするには、銀主成分層の厚みを5〜10nmとす
るのが好ましく、近赤外線の透過率が低いこと(シート
抵抗値が低くなる)を重視するには、10nmより厚く
するのが好ましい。
lab座標系(D65光源)での視感度透過率Yで定義
される)が高いことを重視し、その値を60%よりかな
り高くするには、銀主成分層の厚みを5〜10nmとす
るのが好ましく、近赤外線の透過率が低いこと(シート
抵抗値が低くなる)を重視するには、10nmより厚く
するのが好ましい。
【0019】また、本発明においては、3つの銀主成分
層をほぼ同じ厚みとしてよいが、透明基板から数えた第
2層の厚みを第1層および第3層の厚みより厚くするの
が、透過帯域を狭くした状態で可視光線透過率を高くす
る上で好ましい。
層をほぼ同じ厚みとしてよいが、透明基板から数えた第
2層の厚みを第1層および第3層の厚みより厚くするの
が、透過帯域を狭くした状態で可視光線透過率を高くす
る上で好ましい。
【0020】この場合、銀主成分層の第2層の厚みは、
第1層や第3層の厚みよりも50%を超えない範囲で厚
くするのが好ましい。上記の値を越えて厚くすると、透
過光で見て緑に着色するので好ましくない。また、上記
のほぼ同じ厚みとは、一方の層の厚みが他方の層の厚み
の±15%の範囲内であることをいう。
第1層や第3層の厚みよりも50%を超えない範囲で厚
くするのが好ましい。上記の値を越えて厚くすると、透
過光で見て緑に着色するので好ましくない。また、上記
のほぼ同じ厚みとは、一方の層の厚みが他方の層の厚み
の±15%の範囲内であることをいう。
【0021】本発明の誘電体層のうち、透明基板から数
えた第2層と第3層のそれぞれの厚みを、第1層の厚み
と第4層のそれぞれの厚みより大きくするのが好まし
い。その理由は、光の干渉を効率よく利用した可視光域
の透過フィルタとするためである。
えた第2層と第3層のそれぞれの厚みを、第1層の厚み
と第4層のそれぞれの厚みより大きくするのが好まし
い。その理由は、光の干渉を効率よく利用した可視光域
の透過フィルタとするためである。
【0022】また、誘電体層のうち、透明基板から数え
た第1層と第4層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3
層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3層の厚みを第1
層および第4層のそれぞれの厚みの1.3〜1.9倍と
するのが好ましい。これにより、プラズマディスプレイ
の前面の電磁波フィルタとして好ましいフィルタとする
ことができる。ここでほぼ同じ厚みとは、一方の層の厚
みが他方の層の厚みの±15%の範囲内であることをい
う。
た第1層と第4層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3
層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3層の厚みを第1
層および第4層のそれぞれの厚みの1.3〜1.9倍と
するのが好ましい。これにより、プラズマディスプレイ
の前面の電磁波フィルタとして好ましいフィルタとする
ことができる。ここでほぼ同じ厚みとは、一方の層の厚
みが他方の層の厚みの±15%の範囲内であることをい
う。
【0023】上記倍率の範囲内で、誘電体層の第2層お
よび第3層の厚みをそれぞれ55〜75nmとし、第1
層および第4層の厚みをそれぞれ30〜60nmの範囲
内で定めるのが好ましい。
よび第3層の厚みをそれぞれ55〜75nmとし、第1
層および第4層の厚みをそれぞれ30〜60nmの範囲
内で定めるのが好ましい。
【0024】可視光線透過率は、明るい画像表示を損な
わないために60%以上とするのが好ましい。そのため
に上記銀層を3層に分割するとともに、銀層を挟んで積
層される誘電体層の550nmの波長における屈折率を
1.6〜2.8として、その厚みが調整される。
わないために60%以上とするのが好ましい。そのため
に上記銀層を3層に分割するとともに、銀層を挟んで積
層される誘電体層の550nmの波長における屈折率を
1.6〜2.8として、その厚みが調整される。
【0025】本発明の誘電体層に用いられる透明金属酸
化物としては、酸化亜鉛、酸化錫、酸化インジウム、酸
化チタニウム、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル等が
例示できる。またこれらの混合物も用いることができ
る。たとえば酸化亜鉛と酸化インジウムの混合物やIT
Oを用いることができる。これらの透明金属酸化物の2
種以上を積層して多層構成の誘電体層とすることができ
る。
化物としては、酸化亜鉛、酸化錫、酸化インジウム、酸
化チタニウム、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル等が
例示できる。またこれらの混合物も用いることができ
る。たとえば酸化亜鉛と酸化インジウムの混合物やIT
Oを用いることができる。これらの透明金属酸化物の2
種以上を積層して多層構成の誘電体層とすることができ
る。
【0026】なかでも導電性である酸化亜鉛は、銀主成
分層に下地として積層すると、酸化亜鉛の結晶格子のピ
ッチが銀のそれと非常に近いため、比抵抗が小さい(結
晶性を高くすると小さくなる)銀の膜成長に適している
ので好ましい。また酸化亜鉛は、雰囲気中の銀に対する
腐食性ガスに含まれる硫黄成分などを吸着して、硫黄成
分の銀層への直接到達を妨げ、銀層を保護するので好ま
しい。また、酸化亜鉛にアルミニウムやガリウムなどの
金属を少量含有させた酸化亜鉛主成分層は、導電性が増
加するので、また後述する成膜時において利点があるの
で好ましい。
分層に下地として積層すると、酸化亜鉛の結晶格子のピ
ッチが銀のそれと非常に近いため、比抵抗が小さい(結
晶性を高くすると小さくなる)銀の膜成長に適している
ので好ましい。また酸化亜鉛は、雰囲気中の銀に対する
腐食性ガスに含まれる硫黄成分などを吸着して、硫黄成
分の銀層への直接到達を妨げ、銀層を保護するので好ま
しい。また、酸化亜鉛にアルミニウムやガリウムなどの
金属を少量含有させた酸化亜鉛主成分層は、導電性が増
加するので、また後述する成膜時において利点があるの
で好ましい。
【0027】酸化錫やインジウムと亜鉛の複合酸化物は
導電性があり、かつ非晶質の膜とすることができるの
で、前記の腐食性ガスに対するガスバリヤ性が高く、電
磁波遮断膜の耐湿熱性を向上させるので好ましい。これ
らの酸化物は、大気などの環境中の腐食性ガス、たとえ
ばH2S、SO2、NOx、HClなどから銀層を保護する
点でも好ましい。
導電性があり、かつ非晶質の膜とすることができるの
で、前記の腐食性ガスに対するガスバリヤ性が高く、電
磁波遮断膜の耐湿熱性を向上させるので好ましい。これ
らの酸化物は、大気などの環境中の腐食性ガス、たとえ
ばH2S、SO2、NOx、HClなどから銀層を保護する
点でも好ましい。
【0028】上記理由から、本発明の誘電体層につい
て、その最表面層または各層を酸化錫と酸化亜鉛あるい
は酸化錫とアルミニウム含有酸化亜鉛(ZAOと略記す
る)の2層構成とするのが好ましい。この場合、銀層に
下地として接する膜を酸化亜鉛系の膜とするのが、上記
結晶格子の関係から好ましい。
て、その最表面層または各層を酸化錫と酸化亜鉛あるい
は酸化錫とアルミニウム含有酸化亜鉛(ZAOと略記す
る)の2層構成とするのが好ましい。この場合、銀層に
下地として接する膜を酸化亜鉛系の膜とするのが、上記
結晶格子の関係から好ましい。
【0029】本発明に用いられる樹脂フィルムは、電磁
波遮断膜を大気雰囲気の外部環境から化学的、物理的に
保護する目的で設けられる。このフィルムの550nm
の波長における屈折率は、電磁波遮断膜との界面反射光
の整合性の観点から1.58〜1.70とするのが好ま
しい。屈折率が1.70を越すと、このフィルムと電磁
波遮断膜との屈折率差が大きくなり、この界面で起きる
光の反射が強くなり、電磁波フィルタの透過率を大きく
下げてしまうので好ましくなく、1.58より小さいと
フィルタの使用者側から見た反射色が中性色から大きく
外れてしまうので外観上好ましくない。
波遮断膜を大気雰囲気の外部環境から化学的、物理的に
保護する目的で設けられる。このフィルムの550nm
の波長における屈折率は、電磁波遮断膜との界面反射光
の整合性の観点から1.58〜1.70とするのが好ま
しい。屈折率が1.70を越すと、このフィルムと電磁
波遮断膜との屈折率差が大きくなり、この界面で起きる
光の反射が強くなり、電磁波フィルタの透過率を大きく
下げてしまうので好ましくなく、1.58より小さいと
フィルタの使用者側から見た反射色が中性色から大きく
外れてしまうので外観上好ましくない。
【0030】樹脂フィルムの厚さは、5μm〜5mmの
範囲のものが好んで用いられる。本発明に用いることの
できるフィルムの材質としては、PET(ポリエチレン
テレフタレート)、PE(ポリエステル)、TAC(ト
リアセチルセルロース)、PW(ポリウレタン)を例示
できる。
範囲のものが好んで用いられる。本発明に用いることの
できるフィルムの材質としては、PET(ポリエチレン
テレフタレート)、PE(ポリエステル)、TAC(ト
リアセチルセルロース)、PW(ポリウレタン)を例示
できる。
【0031】本発明では、上記の樹脂フィルムを電磁波
遮断膜に、粘着層を介して接着するのが好ましい。粘着
層を形成する材料としては、アクリル樹脂系粘着剤が耐
久性がよいことから好ましい。
遮断膜に、粘着層を介して接着するのが好ましい。粘着
層を形成する材料としては、アクリル樹脂系粘着剤が耐
久性がよいことから好ましい。
【0032】この粘着層の厚さは、10〜500μmと
するのが好ましい。10μmより薄いと、貼り付け時に
異物を噛み込んだときに生じる段差を吸収しづらくな
り、目視で判別出来る製品欠陥を生じやすくなるからで
ある。また500μmより厚いと、外部環境からの水分
の浸入などを抑制し難くなるため、電磁波遮断膜の耐久
性を損ねることになるからである。さらに好ましくは約
100μmの厚みがよい。
するのが好ましい。10μmより薄いと、貼り付け時に
異物を噛み込んだときに生じる段差を吸収しづらくな
り、目視で判別出来る製品欠陥を生じやすくなるからで
ある。また500μmより厚いと、外部環境からの水分
の浸入などを抑制し難くなるため、電磁波遮断膜の耐久
性を損ねることになるからである。さらに好ましくは約
100μmの厚みがよい。
【0033】本発明に用いることのできる透明基板とし
ては、ソーダライムシリカ組成のガラスや硼珪酸ガラ
ス、無アルカリガラスなどの公知のガラス基板、PE
T、アクリル(PMMA)、TACなどのプラスチック
基板を例示することができる。
ては、ソーダライムシリカ組成のガラスや硼珪酸ガラ
ス、無アルカリガラスなどの公知のガラス基板、PE
T、アクリル(PMMA)、TACなどのプラスチック
基板を例示することができる。
【0034】本発明の誘電体層および銀主成分層は、公
知の真空成膜法で成膜される。とりわけスパッタリング
による成膜が好ましい。誘電体層のうちでもアルミニウ
ム含有酸化亜鉛の層は、酸化アルミニウムを数%含有す
る酸化亜鉛の微粉末焼結体をターゲットとする直流スパ
ッタリングで、安定放電状態下で成膜できるので好まし
い。
知の真空成膜法で成膜される。とりわけスパッタリング
による成膜が好ましい。誘電体層のうちでもアルミニウ
ム含有酸化亜鉛の層は、酸化アルミニウムを数%含有す
る酸化亜鉛の微粉末焼結体をターゲットとする直流スパ
ッタリングで、安定放電状態下で成膜できるので好まし
い。
【0035】成膜は通常室温で行うことができ、また銀
の結晶性を飛躍的に改善するため約300℃以下の温度
で適時基板を加熱しながら行ってもよい。また、室温で
成膜した後、得られた積層膜を大気中または窒素雰囲気
中で約300℃までの温度で加熱処理を施すことによ
り、誘電体層中の光吸収を解消し、かつ銀層の比抵抗を
改善することができる。
の結晶性を飛躍的に改善するため約300℃以下の温度
で適時基板を加熱しながら行ってもよい。また、室温で
成膜した後、得られた積層膜を大気中または窒素雰囲気
中で約300℃までの温度で加熱処理を施すことによ
り、誘電体層中の光吸収を解消し、かつ銀層の比抵抗を
改善することができる。
【0036】本発明においては、電磁波遮断膜の表面、
樹脂フィルムの外側表面あるいは内側表面、透明基板の
電磁波遮断膜を被覆しない表面などに反射防止処理を施
し、可視光線透過率を70%以上に向上させることがで
きる。
樹脂フィルムの外側表面あるいは内側表面、透明基板の
電磁波遮断膜を被覆しない表面などに反射防止処理を施
し、可視光線透過率を70%以上に向上させることがで
きる。
【0037】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の電磁波フィルタ
5の一実施例の断面図で、透明基板1の表面に被覆され
た電磁波遮断膜2は、粘着層3によって樹脂フィルム4
に接着され、大気中に触れないように保護されている。
透明基板1の周辺部には、透明基板1の表面と電磁波遮
蔽膜2の間にその一部が介在するように設けられたアー
ス取り出し用の銀ペーストからなるブスバー8が設けら
れている。
5の一実施例の断面図で、透明基板1の表面に被覆され
た電磁波遮断膜2は、粘着層3によって樹脂フィルム4
に接着され、大気中に触れないように保護されている。
透明基板1の周辺部には、透明基板1の表面と電磁波遮
蔽膜2の間にその一部が介在するように設けられたアー
ス取り出し用の銀ペーストからなるブスバー8が設けら
れている。
【0038】図2は、本発明の電磁波遮断膜の一実施例
の層構成を説明するための断面図で、透明基板1上に被
覆された電磁波遮断膜2は、誘電体層10と銀主成分層
9とが交互に7層(銀主成分層が3層)積層されてい
る。誘電体層10は上述の透明金属酸化物から選んだ単
層体または上述の2種以上から選ばれた透明酸化物の混
合物の単層体とすることができる。さらに上述の2種以
上の金属酸化物層の多層積層体とすることもできる。
の層構成を説明するための断面図で、透明基板1上に被
覆された電磁波遮断膜2は、誘電体層10と銀主成分層
9とが交互に7層(銀主成分層が3層)積層されてい
る。誘電体層10は上述の透明金属酸化物から選んだ単
層体または上述の2種以上から選ばれた透明酸化物の混
合物の単層体とすることができる。さらに上述の2種以
上の金属酸化物層の多層積層体とすることもできる。
【0039】図3は、本発明の電磁波フィルタ5が用い
られる状態を説明する概略断面図で、電磁波フィルタ5
はプラズマディスプレイパネル6の前面に枠体7により
保持され固定される。
られる状態を説明する概略断面図で、電磁波フィルタ5
はプラズマディスプレイパネル6の前面に枠体7により
保持され固定される。
【0040】以下に本発明を実施例と比較例により説明
する。 表1、2の説明 ・ガラス板:厚み2mmのソーダライムシリカ組成のガ
ラス板。 ・ZAO:アルミニウムを含有する酸化亜鉛。 ・AgPd0.4:銀に対してパラジウムを0.4原子
%含有する意。 ・( )内の数値は厚みで、電磁波遮断膜はnm単位、
粘着層および樹脂フィルムはμm単位で表示。 ・誘電体層の積層は、透明基板に近い順に上から下へ記
載されている。表3、4の説明 ・耐湿熱性:温度60℃、湿度90%に維持したとき
に、目視でヒロックやピンホール、曇りなどの発生が認
められる時間で表示。 ・近赤外線透過率:波長850nmにおける透過率。 ・透過色調a*,b*:透過光についてのCealab色
座標系での各2軸の値。
する。 表1、2の説明 ・ガラス板:厚み2mmのソーダライムシリカ組成のガ
ラス板。 ・ZAO:アルミニウムを含有する酸化亜鉛。 ・AgPd0.4:銀に対してパラジウムを0.4原子
%含有する意。 ・( )内の数値は厚みで、電磁波遮断膜はnm単位、
粘着層および樹脂フィルムはμm単位で表示。 ・誘電体層の積層は、透明基板に近い順に上から下へ記
載されている。表3、4の説明 ・耐湿熱性:温度60℃、湿度90%に維持したとき
に、目視でヒロックやピンホール、曇りなどの発生が認
められる時間で表示。 ・近赤外線透過率:波長850nmにおける透過率。 ・透過色調a*,b*:透過光についてのCealab色
座標系での各2軸の値。
【0041】サンプルの評価方法 ・シート抵抗:3.0Ω/□以下を○、3.0Ω/□を
越えるものを×で表示。 ・近赤外線透過率:20%以下を○、20%を越えるも
のを×で表示。 ・耐湿熱性:上記評価法で500時間以上を○、500
時間未満を×で表示。 ・透過色調a*,b*:ともに−4〜+4の範囲内を○、
それ以外を×で表示。 ・光透過率:450、550、650nmにおける透過
率がいずれも60%以上を○、それ以外を×で表示。
越えるものを×で表示。 ・近赤外線透過率:20%以下を○、20%を越えるも
のを×で表示。 ・耐湿熱性:上記評価法で500時間以上を○、500
時間未満を×で表示。 ・透過色調a*,b*:ともに−4〜+4の範囲内を○、
それ以外を×で表示。 ・光透過率:450、550、650nmにおける透過
率がいずれも60%以上を○、それ以外を×で表示。
【0042】実施例1 2mm厚の透明ガラス板上に、表1に示した積層体を大
型インライン型スパッタリング装置で成膜した。このと
きSnO2層はSnメタルターゲットを酸素との反応性
スパッタリングで、ZAO層はZn(94重量%)Al
(6重量%)のメタルターゲットを酸素との反応性スパ
ッタリングで、銀主成分層はAg(99.6重量%)P
d(0.4重量%)のメタルターゲットをアルゴンガス
によるスパッタリングで成膜した。
型インライン型スパッタリング装置で成膜した。このと
きSnO2層はSnメタルターゲットを酸素との反応性
スパッタリングで、ZAO層はZn(94重量%)Al
(6重量%)のメタルターゲットを酸素との反応性スパ
ッタリングで、銀主成分層はAg(99.6重量%)P
d(0.4重量%)のメタルターゲットをアルゴンガス
によるスパッタリングで成膜した。
【0043】その後、この積層体を大気中200℃で3
0分間熱処理を行い、誘電体層の光吸収を解消し、かつ
銀層の結晶性を向上させた。さらに、その表面に粘着層
を有したAR(反射防止)処理つきPETフィルムを貼
り付け、電磁波遮断膜の保護とガラスの割れ飛散防止を
行った。以上により製造した電磁波フィルタの各特性を
表3と表4に示す。
0分間熱処理を行い、誘電体層の光吸収を解消し、かつ
銀層の結晶性を向上させた。さらに、その表面に粘着層
を有したAR(反射防止)処理つきPETフィルムを貼
り付け、電磁波遮断膜の保護とガラスの割れ飛散防止を
行った。以上により製造した電磁波フィルタの各特性を
表3と表4に示す。
【0044】実施例2および実施例3 実施例1とは、銀主成分層のパラジウム含有量、誘電体
層の積層の仕方およびその厚みを変えてサンプルを作成
した。得られたサンプルの積層構成を表1に性能特性を
表3と表4に示す。
層の積層の仕方およびその厚みを変えてサンプルを作成
した。得られたサンプルの積層構成を表1に性能特性を
表3と表4に示す。
【0045】実施例1〜3で得られた電磁波フィルタ
は、シート抵抗および耐湿熱性で表せる耐久性について
の実用要求特性をいずれも満足し、また可視域の光学特
性も高く、プラズマディスプレイの明るい表示を大きく
低下させないことが分かった。
は、シート抵抗および耐湿熱性で表せる耐久性について
の実用要求特性をいずれも満足し、また可視域の光学特
性も高く、プラズマディスプレイの明るい表示を大きく
低下させないことが分かった。
【0046】
【表1】 表1 =============================== 構成 実施例1 実施例2 実施例3 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 電磁波遮断膜 第1層 SnO2(34) ZAO(41) SnO2(32) ZAO(7) ZAO(6) 第2層 AgPd0.4(8) AgPd0.4(7) AgPd0.3(12) 第3層 ZAO(7) ZAO(63) ZAO(6) SnO2(50) SnO2(48) ZAO(7) ZAO(6) 第4層 AgPd0.4(9) AgPd0.4(9) AgPd0.3(14) 第5層 ZAO(7) ZAO(66) ZAO(6) SnO2(52) SnO2(50) ZAO(7) ZAO(6) 第6層 AgPd0.4(7) AgPd0.4(8) AgPd0.3(12) 第7層 ZAO(7) ZAO(42) ZAO(6) SnO2(35) SnO2(33) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 粘着層 (50) (100) (100) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 樹脂フィルム PET(50) PET(75) PET(50) ================================
【0047】
【表2】 表2 ================================ 構成 比較例1 比較例2 比較例3 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 電磁波遮断膜 第1層 SnO2(34) SnO2(34) SnO2(36) ZAO(6) ZAO(7) ZAO(7) 第2層 AgPd1.0(7) AgPd0.05(8) AgPd0.4(11) 第3層 ZAO(7) ZAO(7) ZAO(7) SnO2(51) SnO2(51) SnO2(53) ZAO(7) ZAO(6) ZAO(6) 第4層 AgPd1.0(9) AgPd0.05(9) AgPd0.4(13) 第5層 ZAO(7) ZAO(7) ZAO(7) SnO2(50) SnO2(53) SnO2(36) ZAO(6) ZAO(7) 第6層 AgPd1.0(8) AgPd0.05(8) 第7層 ZAO(7) ZAO(7) SnO2(35) SnO2(35) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 粘着層 (50) (50) (75) −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 樹脂フィルム PET(50) PET(50) TAC(100) =================================
【0048】実施例4 銀主成分中のパラジウムの含有量が与える波長850n
mにおける透過率への影響を、実施例1と同じ7層の積
層体(3つの銀主成分層のパラジウム含有層は同じ)に
ついて調べた。各層の成膜は、実施例1と同様に行っ
た。銀主成分層のパラジウム含有量が変わることによ
り、銀主成分層の比抵抗および可視光線域での透過率が
微妙に変化したので、7層からなる電磁波遮断膜のシー
ト抵抗が3.0Ω/□以下となるように、また可視光線
透過率が65%以上となるように、銀主成分層の膜厚に
ついて微小調整をした。ここで、銀主成分層中のパラジ
ウム含有量は、スパッタリングターゲット中のパラジウ
ム含有量を変更することにより変更した。
mにおける透過率への影響を、実施例1と同じ7層の積
層体(3つの銀主成分層のパラジウム含有層は同じ)に
ついて調べた。各層の成膜は、実施例1と同様に行っ
た。銀主成分層のパラジウム含有量が変わることによ
り、銀主成分層の比抵抗および可視光線域での透過率が
微妙に変化したので、7層からなる電磁波遮断膜のシー
ト抵抗が3.0Ω/□以下となるように、また可視光線
透過率が65%以上となるように、銀主成分層の膜厚に
ついて微小調整をした。ここで、銀主成分層中のパラジ
ウム含有量は、スパッタリングターゲット中のパラジウ
ム含有量を変更することにより変更した。
【0049】得られた結果を表5に示す。表5から、銀
主成分層中のパラジウム含有量が0.50原子%以上で
あると、850nmにおける透過率を20%以下にする
ことができないことが分かる。すなわち、シート抵抗を
低く可視光線の透過率を高く維持した状態で850nm
の透過率を20%以下とするには、銀主成分中のパラジ
ウム含有量を少なく含ませるとよいことが分かる。
主成分層中のパラジウム含有量が0.50原子%以上で
あると、850nmにおける透過率を20%以下にする
ことができないことが分かる。すなわち、シート抵抗を
低く可視光線の透過率を高く維持した状態で850nm
の透過率を20%以下とするには、銀主成分中のパラジ
ウム含有量を少なく含ませるとよいことが分かる。
【0050】
【表3】 表3 ================================= 赤外線遮断能および耐久性 例 シート抵抗(Ω/□) 近赤外線透過率(%) 耐湿熱性 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例1 2.5(○) 12(○) 672(○) 実施例2 2.4(○) 11(○) 620(○) 実施例3 1.4(○) 10(○) 590(○) 比較例1 3.1(×) 24(×) 696(○) 比較例2 2.3(○) 8(○) 360(×) 比較例3 2.7(○) 39(×) 648(○) =================================
【0051】比較例1〜3 実施例1と同様の方法で、表2に示す電磁波遮断膜を有
する電磁波フィルタの比較サンプルを作成した。得られ
たサンプルの構成を表2に、性能特性を表3と表4に示
す。これらの表から、比較例のいずれのサンプルについ
ても、上記シート抵抗、近赤外線遮断性能、耐湿熱性の
すべてを満足する(○評価となる)ものは得られなかっ
た。
する電磁波フィルタの比較サンプルを作成した。得られ
たサンプルの構成を表2に、性能特性を表3と表4に示
す。これらの表から、比較例のいずれのサンプルについ
ても、上記シート抵抗、近赤外線遮断性能、耐湿熱性の
すべてを満足する(○評価となる)ものは得られなかっ
た。
【0052】
【表4】 表4 ================================= 例 透過色調 光透過率%(波長nm) a* b* 450 550 650 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例1 −2.0 0.1(○) 66 68 61(○) 実施例2 −2.2 0.0(○) 66 68 59(○) 実施例3 −3.8 0.2(○) 58 53 47(○) 比較例1 −1.8 1.9(○) 57 58 56(×) 比較例2 −2.7 2.6(○) 71 74 63(○) 比較例3 −1.5 1.4(○) 72 74 69(○) =================================
【0053】上記の実施例および比較例に示すように、
本発明の実施例においては、プラズマディスプレイの前
面電磁波フィルタとして要求される性能について、いず
れも○評価となり、実用的な性能を有することが分か
る。
本発明の実施例においては、プラズマディスプレイの前
面電磁波フィルタとして要求される性能について、いず
れも○評価となり、実用的な性能を有することが分か
る。
【0054】
【表5】
【0055】
【発明の効果】本発明によれば、電磁波遮断膜を透明基
板側から550nmの波長における屈折率が1.6〜
2.8の誘電体層と銀主成分層とをこの順に交互に積層
した7層の積層体とし、かつ銀主成分層を銀に対して
0.1原子%以上0.5原子%未満のパラジウムを含有
させて、その各層の厚みを5〜25nmとし、電磁波遮
断膜のシート抵抗を3Ω/□以下で、かつ、波長850
nmにおける近赤外線透過率を20%以下としたので、
これをプラズマディスプレイパネルの前面に設置する
と、プラズマディスプレイパネルの近傍に設置された電
気製品のリモコンスイッチが誤動作するのを防止するこ
とができる。
板側から550nmの波長における屈折率が1.6〜
2.8の誘電体層と銀主成分層とをこの順に交互に積層
した7層の積層体とし、かつ銀主成分層を銀に対して
0.1原子%以上0.5原子%未満のパラジウムを含有
させて、その各層の厚みを5〜25nmとし、電磁波遮
断膜のシート抵抗を3Ω/□以下で、かつ、波長850
nmにおける近赤外線透過率を20%以下としたので、
これをプラズマディスプレイパネルの前面に設置する
と、プラズマディスプレイパネルの近傍に設置された電
気製品のリモコンスイッチが誤動作するのを防止するこ
とができる。
【0056】また、本発明は、上記の所定量のパラジウ
ムが銀主成分層に含有されているので、上記の誤動作防
止の効果に加えて、耐湿熱性を実用的レベルに確保する
ことができる。
ムが銀主成分層に含有されているので、上記の誤動作防
止の効果に加えて、耐湿熱性を実用的レベルに確保する
ことができる。
【0057】また、本発明においては、誘電体層の厚み
を調整することにより、可視光線透過率を60%以上に
することができ、プラズマディスプレイパネルの明るい
画像表示を確保することができる。
を調整することにより、可視光線透過率を60%以上に
することができ、プラズマディスプレイパネルの明るい
画像表示を確保することができる。
【図1】本発明の一実施例の概略断面図である。
【図2】本発明の電磁波遮断膜の層構成を説明するため
の断面図である。
の断面図である。
【図3】本発明の電磁波フィルタの使用状態を説明する
ための概略断面図である。
ための概略断面図である。
1:透明基板 2:電磁波遮断膜 3:粘着層 4:PETフィルム 5:電磁波フィルタ 6:プラズマディスプレイパネル 7:枠体 8:ブスバー 9:銀主成分層 10:誘電体層
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 11/02 H01J 11/02 E
Claims (11)
- 【請求項1】 透明基板の一方の面に透光性の電磁波遮
断膜が被覆された電磁波遮断板と、前記電磁波遮断膜の
面に貼られた樹脂フィルムの保護膜とを含む電磁波フィ
ルタであって、前記電磁波遮断膜を、透明基板側から5
50nmの波長における屈折率が1.6〜2.8の誘電
体層と銀主成分層とをこの順に交互に積層した7層の積
層体とし、銀主成分層を銀に対して0.1原子%以上
0.5原子%未満のパラジウムを含有させたものとし、
かつ、その各層の厚みを5〜25nmとすることによ
り、前記電磁波遮断膜のシート抵抗を3Ω/□以下と
し、かつ、波長850nmにおける近赤外線透過率を2
0%以下としたことを特徴とするプラズマディスプレイ
パネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項2】 可視光線透過率を60%以上となるよう
に、前記誘電体層の厚みを調整したことを特徴とする請
求項1に記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波
フィルタ。 - 【請求項3】 前記銀主成分層の各層の厚みを5〜16
nmとしたことを特徴とする請求項1または2に記載の
プラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項4】 前記銀主成分の層のうち、透明基板から
数えた第2層の厚みを第1層および第3層の厚みより厚
くしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載
のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項5】 前記誘電体層のうち、透明基板から数え
た第2層と第3層のそれぞれの厚みを、第1層の厚みと
第4層のそれぞれの厚みより大きくしたことを特徴とす
る請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマディスプレ
イパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項6】 前記誘電体層のうち、透明基板から数え
た第1層と第4層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3
層の厚みをほぼ同じとし、第2層と第3層の厚みを第1
層または第4層の厚みの1.3〜1.9倍としたことを
特徴とする請求項5に記載のプラズマディスプレイパネ
ル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項7】 前記誘電体層を酸化亜鉛主成分層とした
請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマディスプレイ
パネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項8】 前記誘電体層の少なくとも最外層を、酸
化錫層と酸化亜鉛主成分層の多層積層体としたことを特
徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマディ
スプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項9】 各誘電体層を、酸化錫層と酸化亜鉛主成
分層の多層積層体とし、銀主成分層に接する層を酸化亜
鉛主成分層としたことを特徴とする請求項8に記載のプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項10】 前記樹脂フィルムの550nmの波長
における屈折率を、1.59〜1.69としたことを特
徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のプラズマディ
スプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項11】 前記樹脂フィルムを粘着剤で電磁波遮
断膜に貼り付け、粘着層の厚みを10〜500μmとし
たことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の
プラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。
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