KR100715443B1 - 피디피 필터의 다층박막 구조 - Google Patents

피디피 필터의 다층박막 구조 Download PDF

Info

Publication number
KR100715443B1
KR100715443B1 KR1020030060423A KR20030060423A KR100715443B1 KR 100715443 B1 KR100715443 B1 KR 100715443B1 KR 1020030060423 A KR1020030060423 A KR 1020030060423A KR 20030060423 A KR20030060423 A KR 20030060423A KR 100715443 B1 KR100715443 B1 KR 100715443B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
layer
high refractive
pdp filter
thickness
Prior art date
Application number
KR1020030060423A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050022741A (ko
Inventor
김의수
Original Assignee
삼성코닝 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성코닝 주식회사 filed Critical 삼성코닝 주식회사
Priority to KR1020030060423A priority Critical patent/KR100715443B1/ko
Publication of KR20050022741A publication Critical patent/KR20050022741A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100715443B1 publication Critical patent/KR100715443B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
    • H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J11/44—Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters, black matrices, light reflecting means or electromagnetic shielding means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • H01J11/12—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases

Abstract

본 발명은 PDP 필터에 있어서 금속박막층을 2회 적층하는 다층박막 구조를 갖는 동시에 반사율을 최소화 할 수 있는 새로운 형태의 다층박막 구조에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며, 상기 제 2 고굴절 투명박막의 두께가 상기 제 1 고굴절 투명박막 및 상기 제 3 고굴절 투명박막의 두께 합 보다 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
이러한 본 발명에 따르면, PDP 필터의 다층박막을 형성함에 있어서 금속박막층을 2번만 삽입함으로써 공정의 간소화를 만족하는 동시에 전반사 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, PDP 패널의 시야 각에 따른 반사색상 변화를 최소화할 수 있는 효과도 있다.

Description

피디피 필터의 다층박막 구조{MULTI-LAYER THIN FILM STRUCTURE OF PDP FILTER}
도 1은 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 도시한 도면.
도 2는 종래의 PDP 필터에 대한 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 3a 내지 3c는 종래의 PDP 필터에 있어서 다른 형태의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조에 대한 분광 반사율을 측정한 그래프.
도 6은 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조에서 반사색상을 측정한 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
13 : 저반사 필름 15 : 투명 기판
17 : 코팅층 41, 45, 49 : Nb2O5층
42, 44, 46, 48 : ITO층 43, 47 : Ag층
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, 이하 PDP라 함)의 전면 필터(Filter)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 낮은 전기전도성과 저반사 특성을 만족시키는 동시에 가시광선의 투과율을 향상시킬 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, PDP는 기존의 디스플레이장치를 대표하는 CRT에 비해 대형화 및 박형화를 동시에 만족할 수 있어 차세대 디스플레이 장치로서 각광받고 있다. 그러나, 이러한 PDP에서는 그 구동 특성상 강한 근적외선광을 방출하게 되는데, 이 근적외선광은 무선 전화기나 리모콘 등의 작동에 영향을 미쳐 오동작을 유발할 수도 있다. 그리고, PDP는 강한 전자파를 발생하며, 이러한 전자파 또한 인체나 다른 전자기기에 영향을 주기 때문에 이를 소정치 이하로 억제하는 것이 요구되고 있다. 이를 위해, PDP에서는 이러한 근적외선 및 전자파를 차폐하는 동시에 외부 조명에 의한 반사광을 감소시킬 수 있는 전면 필터가 구비되며, 이 전면 필터는 PDP의 전면부에 장착되는 관계로 투명성도 동시에 만족해야 한다.
한편, 이러한 각각의 특성을 만족하기 위해 개발된 종래의 일반적인 PDP 필터는 금속 메시(Mesh) 타입과 투명도전막 타입으로 구분할 수 있다. 먼저, 메시 타입의 PDP 필터는 전자파를 차폐하는 데는 튀어난 특성을 나타내지만 상대적으로 투명성이 저하되거나 화면의 왜곡이 발생할 수 있는 문제점이 있으며, 메시 자체가 고가이기 때문에 전반적인 제품의 단가가 상승되는 문제점이 있다.
따라서, 이를 대체하기 위한 방법으로서 ITO로 대표되는 투명도전막을 이용한 PDP 필터가 널리 사용되고 있다. 그리고, 이 투명도전막은 통상적으로 금속박막과 고굴절 투명 투명박막이 교번적으로 코팅되는 다층박막 형태를 띄고 있으며, 이때 금속박막으로는 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금이 주로 이용된다.
이를 설명하기 위해서 도 1에서는 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 예시적으로 도시하였다. 동도면을 참조하여 설명하면, 먼저 종래의 일반적인 PDP 필터는 저반사 필름(13), 투명 기판(15) 및 코팅층(17)으로 이루어지는데, 통상적으로 저반사 필름(13)은 그 일면에 저반사 코팅처리가 되어 있으며, 다른 일면에는 접착물질이 도포되어 투명 기판(15)과 접착이 용이하도록 구성되어 있다. 따라서, 동도면에서 각 저반사 필름(13)의 외측에는 저반사 코팅 처리가 되어 있으며, 투명 기판(15)을 향한 내측에는 접착물질이 도포되어 있다. 그리고, 필요에 따라 저반사 필름(13)의 각 일면에는 색상 보정을 위한 색소가 첨가될 수도 있다.
투명 기판(15)은 광투과율이 소정치 이상이 되는 기판으로서, 통상적으로 투명 유리를 사용하며 이 투명 기판(15)의 일면에는 동도면에 도시된 바와 같이 코팅층(17)이 형성된다. 이 코팅층(17)은 전술한 바와 같이 PDP 필터에서 요구되는 전자파 차폐와 광 투과율을 동시에 만족시킬 수 있도록 하는 다층박막 형태로 이루어진다. 결국, 이 코팅층(17)을 형성하는 다층박막의 구조 및 물질에 따라 PDP 필터의 전반적인 특성이 좌우된다고 할 수 있다.
따라서, 이러한 PDP 필터의 특성을 향상시킨 위한 다양한 형태의 다층박막 구조가 개발되었는데, 가장 대표적인 종래 기술로는 1997년 5월 27일자로 국내 특허출원된 특허출원 제1997-20914호, '투명적층체 및 그 것을 사용한 디스플레이용 필터'를 예로 들 수 있다. 상기한 선행 특허에 따른 종래의 PDP 필터의 다층박막 구조는, 은(Ag) 또는 은을 함유한 합금으로 이루어진 금속박막층과 고굴절 투명박막층을 3회 반복하여 적층한 구조, 즉 금속박막층(Ag)이 3회 이상 적층된 구조를 갖는다.
도 2는 상기한 선행 특허에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 동도면에 도시된 바와 같이 종래의 PDP 필터에서는 투명 기판(15) 위에 고굴절 투명박막층(21)과 금속박막층(22)을 3회 반복 적층하여 각각의 고굴절 투명박막층(23, 25)과 금속박막층(24, 26)을 형성한 다음, 최종적으로 고굴절 투명박막층 (27)을 한번 더 적층한 구조를 갖는다. 여기서, 고굴절 투명박막층(21, 23, 25, 27)을 형성하는 물질로서는 산화인듐을 사용하였으며, 금속박막층(22, 24, 26)을 형성하는 물질로서는 은 또는 은이 함유된 합금을 사용하였다. 그리고, 두 번째 금속박막층(24)을 첫 번째 및 세 번째 금속박막층(22, 26) 보다 두껍게 형성하는 특징을 갖고 있다. 결국, 이러한 다층박막 구조를 갖는 종래의 PDP 필터는 3Ω 이하의 면저항과 50% 이상의 가시광선 투과율을 갖는 동시에 근적외선의 투과율을 최소화할 수 있는 특성을 나타낸다.
하지만, 상기한 선행 특허에서는 PDP 필터의 면저항이 3Ω 이하이고 가시광선 투과율이 50% 이상인 범위에서 근적외선 투과율을 최소화할 수 있는 특성을 갖는 반면, 가시광선의 투과율은 오히려 감소되는 문제점이 있다. 또한, 상술한 바와 같은 다층박막 구조에서는 금속박막층을 최소한 3회 이상 반복해서 적층해야 하기 때문에 코팅 설비의 규모가 커지는 문제점이 있으며, 재료비 및 생산원가가 상승되는 동시에 전반적인 공정 시간이 길어져 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
한편, 본 출원인은 이러한 문제점을 개선할 수 있는 새로운 형태의 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터를 개발하여 "피디피 필터의 다층박막 구조"라는 명칭으로 대한민국 특허청에 특허출원 제2002-31570호로서 특허 출원하였다.
도 3a 내지 3c는 상기한 특허출원 제2002-31570호에서 제시한 여러 형태의 PDP 필터 다층박막 구조를 도시하였다. 각각의 도면에 도시된 바와 같이, 선행 특허 제2002-31570호에서는 Ag을 이용한 금속박막층을 2회 적층하고 고굴절 투명박막층을 3회 적층함으로써 공정을 단순화하고 생산성을 향상시킬 수 있도록 하고 있다. 그리고, 이때 적층되는 각각의 고굴절 투명박막층의 두께를 살펴보면, 제 1고굴절 투명박막층의 두께와 제 3 고굴절 투명박막층 두께의 합이 제 2 고굴절 투명박막층의 두께와 동일하게 형성하는 특징이 있다.
하지만, 이와 같이 금속박막층을 2회 적층하는 경우에는 금속박막의 두께 변화에 따른 반사율이 다소 증가되는 문제점이 있다. 따라서, 공정의 용이성 및 생산성 향상을 위해 금속박막층을 2회 적층하는 경우에는 반사율을 감소시켜 색상 변화를 최소화하는 것이 중요하다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 금속박막층을 2회 적층하는 다층박막 구조에서 보다 넓은 파장범위에 걸쳐 반 사율을 최소화 할 수 있는 PDP 필터의 새로운 다층박막 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서, 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며, 상기 제 2 고굴절 투명박막의 두께가 상기 제 1 고굴절 투명박막 및 상기 제 3 고굴절 투명박막의 두께 합 보다 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명에서는 금속박막층을 2번 삽입하여 PDP 필터의 다층박막을 형성함으로써 공정의 간소화, 낮은 전기전도성 및 광투과율을 개선하는 동시에 반사율을 최소화하여 색상 변화가 거의 없는 향상된 품질의 PDP 필터를 구현하였다. 이하에서 설명되는 각각의 실시예에서는 이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 수회에 걸친 실험에 의해서 산출된 최적의 PDP 필터용 다층박막 구조를 제시한다. 또한, 이하에서 설명되는 각각의 실시예에서는 다층박막에 삽입되는 금속박막층은 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금을 사용하여 형성되는 코팅층을 의미한다.
도 4는 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투 명 기판(15) 위에 제 1 Nb2O5층(41), 제 1 ITO층(42), 제 1 Ag층(43), 제 2 ITO층(44), 제 2 Nb2O5층(45), 제 3 ITO층(46), 제 2 Ag층(47), 제 4 ITO층(48), 제 3 Nb2O5층(49)을 순차적으로 적층한 구조를 도시하였다.
도 4를 참조하여 설명하면, 먼저 투명 기판(투명 유리)(15)위에 제 1 Nb2O5층(41)과 제 1 ITO층(42)을 각각 형성한다. 이때, 제 1 Nb2O5 층(41)의 두께는 약 28㎚, 그리고 제 1 ITO층(42)의 두께는 2∼3㎚의 두께가 되도록 코팅한다. 이와 같이 형성된 제 1 Nb2O5층(41)과 제 1 ITO층(42)이 제 1 고굴절 투명박막층이 된다. 그리고, 제 1 ITO층(42) 위에 제 1 Ag층(43)을 약 11㎚의 두께가 되도록 코팅함으로써 제 1 금속박막층을 형성한다.
이러한 과정을 거쳐, 제 1 Ag층(43)까지의 코팅이 완료되면, 다시 제 2 고굴절 투명박막층을 다시 형성하게 되는데, 이에 앞서서 도 4에 도시된 바와 같이 제 2 ITO층(44)을 코팅한다. 여기서, 제 2 ITO층(44)은 후속 공정인 제 2 Nb2O5층(45)을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 제 1 Ag층(43)의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위한 일종의 블로커(Blocker)로서, 그 두께는 약 7∼8㎚가 되도록 얇게 코팅하는 것이 바람직하다. 그리고, 계속해서 제 2 ITO층(44) 위에 제 2 Nb2O5층(45) 및 제 3 ITO층(46)을 순차적으로 형성한다. 이때, 각 층의 두께는 약 56㎚ 및 7∼8㎚가 되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 과정을 통해 형성된 제 2 ITO층(44), 제 2 Nb2O5층(45) 및 제 3 ITO층(46)이 제 2 고굴절 투명박막층이 된다.
그리고, 제 3 ITO층(46) 위에 다시 제 2 Ag층(47)을 약 11㎚의 두께가 되도록 코팅함으로써 제 2 금속박막층을 형성한다. 마지막으로, 제 2 Ag층(47) 위에 제 4 ITO층(48) 및 제 3 Nb2O5층(49)층을 형성하는데, 각 층의 두께는 약 2∼3㎚ 및 28㎚가 되도록 형성한다. 이때 형성된 제 4 ITO층(48) 및 제 3 Nb2O5층(49)층이 제 3 고굴절 투명박막층이 된다.
결국, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 다층박막은 은(Ag)으로 이루어진 금속박막층을 2회 적층하고 Nb2O5 및 ITO로 이루어진 고굴절 투명박막층을 3회 적층한 구조, 즉 제 1 고굴절 투명박막층(41, 42) - 제 1 금속박막층(43) - 제 2 고굴절 투명박막층(44, 45, 46) - 제 2 금속박막층(47) - 제 3 고굴절 투명박막층(48, 49)으로 이루어진 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다. 그리고, 도 4에 도시한 실시예에서는 각각의 고굴절 투명박막층을 Nb2O5 및 ITO를 혼합하여 형성하였으나, 이 외에도 TiO2, ZnO, SnO, Si3N4, ZrO2, Al2O3 등을 혼합하여 사용할 수 있다.
특히, 본 발명의 다층박막 구조를 종래의 다층박막 구조와 비교하여 보면, 종래의 PDP 필터용 다층박막 구조에서는 제 1고굴절 투명박막층의 두께와 제 3 고굴절 투명박막층 두께의 합이 제 2 고굴절 투명박막층의 두께와 동일하게 형성되는 반면, 본 발명의 다층박막에서는 제 2 고굴절 투명박막층(44, 45, 46)의 두께가 제 1 고굴절 투명박막층(41, 42) 및 제 3 고굴절 투명박막층(48, 49) 두께의 합 보다 더 두껍게 형성됨을 알 수 있다. 즉, 종래의 다층박막과 비교하여 각 ITO층의 두께를 조절함으로써 제 1 및 제 3 고굴절 투명박막층의 두께는 더 얇게 형성하는 대신에 제 2 고굴절 투명박막층은 더 두껍게 형성하였다. 여기서, 고굴절 투명박막층의 두께라 함은 굴절률(Refractive index)과 물리적인 두께(Physical thickness)의 곱인 광학 두께를 의미한다.
이러한 각 고굴절 투명박막층에 대한 두께의 변화는 PDP 필터의 반사색상에 상당한 변화를 가져온다.
도 5는 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조에 따른 분광 반사율을 측정한 그래프로서, 동도면에서 L1은 제 1고굴절 투명박막층의 두께와 제 3 고굴절 투명박막층 두께의 합이 제 2 고굴절 투명박막층의 두께와 동일하게 형성되는 종래의 다층박막에 대한 분광 반사율을 나타낸다. 그리고, L2는 본 발명의 일 실시예에 따라 제 1 ITO층(42)의 두께를 3㎚로, 제 2 및 제 3 ITO층(44, 46)의 두께를 각각 7㎚로, 그리고 제 4 ITO층(48)의 두께를 3㎚로 형성하여 제 2 고굴절 투명박막층(44, 45, 46)의 두께가 제 1 고굴절 투명박막층(41, 42) 및 제 3 고굴절 투명박막층(48, 49) 두께의 합 보다 더 두껍게 형성한 경우에 따른 분광 반사율을 나타낸다. L3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제 1 ITO층(42)의 두께를 2㎚로, 제 2 및 제 3 ITO층(44, 46)의 두께를 각각 8㎚로, 그리고 제 4 ITO층(48)의 두께를 2㎚로 형성하여, 마찬가지로 제 2 고굴절 투명박막층(44, 45, 46)의 두께가 제 1 고굴절 투명박막층(41, 42) 및 제 3 고굴절 투명박막층(48, 49) 두께의 합 보다 더 두껍게 형성한 경우에 따른 분광 반사율을 나타낸다.
결국, 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 다층박막 구조에서는 종래의 다층박막 구조에 비해 저반사 영역(반사율 8% 이하)의 구간이 더 넓어짐을 알 수 있다. 즉, 종래의 다층박막 구조(L1)에는 저반사 영역의 구간이 240㎚로 나타나는 반면, 본 발명의 일 실시예(L2)에서는 252㎚, 그리고 다른 실시예(L3)에서는 256㎚로 나타나 전반적으로 저반사 영역이 더 넓어짐을 알 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 다층박막 구조에서 반사색상을 측정한 그래프로서, C1은 종래의 다층박막에 대한 반사색상을 측정한 그래프이며, C2는 본 발명의 일 실시예에 따라 제 1 및 제 4 ITO층(42, 48)의 두께를 각각 3㎚로, 제 2 및 제 3 ITO층(44, 46)의 두께를 각각 7㎚로 형성한 경우에 따른 반사색상을 측정한 그래프이다. 그리고, C3은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제 1 및 제 4 ITO층(42, 48)의 두께를 2㎚로, 제 2 및 제 3 ITO층(44, 46)의 두께를 각각 8㎚로 형성한 경우에 따른 반사색상을 측정한 그래프이다.
도 6에 도시된 바와 같이 종래의 다층박막 구조에서는 입사각의 증가에 따라 반사색상이 붉은색 쪽으로 치우치는 반면(C1), 본 발명의 경우(C2, C3)에는 반사색상의 변화가 거의 일어나지 않는다. 특히, 이러한 반사색상의 변화는 다층박막이 코팅된 PDP 패널을 정면에서 보지 않고 경사지게 보는 경우에 현저히 나타나며, 본 발명에 따른 다층박막이 코팅된 PDP 패널의 경우에는 패널의 경사와 관계없이 반사색상의 변화가 거의 일어나지 않음을 알 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막을 형성하는 다른 실시예로서 Nb2O5 코팅시에 Nb 타겟과 반응성 스퍼터링을 기법을 사용하여 코팅하는 대신, 산화물 타겟(Nb2O5, 세라믹 타겟)을 사용하여 아르곤 분위기에서 코팅하였다. 반응성 스퍼터링시에는 아르곤과 산소 가스의 주입량이 각각 200sccm 인데 반하여, 세라믹 타겟을 사용하는 경우에는 각각 200, 15sccm을 주입하였다. 이로 인하여 Ag층을 코팅한 후, Ag층 위에 Nb2O5층을 코팅하더라도 Ag층의 전기전도성 상실을 유발하지 않기 때문에 블로커(blocker)층이 없어도 정상적인 특성을 나타내었다. 즉, 전술한 실시예에서 Nb2O5층을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 Ag층의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위해 ITO층을 코팅하였으나, 본 실시예에서는 이 ITO층을 생략할 수 있게 된다.
이런 방법으로 만든 PDP 필터의 다층박막은 고굴절 투명박막의 평균 굴절률이 전술한 실시예에서처럼 ITO와 혼합 사용한 경우에 비하여 높기 때문에 전실시예에 비하여 반사율이 8% 이하인 저반사 영역의 파장 폭이 255㎚로서 더 넓게 나타난다.
본 발명의 또 다른 실시예로서, 제 2 Nb2O5(45) 층의 두께를 제 1 및 제 3 Nb2O5 층(41, 49)의 두께의 합보다 약 8㎚가 더 두껍게 형성한 점을 제외하고는 동일한 방법을 사용하여 다층박막을 형성하였다. 그 결과, 반사율 8% 이하인 저반사 영역의 파장범위가 270㎚로서 동일한 두께일 경우에 비하여 더 넓게 나타났다.
결과적으로, 본 발명에서는 각 ITO층 및 Nb2O5층의 두께를 조절함으로써 제 2 고굴절 투명박막층의 두께가 제 1 고굴절 투명박막층 및 제 3 고굴절 투명박막층 두께의 합 보다 더 두껍게 형성하여, PDP 필터의 저반사 특성 및 반사색상 변화를 개선하였다.
상술한 실시예와 도면은 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 목적이 아니며, 이상에서 설명한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 상기 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아님은 물론이며, 후술하는 청구범위뿐만이 아니라 청구범위와 균등 범위를 포함하여 판단되어야 한다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, PDP 필터의 다층박막을 형성함에 있어서 금속박막층을 2번만 삽입함으로써 공정의 간소화를 만족하는 동시에 전반사 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, PDP 패널의 시야각에 따른 반사색상 변화를 최소화할 수 있는 효과도 있다.

Claims (7)

  1. PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서,
    투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며,
    상기 제 2 고굴절 투명박막의 두께가 상기 제 1 고굴절 투명박막 및 상기 제 3 고굴절 투명박막의 두께 합 보다 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되며, 상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 Nb2O5를 주성분으로 하는 투명박막인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되며, 상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 TiO2, ZnO, SnO, Si3N4, ZrO2, Al2O3을 혼합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 기판 위에 제 1 Nb2O5층, 제 1 Ag층, 제 2 Nb2O5층, 제 2 Ag층 및 제 3 Nb2O5층이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 기판 위에 제 1 Nb2O5층, 제 1 ITO층, 제 1 Ag층, 제 2 ITO층, 제 2 Nb2O5층, 제 3 ITO층, 제 2 Ag층, 제 4 ITO층 및 제 3 Nb2O5층이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 4 ITO층 중에서 적어도 하나 이상의 ITO층은 ITO 대신 ZnO 또는 ZnO가 주성분인 박막인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 4 ITO층 또는 ZnO층의 두께는 2∼3㎚이며, 상기 제 2 및 제 3 ITO층 또는 ZnO층의 두께는 7∼8㎚인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
KR1020030060423A 2003-08-29 2003-08-29 피디피 필터의 다층박막 구조 KR100715443B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030060423A KR100715443B1 (ko) 2003-08-29 2003-08-29 피디피 필터의 다층박막 구조

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030060423A KR100715443B1 (ko) 2003-08-29 2003-08-29 피디피 필터의 다층박막 구조

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050022741A KR20050022741A (ko) 2005-03-08
KR100715443B1 true KR100715443B1 (ko) 2007-05-09

Family

ID=37230557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030060423A KR100715443B1 (ko) 2003-08-29 2003-08-29 피디피 필터의 다층박막 구조

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100715443B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101155268B1 (ko) * 2010-01-25 2012-06-18 주식회사 유아이디 플라즈마 디스플레이 패널 필터

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1187988A (ja) * 1997-06-19 1999-03-30 Sumitomo Chem Co Ltd プラズマディスプレイ用前面板
KR20010017016A (ko) * 1999-08-06 2001-03-05 김순택 플라즈마 표시 장치용 광학 필터
JP2001162710A (ja) 1999-12-02 2001-06-19 Cardinal Ig Co 耐曇り性透明フィルム積層体
JP2002040205A (ja) 2000-07-19 2002-02-06 Sony Corp 反射防止バリアフィルム
KR20030093734A (ko) * 2002-06-05 2003-12-11 삼성코닝 주식회사 피디피 필터의 다층박막 구조
KR20040003098A (ko) * 2002-06-25 2004-01-13 삼성코닝 주식회사 피디피 필터의 다층박막 구조

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1187988A (ja) * 1997-06-19 1999-03-30 Sumitomo Chem Co Ltd プラズマディスプレイ用前面板
KR20010017016A (ko) * 1999-08-06 2001-03-05 김순택 플라즈마 표시 장치용 광학 필터
JP2001162710A (ja) 1999-12-02 2001-06-19 Cardinal Ig Co 耐曇り性透明フィルム積層体
JP2002040205A (ja) 2000-07-19 2002-02-06 Sony Corp 反射防止バリアフィルム
KR20030093734A (ko) * 2002-06-05 2003-12-11 삼성코닝 주식회사 피디피 필터의 다층박막 구조
KR20040003098A (ko) * 2002-06-25 2004-01-13 삼성코닝 주식회사 피디피 필터의 다층박막 구조

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050022741A (ko) 2005-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4800947B2 (ja) 電磁遮蔽用薄膜積層体を備えた透明基板
US5728456A (en) Methods and apparatus for providing an absorbing, broad band, low brightness, antireflection coating
JP5399893B2 (ja) 光学フィルタ用の亜鉛系薄膜の扱い
EP1144908B1 (en) Display panel filter and method of making the same
WO2004042436A1 (en) Optical filter
JPH06510382A (ja) 導電性光減衰型反射防止被膜
WO1999044080A1 (fr) Corps antireflecteur d&#39;absorption de lumiere et procede de production de celui-ci
US20070281178A1 (en) PDP filter having multi-layer thin film and method of manufacturing the same
JP2007505810A5 (ko)
JP2011522287A (ja) プラズマディスプレイパネル用ｅｍｉフィルタ
WO2006033861A2 (en) Plasma display filter with a dielectric/metallic layer stack of at least eleven layers
CN208110556U (zh) 电容触摸屏用的消影结构和电容触摸屏
KR100715443B1 (ko) 피디피 필터의 다층박막 구조
WO2007028060A2 (en) Durable near-infrared blocking and emi shielding film for display filter
KR100502183B1 (ko) 다층박막 구조를 갖는 피디피 필터
KR100840688B1 (ko) 피디피 필터의 다층박막 구조
KR20030093734A (ko) 피디피 필터의 다층박막 구조
JP2565525B2 (ja) 金属膜を有する反射防止膜付着透明板
KR100618374B1 (ko) 다층박막 구조를 갖는 피디피 필터
JPH0756004A (ja) 導電性反射防止膜
JP2000106044A (ja) 透明導電性フィルムの表面抵抗低下方法
KR100578633B1 (ko) 투과율이 우수한 ｐｄｐ용 전면 필터
KR970000902B1 (ko) 저반사 코팅유리 및 그 제조방법
JP2004264350A (ja) 前面フィルター
JP2001201606A (ja) 導電性反射防止膜

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130327

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140311

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee