KR100840688B1 - 피디피 필터의 다층박막 구조 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 PDP 필터의 투명 기판에 전도성 코팅을 위하여 Ag가 포함된 다층박막을 코팅함에 있어서 Ag층을 2번 삽입하여 공정을 간소화하는 동시에 면저항이 1.5Ω 이하인 낮은 전기전도 특성 및 저반사 특성을 모두 만족할 수 있는 다층박막을 구조를 갖는 PDP 필터에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅하는 구조를 가지며, 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되고, 제 1 및 제 2 보조 투명박막은 Si층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
이러한 본 발명에 따르면, Ag층이 2번 삽입된 종래의 PDP 필터에 비해 공정의 간소화 및 생산 원가의 절감으로 인한 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 면저항 1.5Ω 이하의 규격을 만족하는 동시에 반사율이 향상된 PDP 필터를 제공할 수 있는 효과가 있다.
Description
도 1에서는 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 예시적으로 도시한 도면.
도 2는 종래 기술에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 3b는 도 3a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 3c는 도 3a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 4b는 도 4a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 4c는 도 4a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 5b는 도 5a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 5c는 도 5a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
15 : 투명 기판 31, 41, 51 : 제 1 고굴절 투명박막
32, 42, 52 : 제 1 보조 투명박막 33, 43, 53 : 제 1 금속박막
34, 44, 54 : 제 1 보호층 35, 45, 55 : 제 2 고굴절 투명박막
36, 46, 56 : 제 2 보조 투명박막 37, 47, 57 : 제 2 금속박막
38, 48, 58 : 제 2 보호층 39, 49, 59 : 제 3 고굴절 투명박막
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, 이하 PDP라 함)의 전면 필터(Filter)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 1.5Ω 이하의 면저항을 갖는 동시에 전반적인 제조공정을 간소화시킬 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, PDP는 기존의 디스플레이장치를 대표하는 CRT에 비해 대형화 및 박형화를 동시에 만족할 수 있어 차세대 디스플레이 장치로서 각광받고 있다.
그러나, 이러한 PDP에서는 그 구동 특성상 강한 근적외선광을 방출하게 되는데, 이 근적외선광은 무선 전화기나 리모콘 등의 작동에 영향을 미쳐 오동작을 유발할 수도 있다. 그리고, PDP는 강한 전자파를 발생하며, 이러한 전자파 또한 인체나 다른 전자기기에 영향을 주기 때문에 이를 소정치 이하로 억제하는 것이 요구되고 있다. 이를 위해, PDP에서는 이러한 근적외선 및 전자파를 차폐하는 동시에 외부 조명에 의한 반사광을 감소시킬 수 있는 전면 필터가 구비되며, 이 전면 필터는 PDP의 전면부에 장착되는 관계로 투명성도 동시에 만족해야 한다.
한편, 이러한 각각의 특성을 만족하기 위해 개발된 종래의 일반적인 PDP 필터는 금속 메시(Mesh) 타입과 투명도전막 타입으로 구분할 수 있다. 먼저, 메시 타입의 PDP 필터는 전자파를 차폐하는 데는 튀어난 특성을 나타내지만 상대적으로 투명성이 저하되거나 화면의 왜곡이 발생할 수 있는 문제점이 있으며, 메시 자체가 고가이기 때문에 전반적인 제품의 단가가 상승되는 문제점이 있다.
따라서, 이를 대체하기 위한 방법으로서 ITO로 대표되는 투명도전막을 이용한 PDP 필터가 널리 사용되고 있다. 그리고, 이 투명도전막은 통상적으로 금속박막과 고굴절 투명 투명박막이 교번적으로 코팅되는 다층박막 형태를 띄고 있으며, 이때 금속박막으로는 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금이 주로 이용된다.
이를 설명하기 위해서 도 1에서는 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 예시적으로 도시하였다.
동도면을 참조하여 설명하면, 먼저 종래의 일반적인 PDP 필터는 저반사 필름 (13), 투명 기판(15) 및 코팅층(17)으로 이루어지는데, 통상적으로 저반사 필름 (13)은 그 일면에 저반사 코팅처리가 되어 있으며, 다른 일면에는 접착물질이 도포되어 투명 기판(15)과 접착이 용이하도록 구성되어 있다. 따라서, 동도면에서 각 저반사 필름(13)의 외측에는 저반사 코팅 처리가 되어 있으며, 투명 기판(15)을 향한 내측에는 접착물질이 도포되어 있다. 그리고, 필요에 따라 저반사 필름(13)의 각 일면에는 색상 보정을 위한 색소가 첨가될 수도 있다.
투명 기판(15)은 광 투과율이 소정치 이상이 되는 기판으로서, 통상적으로 투명 유리를 사용하며 이 투명 기판(15)의 일면, 즉 PDP 모듈의 전면부에 대향하는 일면에는 동도면에 도시된 바와 같이 코팅층(17)이 형성된다. 이 코팅층(17)은 전술한 바와 같이 PDP 필터에서 요구되는 전자파 차폐와 광 투과율을 동시에 만족시킬 수 있도록 하는 다층박막 형태로 이루어진다. 따라서, 이 코팅층(17)을 형성하는 다층박막의 구조 및 물질에 따라 PDP 필터의 전반적인 특성이 좌우된다고 할 수 있다.
이러한 PDP 필터의 다층박막 구조에 대한 가장 대표적인 종래 기술로는 1997년 5월 27일자로 국내 특허출원된 특허출원 제1997-20914호, '투명적층체 및 그 것을 사용한 디스플레이용 필터'를 예로 들 수 있다.
상기한 선행 특허에 따른 종래의 PDP 필터의 다층박막 구조는, 은(Ag) 또는 은을 함유한 합금으로 이루어진 금속박막층과 고굴절 투명박막층을 3회 반복하여 적층한 구조, 즉 금속박막층(Ag)이 3회 적층된 구조를 갖는다.
도 2는 상기한 선행 특허에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으 로서, 동도면에 도시된 바와 같이 종래의 PDP 필터에서는 투명 기판(15) 위에 고굴절 투명박막층(21)과 금속박막층(22)을 3회 반복 적층하여 각각의 고굴절 투명박막층(23, 25)과 금속박막층(24, 26)을 형성한 다음, 최종적으로 고굴절 투명박막층 (27)을 한번 더 적층한 구조를 갖는다.
여기서, 고굴절 투명박막층(21, 23, 25, 27)을 형성하는 물질로서는 산화인듐을 사용하였으며, 금속박막층(22, 24, 26)을 형성하는 물질로서는 은 또는 은이 함유된 합금을 사용하였다. 그리고, 두 번째 금속박막층(24)을 첫 번째 및 세 번째 금속박막층(22, 26) 보다 두껍게 형성하는 특징을 갖고 있다.
결국, 이러한 다층박막 구조를 갖는 종래의 PDP 필터는 3Ω 이하의 면저항과 50% 이상의 가시광선 투과율을 갖는 동시에 근적외선의 투과율을 최소화할 수 있는 특성을 나타낸다.
하지만, 상기한 선행 특허에 따르면 근적외선 투과율을 최소화할 수 있는 반면, 가시광선의 투과율은 기존의 PDP 필터에 비해 오히려 감소되는 문제점이 있다. 또한, 상술한 바와 같은 다층박막 구조에서는 금속박막층을 최소한 3회 이상 반복해서 적층해야 하기 때문에 코팅 설비의 규모가 커지는 문제점이 있으며, 재료비 및 생산원가가 상승되는 동시에 전반적인 공정 시간이 길어져 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
다른 한편, PDP 필터는 통상적으로 면저항이 1.5Ω 이하가 요구되는 제품군과 2.5Ω 이하가 요구되는 제품군으로 크게 분류할 수 있는데, 이는 최근에 각 국가별로 요구되고 있는 안전규격에 의한 것이다. 여기서, 통상적으로 면저항이 1.5 Ω 이하인 제품군은 면저항이 2.5Ω 이하인 제품군에 비해 광 투과율은 떨어지나 반사율은 높은 특성을 갖는다. 이와 관련하여, 상기한 선행 특허는 3Ω 이하의 면저항이 요구되는 PDP 필터에는 적합하나 1.5Ω 이하의 면저항이 요구되는 PDP 필터에는 부적합한 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, PDP 필터의 투명 기판에 다층박막을 형성하는 과정에서 금속박막층을 2회만 삽입함으로써 전반적인 제조 공정을 간소화시킬 수 있는 동시에 면저항 1.5Ω 이하의 규격을 만족하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서, 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅하는 구조를 가지며, 상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 보조 투명박막은 Si층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명에서는 금속박막층을 2번 삽입하여 PDP 필터의 다층박막을 형 성함으로써 전반적인 공정을 간소화할 수 있는 동시에 1.5Ω 이하의 면저항과 저반사 특성을 개선할 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공하며, 이하에서 설명되는 각각의 실시예에서는 이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 수회에 걸친 실험에 의해서 산출된 최적의 PDP 필터용 다층박막 구조를 제시한다.
이러한 본 발명에 따른 PDP 필터는 고굴절 투명박막층과 보조 투명박막층 및 금속박막층이 2회 반복 적층된 구조를 갖으며, 금속박막층을 보호하기 위한 보호층이 추가 적층될 수도 있다. 여기서, 고굴절 투명박막층은 TiO2 또는 Nb2O5를 사용하여 형성하며, 보조 투명박막층으로서는 Si를, 그리고 금속박막층으로서는 Ag 또는 Ag를 주성분으로 하는 합금을 사용하여 형성되는 코팅층을 의미한다.
한편, 본 발명에 따라 Ag층이 2번 삽입되고 면저항 1.5Ω이하의 특성을 만족시키는 PDP 필터를 구현하기 위해서는 그 원리상 각 Ag층의 두께의 합이 적어도 30㎚ 이상이 요구되며, 더욱 바람직하게는 각각 17㎚ 이상이 되도록 해야한다.
이에 대해 상세히 설명하면, 일반적으로 덩어리 상태의 은(Ag)은 비저항 1.6×10-6Ω㎝의 비저항을 갖지만, 투명할 정도로 얇게 코팅하면 통상적으로 은은 연속적으로 균일하게 도포되지 않는다. 따라서, 투명박막으로 코팅된 은은 3∼4배 정도의 비저항 값을 갖게 된다. 이러한 특성상 PDP 필터의 다층박막을 형성함에 있어서 2개의 Ag층을 이용하여 면저항 1.5Ω을 얻기 위해서는 각 Ag층의 면저항이 3.0Ω이 되어야하며, 따라서 하나의 Ag층의 두께는 17㎚ 이상이 되어야한다.
하지만, 이때 Ag층의 두께가 두꺼워질수록 PDP 필터의 반사 특성은 넓은 U자 형에서 V자형으로 변화하여 전반적인 반사율은 증가하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 각 Ag층의 두께를 약 17㎚로 한정하고, 금속박막층과 고굴절 투명박막층 사이에 실리콘 금속층(Si)을 삽입하여 고굴절 투명박막의 보조 역할을 수행하도록 하였다. 즉, Ag층의 두께가 두꺼워짐으로 인해 저하되는 반사율을 보정하기 위해 보조 투명박막층으로서 Si층을 추가 형성한다.
이와 같이, Si층을 삽입하는 다층박막 구조는 종래의 일부 PDP 필터에서도 사용되었으나, 종래의 PDP 필터에서는 이 Si층을 산화물을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마에 의해 Ag층이 파괴되는 현상을 방지하기 위한 목적, 즉 단순한 블로커 (Blocker) 기능으로만 사용하였다. 따라서, 종래의 Si층을 이용하는 종래의 PDP 필터에서는 Ag층의 손상을 방지할 수 있는 최소한의 두께로 코팅하도록 되어 있으나, 본 발명에서는 이 Si층을 블로커로 사용하기보다는 반사율 저하를 방지하기 위한 보조 투명박막으로 사용하기 때문에 그 두께를 광학 설계상 10㎚ 이하가 되도록 하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2∼5㎚가 되도록 하는 것이 바람직하다.
이하에서는 상술한 바와 같은 특성 및 조건을 만족시킬 수 있는 다양한 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 제시한다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 TiO2층(31), 제 1 Si층(32), 제 1 Ag층(33), 제 1 ITO층(34), 제 2 TiO2층(35), 제 2 Si층(36), 제 2 Ag층(37), 제 2 ITO층(38) 및 제 3 TiO2층(39)을 순차적으로 적층한 구조를 도시하였다.
본 실시예에서는 고굴절 투명박막을 형성하는 물질 중에서 굴절률이 가장 높은 물질로 알려진 TiO2를 사용하였으며, 동도면에 도시된 제 1 및 제 2 Si층(32, 36)은 전술한 바와 같이 제 1 및 제 2 Ag층(33, 37)에 대한 보조 투명박막층으로서의 기능을 하게 된다. 여기서, 각 Si층(32, 36)은 전술한 바와 같이 각 Ag층(33, 37)의 두께와 PDP 필터의 반사율에 따라 2∼5㎚ 범위 내에서 조절하는 것이 바람직하다.
그리고, 제 1 및 제 2 ITO층(34, 38)은 각각 제 1 및 제 2 TiO2층(35, 39)을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 제 1 및 제 2 Ag층(33, 37)의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위한 블로커로서의 기능을 하게 되며, 제 1 및 제 2 Ag층(33, 37)의 전기전도성이 정상인 범위 내에서 가능한 얇게 코팅하는 것이 바람직하다.
이러한 구조를 갖는 다층박막에 있어서 각 층에 대한 최적의 두께는 제 1 TiO2층(31)이 22∼32㎚, 제 1 Si층(32)이 2∼5㎚, 제 1 Ag층(33)이 12∼20㎚, 제 1 ITO층(34)이 2∼10㎚, 제 2 TiO2층(35)이 40∼60㎚, 제 2 Si층(36)이 2∼5㎚, 제 2 Ag층(37)이 12∼20㎚, 제 2 ITO층(38)이 2∼10㎚이며 제 3 TiO2층(39)이 20∼32㎚가 되도록 한다. 더욱 바람직하게는, 제 1 TiO2층(31)이 26㎚, 제 1 Si층(32)이 4㎚, 제 1 Ag층(33)이 17㎚, 제 1 ITO층(34)이 4㎚, 제 2 TiO2층(35)이 58㎚, 제 2 Si층(36)이 4㎚, 제 2 Ag층(37)이 17㎚, 제 2 ITO층(38)이 4㎚이며 제 3 TiO2층(39) 이 29㎚가 되도록 하는 것이 바람직하다.
도 3b는 도 3a에 도시된 바와 같은 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 측정하여 도시한 그래프이며, 도 3c는 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프이다.
도 3b에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 다층박막 구조의 PDP 필터에서는 반사율이 4% 이하가 되는 저반사 영역이 전체 199㎚ 구간으로서 종래의 일반적인 PDP 필터(87㎚)에 비해 현저한 개선도를 보인다. 따라서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 붉은 색의 반사색상이 나타나지 않는 특성을 갖는다.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 TiO2층(41), 제 1 Si층(42), 제 1 Ag층(43), 제 2 Si층(44), 제 2 TiO2층(45), 제 3 Si층(46), 제 2 Ag층(47), 제 4 Si층(48) 및 제 3 TiO2층(49)을 순차적으로 코팅한 다층박막 구조를 갖는다.
동도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 각 Ag층(43, 47)의 양쪽에 각각의 Si층(42와 44, 46과 48)을 형성하여 각각의 Si층(42, 44, 46, 48)이 보조 투명박막으로서의 기능은 물론, 각 Ag(43, 47)을 보호하기 위한 블로커의 기능을 동시에 수행하도록 구성하였다.
이러한 제 2 실시예에 따른 다층박막에 있어서 각 층에 대한 두께는 제 1 TiO2층(41)이 20∼32㎚, 제 1 Si층(42)이 2∼5㎚, 제 1 Ag층(43)이 12∼20㎚, 제 2 Si층(44)이 2∼5㎚, 제 2 TiO2층(45)이 40∼65㎚, 제 3 Si층(46)이 2∼5㎚, 제 2 Ag층(47)이 12∼20㎚, 제 4 Si층(48)이 2∼5㎚ 및 제 3 TiO2층(49)이 20∼32㎚이며, 더욱 바람직하게는 제 1 TiO2층(41)이 약 31㎚, 제 1 Si층(42)이 약 3.5㎚, 제 1 Ag층(43)이 약 17㎚, 제 2 Si층(44)이 약 3.5㎚, 제 2 TiO2층(45)이 약 54㎚, 제 3 Si층(46)이 약 3.5㎚, 제 2 Ag층(47)이 약 17㎚, 제 4 Si층(48)이 약 3.5㎚ 및 제 3 TiO2층(49)이 약 23㎚가 되로독 하는 것이 바람직하다.
도 4b는 도 4a에 도시된 바와 같은 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 측정하여 도시한 그래프로서, 동도면에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 다층박막 구조의 PDP 필터에서는 반사율이 4% 이하가 되는 저반사 영역이 전체 230㎚ 구간으로서 종래의 일반적인 PDP 필터(87㎚)는 물론 전술한 제 1 실시예에 보다 개선된 특성을 나타낸다. 또한, 본 실시예에 따른 PDP 필터는 평균반사율 1%미만으로 매우 낮은 전반사 특성을 갖는다.
도 4c는 도 4a에 도시된 바와 같은 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프로서, 동도면에 도시된 바와 같이 붉은 색의 반사색상이 거의 나타나지 않는 특성을 갖는다. 즉, 본 실시예에 다른 PDP 필터의 경우에는 도 4b에 도시된 바와 같이 저반사 영역이 매우 넓기 때문에 어떠한 각도로 기울이더라도 반사색상이 붉은 색을 띄지 않는 특성을 갖는다.
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 Nb2O5층(51), 제 1 Si층(52), 제 1 Ag층(53), 제 2 Si층(54), 제 2 Nb2O5층(55), 제 3 Si층(56), 제 2 Ag층(57), 제 4 Si층(58) 및 제 3 Nb2O5층(59)을 순차적으로 적층한 구조를 도시하였다.
본 실시예에서는 동도면에 도시된 바와 같이, 전술한 제 2 실시예에서 사용한 TiO2에 대신에 상대적으로 코팅이 용이한 Nb2O5를 사용하였다.
여기서, 각 층에 대한 두께는 제 1 Nb2O5층(51)이 22∼38㎚, 제 1 Si층(52)이 2∼5㎚, 제 1 Ag층(53)이 12∼20㎚, 제 2 Si층(54)이 2∼5㎚, 제 2 Nb2O5층(55)이 50∼75㎚, 제 3 Si층(56)이 2∼5㎚, 제 2 Ag층(57)이 12∼20㎚, 제 4 Si층(58)이 2∼5㎚, 그리고 제 3 Nb2O5층(59)이 22∼38㎚이다. 더욱 바람직하게는, 제 1 Nb2O5층(51)이 약 35㎚, 제 1 Si층(52)이 약 3㎚, 제 1 Ag층(53)이 약 17㎚, 제 2 Si층(54)이 약 3㎚, 제 2 Nb2O5층(55)이 약 54㎚, 제 3 Si층(56)이 약 3㎚, 제 2 Ag층(57)이 약 17㎚, 제 4 Si층(58)이 약 3㎚, 그리고 제 3 Nb2O5층(59)이 약 23㎚가 되도록 하는 것이 바람직하다.
도 5b 및 5c는 도 5a에 도시된 바와 같은 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율 및 입사각에 따른 반사색상의 변화를 각각 도시한 그래프이다.
각각의 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 다층박막 구조의 PDP 필터에서는 반사율이 4% 이하가 되는 저반사 영역이 전체 214㎚(447∼660㎚) 구간으로서 종래의 일반적인 PDP 필터(87㎚) 보다 현저히 개선된 특성을 나타낸다. 그리고, 이와 같이 저반사 영역이 확장됨으로 인해 입사각이 80°로 개선되어 붉은 색의 반사 색상도 나타나지 않는 특성을 갖는다. 또한, 가시광선의 평균투과율은 67%가 되며, 반사율은 1% 미만의 우수한 특성을 갖는 PDP 필터를 구현할 수 있다.
표 1은 상술한 제 1 내지 제 3 실시예에 따라 형성된 다층박막을 갖는 PDP 필터의 각 항목별 특성을 도 2a에 도시한 바와 같은 종래의 PDP 필터와 비교하여 도시한 도표이다.
종래기술(도 2) | 실시예 1(도 3a) | 실시예 2(도 4a) | 실시예 3(도 5a) | |
투과율 | 53∼73% | 72.8% | 64% | 66.7% |
반사율 | 3.6∼7.6% | 0.8% | 0.2% | 0.7% |
저반사(4% 이하) 영역 | 87㎚ | 199㎚ | 230㎚ | 214㎚ |
즉, 상술한 바와 같은 각각의 실시예에서는 유효범위의 광 투과율(50%)을 갖는 동시에 반사율은 최소화된 면저항 1.5Ω 이하의 PDP 필터를 구현할 수 있으며, 특히 금속층(Ag층)을 2회만 삽입하여 다층박막을 형성함으로써 종래의 PDP 필터에 비해 그 제조공정을 단순화시킬 수 있게 된다.
결과적으로, 상기한 바와 같은 각각의 실시예를 종합하여 보면, 본 발명에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조에서는 투명 기판(15) 위에 제 1 고굴절 투명박막 (31 또는 41 또는 51), 제 1 보조 투명박막(32 또는 42 또는 52), 제 1 금속박막 (33 또는 43 또는 53), 제 2 고굴절 투명박막(35 또는 45 또는 55), 제 2 보조 투명박막(36 또는 46 또는 56), 제 2 금속박막(37 또는 47 또는 57) 및 제 3 고굴절 투명박막(39 또는 49 또는 59)을 순차적으로 코팅하는 구조를 가지며, 제 1 금속박 막(33 또는 43 또는 53)과 제 2 고굴절 투명박막(35 또는 45 또는 55) 사이, 그리고 제 2 금속박막(37 또는 47 또는 57)과 제 3 고굴절 투명박막(39 또는 49 또는 59) 사이에 블로커를 삽입한 구조를 갖는다.
따라서, 전반적으로 은 또는 은을 주성분으로 하는 금속박막층이 2회 삽입되는 구조로서, 면저항 1.5Ω 이하인 동시에 반사율이 현저히 감소된 PDP 필터를 구현할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, Ag층이 2번 삽입된 종래의 PDP 필터에 비해 공정의 간소화 및 생산 원가의 절감으로 인한 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 면저항 1.5Ω 이하의 규격을 만족하는 동시에 반사율이 향상된 PDP 필터를 제공할 수 있는 효과가 있다.
Claims (10)
- PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서,투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅하는 구조를 가지며,상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 보조 투명박막은 Si층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속박막과 상기 제 2 고굴절 투명박막 사이, 그리고 상기 제 2 금속박막과 상기 제 3 고굴절 투명박막 사이에는 반응성 스퍼터링에 따른 산소 플라즈마로부터 상기 제 1 및 제 2 금속박막을 보호하기 위한 각각의 제 1 및 제 2 보호층을 추가로 형성하는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 TiO2로 형성되며, 상기 제 1 및 제 2 보호층은 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 TiO2로 형성되며, 상기 제 1 및 제 2 보호층은 Si로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 Nb2O5로 형성되며, 상기 제 1 및 제 2 보호층은 Si로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 4 항에 있어서,상기 각각의 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 1 보호층, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막, 제 2 보호층 및 제 3 고굴절 투명박막의 두께는 각각 20∼36㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼10㎚, 40∼60㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼10㎚, 20∼32㎚인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 5 항에 있어서,상기 각각의 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 1 보호층, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막, 제 2 보호층 및 제 3 고굴절 투명박막의 두께는 각각 20∼32㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼5㎚, 40∼65㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼5㎚, 20∼32㎚인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 6 항에 있어서,상기 각각의 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 보조 투명박막, 제 1 금속박막, 제 1 보호층, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 보조 투명박막, 제 2 금속박막, 제 2 보호층 및 제 3 고굴절 투명박막의 두께는 각각 22∼38㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼5㎚, 50∼75㎚, 2∼5㎚, 12∼20㎚, 2∼5㎚, 22∼38㎚인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 그 두께의 합이 적어도 30~40㎚인 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
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