KR20040089725A - 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치, 장치 조정 방법 및장치 조정 시스템 - Google Patents
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Abstract
장치마다 단말 장치를 설치하거나, 1대의 공유 단말 장치를 전환식으로 접속하기 위한 접속 커넥터를 장치마다 마련하거나 하는 일 없이, 장치의 기구부를 단말 장치로부터 조작할 수 있는 장치 조정 시스템이 제공된다. 본 발명의 장치는, 조정 가능한 기구부(50)와, 기구부를 조정하는 제어부(30)와, 단말(2)과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 단말과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신부(40)를 가지며, 제어부(30)는, 단말로 송신되는 데이터의 작성부(31), 단말로부터 수신된 데이터의 해석부(33), 및, 해석된 데이터에 근거하여 기구부를 조정하는 조정부(35) 수단을 포함한다.
Description
종래, 예를 들면, 확산 장치와 같은 반도체 제조 장치의 기구부를 조정하기 위해서는, 장치 본체의 조작반(操作盤), 또는, 장치에 케이블을 거쳐서 외부 부착된 단말 장치가 이용되고 있다. 예를 들면, 기구부의 조정용 단말, 즉, 조정 단말을 사용하는 경우, 장치마다 조정 단말을 설치하거나, 또는, 1대의 공유 단말을 전환식으로 접속하기 위한 접속 커넥터를 장치마다 마련하고 있다.
그러나, 조정 단말은 장치의 통상 동작 시에는 사용하지 않기 때문에, 장치 대수와 동수(同數)의 조정 단말을 설치하는 것은 공간적으로도 비용적으로도 불필요하다.
또한, 커넥터 접속을 거쳐서 공유 단말을 사용하는 경우에는, 커넥터의 삽탈을 반복하는 것에 의해, 접점의 열화와 같은 신뢰성의 저하를 초래할 가능성이 있다.
또, 케이블에 의해서 연결된 조정 단말을 이용하여, 장치의 기구부의 동작을 조정하고자 하면, 오퍼레이터에 의해서 케이블이 장애로 되는 것, 혹은, 케이블 길이 등의 제약에 의해서 오퍼레이터가 자유로운 자세로 조작할 수 없게 되는 것이 있다.
발명의 개시
본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 장치마다 단말 장치를 설치하거나, 1대의 공유 단말 장치를 전환식으로 접속하기 위한 접속 커넥터를 장치마다 마련하거나 하는 일 없이, 장치의 기구부를 단말 장치로부터 조작할 수 있는 장치 조정 시스템의 제공을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 예를 들면, 반도체 제조 장치나 액정 제조 장치와 같은 장치를, 조정 단말과 같은 단말을 이용하여 조작하기 때문에, 장치와 단말 사이에서 무선 통신 기능을 이용한다.
본 발명의 제 1 국면에 의해 제공되는 장치는, 조정 가능한 기구부와, 상기 기구부에 접속되어, 상기 기구부를 조정하는 제어 수단을 갖는 장치로서, 상기 제어 수단에 접속되고, 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 단말과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신 수단을 더 갖고, 상기 제어 수단은, 단말로 송신되는 데이터를 작성하는 수단과, 단말로부터 수신된 데이터를 해석하는 수단과, 해석된 데이터에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 수단을 포함하는 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치이다.
본 발명의 제 2 국면에 의해 제공되는 장치 조정 시스템은, 조정 가능한 기구부 및 상기 기구부를 조정하는 제어부를 포함하는 장치와, 상기 장치의 상기 기구부를 조정하는 지령을 송출하는 단말을 포함하는 장치 조정 시스템으로서, 상기 장치는, 상기 제어 수단에 접속되고, 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 단말과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신 수단을 더 가지며, 상기 제어 수단은, 단말로 송신되는 데이터를 작성하는 수단과, 단말로부터 수신된 데이터를 해석하는 수단과, 해석된 데이터에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 수단을 포함하며, 상기 단말은, 상기 장치와의 사이에서 무선 통신을 실행하는 무선 통신 수단과, 상기 장치로부터의 데이터를 표시하고, 상기 장치로의 데이터를 입력하는 인터페이스 수단을 갖는다.
본 발명의 제 3 국면에 의해 제공되는 장치 조정 방법은, 조정 가능한 기구부를 갖는 장치의 상기 기구부를 단말로부터 조정하는 장치 조정 방법으로서, 상기 단말로부터 상기 장치로 무선 통신 접속 요구 메시지를 송신하는 단계와, 상기 장치로부터 상기 단말로 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신하는 단계와, 상기 단말과 상기 장치 사이에서 1 대 1의 대응 관계로 무선 통신 접속을 확립하는 단계와, 상기 단말로부터 상기 장치로 상기 장치의 상기 기구부의 조정 지령 메시지를 송신하는 단계와, 상기 장치에서 상기 조정 지령 메시지에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 단계를 갖는다.
본 발명의 제 4 국면에 의해 제공되는 장치 조정 방법은, 조정 가능한 기구부를 갖는 장치의 상기 기구부를 단말로부터 조정하는 장치 조정 방법으로서, 복수대의 장치로 이루어지는 장치 그룹을 정하는 단계와, 상기 단말로부터 상기 장치 그룹의 상기 복수대의 장치로 무선 통신 접속 요구 메시지를 송신하는 단계와, 상기 장치 그룹 중의 장치로부터 상기 단말로 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신하는 단계와, 상기 단말과 상기 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신한 상기 장치와의 사이에서 1 대 다(多)의 대응 관계로 무선 통신 접속을 확립하는 단계와, 상기 단말로부터 무선 통신 접속이 확립된 상기 장치로 해당 장치의 상기 기구부의 조정 지령 메시지를 송신하는 단계와, 상기 조정 지령 메시지를 받은 상기 장치에서 상기 조정 지령 메시지에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 단계를 갖는다.
이들 본 발명의 여러 국면에 따르면, 장치와 단말 사이에서 무선 통신 접속이 확립되기 때문에, 단말의 대수를 필요 최저한으로 억제할 수 있고, 또한, 단말의 사용 장소도 접속 커넥터의 설치 장소에 의해서 제한되는 일이 없고, 단말을 이용한 작업의 효율 향상이 실현된다.
본 발명의 다른 목적, 특징, 기능, 이점은 이후의 상세한 설명을 첨부 도면을 참조하여 설명하는 것에 의해 보다 명확하게 된다.
본 발명은 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치, 장치 조정 방법 및 장치 조정 시스템에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 반도체 제조 장치 조정 시스템의 구성도,
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 기구부 조정 처리의 흐름도,
도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 무선 단말의 구성도,
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 반도체 제조 장치의 구성도,
도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 배타적 접속 방식의 설명도,
도 6은 본 발명의 실시예 3에 따른 배타적 접속 처리의 흐름도,
도 7은 본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 방식의 설명도,
도 8은 본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 처리의 흐름도이다.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명은 이들 실시예에 의해서 한정되는 것은 아니고, 청구항에 기재된 사항의 범위 내에서 다양한 형태로 실시될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 반도체 제조 장치 조정 시스템의 구성도이다. 본 예의 반도체 제조 장치 조정 시스템은 반도체 제조 장치(1)와, 반도체 제조 장치(1)를 조작하기 위한 무선 단말(2)에 의해 구성된다. 반도체 제조 장치(1)와 무선 단말(2)은 무선 통신을 행하도록 구성되어 있다. 본 발명의 실시예 1에서는, 무선 통신 기술로서, 10m 정도의 근거리 무선 통신의 인터페이스 사양인 Bluetooth에 의한 통신 기능을 이용한다.
반도체 제조 장치(1)는, 반도체 제조의 공정, 예를 들면, 성막 처리, 확산 처리, 에칭 처리 등으로 사용되는 장치이다. 반도체 제조 장치(1)는 조정 가능한 기구부(50)와, 기구부(50)에 접속되어 기구부(50)를 조정하는 제어부(30)를 갖는장치이다. 기구부(50)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치(1)의 반송계이다. 무선 단말(2)은, 예를 들면, 반도체 제조 장치(1)의 기구부(50)를 조작하기 위해서 이용된다. 보다 구체적으로는, 반송계의 티칭 등으로 이용되고, 무선 단말(2)을 이용하여, 슬롯의 위치나 보드의 위치를 교시할 수 있다. 무선 단말(2)은, 예를 들면, Bluetooth에 의한 통신 기능을 갖는 PDA 단말에 의해서 실현하는 것이 가능하다.
반도체 제조 장치(1)는, 제어부(30)에 접속되고, 무선 단말(2)과의 사이에서 접속을 확립하여, 무선 단말(2)과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신부(40)를 더 가진다.
또한, 제어부(30)는, 무선 단말로 송신되는 데이터를 작성하는 데이터 작성부(31)와, 무선 단말로부터 수신된 데이터를 해석하는 데이터 해석부(33)와, 해석된 데이터에 근거하여 기구부(50)를 조정하는 기구부 조정부(35)를 포함한다.
조정에 필요한 데이터, 변환 기능을 반도체 제조 장치(1)측에 탑재함으로써, 무선 단말(2)측의 구성을 간단화하고, 범용적인 단말을 본 발명의 실시예의 무선 단말로서 이용할 수 있게 된다.
다음에, 본 발명의 실시예 1에 의해, 무선 단말(2)로부터의 지령에 따라서 반도체 제조 장치(1)측에서 실행되는 기구부(50)의 조정 처리를 설명한다. 도 2는 기구부 조정 처리의 흐름도이다.
단계 1 : 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)로부터의 요구에 따라서, 무선 단말(2)과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립한다. 동 도면에는 도시되지 않았지만, 무선 통신 접속을 확립할 수 없었던 경우에는, 무선 단말(2)에 대하여 접속의 실패가 통지된다.
단계 2 : 제어부(30)는 기구부(50)로부터 기구부의 현재 상태(기구부 상태)를 취득하여, 무선 통신부(40)를 거쳐서 무선 단말(2)로 기구부 상태를 송신한다.
무선 단말(2)측에서는, 기구부 상태가 오퍼레이터에 의해서 인식될 수 있도록 제시된다.
단계 3 : 제어부(30)는, 무선 단말(2)측에서 오퍼레이터가 입력한 오퍼레이터 지령을 무선 통신부(40)를 거쳐서 수신한다.
단계 4 : 제어부(30)의 데이터 해석부(33)는 무선 단말(2)로부터 수신한 오퍼레이터 지령이 접속 절단 지령인지 여부를 판정하여, 접속 절단 지령이 아니면, 단계 5로 진행한다. 접속 절단 지령인 경우에는 단계 8로 진행한다.
단계 5 : 제어부(30)의 데이터 해석부(33)는 무선 단말(2)로부터 수신한 오퍼레이터 지령이 기구부 조정 지령인지 여부를 판정하여, 기구부 조정 지령이면, 단계 6으로 진행하고, 기구부 조정 지령이 아니면, 단계 7로 진행한다.
단계 6 : 제어부(30)의 기구부 조정부(35)는 무선 단말(2)로부터 수신한 기구부 조정 지령에 근거하여 기구부(50)를 조정하고, 단계 2로 되돌아간다. 구체적인 조정의 예는 반송계의 이동 등이다.
단계 7 : 무선 단말(2)로부터의 오퍼레이터 지령이 기구부 조정 지령이 아니기 때문에, 제어부(30)는 오퍼레이터 지령에 따른 적당한 동작, 예컨대, 기구부 상태의 통지 등을 실행하고, 단계 2로 되돌아간다.
단계 8 : 무선 단말(2)로부터의 오퍼레이터 지령이 무선 통신 접속의 절단지령이기 때문에, 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)과의 무선 통신 접속을 절단한다. 이에 따라, 일련의 기구부 조정 처리가 종료된다.
또한, 반도체 제조 장치(1)와 무선 단말(2)간의 무선 통신 접속의 종료는 반도체 제조 장치(1)및 무선 단말(2)의 양쪽으로부터 지령할 수 있도록 구성된다.
다음에, 상기 본 발명의 실시예 1에 있어서의 반도체 제조 장치 조정 시스템에, 접속 상태 표시 기능, 접속 상태 확인 기능 및 긴급 정지 기능이 부가된 본 발명의 실시예 2에 있어서의 반도체 제조 장치 조정 시스템을 설명한다.
도 3은 이러한 본 발명의 실시예 2에 있어서의 무선 단말(2)의 구성도이다. 동 도면에 나타내어지는 바와 같이, 무선 단말(2)은 반도체 제조 장치(1)와의 사이에서 무선 통신을 실행하는 무선 통신부(22)와, 오퍼레이터로부터의 지시를 받아, 오퍼레이터 지시에 따라 무선 통신부(22)에 대하여 무선 통신의 접속 요구, 절단 요구 등을 발행하는 접속 조작부(21)를 갖는다. 또한, 무선 단말(2)은 반도체 제조 장치(1)와의 사이에서 무선 통신 접속이 확립된 후에, 무선 통신부(22)를 거쳐서 반도체 제조 장치(1)로 기구부 조정 지령을 발행하는 반도체 제조 장치 조정용 인터페이스부(23)를 포함한다. 이 반도체 제조 장치 조정용 인터페이스부(23)는, 예컨대, 브라우저 기능을 실현하는 사용자 인터페이스 기능(일반적인 viewer)을 구비한다.
또한, 무선 단말(2)은 반도체 제조 장치(1)와의 사이에서 서로, 예를 들면, 일정 간격으로, 무선 통신부(22)를 거쳐서 접속 확인을 위한 메시지를 교환하는 접속 상태 확인부(24)와, 반도체 제조 장치(1)와 무선 통신 접속되어 있는 것을 표시하는 접속 상태 표시부(25)를 갖는다.
또, 무선 단말(2)은 반도체 제조 장치(1)의 안전한 동작을 확보하기 위해서, 무선 단말(2)측의 상태에 따라서 반도체 제조 장치(1)의 기구부(50)의 동작을 긴급 정지시키기 위한 긴급 정지 지령부(26)를 구비한다. 긴급 정지 지령부(26)는 오퍼레이터가 단말 장치(2)로부터 손을 뗀 상태, 오퍼레이터가 단말 장치(2)를 강하게 쥔 상태, 단말 장치(2)의 케이블이 소켓으로부터 빠진 상태 등의 긴급 사태를 감시·검출하는 센서에 접속되고, 이들 센서로부터의 검출 신호에 응답하여, 반도체 제조 장치(1)에 대해서 긴급 정지 신호를 송출한다. 긴급 정지 신호는 무선 통신부(22)를 거쳐서 송신하여도 되지만, 이러한 예에 한정되는 것이 아니라, 긴급 정지 신호를 발생시키는 공지의 여러 가지의 수단을 이용할 수 있다.
또한, 긴급 정지 지령부(26)가 긴급 정지 신호를 발생시키는 긴급 사태는 상기의 예에는 한정되지 않고, 반도체 제조 장치(1)와의 접속 상태 확인을 실패했을 때, 무선 단말(2)이 반도체 제조 장치(1)의 전파 영역 밖으로 이동했을 때, 무선 단말(2)의 전원이 절단되었을 때, 무선 단말(2)의 긴급 정지 버튼을 눌렀을 때, 무선 단말(2)측에서 무선 통신 접속이 해제되었을 때 등의 상황이 생각된다.
도 4는 도 3에 도시한 무선 단말(2)에 대응한, 본 발명의 실시예 2에 따른 반도체 제조 장치의 구성도이다. 반도체 제조 장치(1)는 본 발명의 실시예 1에 대해서 설명한 무선 통신부(40), 제어부(30) 및 제어부(50) 외에, 접속 상태 확인부(60), 접속 상태 표시부(70) 및 긴급 정지부(80)를 포함한다.
접속 상태 확인부(60)는 무선 단말(2)과의 사이에서 서로, 예를 들면, 일정간격으로, 무선 통신부(40)를 거쳐서 접속 확인을 위한 메시지를 교환한다. 접속 상태 표시부(70)는 무선 단말(2)과 무선 통신 접속되어 있는 것을 표시한다.
또한, 긴급 정지부(80)는, 기구부(50)에 직결(直結)되고, 무선 단말(2)로부터 송출된 긴급 정지 신호에 따라 즉시 기구부(50)의 동작을 정지시킨다.
이하에서는, 본 발명의 실시예 1 또는 실시예 2에 따른 반도체 제조 장치 조정 시스템을 근간으로 하여, 반도체 제조 장치(1)와 무선 단말(2) 사이에서 실현되는 2가지의 접속 방식에 대하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 배타적 접속 방식의 설명도이다. 배타적 접속 방식이란, 무선 단말(2)이 특정한 반도체 제조 장치(1)를 선택하는 접속 방식이다. 동 도면에 나타내어진 바와 같이, 반도체 제조 장치와 무선 단말은, 동시에는 1 대 1의 관계밖에 접속할 수 없다. 동 도면에 있어서, ←○→의 표시는 반도체 제조 장치와 무선 단말 사이에서 무선 통신 접속이 확립된(혹은, 확립 가능한) 상태인 것을 나타내고, ←×→의 표시는 무선 통신 접속을 확립할 없다는 것을 나타내고 있다.
본 예에서는, 반도체 제조 장치 A는 무선 단말 B와 접속되어 있기 때문에, 무선 단말 A는 반도체 제조 장치 A와 접속 불가이다. 무선 단말 B는 반도체 제조 장치 A와의 접속이 확립하고 있기 때문에, 반도체 제조 장치 B와의 접속은 불가이다. 반도체 제조 장치 C는 무선 단말 D와,무선 단말 E 중 어느 쪽과도 접속되어 있지 않다.
배타적 접속 방식에서는, 최초에, 무선 단말(2)측의 조작, 예컨대, 어드레스지정 등에 의해서, 특정한 반도체 제조 장치(1)를 지정하고, 다음에, 반도체 제조 장치(1)측의 조작에 의해서, 선택된 반도체 제조 장치(1)의 확인 작업, 예를 들면, ID 교환 등을 실행한다. 그리고, 이 확인 작업이 정상으로 실행된 경우, 그 이후, 이 무선 단말 장치(2)와 다른 반도체 제조 장치(1)와의 무선 통신 접속은 금지된다.
도 6은 이러한 본 발명의 실시예 3에 따른 배타적 접속 처리의 흐름도이다.
단계 21 : 반도체 제조 장치(1)의 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)로부터의 장치 접속 요구 메시지를 수신한다.
단계 22 : 무선 통신부(40)는 다른 무선 단말과의 사이에서 이미 무선 통신 접속이 확립되어 있는지 여부를 체크한다. 이미, 다른 무선 단말과의 사이에 접속이 확립되어 있는 경우에는, 단계 26으로 진행한다. 무선 통신부(40)가 아직 무선 단말과 접속을 확립하고 있지 않은 경우에는, 단계 23으로 진행한다.
단계 23 : 무선 통신부(40)는 장치 접속 요구 메시지를 발생한 무선 단말(2)과의 사이에서 상호 확인 메시지(예를 들면, ID)를 교환한다.
단계 24 : 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)과의 상호 확인이 성공했는지 여부를 판정한다. 상호 확인에 실패한 경우, 단계 26으로 진행한다. 상호 확인에 성공한 경우, 단계 25로 진행한다.
단계 25 : 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)과의 사이에서 배타적 무선 통신 접속을 확립한다. 이에 따라, 무선 단말(2)로부터 반도체 제조 장치(1)의 기구부(50)를 조정할 수 있게 된다.
단계 26 : 무선 통신부(40)는 무선 단말(2)과의 사이에서 배타적 무선 통신 접속을 확립할 수 없기 때문에, 장치 접속 거부 메시지를 무선 단말(2)로 회신한다.
무선 단말(2)로부터의 조작이 완료한 후에는, 무선 단말(2)측 또는 반도체 제조 장치(1)측에서 양자간의 무선 통신 접속을 절단(해제)할 수 있다.
본 발명의 실시예 3에 따른 배타적 접속 처리는 이상의 순서로 실행된다. 이러한 배타적 접속 방식은 특히, 기구부(50)의 티칭 등의 조정 작업에 유효하다.
도 7은 본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 방식의 설명도이다. 그룹 방식이란, 무선 단말(2)이 미리 그룹화된 반도체 제조 장치군에 대하여 동시에 무선 통신 접속을 확립하는 접속 방식이다. 동 도면에 나타내어지는 바와 같이, 무선 단말과 반도체 제조 장치는 동시에, 1 대 다의 관계로 접속되어 있다. 동 도면에 있어서, ←○→의 표시는 반도체 제조 장치와 무선 단말 사이에서 무선 통신 접속이 확립된(혹은, 확립 가능한) 상태인 것을 나타내고, ←×→의 표시는 무선 통신 접속을 확립할 수 없는 것을 나타내고 있다.
본 예에서는, 반도체 제조 장치 A, 반도체 제조 장치 B 및 반도체 제조 장치 C는 미리 동일한 그룹에 넣고, 반도체 제조 장치 D는 이 그룹에는 포함되어 있지 않다. 그 때문에, 무선 단말 B는 그룹 내의 반도체 제조 장치 A, 반도체 제조 장치 B 및 반도체 제조 장치 C와 무선 통신 접속을 확립하고 있지만, 반도체 제조 장치 D와의 사이에서는 무선 통신 접속을 확립할 수 없다. 또한, 다른 무선 단말 B 및 무선 단말 C는 무선 단말 A와의 사이에서 이미 무선 통신 접속을 확립하고 있는그룹 내의 반도체 제조 장치 A, B 및 C와, 중복하여 무선 통신 접속을 확립하는 것은 불가능하다.
본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 방식에서는, 상술한 바와 같이, 미리 그룹화된 반도체 제조 장치군에 대하여, 무선 단말로부터 접속 요구를 실행한다. 그리고, 1대의 무선 단말과, 반도체 제조 장치군과의 사이에서 무선 통신 접속이 확립되면, 무선 단말로부터 반도체 제조 장치군에 대하여, 동일한 조작을 일괄하여 지령·실행하는 것이 가능하게 된다. 무선 단말측에서는 그룹 접속 중인 반도체 제조 장치군의 일람이 표시된다. 또한, 그룹 접속 중인 각 반도체 제조 장치도 그룹 접속 중인 것을 표시할 수 있다.
그룹 접속의 해제는 각 반도체 제조 장치측에서 개별적으로 실행할 수 있다. 또한, 무선 단말은 그룹 접속을 일괄해서 해제할 수 있다.
도 8은 이러한 본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 처리의 흐름도이다.
단계 41 : 반도체 제조 장치의 그룹을 정의하여, 무선 단말 및 그룹 내의 각 반도체 제조 장치에 등록한다.
단계 42 : 무선 단말로부터 그룹 내의 반도체 제조 장치로 장치 접속 요구 메시지를 송신한다.
단계 43 : 무선 단말과 그룹 내의 반도체 제조 장치와의 사이에서 무선 통신 접속의 확립 처리를 실행한다.
단계 44 : 모든 무선 통신 접속이 확립되었는지 여부를 판정한다. 확립된 경우에는, 단계 45로 진행하고, 확립되어 있지 않은 경우에는, 단계 47로 진행하다.
단계 45 : 무선 단말측에서 그룹 접속 중인 반도체 제조 장치의 일람을 표시한다.
단계 46 : 그룹 내의 각 반도체 제조 장치의 일괄 조작 가능 모드로 설정하고, 각 반도체 제조 장치측에서는 그룹 접속 중인 것을 표시한다.
단계 47 : 무선 통신 접속을 확립할 수 없는 반도체 제조 장치가 존재하기 때문에, 무선 단말은 그룹 내의 모든 반도체 제조 장치와의 무선 통신 접속을 해제한다.
본 발명의 실시예 4에 따른 그룹 접속 처리는 이상의 순서로 실행된다. 이러한 그룹 접속 방식은 특히, 복수대의 반도체 제조 장치의 기구부(50)에 대하여, 동일한 파라미터를 설정하는 등의 조정 작업에 유효하다.
또한, 상기의 단계 47에서는, 무선 단말은 그룹 내의 모든 반도체 제조 장치와의 무선 통신 접속을 해제하고 있지만, 무선 통신 접속을 확립할 수 있는 반도체 제조 장치에 대해서만, 일괄 조작 가능 모드를 설정하도록 구성하더라도 상관없다.
본 발명의 상기의 실시예는 Bluetooth에 의한 무선 통신 기술을 이용하기 때문에, 무선 단말을 반도체 제조 장치의 근방(10m 이내)에 설치하면, 어디서나 사용할 수 있게 된다. 이에 따라, 무선 단말의 대수를 필요 최저한으로 억제할 수 있어, 무선 단말의 사용 장소도 접속 커넥터의 장소에 의해서 제한되는 일이 없고, 무선 단말을 이용한 조정 작업의 효율 향상으로 이어진다. Bluetooth는 전파가 약하고(미약 전파로 10m 이내를 커버함), 간섭이 없다(노이즈에 강하다)라고 한 특성이 있기 때문에, 본 발명을 실시하기 위해서 바람직하다.
또한, 무선 통신 기술로서는, 10m 정도의 근거리 무선 통신의 인터페이스 사양인 Bluetooth에 의한 통신 기능 외에, 전파나 광 등의 무선으로 통신을 실행하는 무선 LAN을 이용할 수 있다. PHS 방식에 의한 통신을 이용하는 것도 가능하다. 본 발명은 이용되는 무선 통신 기술의 종별에 의해서 제한되는 일은 없다.
또한, 단말 장치로서는, Bluetooth에 의한 통신 기능을 갖는 PDA 단말이나, PHS 단말을 이용하는 것이 가능하다. 본 발명은 단말 장치의 종별에 의해서 제한되는 것이 아니다.
또한, 상기 실시예에서는 반도체 제조 장치에 대해서 설명하고 있지만, 본 발명에서의 장치는 반도체 제조 장치에 한정되는 것은 없고, 기구부와 기구부를 조정하는 제어부를 구비한 장치이면, 어떠한 장치라도 상관없다.
상기의 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 장치 조정 시스템에 있어서의 장치 조정 방법은 소프트웨어(프로그램)로 구축하는 것이 가능하고, 컴퓨터의 CPU에 의해서 이 프로그램을 실행하는 것에 의해 본 발명의 실시예에 따른 장치 조정 방법을 실현할 수 있다. 구축된 프로그램은 디스크 장치 등에 기록해 두고 필요에 따라 컴퓨터에 인스톨되거나, 플렉서블 디스크, 메모리 카드, CD-ROM 등의 가반 기록 매체에 저장하여 필요에 따라 컴퓨터에 인스톨되거나, 혹은, 통신 회선 등을 거쳐서 컴퓨터에 인스톨되어, 컴퓨터의 CPU에 의해서 실행된다.
이상의 설명과 같이, 본 발명의 여러 실시예에 따르면, 장치마다 단말 장치를 설치하거나, 1대의 공유 단말 장치를 전환식으로 접속하기 위한 접속 커넥터를장치마다 마련하거나 하는 일 없이, 장치의 기구부를 단말 장치로부터 조작할 수 있게 된다.
이상, 본 발명의 대표적인 실시예를 설명했지만, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 일없이, 특허청구범위 내에서 여러 가지 변경·응용이 가능하다.
Claims (11)
- 조정 가능한 기구부와, 상기 기구부에 접속되어 상기 기구부를 조정하는 제어 수단을 갖는 장치로서,상기 제어 수단에 접속되고, 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 단말과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신 수단을 더 가지며,상기 제어 수단은,단말로 송신되는 데이터를 작성하는 수단과,단말로부터 수신된 데이터를 해석하는 수단과,해석된 데이터에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 수단을 포함하는무선 통신에 의해 조정 가능한 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 무선 통신 수단은, 이미 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하고 있는 경우에는, 다른 단말로부터의 무선 통신 접속의 요구를 거부하도록 구성되어 있는 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,단말과의 사이에서 확립된 무선 통신 접속의 상태를 확인하는 수단과,무선 통신 접속의 상태를 표시하는 수단을 더 갖는 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,무선 통신 접속을 확립하고 있는 상대측의 단말로부터의 긴급 정지 지령 신호를 받아, 상기 기구부를 긴급 정지시키는 수단을 더 갖는 무선 통신에 의해 조정 가능한 장치.
- 조정 가능한 기구부 및 상기 기구부를 조정하는 제어부를 포함하는 장치와, 상기 장치의 상기 기구부를 조정하는 지령을 송출하는 단말을 포함하는 장치 조정 시스템으로서,상기 장치는 상기 제어 수단에 접속되고, 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 단말과의 사이에서 데이터를 송수신하는 무선 통신 수단을 더 가지며,상기 제어 수단은,단말로 송신되는 데이터를 작성하는 수단과,단말로부터 수신된 데이터를 해석하는 수단과,해석된 데이터에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 수단을 포함하고,상기 단말은,상기 장치와의 사이에서 무선 통신을 실행하는 무선 통신 수단과,상기 장치로부터의 데이터를 표시하고, 상기 장치로의 데이터를 입력하는 인터페이스 수단을 갖는장치 조정 시스템.
- 제 5 항에 있어서,상기 장치의 상기 무선 통신 수단은, 이미 단말과의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하고 있는 경우에는, 다른 단말로부터의 무선 통신 접속의 요구를 거부하도록 구성되어 있는 장치 조정 시스템.
- 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 단말의 상기 무선 통신 수단은, 동시에 복수대의 장치와의 사이에서 무선 통신 접속을 확립하여, 복수대의 장치와의 사이에서 무선 통신을 실행할 수 있도록 구성되어 있는 장치 조정 시스템.
- 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 장치와 상기 단말 사이에서 확립된 무선 통신 접속의 상태를 확인하는 수단과,상기 장치와 상기 단말 사이의 무선 통신 접속의 상태를 표시하는 수단을 더 갖는 장치 조정 시스템.
- 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 단말은,무선 통신 접속되어 있는 상대측의 장치의 기구부를 긴급 정지시켜야 할 상황이 상기 단말에서 발생하고 있는지 여부를 감시하는 수단과,긴급 정지시켜야 할 상황이 발생하고 있는 것이 검출된 경우에, 상기 장치의 제어부를 긴급 정지시키는 긴급 정지 지령 신호를 상기 장치로 송출하는 수단을 더 가지며,상기 장치는 무선 통신 접속을 확립하고 있는 상기 단말로부터의 상기 긴급 정지 지령 신호를 받아, 상기 기구부를 긴급 정지시키는 수단을 더 갖는장치 조정 시스템.
- 조정 가능한 기구부를 갖는 장치의 상기 기구부를 단말로부터 조정하는 장치 조정 방법으로서,상기 단말로부터 상기 장치로 무선 통신 접속 요구 메시지를 송신하는 단계와,상기 장치로부터 상기 단말로 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신하는 단계와,상기 단말과 상기 장치 사이에서 1 대 1의 대응 관계로 무선 통신 접속을 확립하는 단계와,상기 단말로부터 상기 장치로 상기 장치의 상기 기구부의 조정 지령 메시지를 송신하는 단계와,상기 장치에서 상기 조정 지령 메시지에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 단계를 갖는 장치 조정 방법.
- 조정 가능한 기구부를 갖는 장치의 상기 기구부를 단말로부터 조정하는 장치 조정 방법으로서,복수대의 장치로 이루어지는 장치 그룹을 정하는 단계와,상기 단말로부터 상기 장치 그룹의 상기 복수대의 장치로 무선 통신 접속 요구 메시지를 송신하는 단계와,상기 장치 그룹 중의 장치로부터 상기 단말로 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신하는 단계와,상기 단말과 상기 무선 통신 접속 확인 메시지를 송신한 상기 장치와의 사이에서 1 대 다(多)의 대응 관계로 무선 통신 접속을 확립하는 단계와,상기 단말로부터 무선 통신 접속이 확립된 상기 장치로 해당 장치의 상기 기구부의 조정 지령 메시지를 송신하는 단계와,상기 조정 지령 메시지를 받은 상기 장치에서 상기 조정 지령 메시지에 근거하여 상기 기구부를 조정하는 단계를 갖는 장치 조정 방법.
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