WO2003077289A1

WO2003077289A1 - Appareil de radio communication reglable, procede de reglage d'appareil, et systeme de reglage d'appareil

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Publication number: WO2003077289A1
Application number: PCT/JP2003/002513
Authority: WO
Inventors: Mitsuru Chiba
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2002-03-12
Filing date: 2003-03-04
Publication date: 2003-09-18
Also published as: JP2003272982A; US7181208B2; CN100429746C; CN1643653A; KR20040089725A; KR100656056B1; US20050140518A1

Description

P T/JP03/02513

1 明細書無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システム技術分野

本発明は、無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システムに関する。背景技術

従来、たとえば、拡散装置のような半導体製造装置の機構部を調整するためには、装置本体の操 ί«、又は、装置にケーブルを介して外付けされた端末装置が用いられている。たとえば、機構部の調整用端末、すなわち、調整端末を使用する楊合、装置毎に調整端末を設置するか、又は、 1台の共有端末を切替え式に接続するための接続コネクタを装置毎に設けている。

しカゝし、調整端末は、装置の通常動作時には使用しないため、装置台数と同数の調整端末を設置することは、スペース的にも費用的にも無駄である。

また、コネクタ接続を介して共有端末を使用するには、コネクタの抜き差しを繰り返すことによって、接点の劣化のような信頼性の低下を招く可能性がある。

さらに、ケーブルによって繋がれた調整端末を用いて、装置の機構部の動作を調整しょうとすると、オペレータにとってケーブルが邪魔になること、或いは、ケーブル長などの制約によってオペレータが自由な体勢で操作できなくなることがある。発明の開示

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、装置毎に端末装置を設置したり、 1台の共有端末装置を切替え式に接続するための接続コネクタを装置毎に設けたりすることなく、装置の機構部を端末装置から操作できる装置調整システムの提供を目的とする。上記の目的を達成するために、本発明は、たとえば、半導体製造装置や液晶製造装置のような装置を、調整端末のような端末を用いて操作するため、装置と端末との間で、無線通信機能を利用する。

本発明の第 1の局面によりされる装置は、

調整可能な機構部と、

上記機構部に接続され、上構部を調整する制御手段と、

を有する装置であって、

上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段を更に有し、

上記制御手段は、

端末へ送信されるデータを作成する手段と、

端末から受信されたデータを解析する手段と、

解析されたデータに基づいて上記機構部を調整する手段と、

を含む無線通信により調整可能な装置である。

本発明の第 2の局面により提供される装置調整システムは、

調整可能な機構部及び上記機構部を調整する制御部を含む装置と、上記装置の上構部を調整する指令を送出する端末と、を含む装置調整システムであって上記装置は、上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段を更に有し、

上記制御手段は、

端末へ送信されるデータを作成する手段と、

端末から受信されたデータを解析する手段と、

解析されたデータに基づいて上言構部を調整する手段と、

を含み、

上記端末は、

上記装置との間で無線通信を行なう無線通信手段と、

上記装置からのデータを表示し、上記装置へのデータを入力するィンタフヱ一ス手段と、を有する。

本発明の第 3の局面により提供される装置調整方法は、

調整可能な機構部を有する装置の上記機構部を端末から調整する装置調整方法であって、

上記端末から上記装置へ無線通信接続要求メッセージを送信する手順と、上記装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを送信する手順と、上記端末と上記装置との間で 1対 1の対応関係で無線通信接続を確立する手順と、

上記端末から上記装置へ上記装置の上記機構部の調整指令メッセージを送信する手 II と、

上記装置で上記調整指令メッセジに基づいて上言構部を調整する手順と、を有する。

本発明の第 4の局面により^^される装置調整方法は、

複数台の装置からなる装置グループを定める手順と、

上記端末から上記装置グループの上記複数台の装置へ無線通信接続要求メッセージを送信する手順と、

上記装置グループ中の装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを送信する手)噴と、

上記端末と上記無線通信接続確認メッセージを送信した上記装置との間で 1 対多の対応関係で無線通信接続を確立する手順と、

上記端末から無線通信接続が確立された上記装置へ該装置の上言己機構部の調整指令メッセージを送信する手順と、

上記調整指令メッセージを受けた上記装置で上記調整指令メッセージに基づ V、て上記機構部を調整する手順と、

を有する。

これらの本発明の種々の局面によれば、装置と端末の間で無線通信接続が確立されるので、端末の台数を必要最低限に抑えることができ、カゝつ、端末の使用場 P T/JP03/02513

4 所も接続コネクタの設置場所によって制限されることがなく、端末を用いた作業の効率アップが実現される。

本発明の他の目的、特徴、機能、利点は、後の詳細な説明を添付の図面を参照して読むことにより、より明確になる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1の実施例による半導体製造装置調整システムの構成図である。

図 2は、本発明の第 1の実施例による機構部調整処理のフ口一チヤ一トである図 3は、本発明の第 2の実施例による無線端末の構成図である。

図 4は、本発明の第 2の実施例による半導体製造装置の構成図である。

図 5は、本楽明の第 3の実施例による排他的接続方式の説明図である。

図 6は、本発明の第 3の実施例による排他的接続処理のフローチャートである図 7は、本発明の第 4の実施例によるグループ接続方式の説明図である。

図 8は、本発明の第 4の実施例によるグループ接続処理のフローチヤ一トである。発明を実施するための最良の形態

以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する。本発明は、これらの実施例によって限定されることはなく、請求項に記載された事項の範囲内で多様な形態で実施され得る。

図 1は、本発明の第 1の実施例による半導体製造装置調整システムの構成図である。本例の半導体製造装置調整システムは、半導体製造装置 1と、半導体製造装置 1を操作するための無線端末 2とにより構成される。半導体製造装置 1と無線端末 2は、無線通信を行なうように構成されている。本発明の第 1の実施例では、無線通信技術として、 1 O m程度の近距離無線通信のインタフェース仕様である Bluetoothによる通信機能を利用する。半導体製造装置 1は、半導体製造の工程、たとえば、成膜処理、拡散処理、ェツチング処理などで使用される装置である。半導体製造装置 1は、調整可能な機構部 5 0と、機構部 5 0に接続され、機構部 5 0を調整する制御部 3 0と、を有する装置である。機構部 5 0は、たとえば、半導体製造装置 1の搬送系である。無線端末 2は、たとえば、半導体製造装置 1の機構部 5 0を操作するために利用される。より具体的には、搬送系のティーチングなどに利用され、無線端末 2を用いて、スロットの位置や、ボードの位置を教示することができる。無線端末 2 は、たとえば、 Bluetoothによる通信機能を有する PDA端末によって実現することが可能である。

半導体製造装置 1は、制御部 3 0に接続され、無線端末 2との間で接続を確立し、無線端末 2との間でデータを送受信する無線通信部 4 0を更に有する。また、制御部 3 0は、無線端末へ送信されるデータを作成するデータ作成部 3 1と、無線端末から受信されたデータを解析するデータ角? W部 3 3と、解析されたデータに基づいて、機構部 5 0を調整する機構部調整部 3 5と、を含む。調整に必要なデータ、変 «能を半導体製造装置 1側に搭載することによって、無線端末 2側の構成を簡単化し、汎用的な端末を本発明の実施例の無線端末として利用できるようになる。

次に、本発明の第 1の実施例により、無線端末 2からの指令に従って半導体製造装置 1側で行なわれる機構部 5 0の調整処理を説明する。図 2は、機構部調整処理のフローチャートである。

ステップ 1 ：無線通信部 4 0は、無線端末 2からの要求に応じて、無線端末 2 との間で無線通信接続を確立する。同図には示されないが、無線通信接続を確立できなかった場合には、無線端末 2に対し、接続の失敗が通知される。

ステップ 2 ：制御部 3 0は、機構部 5 0から機構部の現在状態（機構部状態）を取得し、無線通信部 4 0を介して、無線端末 2へ機構部状態を送信する。無線端末 2側では、機構部状態がオペレータによって認識され得るように提示される。

ステップ 3 ：制御部 3 0は、無線端末 2側でオペレータが入力したオペレータ指令を、無線通信部 4 0を介して受信する。ステップ 4：制御部 3 0のデータ解析部 3 3は、無線端末 2から受信したオペレータ指令が接続切断指令であるかどう.かを半 IJ定し、接続切断指令でなければ、ステップ 5へ進む。接続切断指令である場合には、ステップ 8へ進む。

ステップ 5 ：制御部 3 0のデータ解析部 3 3は、無線端末 2から受信したオペレータ指令が機構部調整指令であるかどうかを判定し、機構部調整指令であれば、ステップ 6へ進み、機構部調整指令でなければ、ステップ 7へ進む。

ステップ 6 ：制御部 3 0の機構部調整部 3 5は、無線端末 2から受信した機構部調整指令に基づいて、機構部 5 0を調整し、ステップ 2へ戻る。具体的な調整の例は、搬送系の移動などである。

ステップ 7 ：無線端末 2からのオペレータ指令が機構部調整指令ではないので、制御部 3 0は、オペレータ指令に応じた適当な動作、たとえば、機構部状態の通知などを実行し、ステップ 2へ戻る。

ステップ 8 ：無線端末 2からのオペレータ指令が無線通信接続の切断指令であるので、無線通信部 4 0は、無線端末 2との無線通信接続を切断する。これにより、一連の機構部調整処理が終了する。

尚、半導体製造装置 1と無線端末 2との間の無線通信接続の終了は、半導体製造装置 1及ぴ無線端末 2の両方から指令することができるように構成される。次に、上記本発明の第 1の実施例における半導体製造装置調整システムに、接続状態表示機能、接続状態確認 «能、及び、緊急停止機能が付加された本発明の第 2の実施例における半導体製造装置調整システムを説明する。

図 3は、このような本発明の第 2の実施例における無線端末 2の構成図である。同図に示されるように、無線端末 2は、半導体製造装置 1との間で無線通信を行なう無線通信部 2 2と、オペレータからの指示を受け、オペレータ指示に従つて無線通信部 2 2に対し無線通信の接続要求、切断要求などを発行する接続操作部 2 1とを有する。また、無線端末 2は、半導体製造装置 1との間で無線通信接続が確立された後に、無線通信部 2 2を介して、半導体製造装置 1へ機構部調整指令を発行する半導体製造装置調整用インタフェース部 2 3を含む。この半導体製造装置調整用インタフェース部 2 3は、たとえば、ブラウザ機能を実現するュ一ザ ·ィンタフェース機能（一般的な viewer) を具備する。 P T/JP03/02513

7 また、無線端末 2は、半導体製造装置 1との間で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部 2 2を介して、接続のためのメッセージを交換する接続状態確認部 2 4と、半導体製造装置 1と無線通信接続されていることを表示する接続状態表示部 2 5と、を有する。

さらに、無線端末 2は、半導体製造装置 1の安全な動作を確保するため、無線端末 2側の状態によって、半導体製造装置 1の機構部 5 0の動作を緊急停止させるための緊急停止指令部 2 6を具備する。緊急停止指令部 2 6は、オペレータが端末装置 2から手を離した状態、オペレータが端末装置 2を強く握った状態、端末装置 2のケーブルがソケットから抜力ゝれた状態などの緊急事態を監視 ·検出するセンサに接続され、これらのセンサからの検出信号に応答して、半導体製造装置 1に対し、緊急停止信号を送出する。緊急停止信号は、無線通信部 2 2を介して送信してもよいが、このような例に限定されるものではなく、緊急停止信号を発生させる ^d nの種々の手段を利用することができる。

また、緊急停止指令部 2 6が緊急停止信号を発生させる緊急事態は、上記の例には限定されず、半導体製造装置 1との接続状態確認を失敗したとき、無線端末 2が半導体製造装置 1の電波ェリァ外に移動したとき、無線端末 2のが切断されたとき、無線端末 2の緊急停止ボタンを押下したとき、無線端末 2側で無線通信接続が解除されたとき、などの状況が考えられる。

図 4は、図 3に示された無線端末 2に対応した、本発明の第 2の実施例による半導体製造装置の構成図である。半導体製造装置 1は、本発明の第 1の実施例に関して説明した、無線通信部 4 0、制御部 3 0及び制御部 5 0の他に、接続状態

0、接続状態表示部 7 0及び緊急停止部 8 0を含む。

接続状態部 6 0は、無線端末 2との間で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部 4 0を介して、接続のためのメッセージを交換する。接続状態表示部 7 0は、無線端末 2と無線通信接続されていることを表示する。

また、緊急停止部 8 0は、機構部 5 0に直結され、無線端末 2から送出された緊急停止信号に応じて、直ちに機構部 5 0の動作を停止させる。

以下では、本癸明の第 1の実施例又は第 2の実施例による半導体製造装置調整システムをベースにして、半導体製造装置 1と無線端末 2との間で実現される二通りの接続方式について説明する。

図 5は、本発明の第 3の実施例による排他的接続方式の説明図である。排他的接続方式とは、無線端末 2が特定の半導体製造装置 1を選択する接続方式である。同図に示されるように、半導体製造装置と無線端末は、同時には、 1対 1の関係でしか接続できない。同図において、 —〇→の表示は、半導体製造装置と無線端末との間で無線通信接続が確立された（或いは、確立可能な）状態であることを示し、 —X→の表示は、無線通信接続を確立できないことを示している。本例では、半導体製造装置 Aは、無線端末 Bと接続されているため、無線端末 Aは半導体製造装置 Aと接続不可である。無線端末 Bは、半導体製造装置 Aとの接続が確立しているので、半導体製造装置 Bとの接続は不可である。半導体製造装置 Cは、無線端末 Dと、無線端末 Eのどちらとも接続されていない。

排他的接続方式では、最初に、無線端末 2側の操作、たとえば、アドレス指定等によって、特定の半導体製造装置 1を指定し、次に、半導体製造装置 1側の操作によって、選択された半導体製造装置 1の確認作業、たとえば、 I D交換等を行なう。そして、この確認作業が正常に行なわれた場合、それ以降、この無線端末装置 2と、他の半導体製造装置 1との無線通信接続は禁止される。

図 6は、このような本発明の第 3の実施例による排他的接続処理のフローチヤ一トである。

ステップ 2 1 ：半導体製造装置 1の無線通信部 4 0は、無線端末 2からの装置接続要求メッセージを受信する。

ステップ 2 2：無線通信部 4 0は、他の無線端末との間で既に無線通信接続が確立しているかどうかをチェックする。既に、他の無線端末との間に接続が確立している場合には、ステップ 2 6へ進む。無線通信部 4 0が未だ無線端末と接続を確立していない場合には、ステップ 2 3へ進む。

ステップ 2 3：無線通信部 4 0は、装置接続要求メッセージを発した無線端末 2との間で、相互確認メッセージ（たとえば、 I D) を交換する。

ステップ 2 4：無線通信部 4 0は、無線端末 2との相互確認が成功したかどうかを判定する。相互確認に失敗した場合、ステップ 2 6へ進む。相互確認に成功した場合、ステップ 2 5へ進む。 P T/JP03/02513

5 ：無線通信部 4 0は、無線端末 2との間で排他的無線通信接続を確立する。これにより、無線端末 2から半導体製造装置 1の機構部 5 0を調整できるようになる。

ステップ 2 6 ：無線通信部 4 0は、無線端末 2との間で排他的無線通信接続を確立できないので、装置接続拒否メッセージを無線端末 2へ返信する。

無線端末 2からの操作が完了した後には、無線端末 2側、又は、半導体製造装置 1側で両者間の無線通信接続を切断（解除）できる。

本発明の第 3の実施例による排他的接続処理は、以上の手順で行なわれる。このような排他的接続方式は、特に、機構部 5 0のティーチングなどの調整作業に有効である。

図 7は、本発明の第 4の実施例によるグループ接続方式の説明図である。ダループ方式とは、無線端末 2が予めグループ化された半導体製造装置群に対して同時に無線通信接続を確立する接続方式である。同図に示されるように、無線端末と半導体製造装置は、同時に、 1対多の関係で接続されている。同図において、 —〇→の表示は、半導体製造装置と無線端末との間で無線通信接続が確立された (或いは、確立可能な）状態であることを示し、 — X→の表示は、無線通信接続を確立できないことを示している。

本例では、半導体製造装置 A、半導体製造装置 B及び半導体製造装置。は、予め同じグループに入れられ、半導体製造 §Dは、このグループには含まれていない。そのため、無線端末 Bは、グループ内の半導体製造装置 A、半導体製造装置 B及び半導体製造装置 Cと無線通信接続を確立しているが、半導体製造装置 D との間では、無線通信接続を確立できない。また、他の無線端末 B及ぴ無線端末 Cは、無線端末 Aとの間で既に無線通信接続を確立しているグループ内の半導体製造装置 A、 B及び Cと、重複して無線通信接続を確立することはできない。本発明の第 4の実施例によるグループ接続方式では、上述の通り、予めグループ化された半導体製造装置群に対して、無線端末から接続要求を行なう。そして、 1台の無線端末と、半導体製造装置群との間で無線通信接続が確立されると、無線端末から半導体製造装置群に対して、同一の操作を一括して指令■実行することが可能になる。無線端末側では、グループ接続中の半導体製造装置群の一覧 2513

10 が表示される。また、グループ接続中の各半導体製造装置もグループ接続中であることを表示することができる。

グループ接続の解除は、各半導体製造装置側で個別に行なうことができる。また、無線端末は、グループ接続を一括して解除することができる。

図 8は、このような本発明の第 4の実施例によるグループ接続処理のフローチヤートである。

ステップ 4 1 ：半導体製造装置のグループを定義し、無線端末及びグループ内の各半導体製造装置に登録する。

ステップ 4 2 ：無線端末からグループ内の半導体製造装置へ装置接続要求メッセージを送信する。

ステップ 4 3 ：無線端末とグループ内の半導体製造装置との間で無線通信接続の確立処理を実行する。

ステップ 4 4 ：全ての無線通信接続が確立したかどう力ゝを判定する。確立した場合には、ステップ 4 5へ進み、確立していない場合には、ステップ 4 7へ進む

5 ：無線端末側でグループ接続中の半導体製造装置の一覧を表示する。

ステップ 4 6 ：グループ内の各半導体製造装置の一括操作可能モードに設定し、各半導体製造装置側ではグループ接続中である旨を表示する。

ステップ 4 7 ：無線通信接続を確立できない半導体製造装置が存在するので、無線端末は、グループ内の全ての半導体製錢置との無線通信接続を解除する。本発明の第 ⁴の実施例によるグループ接続処理は、以上の手順で行なわれる。このようなグループ接続方式は、特に、複数台の半導体製造装置の機構部 5 0に対して、同じパラメータを設定するなどの調整作業に有効である。

また、上記のステップ 4 7では、無線端末は、グループ内の全ての半導体製造装置との無線通信接続を解除しているが、無線通信接続を確立可能な半導体製造装置だけに対して、一括操作可能モードを設定するように構成しても構わない。本発明の上記の実施例は、 Bluetoothによる無線通信技術を利用するため、無線端末を半導体製造装置の近傍（1 0 m以内）に設置すれば、どこでも使用でき 03 02513

11 るようになる。これにより、無線端末の台数を必要最低限に抑えることができ、無線端末の使用場所も接続コネクタの場所によって制琅されることがなく、無線端末を用いた調整作業の効率アップにつながる。 Bluetoothは、電波が弱い（微弱電波で 1 0 m以内をカバーする）、干渉が無い（ノイズに強い）といった特性があるので、本発明を実施するために好適である。

また、無線通信技術としては、 1 0 m程度の近距離無線通信のィンタフェース仕様である Bluetoothによる通信機能の他に、電波や光などの無線で通信を行なう無線 LANを用いることができる。 PHS方式による通信を利用することも可能である。本発明は、利用される無線通信技術の @ ^によって制限されることはない。

また、端末装置としては、 Bluetoothによる通信機能を有する PDA端末や、 PHS端末を利用することが可能である。本発明は、端末装置の種別によって制限されるものではない。

さらに、上記実施例では、半導体製造装置に関して説明しているが、本発明における装置は、半導体製造装置に限定されることはなく、機構部と機構部を調整する制御部とを具備した装置であれば、どのような装置でも構わない。

上記の本発明の実施例による半導体製造装置調整システムにおける装置調整方法は、ソフトウェア（プログラム）で構築することが可能であり、コンビユータの C P Uによってこのプログラムを実行することにより本発明の実施例による装置調整方法を実現することができる。構築されたプログラムは、ディスク装置等に記録しておき必要に応じてコンピュータにインストーノレされ、フレキシブルディスク、メモリカード、 CD— R OM等の可搬記録媒体に格納して必要に応じてコンピュータにインストールされ、或いは、通信回線等を介してコンビユータにインストールされ、コンピュータの C PUによって実行される。

以上の説明の通り、本発明の種々の実施例によれば、装置毎に端末装置を設置したり、 1台の共有端末装置を切替え式に接続するための接続コネクタを装置毎に設けたりすることなく、装置の機構部を端末装置から操作することができるようになる。

以上、本発明の代表的な実施例を説明したが、本発明は、上記の実施例に限定されることなく、特許請求の範囲内において、種々変更'応用が可能である。

Claims

請求の範囲

1 . 調整可能な機構部と、

上記機構部に接続され、上 ΙΒ^構部を調整する制御手段と、

を有する装置であって、

上記制御手段は、

端末へ送信されるデータを作成する手段と、

端末から受信されたデ一タを解析する手段と、

解析されたデ一タに基づいて上構部を調整する手段と、

を含む、

無線通信により調整可能な装置。

2 . 上記無線通信手段は、既に端末との間で無線通信接続を確立してレ、る場合には、他の端末からの無線通信接続の要求を拒否するように構成されている、請求項 1記載の無線通信により調整可能な装置。

3 . 端末との間で確立された無線通信接続の状態を確認する手段と、

無線通信接続の状態を表示する手段と、

を更に有する、請求項 1又は 2記載の無線通信により調整可能な装置。

4. 無線通信接続を確立している相手側の端末からの緊急停止指令信号を受け、上記機構部を緊急停止させる手段を更に有する、請求項 1乃至 3のうちいずれ力一項記載の無線通信により調整可能な装置。

5 . 調整可能な機構部及び上記機構部を調整する制御部を含む装置と、上記装置の上構部を調整する指令を送出する端末と、を含む装置調整システムであつて、.

上記装置は、上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段を更に有し、

上記制御手段は、

端末へ送信されるデータを作成する手段と、端末から受信されたデ一タを解析する手段と、

解析されたデ一タに基づヽて上 f¾ 構部を調整する手段と、

を含み、

上記端末は、

上記装置との間で無線通信を行なう無線通信手段と、

上記装置からのデータを表示し、上記装置へのデータを入力するィンタフエース手段と、

を有する、

装置調整システム。

6 . 上記装置の上記無線通信手段は、既に端末との間で無線通信接続を確立しているには、他の端末からの無線通信接続の要求を拒否するように構成されている、請求項 5記載の装置調整システム。

7 . 上記端末の上記無線通信手段は、同時に複数台の装置との間で無線通信接続を確立し、複数台の装置との間で無線通信が行なえるよう構成されている、請求項 5又は 6記載の装置調整システム。

8 . 上記装置と上記端末との間で確立された無線通信接続の状態を ¾ ^する手段と、

上記装置と上記端末との間の無線通信接続の状態を表示する手段と、を更に有する、請求項 5乃至 7のうちいずれか一項記載の装置調整システム。

9 . 上記端末は、

無線通信接続されている相手側の装置の機構部を緊急停止させるべき状況が上記端末にぉレヽて発生しているかどうかを監視する手段と、

緊急停止させるべき状況が発生していることが検出されたに、上記装置の制御部を緊急停止させる緊急停止指令信号を上記装置へ送出する手段と、を更に有し、

上記装置は、無線通信接続を確立している上記端末からの上記緊急停止指令信号を受け、上記機構部を緊急停止させる手段を更に有する、

請求項 5乃至 8のうちいずれ力一項記載の装置調整システム。

1 0 . 調整可能な機構部を有する装置の上記機構部を端末から調整する装置調整方法であっ、

上記端末から上記装置へ上記装置の上記機構部の調整指令メッセージを送信する手順と、

上記装置で上記調整指令メッセージに基づいて上言 at構部を調整する手順と、を有する、装置調整方法。

1 1 . 調整可能な機構部を有する装置の上記機構部を端末から調整する装置調整方法であって、

複数台の装置からなる装置グループを定める手順と、

上記装置グループ中の装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを送信する手 1噴と、

上記端末から無線通信接続が確立された上記装置へ該装置の上記機構部の調整指令メッセージを送信する手順と、

上記調整指令メッセージを受けた上記装置で上記調整指令メッセージに基づいて上 |Ε¾構部を調整する手順と、

を有する、装置調整方法。