JP2008153488A - 製造装置の監視支援装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造装置とホストコンピュータとの通信データを記録することが可能であり、且つ製造装置から所望する稼動データを読み出すことが可能な、製造装置の監視支援装置を提供する。
【解決手段】監視支援装置１０の制御手段は、製造装置側通信回線Ｌ１ａにて製造装置３０に接続され、ホスト側通信回線Ｌ１ｂにてホストコンピュータ２０と接続され、第２の通信回線Ｌ２にてデータ収集装置４０と接続され、製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して第１のメッセージ群のメッセージが、製造装置とホストコンピュータの一方から他方に向けて送信されると、送信されたメッセージを受信する毎に他方に向けて送信し、第１のメッセージ群の最終メッセージの送信または受信が終了する毎に第１のメッセージ群のメッセージを含む第２のメッセージ群を、第２の通信回線を介してデータ収集装置に送信する。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体製造装置等の製造装置とホストコンピュータとが１対１に接続された通信回線の経路中に接続され、製造装置の稼動状況に関する稼動データを収集することを支援する、製造装置の監視支援装置に関する。

近年、半導体はより微細化され、集積度がより向上し、それに伴って半導体の製造プロセスもより微細化され、より複雑化している。このため、半導体製造装置は、ホストコンピュータに接続され、当該ホストコンピュータによって、より複雑化した製造プロセスに従った処理を行っている。
なお、半導体製造装置は、ＳＥＣＳ規格に準拠した通信手段を備え、ホストコンピュータと通信を行いながら製造プロセスを進めていく。なお、ＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Communication Standard）規格では、各半導体製造装置とホストコンピュータとが１対１で通信を行う。このようにＳＥＣＳ通信にてホストコンピュータと１対１で通信を行う製造装置としては、上記に記載した半導体製造装置の他にも、半導体用のマスクの製造装置や、液晶の製造装置等、種々の製造装置がある。
しかし、ホストコンピュータを用いて製造プロセスを管理しても、近年の複雑化した製造プロセスでは、不良品の発生や歩留まりの低下が発生する場合がある。このような場合、不良品の発生や歩留まりの低下が、製造装置の異常に起因するのか、製造プロセスに起因するのか、真の原因を特定し、当該原因を解消しなければ不良品の発生や歩留まりの低下を回避することができない。そのため、製造装置の稼動データを収集して、的確に上記の原因の特定を支援することができるシステムが望まれている。

例えば、特許文献１に記載された従来技術では、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた複数の半導体製造装置に対して、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信機能を有するコントロールユニットを１対１となるように設けている。そして、各コントロールユニットとホストコンピュータとを標準シリアルインターフェースで接続している。そして各コントロールユニットにてＳＥＣＳ規格に従った通信で半導体製造装置から稼動データを収集し、ホストコンピュータにて前記標準シリアルインターフェースを介して各コントロールユニットから稼動データを収集する、データ収集装置が提案されている。
また、特許文献２に記載された従来技術では、半導体製造装置の制御用コンピュータにモニタリングツールを接続して稼動データを収集し、更にモニタリングツールに解析用コンピュータを接続し、収集した稼動データから稼動状態を客観的且つ迅速に行う、半導体製造装置のモニタリングシステムが提案されている。
特開平８−１１６５７５号公報 特開２００４−４７８８５号公報

特許文献１に記載された従来技術では、半導体製造装置とコントロールユニットとをＳＥＣＳ通信用に１対１で接続している。上記したように半導体製品の進歩は非常に早く、近年では歩留まりと稼働率を向上させるためには、半導体製造装置にホストコンピュータをＳＥＣＳ通信で接続することがほぼ不可欠である。しかし、特許文献１に記載された従来技術では、ホストコンピュータが接続されていない。また、既に半導体製造装置とコントロールユニットとをＳＥＣＳ通信用に１対１で接続しているため、コントロールユニットの接続を断念しなければホストコンピュータをＳＥＣＳ通信で接続することができない（ＳＥＣＳ規格の通信は１対１で行う通信であるため）。従って、半導体製造装置とホストコンピュータがＳＥＣＳ通信で１対１に接続されている（近年では一般的な）半導体製造ラインでは、特許文献１に記載されたコントロールユニットを半導体製造装置に接続して稼動データを収集することは不可能である。

また、特許文献２に記載された従来技術では、特許文献２の図１において半導体製造装置に接続されているホストコンピュータが上記のホストコンピュータに相当するのであれば、当該ホストコンピュータと半導体製造装置とがＳＥＣＳ通信にて接続されるので、モニタリングツールと半導体製造装置とをＳＥＣＳ通信で接続することができない。また、ホストコンピュータがホストコンピュータに相当しないのであれば、ホストコンピュータを設けて半導体製造装置とＳＥＣＳ通信にて接続することになり、モニタリングツールと半導体製造装置とをＳＥＣＳ通信で接続することができない。

また、製造装置とＳＥＣＳ通信で接続されたホストコンピュータにモニタリング機能を追加する方法も考えられるが、モニタリング機能を追加するための開発と動作確認を行うために製造装置による製造を止めなければならないため、好ましくない。特に、製造中（稼動中）の製造装置とホストコンピュータの場合、製造装置とホストコンピュータのどちらを改造しても歩留まりの低下等が発生する可能性が考えられるため、製造装置とホストコンピュータには手を加えないことが好ましい。

本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、ＳＥＣＳ通信にて製造装置とホストコンピュータとが１対１に接続されるシステムにおいて、製造装置とホストコンピュータとの通信データを記録することが可能であり、且つ製造装置から所望する稼動データを読み出すことが可能な、製造装置の監視支援装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりの製造装置の監視支援装置である。
請求項１に記載の製造装置の監視支援装置は、第１の通信回線にて１対１に接続されて第１のプロトコルに基づいて第１のメッセージ群の送受信を行う製造装置及びホストコンピュータと、前記第１のメッセージ群を記録するデータ収集装置とを備えた製造システムにおける、製造装置の監視支援装置である。
前記第１の通信回線の経路中に第１のメッセージ群の送受信を中継する監視支援装置が配置されており、前記第１の通信回線が、当該監視支援装置の制御手段と前記製造装置とを接続する製造装置側通信回線と、当該制御手段と前記ホストコンピュータとを接続するホスト側通信回線とに分離されている。
前記制御手段は、更に、第２の通信回線にて前記データ収集装置と接続されて前記データ収集装置と第２のプロトコルに基づいて第２のメッセージ群の送受信を行うことが可能であり、前記第１のメッセージ群は、前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方と他方との間で行われる複数回のメッセージの送受信を含む単数または複数のメッセージブロックで構成されている。
そして、前記制御手段は、前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して前記第１のメッセージ群のメッセージが、前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方から他方に向けて送信されると、送信されたメッセージを受信する毎に、受信したメッセージを他方に向けて送信し、当該第１のメッセージ群の最終メッセージの送信または受信が終了する毎に、前記送信または受信が終了した第１のメッセージ群のメッセージを含む第２のメッセージ群を、前記第２の通信回線を介して第２のプロトコルにて前記データ収集装置に送信する。

また、本発明の第２発明は、請求項２に記載されたとおりの製造装置の監視支援装置である。
請求項２に記載の製造装置の監視支援装置は、請求項１に記載の製造装置の監視支援装置であって、前記制御手段は、前記第２のメッセージ群を生成する際、受信が終了した第１のメッセージ群に含まれているメッセージの少なくとも一部を、前記データ収集装置で受信可能となるように加工する。

また、本発明の第３発明は、請求項３に記載されたとおりの製造装置の監視支援装置である。
請求項３に記載の製造装置の監視支援装置は、請求項１または２に記載の製造装置の監視支援装置であって、前記監視支援装置は、リレー回路と、監視手段とを備えている。
前記リレー回路は、前記監視手段からの制御に基づいて、前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線のそれぞれを前記制御手段から切り離して前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で直結状態にすることと、前記直結状態の前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線を切り離してそれぞれを前記制御手段に接続する中継状態にすることが可能であり、前記監視支援装置が起動していない場合は前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線が前記直結状態となるように動作する。
そして、前記監視手段は、前記監視支援装置の起動時には、前記直結状態となるように前記リレー回路を制御し、前記監視支援装置の起動後には、前記制御手段からの制御信号に基づいて前記中継状態となるように前記リレー回路を制御する。

また、本発明の第４発明は、請求項４に記載されたとおりの製造装置の監視支援装置である。
請求項４に記載の製造装置の監視支援装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の製造装置の監視支援装置であって、前記データ収集装置は、単数または複数回のメッセージを含む単数または複数のメッセージブロックで構成された第３のメッセージ群にて、前記監視支援装置を中継させて前記製造装置との間で送受信することが可能である。
前記制御手段は、前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で送受信される前記第１のメッセージ群を中継しながら、前記製造装置と前記データ収集装置との間で送受信される前記第３のメッセージ群を中継可能であり、前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置から前記製造装置に向けた第３のメッセージ群の最初のメッセージを受信すると、第３のメッセージ群の送受信の開始と判定し、前記第３のメッセージ群の送受信の開始から当該第３のメッセージ群の最終メッセージを送受信するまでを示す中継期間については、前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方から他方に向けて送信されるメッセージを受信する毎に受信したメッセージを他方に向けて送信するスルー動作を停止し、前記中継期間の経過後には前記スルー動作を再開し、前記中継期間中は、受信したメッセージが第１のメッセージ群のメッセージか、第３のメッセージ群のメッセージかを判定する。
そして、制御手段は、第１のメッセージ群のメッセージを受信したと判定した場合、第１のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して送信してきた前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方を示す送信元に対して、他方を示す受信先の代理となる送受信を第１のプロトコルにて行って前記送信元に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記送信元の代理として前記メッセージブロックの送受信を第１のプロトコルにて前記受信先と行うことで、前記送信元と前記受信先との間の前記メッセージブロックの送受信を中継する。
また、制御手段は、第３のメッセージ群のメッセージを受信したと判定した場合、第３のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置が送信してきた場合、前記製造装置の代理となる送受信を第２のプロトコルにて行って前記データ収集装置に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記データ収集装置の代理として前記メッセージブロックの送受信を第１のプロトコルにて前記製造装置側通信回線を介して前記製造装置と行うことで、前記データ収集装置と前記製造装置との間の前記メッセージブロックの送受信を中継し、第３のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記製造装置側通信回線を介して前記製造装置が送信してきた場合、前記データ収集装置の代理となる送受信を第１のプロトコルにて行って前記製造装置に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記製造装置の代理として前記メッセージブロックの送受信を第２のプロトコルにて前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置と行うことで、前記データ収集装置と前記製造装置との間の前記メッセージブロックの送受信を中継する。

請求項１に記載の製造装置の監視支援装置を用いれば、製造装置とホストコンピュータには何も手を加える必要がなく、第２の通信回線でデータ収集装置が接続された監視支援装置を、第１の通信回線の経路中に接続するだけでよい。
これにより、製造装置とホストコンピュータによる製造プロセスに影響を与えることなく、第１のメッセージ群をデータ収集装置で収集することができる。

また、請求項２に記載の製造装置の監視支援装置によれば、データ収集装置で受信できないようなメッセージが第２のメッセージ群に含まれていても、適切にデータ収集装置で受信することができる。

また、請求項３に記載の製造装置の監視支援装置によれば、製造装置とホストコンピュータが稼動中（通信中）であっても、監視支援装置を起動（電源立ち上げ）あるいは停止（電源断）させても直結状態とすることができるので、製造装置とホストコンピュータによる（半導体等の）製造プロセスに影響を与えないため、便利である。
また、例えば、データ収集装置からのデータ収集の開始等に基づいた制御信号にて、直結状態から中継状態に切り替えることができるので、便利である。

また、請求項４に記載の製造装置の監視支援装置によれば、製造装置が送信元となったメッセージ（メッセージブロック）の送受信を、まず監視支援装置で行い、監視支援装置にて、当該メッセージ（メッセージブロック）の受信先が、ホストコンピュータであるかデータ収集装置であるかを判定させ、適切に受信先を選択させることで、製造装置とホストコンピュータとの通信と、製造装置とデータ収集装置との通信とを両立させることができる。
これにより、データ収集装置から、所望するタイミングで所望する稼動データを製造装置から読み出すことができる。これにより、製造装置の稼動状況をより適切に分析することを支援することができ、製造装置の稼働率と歩留まりをより向上させることができる。

以下に本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の製造装置の監視支援装置（以下、監視支援装置１０と記載する）を含む製造システムの接続図の例を示している。
なお、以下に説明する製造装置は、ウェハ等の処理を行う半導体製造装置３０を例として説明するが、製造装置は半導体製造装置に限定されるものではなく、半導体用のマスクの製造装置や、液晶の製造装置等、ＳＥＣＳ通信にてホストコンピュータと１対１で通信を行う種々の製造装置に適用できるものである。

●［製造システムの接続（図１）と監視支援装置１０の構造（図２）］
製造装置３０は、例えば、半導体ウェハ処理を行う装置であり、ホストコンピュータ２０からの指令に基づいて複雑化された製造プロセスに従った処理を行う。
また、製造装置３０は、ＳＥＣＳ規格に準拠した通信手段を備えており、監視支援装置１０を接続しない場合（図示省略）は、ホストコンピュータ２０と通信回線Ｌ１（図１に点線にて示す）を介して１対１に接続されてＳＥＣＳ通信のプロトコル（第１のプロトコルに相当）に従った通信を行う。
図１に示した接続図では、製造装置３０とホストコンピュータ２０とを接続する通信回線Ｌ１の経路中に監視支援装置１０を接続した様子を示しており、通信回線Ｌ１（第１の通信回線に相当）を、製造装置側通信回線Ｌ１ａとホスト側通信回線Ｌ１ｂに分離している。監視支援装置１０は（監視支援装置１０の制御手段は）、製造装置側通信回線Ｌ１ａにて製造装置３０と１対１に接続され、ホスト側通信回線Ｌ１ｂにてホストコンピュータ２０と１対１に接続される。そして、監視支援装置１０は、製造装置３０とホストコンピュータ２０との間で行われるメッセージの送受信を中継する。
また、データ収集装置４０には、製造装置３０の稼動環境を検出可能な検出手段Ｓ１、Ｓｎ（例えば、温度センサや圧力センサ等）からの検出信号がケーブルＬ５を介して入力されている。これにより、データ収集装置４０は製造装置３０の稼動環境に関するデータを、適宜取り込むことが可能である。

監視支援装置１０は、ＳＥＣＳ規格に準拠した通信手段（製造装置３０用とホストコンピュータ２０用の２セットの通信手段）と、ＨＳＭＳ（High Speed SECS Message Service standard）規格に準拠した通信手段（データ収集装置４０用の１セットの通信手段）とを備えている。
また、監視支援装置１０は、ＨＳＭＳ用の通信手段にて通信回線Ｌ２（第２の通信回線に相当）に接続されており、ＨＳＭＳ通信のプロトコル（第２のプロトコルに相当）に従った通信を行い、通信回線Ｌ２に接続されたデータ収集装置４０と通信を行うことが可能である。
例えば、通信回線Ｌ１、製造装置側通信回線Ｌ１ａ、ホスト側通信回線Ｌ１ｂはＲＳ２３２Ｃケーブルであり、通信回線Ｌ２はＬＡＮケーブルである。

通信回線Ｌ２に接続されたデータ収集装置４０は、製造装置３０に関する稼動データを監視支援装置１０から受信して記憶装置４２に記憶する。
データ解析支援装置５０は、通信回線Ｌ２に接続され、記憶装置４２に記憶されている製造装置３０に関する稼動データを読み出し（この場合、データ収集装置４０を介して読み出す）、製造装置３０の稼動状態を評価するための種々の解析を行うことができる。

次に、図２を用いて、監視支援装置１０の構成について説明する。
監視支援装置１０は、制御手段としてＣＰＵ１１を備えている。ＣＰＵ１１は、インターフェースＩＦ１ｂとリレー回路Ｒの切替手段ＳＷ１ｂとホスト側通信回線Ｌ１ｂを介してホストコンピュータ２０に接続されている。また、ＣＰＵ１１は、インターフェースＩＦ１ａと切替手段ＳＷ１ａと製造装置側通信回線Ｌ１ａを介して製造装置３０に接続されている。また、ＣＰＵ１１は、インターフェースＩＦ２と通信回線Ｌ２とを介してデータ収集装置４０に接続されている。
なお、Ｃ２０、Ｃ３０、Ｃ４０等は、コネクタを示している。

監視支援装置１０は、リレー回路Ｒを備えており、当該リレー回路Ｒの切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂを監視手段１３にて制御することで、以下のように製造装置側通信回線Ｌ１ａ及びホスト側通信回線Ｌ１ｂの接続状態を切り替えることが可能である。なお、監視手段１３は、ＣＰＵ１１からの入力信号Ｋ１１による制御信号に基づいて前記接続状態を切り替えることが可能である。また、監視手段１３は、入力信号Ｋ１１からＣＰＵ１１の動作状態を判定可能であり、更に、製造装置側通信回線Ｌ１ａからの入力信号Ｋ１ａ、及びホスト側通信回線Ｌ１ｂからの入力信号Ｋ１ｂから、製造装置３０及びホストコンピュータ２０との間の通信状態を判定可能であり、これらの判定結果に基づいて切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂを制御する。
例えば切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、非通電時には図２におけるＳ端子側と接続状態となる半導体リレーであり、監視手段１３からの制御に応じて、接点衝突の振動等を発生することなく、図２におけるＳ端子側またはＴ端子側のいずれかに切り替えることができる。

監視支援装置１０は、ＳＥＣＳ通信については、製造装置３０と接続されている製造装置側通信回線Ｌ１ａと、ホストコンピュータ２０と接続されているホスト側通信回線Ｌ１ｂとを監視支援装置１０内の制御手段（ＣＰＵ１１）から切り離して直結状態にして、製造装置３０とホストコンピュータ２０とを１対１で直接的に通信させる「直結状態」と、直結状態の製造装置側通信回線Ｌ１ａとホスト側通信回線Ｌ１ｂとを切り離してそれぞれを監視支援装置１０内の制御手段（ＣＰＵ１１）に接続する「中継状態」とすることが可能である。「中継状態」では、監視支援装置１０を中継させて製造装置３０とホストコンピュータ２０との間で通信が可能である。

●［監視支援装置１０の動作モードと各動作モードの概要（図３〜図５）］
次に、図３〜図５を用いて、監視支援装置１０の各動作モード、及び各動作モードの概要について説明する。図３は、各動作モードにおける切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂの状態を示しており、図４は、各動作モードにおける状態遷移図を示しており、図５は、電源ＯＦＦの状態から各動作モードに遷移した場合のメッセージシーケンスの例を示している。
監視支援装置１０の動作モードには、「非起動モード」、「起動モード」、「中継振分モード」、「スルーモード」、「セーフモード」があり、以下、順に説明する。
なお、図５の例に示すように、以下の説明では、「第１のメッセージ群」は、製造装置３０とホストコンピュータ２０との間で送受信されるメッセージを示しており、第１のメッセージ群は単数または複数のメッセージブロックにて構成され、メッセージブロックは、単数または複数のメッセージ（「ＥＮＱ」、「Ｍｓｇ」等）で構成されている。
また、「第２のメッセージ群」は、監視支援装置１０とデータ収集装置４０との間で送受信されるメッセージを示しており、第２のメッセージ群は単数または複数のメッセージブロックにて構成され（図５の例では単数）、メッセージブロックは、単数または複数のメッセージで構成されている（図５の例では単数）。
また、「第３のメッセージ群」は、製造装置３０とデータ収集装置４０との間で送受信されるメッセージを示しており、第３のメッセージ群は単数または複数のメッセージブロックにて構成され、メッセージブロックは、単数または複数のメッセージで構成されている。

（１）非起動モード
電源ＯＦＦの状態であり、監視支援装置１０が起動していない状態である。この場合、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、図３（Ａ）に示す「直結状態」である。「直結状態」では、製造装置側通信回線Ｌ１ａ及びホスト側通信回線Ｌ１ｂはＣＰＵ１１から切り離されて直結される。
この「非起動モード」では、図５における「電源ＯＦＦ（非起動モード）」に示すように、製造装置３０とホストコンピュータ２０とが直接的に第１のメッセージ群の送受信を行うことが可能である。
なお、「非起動モード」において、電源がＯＦＦからＯＮとされると「起動モード」に遷移する（図４参照）。

（２）起動モード
非起動モードから電源がＯＮとされた状態であり、監視支援装置１０は起動しているが、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、監視手段１３からの制御信号に基づいて図３（Ａ）に示す「直結状態」に制御される。
この「起動モード」では、図５における「電源ＯＮ（起動モード）」に示すように、製造装置３０とホストコンピュータ２０とが直接的に第１のメッセージ群の送受信を行うことが可能である。また、第１のメッセージ群の送受信中に、直結状態の非起動モードから直結状態の起動モードに遷移しても、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは変化しないため、図５の例に示すように、通信に影響を与えるものではない。
また、「起動モード」では、図３（Ａ）から判るように、監視支援装置１０はデータ収集装置４０と送受信が可能である。
なお、「起動モード」において、データ収集装置４０から第３のメッセージ群を受信すると「中継振分モード」に遷移する（図４参照）。

（３）中継振分モード
起動モードにおいてデータ収集装置４０から第３のメッセージ群を受信した状態、あるいは後述するスルーモードにおいてデータ収集装置４０から第３のメッセージ群を受信した状態であり、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、監視手段１３からの制御信号に基づいて図３（Ｂ）に示す「中継状態」に制御される。「中継状態」では、直結状態の製造装置側通信回線Ｌ１ａ及びホスト側通信回線Ｌ１ｂは切り離されて、それぞれがＣＰＵ１１に接続される。
この「中継振分モード」では、図５における「第３のメッセージ群受信（中継モード）」に示すように、監視支援装置１０を中継させて、データ収集装置４０と製造装置３０とが第３のメッセージ群の送受信を行うことが可能である。また、図９に示すように、監視支援装置１０を中継させて、ホストコンピュータ２０と製造装置３０とが第１のメッセージ群の送受信を行うことが可能である。従って、「中継振分モード」では、製造装置３０の通信相手が、ホストコンピュータ２０である場合と、データ収集装置４０である場合の２通りある。そこで、監視支援装置１０は、製造装置３０が送信元となったメッセージを受信し、受信したメッセージを、ホストコンピュータ２０またはデータ収集装置４０のいずれかに適切に振り分ける動作を行う。
図５の例において、第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックＢ３ａは、接続要求コマンド（Ｍｓｇ３ａ）を含むメッセージをデータ収集装置４０から送信した例を示している。また、第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックＢ３ｂは、データ要求コマンド（Ｍｓｇ３ｂ）を含むメッセージをデータ収集装置４０から送信した例を示しており、メッセージブロックＢ３ｃは、製造装置３０からのデータ（Ｍｓｇ３ｃ）を含むメッセージをデータ収集装置４０にて受信する例を示している。
なお、「中継振分モード」において、第３のメッセージ群の送受信を終了すると「スルーモード」に遷移する（図４参照）。

（４）スルーモード
中継モードにおいて第３のメッセージ群の送受信を終了した状態であり、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、監視手段１３からの制御信号に基づいて図３（Ｂ）に示す「中継状態」に制御される。
この「スルーモード」では、図５における「第３のメッセージ群終了（スルーモード）」に示すように、監視支援装置１０を中継させて、製造装置３０とホストコンピュータ２０が第１のメッセージ群の送受信を行うことが可能であるが、監視支援装置１０は一方からメッセージを受信すると、受信する毎に他方に向けて送信する（メッセージをスルーする）ので、「中継振分モード」の動作と比較して、非常にレスポンスの良い送受信を行うことができる。「スルーモード」では、製造装置３０の通信相手はホストコンピュータ２０のみである。
図５の例にも示すように、「中継振分モード」時における監視支援装置１０の中継動作と、「スルーモード」時における監視支援装置１０の中継動作は異なるものである。詳細は後述するが、「中継振分モード」時における中継動作は、受信先の代理となって送信元からのメッセージブロックの各メッセージの送受信を行った後、送信元の代理となって受信先とメッセージブロックの各メッセージの送受信を行う。「スルーモード」時における中継動作は、代理動作を行うことなく、メッセージを受信する毎に、受信したメッセージを送信する。
なお、「スルーモード」において、第３のメッセージ群を受信すると「中継振分モード」に遷移する（図４参照）。

（５）セーフモード
監視支援装置１０が起動している上記の「起動モード」「中継振分モード」「スルーモード」からＣＰＵ１１の動作等に異常が発生した状態であり、切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂは、監視手段１３からの制御信号に基づいて図３（Ａ）に示す「直結状態」に制御される。
この「セーフモード」では、製造装置３０とホストコンピュータ２０とが直接的に第１のメッセージ群の送受信を行うことが可能である。しかし、ＣＰＵ１１の動作等に異常が発生した状態であるため、監視支援装置１０はデータ収集装置４０と送受信することはできない。
なお、「セーフモード」において、電源をＯＦＦにすると「非起動モード」に遷移する（図４参照）。同様に、「起動モード」「中継振分モード」「スルーモード」においても、電源をＯＦＦにすると「非起動モード」に遷移する（図４参照）。

●［スルーモード時における従来の監視支援装置との違い（図６〜図８）］
次に、図６〜図８のメッセージシーケンスの例を用いて、本実施の形態の監視支援装置１０と、従来の監視支援装置との動作の違いについて説明する。なお、図６においては、本実施の形態の監視支援装置１０は「スルーモード」で動作（図６（Ａ））しており、従来の監視支援装置は「スルーモード」動作を未装備であったため「中継振分モード」に類似した動作モードで動作（図６（Ｂ））している例を示している。
また、図６（Ａ）及び（Ｂ）は、監視支援装置で中継する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的少ない場合の例を示しており、図７及び図８は、監視支援装置で中継する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的多い場合の例を示している。

［第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的少ない場合（図６（Ａ）及び（Ｂ））］
図６（Ａ）及び（Ｂ）は、「Ｍｓｇ１ｃ」を製造装置３０からホストコンピュータ２０に送信する一連のメッセージ（メッセージ「ＥＮＱ１ｃ」〜メッセージ「ＡＣＫ１ｃ」）で構成されたメッセージブロックＢ１ｃ（第１のメッセージ群Ｇ１）と、「Ｍｓｇ１ｃ」に対する応答の「Ｍｓｇ１ｄ」をホストコンピュータ２０から製造装置３０に送信する一連のメッセージ（メッセージ「ＥＮＱ１ｄ」〜メッセージ「ＡＣＫ１ｄ」）で構成されたメッセージブロックＢ１ｄ（第１のメッセージ群Ｇ１）の送受信の例を示している。
また、製造装置３０から送信した「Ｍｓｇ１ｃ」は、ホストコンピュータ２０に「Ｍｓｇ１ｄ」の送信を要求するものであり、製造装置３０は、「ＡＣＫ１ｃ」を受信してから「Ｍｓｇ１ｄ」を受信するまでの時間Ｔ３を計測し、時間Ｔ３が所定時間以上となった場合は、タイムアウトエラーと判定し、（半導体等の）製造プロセスを停止する等のエラー発生時の処理を行う。

まず、図６（Ａ）を用いて、本実施の形態の監視支援装置１０の動作を説明する。
第１のメッセージ群Ｇ１におけるメッセージブロックＢ１ｃの送受信では、製造装置３０が送信元となって監視支援装置１０に最初のメッセージ「ＥＮＱ１ｃ」を送信する。「ＥＮＱ１ｃ」を受信した監視支援装置１０は、製造装置３０の通信相手がホストコンピュータ２０であることが判っているので、受信した「ＥＮＱ１ｃ」をそのままホストコンピュータ２０に送信する。
「ＥＮＱ１ｃ」を受信したホストコンピュータ２０は、監視支援装置１０にメッセージ「ＥＯＴ１ｃ」を送信する。「ＥＯＴ１ｃ」を受信した監視支援装置１０は、製造装置３０に向けたメッセージであることが判っているので、受信した「ＥＯＴ１ｃ」をそのまま製造装置３０に送信する。以下、「Ｍｓｇ１ｃ」、「ＡＣＫ１ｃ」も同様に送受信され、メッセージブロックＢ１ｃ（すなわち、第１のメッセージ群Ｇ１）の送受信が完了する。
なお、監視支援装置１０は、第１のメッセージ群Ｇ１の最終メッセージ（この場合、「ＡＣＫ１ｃ」）を受信（または送信）すると、第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージを含む（この場合、少なくとも「Ｍｓｇ１ｃ」を含む）第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｃ］を生成し、通信回線Ｌ２を介してＨＳＭＳ通信のプロトコル（第２のプロトコルに相当）にてデータ収集装置４０に送信する。

そして、メッセージブロックＢ１ｃ（第１のメッセージ群Ｇ１）にて「Ｍｓｇ１ｃ」を受信したホストコンピュータ２０は、製造装置３０に「Ｍｓｇ１ｄ」を送信するためのメッセージブロックＢ１ｄ（第１のメッセージ群Ｇ１）の送信元となって監視支援装置１０に「ＥＮＱ１ｄ」を送信する。「ＥＮＱ１ｄ」を受信した監視支援装置１０は、ホストコンピュータ２０の通信相手が製造装置３０であることが判っているので、受信した「ＥＮＱ１ｄ」をそのまま製造装置３０に送信する。以下、「ＥＯＴ１ｄ」、「Ｍｓｇ１ｄ」、「ＡＣＫ１ｄ」も同様に送受信され、メッセージブロックＢ１ｄ（すなわち、第１のメッセージ群Ｇ１）の送受信が完了する。
そして、監視支援装置１０は、第１のメッセージ群Ｇ１の最終メッセージ（この場合、「ＡＣＫ１ｄ」）を受信（または送信）すると、第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージを含む（この場合、少なくとも「Ｍｓｇ１ｄ」を含む）第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｄ］を生成し、通信回線Ｌ２を介してＨＳＭＳ通信のプロトコル（第２のプロトコルに相当）にてデータ収集装置４０に送信する。

このように、製造装置側通信回線Ｌ１ａまたはホスト側通信回線Ｌ１ｂを介して第１のメッセージ群Ｇ１の各メッセージが、製造装置３０またはホストコンピュータ２０の一方から他方に向けて送信されると、監視支援装置１０（ＣＰＵ１１）は、メッセージを受信する毎に、受信したメッセージを他方に向けて送信する。そして、受信したメッセージを含む第２のメッセージ群を生成する。
図６に示すように、本実施の形態の監視支援装置１０では、第１のメッセージ群Ｇ１の送受信に要する時間は、製造装置３０とホストコンピュータ２０とが直接通信する場合とほとんど変わらない。従って、タイムアウト判定用の時間Ｔ３の長さも、製造装置３０とホストコンピュータ２０とが直接通信する場合と同等である。

なお、ホストコンピュータ２０が送信元となったメッセージブロックＢ１ｂは、いわゆる１次メッセージと呼ばれるメッセージブロックＢ１ａに対する応答のメッセージブロックであり、いわゆる２次メッセージと呼ばれるものである。この２次メッセージを含む第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｄ］は、２次メッセージと識別されることでデータ収集装置４０で受信できないことがある。そこで、監視支援装置１０は、第２のメッセージ群に含まれている各メッセージに対して、データ収集装置４０で受信できないものについては、メッセージの少なくとも一部を加工する。この場合、各メッセージにおいて２次メッセージの識別用の情報が格納されているヘッダ部分を加工して、データ収集装置４０では２次メッセージでないものとして受信できるようにする。もちろん、データ収集装置４０は、加工されていることを認識して受信しており、受信した第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｄ］は２次メッセージである、と認識して記憶装置４２に記憶する。

次に、図６（Ｂ）を用いて、従来の監視支援装置の動作を説明する。
第１のメッセージ群Ｇ１におけるメッセージブロックＢ１ｃの送受信では、送信元の製造装置３０に対して、従来の監視支援装置がホストコンピュータの代理となってメッセージブロックＢ１ｃを構成している全メッセージ（「ＥＮＱ１ｃ」〜「ＡＣＫ１ｃ」）の送受信を行う。そして従来の監視支援装置からＭｓｇ１ｃを含むメッセージＭＧ［Ｍｓｇ１ｃ］を従来のデータ収集装置に送信する。
メッセージを受信した従来のデータ収集装置は、受信したメッセージＭＧ［Ｍｓｇ１ｃ］を解析し、ホストコンピュータ２０に向けて送信すべきメッセージであると判定し、従来の監視支援装置に向けて、ホストコンピュータ２０に向けて送信する指示を含むメッセージを送信する。
メッセージを受信した従来の監視支援装置は、受信したメッセージに含まれている指示に基づいて、製造装置３０と送受信したメッセージブロックＢ１ｃの各メッセージを用いて、製造装置３０の代理となってホストコンピュータ２０とメッセージブロックＢ１ｃの送受信を行う。
つまり、従来の監視支援装置は、製造装置３０が送信元であるメッセージブロックＢ１ｃ´の送受信を、受信先のホストコンピュータ２０の代理となって行い、続いて、受信したメッセージブロックＢ１ｃを用いた送受信を、送信元の製造装置３０の代理となって受信先のホストコンピュータ２０との間で行う。
同様に、「Ｍｓｇ１ｃ」を受信して「Ｍｓｇ１ｄ」を返答するホストコンピュータ２０が送信元となるメッセージブロックＢ１ｄは、ホストコンピュータ２０と従来の監視支援装置との間で送受信された後、従来の監視支援装置がメッセージブロックＢ１ｄの送信元の代理となって、製造装置３０とメッセージブロックＢ１ｄ´の送受信を行う。
このため、図６（Ｂ）に示すように、第１のメッセージ群Ｇ１の送受信に要する時間は、図６（Ａ）と比較してほぼ２倍となり、タイムアウト判定用の時間Ｔ３も、図６（Ａ）の時間Ｔ３と比較して長いものとなる。

［第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的多い場合（図７及び図８）］
図７は、本実施の形態の監視支援装置１０を用いて、「Ｍｓｇ１ａ（１）」〜「Ｍｓｇ１ａ（ｎ）」を製造装置３０からホストコンピュータ２０に送信するメッセージブロックＢ１ａ（１）〜Ｂ１ａ（ｎ）と、「Ｍｓｇ１ａ（１）」〜「Ｍｓｇ１ａ（ｎ）」に対する応答の「Ｍｓｇ１ｂ（１）」〜「Ｍｓｇ１ｂ（ｍ）」をホストコンピュータ２０から製造装置３０に送信するメッセージブロックＢ１ｂ（１）〜Ｂ１ｂ（ｍ）とを送受信する例を示している。また、図８は、従来の監視支援装置を用いて、図７と同様のメッセージブロックＢ１ａ（１）〜Ｂ１ａ（ｎ）と、メッセージブロックＢ１ｂ（１）〜Ｂ１ｂ（ｍ）とを送受信する例を示している。

まず、図７を用いて、本実施の形態の監視支援装置１０の動作を説明する。
製造装置３０からのｎ個のメッセージブロックＢ１ａ（１）〜Ｂ１ａ（ｎ）で構成された第１のメッセージ群Ｇ１に対して、監視支援装置１０は、製造装置３０またはホストコンピュータ２０の一方から第１のメッセージ群Ｇ１の各メッセージを受信すると、メッセージを受信する毎に、受信したメッセージを他方に向けて送信（スルー）する。
そして、監視支援装置１０は、各第１のメッセージ群Ｇ１の終了毎（第１のメッセージ群Ｇ１の最終メッセージを受信（または送信）する毎）に、終了した第１のメッセージ群の「Ｍｓｇ１ａ（×）」を含む第２のメッセージ群（Ｍ２［Ｍｓｇ１ａ（１〜ｎ）］）を、通信回線Ｌ２を介してデータ収集装置４０に送信する。
また、ホストコンピュータ２０からのｍ個のメッセージブロックＢ１ｂ（１）〜Ｂ１ｂ（ｍ）で構成された第１のメッセージ群Ｇ１に対しても同様に、監視支援装置１０は、製造装置３０またはホストコンピュータ２０の一方から第１のメッセージ群Ｇ１の各メッセージを受信すると、メッセージを受信する毎に、受信したメッセージを他方に向けて送信（スルー）する。
そして、監視支援装置１０は、各第１のメッセージ群Ｇ１の終了毎（第１のメッセージ群Ｇ１の最終メッセージを受信（または送信）する毎）に、終了した第１のメッセージ群Ｇ１の「Ｍｓｇ１ｂ（×）」を含む第２のメッセージ群（Ｍ２［Ｍｓｇ１ｂ（１〜ｍ）］）を、通信回線Ｌ２を介してデータ収集装置４０に送信する。
図７に示すように、本実施の形態の監視支援装置１０では、第１のメッセージ群Ｇ１の送受信に要する時間は、監視支援装置１０がない場合とほとんど変わらない。従って、タイムアウト判定用の時間Ｔ３の長さも監視支援装置１０がない場合と同等である。従って、製造装置３０とホストコンピュータ２０との間の送受信のリアルタイム性が欠けることもほとんどない。

次に、図８を用いて、従来の監視支援装置の動作を説明する。なお、図７に対して図８では、「ＥＮＱ」「ＥＯＴ」「Ｍｓｇ」「ＡＣＫ」のそれぞれを区別する「１ａ（１）」等の記載を省略している。
製造装置３０からのｎ個のメッセージブロックＢ１ａ（１）〜Ｂ１ａ（ｎ）に対して、まず製造装置３０と従来の監視支援装置との間で送受信を行い、従来の監視支援装置と従来のデータ収集装置との間で（ＭＧ［Ｂ１ａ］）の送受信を行った後（従来のデータ収集装置からホストコンピュータ２０に送信する指示を含む）、続いて、従来の監視支援装置とホストコンピュータ２０との間でメッセージブロックＢ１ａ（１）´〜Ｂ１ａ（ｎ）´の送受信を行う。
そして、ホストコンピュータ２０からのｍ個のメッセージブロックＢ１ｂ（１）〜Ｂ１ｂ（ｍ）に対して、まずホストコンピュータ２０と従来の監視支援装置との間で送受信を行い、従来の監視支援装置と従来のデータ収集装置との間で（ＭＧ［Ｂ１ｂ］）の送受信を行った後（従来のデータ収集装置から製造装置３０に送信する指示を含む）、続いて、従来の監視支援装置と製造装置３０との間でメッセージブロックＢ１ｂ（１）´〜Ｂ１ｂ（ｍ）´の送受信を行う。
このため、従来の監視支援装置では、図６（Ｂ）に示した例と同様、監視支援装置を用いない場合に対してほぼ２倍の時間を要する。また、タイムアウト判定用の時間Ｔ３がメッセージ長（もしくはメッセージブロック数）に比例し、非常に長くなってしまうため、タイムアウトエラーと判定される可能性がある。また、製造装置３０とホストコンピュータ２０との間の送受信のリアルタイム性が欠けることになるため、製造プロセスの管理に影響を及ぼす可能性が考えられる。

●［中継振分モード時におけるメッセージシーケンスの例（図９）］
次に、図９を用いて、本実施の形態の監視支援装置１０の「中継振分モード」について説明する。
「中継振分モード」では、監視支援装置１０は、製造装置３０とデータ収集装置４０との間の第３のメッセージ群のメッセージの送受信の中継を行いながら、製造装置３０とホストコンピュータ２０との間の第１のメッセージ群のメッセージの送受信の中継を行うことが可能である。つまり、製造装置３０が送信元となるメッセージ群を一旦監視支援装置１０に受け取らせ、受け取ったメッセージ群を、監視支援装置１０にて適切な通信相手（ホストコンピュータ２０またはデータ収集装置４０）を判断させて受け渡す。
従って、製造プロセスを進めながら、データ収集装置４０から入力された指示に基づいた稼動状況に関するデータを、製造装置３０から収集することができる。

図９に示すように、監視支援装置１０は、通信回線Ｌ２を介してデータ収集装置４０から第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックＢ３ｂのメッセージ（この場合、Ｍ３［Ｍｓｇ３ｂ］）を受信すると、第３のメッセージ群Ｇ３の送受信の開始と判定し、「スルーモード」から「中継振分モード」へと動作モードを遷移させる。
「中継振分モード」では、ＣＰＵ１１は、製造装置側通信回線Ｌ１ａまたはホスト側通信回線Ｌ１ｂを介して製造装置３０とホストコンピュータ２０の一方から他方に向けて送信されるメッセージを受信する毎に受信したメッセージを他方に向けて送信する「スルーモード」の動作を停止し、以下に説明する動作を行う。
ＣＰＵ１１は、各メッセージを受信して解析することが可能であり、インターフェースＩＦ１ａから入力される製造装置３０からのメッセージが、ホストコンピュータ２０との間で送受信する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージか、データ収集装置４０との間で送受信する第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージかを判定し、判定結果に基づいて、インターフェースＩＦ１ａを介して送受信したメッセージブロックを用いて、ホストコンピュータ２０またはデータ収集装置４０のいずれか適切な側を選択して送受信する。
なお、本実施の形態の説明では、ＣＰＵ１１は、インターフェースＩＦ２を介してデータ収集装置４０と行うメッセージの送受信については、ＨＳＭＳ通信を行う。
この「中継振分モード」は、「中継振分モード」に遷移したときの第３のメッセージ群Ｇ３の（最初の）メッセージの送受信の開始から、当該第３のメッセージ群Ｇ３の最後のメッセージの送受信を行うまでの中継期間の間、継続され、第３のメッセージ群Ｇ３の最後のメッセージの送受信を行った後は、「スルーモード」に遷移する。

次に、図９に示すメッセージシーケンスの例について説明する。
監視支援装置１０は、データ収集装置４０から第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックＢ３ｂの（最初の）メッセージＭ３［Ｍｓｇ３ｂ］を受信して「中継振分モード」に遷移する。
なお、第３のメッセージ群のメッセージは、データ収集装置４０と製造装置３０との間で行われる送受信であるため、監視支援装置１０からデータ収集装置４０に、各メッセージブロックのメッセージ「Ｍｓｇ」を含む第２のメッセージ群を送信する必要はない。
また、図９の例は、メッセージブロックＢ３ｂの送受信に続くメッセージブロックＢ３ｂ´の送受信（中継）を行う前に、製造装置３０からホストコンピュータ２０に向けた第１のメッセージ群Ｇ１の送受信が開始された場合の例を示している。この場合、データ収集装置４０と製造装置３０との間でメッセージブロックＢ３ｂ´の送受信を先に行ってもよいが、図９の例は、第３のメッセージ群Ｇ３の送受信を中断して、第１のメッセージ群Ｇ１の各メッセージブロックＢ１ａ〜Ｂ１ｂ´の送受信を先に行う例を示している。

監視支援装置１０は、メッセージブロックＢ１ａの最初のメッセージ（この場合、「ＥＮＱ１ａ」）を製造装置３０から受信すると、受信したメッセージが第１のメッセージ群のメッセージか第３のメッセージ群のメッセージかを判定する。この場合、「ＥＮＱ１ａ」は、ホストコンピュータ２０に向けて送信された第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージであると判定する。そして、製造装置３０との間で第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージブロックＢ１ａの送受信を行った後、監視支援装置１０とホストコンピュータ２０との間でメッセージブロックＢ１ａ´の送受信を行うことで、メッセージブロックＢ１ａの中継を行う。
また、監視支援装置１０は、製造装置３０との間で送受信されるメッセージブロックＢ１ａに対応する第１のメッセージ群Ｇ１の最後のメッセージの送信または受信（この場合、「ＡＣＫ１ａ」の送信）を行った後、第１のメッセージ群Ｇ１（この場合、メッセージブロックＢ１ａ）のメッセージ「Ｍｓｇ１ａ」を含む第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ａ］をデータ収集装置４０に送信する。なお、メッセージブロックＢ１ａに含まれる「Ｍｓｇ１ａ」とメッセージブロックＢ１ａ´に含まれる「Ｍｓｇ１ａ」は同一であるため、監視支援装置１０とホストコンピュータ２０との間で送受信されるメッセージブロックＢ１ａ´に対応する第１のメッセージ群Ｇ１の最後のメッセージの送信または受信を行った後、第１のメッセージ群Ｇ１（この場合、メッセージブロックＢ１ａ´）のメッセージ「Ｍｓｇ１ａ」を含む第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ａ］を、監視支援装置１０からデータ収集装置４０に送信してもしなくてもよい（図９中では点線で示している）。

監視支援装置１０によって、製造装置３０からメッセージブロックＢ１ａがホストコンピュータ２０に中継されると、メッセージブロックＢ１ａに含まれている「Ｍｓｇ１ａ」に対する応答となる「Ｍｓｇ１ｂ」を含むメッセージブロックＢ１ｂの送受信が、ホストコンピュータ２０から開始される。
監視支援装置１０は、メッセージブロックＢ１ｂの最初のメッセージ（この場合、「ＥＮＱ１ｂ」）をホストコンピュータ２０から受信すると、製造装置３０に向けて送信された第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージであると判定する。そして、ホストコンピュータ２０との間で第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージブロックＢ１ｂの送受信を行った後、監視支援装置１０と製造装置３０との間でメッセージブロックＢ１ｂ´の送受信を行うことで、メッセージブロックＢ１ｂの中継を行う。
また、監視支援装置１０は、ホストコンピュータ２０との間で送受信されるメッセージブロックＢ１ｂに対応する第１のメッセージ群Ｇ１の最後のメッセージの送信または受信（この場合、「ＡＣＫ１ｂ」の送信）を行った後、第１のメッセージ群Ｇ１（この場合、メッセージブロックＢ１ｂ）のメッセージ「Ｍｓｇ１ｂ」を含む第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｂ］をデータ収集装置４０に送信する。なお、メッセージブロックＢ１ｂに含まれる「Ｍｓｇ１ｂ」とメッセージブロックＢ１ｂ´に含まれる「Ｍｓｇ１ｂ」は同一であるため、監視支援装置１０と製造装置３０との間で送受信されるメッセージブロックＢ１ｂ´に対応する第１のメッセージ群Ｇ１の最後のメッセージの送信または受信を行った後、第１のメッセージ群Ｇ１（この場合、メッセージブロックＢ１ｂ´）のメッセージ「Ｍｓｇ１ｂ」を含む第２のメッセージ群Ｍ２［Ｍｓｇ１ｂ］を、監視支援装置１０からデータ収集装置４０に送信してもしなくてもよい（図９中では点線で示している）。
このように、監視支援装置１０は、「中継振分モード」の際、第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージを受信したと判定した場合、第１のメッセージ群Ｇ１の各メッセージブロックの最初のメッセージを製造装置側通信回線Ｌ１ａまたはホスト側通信回線Ｌ１ｂを介して送信してきた製造装置３０とホストコンピュータ２０の一方を示す送信元に対して、他方を示す受信先の代理となる送受信をＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）にて行って前記送信元に対して当該メッセージブロックの送受信を行う。その後、前記送信元の代理として前記メッセージブロックの送受信をＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）にて前記受信先と行って前記受信先に対して前記メッセージブロックの送受信を行う。

第１のメッセージ群Ｇ１の中継が終了すると、中断していた第３のメッセージ群Ｇ３の中継を再開する。
監視支援装置１０は、データ収集装置４０との間で送受信したメッセージブロックＢ３ｂに基づいて、監視支援装置１０と製造装置３０との間でメッセージブロックＢ３ｂ´の送受信を行うことで、メッセージブロックＢ３ｂの中継を行う。
この場合、監視支援装置１０は、ＨＳＭＳ通信（第２のプロトコルに相当）で送受信したメッセージブロックＢ３ｂを、ＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）用に変換したメッセージブロックＢ３ｂ´を用いて、製造装置３０と送受信を行う。
なお、第３のメッセージ群のメッセージは、データ収集装置４０と製造装置３０との間で行われる送受信であるため、監視支援装置１０からデータ収集装置４０に、各メッセージブロックのメッセージ「Ｍｓｇ」を含む第２のメッセージ群を送信する必要はない。

監視支援装置１０によって、データ収集装置４０からメッセージブロックＢ３ｂが製造装置３０に中継されると、メッセージブロックＢ３ｂに含まれている「Ｍｓｇ３ｂ」に対する応答となる「Ｍｓｇ３ｃ」を含むメッセージブロックＢ３ｃの送受信が、製造装置３０から開始される。
監視支援装置１０は、メッセージブロックＢ３ｃの最初のメッセージ（この場合、「ＥＮＱ３ｃ」）を製造装置３０から受信すると、受信したメッセージが第１のメッセージ群のメッセージか第３のメッセージ群のメッセージかを判定する。この場合、「ＥＮＱ３ｃ」は、データ収集装置４０に向けて送信された第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージであると判定する。そして、製造装置３０との間で第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックＢ３ｃの送受信を行った後、監視支援装置１０とデータ収集装置４０との間でメッセージブロックＢ３ｃ´の送受信を行うことで、メッセージブロックＢ３ｃの中継を行う。
この場合、監視支援装置１０は、ＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）で送受信したメッセージブロックＢ３ｃを、ＨＳＭＳ通信（第２のプロトコルに相当）用に変換したメッセージブロックＢ３ｃ´を用いて、データ収集装置４０と送受信を行う。

そして、監視支援装置１０は、「中継振分モード」への遷移のトリガとなった第３のメッセージ群Ｇ３の最後のメッセージの送受信（この場合、メッセージブロックＢ３ｃ´の「Ｍ３［Ｍｓｇ３ｃ］」の送信）を行うと、第３のメッセージ群Ｇ３の送受信の終了と判定する。第３のメッセージ群Ｇ３の送受信の終了を判定した後は、「中継振分モード」から「スルーモード」へ遷移する。
このように、第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージを受信したと判定した場合において、メッセージブロックの最初のメッセージを第２の通信回線Ｌ２を介してデータ収集装置４０が送信してきた場合は、監視支援装置１０は、製造装置３０の代理となる送受信をＨＳＭＳ通信（第２のプロトコルに相当）にて行ってデータ収集装置４０に対して当該メッセージブロックの送受信を行う。その後、データ収集装置４０の代理として前記メッセージブロックの送受信をＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）にて製造装置側通信回線Ｌ１ａを介して製造装置３０と行って製造装置３０に対して前記メッセージブロックの送受信を行う。
また、第３のメッセージ群Ｇ３のメッセージブロックの最初のメッセージを製造装置側通信回線Ｌ１ａを介して製造装置３０が送信してきた場合は、監視支援装置１０は、データ収集装置４０の代理となる送受信をＳＥＣＳ通信（第１のプロトコルに相当）にて行って製造装置３０に対して当該メッセージブロックの送受信を行う。その後、製造装置３０の代理として前記メッセージブロックの送受信をＨＳＭＳ通信（第２のプロトコルに相当）にて第２の通信回線Ｌ２を介してデータ収集装置４０と行ってデータ収集装置４０に対して前記メッセージブロックの送受信を行う。

そして、データ収集装置４０に記録されたデータを、データ解析支援装置５０にて解析することで、製造装置３０による不良品の発生や歩留まりの低下等が発生した場合の原因の特定や、不良品の発生や歩留まりの低下が発生する前に発生を予測し、回避処置を行うことができる。

本発明の監視支援装置１０は、本実施の形態で説明した外観、構成、動作等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。

本発明の製造装置の監視支援装置１０を含む製造システムの接続図の例を説明する図である。 監視支援装置１０の構造を説明する図である。 各動作モードにおける切替手段ＳＷ１ａ及びＳＷ１ｂの状態を説明する図である。 各動作モードにおける状態遷移図を説明する図である。 電源ＯＦＦの状態から各動作モードに遷移した場合のメッセージシーケンスの例を説明する図である。 監視支援装置で中継する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的少ない場合における、本実施の形態の監視支援装置１０によるメッセージシーケンスと、従来の監視支援装置によるメッセージシーケンスを説明する図である。 監視支援装置で中継する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的多い場合における、本実施の形態の監視支援装置１０によるメッセージシーケンスを説明する図である。 監視支援装置で中継する第１のメッセージ群Ｇ１のメッセージが比較的多い場合における、従来の監視支援装置によるメッセージシーケンスを説明する図である。 監視支援装置１０の「中継振分モード」におけるメッセージシーケンスを説明する図である。

符号の説明

１０ 監視支援装置
１１ ＣＰＵ
Ｒ リレー回路
ＳＷ３、ＳＷ４ 切替手段
２０ ホストコンピュータ
３０ 製造装置
４０ データ収集装置
４２ 記憶装置
５０ データ分析支援装置
Ｌ１ 通信回線（第１の通信回線）
Ｌ１ａ 製造装置側通信回線
Ｌ１ｂ ホスト側通信回線
Ｌ２ 通信回線（第２の通信回線）
Ｌ５ ケーブル
ＩＦ１ａ、ＩＦ１ｂ、ＩＦ２ インターフェース
Ｓ１、Ｓｎ 検出手段
Ｇ１ 第１のメッセージ群
Ｇ２ 第２のメッセージ群
Ｇ３ 第３のメッセージ群
Ｂ１ａ、Ｂ１ｂ 第１のメッセージ群のメッセージブロック
Ｂ２［Ｂ１ａ］、Ｂ２［Ｂ１ｂ］ 第２のメッセージ群のメッセージブロック
Ｂ３ａ、Ｂ３ｂ 第３のメッセージ群のメッセージブロック
ＥＮＱ、ＥＯＴ、Ｍｓｇ、ＡＣＫ メッセージ

Claims (4)

1. 第１の通信回線にて１対１に接続されて第１のプロトコルに基づいて第１のメッセージ群の送受信を行う製造装置及びホストコンピュータと、前記第１のメッセージ群を記録するデータ収集装置とを備えた製造システムにおける、製造装置の監視支援装置であって、
   前記第１の通信回線の経路中に第１のメッセージ群の送受信を中継する監視支援装置が配置されており、前記第１の通信回線が、当該監視支援装置の制御手段と前記製造装置とを接続する製造装置側通信回線と、当該制御手段と前記ホストコンピュータとを接続するホスト側通信回線とに分離されており、
   前記制御手段は、更に、第２の通信回線にて前記データ収集装置と接続されて前記データ収集装置と第２のプロトコルに基づいて第２のメッセージ群の送受信を行うことが可能であり、
   前記第１のメッセージ群は、前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方と他方との間で行われる複数回のメッセージの送受信を含む単数または複数のメッセージブロックで構成されており、
   前記制御手段は、
   前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して前記第１のメッセージ群のメッセージが、前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方から他方に向けて送信されると、送信されたメッセージを受信する毎に、受信したメッセージを他方に向けて送信し、
   当該第１のメッセージ群の最終メッセージの送信または受信が終了する毎に、前記送信または受信が終了した第１のメッセージ群のメッセージを含む第２のメッセージ群を、前記第２の通信回線を介して第２のプロトコルにて前記データ収集装置に送信する、
   ことを特徴とする製造装置の監視支援装置。
2. 請求項１に記載の製造装置の監視支援装置であって、
   前記制御手段は、前記第２のメッセージ群を生成する際、受信が終了した第１のメッセージ群に含まれているメッセージの少なくとも一部を、前記データ収集装置で受信可能となるように加工する、
   ことを特徴とする製造装置の監視支援装置。
3. 請求項１または２に記載の製造装置の監視支援装置であって、
   前記監視支援装置は、リレー回路と、監視手段とを備えており、
   前記リレー回路は、
   前記監視手段からの制御に基づいて、前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線のそれぞれを前記制御手段から切り離して前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で直結状態にすることと、前記直結状態の前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線を切り離してそれぞれを前記制御手段に接続する中継状態にすることが可能であり、
   前記監視支援装置が起動していない場合は前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で前記製造装置側通信回線及びホスト側通信回線が前記直結状態となるように動作し、
   前記監視手段は、
   前記監視支援装置の起動時には、前記直結状態となるように前記リレー回路を制御し、
   前記監視支援装置の起動後には、前記制御手段からの制御信号に基づいて前記中継状態となるように前記リレー回路を制御する、
   ことを特徴とする製造装置の監視支援装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の製造装置の監視支援装置であって、
   前記データ収集装置は、単数または複数回のメッセージを含む単数または複数のメッセージブロックで構成された第３のメッセージ群にて、前記監視支援装置を中継させて前記製造装置との間で送受信することが可能であり、
   前記制御手段は、
   前記製造装置と前記ホストコンピュータとの間で送受信される前記第１のメッセージ群を中継しながら、前記製造装置と前記データ収集装置との間で送受信される前記第３のメッセージ群を中継可能であり、
   前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置から前記製造装置に向けた第３のメッセージ群の最初のメッセージを受信すると、第３のメッセージ群の送受信の開始と判定し、
   前記第３のメッセージ群の送受信の開始から当該第３のメッセージ群の最終メッセージを送受信するまでを示す中継期間については、前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方から他方に向けて送信されるメッセージを受信する毎に受信したメッセージを他方に向けて送信するスルー動作を停止し、前記中継期間の経過後には前記スルー動作を再開し、
   前記中継期間中は、受信したメッセージが第１のメッセージ群のメッセージか、第３のメッセージ群のメッセージかを判定し、
   第１のメッセージ群のメッセージを受信したと判定した場合、
   第１のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記製造装置側通信回線またはホスト側通信回線を介して送信してきた前記製造装置と前記ホストコンピュータの一方を示す送信元に対して、他方を示す受信先の代理となる送受信を第１のプロトコルにて行って前記送信元に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記送信元の代理として前記メッセージブロックの送受信を第１のプロトコルにて前記受信先と行うことで、前記送信元と前記受信先との間の前記メッセージブロックの送受信を中継し、
   第３のメッセージ群のメッセージを受信したと判定した場合、
   第３のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置が送信してきた場合、前記製造装置の代理となる送受信を第２のプロトコルにて行って前記データ収集装置に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記データ収集装置の代理として前記メッセージブロックの送受信を第１のプロトコルにて前記製造装置側通信回線を介して前記製造装置と行うことで、前記データ収集装置と前記製造装置との間の前記メッセージブロックの送受信を中継し、
   第３のメッセージ群の各メッセージブロックの最初のメッセージを前記製造装置側通信回線を介して前記製造装置が送信してきた場合、前記データ収集装置の代理となる送受信を第１のプロトコルにて行って前記製造装置に対して当該メッセージブロックの送受信を行った後、前記製造装置の代理として前記メッセージブロックの送受信を第２のプロトコルにて前記第２の通信回線を介して前記データ収集装置と行うことで、前記データ収集装置と前記製造装置との間の前記メッセージブロックの送受信を中継する、
   ことを特徴とする製造装置の監視支援装置。
   
   

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