JP2003272982A - 無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システム - Google Patents
無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システムInfo
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- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、装置毎に端末装置を設置したり、
１台の共有端末装置を切替え式に接続するための接続コ
ネクタを装置毎に設けたりすることなく、装置の機構部
を端末装置から操作できる装置調整システムの提供を目
的とする。 【解決手段】 本発明の装置は、調整可能な機構部(50)
と、機構部を調整する制御部(30)と、端末(2)との間で
無線通信接続を確立し、端末との間でデータを送受信す
る無線通信部(40)とを有し、制御部(30)は、端末へ送信
されるデータの作成部(31)、端末から受信されたデータ
の解析部(33)、及び、解析されたデータに基づいて機構
部を調整する調整部(35)手段を含む。
１台の共有端末装置を切替え式に接続するための接続コ
ネクタを装置毎に設けたりすることなく、装置の機構部
を端末装置から操作できる装置調整システムの提供を目
的とする。 【解決手段】 本発明の装置は、調整可能な機構部(50)
と、機構部を調整する制御部(30)と、端末(2)との間で
無線通信接続を確立し、端末との間でデータを送受信す
る無線通信部(40)とを有し、制御部(30)は、端末へ送信
されるデータの作成部(31)、端末から受信されたデータ
の解析部(33)、及び、解析されたデータに基づいて機構
部を調整する調整部(35)手段を含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無線通信により調
整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システムに関
する。
整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえば、拡散装置のような半導
体製造装置の機構部を調整するためには、装置本体の操
作盤、又は、装置にケーブルを介して外付けされた端末
装置が用いられている。たとえば、機構部の調整用端
末、すなわち、調整端末を使用する場合、装置毎に調整
端末を設置するか、又は、１台の共有端末を切替え式に
接続するための接続コネクタを装置毎に設けている。
体製造装置の機構部を調整するためには、装置本体の操
作盤、又は、装置にケーブルを介して外付けされた端末
装置が用いられている。たとえば、機構部の調整用端
末、すなわち、調整端末を使用する場合、装置毎に調整
端末を設置するか、又は、１台の共有端末を切替え式に
接続するための接続コネクタを装置毎に設けている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、調整端末は、
装置の通常動作時には使用しないため、装置台数と同数
の調整端末を設置することは、スペース的にも費用的に
も無駄である。
装置の通常動作時には使用しないため、装置台数と同数
の調整端末を設置することは、スペース的にも費用的に
も無駄である。
【０００４】また、コネクタ接続を介して共有端末を使
用する場合には、コネクタの抜き差しを繰り返すことに
よって、接点の劣化のような信頼性の低下を招く可能性
がある。
用する場合には、コネクタの抜き差しを繰り返すことに
よって、接点の劣化のような信頼性の低下を招く可能性
がある。
【０００５】さらに、ケーブルによって繋がれた調整端
末を用いて、装置の機構部の動作を調整しようとする
と、オペレータにとってケーブルが邪魔になること、或
いは、ケーブル長などの制約によってオペレータが自由
な体勢で操作できなくなることがある。
末を用いて、装置の機構部の動作を調整しようとする
と、オペレータにとってケーブルが邪魔になること、或
いは、ケーブル長などの制約によってオペレータが自由
な体勢で操作できなくなることがある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来技術
の問題点に鑑みて、例えば半導体製造装置や液晶製造装
置のような装置を、調整端末のような端末を用いて操作
するため、装置と端末との間で、無線通信機能を利用す
る。
の問題点に鑑みて、例えば半導体製造装置や液晶製造装
置のような装置を、調整端末のような端末を用いて操作
するため、装置と端末との間で、無線通信機能を利用す
る。
【０００７】本発明の第１の局面により提供される装置
は、調整可能な機構部と、上記機構部に接続され、上記
機構部を調整する制御手段と、を有する装置であって、
上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を
確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段
を更に有し、上記制御手段は、端末へ送信されるデータ
を作成する手段と、端末から受信されたデータを解析す
る手段と、解析されたデータに基づいて上記機構部を調
整する手段と、を含む無線通信により調整可能な装置で
ある。
は、調整可能な機構部と、上記機構部に接続され、上記
機構部を調整する制御手段と、を有する装置であって、
上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を
確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段
を更に有し、上記制御手段は、端末へ送信されるデータ
を作成する手段と、端末から受信されたデータを解析す
る手段と、解析されたデータに基づいて上記機構部を調
整する手段と、を含む無線通信により調整可能な装置で
ある。
【０００８】本発明の第２の局面により提供される装置
調整システムは、調整可能な機構部及び上記機構部を調
整する制御部を含む装置と、上記装置の上記機構部を調
整する指令を送出する端末と、を含む装置調整システム
であって、上記装置は、上記制御手段に接続され、端末
との間で無線通信接続を確立し、端末との間でデータを
送受信する無線通信手段を更に有し、上記制御手段は、
端末へ送信されるデータを作成する手段と、端末から受
信されたデータを解析する手段と、解析されたデータに
基づいて上記機構部を調整する手段と、を含み、上記端
末は、上記装置との間で無線通信を行なう無線通信手段
と、上記装置からのデータを表示し、上記装置へのデー
タを入力するインタフェース手段と、を有する。
調整システムは、調整可能な機構部及び上記機構部を調
整する制御部を含む装置と、上記装置の上記機構部を調
整する指令を送出する端末と、を含む装置調整システム
であって、上記装置は、上記制御手段に接続され、端末
との間で無線通信接続を確立し、端末との間でデータを
送受信する無線通信手段を更に有し、上記制御手段は、
端末へ送信されるデータを作成する手段と、端末から受
信されたデータを解析する手段と、解析されたデータに
基づいて上記機構部を調整する手段と、を含み、上記端
末は、上記装置との間で無線通信を行なう無線通信手段
と、上記装置からのデータを表示し、上記装置へのデー
タを入力するインタフェース手段と、を有する。
【０００９】本発明の第３の局面により提供される装置
調整方法は、調整可能な機構部を有する装置の上記機構
部を端末から調整する装置調整方法であって、上記端末
から上記装置へ無線通信接続要求メッセージを送信する
手順と、上記装置から上記端末へ無線通信接続確認メッ
セージを送信する手順と、上記端末と上記装置との間で
１対１の対応関係で無線通信接続を確立する手順と、上
記端末から上記装置へ上記装置の上記機構部の調整指令
メッセージを送信する手順と、上記装置で上記調整指令
メッセージに基づいて上記機構部を調整する手順と、を
有する。
調整方法は、調整可能な機構部を有する装置の上記機構
部を端末から調整する装置調整方法であって、上記端末
から上記装置へ無線通信接続要求メッセージを送信する
手順と、上記装置から上記端末へ無線通信接続確認メッ
セージを送信する手順と、上記端末と上記装置との間で
１対１の対応関係で無線通信接続を確立する手順と、上
記端末から上記装置へ上記装置の上記機構部の調整指令
メッセージを送信する手順と、上記装置で上記調整指令
メッセージに基づいて上記機構部を調整する手順と、を
有する。
【００１０】本発明の第４の局面により提供される装置
調整方法は、調整可能な機構部を有する装置の上記機構
部を端末から調整する装置調整方法であって、複数台の
装置からなる装置グループを定める手順と、上記端末か
ら上記装置グループの上記複数台の装置へ無線通信接続
要求メッセージを送信する手順と、上記装置グループ中
の装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを送
信する手順と、上記端末と上記無線通信接続確認メッセ
ージを送信した上記装置との間で１対多の対応関係で無
線通信接続を確立する手順と、上記端末から無線通信接
続が確立された上記装置へ該装置の上記機構部の調整指
令メッセージを送信する手順と、上記調整指令メッセー
ジを受けた上記装置で上記調整指令メッセージに基づい
て上記機構部を調整する手順と、を有する。
調整方法は、調整可能な機構部を有する装置の上記機構
部を端末から調整する装置調整方法であって、複数台の
装置からなる装置グループを定める手順と、上記端末か
ら上記装置グループの上記複数台の装置へ無線通信接続
要求メッセージを送信する手順と、上記装置グループ中
の装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを送
信する手順と、上記端末と上記無線通信接続確認メッセ
ージを送信した上記装置との間で１対多の対応関係で無
線通信接続を確立する手順と、上記端末から無線通信接
続が確立された上記装置へ該装置の上記機構部の調整指
令メッセージを送信する手順と、上記調整指令メッセー
ジを受けた上記装置で上記調整指令メッセージに基づい
て上記機構部を調整する手順と、を有する。
【００１１】これらの本発明の種々の局面によれば、装
置と端末の間で無線通信接続が確立されるので、端末の
台数を必要最低限に抑えることができ、かつ、端末の使
用場所も接続コネクタの設置場所によって制限されるこ
とがなく、端末を用いた作業の効率アップが実現され
る。
置と端末の間で無線通信接続が確立されるので、端末の
台数を必要最低限に抑えることができ、かつ、端末の使
用場所も接続コネクタの設置場所によって制限されるこ
とがなく、端末を用いた作業の効率アップが実現され
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施例を説明する。本発明は、これらの実施例によっ
て限定されることはなく、請求項に記載された事項の範
囲内で多様な形態で実施され得る。
の実施例を説明する。本発明は、これらの実施例によっ
て限定されることはなく、請求項に記載された事項の範
囲内で多様な形態で実施され得る。
【００１３】図１は、本発明の第１の実施例による半導
体製造装置調整システムの構成図である。本例の半導体
製造装置調整システムは、半導体製造装置１と、半導体
製造装置１を操作するための無線端末２とにより構成さ
れる。半導体製造装置１と無線端末２は、無線通信を行
なうように構成されている。本発明の第１の実施例で
は、無線通信技術として、１０ｍ程度の近距離無線通信
のインタフェース仕様であるBluetoothによる通信機能
を利用する。
体製造装置調整システムの構成図である。本例の半導体
製造装置調整システムは、半導体製造装置１と、半導体
製造装置１を操作するための無線端末２とにより構成さ
れる。半導体製造装置１と無線端末２は、無線通信を行
なうように構成されている。本発明の第１の実施例で
は、無線通信技術として、１０ｍ程度の近距離無線通信
のインタフェース仕様であるBluetoothによる通信機能
を利用する。
【００１４】半導体製造装置１は、半導体製造の工程、
たとえば、成膜処理、拡散処理、エッチング処理などで
使用される装置である。半導体製造装置１は、調整可能
な機構部５０と、機構部５０に接続され、機構部５０を
調整する制御部３０と、を有する装置である。機構部５
０は、たとえば、半導体製造装置１の搬送系である。無
線端末２は、たとえば、半導体製造装置１の機構部５０
を操作するために利用される。より具体的には、搬送系
のティーチングなどに利用され、無線端末２を用いて、
スロットの位置や、ボードの位置を教示することができ
る。無線端末２は、たとえば、Bluetoothによる通信機
能を有するPDA端末によって実現することが可能であ
る。
たとえば、成膜処理、拡散処理、エッチング処理などで
使用される装置である。半導体製造装置１は、調整可能
な機構部５０と、機構部５０に接続され、機構部５０を
調整する制御部３０と、を有する装置である。機構部５
０は、たとえば、半導体製造装置１の搬送系である。無
線端末２は、たとえば、半導体製造装置１の機構部５０
を操作するために利用される。より具体的には、搬送系
のティーチングなどに利用され、無線端末２を用いて、
スロットの位置や、ボードの位置を教示することができ
る。無線端末２は、たとえば、Bluetoothによる通信機
能を有するPDA端末によって実現することが可能であ
る。
【００１５】半導体製造装置１は、制御部３０に接続さ
れ、無線端末２との間で接続を確立し、無線端末２との
間でデータを送受信する無線通信部４０を更に有する。
れ、無線端末２との間で接続を確立し、無線端末２との
間でデータを送受信する無線通信部４０を更に有する。
【００１６】また、制御部３０は、無線端末へ送信され
るデータを作成するデータ作成部３１と、無線端末から
受信されたデータを解析するデータ解析部３３と、解析
されたデータに基づいて、機構部５０を調整する機構部
調整部３５と、を含む。
るデータを作成するデータ作成部３１と、無線端末から
受信されたデータを解析するデータ解析部３３と、解析
されたデータに基づいて、機構部５０を調整する機構部
調整部３５と、を含む。
【００１７】調整に必要なデータ、変換機能を半導体製
造装置１側に搭載することによって、無線端末２側の構
成を簡単化し、汎用的な端末を本発明の実施例の無線端
末として利用できるようになる。
造装置１側に搭載することによって、無線端末２側の構
成を簡単化し、汎用的な端末を本発明の実施例の無線端
末として利用できるようになる。
【００１８】次に、本発明の第１の実施例により、無線
端末２からの指令に従って半導体製造装置１側で行なわ
れる機構部５０の調整処理を説明する。図２は、機構部
調整処理のフローチャートである。
端末２からの指令に従って半導体製造装置１側で行なわ
れる機構部５０の調整処理を説明する。図２は、機構部
調整処理のフローチャートである。
【００１９】ステップ１：無線通信部４０は、無線端末
２からの要求に応じて、無線端末２との間で無線通信接
続を確立する。同図には示されないが、無線通信接続を
確立できなかった場合には、無線端末２に対し、接続の
失敗が通知される。
２からの要求に応じて、無線端末２との間で無線通信接
続を確立する。同図には示されないが、無線通信接続を
確立できなかった場合には、無線端末２に対し、接続の
失敗が通知される。
【００２０】ステップ２：制御部３０は、機構部５０か
ら機構部の現在状態（機構部状態）を取得し、無線通信
部４０を介して、無線端末２へ機構部状態を送信する。
ら機構部の現在状態（機構部状態）を取得し、無線通信
部４０を介して、無線端末２へ機構部状態を送信する。
【００２１】無線端末２側では、機構部状態がオペレー
タによって認識され得るように提示される。
タによって認識され得るように提示される。
【００２２】ステップ３：制御部３０は、無線端末２側
でオペレータが入力したオペレータ指令を、無線通信部
４０を介して受信する。
でオペレータが入力したオペレータ指令を、無線通信部
４０を介して受信する。
【００２３】ステップ４：制御部３０のデータ解析部３
３は、無線端末２から受信したオペレータ指令が接続切
断指令であるかどうかを判定し、接続切断指令でなけれ
ば、ステップ５へ進む。接続切断指令である場合には、
ステップ８へ進む。
３は、無線端末２から受信したオペレータ指令が接続切
断指令であるかどうかを判定し、接続切断指令でなけれ
ば、ステップ５へ進む。接続切断指令である場合には、
ステップ８へ進む。
【００２４】ステップ５：制御部３０のデータ解析部３
３は、無線端末２から受信したオペレータ指令が機構部
調整指令であるかどうかを判定し、機構部調整指令であ
れば、ステップ６へ進み、機構部調整指令でなければ、
ステップ７へ進む。
３は、無線端末２から受信したオペレータ指令が機構部
調整指令であるかどうかを判定し、機構部調整指令であ
れば、ステップ６へ進み、機構部調整指令でなければ、
ステップ７へ進む。
【００２５】ステップ６：制御部３０の機構部調整部３
５は、無線端末２から受信した機構部調整指令に基づい
て、機構部５０を調整し、ステップ２へ戻る。具体的な
調整の例は、搬送系の移動などである。
５は、無線端末２から受信した機構部調整指令に基づい
て、機構部５０を調整し、ステップ２へ戻る。具体的な
調整の例は、搬送系の移動などである。
【００２６】ステップ７：無線端末２からのオペレータ
指令が機構部調整指令ではないので、制御部３０は、オ
ペレータ指令に応じた適当な動作、たとえば、機構部状
態の通知などを実行し、ステップ２へ戻る。
指令が機構部調整指令ではないので、制御部３０は、オ
ペレータ指令に応じた適当な動作、たとえば、機構部状
態の通知などを実行し、ステップ２へ戻る。
【００２７】ステップ８：無線端末２からのオペレータ
指令が無線通信接続の切断指令であるので、無線通信部
４０は、無線端末２との無線通信接続を切断する。これ
により、一連の機構部調整処理が終了する。
指令が無線通信接続の切断指令であるので、無線通信部
４０は、無線端末２との無線通信接続を切断する。これ
により、一連の機構部調整処理が終了する。
【００２８】尚、半導体製造装置１と無線端末２との間
の無線通信接続の終了は、半導体製造装置１及び無線端
末２の両方から指令することができるように構成され
る。
の無線通信接続の終了は、半導体製造装置１及び無線端
末２の両方から指令することができるように構成され
る。
【００２９】次に、上記本発明の第１の実施例における
半導体製造装置調整システムに、接続状態表示機能、接
続状態確認機能、及び、緊急停止機能が付加された本発
明の第２の実施例における半導体製造装置調整システム
を説明する。
半導体製造装置調整システムに、接続状態表示機能、接
続状態確認機能、及び、緊急停止機能が付加された本発
明の第２の実施例における半導体製造装置調整システム
を説明する。
【００３０】図３は、このような本発明の第２の実施例
における無線端末２の構成図である。同図に示されるよ
うに、無線端末２は、半導体製造装置１との間で無線通
信を行なう無線通信部２２と、オペレータからの指示を
受け、オペレータ指示に従って無線通信部２２に対し無
線通信の接続要求、切断要求などを発行する接続操作部
２１とを有する。また、無線端末２は、半導体製造装置
１との間で無線通信接続が確立された後に、無線通信部
２２を介して、半導体製造装置１へ機構部調整指令を発
行する半導体製造装置調整用インタフェース部２３を含
む。この半導体製造装置調整用インタフェース部２３
は、たとえば、ブラウザ機能を実現するユーザ・インタ
フェース機能（一般的なviewer）を具備する。
における無線端末２の構成図である。同図に示されるよ
うに、無線端末２は、半導体製造装置１との間で無線通
信を行なう無線通信部２２と、オペレータからの指示を
受け、オペレータ指示に従って無線通信部２２に対し無
線通信の接続要求、切断要求などを発行する接続操作部
２１とを有する。また、無線端末２は、半導体製造装置
１との間で無線通信接続が確立された後に、無線通信部
２２を介して、半導体製造装置１へ機構部調整指令を発
行する半導体製造装置調整用インタフェース部２３を含
む。この半導体製造装置調整用インタフェース部２３
は、たとえば、ブラウザ機能を実現するユーザ・インタ
フェース機能（一般的なviewer）を具備する。
【００３１】また、無線端末２は、半導体製造装置１と
の間で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部２２
を介して、接続確認のためのメッセージを交換する接続
状態確認部２４と、半導体製造装置１と無線通信接続さ
れていることを表示する接続状態表示部２５と、を有す
る。
の間で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部２２
を介して、接続確認のためのメッセージを交換する接続
状態確認部２４と、半導体製造装置１と無線通信接続さ
れていることを表示する接続状態表示部２５と、を有す
る。
【００３２】さらに、無線端末２は、半導体製造装置１
の安全な動作を確保するため、無線端末２側の状態によ
って、半導体製造装置１の機構部５０の動作を緊急停止
させるための緊急停止指令部２６を具備する。緊急停止
指令部２６は、オペレータが端末装置２から手を離した
状態、オペレータが端末装置２を強く握った状態、端末
装置２のケーブルがソケットから抜かれた状態などの緊
急事態を監視・検出するセンサに接続され、これらのセ
ンサからの検出信号に応答して、半導体製造装置１に対
し、緊急停止信号を送出する。緊急停止信号は、無線通
信部２２を介して送信してもよいが、このような例に限
定されるものではなく、緊急停止信号を発生させる公知
の種々の手段を利用することができる。
の安全な動作を確保するため、無線端末２側の状態によ
って、半導体製造装置１の機構部５０の動作を緊急停止
させるための緊急停止指令部２６を具備する。緊急停止
指令部２６は、オペレータが端末装置２から手を離した
状態、オペレータが端末装置２を強く握った状態、端末
装置２のケーブルがソケットから抜かれた状態などの緊
急事態を監視・検出するセンサに接続され、これらのセ
ンサからの検出信号に応答して、半導体製造装置１に対
し、緊急停止信号を送出する。緊急停止信号は、無線通
信部２２を介して送信してもよいが、このような例に限
定されるものではなく、緊急停止信号を発生させる公知
の種々の手段を利用することができる。
【００３３】また、緊急停止指令部２６が緊急停止信号
を発生させる緊急事態は、上記の例には限定されず、半
導体製造装置１との接続状態確認を失敗したとき、無線
端末２が半導体製造装置１の電波エリア外に移動したと
き、無線端末２の電源が切断されたとき、無線端末２の
緊急停止ボタンを押下したとき、無線端末２側で無線通
信接続が解除されたとき、などの状況が考えられる。
を発生させる緊急事態は、上記の例には限定されず、半
導体製造装置１との接続状態確認を失敗したとき、無線
端末２が半導体製造装置１の電波エリア外に移動したと
き、無線端末２の電源が切断されたとき、無線端末２の
緊急停止ボタンを押下したとき、無線端末２側で無線通
信接続が解除されたとき、などの状況が考えられる。
【００３４】図４は、図３に示された無線端末２に対応
した、本発明の第２の実施例による半導体製造装置の構
成図である。半導体製造装置１は、本発明の第１の実施
例に関して説明した、無線通信部４０、制御部３０及び
制御部５０の他に、接続状態確認部６０、接続状態表示
部７０及び緊急停止部８０を含む。
した、本発明の第２の実施例による半導体製造装置の構
成図である。半導体製造装置１は、本発明の第１の実施
例に関して説明した、無線通信部４０、制御部３０及び
制御部５０の他に、接続状態確認部６０、接続状態表示
部７０及び緊急停止部８０を含む。
【００３５】接続状態確認部６０は、無線端末２との間
で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部４０を介
して、接続確認のためのメッセージを交換する。接続状
態表示部７０は、無線端末２と無線通信接続されている
ことを表示する。
で相互に、たとえば、一定間隔で、無線通信部４０を介
して、接続確認のためのメッセージを交換する。接続状
態表示部７０は、無線端末２と無線通信接続されている
ことを表示する。
【００３６】また、緊急停止部８０は、機構部５０に直
結され、無線端末２から送出された緊急停止信号に応じ
て、直ちに機構部５０の動作を停止させる。
結され、無線端末２から送出された緊急停止信号に応じ
て、直ちに機構部５０の動作を停止させる。
【００３７】以下では、本発明の第１の実施例又は第２
の実施例による半導体製造装置調整システムをベースに
して、半導体製造装置１と無線端末２との間で実現され
る二通りの接続方式について説明する。
の実施例による半導体製造装置調整システムをベースに
して、半導体製造装置１と無線端末２との間で実現され
る二通りの接続方式について説明する。
【００３８】図５は、本発明の第３の実施例による排他
的接続方式の説明図である。排他的接続方式とは、無線
端末２が特定の半導体製造装置１を選択する接続方式で
ある。同図に示されるように、半導体製造装置と無線端
末は、同時には、１対１の関係でしか接続できない。同
図において、←○→の表示は、半導体製造装置と無線端
末との間で無線通信接続が確立された（或いは、確立可
能な）状態であることを示し、←×→の表示は、無線通
信接続を確立できないことを示している。
的接続方式の説明図である。排他的接続方式とは、無線
端末２が特定の半導体製造装置１を選択する接続方式で
ある。同図に示されるように、半導体製造装置と無線端
末は、同時には、１対１の関係でしか接続できない。同
図において、←○→の表示は、半導体製造装置と無線端
末との間で無線通信接続が確立された（或いは、確立可
能な）状態であることを示し、←×→の表示は、無線通
信接続を確立できないことを示している。
【００３９】本例では、半導体製造装置Ａは、無線端末
Ｂと接続されているため、無線端末Ａは半導体製造装置
Ａと接続不可である。無線端末Ｂは、半導体製造装置Ａ
との接続が確立しているので、半導体製造装置Ｂとの接
続は不可である。半導体製造装置Ｃは、無線端末Ｄと、
無線端末Ｅのどちらとも接続されていない。
Ｂと接続されているため、無線端末Ａは半導体製造装置
Ａと接続不可である。無線端末Ｂは、半導体製造装置Ａ
との接続が確立しているので、半導体製造装置Ｂとの接
続は不可である。半導体製造装置Ｃは、無線端末Ｄと、
無線端末Ｅのどちらとも接続されていない。
【００４０】排他的接続方式では、最初に、無線端末２
側の操作、たとえば、アドレス指定等によって、特定の
半導体製造装置１を指定し、次に、半導体製造装置１側
の操作によって、選択された半導体製造装置１の確認作
業、たとえば、ＩＤ交換等を行なう。そして、この確認
作業が正常に行なわれた場合、それ以降、この無線端末
装置２と、他の半導体製造装置１との無線通信接続は禁
止される。
側の操作、たとえば、アドレス指定等によって、特定の
半導体製造装置１を指定し、次に、半導体製造装置１側
の操作によって、選択された半導体製造装置１の確認作
業、たとえば、ＩＤ交換等を行なう。そして、この確認
作業が正常に行なわれた場合、それ以降、この無線端末
装置２と、他の半導体製造装置１との無線通信接続は禁
止される。
【００４１】図６は、このような本発明の第３の実施例
による排他的接続処理のフローチャートである。
による排他的接続処理のフローチャートである。
【００４２】ステップ２１：半導体製造装置１の無線通
信部４０は、無線端末２からの装置接続要求メッセージ
を受信する。
信部４０は、無線端末２からの装置接続要求メッセージ
を受信する。
【００４３】ステップ２２：無線通信部４０は、他の無
線端末との間で既に無線通信接続が確立しているかどう
かをチェックする。既に、他の無線端末との間に接続が
確立している場合には、ステップ２６へ進む。無線通信
部４０が未だ無線端末と接続を確立していない場合に
は、ステップ２３へ進む。
線端末との間で既に無線通信接続が確立しているかどう
かをチェックする。既に、他の無線端末との間に接続が
確立している場合には、ステップ２６へ進む。無線通信
部４０が未だ無線端末と接続を確立していない場合に
は、ステップ２３へ進む。
【００４４】ステップ２３：無線通信部４０は、装置接
続要求メッセージを発した無線端末２との間で、相互確
認メッセージ（たとえば、ＩＤ）を交換する。
続要求メッセージを発した無線端末２との間で、相互確
認メッセージ（たとえば、ＩＤ）を交換する。
【００４５】ステップ２４：無線通信部４０は、無線端
末２との相互確認が成功したかどうかを判定する。相互
確認に失敗した場合、ステップ２６へ進む。相互確認に
成功した場合、ステップ２５へ進む。
末２との相互確認が成功したかどうかを判定する。相互
確認に失敗した場合、ステップ２６へ進む。相互確認に
成功した場合、ステップ２５へ進む。
【００４６】ステップ２５：無線通信部４０は、無線端
末２との間で排他的無線通信接続を確立する。これによ
り、無線端末２から半導体製造装置１の機構部５０を調
整できるようになる。
末２との間で排他的無線通信接続を確立する。これによ
り、無線端末２から半導体製造装置１の機構部５０を調
整できるようになる。
【００４７】ステップ２６：無線通信部４０は、無線端
末２との間で排他的無線通信接続を確立できないので、
装置接続拒否メッセージを無線端末２へ返信する。
末２との間で排他的無線通信接続を確立できないので、
装置接続拒否メッセージを無線端末２へ返信する。
【００４８】無線端末２からの操作が完了した後には、
無線端末２側、又は、半導体製造装置１側で両者間の無
線通信接続を切断（解除）できる。
無線端末２側、又は、半導体製造装置１側で両者間の無
線通信接続を切断（解除）できる。
【００４９】本発明の第３の実施例による排他的接続処
理は、以上の手順で行なわれる。このような排他的接続
方式は、特に、機構部５０のティーチングなどの調整作
業に有効である。
理は、以上の手順で行なわれる。このような排他的接続
方式は、特に、機構部５０のティーチングなどの調整作
業に有効である。
【００５０】図７は、本発明の第４の実施例によるグル
ープ接続方式の説明図である。グループ方式とは、無線
端末２が予めグループ化された半導体製造装置群に対し
て同時に無線通信接続を確立する接続方式である。同図
に示されるように、無線端末と半導体製造装置は、同時
に、１対多の関係で接続されている。同図において、←
○→の表示は、半導体製造装置と無線端末との間で無線
通信接続が確立された（或いは、確立可能な）状態であ
ることを示し、←×→の表示は、無線通信接続を確立で
きないことを示している。
ープ接続方式の説明図である。グループ方式とは、無線
端末２が予めグループ化された半導体製造装置群に対し
て同時に無線通信接続を確立する接続方式である。同図
に示されるように、無線端末と半導体製造装置は、同時
に、１対多の関係で接続されている。同図において、←
○→の表示は、半導体製造装置と無線端末との間で無線
通信接続が確立された（或いは、確立可能な）状態であ
ることを示し、←×→の表示は、無線通信接続を確立で
きないことを示している。
【００５１】本例では、半導体製造装置Ａ、半導体製造
装置Ｂ及び半導体製造装置Ｃは、予め同じグループに入
れられ、半導体製造装置Ｄは、このグループには含まれ
ていない。そのため、無線端末Ｂは、グループ内の半導
体製造装置Ａ、半導体製造装置Ｂ及び半導体製造装置Ｃ
と無線通信接続を確立しているが、半導体製造装置Ｄと
の間では、無線通信接続を確立できない。また、他の無
線端末Ｂ及び無線端末Ｃは、無線端末Ａとの間で既に無
線通信接続を確立しているグループ内の半導体製造装置
Ａ、Ｂ及びＣと、重複して無線通信接続を確立すること
はできない。
装置Ｂ及び半導体製造装置Ｃは、予め同じグループに入
れられ、半導体製造装置Ｄは、このグループには含まれ
ていない。そのため、無線端末Ｂは、グループ内の半導
体製造装置Ａ、半導体製造装置Ｂ及び半導体製造装置Ｃ
と無線通信接続を確立しているが、半導体製造装置Ｄと
の間では、無線通信接続を確立できない。また、他の無
線端末Ｂ及び無線端末Ｃは、無線端末Ａとの間で既に無
線通信接続を確立しているグループ内の半導体製造装置
Ａ、Ｂ及びＣと、重複して無線通信接続を確立すること
はできない。
【００５２】本発明の第４の実施例によるグループ接続
方式では、上述の通り、予めグループ化された半導体製
造装置群に対して、無線端末から接続要求を行なう。そ
して、１台の無線端末と、半導体製造装置群との間で無
線通信接続が確立されると、無線端末から半導体製造装
置群に対して、同一の操作を一括して指令・実行するこ
とが可能になる。無線端末側では、グループ接続中の半
導体製造装置群の一覧が表示される。また、グループ接
続中の各半導体製造装置もグループ接続中であることを
表示することができる。
方式では、上述の通り、予めグループ化された半導体製
造装置群に対して、無線端末から接続要求を行なう。そ
して、１台の無線端末と、半導体製造装置群との間で無
線通信接続が確立されると、無線端末から半導体製造装
置群に対して、同一の操作を一括して指令・実行するこ
とが可能になる。無線端末側では、グループ接続中の半
導体製造装置群の一覧が表示される。また、グループ接
続中の各半導体製造装置もグループ接続中であることを
表示することができる。
【００５３】グループ接続の解除は、各半導体製造装置
側で個別に行なうことができる。また、無線端末は、グ
ループ接続を一括して解除することができる。
側で個別に行なうことができる。また、無線端末は、グ
ループ接続を一括して解除することができる。
【００５４】図８は、このような本発明の第４の実施例
によるグループ接続処理のフローチャートである。
によるグループ接続処理のフローチャートである。
【００５５】ステップ４１：半導体製造装置のグループ
を定義し、無線端末及びグループ内の各半導体製造装置
に登録する。
を定義し、無線端末及びグループ内の各半導体製造装置
に登録する。
【００５６】ステップ４２：無線端末からグループ内の
半導体製造装置へ装置接続要求メッセージを送信する。
半導体製造装置へ装置接続要求メッセージを送信する。
【００５７】ステップ４３：無線端末とグループ内の半
導体製造装置との間で無線通信接続の確立処理を実行す
る。
導体製造装置との間で無線通信接続の確立処理を実行す
る。
【００５８】ステップ４４：全ての無線通信接続が確立
したかどうかを判定する。確立した場合には、ステップ
４５へ進み、確立していない場合には、ステップ４７へ
進む。
したかどうかを判定する。確立した場合には、ステップ
４５へ進み、確立していない場合には、ステップ４７へ
進む。
【００５９】ステップ４５：無線端末側でグループ接続
中の半導体製造装置の一覧を表示する。
中の半導体製造装置の一覧を表示する。
【００６０】ステップ４６：グループ内の各半導体製造
装置の一括操作可能モードに設定し、各半導体製造装置
側ではグループ接続中である旨を表示する。
装置の一括操作可能モードに設定し、各半導体製造装置
側ではグループ接続中である旨を表示する。
【００６１】ステップ４７：無線通信接続を確立できな
い半導体製造装置が存在するので、無線端末は、グルー
プ内の全ての半導体製造装置との無線通信接続を解除す
る。
い半導体製造装置が存在するので、無線端末は、グルー
プ内の全ての半導体製造装置との無線通信接続を解除す
る。
【００６２】本発明の第４の実施例によるグループ接続
処理は、以上の手順で行なわれる。このようなグループ
接続方式は、特に、複数台の半導体製造装置の機構部５
０に対して、同じパラメータを設定するなどの調整作業
に有効である。
処理は、以上の手順で行なわれる。このようなグループ
接続方式は、特に、複数台の半導体製造装置の機構部５
０に対して、同じパラメータを設定するなどの調整作業
に有効である。
【００６３】また、上記のステップ４７では、無線端末
は、グループ内の全ての半導体製造装置との無線通信接
続を解除しているが、無線通信接続を確立可能な半導体
製造装置だけに対して、一括操作可能モードを設定する
ように構成しても構わない。
は、グループ内の全ての半導体製造装置との無線通信接
続を解除しているが、無線通信接続を確立可能な半導体
製造装置だけに対して、一括操作可能モードを設定する
ように構成しても構わない。
【００６４】本発明の上記の実施例は、Bluetoothによ
る無線通信技術を利用するため、無線端末を半導体製造
装置の近傍（１０ｍ以内）に設置すれば、どこでも使用
できるようになる。これにより、無線端末の台数を必要
最低限に抑えることができ、無線端末の使用場所も接続
コネクタの場所によって制限されることがなく、無線端
末を用いた調整作業の効率アップにつながる。Bluetoot
hは、電波が弱い（微弱電波で１０ｍ以内をカバーす
る）、干渉が無い（ノイズに強い）といった特性がある
ので、本発明を実施するために好適である。
る無線通信技術を利用するため、無線端末を半導体製造
装置の近傍（１０ｍ以内）に設置すれば、どこでも使用
できるようになる。これにより、無線端末の台数を必要
最低限に抑えることができ、無線端末の使用場所も接続
コネクタの場所によって制限されることがなく、無線端
末を用いた調整作業の効率アップにつながる。Bluetoot
hは、電波が弱い（微弱電波で１０ｍ以内をカバーす
る）、干渉が無い（ノイズに強い）といった特性がある
ので、本発明を実施するために好適である。
【００６５】また、無線通信技術としては、１０ｍ程度
の近距離無線通信のインタフェース仕様であるBluetoot
hによる通信機能の他に、電波や光などの無線で通信を
行なう無線LANを用いることができる。PHS方式による通
信を利用することも可能である。本発明は、利用される
無線通信技術の種別によって制限されることはない。
の近距離無線通信のインタフェース仕様であるBluetoot
hによる通信機能の他に、電波や光などの無線で通信を
行なう無線LANを用いることができる。PHS方式による通
信を利用することも可能である。本発明は、利用される
無線通信技術の種別によって制限されることはない。
【００６６】また、端末装置としては、Bluetoothによ
る通信機能を有するPDA端末や、PHS端末を利用すること
が可能である。本発明は、端末装置の種別によって制限
されるものではない。
る通信機能を有するPDA端末や、PHS端末を利用すること
が可能である。本発明は、端末装置の種別によって制限
されるものではない。
【００６７】さらに、上記実施例では、半導体製造装置
に関して説明しているが、本発明における装置は、半導
体製造装置に限定されることはなく、機構部と機構部を
調整する制御部とを具備した装置であれば、どのような
装置でも構わない。
に関して説明しているが、本発明における装置は、半導
体製造装置に限定されることはなく、機構部と機構部を
調整する制御部とを具備した装置であれば、どのような
装置でも構わない。
【００６８】上記の本発明の実施例による半導体製造装
置調整システムにおける装置調整方法は、ソフトウェア
（プログラム）で構築することが可能であり、コンピュ
ータのＣＰＵによってこのプログラムを実行することに
より本発明の実施例による装置調整方法を実現すること
ができる。構築されたプログラムは、ディスク装置等に
記録しておき必要に応じてコンピュータにインストール
され、フレキシブルディスク、メモリカード、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ等の可搬記録媒体に格納して必要に応じてコンピュ
ータにインストールされ、或いは、通信回線等を介して
コンピュータにインストールされ、コンピュータのＣＰ
Ｕによって実行される。
置調整システムにおける装置調整方法は、ソフトウェア
（プログラム）で構築することが可能であり、コンピュ
ータのＣＰＵによってこのプログラムを実行することに
より本発明の実施例による装置調整方法を実現すること
ができる。構築されたプログラムは、ディスク装置等に
記録しておき必要に応じてコンピュータにインストール
され、フレキシブルディスク、メモリカード、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ等の可搬記録媒体に格納して必要に応じてコンピュ
ータにインストールされ、或いは、通信回線等を介して
コンピュータにインストールされ、コンピュータのＣＰ
Ｕによって実行される。
【００６９】以上、本発明の代表的な実施例を説明した
が、本発明は、上記の実施例に限定されることなく、特
許請求の範囲内において、種々変更・応用が可能であ
る。
が、本発明は、上記の実施例に限定されることなく、特
許請求の範囲内において、種々変更・応用が可能であ
る。
【００７０】
【発明の効果】以上の説明の通り、本発明によれば、装
置毎に端末装置を設置したり、１台の共有端末装置を切
替え式に接続するための接続コネクタを装置毎に設けた
りすることなく、装置の機構部を端末装置から操作する
ことができるようになる。
置毎に端末装置を設置したり、１台の共有端末装置を切
替え式に接続するための接続コネクタを装置毎に設けた
りすることなく、装置の機構部を端末装置から操作する
ことができるようになる。
【図１】本発明の第１の実施例による半導体製造装置調
整システムの構成図である。
整システムの構成図である。
【図２】本発明の第１の実施例による機構部調整処理の
フローチャートである。
フローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施例による無線端末の構成図
である。
である。
【図４】本発明の第２の実施例による半導体製造装置の
構成図である。
構成図である。
【図５】本発明の第３の実施例による排他的接続方式の
説明図である。
説明図である。
【図６】本発明の第３の実施例による排他的接続処理の
フローチャートである。
フローチャートである。
【図７】本発明の第４の実施例によるグループ接続方式
の説明図である。
の説明図である。
【図８】本発明の第４の実施例によるグループ接続処理
のフローチャートである。
のフローチャートである。
１ 半導体製造装置
２ 無線端末
２１ 接続操作部
２２ 無線通信部
２３ 半導体製造装置調整用インタフェース部
２４ 接続状態確認部
２５ 接続状態表示部
２６ 緊急停止指令部
３０ 制御部
３１ データ作成部
３３ データ解析部
３５ 機構部調整部
４０ 無線通信部
５０ 機構部
６０ 接続状態確認部
７０ 接続状態表示部
８０ 緊急停止部
Claims (11)
- 【請求項１】 調整可能な機構部と、 上記機構部に接続され、上記機構部を調整する制御手段
と、を有する装置であって、 上記制御手段に接続され、端末との間で無線通信接続を
確立し、端末との間でデータを送受信する無線通信手段
を更に有し、 上記制御手段は、 端末へ送信されるデータを作成する手段と、 端末から受信されたデータを解析する手段と、 解析されたデータに基づいて上記機構部を調整する手段
と、を含む、無線通信により調整可能な装置。 - 【請求項２】 上記無線通信手段は、既に端末との間で
無線通信接続を確立している場合には、他の端末からの
無線通信接続の要求を拒否するように構成されている、
請求項１記載の無線通信により調整可能な装置。 - 【請求項３】 端末との間で確立された無線通信接続の
状態を確認する手段と、 無線通信接続の状態を表示する手段と、を更に有する、
請求項１又は２記載の無線通信により調整可能な装置。 - 【請求項４】 無線通信接続を確立している相手側の端
末からの緊急停止指令信号を受け、上記機構部を緊急停
止させる手段を更に有する、請求項１乃至３のうちいず
れか一項記載の無線通信により調整可能な装置。 - 【請求項５】 調整可能な機構部及び上記機構部を調整
する制御部を含む装置と、上記装置の上記機構部を調整
する指令を送出する端末と、を含む装置調整システムで
あって、 上記装置は、上記制御手段に接続され、端末との間で無
線通信接続を確立し、 端末との間でデータを送受信する無線通信手段を更に有
し、 上記制御手段は、 端末へ送信されるデータを作成する手段と、 端末から受信されたデータを解析する手段と、 解析されたデータに基づいて上記機構部を調整する手段
と、を含み、 上記端末は、 上記装置との間で無線通信を行なう無線通信手段と、 上記装置からのデータを表示し、上記装置へのデータを
入力するインタフェース手段と、を有する、装置調整シ
ステム。 - 【請求項６】 上記装置の上記無線通信手段は、既に端
末との間で無線通信接続を確立している場合には、他の
端末からの無線通信接続の要求を拒否するように構成さ
れている、請求項５記載の装置調整システム。 - 【請求項７】 上記端末の上記無線通信手段は、同時に
複数台の装置との間で無線通信接続を確立し、複数台の
装置との間で無線通信が行なえるよう構成されている、
請求項５又は６記載の装置調整システム。 - 【請求項８】 上記装置と上記端末との間で確立された
無線通信接続の状態を確認する手段と、 上記装置と上記端末との間の無線通信接続の状態を表示
する手段と、を更に有する、請求項５乃至７のうちいず
れか一項記載の装置調整システム。 - 【請求項９】 上記端末は、 無線通信接続されている相手側の装置の機構部を緊急停
止させるべき状況が上記端末において発生しているかど
うかを監視する手段と、 緊急停止させるべき状況が発生していることが検出され
た場合に、上記装置の制御部を緊急停止させる緊急停止
指令信号を上記装置へ送出する手段と、を更に有し、 上記装置は、無線通信接続を確立している上記端末から
の上記緊急停止指令信号を受け、上記機構部を緊急停止
させる手段を更に有する、請求項５乃至８のうちいずれ
か一項記載の装置調整システム。 - 【請求項１０】 調整可能な機構部を有する装置の上記
機構部を端末から調整する装置調整方法であって、 上記端末から上記装置へ無線通信接続要求メッセージを
送信する手順と、 上記装置から上記端末へ無線通信接続確認メッセージを
送信する手順と、 上記端末と上記装置との間で１対１の対応関係で無線通
信接続を確立する手順と、 上記端末から上記装置へ上記装置の上記機構部の調整指
令メッセージを送信する手順と、 上記装置で上記調整指令メッセージに基づいて上記機構
部を調整する手順と、を有する、装置調整方法。 - 【請求項１１】 調整可能な機構部を有する装置の上記
機構部を端末から調整する装置調整方法であって、 複数台の装置からなる装置グループを定める手順と、 上記端末から上記装置グループの上記複数台の装置へ無
線通信接続要求メッセージを送信する手順と、 上記装置グループ中の装置から上記端末へ無線通信接続
確認メッセージを送信する手順と、 上記端末と上記無線通信接続確認メッセージを送信した
上記装置との間で１対多の対応関係で無線通信接続を確
立する手順と、 上記端末から無線通信接続が確立された上記装置へ該装
置の上記機構部の調整指令メッセージを送信する手順
と、 上記調整指令メッセージを受けた上記装置で上記調整指
令メッセージに基づいて上記機構部を調整する手順と、
を有する、装置調整方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002067066A JP2003272982A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | 無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システム |
| KR1020047014177A KR100656056B1 (ko) | 2002-03-12 | 2003-03-04 | 반도체 제조 장치 조정 방법 |
| US10/506,179 US7181208B2 (en) | 2002-03-12 | 2003-03-04 | Radio-communication-adjustable apparatus, apparatus adjusting method, and apparatus adjusting system |
| PCT/JP2003/002513 WO2003077289A1 (fr) | 2002-03-12 | 2003-03-04 | Appareil de radio communication reglable, procede de reglage d'appareil, et systeme de reglage d'appareil |
| CNB03805759XA CN100429746C (zh) | 2002-03-12 | 2003-03-04 | 基于无线通信可调整的装置、装置调整方法和装置调整系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002067066A JP2003272982A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | 無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003272982A true JP2003272982A (ja) | 2003-09-26 |
Family
ID=27800268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002067066A Pending JP2003272982A (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | 無線通信により調整可能な装置、装置調整方法及び装置調整システム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7181208B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003272982A (ja) |
| KR (1) | KR100656056B1 (ja) |
| CN (1) | CN100429746C (ja) |
| WO (1) | WO2003077289A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2009177818A (ja) * | 2009-01-28 | 2009-08-06 | Asm Internatl Nv | 短距離無線対応のコンピュータをサービスツールとして使用する方法およびシステム |
| KR101017792B1 (ko) | 2007-08-21 | 2011-02-28 | 산요 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 라디오 튜너용의 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
| WO2020003736A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法 |
| JP2020126897A (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-20 | 株式会社荏原製作所 | 制御システム、制御システムのプログラムを記録した記録媒体、および制御システムの方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018082006A1 (zh) * | 2016-11-04 | 2018-05-11 | 深圳市奥星澳科技有限公司 | 一种控制方法、控制装置及控制系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5586030A (en) * | 1994-10-24 | 1996-12-17 | Caterpillar Inc. | System and method for managing access to a resource in an autonomous vehicle system |
| US6697103B1 (en) * | 1998-03-19 | 2004-02-24 | Dennis Sunga Fernandez | Integrated network for monitoring remote objects |
| JP2000138700A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Omron Corp | 表示装置，制御装置および制御システム |
| JP2001338854A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Canon Inc | 半導体製造装置、半導体製造装置のコンソール部、半導体製造システムおよびデバイス製造方法 |
| JP2002041124A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Toshiba Corp | 生産管理システムおよび生産管理情報利用システム |
| ATE408971T1 (de) * | 2001-09-25 | 2008-10-15 | Yashpal Singh | System, das ein mobiltelefon automatisch sperrt oder ausschaltet |
| US20050032516A1 (en) * | 2002-05-24 | 2005-02-10 | Bruno Marchevsky | Method and apparatus for detecting the presence of a wireless network |
| JP4543657B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法、並びにプログラム |
-
2002
- 2002-03-12 JP JP2002067066A patent/JP2003272982A/ja active Pending
-
2003
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