KR20040086661A - 세정장치와 그 워크반송방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프레임에 설치한 반입측의 반송 수단과, 상기 프레임에 복수 설치한 워크 유지용 레일·초음파 발생기를 구비한 조(槽) 하부와, 상기 조 하부에 합체하는 초음파 발생기를 구비한 각 조 상부와, 각 조 상부를 승강하는 승강 수단과, 워크 반송용 암 기구와, 암 기구의 전진 후퇴를 맡는 이동 수단과, 암 기구의 요동 복귀를 맡는 가동 수단과, 처리 완료 워크를 반송하는 반출측의 반송 수단으로 구성되는 세정 장치로서, 반송 수단과 각 조 하부의 레일을 대략 같은 면에 설치하고, 상기 반송 수단과 레일을 통해 수평 이동시키고, 각 조 하부와 각 조 상부와의 합체를 이용해 세정, 건조 처리를 실시하는 세정 장치이다. 따라서, 수평 방향 이동으로 세정, 처리 및 이동을 도모하여 작업의 간략화, 스피드화, 용이화를 도모한다. 또, 조 상하부에 의한 분할식으로 하고, 조로의 유체 공급으로 초음파 세정을 도모하고, 초음파 장치의 기능의 확충을 도모하는 것을 특징으로 한다.

Description

세정장치와 그 워크반송방법{A CLEANSING APPARATUS AND METHOD FOR CARRYING A CLEANSING OBJECT}

본 발명은 조 하부에 대해 조 상부가 세정 1사이클마다 상하 이동하여 세정물(워크, 예를 들면 부품, 유리, 액정판 등)의 대략 수평 이동과, 조 상하부의 유체(세정수, 세정액, 린스액 등)를 탱크로 리턴하여, 유체 중에 부유하는 먼지의 제거를 의도한 세정장치와 이 세정장치의 워크 반송방법에 관한 것이다.

종래의 세정장치로는 일반적인 부품의 일례로서 도 24에 도시한 예가 있다. 즉, 배치 시스템이다. 그 개요를 설명하면 세정조에 유체를 충전하고, 이 유체중에 세정물(워크라고 함)을 침지하고, 이 침지한 상태로 초음파 세정하는 구성이다. 이 구성에서는 다음과 같은 문제가 있었다. 즉, 워크를 수평이동 및 상하 이동시켜 세정조내에 침지하기 때문에 반송장치·동작이 복잡해지거나 또는 반송에 시간을 요해 작업능률이 나빠지는 등의 문제가 있었다. 또 이 구성에서는 워크의 이동이 수평이동 등의 복합 방향이 되고, 이 복합 이동에 따라서 장치의 설치 공간의 확장, 장치의 복잡화 또는 공장의 대형화 등을 초래하는 등의 문제가 있었다. 또, 상기와 같은 배치 시스템에서는 유체에 부유 또는 혼입하는 먼지, 오염 등의 제거가 곤란하였다.

또 특수한 물품으로는 평판형상의 워크(예를 들면, 유리, 액정판 등)가 있다. 이 일례에서는 워크를 체인 반송 및 가이드부재를 이용하여 반송하면서 세정하는 구성이다. 이 방법에서는 워크에 가이드부재의 흔적이 남아 불량품 발생의 요인이 되거나 또 후처리가 필요해져, 능률 저하, 비용 상승을 초래하는 것 등의문제가 있었다. 또 이 수평방식에서는 세정조에 구멍, 절개부를 설치하고, 이 구멍을 이용하여 워크를 이동시켜, 세정액 등을 오버플로우하는 구성이다. 따라서 세정액의 오버플로우하는 이용이 많아지고, 공급량의 증대와 세정 탱크의 대형화 등을 초래하거나 또는 개구부의 면적에 제한이 있는 문제가 있었다.

또, 작은 부품 등의 세정시에는 워크내에 부품을 넣고, 상기 부품을 고정상태로 세정, 건조하는 구조가 주체이고, 단기간에 깨끗하게 세정하는데는 충분하지 못했다. 또, 물품을 회전 세정하는 구조의 장치도 존재하지만, 대형 장치로서 본 발명이 의도하는 작은 물품 및 초음파 세정에는 부적절하다.

또, 분할식 조를 구비한 선행 특허문헌으로는 일본 특개평7-136606호의 세정장치가 있다. 이 문헌은 조 내에 유체 공급 호스 및 배수파이프를 구비한 수평방향으로 2분할된 분할식 조를 설치하고, 이 분할식 조에 수평·승강 이동하는 초음파 진동자를 설치하고, 또 분할식 조에 건조 회전 테이블을 설치하여, 한개의 조에서 세정 및 건조를 도모하는 구성이다.

상기와 같이, 종래의 침지방식의 구성에서는 복합 이동에 따른 폐해, 예를 들면 장치의 설치 공간의 확장, 장치의 복잡화 또는 공장의 대형화 등을 초래하는 등의 과제가 있었다. 또 종래의 체인 반송 등을 이용하는 구성에서는 흔적이 남고, 불량품 발생의 요인이 되거나 후처리가 필요해지고, 능률의 저하를 초래하거나 또는 개구부의 면적에 제한이 있는 등의 문제가 있었다. 또 종래 공지된 회전식 세정장치에서는 본 발명이 의도하는 작은 물품 및 초음파 세정에는 부적절하다.

그리고, 문헌은 분할식으로서, 각 조의 상호이동과 합체를 반복하고, 이 각 조가 분할된 상태로 초음파 진동자의 설정 또는 재설정을 실시하고, 이 설정 및 재설정의 동작을 수평·승강 이동을 실시하는 구성이다. 따라서 장치·작업이 복잡해지고, 또 작업·세정 등에 시간을 요하는 등의 과제가 있었다.

도 1a와 도 1b는 본 발명의 각각 일례의 동작 전체를 설명한다. 우선, 도 1의 (A)의 예에서 (가)는 조(槽) 상부가 상승한 상태, (나)는 워크가 조 하부내에 반송된 후, 조 상부가 강하하고, 조 하부와 합체된 상태, (다)는 워크를 세정하는 상태, (라)는 세정 후에 조 상부가 상승한 상태, (마)는 워크가 조 하부외로 반송된 상태, 또, (가-1)은 (가)를 평면으로 본 상태를 나타내는 모식도이다. 그리고, (B)의 예에서는 (가’)는 조 상부가 상승한 상태, (나’)는 워크가 조 하부내에 반송된 후, 조 상부가 강하하고, 조 하부와 합체된 상태, (다’)는 워크를 세정하는 상태, (라’)는 세정 후에 조 상부가 상승한 상태, (마’)는 워크가 조 하부외로 반송된 상태, (가’-1)은 (가’)를 평면으로 본 상태를 나타내는 모식도,

도 2는 일례를 설명하는 전체의 축척 정면모식도,

도 3은 일례를 설명하는 평면도,

도 4는 일례를 설명하는 측면도,

도 5는 다른 일례를 설명하는 전체 축척 정면모식도,

도 6은 다른 일례를 설명하는 평면모식도,

도 7은 다른 일례를 설명하는 정면모식도,

도 8은 다른 일례의 세제초음파 세정 또는 린스 초음파 세정을 설명하는 측면모식도,

도 9는 다른 일례의 린스 샤워 세정을 설명하는 측면모식도,

도 10은 다른 일례의 암 기구의 이동·가동 수단을 설명하는 일부 평면 모식도,

도 11은 다른 일례의 암기구의 이동·가동 수단을 설명하는 측면모식도,

도 12는 다른 일례의 암기구의 가동수단의 가동을 설명하는 확대 정면모식도,

도 13은 다른 일례의 암기구의 가동수단의 주요부를 설명하는 확대 정면모식도,

도 14는 다른 일례의 암기구의 가동수단의 가동의 회로를 설명하는 확대 정면모식도,

도 15는 다른 일례의 조 상부의 승강수단을 설명하는 평면모식도,

도 16은 다른 일례의 조 상부의 승강수단을 설명하는 측면모식도,

도 17은 다수의 투과구멍을 구비한 바구니수단을 본 장치에 설치한 상태의 주요부 정면 모식도,

도 18은 도 17의 측면 모식도,

도 19는 도 17에 도시한 바구니수단의 확대 평면 모식도,

도 20은 도 19의 정면모식도,

도 21은 도 19의 측면모식도,

도 22는 다른 일례의 세정 초음파 세정을 설명하는 플로우차트,

도 23은 다른 일례의 린스 초음파·린스 샤워 세정을 설명하는 플로우차트 및

도 24는 종래의 세정장치의 일례를 설명하는 모식도이다.

A : 프레임 A1 : 베이스프레임

A2 : 윗쪽 프레임 A’: 부착부

B : 외부 조(槽) C : 반입측

C1 : 시단 C2, D2 : 내면

D : 반출측 D1 : 종단

E1∼E4 : 조 하부 F1∼F4 : 조 상부

G : 암기구 H : 이동수단

I : 가동수단 J : 승강수단

K : 세정액 탱크 L, M : 린스액 탱크

N : 초음파 발생기 O : 회전수단

P : 바구니수단 1 : 구획판

100 : 액체 배출구 1000, 2, 3 : 롤러

4 : 개구 5 : 워크 유지 레일

6, 7 : 차양부 7’ : 홈

8 : 노즐 9 : 온풍배출구

이하, 본 발명의 실시형태를 설명한다.

도 1a의 예와 같이, 워크는 반송수단을 통하여 수평 이동된다. 이 수평 이동된 워크는 분리할 수 있는 조가 개방된 상태일 때, 이 분리된 조내에 도입된다(도 1a의 (가), (가-1) 참조). 이 수평이동을 통해 워크는 확실하고 정확히 분리된 조에 배치된다. 이 배치가 완료된 상태에서 다른 분리된 조가 이동하고, 분리된 조가 합체하여 일체가 된다(도 1a의 (나) 참조). 그리고, 이 합체된 상태를 파악해, 조에 워크 세정용 세정액이 도입되고, 또 세정액과 초음파를 이용하여 워크 또는 워크내에 충전되어 있는 부품 등의 세정 처리가 실시된다(도 1a의 (다) 참조). 이 처리가 종료된 후, 합체의 개방이 진행되어 분리된 조가 이동한다(도 1a의 (라) 참조). 이 이동에서 분리된 조가 소정 위치에 정지하여 재배치되고, 처리 완료 워크가 워크 반송수단에 의해 분리된 조 내에서 다른 분리된 조를 향해 수평이동된다(도 1a의 (마) 참조). 또 분리된 조의 이동과 처리 완료 워크의 워크 반송이 동시인 경우도 있을 수 있다. 이상에서 설명한 동작이 1회 또는 수회 실시되어 워크의 세정이 종료된 후에 전술한 바와 같은 동작을 실시하여 건조조로 반송되고, 상술한 조작, 예를 들면 조의 합체, 분리와, 온풍의 급배(給排) 등을 실시하여 건조 처리가 종료된다(도시하지 않음). 또, 건조조는 일체형인 경우도 있을 수 있다. 그 후, 워크 반송수단을 이용하여 수평이동하여, 다른 반송수단에 도입한다. 그리고, 이외의 반송수단에서 장치 외부로 반출된다(도시하지 않음).

또, 도 1b의 예와 같이 통형상의 바구니수단은 반송수단을 통해 수평이동된다. 이 수평이동된 바구니수단은 분리할 수 있는 조가 개방된 상태일 때, 이 분리된 조내로 도입된다(도 1b의 (가’), (가’-1)참조). 이 수평이동을 통해 바구니수단은 확실하고 정확히 분리된 조에 배치된다. 이 배치가 완료된 상태에서 다른 분리된 조가 이동하여 분리된 조가 합체하여 일체가 된다(도 1b의 (나’) 참조). 그리고, 이 합체한 상태를 파악해, 조에 바구니수단 세정용 세정액이 도입되고, 또 이 바구니 수단을 회전한다. 이 바구니 수단의 회전은 바구니 수단에 설치한 회전판이 회전 롤러를 이용하여 회전되는 것으로 바구니수단내에 충전되어 있는 부품 등은 회전하면서 세정액과 초음파를 이용하여 세정 등의 각 처리가 실시된다(도 1b의 (다’) 참조). 이 처리가 종료된 후, 합체의 개방이 진행되어 분리된 조와 회전 롤러(분리된 조 등이라고 한다)가 이동한다(도 1b의 (라’) 참조). 이 이동에서 분리된 조 등이 소정 위치에 정지하여 재배치되고, 처리 완료 부품은 워크 반송수단에 의해 분리된 조 내에서 다른 분리된 조를 향해 수평 이동된다(도 1b의 (마’) 참조). 또, 분리된 조의 이동과 처리 완료 부품의 워크 반송이 동시인 경우도 있을 수 있다. 이상에서 설명한 동작이 1회 또는 수회 실시되어 부품의 세정이 종료된 후에, 상기와 동일한 동작을 실시하여 건조조로 반송하고, 상기한 동작, 예를 들면 조의 합체, 분리와, 온풍의 급배 등을 실시하여 건조 처리가 종료된다(도시하지 않음). 또, 건조조는 일체형의 경우도 있을 수 있고, 또 회전롤러를 이용하여 바구니수단을 회전 건조하는 것도 가능하다. 그 후, 워크 반송수단을 이용하여 수평이동하고, 다른 반송수단에 도입한다. 그리고, 이 다른 반송수단에서 장치 외부로 반출된다(도시하지 않음).

(실시예)

이하, 본 발명의 일례를 도면을 참조하여 설명한다.

본 발명은 프레임(A)(장치)과, 프레임(A)의 베이스프레임(A1)에 설치한 외부 조(B)와, 이 외부 조(B)에 설치한 반송수단의 반입측·반출측(C, D)과, 외부 조(B)에 1기 또는 여러 기를 설치한 분할할 수 있는 조의 조 상하부(E1·E1∼4, F1·F1∼4)(설명상에서, 조 상하부(E1∼4, F1∼4로 한다))와, 상기 프레임(A)의 윗쪽 프레임(A2)에 구비한 워크(W)를 반송하는 상기 분할할 수 있는 조의 후부에 위치하고, 또 상기 반송수단의 한개의 날개를 담당하는 암 기구(G)와, 이 암 기구(G)의 전진 후퇴를 담당하는 이동수단(H)과, 또 상기 암 기구(G)의 요동 복귀를 파악하는 가동수단(I)과, 상기 조 상부(F1∼F4)를 승강하는 승강수단(J)과, 예를 들면 세정액을 저장하는 세정액 탱크(K)(제 1 공정용 탱크)와, 린스액을 저장하는 린스액 탱크(L)(제 2 공정용 탱크), 린스액 탱크(M)(제 3 공정용 탱크)와, 상기 분할할 수 있는 조(예를 들면, 조 상하부(E1, E2·F1, F2 등))의 한쪽 또는 양쪽의 적소에 1기 또는 여러 기를 설치하는 초음파 발생기(N)(초음파 진동자) 또는 노즐장치(도시하지 않음)를 주요 구성요소로 한다. 또, 조 상하부(E1∼E4, F1∼F4)는 원칙적으로 동시에 조작된다. 또 조 상하부(E1∼E4, F1∼F4)의 수, 형상, 치수 등은 처리물, 처리방법 등의 사용실시에 의해 증감되거나 또는 반입측·반출측(C, D)과, 조 상하부(E1∼4, F1∼4)의 배치 또는 동작, 순서 등은 세정의 마무리, 린스 세정, 알칼리 세정 등의 세정 실시, 사용 실시 또는 처리액 등에 따라 다르고 최적인 구조가 된다. 어쨌든 다목적으로 사용할 수 있는 세정 장치이다. 또, 조 하부(E3)의 경우에는 바닥부를 개방한다. 또 도면중 도면부호 “O”은 바구니수단(P)를 회전시키는 회전 수단이다.

이하, 각 구성의 일례를 설명한다.

1. 외부 조(B)를 설명한다.

이 외부 조(B)는 도 2, 도 5(대표 예의 도면을 나타낸다)에 도시한 바와 같이, 베이스프레임(A1)에 설치되고 있고, 이 외부 조(B)의 반입 방향(도 3의 우측, 도 6의 상측)에는 반입측(C)이, 또 반출 방향(도 3의 좌측, 도 6의 하측)에는 반출측(D)이 각각 설치되어 있다. 이 외부 조(B)는 상기 조 하부(E1~4)에 대응해 구획되어 있다. 도면부호 “1”은 구획판을 나타낸다. 또 도면부호 “100”은 외부 조(B)의 액체 배출구를 나타낸다.

2. 반입측(C)를 설명한다.

이 반입측(C)은 도 3에 도시한 바와 같이 자동 회전식의 롤러(2)를 다수의 축으로 지지한 구성이며, C1은 반입 위치(시단), C2는 내면을 나타낸다. 적어도 내면(C2)에 정지용 스위치(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 또, 반입측(C)은 벨트 컨베이어, 레일 등의 구성도 가능하다.

3.반출측(D)을 설명한다.

이 반출측(D)은 도 3등에 도시한 바와 같이, 자동 회전식의 롤러(3)를 다수의 축으로 지지한 구성이며, D1은 반출 위치(종단), D2는 내면을 나타낸다. 적어도 내면(D2)에 정지용 스위치(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 또, 반출측(D)은 벨트 컨베이어, 레일 등의 구성도 가능하다.

4. 외부 조(B)에 여러 기를 설치한 분할할 수 있는 조(세정조)의 조 하부 (E1~E4)를 설명한다.

도 5~도 16의 예에서는, 조 하부 (E1~E4)는 그 개구(4)(윗면)가 상기 반입측·반출측(C, D)의 롤러면과 대략 같게 구성되고, 워크(W), 지그를 수평 이동 가능하게 한다. 그리고, 조 하부(E1~E3)는 바닥부에 배관(40)(후술함)이 각각 설치되고 있어, 조 하부(E1)에서는 세정액, 조 하부(E2)에서는 린스액이, 또 조 하부 (E3)에서는 린스액이 각각 유하(流下)된다. 또 분할할 수 있는 조의 조 상부 (F1~F4)는 후술 하는 승강수단(J)으로 승강해, 조 하부(E1~E4)에 합체된다. 이 합체 부분에 차양부(6)를 설치하여, 조 상부(F1~F4)의 차양부(7)로 밀착 상태를 확보한다. 이 차양부(6)와 차양부(7)의 접합을 이용해 기밀성을 확보하고, 예를 들면, 세정액의 누설·비산 방지, 합체 부분의 밀봉, 일체형의 조와 같은 구성, 작용으로 하는 것, 또는 건조의 효율화, 기계 가공, 조립 가공등을 도모하는 것도 가능하다. 또 밀착 상태의 확보는 시일수단으로도 얻을 수 있다. 이 시일수단으로서 발진이 적은 테플론재를 채용해 접착제, 지구(止具) 등으로 멈추게 할 수도 있다. 이 예로도 상기와 동일한 기구가 된다. 또, 조 상부(F1, F2)의 차양부(7)의 경우에는 세정액, 린스액 용도의 홈(7＇)을 겸하고 있고, 또 이 홈(7＇)이 절개된 일부로부터 세정액, 린스액을 유하하여, 외부 조(B)로 흘리는 구성으로 한다. 또 조 상하부(E1~E4, F1~F4)의 밀착 상태의 확보로 세정액, 린스액, 온풍등의 누설을 없애는 구조로 한다. 도면중 “5”는, 조 하부(E1~E4)의 개구(4)(표면)에 대략 면이 일치되게 설치된 워크 유지 레일을 한방향의 양측에 설치하고, 워크(W)의 수평 이동을 확보한다. 또 워크 유지 레일(5)은 같은 목적(수평 이동)을 달성할 수 있으면 장치의 다른 장소에 설치할 수도 있다. 그리고, 본 발명은, 분할할 수 있는 조의 상면 및/또는 구멍에서의 오버플로우에 의한 세정을 의도한다.

또, 도면중 “8”은 린스 샤워 세정의 린스액 분사용 노즐을 도시하고 있고, 조 상하부(E3, F3)에 설치하지만, 필요에 따라 변경 및/또는 증감된다. 또 조 상하부(E4, F4)는 온풍, 진공 건조용의 건조조이며, 온풍의 공급과 감압 처리된다. 도면중 “9”는 온풍 배출구를 나타낸다. 또 조 하부(E1~E4)는 외부 조(B)에 설치한 간막이판(도시하지 않음)을 통해 구획된 구성에서도 가능하다. 또 간막이판은 착탈 자유로운 구성도 가능하다.

그리고, 도 2~도 4 등에 도시한 분할할 수 있는 조가 1기의 예에서는, 조 하부(E1)와 조 상부(F1)와의 조합 구조이고, 이 1기의 조 하부(E1)와 조 상부(F1)에 의해 각 처리를 실시하는 것을 주체로 한다. 그러나, 예를 들면, 린스 샤워 세정, 건조 처리의 경우에는, 다른 기구를 부가할지 또는 다른 건조 장치에 반송할지 등의 수단을 채용한다.

5. 암 기구(G)의 전진 후퇴를 맡는 이동 장치를 구비한 이동 수단(H)를 설명한다.

이 이동 수단(H)은 베이스프레임(A1)에 설치한 암 지지체(10)(블라켓)와, 이 암 지지체(10)에 설치한 프레임(A)의 베이스프레임(A1)에 대략 평행 하도록 배치되는 가이드레일(11)과, 이 가이드레일(11)에 수평 방향(Y)으로 이동 가능하게 설치한 이동바퀴(12)와, 이 이동바퀴(12)에 설치한 암 이동체(13)와, 이 암 이동체(13)의 평면에 설치한 래크(14)(나사결합면)와, 이 래크(14)에 서로 맞물리는 톱니바퀴(15)와, 이 톱니바퀴(15)를 회전시키는 베이스프레임(A1)에 설치한 모터(16)와, 상기 이동바퀴(12)에 설치한 조방향(X)으로 연이어 설치된 암 지지부(17)와, 이 암지지부(17)에 축으로 지지한 암 부착부(18)와, 이 암 부착부(18)에 설치한 복귀시에 기립하는 암 기구(G)로 구성된다. 또, 암 기구(G)의 이동 수단(H)은 도시하지 않지만, 실린더와 암 부착부(18)를 커플링을 통해 접속하여, 상기 암 부착부(18)를 실린더로 이동하는 구성으로 하는 예도 있다. 이 커플링을 이용해 암 부착부(18)의 회전에 대응하거나 또는 실린더의 회전으로 대응한다. 또 암 기구(G)의 이동 수단은 도시하지 않지만 캠에 설치한 링크를 암 부착부(18)에 연계하여 이 암 부착부(18)를 캠과 링크로 이동하는 구성으로 하는 예도 있다. 다른 구성은, 상술한 예에 준한다. 또 래크(14)와 톱니바퀴(15)는 암 이동체(13)의 동작 수단의 일례이다. 또, 도시하지 않지만 이 이동 수단(H)만으로 워크(W)를 수평 이동하는 것은 가능하다. 예를 들면, 실린더, 가동 레버, 또는 캠과 링크등의 누름, 가동등의 이동 기구이다.

6. 또 암 기구(G)의 요동 복귀를 맡는 가동 장치를 구비한 가동 수단(I)를 설명한다.

이 가동 수단(I)은 베이스프레임(A1)에 설치한 암 지지체(10)와, 이 암 지지체(10)에 설치한 프레임(A)의 베이스프레임(A1)에 대략 평행 하도록 배치되는 가이드레일(11)과, 이 가이드레일(11)에 수평 방향(Y)으로 이동 가능하게 설치한 이동바퀴(12)와, 이 이동바퀴(12)에 설치한 암 이동체(13)와, 이 암 이동체(13)에 설치한 실린더(20)와, 이 실린더(20)의 피스톤 로드(200)가 고정된 링크(21)와, 이 링크(21)의 자유단이 고정된 암 부착부(18)로 구성된다. 또, 암 기구(G)의 가동 수단(I)은 도시하지 않지만, 캠에 설치한 링크를 암 부착부(18)에 연계 해, 암 부착부(18)을 캠과 링크로 가동 복귀시키는 구성으로 하는 예도 있다. 다른 구성은, 상기한 예에 준한다.

7. 조 상부(F1~F4)의 승강을 맡는 승강 장치를 구비한 승강수단(J)를 설명한다.

이 승강수단(J)은 윗쪽 프레임(A2)에 설치한 긴 구멍(22)과, 이 긴 구멍(22)을 승강하는 승강 가로대(23)와, 이 승강 가로대(23)에 설치한 협지부 (230)가 끼워지는 윗쪽 프레임(A2)에 설치한 가이드체(24)와, 승강 가로대(23)에 설치한 래크(25)와, 이 래크(25)에 서로 맞물리는 톱니바퀴(26)와, 이 톱니바퀴(26)를 걸쳐 지지하는 회전축(27)과, 이 회전축(27)을 회전하는 모터(28)와, 이 회전축(27) 및 모터(28)를 지지하는 윗쪽 프레임(A2)에 설치한 지지체(29, 30)로 구성된다. 또, 조 상부(F1~F4)를 승강하는 승강수단(J)은 도시하지 않지만, 실린더, 또는 캠과 링크등의 수단을 이용해, 승강 가로대(23)를 승강하는 구성으로 하는 예도 있다. 다른 구성은 상기한 예에 준한다. 그리고, 이 승강수단(J)에 의한 조 상부(F1~F4)의승강 방향, 승강 각도, 승강 스피드등은 한정되지 않는다. 또 이 승강수단(J)은 경첩 방식을 채용해, 윗쪽 프레임(A2)등의 프레임(A)에 가동 가능하게 설치하고, 실린더(도시하지 않음) 등의 구동 수단을 이용해, 가동(요동, 복귀)이 자유로운 구성, 장치의 간략화, 스피드화 또는 크기의 소형화등에 도움이 된다.

8.세정액 탱크 (K)와, 린스액 탱크(L)와, 린스액 탱크(M)( 각 액의 서브탱크)를 설명한다.

이 세정액 탱크 (K)는 조 하부(E1)와 배관(40~42)을 통해 연이어 설치되어 있고, 배관(40)은 세정액의 복귀용으로, 배관(41, 42)은 세정액의 공급용으로서 이용한다. 도면중 도면부호 “43”은 히터, “44”는 펌프, “45”는 정수용 배관을 각각 나타낸다. 또 린스액 탱크(L)는 조 하부(E2)와 배관(50~52)을 통해 연이어 설치되어 있고, 배관(50)은 세정액의 복귀용, 배관(51, 52)은 린스액의 공급용으로서 이용한다. 도면중 도면부호 “53”은 히터, “54”는 펌프, “55”는 맑은물용 배관, “56”은 탈산소장치를 각각 나타낸다. 또 린스액 탱크(M)는 조 하부(E3)와 배관(60, 61)을 통해 연이어 설치되어 있고, 배관(60)은 세정액의 복귀용, 배관(61)은 린스액의 공급용으로서 이용한다. 도면중 도면부호 “63”은 히터, “64”는 펌프, “65”는 맑은물용 배관, “67”은 간막이판을 각각 나타낸다. 도면중 도면부호 “1000”은 가이드 롤러이고, 롤러면은 조 하부(E1~E4)의 개구(4)와 면이 일치되어, 워크(W), 지그의 수평 방향의 이동에 기여한다. 또, 탱크류에는 서브탱크를 장비하고, 펌프 업으로 세정액 등을 탱크등의 장치에 급배(給排)하는 구성을 채용해, 세정액등의 유효 이용, 연속 세정, 고속 세정, 장시간 세정, 또는설치·장치의 공간 절약화등을 도모하는 것도 가능하다.

9. 회전 수단(O)은 조 상부(F1, 2) 등에 세워 설치한 부착부(A＇)에 승강 자유롭게 설치되고 있고, 이 회전 수단(O)은 모터(70)와, 이 모터(70)에 의해 회전하는 모터 출력축(700)에 설치한 구동측 차(71)와, 이 구동측 차(71)와 전달 매체 (72)를 통해 연계하는 종동측 차(73)와, 이 종동측 차(73)의 종동축(730)에 설치한 회전 롤러(74)로 구성된다. 그리고, 이 모터(70)의 회전을, 구동측 차(71)와, 전달 매체 (72) 및 종동측 차(73)를 경유해 회전 롤러(74)에 전달한다. 따라서, 이 회전 수단(O)은 조 상부(F1, F2)등과 함께 승강하고, 이 회전 롤러(74)는 후술 하는 바구니수단(P)의 회전판에 접리(接離)한다. 이 회전 롤러(74)와 회전판과의 접촉으로 바구니수단(P)이 회전하고, 또 그 이간으로 회전이 정지한다. 이와 같이 조 상부(F1, F2)등과 함께 승강하고, 또 회전 롤러(74)를 통해 회전 또는 정지하는 구성을 채용해, 단시간에 확실하게 청정, 린스등의 처리를 한다. 또 세정등의 효율화, 저비용화, 또는 물의 유효 이용과 배수 처리의 간편화, 2차 공해의 해소등에 유효하다. 도면중 도면부호“75”는 종동측 차(73)를 지지하는 조 상부(F1, F2)등에 관통하여 설치한 지지축을 나타낸다.

10. 바구니수단(P)은 베이스(80)와, 이 베이스(80)에 설치한 베어링(81)과, 이 베어링(81)에 걸려 고정되어 축(82)를 구비한 덮개(83)(회전판을 겸함)와, 이 덮개(83)에 끼워 맞춰지는 해당 베어링(81)에 회전 자유롭게 지지되는 바구니체(84)로 구성된다. 따라서, 이 바구니체(84)는 적어도 덮개(83)의 어느 한쪽의 착탈에 의해 개폐된다. 이 덮개(83)의 개방으로 바구니체(84)에 부품을 출납한다. 또 덮개(83)의 폐쇄로 바구니체(84)에 부품을 수용한다. 이 예에서는, 바구니체(84)내의 부품을 구석구석까지 청정 처리등을 할 수 있다. 그리고, 상기 덮개(83)가 회전판을 겸하는 것으로, 구조의 간략화, 저비용화, 또는 운용비용의 저렴화등에 도움이 되는 이점이 있다. 또, 바구니수단(P)은 일례이며, 도시하지 않는 뚜껑의 개폐에 의한 방식도 가능하다. 도면중 도면부호 “85”는 고정 부재를 나타낸다.

이하, 본 실시예에 있어서의 바람직한 세정과 작업 및 반송의 일례를 설명한다.

도 6과 같이, 워크(W)가 반송 수단의 반입측(반입측으로 함)의 시단에 얹어 설치되면, 이 반입측이 자동적으로 회전해, 해당 워크(W)는 반입측(C)의 내부길이 방향으로 수평 이동된다. 그리고, 워크(W)가 내면위치에 이르면, 도시하지 않은 센서에 의해 소정의 위치에 정지한다. 이 정지가 확인되면 도시하지 않은 스위치가 작동해, 도 10, 도 11과 같이, 암 기구(G)용의 실린더(20)가 작동하고, 이 실린더(20)의 피스톤 로드(200)가 후퇴해 링크(21)을 되돌리는 것으로 암 부착부(18)를 회전시킨다. 이 암 부착부(18)의 회전에 의해 암 기구(G)가 도 12의 화살표(A)방향으로 요동하고, 워크(W)의 측면에 도달해(도 10의 실선), 스위치에 의해 정지한다. 이 암 기구(G)의 정지 후, 이 스위치등의 작동으로, 도 10, 도 11과 같이, 암 기구(G)용의 모터(16)가 회전한다. 이 회전에 의해, 출력축의 톱니바퀴(15)(평(平) 톱니바퀴)가 회전하고, 이 회전에 의해 래크(14)가 전진 방향으로 이동하고, 또 래크(14)의 움직임에 동조하여 암 이동체(13)및 암 부착부(18)등이전진 이행 한다. 즉, 암 기구(G)가 전진 이행 한다. 이 암 기구(G)의 전진 이행으로, 반입측(C)의 내면위치에 있던, 워크(W)를 소정 거리 전진시킨다(워크(W)를 분할한 조내로 향해 수평 이동시킨다). 이 전진위치에서, 도시하지 않은 스위치의 동작에 의해, 워크(W) 및 암 기구(G)가 정지한다(도 10의 상상선). 이 정지 후, 도 10, 도 11에서 설명한 역의 조작이 되어, 암 기구(G)용의 실린더(20)가 작동해, 이 실린더(20)의 피스톤 로드(200)가 전진하고, 링크(21)을 복귀하는 것으로 암 부착부(18)을 역회전(일례임)한다. 이 암 부착부(18)의 역회전에 의해 암 기구(G)가 도 12의 화살표(B)방향으로 복귀하고, 워크(W)의 측면을 떠나 원래의 위치가 되어(도 10의 상상선), 각 동작이 종료한다. 계속해서, 도 10, 도 11에서 설명한, 역의 조작이 되어, 암 기구(G)용의 모터(16)가 역회전(일례임)한다. 이 역회전에 의해 출력축의 톱니바퀴(15)가 역회전하고, 이 역회전에 의해 래크(14)가 후퇴 방향으로 이동하고, 또, 이 래크(14)의 움직임에 동조해, 암 부착부(18)가 후퇴 이행 한다. 즉, 암 기구(G)가 후퇴 이행한다. 이 암 기구(G)의 후퇴 이행에 의해, 상기 암 기구(G), 암 부착부(18), 암지지부(17)등이 원래 위치가 되어(도 10의 실선), 각 동작 및 워크(W)가 분할된 조내로 향한 수평 이동이 종료한다.

이 암 기구(G)의 이동·가동 수단을 이용해, 워크(W)가 세제 초음파 세정 공정에 이르러, 조 하부(E1)의 워크 유지 레일(5)에 얹어 걸쳐진 단계에서 스위치의 조작에 의해 모터(28)가 회전하고, 이 모터(28)의 출력축에 설치한 톱니바퀴(26)가 회전하여 래크(25)를 하강시킨다. 또, 이 래크(25)는 승강 가로대(23)에 설치되어 있고, 해당 래크(25)의 하강은 그대로 승강 가로대(23)의 하강이 되고, 이 승강 가로대(23)는 가이드체(24)를 안내하고 윗쪽 프레임(A2)에 설치한 긴 구멍(22)을 하강시킨다. 이 승강 가로대(23)의 하강을 통해 조 상부(F1)가 차례차례 하강해, 도시하지 않은 스위치의 동작에 의해 정지한다. 이 정지 시에, 해당 조 상부(F1)와 조 하부(E1)가 합체하고, 이 합체한 조에 워크(W)가 유지된다. 또, 워크(W)는 워크 유지 레일(5)에 걸쳐져 지지되고, 조 하부(E1)에 함몰하도록 설치했기 때문에 초음파의 감쇠가 적은 특징이 있다. 또 워크 유지 레일(5)에 관한 수평 반송에 관한 문제점도 해소할 수 있다. 조 상하부 (E1, F1)가 합체된 상태에 있어서, 이 조 하부(E1)를 향해 정수 및/또는 세제로 이루어진 세정액을 차례차례 공급해, 상기 조 상부(F1)의 구멍에서 폐액하면서(세정액에 부유하는 협잡물을 배제하면서), 초음파 발진자의 진동을 이용해 워크(W)를 세정하고, 이 세정이 종료된다. 이 종료후, 스위치의 조작에 의해 모터(28)가 역회전하고, 이 모터(28)의 출력 축에 설치한 톱니바퀴(26)가 역회전해 래크(25)를 상승시킨다. 상기 래크(25)의 상승은 그대로 승강 가로대(23)의 상승이 되고, 이 승강 가로대(23)는 가이드체(24)를 안내하고 윗쪽 프레임(A2)에 설치한 긴 구멍(22)를 상승시키고, 또 이 상승시에 세정액이 분할할 수 있는 조내에 유하한다. 이 승강 가로대(23)의 상승을 통해 조 상부(F1)가 차례차례 상승해 도시하지 않은 스위치의 동작에 의해 정지한다. 이 정지 시에 상기 조 상부(F1)와 조 하부(E1)가 이간된다. 외부 조(B) 및 조 하부(E1)의 세정액은 배관(50)을 통해 세정액 탱크 (K)로 복귀된다. 이 일련의 동작(암(W)의 요동 복귀와 전진 후퇴, 조 상부(F1)의 승강, 또는 세정액의 공급 및 배출등에 의한 동작)으로, 예를 들면, 제1 공정이 되는 세정이 종료된다. 또, 조상하부(E1, F1)의 접합(합체) 부분의 면적을 넓게 해, 확실한 합체 또는 시일의 용이화, 오염 방지등을 도모한다. 그리고, 워크(W)에 세정액에 포함되는 협잡물의 부착을 없애 깨끗한 세정을 도모한다. 이 청정 시에, 바구니수단(P)를 이용해 청정하는 것이 가능하고, 예를 들면, 다수개의 작은 물질 부품 세정과, 이 부품에 결함을 생기게 하지 않고 깨끗하게 세정할 수 있는 것, 또는 회수 작업의 용이화, 간편화등을 도모할 수 있다.

이 제 1 공정이 종료된 시점에서, 린스 세정이라고 하는 제 2 공정으로 이행한다. 따라서, 제 1 공정의 조 하부(E1)에 존재하는 워크(W)를 이 제 2 공정으로 이행할 필요가 있고, 반입측(C)의 시단(C1)에 있는 다음의 워크(W)를 반입측(C)의 내부길이 방향으로 이행할 필요가 있다. 따라서, 상술한 바와 같이, 암의 요동과 전진 이행에 의해 이 제 1 공정의 워크(W)를 제2 공정으로, 또는 반입측(C)의 반입 위치에 있는 다음의 워크(W)를 이 반입측의 내면(C2)위치로 이행한다. 이 이행 후는 상술한 예와 마찬가지로 암 기구(G)의 복귀와 후퇴 이행에 의해 원래 위치로 되돌리는 것으로, 이 제2 공정에 의한 암 기구(G)의 동작은 정지한다. 한편, 조 하부(E2)에 존재하는 워크(W)는 린스 세정이 행해진다. 이 린스 세정에 있어서의 린스액의 흐름과 린스 세정 후의 조 상부(F2)의 승강과 린스액의 흐름은 상기한 제 1 공정의 세정 조작에 준한다. 이 일련의 동작으로 제 2 공정이 되는 린스 세정이 종료한다. 또, 린스액은 후술 하는 린스 샤워 세정의 사용이 끝난 린스액을 이용하는(가스켓 플로우)것으로 린스액의 유효 이용, 경비의 삭감, 합리화등을 도모한다.

이 제 2 공정이 종료된 시점에서 린스 샤워 세정이라고 하는 제 3 공정으로 이행한다. 따라서, 제 2 공정의 조 하부(E2)에 존재하는 워크(W)를 이 제 3 공정으로 이행할 필요가 있고, 반입측(C)의 반입 위치에 있는 다음의 워크(W)를 반입측(C)의 내부길이 방향으로 이행할 필요가 있다. 이 작업은 제 2 공정의 워크(W) 및 다음의 워크(W)를 상술한 암의 요동과 전진 이행에 의해, 이 제 2 공정의 워크(W)를 제 3 공정으로, 또 반입측(C)의 반입 위치에 있는 다음의 워크(W)를 이 반입측의 내면(C2)위치로 이행한다. 이 이행 후는 상술한 예와 마찬가지로 암 기구(G)의 복귀와 후퇴 이행에 의해 원래 위치로 되돌리는 것으로 이 제 3 공정에 의한 암 기구(G)의 동작은 정지한다. 한편, 조 하부(E3)에 존재하는 워크(W)는 린스 샤워 세정이 행해져 제3 공정의 워크(W)를 적어도 한방향, 또는 두방향(상하 방향), 다방향등의 노즐(8)로부터 세정된다. 이 세정은 구멍으로부터의 폐액를 필요로 하지 않는 구조 및/또는 밀봉식 조 구조로서 린스액의 바깥 공기로부터의 더러움, 다른 오염등을 해소하고, 또는 상기 제 2 공정에서의 린스액으로서의 이용을 도모하는 것 등을 의도한다. 이 린스 샤워 세정에 있어서의 린스액의 흐름과, 린스 세정 후의 조 상부(F3)의 승강과 린스액의 흐름은 상기한 제 1 공정의 세정 조작에 준한다. 단, 이 린스 샤워 세정에 사용된 사용이 끝난 린스액은 린스액 탱크에 공급해 린스 세정용의 린스액으로서 이용한다(가스켓 플로우). 이 일련의 동작으로, 제 3 공정이 되는 린스 샤워 세정이 종료한다.

이 제 3 공정이 종료된 시점에서 건조라고 하는 제 4 공정으로 이행한다. 따라서, 제 3 공정의 조 하부(E3)에 존재하는 워크(W)를 이 제 4 공정으로 이행할필요가 있고, 반입측(C)의 반입 위치에 있는 새로운 다음의 워크(W)를 반입측의 내부길이 방향으로 이행할 필요가 있다. 이 작업은 제 3 공정의 워크(W) 및 새로운 다음의 워크(W)를 상술한 암 기구(G)의 요동과 전진 이행 해, 이 제 3 공정의 워크(W)를 제 4 공정으로, 또 반입측(C)의 반입 위치에 있고 또 다음의 워크(W)를 이 반입측(C)의 내면(C2)위치로 이행한다. 이 이행 후는 상술한 예와 마찬가지로 암 기구(G)의 복귀와 후퇴 이행에 의해 원래 위치로 되돌리고, 이 제 4 공정에 의한 암 기구(G)의 동작은 정지한다(워크(W)를 분할한 조 외부로 수평 이동시킨다). 그 후, 조 상부(F4)가 상술한 제 1 공정과 마찬가지로 하강하고, 조 하부(E4)에 합체 한 상태로 워크(W)의 건조 처리가 행해진다. 이 건조 처리 종료후의 조작은 상술한 제 1 공정의 세정 조작에 준한다. 그리고, 이 일련의 동작으로 제 4 공정이 되는 건조 및 워크(W)가 분할된 조 외부로 향하는 수평 이동이 종료한다.

이상의 제1~4 공정으로 도시한 예의 워크(W) 세정 처리가 종료한다. 이 종료후, 처리 완료 워크(W)는 제 4 공정에서 반송 수단의 반출측(D)(반출측이라고 한다)에 도달한다. 따라서, 제 4 공정의 조 하부에 존재하는 워크(W)를 이 반출측(D)으로 이행할 필요가 있고, 반입측(C)의 반입 위치에 있는 마지막 워크(W)(이 일례에 있어서의 마지막임)를 반입측(C)의 내부길이 방향으로 이행할 필요가 있다.

이 작업은 제 4 공정의 워크(W) 및 마지막 워크(W)를 상술한 암 기구(G)의 요동과 전진 이행에 의해, 이 제 4 공정의 워크(W)를 반출측(D)의 내면(D2)위치로 보낸다. 이 이행 후는, 상술한 예와 마찬가지로 암 기구(G)의 복귀와 후퇴 이행에의해 원래 위치로 되돌아 가고, 이 제 4 공정에 의한 암 기구(G)의 동작은 정지한다. 또 반입측(C)의 반입 위치에 공급된 다음의 세정용의 워크(W)는 반입측(C)의 롤러(2)등의 동작을 통해 내면(C2)위치로 보내진다. 그 후, 조 상부(F4)의 상승등의 조작이 행해진다. 또 반출측(D)의 내면(D2)위치에 이른 처리 완료 워크(W)는 반출측(D)의 롤러(3)의 동작을 통해 종단(D1)으로 보내진다.

이상으로 개별적으로 설명한 반입측(C), 제1~4 공정 및 반출측(D)이, 일련의 흐름으로서, 이 흐름이 종료하면 워크(W)의 세정 처리, 건조 처리가 종료한다. 따라서, 이 일련의 흐름을 기본으로, 자동적으로 워크(W)의 반입·처리·반출이 행해진다. 그리고, 본 발명에서는, 세제 초음파·린스 초음파·린스 샤워 세정용의 조와 암 기구(G)의 이동·가동 수단(H·I), 조 상부(F1~4)의 승강수단(J)등의 구동부를 이간하고 상기 세제 초음파·린스 초음파·린스 샤워 세정용의 조를 차폐하는 구성으로 했기 때문에, 바깥 공기, 구동부등으로부터의 진, 먼지, 이물질 등 (진류라고 함)에 의한 오염을 없애, 세정액, 워크(W), 분할할 수 있는 조, 또는 외부 조(B)의 오염 방지와 청소 회수의 감소, 또는 관리의 용이화등을 도모할 수 있다. 또 구동부는 발진 방지를 의도해 에어실린더를 이용하는 예도 있다. 그리고, 바구니수단(P)를 이용해 세정했을 경우에는 바구니체(84)의 취출과 이 바구니체(84)로부터의 덮개(83)을 떼어내기를 이용해 상기 바구니체(84)속에서 처리 완료된 부품을 꺼낸다.

청구항 1의 발명은, 프레임에 설치한 워크를 수평 이동시키고 반입하는 반입측의 반송 수단을 설치하고, 프레임에 설치한 외부 조내에 배치된 상하로 분할할 수 있는 조 상부와 조 하부로 이루어진 조를 복수기 장치하고, 복수기의 적어도 1기의 상하조에 초음파 세정 장치를 설치하고, 프레임에 설치한 조 하부의 개구 표면의 면위치에서 워크 유지 레일을 설치하고, 워크 유지 레일에 얹어 걸쳐진 워크, 바구니 수단을 분할한 상태에서 조 하부를 향해 수평 이동을 가능하게 한 프레임상에서 전진 후퇴 및 요동 복귀하는 암 기구를 구비한 가동 수단, 또는 분할한 상태로 조 외부를 향해 수평 이동시키는 반출측의 반송 수단을 설치한 세정 장치이다. 따라서, 처리 마다의 조 상부의 상하이동 및 수평 이동을 이용해 세정, 처리 및 이동을 도모하고, 작업의 간략화, 스피드화 , 용이화등을 도모할 수 있는 것, 또는 처리액에 부유 또는 혼입하는 티끌의 제거를 도모할 수 있는 것, 또 세정액등의 공급량의 조정 및/또는 감소화에 의해, 개구부의 면적에 대한 제한이 없는 것 등의 특징이 있다.

청구항 2의 발명에 있어서의 암 기구의 이동 수단은, 베이스장치에 설치한 암 지지체와, 암 지지체에 설치되고 베이스프레임에 대략 평행 하게 배치되는 가이드레일과, 가이드레일에서 이동 가능하게 설치된 이동 바퀴와, 이동 바퀴에 설치된 암 이동체와, 암 이동체에 설치된 래크와, 래크에서 서로 맞물리는 톱니바퀴와, 톱니바퀴를 회전시키는 모터와, 암 이동체에 설치된 암 지지부와, 암 지지부에서 축 지지된 암 기구가 고정되는 암 부착로 구성한 세정 장치이다. 따라서, 청구항 1에 기재된 발명을 확실히 실시하는 최적인 암 기구의 이동 수단을 제공할 수 있다.

청구항 3의 발명에 있어서의 암 기구의 가동 수단은 베이스장치에 설치된 암 지지체와, 암 지지체에 설치되고 상기 베이스프레임에 대략 평행 하게 배치되는 가이드레일과, 가이드레일에 이동 가능하게 설치한 이동 바퀴와, 이동 바퀴에 설치한 암 이동체와, 암 이동체에 설치한 실린더와 실린더의 피스톤로드가 고정된 링크와, 링크의 자유단이 고정되는 암 기구를 설치한 암 부착부로 구성되는 세정 장치이다. 따라서, 청구항 1에 기재된 발명을 확실히 실시하는데 최적인 암 기구의 가동 수단을 제공할 수 있다.

청구항 4의 발명에 있어서의 조 상부는 프레임에 설치된 승강 수단을 통해 승강하고, 승강 수단은 윗쪽 프레임에 설치된 긴 구멍과, 긴 구멍을 승강하는 승강 가로대와, 승강 가로대에 설치된 협지부가 유감되는 상기 윗쪽 프레임에 설치된 가이드체와, 승강 가로대에 설치된 래크와, 래크에 서로 맞물리는 톱니바퀴와, 톱니바퀴를 걸쳐 지지하는 회전축과, 회전축을 회전시키는 모터로 구성되는 세정 장치이다. 따라서, 청구항 1에 기재된 발명을 확실히 실시하는데 최적인 조 상부를 제공할 수 있다.

청구항 5의 발명에 있어서의 워크에 회전 가능한 다수의 투과구멍을 구비한 바구니수단을 걸쳐 지지하고, 이 걸쳐 지지된 바구니수단을 상기 프레임에 설치된 구동 수단으로 회전시키는 구성으로 한 세정 장치이다. 따라서, 청구항 1에 기재된 발명을 확실히 실시하는데 최적인 바구니수단을 제공할 수 있다.

또 다수의 소품의 부품 처리에 유효하다.

청구항 6의 발명에 있어서의 세정 장치는 외부 조를 구비하고 있고, 분할할수 있는 조는 이 외부 조내에 설치되는 구성으로 한 세정 장치이다. 따라서, 청구항 1에 기재된 발명을 확실히 실시하는데 최적인 분할할 수 있는 조를 제공할 수 있다.

청구항 7에 있어서의 세정 장치는 복수기의 조를 구비하고 있으며, 이 복수 기의 조는 적어도 세제 초음파 세정, 린스 초음파 세정, 린스 샤워 세정등의 세정조와, 온풍 건조, 진공 건조등의 건조용 조로 하는 세정 장치이다. 따라서, 분할할 수 있는 조를 특정해, 이 분할할 수 있는 조의 유효 이용을 도모하면서, 경비의 삭감, 합리화등을 도모되는 특징이 있다.

청구항 8에 있어서의 세정조에 사용하는 세정액은 세제를 포함한 물, 전해수, 맑은물, 매우 맑은물, 또는 린스액, 유기용매등의 처리 유체를, 개별 사용 및/또는 선택 병용 하는 것을 특징으로 한 세정 장치이다. 따라서, 청구항 7의 목적을 달성할 수 있는 처리 유체를 제공할 수 있다.

청구항 9의 린스 샤워 세정에 사용되는 린스액은 조 하부에 설치한 간막이판에서 오버플로우해, 린스 세정용의 린스액 탱크에 공급하고, 이 린스액을 린스 세정에 이용하는 것을 특징으로 한 세정 장치의 워크 반송 장치이다. 따라서, 청구항 7의 목적을 달성할 수 있는 처리 유체를 제공할 수 있는 것, 또는 처리액의 유효 이용을 도모할 수 있는 것, 또 경비의 삭감과 2차 공해의 해소등에 도움이 되는 이점이 있다.

청구항 10은 워크 반입측의 반송 수단 및 조 상부와 조 하부로 이루어진 분할할 수 있는 워크 세정·건조용의 조, 조에 설치된 워크를 수평 유지시키는 워크유지 레일 및 반입측의 반송 수단으로부터 조 하부, 또는 반출측의 반송 수단을 향해 차례차례 수평 반송하기 위한 워크 반송용의 암 기구로 구성되는 세정 장치를 이용한 워크 반송 방법은 반입측의 반송 수단을 통해 워크를 내부길이 방향으로 수평 이동해, 반입측의 반송 수단의 내면위치에 정지하는 공정과 정지 후에 암 기구가 하부에 요동해 워크의 측면에 도달하고, 그 후, 암 기구의 횡방향으로 수평 이동해, 처리 완료 워크를 조 하부 또는 반출측의 반송 수단의 내면위치로 이동하고, 이동 후에 암 기구가 윗쪽으로 요동하고, 요동 후에 암 기구는 원래 위치로 복귀하고, 그 후, 조 하부로 강하한 조 상부가 합체하여 세정 처리하고, 처리 후, 조 상부가 상승하여 합체를 개방하는 세정 공정과, 공정 후 암 기구가 아래쪽으로 요동해 워크의 측면에 도달하고, 그 후, 암 기구의 횡방향으로 수평 이동해, 처리 완료 워크를 조 하부 또는 반송 수단의 반출측의 내면위치로 이동하고, 이동 후에 암 기구가 윗쪽으로 요동하며, 요동 후에 암 기구는 원래 위치로 복귀하고, 그 후, 조 하부에 강하한 조 상부가 합체해 건조 처리하고, 처리 후, 조 상부가 상승해 합체를 개방하는 건조 공정과 건조 처리 후에 반입측의 반송 수단의 반입 위치에 새로운 워크를 공급하는 공정 및 반출측의 반송 수단의 내면 위치로부터의 처리 완료 워크를 반출 위치로 이동하는 공정으로 구성하고, 일련의 반송 처리가 행해지는 구성의 세정 장치의 워크 반송 방법이다. 따라서, 청구항 1이 의도하는 내용에 한층 더 세정 장치의 암 기구, 또는 이동·가동·승강 수단 등에서 떨어지는 먼지의 조 및 조로의 침입 방지를 도모할 수 있는 특징이 있다.

Claims (10)

1. 프레임에 설치한 워크를 수평 이동시키고 반입시키는 반입측의 반송 수단을 설치하고, 상기 프레임에 설치한 외부 조내에 배치된 상하로 분할할 수 있는 조 상부와 조 하부로 이루어진 조를 복수기 장치하고,

   상기 복수기의 적어도 1기의 상하조에 초음파 세정 장치를 각각 설치하고,

   상기 프레임에 설치한 상기 조 하부의 개구 상면의 면위치에서 워크 유지 레일을 설치하고,

   상기 워크 유지 레일에 얹어 걸쳐진 워크, 바구니수단을 분할한 상태에서 조 하부를 향해 수평 이동을 가능하게 한 상기 프레임상에서 전진 후퇴 및 요동 복귀하는 암 기구를 구비하는 가동 수단, 또는 분할한 상태로 상기 조 외부를 향해 수평 이동시키는 반출측의 반송 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 세정 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 암 기구의 이동 수단은 베이스장치에 설치한 암 지지체와, 상기 암 지지체에 설치되고 상기 베이스프레임에 평행하게 배치되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에서 이동 가능하게 설치된 이동 바퀴와, 상기 이동 바퀴에 설치된 암 이동체와, 상기 암 이동체에 설치된 래크와, 상기 래크에서 서로 맞물리는 톱니바퀴와, 상기 톱니바퀴를 회전시키는 모터와, 상기 암 이동체에 설치된 암 지지부와, 상기 암 지지부에서 축 지지된 암 기구가 고정되는 암 부착부로 구성되는 것을 특징으로하는 세정 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 암 기구의 가동 수단은 베이스장치에 설치된 암 지지체와, 상기 암 지지체에 설치되고 상기 베이스프레임에 평행하게 배치되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에서 이동 가능하게 설치되는 이동 바퀴와, 상기 이동 바퀴에 설치된 암 이동체와, 상기 암 이동체에 설치된 실린더와, 상기 실린더의 피스톤로드가 고정된 링크와, 상기 링크의 자유단이 고정되는 암 기구를 설치한 암 부착부로 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 조 상부는 프레임에 설치된 승강 수단을 통해 승강하고, 상기 승강 수단은 윗쪽 프레임에 설치된 긴 구멍과, 상기 긴 구멍을 승강하는 승강 가로대와, 상기 승강 가로대에 설치된 협지부가 끼워지는 상기 윗쪽 프레임에 설치된 가이드체와, 상기 승강 가로대에 설치된 래크와, 상기 래크에 서로 맞물리는 톱니바퀴와, 상기 톱니바퀴를 걸쳐 지지하는 회전축과, 상기 회전축을 회전시키는 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 워크에 회전 가능한 다수의 투과구멍을 구비한 바구니수단을 걸쳐 지지하고, 상기 걸쳐 지지된 바구니수단을 상기 프레임에 설치된 구동 수단으로 회전시키는 구성인 것을 특징으로 하는 세정 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 세정 장치는 외부 조를 구비하고 있고, 분할할 수 있는 조는 상기 외부 조내에 설치되는 구성인 것을 특징으로 하는 세정 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 세정 장치는 복수기의 조를 구비하고 있고, 상기 복수 기의 조는 적어도 세제 초음파 세정, 린스 초음파 세정, 린스 샤워 세정 등의 세정조와, 온풍 건조, 진공 건조등의 건조용조로 하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 세정조에 사용하는 세정액은 세제를 포함한 물, 전해수, 맑은물, 매우 맑은물, 또는 린스액, 유기용매등의 처리 유체를 개별 사용 및/또는 선택 병용 하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
9. 청구항 7의 린스 샤워 세정에 사용되는 린스액을 조 하부에 설치한 간막이판에서 오버플로우시키고, 린스 세정용의 린스액 탱크에 공급해 이 린스액을 린스 세정에 이용하는 것을 특징으로 하는 세정 장치의 워크 반송 장치.
10. 워크 반입측의 반송 수단 및 조 상부와 조 하부로 이루어진 분할할 수 있는 워크 세정·건조용의 조, 상기 조에 설치된 해당 워크를 수평 유지시키는 워크 유지 레일 및 상기 반입측의 반송 수단으로부터 조 하부 또는 반출측의 반송 수단을 향해 차례차례 수평 반송하기 위한 워크 반송용 암 기구로 구성되는 세정 장치를 이용한 워크 반송 방법에 있어서,

    상기 반입측의 반송 수단을 통해 워크를 내부길이 방향으로 수평 이동시키고, 반입측의 반송 수단의 내면위치에 정지시키는 공정과,

    상기 정지 후에 상기 암 기구가 하부로 요동해 워크의 측면에 도달하고, 그 후, 상기 암 기구의 횡방향으로 수평 이동시켜 처리 완료 워크를 조 하부 또는 반출측의 반송 수단의 내면위치로 이동시키고, 이 이동 후에 암 기구가 윗쪽으로 요동하고, 이 요동 후에 상기 암 기구는 원래 위치로 복귀하고, 그 후, 상기 조 하부로 강하한 조 상부가 합체해 세정 처리하고, 이 처리 후, 상기 조 상부가 상승하여 상기 합체를 개방하는 세정 공정과,

    상기 공정 후, 상기 암 기구가 하부로 요동하여 워크의 측면으로 도달하고, 그 후, 상기 암 기구의 횡방향으로 수평 이동시켜 처리 완료 워크를 조 하부 또는 반송 수단의 반출측의 내면위치로 이동시키고, 이 이동 후에 암 기구가 윗쪽으로 요동 하고, 이 요동 후에 상기 암 기구는 원래 위치로 복귀하고, 그 후, 상기 조 하부로 강하한 조 상부가 합체해 건조 처리하고, 이 처리 후, 상기 조 상부가 상승해 상기 합체를 개방하는 건조 공정과,

    상기 건조 처리 후에, 상기 반입측의 반송 수단의 반입 위치에 새로운 워크를 공급하는 공정 및 반출측의 반송 수단의 내면위치로부터의 처리 완료 워크를 반출 위치로 이동시키는 공정으로 구성되는 것을 특징으로 하는 일련의 반송 처리가 실시되는 구성의 세정 장치의 워크 반송 방법.