KR20040014154A - 유량 계측 장치 - Google Patents
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Abstract
유량 계측 장치는 유체 관로를 전파하는 초음파의 전파 시간을 근거로 유체 관로를 흐르는 유체의 유량을 계측하여, 수신한 초음파 신호와 기준 전압을 비교하여 초음파의 도달을 검지한다. 전압 설정부는, 기준 전압을 변경시킬 경우의 초음파의 송신 개시로부터 판정 수단의 출력까지의 유체 관로의 초음파의 전파 시간을 계시하는 전파 계시부의 출력을 근거로 적절한 기준 전압을 결정한다. 기준 전압이 신속하고 정확하게 설정되어, 유량 계측 장치는 항상 최적의 기준 전압으로 유량을 계측할 수 있다.
Description
본 발명은 초음파를 이용하여 가스 등의 유체의 유량을 계측하는 유량 계측 장치에 관한 것이다.
종래의 유량 계측 장치를 도 20에 나타낸다. 제 1 초음파 진동자(32) 및 제 2 초음파 진동자(33)는 가스 등의 유체가 흐르는 유로(31)에 설치한 초음파를 송수신하고, 전환 수단(34)은 제 1 초음파 진동자(32)와 제 2 초음파 진동자(33)에서의 초음파의 송수신을 전환한다. 송수신 수단(35)은 제 1 초음파 진동자(32) 및 제 2 초음파 진동자(33)를 구동하여 초음파를 송신시킨다. 증폭 수단(36)은 초음파를 수신한 초음파 진동자로부터 전환 수단(34)을 통과한 신호를 소정의 진폭까지 증폭시킨다. 기준 비교 수단(37)은 증폭 수단(36)에서 증폭되어 출력된 수신 신호의 전압과 기준 전압을 비교한다. 판정 수단(38)은, 도 21에 도시된 바와 같이 기준 비교 수단(37)에서 수신 신호가 기준 전압보다 커진 후에 수신 신호가 최초로 제로 크로싱(Zero crossing)된 점 Ta에서 출력 신호 D를 출력한다. 반복 수단(39)은 판정 수단(38)으로부터의 신호 D를 카운트하여, 미리 설정된 회수만큼 카운트하는 동시에 신호 D를 제어 수단(42)으로 출력한다. 계시 수단(40)은, 반복 수단(39)이 미리 설정된 상기 회수만큼 신호 D를 카운트한 시간을 계시한다. 유량 산출 수단(41)은 계시 수단(40)이 계시한 시간에 근거하여 유체의 유량을 산출한다. 제어 수단(42)은, 유량 산출 수단(41)으로부터 산출된 유량 출력과 반복 수단(39)으로부터의 신호에 따라서 송신 수단(35)을 제어한다.
다음에, 이 계측 장치의 동작을 설명한다. 제어 수단(42)은 송신 수단(35)과 전환 수단(34)을 동작시켜 초음파 진동자(32)에 초음파를 발진시킨다. 그 초음파는 유체 안을 전파하여 제 2 초음파 진동자(33)로 수신되어서, 증폭 수단(36)에서 증폭된다. 기준 비교 수단(37)은 증폭 수단(36)의 출력이 기준 전압보다 커진 시점에서 하강 신호 C를 출력한다. 판정 수단(38)은 증폭 수단(36)의 출력이 기준 전압보다 커진 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Ta에서 하강 신호 D를 출력한다. 반복 수단(39)은 판정 수단(38)으로부터의 신호 D를 제어 수단(42)에 입력한다. 이 동작은 미리 설정된 N회 반복되고, 그 사이의 시간이 계시 수단(40)에 의해 측정된다. 그리고, 전환 수단(34)은 제 1 초음파 진동자(32)와 제 2 초음파 진동자(33)로 초음파의 송수신을 전환하여, 동일한 동작을 실행한다. 유량 산출 수단(41)은, 유체의 상류에서 하류(이 방향을 정류(正流)라 함)와 하류에서 상류(이 방향을 역류(逆流)라 함) 의 계시 수단(40)이 계시한 각각의 전파 시간을 측정하여, 다음 식 1로부터 유량 Q를 구한다.
여기서, L은 초음파 진동자(32, 33) 사이의 유체가 흐르는 방향의 유효 거리, t1은 상류에서 하류로의 신호 D의 N회분의 시간, t2는 하류에서 상류로의 신호 D의 N회분의 시간, v는 피측정 유체의 유속, S는 유로의 단면적, Φ는 초음파 진동자(32, 33)를 잇는 직선과 유체가 흐르는 방향의 각도, K는 유량에 따른 계수이다.
증폭 수단(36)은 수신측의 초음파 진동자에서 수신한 신호를 일정한 진폭으로 출력하도록 이득이 조정되어 있고, 수신 신호의 피크 전압값이 소정의 전압 범위에 들어가도록 조정된다. 구체적으로는, 반복 수단(39)에 설정된 회수의 신호 D의 카운트 중에, 도 22의 점선으로 도시된는 수신 신호 AL과 같이 수신 신호의 피크 전압값이 소정의 전압 범위의 하한을 하회한 회수와, 도 22의 점선으로 도시된 수신 신호 AH와 같이 수신 신호의 피크 전압값이 소정의 전압 범위의 상한을 상회한 회수를 카운트하여, 그 결과로 다음 번 유량 계측 시의 이득이 조정된다. 예컨대, 피크 전압값이 하한보다 하회한 회수가 많으면 이득을 크게하여, 도 22의 실선으로 도시된 수신 신호 A와 같이 수신 신호를 전압의 상한, 하한 내에 넣는다.
증폭 수단(36)이 출력하는 전압과 비교되는 기준 비교 수단(37)의 기준 전압은 판정 수단(38)이 제로 크로싱된 점의 위치를 검출하기 위해서 결정할 수 있다. 도 21에서는, 수신 신호의 제 3 피크 P3 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Ta가 판정 수단(38)에 의해 검지되도록, 기준 전압은 수신 신호의 제 2와 제 3 피크 전압의 중간 전압 정도로 설정된다. 그로써, 유량의 변화 및 유체의 온도변화 등으로 수신 파형이 변화되어 수신 신호의 제 2 파의 피크 전압이 상승하거나, 또는 제 3 피크 P3의 전압이 감소하더라도 쌍방에 대하여 마진을 확보할 수 있어, 판정 수단(38)은 제로 크로싱된 점 Ta를 검지할 수 있다.
그러나, 상기 종래의 유량 계측 장치에서는, 소정의 진폭으로 증폭된 수신 신호와 비교되는 기준 전압은, 고정 저항기와 반고정 저항기를 이용한 저항 분압으로 설정된다. 이분법으로서는 소정의 기준 전압을 발생하도록 기준 전압을 감시하면서 반고정 저항기가 수동으로 조절되기 때문에 기준 전압 설정에 시간이 걸리고, 또한, 조정 오류가 발생한다. 또한, 유량의 계측 중에 있어 기준 전압은 고정되고, 또한 수신 신호를 증폭하는 증폭 수단의 이득도 고정되어 있다. 따라서, 유량 계측 중에 초음파의 수신 신호의 진폭이 변동된 경우, 기준 전압과 수신 신호의 진폭의 상대 관계가 변화된다. 예컨대 수신 신호의 진폭 레벨의 변동이 큰 경우에는, 변동 전에 기준 전압을 초과한 수신파의 제 3 피크 P3의 전압이 기준 전압을 초과하게 된다. 그 결과, 기준 비교 수단은 수신 신호의 제 4 피크 P4의 후에 신호 C를 출력하고, 판정 수단은 제 4 피크 P4 후에 최초로 제로 크로싱된 점을 검지한다. 따라서, 계시 수단은 이 잘못된 시간을 계시하여, 이 시간을 바탕으로 유량 산출 수단은 잘못된 유량을 산출한다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 2는 실시예 1에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 3은 본 발명의 실시예 2에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 4는 실시예 2에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 5는 실시예 2에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 특성도,
도 6은 본 발명의 실시예 3에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 7은 실시예 3에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 8은 실시예 3에서의 유량 계측 장치의 동작의 플로우차트,
도 9는 본 발명의 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 10은 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 11은 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 동작의 플로우차트,
도 12는 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 동작의 플로우차트,
도 13은 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 14는 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 다른 동작의 플로우차트,
도 15는 본 발명의 실시예 5에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 16은 실시예 5에서의 유량 계측 장치의 동작의 플로우차트,
도 17은 본 발명의 실시예 6에서의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 18은 실시예 6에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 19는 실시예 6에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 20은 종래의 유량 계측 장치의 블럭도,
도 21은 종래의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면,
도 22는 종래의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 유로
2 : 제 1 초음파 진동자(제 1 진동자)
3 : 제 2 초음파 진동자(제 2 진동자)
4 : 전환 수단5 : 송신 수단
6 : 증폭 수단7 : 기준 비교 수단
8 : 판정 수단9 : 반복 수단
10 : 계시(計時) 수단11 : 유량 산출 수단
12 : 제어 수단13 : 기준 설정 수단
14 : 제 2 계시 수단
유로를 흐르는 유체의 유량을 계측하는 유량 계측 장치는, 상기 유로에 마련되어 초음파 신호를 송수신하는 제 1 진동자 및 제 2 진동자와, 상기 제 1과 제 2 진동자를 구동하는 송신 수단과, 상기 제 1과 제 2 진동자의 초음파 신호의 송수신을 전환하는 전환 수단과, 상기 제 1과 제 2 진동자의 수신 신호를 증폭하는 증폭 수단과, 상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자 사이에서의 전파 시간에 근거하여 유량을 산출하는 유량 산출 수단과, 상기 증폭된 수신 신호의 전압과 기준 전압을 비교하여, 상기 수신 신호의 상기 전압과 상기 기준 전압의 대소 관계가 변하는 시점을 나타내는 신호를 출력하는 기준 비교 수단과, 상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호와 상기 증폭 수단의 출력으로부터 상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자로의 도달 시점을 판정하여, 상기 도달 시점을 나타내는 신호를 출력하는 판정 수단과, 상기 초음파 신호의 송신 개시로부터 상기 판정 수단이 판정하여 상기 도달 시점까지의 상기 유로에서의 상기 초음파 신호의 전파 시간을 계시(計時)하는 전파 계시부와, 상기 계시된 전파 시간을 근거로 상기 기준 전압을 결정하여 상기 기준 비교 수단으로 상기 기준 전압을 출력하는 전압 설정부를 갖는 기준 설정 수단을 구비한다.
이 유량 계측 장치에서는, 수신 신호의 진폭 레벨의 변동에 대하여 큰 마진을 확보할 수 있는 위치에 기준 전압을 자동적이 설정하고, 또한 유량 계측 중에 수신 신호의 진폭 레벨의 변동에 따라 기준 전압을 신속하고 정밀하게 설정한다. 따라서, 판정 수단은 수신파의 임의의 지점, 예컨대 제 3 피크의 다음 제로 크로싱된 점을 확실하게 검지할 수 있고, 유량 계측 장치는 수신 신호의 진폭의 변동에 대하여 계측 정밀도가 높다.
(실시예 1)
도 1은 본 발명의 실시예 1에서의 유량 계측 장치의 블럭도이며, 도 2는 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면이다. 유체가 흐르는 유로(1)의 도중에 초음파를 송신하는 제 1 초음파 진동자(2)와 수신하는 제 2 초음파 진동자(3)가 유체가 흐르는 방향에 대하여 각도 Φ로 배치되어 있다. 송신 수단(5)은 제 1 초음파 진동자(2) 및 제 2 초음파 진동자(3)를 구동하여 초음파를 송신시킨다. 전환 수단(4)은 제 l 초음파 진동자(2)와 제 2 초음파 진동자(3)에서의 초음파의 송수신을 전환한다. 증폭 수단(6)은 수신측의 초음파 진동자에서 수신한 신호를 일정 진폭으로 출력하도록 이득이 조정된다. 기준 설정 수단(13)은 증폭 수단(6)의 출력을 근거로 설정된 기준 전압을 기준 비교 수단(7)으로 출력하고, 기준 비교 수단(7)은 증폭 수단(6)이 출력하는 신호와 기준 전압을 비교한다. 판정 수단(8)은 기준 비교 수단(7)의 출력과 증폭 수단(6)이 출력하는 신호로부터 초음파의 도달 지점을 판정한다. 반복 수단(9)은 판정 수단(8)이 출력하는 신호를 미리 설정된 회수만큼 카운트하는 동시에 판정 수단(8)으로부터의 신호를 제어 수단(12)으로 출력한다. 계시 수단(10)은 반복 수단(9)에서 판정 수단(8)이 출력하는 신호를 미리 설정된 회수만큼 카운트하는 데 걸린 시간을 계시한다. 유량 산출 수단(11)은 계시 수단(10)이 계시한 시간에 따라 유로의 크기나 유체의 흐름의 상태를 고려하여 유체의 유량을 산출한다. 제어 수단(12)은 유량 산출 수단(11), 반복 수단(9)으로부터 출력되는 신호에 따라 송신 수단(5)과 증폭 수단(6)을 제어한다. 전파 계시부(13b)는 제어 수단(l2)으로부터 보내지는 초음파의 송신 개시 신호와 판정 수단(8)으로부터의 출력으로부터 유로에서의 초음파의 전파 시간을 계시한다. 전압 설정부(13a)는 전파 계시부(13b)의 출력으로부터 기준 전압을 설정하여 기준 비교 수단(7)으로 출력한다. 전파 계시부(13b)와 전압 설정부(13a)로 기준 설정 수단(13)을 구성하고 있다.
실시예 1에 따른 유량 계측 장치에서의 기준 전압의 설정에 관한 동작을 설명한다.
도 2는 실시예 1에서의 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면이다. 제어 수단(12)은 유량 계측을 개시하면 송신 수단(5)을 동작시켜, 초음파 진동자(2)로부터 초음파를 송신시킨다. 제 1 초음파 진동자(2)로부터 송신된 초음파는 유로(1)의 흐름 중을 전파하여, 제 2 초음파 진동자(3)로 수신된다. 증폭 수단(6)은, 제 2 초음파 진동자(3)에서 수신된 초음파에 따라 출력되는 신호를 일정한 진폭이 되는 이득으로 증폭하여, 기준 비교 수단(7)과 판정 수단(8)에 출력한다.
전파 계시부(13b)는 제어 수단(12)으로부터의 초음파의 송신 개시를 나타내는 신호와 판정 수단(8)으로부터의 출력으로부터 유로에서의 초음파의 전파 시간을 계측한다.
다음에, 전파 계시부(13b)가 전파 시간을 계측하면서, 전압 설정부(13a)는, 판정 수단(8)이 수신파의 제 2 피크 P2 후에 최초로 제로 크로싱된 점 T1을 검지하는 전압 Vb까지 기준 전압을 내린다. 그러면 기준 비교 수단(7)과 판정 수단(8)은 각각 신호 B1과 신호 B2를 출력한다. 이것에 의해 판정 수단(8)이 제 3 피크 P3 후에 최초로 제로 크로싱된 점을 검지하는 경우보다, 전파 계시부(13b)가 계시하는 전파 시간은 초음파의 1주기, 예컨대 500㎑의 초음파에서는 2㎲만큼 짧아진다.
제 1 전파 계시부(13b)가 계측하는 전파 시간이 초음파의 주파수의 1 주기만큼 짧아지면, 전압 설정부(13a)는, 수신파의 제 4 피크 P4 후에 최초로 제로 크로싱된 점 T2가 검지되는 전압 Vc까지 기준 전압을 올린다. 그러면, 기준 비교 수단(7)과 판정 수단(8)은 각각 신호 C1, 신호 C2를 출력한다. 따라서, 전파 계시부(13b)가 계시하는 전파 시간은, 이것에 의해 판정 수단(8)이 제 3 피크 P3 후에 최초로 제로 크로싱된 점을 검지하는 경우보다 초음파의 1주기만큼 길어진다.
이와 같이 기준 전압을 변화시켜 가면, 도 2에 도시하는 바와 같이 기준 전압은 수신파의 제 2 피크 P2 부근에서, 제 3 피크 P3 부근까지 변화된다. 전압 설정부(13a)는 기준 전압을 그들의 중간점으로 설정하여 기준 비교 수단(7)으로 출력한다. 기준 비교 수단(7)은 이 기준 전압과 증폭 수단(6)의 출력을 비교하여, 증폭 수단(6)의 출력이 기준 전압보다 커진 시점을 나타내는 신호를 판정 수단(8)에 출력한다. 판정 수단(8)은 상기의 시점 이후의 증폭 수단(6)의 출력의 부호가 정(正)으로부터 부(負)로 변하는 최초의 제로 크로싱된 점 Ta를 초음파의 도달 지점이라고 판정하여, 그 지점을 나타내는 신호를 반복 수단(9)에 출력한다.
이상과 같이, 실시예 1에 있어서는, 판정 수단(8)이 증폭 수단(6)의 출력(수신파)의 특정한 지점, 예컨대 제 3 피크 P3 후에 최초로 제로 크로싱된 점을 검지할 수 있는 기준 전압의 범위가, 기준 설정 수단(13)이 기준 전압을 변화시키면서 전파 시간으로부터 검출된다. 그리고, 기준 전압이 그 범위의 중간 지점으로 설정된다. 그것에 의하여 계측 장치는 안정적으로 수신파의 특정한 지점을 검지할 수 있다. 계측 장치에서는 유량을 계측마다, 또는 정기적으로, 상기한 바와 같이 기준 전압을 신속하고 또한 정밀하게 설정하기 때문에, 기준 전압이 항상 알맞게 유지된다.
(실시예 2)
도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 유량 계측 장치의 블럭도, 도 4, 도 5는 그 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면이다. 시간차 계시부(13c)는 기준 비교 수단(7)의 출력과 판정 수단(8)으로부터의 출력의 시간차를 계시한다. 전압 설정부(13a)는 시간차 계시부(13c)의 출력으로부터 기준 전압을 설정하여 기준 비교 수단(7)으로 출력한다. 전압 설정부(13a)와 시간차 계시부(13c)로 기준 설정 수단(131)을 구성하고 있다. 다른 구성 요소는 실시예 1과 같기 때문에 설명은 생략한다.
이상과 같이 구성된 유량 계측 장치의 동작을 설명한다. 제어 수단(12)은 유량 계측을 개시하면 송신 수단(5)을 동작시켜 초음파 진동자(2)로부터 초음파를 송신한다. 제 1 초음파 진동자(2)로부터 송신된 초음파는 유로(1) 중을 전파하여 제 2 초음파 진동자(3)에서 수신되어, 증폭 수단(6)에 의해 진폭이 일정하게 되도록 제어 수단(12)에 제어된 이득으로 증폭되어, 기준 비교 수단(7)으로 출력된다. 기준 비교 수단(7)은 증폭 수단(6)의 출력과 기준 전압 Vc를 비교하여, 실시예 1과 마찬가지로, 도 4에 도시하는 바와 같이 증폭 수단(6)의 출력이 기준 전압 Vc보다 커진 시점에서 신호 C1을 판정 수단(8)과 시간차 계시부(13c)에 출력한다.
판정 수단(8)은 기준 비교 수단(7)의 출력으로부터, 도 4에 나타내는 증폭 수단(6)의 출력의 부호가 상기 시점 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Ta를 초음파의 도달 지점이라고 판정하여, 시간차 계시부(13c)로 신호 C2를 출력한다. 시간차 계시부(13c)에서는 기준 비교 수단(7)의 출력 신호 C1와 판정 수단(8)의 출력 신호C2로부터 도 4에 나타내는 시간차 td를 계시한다. 전압 설정부(13a)는 시간차 계시부(13c)가 계시하는 시간차 td를 입력하면서 기준 전압 Vc을 상하로 변화시켜 간다. 도 5에 도시하는 바와 같이 시간차 td는 기준 전압 Vc에 따라 변화된다.
기준 전압 Vc가 판정 수단(8)에서 수신파의 제 2 피크 P2 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Tb를 검지하는 레벨인 피크 P2의 값과 거의 같은 전압 V2일 때의 시간차 tdo는 수신파의 1/4 주기인 500㎱가 된다. 그리고 기준 전압을 V2보다 크게 하고 판정 수단(8)이 제 3 피크 P3 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Ta가 검지되면 시간차 td는 도 5에 도시하는 바와 같이 최대가 된다. 이후, 기준 전압의 증가에 따라 시간차 td는 작아져, 기준 전압이 제 3 피크 P3의 전압값과 거의 같은 전압 V3일 때에, 시간차 td는 두 번째 tdo가 된다.
이와 같이 전압 설정부(13a)가 기준 전압을 변화시켰을 때의 시간차 td의 최대값과 최소값(주기의 1/4) 보다, 시간차 td가 그 중간점이 되는 전압으로 기준 전압을 설정한다. 이 설정에 의해, 시간차 계시부(13c)가 계시하는 시간차 td가 기준 전압의 변화에 따른 변동 범위의 중간점으로 설정되어, 그것에 의하여 기준 전압은 수신파의 특정한 제로 크로싱된 점 Ta가 안정적으로 검지되도록 유지된다. 이와 같이, 기준 전압은 신속하고 또한, 정밀하게 설정된다. 계측 장치에서는 유량을 계측할 때마다, 또는 정기적으로, 상기한 바와 같이 기준 전압이 신속하고 또한 정밀하게 설정되기 때문에, 기준 전압이 항상 알맞게 유지된다.
(실시예 3)
도 6은 본 발명의 실시예 3에서의 유량 계측 장치의 블럭도이다. 도 7은 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면이며, 도 8은 그 동작의 플로우차트이다. 유로(1)에 초음파를 송신하는 제 1 초음파 진동자(2)와 수신하는 제 2 초음파 진동자(3)가 유체가 흐르는 방향에 대하여 각도Φ로 배치되어 있다. 송신 수단(5)은 제 1 초음파 진동자(2)와 제 2 초음파 진동자(3)에 초음파를 발진시킨다. 전환 수단(4)은 제 1 초음파 진동자(2), 제 2 초음파 진동자(3)의 초음파의 송수신을 전환한다. 증폭 수단(6)은 수신측의 초음파 진동자에서 수신한 신호를 제어 수단(12)으로 제어된 이득으로 증폭한다, 기준 비교 수단(7)은 증폭 수단(6)에서 증폭된 신호와 기준 전압을 비교한다. 판정 수단(8)은 기준 비교 수단(7)의 출력과 증폭 수단(6)에서 증폭된 신호로부터 초음파의 도달 시기를 판정한다. 반복 수단(9)은 판정 수단(8)이 출력하는 신호를 미리 설정된 회수만큼 카운트한 시점에서 제어 수단(12) 신호를 출력한다. 계시 수단(10)은 반복 수단(9)이 판정 수단(8)이 출력하는 신호를 미리 설정된 회수를 카운트하는 사이의 시간을 계시한다. 유량 산출 수단(11)은 계시 수단(10)이 계시한 시간에 따라 관로의 크기나 유체의 흐름 상태를 고려하여 유체의 유량을 산출한다. 제어 수단(12)은 유량 산출 수단(11), 반복 수단(9)으로부터의 신호를 받아 송신 수단(5), 증폭 수단(6)을 제어한다. 기준 설정 수단(14)은 디지털/아날로그(D/A) 컨버터 또는 전자 볼륨 등으로 구성되어, 기준 비교 수단(7)에서의 기준 전압을 설정한다. 기준 설정 수단(14)은, 기준 전압을 변화시켰을 때의 기준 비교 수단의 출력을 근거로 기준 전압을 결정한다.
이상과 같이 구성된 유량 계측 장치의 동작을 도 8을 참조하여 설명한다. 제어 수단(12)은 전원 투입 후, 우선 초기 설정 동작으로서 증폭 수단(6)의 이득을 조정하여 기준 전압을 설정한다. 이득의 조정 후에는 도 7에 도시하는 바와 같이 수신 신호는, 예컨대 제 5 피크 P5의 전압이 소정의 범위 내에 들어가도록 증폭된다. 도 7에 도시하는 바와 같이 수신 신호가 범위의 하한을 상회하고 있는 기간에 증폭 수단(6)은 피크 검지 신호 PD를 제어 수단(12), 기준 설정 수단(14)에 출력한다. 최초에 수신측의 초음파 진동자로 수신한 신호를 일정 진폭이 되도록 증폭 수단(6)의 이득이 조정되어, 제 1 이득으로 설정된다(단계 1). 그 후, 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 피크, 예컨대 제 3 피크 P3 앞의 제 2 피크 P2의 전압이 유량 계측 중에 변동되는 폭을 고려하여, 조정된 증폭 수단(6)의 제 1 이득보다 큰 제 2 이득으로 수신파를 증폭한다(단계 2). 증폭된 수신 신호를 도 7에 나타낸다.
도 7에 있어서 점선은 제 1 이득으로 증폭된 수신 신호를 나타내고, 실선은 제 2 이득으로 증폭된 수신 신호를 나타낸다. 기준 설정 수단(14)은 제 2 이득으로 증폭된 수신 신호 A와 비교하기 위한 도 7의 기준 전압 Vref를 최저의 기준 전압으로부터 1 제어 단위(예컨대 5㎷)만큼 증가시킨다(단계 3). 실시예 3에서는 최저의 기준 전압 Vref는 수신 신호 A의 제 1 피크 P1의 전압보다도 높고 제 2 피크 P2의 전압보다도 낮게 설정된다. 제어 수단(12)은 반복 수단(9)의 반복 회수를 1회로 설정하고, 송신 수단(5)을 동작시켜 제 1 초음파 진동자(2)로부터 초음파 신호를 송신한다(단계 4). 제 1 초음파 진동자(2)로부터 송신된 초음파 신호는유로(1) 중을 전파하여, 제 2 초음파 진동자(3)에서 수신되어, 증폭 수단(6)에서 증폭되어 기준 비교 수단(7)으로 출력된다. 도 7에 도시하는 바와 같이 기준 비교 수단(7)은 증폭 수단(6)의 출력(수신 신호 A)과 기준 전압 Vref를 비교하여, 증폭 수단(6)의 출력이 기준 전압 Vref보다 클 때에 기준 설정 수단(14)과 판정 수단(8)에 신호 C2, C3, C4, C5를 출력한다(단계 5). 기준 설정 수단(14)은 기준 비교 수단(7)으로부터 출력되는 신호 C2로부터 C5의 수를 카운트하여(단계 6), 증폭 수단(6)이 피크 검지 신호를 출력할 때(단계 7)까지 단계 5와 단계 6을 반복한다. 증폭 수단(6)으로부터의 피크 검지 신호를 입력하면, 기준 설정 수단(14)은 기준 비교 수단(7)으로부터 출력되는 신호의 수가 3인지의 여부를 판단한다(단계 8). 신호의 수가 3이 아니면 1 제어 단위만큼, 기준 전압 Vref를 증가하고(단계 3), 그 후 단계 4로부터 8을 반복한다. 기준 비교 수단(7)이 출력하는 신호의 수가 3이 되면, 증폭 수단(6)의 이득은 제 1 이득으로 복귀된다(단계 9).
즉, 기준 전압 Vref가 수신 신호의 제 2 피크 P2의 전압 이하인 경우는, 피크 검지 신호가 증폭 수단(6)으로부터 출력될 때까지 기준 비교 수단(7)은 4개의 신호 C2∼C5를 출력한다. 기준 전압 Vref가 수신파의 제 2 피크 P2의 전압을 초과하면 기준 비교 수단(7)은 신호 C2를 출력하지 않고, 3개의 신호 C3∼C5를 출력한다. 따라서, 기준 비교 수단(14)이 출력하는 신호의 수가 4로부터 3이 된 시점에서 기준 설정 수단(14)은 기준 전압 Vref의 증가를 멈춘다. 또한, 증폭 수단(6)의 이득을 조정하기 전의 제 1 이득에 복귀시키면 기준 설정 수단(14)의 기준 전압 Vref는 수신 신호의 제 2 피크 P2의 전압보다 약간 높다. 기준 전압 Vref와 제 2피크 P2의 전압의 차이는 제 2 피크 P2의 전압이 유량 계측 중에 변동하는 폭을 고려하고 설정되어 있다. 따라서, 유량 계측 중에 수신 신호의 진폭이 변동하더라도 제 2 피크 P2의 전압이 기준 전압 Vref를 초과하지 않는다. 따라서, 이 때의 기준 전압 Vref에서는 제 3 피크 P3의 전압과의 마진을 크게 취할 수 있어, 수신 신호의 진폭의 변동에 대하여 가장 안정적으로 판정 수단(8)이 초음파의 수신 신호의 도달 시기를 검지할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시예에 있어서는 기준 비교 수단(7)의 출력에 따라 기준 전압을 기준 설정 수단(14)이 설정하고, 그 기준 전압은 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 파(波)의 1 파장 전의 파(波)가, 유량 계측 중에 변동하는 진폭 레벨의 최대값을 고려한 전압으로 설정된다. 이것에 의해, 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 파의 1 파장 앞의 파가 기준 전압을 초과하지 않고, 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 파와 기준 전압의 마진을 크게 취할 수 있다. 따라서, 실시예 3에서의 유량 계측 장치의 계측 중에는 수신 신호의 진폭 레벨의 변동에 강하여, 정밀하게 유량을 계측할 수 있다. 또한, 실시예 3에서는 증폭 수단(6)의 이득 조정 후에, 그것보다 큰 소정의 이득으로 수신 신호를 증폭하여 기준 전압이 설정된다고 했지만, 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 피크(예컨대 제 3 피크 P3)의 하나 앞의 피크(제 2 피크 P2)의 전압이 유량의 계측 중에 변동하는 폭을 고려하여, 최대 변동 시의 제 2 피크 P2의 전압보다 높게 기준 전압 Vref를 최초에 설정하거나, 또한, 기준 전압을 변경했을 때의 기준 비교 수단(7)이 출력하는 신호의수가 수신 신호의 각 피크의 전압을 나타내므로, 제어 수단(12)은 기준 비교 수단(7)이 출력하는 신호의 수보다 수신 신호와 기준 전압의 상대 관계를 인식할 수 있다. 유량 계측 중에 변동하는 진폭 레벨을 고려하여, 제어 수단(12)은 기준 전압 Vref를 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하고자 하는 제 3 피크 P3과 그 하나 앞의 제 2 피크 P2의 전압 사이의 임의의 전압으로 설정하더라도 좋다.
(실시예 4)
도 9는 본 발명의 실시예 4에서의 유량 계측 장치의 블럭도이다. 도 10 및 도 13은 그 유량 계측 장치의 동작을 설명하는 도면이며, 도 11 및 도 12는 그 동작의 플로우차트이다.
도 9에 있어서, 시간차 계시 수단(15)은 기준 비교 수단(7)과 판정 수단(8)의 출력의 시간차를 계시한다. 실시예 3과 다르게, 기준 설정 수단(14)은 시간차 계시 수단(15)의 출력으로부터 기준 비교 수단(7)의 기준 전압을 설정한다. 다른 구성 요소는 도 6에 나타내는 실시예 3과 같기 때문에 설명은 생략한다.
이상과 같이 구성된 유량 계측 장치의 동작을 도 11에서 설명한다. 제어 수단(12)은 전원 투입 후, 우선 초기 설정 동작으로서 증폭 수단(6)의 이득을 조정하여, 기준 전압을 설정한다. 실시예 4에서 증폭 수단(6)의 이득은 실시예 3과 같이 조정되기 때문에 설명은 생략한다.
처음에 제어 수단(12)은 수신측의 초음파 진동자로 수신한 신호가 소정의 진폭이 되도록 증폭 수단(6)의 이득을 조정한다(단계 101). 그 후, 기준 설정 수단(14)은 기준 전압을 설정 가능 범위의 최저의 전압으로 설정한다(단계 102). 그 후, 제어 수단(12)은 반복 수단(9)의 반복 회수를 1회로 설정하고, 송신 수단(5)을 동작시켜 제 1 초음파 진동자(2)로부터 초음파 신호를 송신한다(단계 103).
제 1 초음파 진동자(2)로부터 송신된 초음파 신호는 유로(1) 중을 전파하여, 제 2 초음파 진동자(3)에서 수신되어서, 증폭 수단(6)에서 증폭되어, 기준 비교 수단(7)으로 출력된다.
도 10에 증폭된 후의 수신 신호를 나타낸다. 기준 비교 수단(7)은 증폭 수단(6)의 출력(수신 신호 A)와 기준 전압을 비교하여(단계 104), 신호 A가 기준 전압보다 커진 시점 Tc에서 시간차 계시 수단(15)과 판정 수단(8)에 신호 C를 출력한다. 시간차 계시 수단(15)은 신호 C를 받으면 계시를 개시하고(단계 105), 판정 수단(8)은 시점 Tc 이후의 신호 A의 최초의 부(負)의 제로 크로싱된 점 Ta를 초음파의 도달 지점이라고 판정하여(단계 106), 신호 D를 반복 수단(9)과 시간차 계시 수단(15)으로 출력한다. 시간차 계시 수단(15)은, 신호 D를 받으면 계시를 종료하고(단계 107), 계시한 시간차 Td를 기준 설정 수단(14)으로 출력한다. 기준 설정 수단(14)은 기준 전압을 가변 범위의 1 제어 단위(예컨대 2㎷)만큼 증가시킨다(단계 108). 제어 수단(12)은 반복 수단(9)에 설정된 반복 회수가 한 번이기 때문에, 반복 동작이 종료되었다는 취지의 신호를 반복 수단(9)으로부터 받아, 두 번째 송신 수단(5)을 동작시켜 제 1 초음파 진동자(2)로부터 초음파 신호를 송신한다. 단계 103으로부터 단계 108까지가 기준 설정 수단(14)이 기준 전압의 범위의 최대 전압으로 설정할 때까지 반복된다.
기준 전압을 최소로부터 최대로 변화시키는 사이의 시간차 계시 수단(15)이 계시하는 시간차에는, 직전의 시간차와 비교하여 크게 변화되는 변곡점이 복수개 존재한다. 기준 전압 설정 수단(14)은, 예컨대 직전의 시간차와 비교하고 1.3배 이상 변화되는 복수의 변곡점 중, 최대 간격의 변곡점 사이의 중점으로 기준 전압을 설정한다(단계 110).
단계 110에서의 동작을 도 13을 이용하여 설명한다. 도 13은 기준 설정 수단(14)이 기준 전압을 최소로부터 최대에 변화시켰을 때의 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차를 나타낸다. 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차는 도 10에 도시하는 바와 같이 기준 비교 수단(7)과 판정 수단(8)의 출력의 시간차이기 때문에 수신 신호의 각 피크(제 1 피크 P1, 제 2 피크 P2, 제3 피크 P3 …) 의 각 전압 부근으로 기준 전압이 설정된 경우에, 각각의 피크에 대응하여 시간차 TP1, TP2, TP3 …가 계측된다. 시간차 TP1, TP2, TP3 …는 초음파의 주기의 약 1/4(구동 주파수가 500㎑에서는 500㎱) 이 된다. 거기에서 기준 전압을 증가시켜 각 피크의 전압을 초과하면, 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차는 갑자기 커져서 도 13에 도시하는 바와 같이 시간차 TP1, TP2, TP3 …에서의 변곡점으로서 나타난다. 예컨대 기준 전압이 제 2 피크 부근에서 피크 P2의 전압을 초과하지 않을 때부터 제 2 피크 P2의 전압을 초과한 경우, 변곡점은 시간차 TP2로 나타난다. 이것은 시간차의 변곡점이 되는 기준 전압이 수신 신호의 각 피크의 전압 부근인 것을 뜻하고 있다.따라서, 변곡점 사이의 폭(기준 전압의 폭)은 수신 신호의 각 피크의 전압차이다.
도 13에 있어서 변곡점 TP1, TP2 사이의 전압의 차이는 수신 신호의 제 1 피크 P1로부터 제 2 피크 P2의 전압차이이며, 변곡점 TP2, TP3 사이의 전압차는 수신 신호의 제 2 피크 P2와 제3 피크 P3의 전압차이다. 이와 같이 기준 전압을 최소로부터 최대로 변화시켰을 때의 시간차의 변화에는 복수의 변곡점이 존재한다. 변곡점 사이의 폭이 제일 넓은 범위, 도 13에 있어서 제 2 피크 P2와 제 3 피크 P2의 전압 사이에 기준 전압을 설정하면, 수신 신호의 각 피크의 전압차의 제일 큰 부분에 기준 전압을 설정할 수 있다. 예컨대 도 13에 있어서 제 2 피크 P2와 제 3 피크 P3의 전압의 중점의 전압 Vref로 기준 전압을 설정한다. 이것에 의해 제 2 피크와 제 3 피크의 전압과 기준 전압과의 사이에 마진을 크게 취할 수 있고, 수신 신호의 전압 변동에 대하여 가장 안정적으로 판정 수단(8)이 초음파의 수신 신호의 도달 시기를 검지할 수 있다.
기준 설정 수단(14)이 상기와 마찬가지로 기준 전압을 설정하면 제어 수단(12)은 반복 수단(9)에 정규의 반복 회수(예컨대 256회)를 설정하여 유량 계측을 개시한다.
유량 계측을 개시한 후의 기준 설정 수단(14)의 동작을 도 12를 이용하여 설명한다. 유량 계측을 개시하면 제어 수단(12)은 송신 수단(5)을 동작시켜 제 1 초음파 진동자(2)로부터 초음파 신호를 송신하고(단계 12), 증폭 수단(6)에서 증폭된 제 2 초음파 진동자(3)에서 수신된 초음파 신호는 기준 비교 수단(7), 판정 수단(8)으로 출력된다. 기준 비교 수단(7)은 수신 신호와 기준 전압을 비교하여(단계 13), 수신 신호가 기준 전압보다 커진 시점에서 시간차 계시 수단(13)은 계시를 개시해서(단계 14), 판정 수단(8)이 그 후의 최초로 제로 크로싱된 점을 검지할 때까지, 시간을 계시한다(단계 15, 16).
판정 수단(8)이 제로 크로싱된 점(초음파의 도달 지점)을 검지한 후, 제어 수단(12)은 송신 수단(5)을 두 번째 동작시켜 초음파 진동자(2)로부터 초음파 신호를 송신한다. 단계 12로부터 16의 일련의 동작을 미리 설정된 회수만큼 반복하여 실행한다(단계 11). 초기 설정 동작 시에 기준 전압을 설정했을 때의 도 13에서의 변곡점 TP2로부터 변곡점 TP3 사이에서의 시간차(500㎱∼800㎱)로 소정의 범위가 설정된다. 예컨대 상기 소정의 범위는 상기 시간차의 20%부터 80% 사이, 즉 560㎱(=(800㎱-500㎱)×0.2+500)으로부터 740㎱(=(800㎱-500㎱)×0.8+500)까지 설정된다. 소정의 반복 회수가 종료된 후, 기준 설정 수단(14)은, 단계 12로부터 16의 동작이 미리 설정된 회수만큼 반복되고 있는 사이에 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차 중, 상기 소정 범위이외의 시간차가 존재하는 지의 여부를 판정하여, 시간차의 분포에 의해 기준 전압을 재설정 할지의 여부를 결정한다. 즉, 기준 설정 수단(14)은 소정의 범위보다도 짧은 시간차(560㎱ 미만)가 존재한 가를 판정하여(단계 17), 그것이 존재하는 경우에는 초기 설정 동작과 마찬가지로 기준 전압을 재설정 한다(단계 19). 짧은 시간차가 존재하지 않는 경우에는 마찬가지로 기준 설정 수단(14)은, 상기 소정의 긴 시간차(740㎱ 초과)가 존재한 가를 판정하여(단계 18), 존재하는 경우에는 초기 설정 동작과 마찬가지로 기준 전압을 재설정한다(단계 19). 상기 소정의 범위 밖의 짧은 시간차와 긴 시간차 양쪽이 존재한 경우에는 제어 수단(12)은 초기 설정 동작을 다시 한다. 상기 소정의 범위 밖의 시간차가 존재하지 않는 경우에는 유량 계측을 종료하고, 계시 수단(10)의 유량 계측 개시로부터 소정의 반복 회수 종료 시까지의 시간을 측정한다. 그 후, 제 1 초음파 진동자(2)와 제 2 초음파 진동자(3)로 초음파 신호의 송수신을 전환 수단(4)에 의해 전환하고, 계측 장치는 상기와 마찬가지의 조작을 실행한다, 피측정 유체의 상류에서 하류로의 초음파의 전파 시간과 하류에서 상류로의 전파 시간을 측정하여, 이들의 시간차로부터 유량 산출 수단(11)은 유로의 크기나 흐름의 상태를 고려하여 유량을 구한다.
기준 설정 수단(14)의 다른 동작을 설명한다. 도 14는 기준 설정 수단(14)의 다른 동작을 설명하는 플로우차트이다. 단계 11∼16까지의 동작은 도 12의 단계 11∼16의 동작과 같다.
반복 수단(9)에 미리 설정된 회수만큼 초음파 신호의 송수신이 종료하면, 기준 설정 수단(14)은 반복 회수만큼 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차 중, 초기 설정 동작 시에 기준 전압을 설정했을 때의 2개의 변곡점 사이에서의 시간차의 폭에 소정의 비율(상기와 마찬가지로 20%)의 범위의 상한과 하한 양쪽의 범위 밖의 시간차가 존재하는지의 여부를 판정한다(단계 21). 그 시간차가 존재하는 경우에는, 기준 설정 수단(14)은 초기 설정 동작과 마찬가지로 기준 전압을 재설정 한다(단계 22).
그 시간차가 존재하지 않는 경우에는, 기준 설정 수단(14)은 범위의 상한(740㎱)보다 긴 시간차만이 존재하는지의 여부를 판단하여(단계 23), 긴 시간차가 존재하는 경우에는 그 회수가 소정의 회수(예컨대 10회) 이상인지의 여부를 판단한다(단계 24). 기준 설정 수단(14)은 그 회수가 소정의 회수 이상이면 기준 전압을 1 제어 단위(2mV)마다 2회, 즉 2 제어 단위만큼 증가시킨다(단계 25, 26). 그 회수가 소정의 회수 미만이면 기준 설정 수단(14)은 기준 전압을 1 제어 단위(2mV)만큼, 증가시킨다(단계 26).
다음에 기준 설정 수단(14)은 범위의 하한(560㎱)보다 짧은 시간차만이 존재하는지의 여부를 판정하여(단계 27), 그 짧은 시간차만이 존재하는 경우에는 그 회수가 소정의 회수(예컨대 10회) 이상인지의 여부를 판단한다(단계 28). 그 회수가 소정의 회수 이상이면, 기준 설정 수단(14)은 기준 전압을 1회당 1 제어 단위(2mV)만큼, 2회, 즉 2 제어 단위만큼 감소시킨다(단계 29, 30). 그 회수가 소정의 회수 미만이면, 기준 설정 수단(14)은 기준 전압을 1 제어 단위(2mV)만큼 감소시킨다(단계 30). 그리고 범위의 상한과의 비교(단계23), 하한과의 비교(단계27)의 결과, 계측된 모든 시간차가 범위 내였으면 기준 전압은 변경하지 않고 종료한다.
이와 같이 유량 계측 시의 시간차 계시 수단(15)이 계시하는 시간차가 기준 전압을 설정했을 때의 시간차를 근거로 결정되는 소정의 시간차의 폭으로부터 일탈한 회수에 따라 기준 전압이 재설정 된다.
실시예 4에서는 시간차 계시 수단(15)이 계시하는 시간차가 크게 변화되는 복수의 변곡점 중, 최대 간격의 변곡점 사이의 중점으로 기준 전압을 설정한다. 수신 신호의 전압 변동의 방향(증가 또는 감소)에 기울기가 있어, 예컨대 수신 신호의 전압 변동이 증가하지 않고, 감소할 뿐이면 기준 전압을 시간차의 변곡점 사이의 중점이 아니라, 그것보다도 낮은 전압으로 설정해도 좋다. 이것에 의해, 수신 신호의 전압 변동(감소)에 대하여 기준 전압과의 마진을 크게 할 수 있다. 이러한 경우에는, 기준 전압은 예컨대 시간차의 최대 간격의 변곡점 사이의 1/3의 전압으로 설정하더라도 좋고, 기준 전압은 수신 신호의 전압 변동의 특성에 따라 임의의 점으로 설정하더라도 좋다.
이상에 의해서, 기준 전압을 초음파의 수신파 중에서 수신 신호의 전압 변동에 대하여 제일 안정적으로 초음파 신호의 도달 시기를 검지할 수 있는 전압으로 설정할 수 있다. 또한, 기준 전압의 설정 후, 유량 계측 시의 시간차 계시 수단(15)이 계시하는 시간차가 기준 전압을 설정했을 때의 시간차를 근거로 결정되는 소정의 시간차의 범위로부터 일탈한 경우에 기준 전압이 재설정 된다.
이것에 의해 기준 전압이 자동적으로 신속하게 설정되어, 설정 후, 유량 계측 장치에서는 유량 계측 시에 기준 전압을 계속하여 알맞은 전압으로 유지할 수 있다.
(실시예 5)
도 15는 본 발명의 실시예 5에서의 유량 계측 장치의 블록도이다. 도 16은 그 계측 장치의 동작의 플로우차트이다.
제어 수단(12)으로부터 제 1 진동자 및 제 2 진동자로부터 초음파를 송신하는 방향의 신호를 받아, 기준 설정 수단(14)이 설정하는 기준 전압이 변경된다. 다른 구성요소는 실시예 4와 같기 때문에 설명은 생략한다.
이상과 같이 구성된 유량 계측 장치에 대하여, 이하 실시예 4와 다른 기준 설정 수단(14)의 동작을 설명한다. 제어 수단(12)은 전원 투입 후, 우선 초기 설정 동작으로서 증폭 수단(6)의 이득을 조정하여, 기준 전압을 설정한다. 실시예 4와 같이, 기준 전압 설정 동작으로서는 기준 설정 수단(14)이 기준 전압을 최소로부터 최대로 변화시켰을 때의 시간차 계시 수단(15)이 계시하는 시간차가 크게 변화되는 복수의 변곡점 중, 최대 간격의 변곡점 사이의 중점으로 기준 전압을 설정한다. 그리고 제어 수단(12)은 실시예 2와 마찬가지로, 반복 수단(9)에 설정한 회수만큼, 초음파의 송수신을 실행하여 유량을 계측한다(단계 51). 유량 계측 후, 제어 수단(12)은 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차의 평균치를 산출한다(단계 52). 그리고 제어 수단(12)은, 제 1 초음파 진동자(2)와 제 2 초음파 진동자(3)를 전환 수단(4)에 의해 전환하여(단계 53), 마찬가지로 유량을 계측한다(단계 54). 그 후, 시간차 계시 수단(15)이 계시한 시간차의 평균치를 산출한다(단계 55). 기준 설정 수단(14)은 제 1 초음파 진동자(2) 및 제 2 초음파 진동자(3)의 송신 방향별 평균 시간차를 비교한다(단계 56). 평균 시간차가 소정의 값보다 큰 경우, 예컨대 한쪽의 시간차가 600㎱, 다른 쪽의 시간차가 670㎱와 10% 이상의 차이가 있는 경우에 기준 설정 수단(14)은 송신 방향별로 기준 전압을 설정하여(단계 57), 이후 방향에 따라 각각의 기준 전압을 이용한다.
이상과 같이 실시예 5에 있어서는, 유로를 흐르는 유체의 유량에 의해서 상류에서 하류로의 방향과, 하류에서 상류로의 방향에서 초음파 신호를 송신하는 방향에서 수신 신호의 감도의 차이가 발생하여, 수신파의 전압과 기준 전압과의 관계가 변화되어, 그 결과, 시간차 계시 수단이 계시하는 시간차가 초음파 신호를 송신하는 방향에서 다른 경우에 각각의 방향에서 알맞은 기준 전압을 설정할 수 있다. 실시예 5의 유량 계측 장치에서는, 이와 같이 초음파 신호의 송신 방향에서 수신 신호의 전압에 차이가 발생하더라도 기준 전압을 알맞은 전압으로 유지할 수 있다.
(실시예 6)
도 17은 본 발명의 실시예 6에서의 유량 계측 장치의 블럭도이다. 도 18, 도 19는 유량 계측 장치의 동작, 즉 기준 전압의 결정 동작을 설명하는 도면이다. 도 17에 있어서, 기준 설정부(7a)는 기준 전압을 미리 설정하거나, 또는 기준 전압의 설정을 변경하는 전자 볼륨 등으로 구성된다. 비교부(7b)는 기준 설정부(7a)에서 설정된 기준 전압과 수신측의 진동자의 수신 신호의 전압을 비교한다. 시간차 계시부(7c)는 비교부(7b)의 출력과 판정 수단(8)으로부터의 출력의 시간차를 계시한다. 다른 실시예와 다르게, 실시예 6에 의한 유량 계측 장치는 기준 설정부(7a)와 비교부(7b)와 시간차 계시부(7c)로 기준 비교 수단(7)을 구성하고 있다. 신호폭 검출 수단(16)은 기준 비교 수단(7)의 출력 후, 증폭 수단(6)의 출력의 임의의 지점 사이의 시간을 산출한다. 다른 구성 요소는 실시예 3과 같기 때문에 설명은 생략한다.
이상과 같이 구성된 유량 계측 장치의 동작에 대하여 설명한다. 기준 비교 수단(7)은 기준 전압을 이하와 같이 결정한다. 제어 수단(12)은 전원 투입 시의 초기 설정 동작이나, 유량 산출 수단(11)이 이상(異常)값을 산출한 경우나 판정 수단(8)이 초음파 신호의 도달 시기를 판정할 수 없는 경우에 기준 비교 수단(7)에 기준 전압의 설정을 지시하여, 기준 전압의 결정 동작 모드에 기준 비교 수단(7)을 설정한다. 제어 수단(12)으로부터의 지시에 의해 기준 비교 수단(7)은 기준 전압의 결정 동작 모드로 하면, 기준 설정부(7a)는 기준 전압을 증폭 수단(6)에 의해 증폭된 초음파의 수신 신호의 피크 전압 부근으로 설정한다. 예컨대, 도 18에 도시하는 바와 같이 제 4 피크 P4가 수신파 전체에서의 피크인 경우, 기준 설정부(7a)는 기준 전압을 피크 P4의 전압 Vrefs로 설정한다. 기준 설정부(7a)가 기준 전압을 전압 Vrefs로부터 서서히 내려가면서, 시간차 계시부(7c)는 비교부(7b)의 출력 신호와 판정 수단(8)의 출력 신호와의 시간차를 계시한다.
예컨대 기준 전압이 도 18의 점선으로 나타내는 Vrefp인 경우, 판정 수단(8)은, 증폭 수단(6)이 출력하는 수신파가 전압 Vrefp에 도달한 후에 최초로 제로 크로싱된 점 Ta에서 하강 신호 E를 출력한다. 이 경우에는, 시간차 계시부(7c)는 비교부(7b)의 출력 신호 C와 판정 수단(8)의 출력 신호 E의 시간차 td를 계시한다.
도 19는, 상기한 바와 같이 기준 전압이 내려 간 경우의 시간차 계시부(7c)에서 계시하는 시간차 td를 나타낸다. 초음파의 수신 신호의 각 피크(제 2 피크 P2, 제 3 피크 P3 …)의 기준 전압에서 시간차 td는 초음파의 주파수의 1/4 주기가 되고, 다른 부분에서는 기준 전압을 내림에 따라서 시간차가 길어진다.
이와 같이 시간차 td는 기준 전압과 상관이 있어, 시간차 td가 초음파의 주기의 1/4이 되는 기준 전압이 초음파의 수신 신호의 각 피크의 전압이다. 기준 설정부(7a)는 제 3 피크와 제 2 피크의 전압의 중간의 기준 전압 Vr2와, 제 2 피크와제 1 피크 P1의 전압의 중간의 기준 전압 Vr1을 기억하고, 기준 비교 수단(7)은 기준 전압의 결정 동작 모드를 종료한다.
예컨대 제 3 피크 P3을, 수신 신호의 도달 시기를 인식하기 위해서 검지하는 경우, 제어 수단(12)은 피크 P3의 전압과 그 하나 앞의 제 2 피크 P2의 전압의 중간의 전압 Vr2으로 기준 전압을 설정하여 유량 계측을 개시한다. 또한, 실시예 6에서는 증폭 수단(6)의 이득 조정 후에, 기준 전압의 결정 동작 모드에서, 처음에 기준 전압을 수신 신호의 전체에서의 피크의 전압으로부터 서서히 내려 설정한다. 반대로 수신 신호의 가장 진폭이 작은 제 1 피크 P1부근에서 서서히 전압을 올려가면서, 시간차 계시부(7c)가 계시하는 시간차에 의해 소정의 피크 사이, 예컨대 피크 P2, P3 사이의 중간의 전압으로 기준 전압을 설정하더라도 같은 효과를 얻는다.
또한, 실시예 6에서는 수신 신호의 피크의 전압의 중간에 기준 전압이 설정되지만, 실시예 2에서 말한 바와 같이, 수신 신호의 전압(진폭) 변동의 방향(증가 또는 감소)으로 기울기가 있는 경우, 수신 신호의 전압 변동에 대하여 특정한 피크 전압 사이의 중에서, 기준 전압과의 마진을 크게 취할 수 있는 임의의 전압으로 기준 전압을 설정하면 좋다. 예컨대 실시예 2에서 말한 바와 같이, 소정의 특정 피크 사이의 전압의 1/3로 기준 전압을 설정하더라도 좋다.
이상과 같이 실시예 6에 있어서는, 전원 투입 시의 초기 설정 동작 시나, 그 후의 기준 전압 설정 동작 시에, 시간차 계시부(7c)가 계시하는 비교부(7b)와 판정 수단(8)의 출력의 시간차로부터 기준 설정부(7a)의 기준 전압이 결정되어 기억된다. 이 기준 전압은 실제의 초음파 신호의 수신파를 근거로 결정되기 때문에, 실시예 6에 의한 유량 계측 장치는 알맞은 기준 전압으로 유량을 계측할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기준 전압이 신속하고 정확하게 설정되어, 유량 계측 장치는 항상 최적의 기준 전압으로 유량을 계측할 수 있다.
Claims (11)
- 유로를 흐르는 유체의 유량을 계측하는 유량 계측 장치에 있어서,상기 유로에 마련되어 초음파 신호를 송수신하는 제 1 진동자 및 제 2 진동자와,상기 제 1과 제 2 진동자를 구동하는 송신 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 초음파 신호의 송수신을 전환하는 전환 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 수신 신호를 증폭하는 증폭 수단과,상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자 사이에서의 전파 시간에 근거하여 유량을 산출하는 유량 산출 수단과,상기 증폭된 수신 신호의 전압과 기준 전압을 비교하여, 상기 수신 신호의 상기 전압과 상기 기준 전압의 대소 관계가 변하는 시점을 나타내는 신호를 출력하는 기준 비교 수단과,상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호와 상기 증폭 수단의 출력으로부터 상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자로의 도달 시점을 판정하여, 상기 도달 시점을 나타내는 신호를 출력하는 판정 수단과,상기 초음파 신호의 송신 개시로부터 상기 판정 수단이 판정하여 상기 도달 시점까지의 상기 유로에서의 상기 초음파 신호의 전파 시간을 계시(計時)하는 전파 계시부와, 상기 계시된 전파 시간을 근거로 상기 기준 전압을 결정하여 상기 기준 비교 수단으로 상기 기준 전압을 출력하는 전압 설정부를 갖는 기준 설정 수단을 구비한 유량 계측 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은 상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호와 상기 판정 수단이 출력하는 상기 신호의 시간차를 계시하는 시간차 계시부를 더 갖고,상기 전압 설정부는 상기 시간차 계시부의 출력을 근거로 상기 기준 전압을 결정하는 유량 계측 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은, 상기 기준 전압을 변화시켰을 때의 상기 시간차 계시 수단이 계시하는 상기 시간차가 크게 변화되는 복수의 변곡점을 근거로 상기 기준 전압을 설정하는 유량 계측 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은 상기 복수의 변곡점 중, 최대의 간격의 변곡점 사이에 상기 기준 전압을 설정하는 유량 계측 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은 최대의 간격의 상기 변곡점 사이의 중점에 상기 기준 전압을 설정하는 유량 계측 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은, 상기 시간차 계시 수단이 계시한 상기 시간차가 소정의 범위로부터 벗어난 경우에 상기 기준 전압을 변경하는 유량 계측 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은, 상기 기준 전압을 설정 가능 범위의 최소로부터 최대까지 변화시켰을 때의 상기 시간차 계시 수단이 출력하는 상기 시간차가 소정의 범위의 최대값 부근과 최소값 부근의 양쪽을 포함하는 경우에, 상기 기준 전압을 설정하는 유량 계측 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 기준 설정 수단은 상기 기준 전압을 설정 가능 범위의 최소로부터 최대까지 변화시켰을 때의 상기 시간차 계시 수단이 계시한 상기 시간차가 소정의 범위로부터 소정의 회수만큼 벗어난 경우에 상기 기준 전압을 변경하는 유량 계측 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 시간차 계시 수단이 계시한 상기 시간차의 시간차 초음파 신호의 송수신 방향별 차이가 소정보다 커진 경우에 상기 초음파 신호의 송수신 방향별로 상기 기준 전압을 설정하는 유량 계측 장치.
- 유로를 흐르는 유체의 유량을 계측하는 유량 계측 장치에 있어서,상기 유로에 마련되어 초음파 신호를 송수신하는 제 1 진동자 및 제 2 진동자와,상기 제 1과 제 2 진동자를 구동하는 송신 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 초음파 신호의 송수신을 전환하는 전환 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 수신 신호를 증폭하는 증폭 수단과,상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자 사이에서의 전파 시간에 근거하여 유량을 산출하는 유량 산출 수단과,상기 증폭된 수신 신호의 전압과 기준 전압을 비교하여, 상기 수신 신호의상기 전압과 상기 기준 전압의 대소 관계가 변하는 시점을 나타내는 신호를 출력하는 기준 비교 수단과,상기 기준 비교 수단의 출력과 상기 증폭 수단의 출력으로부터 상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자로의 도달 시점을 판정하여, 상기 도달 시점을 나타내는 신호를 출력하는 판정 수단과,상기 기준 전압을 변화시켰을 때의 상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호에 따라 상기 기준 전압을 설정하는 기준 설정 수단을 구비한 유량 계측 장치.
- 유로를 흐르는 유체의 유량을 계측하는 유량 계측 장치에 있어서,상기 유로에 마련되어 초음파 신호를 송수신하는 제 1 진동자 및 제 2 진동자와,상기 제 1과 제 2 진동자를 구동하는 송신 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 초음파 신호의 송수신을 전환하는 전환 수단과,상기 제 1과 제 2 진동자의 수신 신호를 증폭하는 증폭 수단과,상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자 사이에서의 전파 시간에 근거하여 유량을 산출하는 유량 산출 수단과,상기 증폭된 수신 신호의 전압과 기준 전압을 비교하여, 상기 수신 신호의 상기 전압과 상기 기준 전압의 대소 관계가 변하는 시점을 나타내는 신호를 출력하는 기준 비교 수단과,상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호와 상기 증폭 수단의 출력으로부터 상기 초음파 신호의 상기 제 1과 제 2 진동자로의 도달 시점을 판정하여, 상기 도달 시점을 나타내는 신호를 출력하는 판정 수단과,상기 기준 비교 수단이 출력하는 상기 신호와 상기 판정 수단이 출력하는 상기 신호의 시간차를 계시하는 시간차 계시부와,상기 기준 전압을 상기 증폭된 수신 신호의 피크 부근의 전압으로부터 서서히 감소시켰을 때의 상기 시간차 계시부가 계시하는 상기 시간차를 근거로 상기 기준 전압을 설정하는 기준 설정부를 구비한 유량 계측 장치.
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|---|---|---|---|---|
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| US7262606B2 (en) * | 2005-03-26 | 2007-08-28 | Huettinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Method of arc detection |
| JP5194754B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2013-05-08 | パナソニック株式会社 | ガスメータ装置及びこの装置を用いたガス供給システム |
| WO2009078161A1 (ja) * | 2007-12-19 | 2009-06-25 | Panasonic Corporation | 流量計測装置 |
| WO2011074248A1 (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-23 | パナソニック株式会社 | 流量計測装置 |
| EP2686643A4 (en) | 2011-03-18 | 2014-09-10 | Soneter Llc | METHODS AND APPARATUS FOR MEASURING FLUID FLOW |
| US20130054159A1 (en) * | 2011-08-31 | 2013-02-28 | E. Strode Pennebaker | Wireless tank level monitoring system |
| JP2013156075A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 超音波流量計 |
| US20130253872A1 (en) * | 2012-03-20 | 2013-09-26 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Flow meter calibration system |
| JP5884014B2 (ja) | 2012-06-26 | 2016-03-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 流れ計測装置 |
| JP5948566B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2016-07-06 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 流量計測装置 |
| JP2014035323A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Rohm Co Ltd | 送信回路、半導体装置、超音波センサ、車両 |
| CN103630174B (zh) * | 2013-12-07 | 2016-04-13 | 重庆前卫科技集团有限公司 | 一种超声波流量计的流量测量方法 |
| CN105444827A (zh) * | 2014-08-31 | 2016-03-30 | 上海中核维思仪器仪表有限公司 | 一种采用双边测量超声波传输时间的测量方法 |
| CN104198758B (zh) * | 2014-09-22 | 2017-11-17 | 北京昌民技术有限公司 | 超声波接收时间点的设定方法 |
| JP6500243B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2019-04-17 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 流量計測装置 |
| USD851524S1 (en) | 2018-01-18 | 2019-06-18 | Norgas Metering Technologies, Inc. | Ultrasonic flow meter |
| CN114111972B (zh) * | 2021-10-29 | 2024-05-17 | 浙江威星智能仪表股份有限公司 | 一种针对超声波表计回波自动调整的方法 |
| CN114923531B (zh) * | 2022-07-21 | 2022-10-11 | 成都千嘉科技股份有限公司 | 门限值自适应调整方法及超声波计量装置自适应计量方法 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR95411E (fr) * | 1968-02-26 | 1970-11-06 | Realisations Ultrasoniques Sa | Débitmetre a ultra-sons. |
| DE2726981C2 (de) | 1977-06-15 | 1984-11-22 | Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen | Vorrichtung zur Zeitmessung zwischen Impulsen |
| JPS5418788A (en) | 1977-07-13 | 1979-02-13 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for detecting of ultrasonic wave signals |
| JPS5441783A (en) | 1977-09-09 | 1979-04-03 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for detection of ultrasonic wave receiving signals |
| JPS56124018A (en) | 1980-03-05 | 1981-09-29 | Hitachi Ltd | Zero-point adjustment method for ultrasonic flow meter |
| US4509372A (en) * | 1983-04-04 | 1985-04-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Acoustical wave flowmeter with increased density capability |
| JPS618621A (ja) | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Fuji Electric Co Ltd | 受波検出装置 |
| JPS61274221A (ja) | 1985-05-30 | 1986-12-04 | Yokogawa Electric Corp | 超音波流量計 |
| JP3422100B2 (ja) * | 1994-11-02 | 2003-06-30 | 松下電器産業株式会社 | 流量計測装置 |
| JPH08304133A (ja) | 1995-05-10 | 1996-11-22 | Oki Systec Tokai:Kk | 超音波流速測定装置 |
| JP3766728B2 (ja) | 1996-11-13 | 2006-04-19 | 愛知時計電機株式会社 | 超音波流量計 |
| JP3624642B2 (ja) | 1997-08-06 | 2005-03-02 | 松下電器産業株式会社 | 流体計測装置 |
| JP3427696B2 (ja) | 1997-10-08 | 2003-07-22 | 松下電器産業株式会社 | 流量計測装置 |
| SE9802762D0 (sv) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | Siemens Elema Ab | Zero crossing detector and method of determining a zero crossing point |
| US6625549B1 (en) * | 1998-09-11 | 2003-09-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Equipment specifying system |
| JP4120062B2 (ja) * | 1998-10-26 | 2008-07-16 | 松下電器産業株式会社 | 流量計測装置 |
| JP3473491B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2003-12-02 | 松下電器産業株式会社 | 超音波流量計 |
| JP4362890B2 (ja) * | 1999-05-20 | 2009-11-11 | パナソニック株式会社 | 流量計測装置 |
| JP2001004417A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Tokyo Keiso Co Ltd | 超音波流量計 |
| JP4556253B2 (ja) | 1999-06-24 | 2010-10-06 | パナソニック株式会社 | 流量計 |
| JP2001194197A (ja) | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Fuji Electric Co Ltd | 超音波流量計 |
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