JP2014035323A - 送信回路、半導体装置、超音波センサ、車両 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波信号の送信後に生じる超音波振動子の残響を適切に抑制する。
【解決手段】超音波振動子２から超音波信号Ｓａを送信する際、パルス信号Ｓ１を用いて超音波振動子２の端子電圧Ｖｔを駆動した後、さらに、パルス信号Ｓ１とは逆位相のパルス信号Ｓ２を用いて端子電圧Ｖｔを駆動する送信回路１０において、パルス信号Ｓ２のパルス数と端子電圧Ｖｔのパルスレベルの少なくとも一方が任意に設定可能とされている。
【選択図】図４

Description

本発明は、超音波センサ用の送信回路に関する。

従来より、単一の超音波振動子を用いて超音波信号の送信と反射信号の受信を行うことにより、物体の有無判定や物体との距離計測を行う超音波センサが実用化されている。このような超音波センサでは、超音波信号の送信後に生じる超音波振動子の残響（端子電圧の揺れ）が収まるまで反射信号を正しく受信することができない。そこで、従来の超音波センサでは、反射信号の誤検出を防止するために、超音波信号を送信してから所定の期間が経過するまで、受信信号をマスクするなどの残響対策が講じられていた。

なお、上記に関連する従来技術の一例としては、特許文献１を挙げることができる。

特開平８−１４６１２１号公報

しかしながら、超音波信号を送信してから所定の期間に亘って受信信号をマスクする構成では、超音波信号を送信してから反射信号がすぐに戻ってきた場合にこれを正しく検出することができない（すなわち、近距離に存在する物体の有無判定や距離計測が困難である）、という課題があった。

なお、特許文献１では、超音波信号の停止直後に超音波信号とは逆位相の残響抑制信号で超音波信号の半周期の期間だけ超音波振動子を駆動する（すなわち、超音波信号の最終パルス幅を通常の２倍とする）ことにより、残響を打ち消す技術が開示されている。しかしながら、超音波振動子には固有の残響特性があるので、特許文献１の従来技術をそのまま採用しただけでは、十分な残響抑制効果が得られない場合もあった。

本発明は、本願の発明者により見出された上記の問題点に鑑み、超音波振動子の残響を適切に抑制することのできる送信回路を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る送信回路は、超音波振動子から超音波信号を送信する際に、第１パルス信号を用いて前記超音波振動子の端子電圧を駆動した後、さらに、前記第１パルス信号とは逆位相の第２パルス信号を用いて前記端子電圧を駆動するものであって、前記第２パルス信号のパルス数と前記端子電圧のパルスレベルの少なくとも一方が任意に設定可能とされている構成（第１の構成）にするとよい。

なお、上記第１の構成から成る送信回路は、前記第１パルス信号を生成する第１パルス信号生成部と、前記第１パルス信号の生成が停止された後に前記第２パルス信号を生成する第２パルス信号生成部と、前記第１パルス信号と前記第２パルス信号を論理合成して第３パルス信号を生成する論理合成部と、前記第３パルス信号を用いて前記端子電圧を駆動する駆動部と、を有する構成（第２の構成）にするとよい。

また、上記第２の構成から成る送信回路は、前記第１パルス信号生成部と前記第２パルス信号生成部の双方に共通の駆動クロック信号を供給する発振部をさらに有する構成（第３の構成）にするとよい。

また、上記第２または第３の構成から成る送信回路において、前記第２パルス信号生成部は、パルス数設定データに応じて前記第２パルス信号のパルス数を設定する構成（第４の構成）にするとよい。

また、上記第２〜第４いずれかの構成から成る送信回路において、前記駆動部は、パルスレベル設定データに応じて前記端子電圧のパルスレベルを設定する構成（第５の構成）にするとよい。

また、上記第５の構成から成る送信回路において、前記駆動部は、前記第３パルス信号に応じて前記端子電圧を生成するトランスを含み、前記トランスは、前記パルスレベル設定データに応じてその巻線比が切り替えられる構成（第６の構成）にするとよい。

また、本発明に係る半導体装置は、超音波振動子を駆動して超音波信号を送信する上記第１〜第６いずれかの構成から成る送信回路と、前記超音波振動子で検出された反射信号を受信する受信回路と、前記送信回路の送信動作と前記受信回路の受信動作を時分割で制御する制御回路と、を集積化した構成（第７の構成）とされている。

なお、上記第７の構成から成る半導体装置において、前記制御回路は、外部入力される設定データに応じて前記第２パルス信号のパルス数と前記端子電圧のパルスレベルの少なくとも一方を設定する構成（第８の構成）にするとよい。

また、上記第８の構成から成る半導体装置は、前記設定データを格納するレジスタをさらに集積化した構成（第９の構成）にするとよい。

また、本発明に係る超音波センサは、上記第７〜第９いずれかの構成から成る半導体装置と、前記半導体装置に接続された超音波振動子と、を有する構成（第１０の構成）とされている。

また、本発明に係る車両は、コーナーソナー及びバックソナーの少なくとも一方として上記第１０の構成から成る超音波センサを有する構成（第１１の構成）とされている。

本発明によれば、超音波振動子の残響を適切に抑制することのできる送信回路を提供することが可能となる。

超音波センサを備えた車両の一構成例を示すブロック図 超音波センサを備えた車両の一構成例を示す外観図 超音波センサの動作原理を説明するための波形図 送信回路１０の一構成例を示すブロック図 パルス信号生成動作を説明するための波形図 第１出力例（パルス信号Ｓ２×０発）を示す波形図 第２出力例（パルス信号Ｓ２×１発）を示す波形図 第３出力例（パルス信号Ｓ２×２発）を示す波形図 駆動部１４の第１構成例を示す回路図 駆動部１４の第２構成例を示す回路図 パルスレベル可変動作を説明するための波形図

＜車両＞
図１及び図２は、超音波センサを備えた車両の一構成例を示すブロック図及び外観図である。本構成例の車両Ｘは、超音波センサＸ１と、電子制御装置Ｘ２と、を有する。

超音波センサＸ１は、車両Ｘのコーナーソナーやバックソナーとして、車両Ｘの４つのコーナーやリア中央に搭載される電子部品であり、半導体装置１と、半導体装置１に接続された超音波振動子（圧電素子）２と、を有する。

半導体装置１は、その外部に接続された単一の超音波振動子２を用いて超音波信号（送信信号）Ｓａの送信と反射信号（受信信号）Ｓｂの受信を行うモノリシック半導体集積回路装置であり、送信回路１０と、受信回路２０と、制御回路３０と、レジスタ４０と、を含む。超音波振動子２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電素子を用いて電気信号（電気エネルギー）と超音波（振動エネルギー）との相互変換を行う。

送信回路１０は、超音波振動子２を駆動して超音波信号Ｓａを送信する。より具体的に述べると、送信回路１０は、超音波振動子２を用いて超音波信号Ｓａを送信する際、制御回路３０の指示に応じて超音波振動子２の端子電圧Ｖｔをパルス駆動する。

受信回路２０は、超音波振動子２で検出された反射信号Ｓｂを受信する。より具体的に述べると、受信回路２０は、超音波振動子２を用いて反射信号Ｓｂを受信する際、超音波振動子２の端子電圧Ｖｔを検出して制御回路３０に伝達する。

制御回路３０は、送信回路１０による超音波信号Ｓａの送信動作と、受信回路２０による反射信号Ｓｂの受信動作を時分割で制御する。制御回路３０は、レジスタ４０に格納された各種の設定データ（後述のパルス数設定データＤ１１及びＤ１２、パルスレベル設定データＤ１４、ないしは、周波数設定データＤ１５などを含む）に応じて、超音波センサＸ１の動作設定を行う。

レジスタ４０は、超音波センサＸ１の動作設定に必要な各種の設定データを格納する。レジスタ４０に格納される各種の設定データは、半導体装置１の外部から任意に書き換えることが可能である。

上記構成から成る超音波センサＸ１は、車両Ｘの周囲に向けて超音波信号Ｓａを送信した後、物体Ｙから戻ってくる反射信号Ｓｂを受信することにより、物体Ｙの有無判定や物体Ｙとの距離計測を行い、その結果を電子制御装置Ｘ２に伝達する。

電子制御装置（ＥＣＵ［electronic control unit］）Ｘ２は、超音波センサＸ１の検出結果から車両Ｘの周囲に存在する物体Ｙ（壁などの障害物）を検知し、運転者への注意を促すように、物体Ｙとの距離に応じてアラームやインジケータランプを駆動する。このような構成とすることにより、車両Ｘの車庫入れや狭い道での通り抜けに際して、運転者の不注意による接触事故を予防することが可能となる。

図３は、超音波センサＸ１の動作原理を説明するために、端子電圧Ｖｔの時間変化を描写した波形図である。超音波センサＸ１を用いて物体Ｙとの距離計測を行うに際しては、車両Ｘの周囲に向けて超音波信号Ｓａを送出した後、物体から戻ってくる反射信号Ｓｂを受信して、伝搬時間Ｔ１（＝超音波信号Ｓａを送信してから反射信号Ｓｂが受信されるまでの所要時間）を計測する。この伝搬時間Ｔ１が短いほど、車両Ｘと物体Ｙとの距離が短いということが分かる。

ただし、超音波センサＸ１では、超音波信号Ｓａの送信後に生じる超音波振動子２の残響（端子電圧Ｖｔの揺れ）が収まるまで反射信号Ｓｂを正しく受信することができない。従って、近距離に存在する物体Ｙの有無判定や距離計測を正しく行うためには、超音波振動子２の残響を適切に抑制して残響期間Ｔ２を短縮することが必要となる。

＜送信回路＞
図４は、送信回路１０の一構成例を示したブロック図である。本構成例の送信回路１０は、第１パルス信号生成部１１と、第２パルス信号生成部１２と、ＯＲゲート１３と、駆動部１４と、発振部１５と、を含む。

第１パルス信号生成部１１は、図５で示すように、駆動クロック信号ＣＬＫに同期してパルス信号Ｓ１（主信号）を生成する。第１パルス信号生成部１１は、制御回路３０から入力されるタイミング制御信号ＳＴに応じて、パルス信号Ｓ１の生成タイミングを決定する。第１パルス信号生成部１１は、制御回路３０から入力されるパルス数設定データＤ１１に応じて、パルス信号Ｓ１のパルス数を設定する。

第２パルス信号生成部１２は、図５で示すように、パルス信号Ｓ１の生成が停止された後、駆動クロック信号ＣＬＫに同期してパルス信号Ｓ１とは逆位相のパルス信号Ｓ２（残響抑制信号）を生成する。第２パルス信号生成部１２は、制御回路３０から入力されるタイミング制御信号ＳＴに応じて、パルス信号Ｓ２の生成タイミングを決定する。第２パルス信号生成部１２は、制御回路３０から入力されるパルス数設定データＤ１２に応じて、パルス信号Ｓ２のパルス数を設定する。

ＯＲゲート１３は、パルス信号Ｓ１とパルス信号Ｓ２を論理合成（論理和演算）してパルス信号Ｓ３を生成する。パルス信号Ｓ３は、図５で示すように、パルス信号Ｓ１及びＳ２の少なくとも一方がハイレベルであるときにハイレベルとなり、パルス信号Ｓ１及びＳ２の両方がローレベルであるときにローレベルとなる。

駆動部１４は、パルス信号Ｓ３を用いて端子電圧Ｖｔを駆動する。駆動部１４は、制御回路３０から入力されるパルスレベル設定データＤ１４に応じて、端子電圧Ｖｔのパルスレベルを設定される。駆動部１４の構成及び動作については、後ほど詳細に説明する。

発振部１５は、第１パルス信号生成部１１と第２パルス信号生成部１２の双方に共通の駆動クロック信号ＣＬＫを供給する。発振部１５は、制御回路３０から入力される周波数設定データＤ１５に応じて、駆動クロック信号ＣＬＫの周波数を設定する。

本構成例の送信回路１０は、超音波振動子２から超音波信号Ｓａを送信する際に、パルス信号Ｓ１を用いて超音波振動子２の端子電圧Ｖｔを駆動した後、さらに、パルス信号Ｓ１とは逆位相のパルス信号Ｓ２を用いて端子電圧Ｖｔを駆動する。このようなパルス生成動作を行うことにより、超音波振動子２の残響を抑制することができるので、近距離計測の実現やＳ／Ｎの改善を図ることが可能となる。

また、本構成例の送信回路１０において、パルス信号Ｓ２のパルス数は、制御回路３０から入力されるパルス数設定データＤ１２に応じて任意に設定することが可能である。このような構成とすることにより、超音波振動子２に固有の残響特性に合わせて、パルス信号Ｓ２のパルス数を最適化することができるので、超音波振動子２の残響をより効果的に抑制することが可能となる。

図６は、送信回路１０の第１出力例を示す端子電圧Ｖｔの波形図である。第１出力例では、パルス信号Ｓ１（５５ｋＨｚ）のパルス数が５に設定されており、パルス信号Ｓ２のパルス数が０に設定されている。この場合、パルス信号Ｓ１の送信開始から５００μｓ経過後の残響レベル（端子電圧Ｖｔのピークトゥピーク値）がΔ１０．７ｍＶであった。

図７は、送信回路１０の第２出力例を示す端子電圧Ｖｔの波形図である。第２出力例では、パルス信号Ｓ１（５５ｋＨｚ）のパルス数が５に設定されており、パルス信号Ｓ２のパルス数が１に設定されている。この場合、パルス信号Ｓ１の送信開始から５００μｓ経過後の残響レベル（端子電圧Ｖｔのピークトゥピーク値）がΔ７．４ｍＶであった。

図８は、送信回路１０の第３出力例を示す端子電圧Ｖｔの波形図である。第３出力例では、パルス信号Ｓ１（５５ｋＨｚ）のパルス数が５に設定されており、パルス信号Ｓ２のパルス数が２に設定されている。この場合、パルス信号Ｓ１の送信開始から５００μｓ経過後の残響レベル（端子電圧Ｖｔのピークトゥピーク値）がΔ４．４３ｍＶであった。

上記の第１〜第３出力例では、パルス信号Ｓ２のパルス数を増やすほど超音波振動子２の残響レベルをより抑制することができた。しかしながら、超音波振動子２の残響特性によっては、パルス信号Ｓ２のパルス数を１に設定した方が超音波振動子２の残響レベルをより抑制し得る場合もあり得る。従って、様々な超音波振動子２に対応するためには、パルス信号Ｓ２のパルス数を任意に設定し得る構成としておくことが重要となる。

＜駆動部＞
図９は、駆動部１４の第１構成例を示す回路図である。第１構成例の駆動部１４は、Ｎチャネル型ＭＯＳ［metal oxide semiconductor］電界効果トランジスタ１４１と、ｐｎｐ型バイポーラトランジスタ１４２と、トランス１４３と、抵抗１４４と、を含む。

トランジスタ１４１のドレインは、トランジスタ１４２のベースに接続されている。トランジスタ１４１のソースは、接地端に接続されている。トランジスタ１４１のゲートはパルス信号Ｓ３の印加端に接続されている。トランジスタ１４２のエミッタは、電源電圧Ｖｄｄの印加端に接続されている。トランジスタ１４２のコレクタは、トランス１４３を形成する一次巻線Ｌ１の第１端に接続されている。トランス１４３を形成する二次巻線Ｌ２の第１端は、超音波振動子２の第１端（端子電圧Ｖｔの印加端）に接続されている。一次巻線Ｌ１の第２端と二次巻線Ｌ２の第２端は、いずれも接地端に共通接続されている。抵抗１４４の第１端は、電源電圧Ｖｄｄの印加端に接続されている。抵抗１４４の第２端は、トランジスタ１４２のベースに接続されている。なお、一次巻線Ｌ１と二次巻線Ｌ２との巻線比は、例えば１：１０に設定されている。

パルス信号Ｓ３がハイレベルであるときには、トランジスタ１４１及び１４２がオンとなり、トランス１４３の一次巻線Ｌ１に一次電流が供給される。一方、パルス信号Ｓ３がローレベルであるときには、トランジスタ１４１及び１４２がオフとなり、トランス１４３の一次巻線Ｌ１に流れていた一次電流が遮断される。上記した一次電流の供給／遮断により、一次巻線Ｌ１と磁気的に結合した二次巻線Ｌ２の第１端には、一次巻線Ｌ１と二次巻線Ｌ２との巻線比に応じた端子電圧Ｖｔ（例えば１０×Ｖｄｄ）が発生する。

このように、パルス信号Ｓ３に応じて端子電圧Ｖｔを生成するトランスを含む構成であれば、極めて簡易な構成により、端子電圧Ｖｔを所望の電圧値まで高めることができる。

なお、第１構成例では、端子電圧Ｖｔのパルスレベルを固定とした構成について説明したが、様々な超音波振動子２に対応するためには、端子電圧Ｖｔのパルスレベルを任意に設定し得る構成とすることが望ましい。

図１０は、駆動部１４の第２構成例を示す回路図である。第２構成例の駆動部１４は、基本的に第１構成例と同様であり、トランス１４３の巻線比を可変制御するために、一次巻線Ｌ１を３つの一次巻線Ｌ１ｘ、Ｌ１ｙ、Ｌ１ｚに分割した上で、これらを任意に選択するセレクタ１４５を設けた点に特徴を有している。そこで、第１構成例と同様の部分については、図９と同一の符号を付すことで重複した説明を割愛し、以下では、第２構成例の特徴部分についてのみ、重点的な説明を行うことにする。

一次巻線Ｌ１ｘの第１端は、トランジスタ１４２のコレクタに接続されている。一次巻線Ｌ１ｘの第２端は、一次巻線Ｌ１ｙの第１端とセレクタ１４５の第１選択端（ｘ）に接続されている。一次巻線Ｌ１ｙの第２端は、一次巻線Ｌ１ｚの第１端とセレクタ１４５の第２選択端（ｙ）に接続されている。一次巻線Ｌ１ｚの第２端は、セレクタ１４５の第３選択端（ｚ）に接続されている。セレクタ１４５の共通端は、接地端に接続されている。セレクタ１４５の制御端は、パルスレベル設定データＤ１４の印加端に接続されている。

一次巻線Ｌ１ｘ、Ｌ１ｙ、Ｌ１ｚと二次巻線Ｌ２との巻線比は、例えば１：１：１：１０に設定されている。セレクタ１４５において、第１選択端（ｘ）と共通端とが導通されている場合、一次巻線Ｌ１として一次巻線Ｌ１ｘのみが選択されることになる。従って、一次巻線Ｌ１と二次巻線Ｌ２との巻線比は１：１０となる。一方、セレクタ１４５において、第２選択端（ｙ）と共通端とが導通されている場合、一次巻線Ｌ１として一次巻線Ｌ１ｘとＬ１ｙが選択されることになる。従って、一次巻線Ｌ１と二次巻線Ｌ２との巻線比は、２：１０となる。また、一方、セレクタ１４５において、第３選択端（ｚ）と共通端とが導通されている場合、一次巻線Ｌ１として一次巻線Ｌ１ｘ〜Ｌ１ｙが全て選択されることになる。従って、一次巻線Ｌ１と二次巻線Ｌ２との巻線比は、３：１０となる。

すなわち、第２構成例の駆動部１４は、パルスレベル設定データＤ１４に応じてトランス１４３の巻線比を切り替えることにより、端子電圧Ｖｔのパルスレベルを１００％（＝１０×Ｖｄｄ）、５０％（＝５×Ｖｄｄ）、３３％（＝３×Ｖｄｄ）の中から任意に設定することができる。このような構成とすることにより、超音波振動子２に固有の残響特性に合わせて、端子電圧Ｖｔのパルスレベルを最適化することができるので、超音波振動子２の残響をより効果的に抑制することが可能となる。

図１１は、パルスレベル可変動作を説明するための波形図であり、上から順番に、パルス信号Ｓ１〜Ｓ３、パルスレベル設定データＤ１４、及び、端子電圧Ｖｔが描写されている。ここでは、パルス信号Ｓ１の出力中に端子電圧Ｖｔのパルスレベルを１００％とし、パルス信号Ｓ２の出力中に端子電圧Ｖｔのパルスレベルを３３％に切り替える様子が描写されている。

ただし、パルスレベルの切替制御はこれに限定されるものではなく、例えば、パルス信号Ｓ２としてＮ発のパルスを生成する場合、Ｎ発全てのパルスレベルを５０％ないしは３３％に設定しても構わないし、或いは、１発目を１００％、２発目を５０％、３発目を３３％というように、パルス毎にパルスレベルを変えて設定しても構わない。

＜その他の変形例＞
なお、上記の実施形態では、本発明の適用対象として車載ソナーを例に挙げたが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、単一の超音波振動子を用いて信号の送受信を行う超音波センサ全般に広く適用することが可能である。

また、本明細書中に開示されている種々の技術的特徴は、上記実施形態のほか、その技術的創作の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、バイポーラトランジスタとＭＯＳ電界効果トランジスタとの相互置換や、各種信号の論理レベル反転は任意である。すなわち、上記実施形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきであり、本発明の技術的範囲は、上記実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示されるものであり、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内に属する全ての変更が含まれると理解されるべきである。

本発明は、例えば、車載ソナーの近距離計測能力や計測精度を高めるために利用することが可能である。

１ 半導体装置
２ 超音波振動子（圧電素子）
１０ 送信回路
１１ 第１パルス信号生成部
１２ 第２パルス信号生成部
１３ ＯＲゲート
１４ 駆動部
１４１ Ｎチャネル型ＭＯＳ電界効果トランジスタ
１４２ ｐｎｐ型バイポーラトランジスタ
１４３ トランス
Ｌ１、Ｌ１ｘ、Ｌ１ｙ、Ｌ１ｚ 一次巻線
Ｌ２ 二次巻線
１４４ 抵抗
１４５ セレクタ
１５ 発振部
２０ 受信回路
３０ 制御回路
４０ レジスタ
Ｘ 車両
Ｘ１ 超音波センサ（コーナーソナー、バックソナー）
Ｘ２ 電子制御ユニット（ＥＣＵ）
Ｙ 物体（壁など）
Ｓａ 超音波信号（送信信号）
Ｓｂ 反射信号（受信信号）

Claims (11)

1. 超音波振動子から超音波信号を送信する際に、第１パルス信号を用いて前記超音波振動子の端子電圧を駆動した後、さらに、前記第１パルス信号とは逆位相の第２パルス信号を用いて前記端子電圧を駆動する送信回路であって、
   前記第２パルス信号のパルス数と前記端子電圧のパルスレベルの少なくとも一方が任意に設定可能とされていることを特徴とする送信回路。
2. 前記第１パルス信号を生成する第１パルス信号生成部と、
   前記第１パルス信号の生成が停止された後に前記第２パルス信号を生成する第２パルス信号生成部と、
   前記第１パルス信号と前記第２パルス信号を論理合成して第３パルス信号を生成する論理合成部と、
   前記第３パルス信号を用いて前記端子電圧を駆動する駆動部と、
   を有することを特徴とする請求項１に記載の送信回路。
3. 前記第１パルス信号生成部と前記第２パルス信号生成部の双方に共通の駆動クロック信号を供給する発振部をさらに有することを特徴とする請求項２に記載の送信回路。
4. 前記第２パルス信号生成部は、パルス数設定データに応じて前記第２パルス信号のパルス数を設定することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の送信回路。
5. 前記駆動部は、パルスレベル設定データに応じて前記端子電圧のパルスレベルを設定することを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか一項に記載の送信回路。
6. 前記駆動部は、前記第３パルス信号に応じて前記端子電圧を生成するトランスを含み、
   前記トランスは、前記パルスレベル設定データに応じてその巻線比が切り替えられることを特徴とする請求項５に記載の送信回路。
7. 超音波振動子を駆動して超音波信号を送信する請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の送信回路と、
   前記超音波振動子で検出された反射信号を受信する受信回路と、
   前記送信回路の送信動作と前記受信回路の受信動作を時分割で制御する制御回路と、
   を集積化したことを特徴とする半導体装置。
8. 前記制御回路は、外部入力される設定データに応じて前記第２パルス信号のパルス数と前記端子電圧のパルスレベルの少なくとも一方を設定することを特徴とする請求項７に記載の半導体装置。
9. 前記設定データを格納するレジスタをさらに集積化したことを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
10. 請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の半導体装置と、
    前記半導体装置に接続された超音波振動子と、
    を有することを特徴とする超音波センサ。
11. コーナーソナー及びバックソナーの少なくとも一方として請求項１０に記載の超音波センサを有することを特徴とする車両。

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