KR20020064903A - 화상 데이터 파일 관리 시스템 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 화상 데이터 파일 관리 시스템은 피검체의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 촬상부에서 촬상된 화상 데이터를 화상 처리하여 검사 결과를 취득하는 검사부와, 상기 검사 결과에 따른 압축율로 상기 화상 데이터를 압축시키는 압축부와, 상기 압축부에서 출력되는 화상 데이터를 저장하는 화상서버를 구비하고 있다.

Description

화상 데이터 파일 관리 시스템 및 방법{IMAGE DATA FILE MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD}

예를 들면, 반도체 웨이퍼 등의 결함 검사장치로서, 웨이퍼면을 촬상부에 의해 촬상하고, 촬상된 화상에 대하여 컴퓨터에 의해 화상 처리를 실시하고 결함을 추출함과 동시에, 이들 화상 처리된 화상 데이터를 기억부에 기록하는 장치가 실용화되어 있다.

또한, 이러한 결함 검사장치에서는 화상 처리마다 취급하는 데이터량이 방대하게 되는 것에서, 백업기능을 갖는 화상서버를 접속하고, 상기 화상서버측에 화상 데이터 파일을 기록시키는 것도 생각되고 있다.

그런데, 종래의 생각에 의한 화상 데이터 파일의 기록방법에서는 결함 검사장치의 기억부의 화상 데이터를 그대로 화상서버측의 백업부에 기록시키기 때문에, 서버측에 큰 기록용량이 필요하게 되어, 경제적으로 불리하게 된다. 또한, 서버측에 기록되는 화상 데이터 파일의 관리에 관해서는 배려가 이루어지지 않는 것에서, 백업데이터를 유효하게 이용하는 것이 어렵다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 화상 데이터의 관리를 효율적으로 행할 수 있는 화상 데이터 파일 관리 시스템 및 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은 검사장치 등으로 촬상된 화상 데이터를 관리하는 화상 데이터 파일 관리 시스템 및 방법에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 화상 데이터 파일 관리 시스템의 개략구성을 도시한 도면.

도 2는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 검사장치측에서의 검사처리의 순서를 나타낸 플로우차트.

도 3A는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 결과보존처리의 순서를 상세하게 도시한 플로우차트.

도 3B는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 화상 데이터의 압축처리의 순서를 나타낸 플로우차트.

도 4는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 화상 데이터의 압축보존을 설명하기 위한 도면.

도 5는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 화상 데이터의 압축보존을 설명하기 위한 도면.

도 6은 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 서버측에서의 처리순서를 나타낸 플로우차트.

도 7은 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 데이터베이스에 등록되는 화상 데이터에 관한 레코드를 도시한 도면.

도 8A∼도 8E는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 데이터베이스에 등록되는 각 레코드를 도시한 도면.

도 9는 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 검사 화상의 일람 표시의 예를 도시한 도면.

도 10은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 화상 데이터 파일 관리 시스템의 개략구성을 도시한 도면.

도 11은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검사 결과 파일의 일례를 도시한 도면.

도 12는 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 데이터베이스에 등록되는 화상 데이터에 관한 레코드를 도시한 도면.

도 13은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 도 12에 도시한 레코드와 링크하는 화상 데이터에 관한 레코드를 도시한 도면.

도 14는 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검색단말의 표시부에서의 제 1의 표시예를 도시한 도면.

도 15는 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검색단말의 표시부에서의 제 2의 표시예를 도시한 도면.

도 16은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검색단말의 표시부에서의 제 3의 표시예를 도시한 도면.

도 17은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검색단말의 표시부에서의 제 4의 표시예를 도시한 도면.

도 18은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 검색단말의 표시부에서의 제 5의 표시예를 도시한 도면.

도 19는 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 웨이퍼의 화상표시의 변형예를 도시한 도면.

본 발명의 화상 데이터 파일 관리 시스템은 피검체의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 촬상부에서 촬상된 화상 데이터를 화상 처리하여 검사 결과를 취득하는 검사부와, 상기 검사 결과에 따른 압축율로 상기 화상 데이터를 압축시키는 압축부와, 상기 압축부에서 출력되는 화상 데이터를 저장하는 화상서버를 구비하고 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 제 1의 실시 형태에 관한 화상 데이터 파일 관리 시스템의 개략구성을 도시한 도면이다. 도 1에 있어서, 클라이언트 장치인 복수(도시예에서는 합계 4대)의 검사장치(1)(#1∼#4)는 반도체 웨이퍼생산라인의 전공정, 후공정의 각 단계에 있어서 마크로 검사, 패턴 검사, 현미경 검사, SEM 검사 등의 각종 검사를 행한다. 검사장치(1)는 예를 들면 웨이퍼면을 도시하지 않은 촬상부에 의해 촬상함 과 함께, 상기 촬상된 화상을 화상 처리하여 결함부를 검출하는 결함 검사장치 등이다. 이들 각 검사장치(1)(#1∼#4)는 크린 룸(2)내에 배치되어 있다.

또한, 각 검사장치(1)(#1∼#4)는 통신용의 LAN(3)에 접속되어 있다. 더욱이 LAN(3)에는 화상서버부(4) 및 검색단말(5)이 접속되어 있다. 화상서버부(4)는 백업장치(41), 데이터베이스(42), 하드 디스크(43), 및 서버본체(44)를 갖고 있다. 검색단말(5)은 크린 룸(2)의 밖에 배치되어 있고, 화상서버부(4)의 기록내용을 검색한다.

이상과 같은 구성을 이루는 화상 데이터 파일 관리 시스템에 있어서, 각 검사장치(1)에서 검사대상이 되는 웨이퍼(검사용 웨이퍼)에 대하여 마크로 검사, 패턴 검사, 현미경 검사, SEM 검사 등의 결함 검사처리가 행하여진다. 예를 들면, #1은 마크로 검사장치, #2는 패턴 검사장치, #3은 현미경 검사장치, #4는 SEM 검사장치이다.

도 2는 마크로 검사장치(1)(#1)측에서의 검사처리의 순서를 도시한 플로우차트이다. 우선, 스텝201에서, 검사장치(1)(#1)에서는 검사용 웨이퍼의 표면을 촬상부에 의해 촬상하고, 상기 마크로 검사 화상 데이터를 받아들인다. 상기 받아들인 화상 데이터는 간섭화상과 회절화상의 각 데이터이다.

다음에 검사장치(1)(#1)에서는 스텝202에서, 이들 간섭화상과 회절화상의 각 데이터를 이용하여 웨이퍼의 결함검출이 행하여지고, 스텝203에서, 결함판정처리가 행하여진다. 그리고 검사장치(1)에서는 스텝204에서, 검사용 웨이퍼의 가부, 즉 합격인가 불합격인가의 검사 결과가 나오고, 이 결과에 따른 화상 데이터의 보존처리가 행하여진다. 마찬가지로, 다른 패턴 검사장치(#2), 현미경 검사장치(#3), SEM 검사장치(#4)에 있어서도, 검사용 웨이퍼상의 결함을 확대하고, 결함의 가부판정이나 종별 등의 검사가 행하여진다. 상기 결함의 검사 결과에 따라 미크로 화상 데이터의 보존처리가 행하여진다.

이 때 마크로 검사장치(1)(#1)에서는 간섭화상 데이터, 회절화상 데이터, 및 검사 결과데이터의 각 파일이 출력된다. 검사장치(1)(#1)에 있어서, 예를 들면, 1시간당 최대 380장의 화상을 처리하는 능력이 있는 것이라면, 1장의 화상이 비압축이며 4.1MB이므로 1시간에 1558MB의 용량이 된다. 상기 처리를 하루 24시간으로 1개월(30일)간 운용하면, 1121.76GB로도 된다. 이 때문에, 실제로 화상 데이터를 저장하기 위해서는 1TB 클래스의 용량의 하드 디스크를 몇대나 준비해야 하고, 코스트의 면에서 비경제적이다.

그래서 본 제 1의 실시 형태에서는 각 검사장치(1)(#1∼#4)에서의 결과보존처리를 LAN(3)을 개재하여 접속된 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)와 백업장치(41)를 이용하여 행한다. 이것에 의해, 검사장치(1)에 있어서의 하드 디스크의 용량을 최소한으로 하고, 매일의 운용과 백업후의 데이터의 운용을 쉽게 하고 있다.

도 3A는 도 2의 스텝204에서의 결과보존처리의 순서를 상세하게 도시한 플로우차트이다. 우선, 스텝301에서, 마크로 검사장치(1)(#1)에서는 검사 결과데이터로부터, 웨이퍼의 가부판정으로서 검사 결과가 합격인가 불합격인가를 판단한다. 여기서, 합격이라고 판단되면, 스텝302에서, 마크로 검사장치(1)(#1)는 합격이라고 판단된 웨이퍼의 마크로 화상 데이터(간섭화상과 회절화상)에 대하여 예를 들면 압축율 1/20로 고압축(비가역 압축이라고 부른다)한다. 이것은 합격이라고 판단된 합격품의 웨이퍼 화상 데이터는 후에 참조되는 기회가 적고, 검사장치(1)의 촬상부에서 촬상된 원래의 화상 데이터를 완전하게 복원시키는 가역성이 요구되지 않기 때문이다.

또한, 스텝301에서, 불합격이라고 판단되면, 스텝303에서, 검사장치(1)는 불합격이라고 판단된 웨이퍼의 화상 데이터(간섭화상과 회절화상)에 대하여, 예를 들면 압축율 1/2로 저압축 또는 비압축(가역 압축이라고 부른다)한다. 이것은 불합격이라고 판단된 불량품의 웨이퍼의 화상 데이터는 리웍 또는 폐기처분이 되는 중대한 결함을 상세하게 분석할 때에 참조되는 기회가 많고, 검사장치(1)의 촬상부에서 촬상된 화상 데이터를 완전하게 복원시키는 가역성이 요구되기 때문이다. 그리고 스텝304에서, 검사장치(1)(#1)는 상기 스텝302, 303에서 압축처리된 각 웨이퍼의 화상 데이터를 LAN(3)을 개재하여 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)에 저장한다.

도 3B는 상기 스텝302, 303에 있어서의 화상 데이터의 압축처리의 순서를 나타낸 플로우차트이다. 우선 스텝305에서, 배경처리가 행하여진다. 상기 배경처리에서는 마크로 검사장치(1)(#1)에 의해, 도 4에 도시한 바와 같이 웨이퍼스테이지를 포함한 검사 화상 데이터(51)가 작성되고, 이 검사 화상 데이터(51)중의 웨이퍼부(51a)와 배경부(웨이퍼스테이지, 51b)가 분리된다. 그리고, 검사 화상 데이터(51)는 마크로 검사장치(1)(#1)에 의해 배경부(51b)가 소정 휘도치(예를 들면 휘도치 0)의 배경부(51c)로 치환되고, 검사 화상 데이터(51')가 작성된다. 상기 웨이퍼부(51a)와 배경부(51b)의 분리방법은 매뉴얼로 설정하여도 좋고, 자동적으로 설정하여도 된다.

다음에, 스텝306에서, 마크로 검사장치(1)(#1)는 마스터(참조) 화상 데이터(52)와 검사 화상 데이터(51')와의 배타적 논리합의 연산처리를 행하고, 차분 화상 데이터(53)를 구한다. 검사장치(1)는 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)에 미리 가역 압축되어 보존되어 있는 도 5에 도시한 것 같은 기준이 되는 마스터 화상(52)을 LAN(3)을 개재하여 하드 디스크(43)로부터 취출한다.

마크로 검사장치(1)(#1)는 도 5에 도시한 바와 같이, 취출한 마스터 화상 데이터(52)로부터 배경처리된 검사 화상 데이터(51')를 빼고, 차분 화상 데이터(53)를 구한다. 그리고, 검사장치(1)는 스텝307에서, 차분 화상 데이터(53)를 상기 스텝302, 303에서 설정된 압축율로 압축하고, 스텝308에서, 상기 스텝304에 도시한 바와 같이 LAN(3)을 개재하여 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)에 저장한다.

또한, 화상 데이터의 다른 압축방법으로서는 마스터(참조)화상을 치환한 휘도치와, 상기 마스터화상의 휘도치에 대한 표준편차치를 미리 하드 디스크(43)에 보존해 두고, 마스터화상과 검사 화상과의 차분에 상기 표준편차치의 범위를 넘는 것이 존재하면, 그 차분을 결함이라고 판단하여 상기 차분만을 압축하여 저장하는 방법도 있다. 이러한 압축보존방법에 의하면, 마스터화상과 검사 화상과의 차분은 대부분의 휘도치가 0근방이 되기 때문에, 압축효율(JPEG에 한하지 않고)을 비약적으로 높일 수 있다.

또한, 확대화상(미크로 화상)에 의해 검사를 행하는 패턴 검사장치(#2), 현미경 검사장치(#3), SEM 검사장치(#4)에 있어서도, 합격(문제 없음)이라고 판단된 결함에 관련된 미크로 화상 데이터는 고압축되고, 불합격(문제 있음)이라고 판단된 결함에 관련된 미크로 화상 데이터는 저압축된다.

이렇게하여 하드 디스크(43)에 검사장치(1)로부터의 화상 데이터를 저장하는경우, 송신되어져 오는 데이터량이 많아지면, 하드 디스크(43)의 용량이 모자라게 되는 염려가 있다. 그 대책으로서, 예를 들면, 항상 하드 디스크(43)의 용량을 감시해 두고, 용량이 소정량 이하가 된 경우에 검사장치(1)에서의 압축율을 변화시키거나, 하드 디스크(43)측의 파일시스템으로 압축보존의 설정을 바꾸는 등의 방법이 취하여진다. 그 외에는 또한 예비용으로서 다른 하드 디스크를 준비 해 두고, 그곳에 보존처를 변경하는 방법이 이용된다.

이상과 같은 방법에 의해, 검사장치(1)에서의 결함 검사의 결과로 불합격(문제 있음)이라고 판단된 화상 데이터는 1/2정도의 저압축처리에 의해 보존되기 때문에, 그 후의 결함의 해석처리의 시에 검사장치(1)의 촬상부에서 촬상된 원래의 화상과 거의 동등한 양질의 웨이퍼 화상으로 복원할 수 있다. 또한, 합격(문제 없음)이라고 판단된 화상 데이터에 대해서는 고압축처리에 의해 보존되지만, 통상은 대부분의 웨이퍼는 합격할 것으로 생각되기 때문에, 이와 같이 수량이 많고, 또한 완전한 복원성이 요구되지 않는 합격이라고 판단된 화상 데이터에 대하여 고압축처리를 실시하는 것에 의해, LAN(3)을 개재하여 화상서버부(4)에 송신될 때의 LAN 부하(통신속도 등)을 대폭으로 경감할 수 있음과 동시에, 화상서버(4)의 이용율을 높일 수 있다.

도 6은 서버측에서의 처리순서를 나타낸 플로우차트이다. 화상서버부(4)측에서의 처리는 도 6에 도시한 플로우차트에 따라 실행된다. 또한, 상술한 검사장치(1)에서의 처리에 의해 합격 또는 불합격이 판정된 화상 데이터는 화상서버부(4)에 있어서 하드 디스크(43)의 소정의 디렉토리(템퍼러리 디렉토리)에 파일보존되어 있다.

이 상태에서, 스텝601에서, 서버본체(44)는 하드 디스크(43)의 템퍼러리 디렉토리를 정기적으로 감시한다. 여기서, 파일이 존재하지 않으면, 서버본체(44)는 처리를 일단 종료하고 다시 감시를 되풀이한다. 또한, 파일이 존재하면, 스텝602에서, 서버본체(44)는 그 파일의 파일명을 기초로, 화상 데이터를 소정의 규칙에 따라서 디렉토리구조에 분류(이동)한다. 예를 들면 파일명으로서, 품종 ID, 공정 ID, 로트 ID 등의 명칭이 붙어 있는 경우, 서버본체(44)는 그 명칭을 해석하여 각각의 항목을 정보로서 추출한다.

그리고 서버본체(44)는 그 정보에 근거하여 하드 디스크(43)의 디렉토리를 검색하고, 대응하는 디렉토리 계층구조(품종 ID, 공정 ID, 로트 ID의 밑)에 화상 데이터의 파일을 분류(이동)한다. 또한 서버본체(44)는 대응하는 디렉토리가 존재하지 않는 경우, 상기 정보를 기초로 디렉토리를. 작성하고, 화상 데이터의 파일을 분류(이동)한다.

다음에, 스텝603에서, 서버본체(44)는 디렉토리구조의 분류마다 화상 데이터의 축소화상을 작성하고, 저장한다. 이들 축소화상은 조작자에 의한 검색단말(5)로부터의 지시에 의해 검사 화상을 섬네일 표시하는 데 이용되고, 호출을 쉽게 하기 위해서 미리 작성되는 것이며, 대응하는 화상 데이터로부터 화소의 간인 처리를 행하고 작성된다.

다음에, 스텝604에서, 서버본체(44)는 디렉토리구조로 분류(이동)한 데이터를 데이터베이스(42)에 등록한다. 이 경우, 데이터베이스(42)의 화상 데이터에 대한 레코드는 도 7에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '웨이퍼 ID', '로트 ID', '품종 ID', '공정 ID', '날짜', '시간', '화상의 종류', '검사 결과', '리웍회수', '소거 플래그', 및 '백업 미디어 ID'의 각 파일을 갖고 있다. 상기 레코드에서는 검사장치(1)에서의 검사 결과의 내용에 따라, 이들 필드에 정보가 추가 기록된다.

도 7에 도시한 레코드의 '품종 ID'의 필드는 도 8A에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '품종 ID', '품종명'의 각 정보와 관련지어져 있다. 도 7에 도시한 레코드의 '공정 ID'의 필드는 도 8B에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '공정 ID', '공정명'의 각 정보와 관련지어 지고, 더욱이 웨이퍼의 품종마다의 공정정보에 관한 레코드로서 도 8C에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '품종 ID', '공정 ID'의 각 정보와 관련지어 지고, 어떤 품종의 웨이퍼가 어떠한 공정으로 처리되었는 가를 도시한 정보가 기록되어 있다.

또한, 도 7에 도시한 레코드의 '화상의 종류'의 필드는 예를 들면 마크로 검사장치(1)(#1)에서 받아들여지는 화상이 간섭화상과 회절화상의 어느 쪽인가를 도시한 정보가 입력된다. 도 7에 도시한 레코드의 '검사 결과'의 파일은 검사 결과가 합격과 불합격의 어느 쪽인가를 도시한 정보가 입력된다.

도 7에 도시한 레코드의 '리웍회수'의 필드는 그 레코드의 웨이퍼가 리웍처리(재처리)될 때마다, 그 회수가 갱신된다. 도 8D는 웨이퍼의 로트마다의 '리웍회수'에 관한 레코드를 도시하고 있다. 도 7에 도시한 레코드의 '리웍회수'의 필드는 도 8D에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '로트 ID', '공정 ID', '리웍회수', '폐기 플래그'와 관련되어져 있다. 여기에서의 '폐기 플래그'는 화상 데이터가 폐기가된 경우의 데이터가 기록된다.

도 7에 도시한 레코드의 '소거 플래그'의 필드는 그 레코드의 화상 데이터가 화상서버부(4)의 하드 디스크(43) 및 백업장치(41)의 백업 미디어의 어느 쪽에서도 말소되었을 때에, 그 정보가 입력된다.

도 7에 도시한 레코드의 '백업 미디어 ID'의 파일은 그 레코드의 화상 데이터가 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)로부터 백업장치(41)의 백업 미디어에 백업되었을 때에, 그 백업 미디어에 붙여진 시리얼번호가 ID로서 입력된다. 도 8E는 백업 미디어에 관한 레코드를 도시하고 있다. 도 7에 도시한 레코드의 '백업 미디어 ID'의 파일은 도 8E에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '백업 미디어 ID', '백업시작일', '백업종료일', '리사이클가부'와 관련되어져 있다. 즉, 여기에서는 백업 미디어를 관리하는 레코드가 정의되고, '리사이클가부'의 필드는 그 백업 미디어가 완전하게 전데이터를 소거하여 재사용 가능하게 되고 있는 가 아닌가를 도시한다. 리사이클 가능하게 되는 조건은 도 7에 도시한 레코드이고, 같은 백업 미디어 ID를 가지는 모든 '소거 플래그'가 소거가 완료된 것을 도시할 때이다.

그리고, 도 6의 스텝605에서, 서버본체(44)는 웨이퍼의 로트의 백업의 가부를 판단한다. 이 경우, 서버본체(44)는 데이터베이스(42)의 도 8C와 도 8D의 데이터를 참조한다. 서버본체(44)는 그 1로트에 이러한 웨이퍼의 품종에 관해서 모든 공정을 종료하였는지, 또는 도중에 폐기가 결정되었는지를 확인하면, 스텝606에 진행하여, 데이터베이스(42)의 내용을 변경함과 함께, 어떤 백업 미디어에 백업을 행하는 가를 도 7에 도시한 레코드의 '백업 미디어 ID'를 기입하는 것으로 결정한다.그리고 서버본체(44)는 스텝607에서, 하드 디스크(43)내의 해당하는 화상 데이터 파일의, 백업장치(41)의 백업 미디어에의 백업을 실시한다. 또한, 백업장치(41)에 백업되는 화상 데이터 파일에는 화상 데이터의 축소화상은 포함되지 않는다.

이 경우, 백업장치(41)의 백업 미디어에는 테이프나 반도체메모리 등이 이용되고, 화상 데이터 파일과 함께, 디렉토리구조도 백업된다. 또한 데이터베이스(42)는 어떤 미디어에 어떤 품종의 웨이퍼의 데이터를 백업하였는 가를 관리하고, 백업된 화상 데이터 파일을 바코드나 시리얼번호 등의 식별부호를 붙여 관리한다. 더욱이, 백업된 화상 데이터 파일은 서버본체(44)에 의해 하드 디스크(43)로부터 삭제됨 과 함께, 데이터베이스(42)의 화상 데이터 파일의 항목에 시리얼번호 등의 식별자가 연기(連記)된다.

또한, 데이터베이스(42)는 백업 미디어마다, 어떤 화상 데이터 파일이 보존되어 있는지 관리하고 있고, 미디어내의 파일이 전부 소거된 경우는 그 미디어를 리사이클하고 재이용할 수 있도록 관리한다.

다음에, 이들 하드 디스크(43)와 백업장치(41)의 관계를 구체적으로 설명한다. 예를 들면, 웨이퍼를 1개월에 3만장 처리하는 반도체 생산라인에서는 마크로 검사장치(1)(#1)에 대하여 1개월간에 필요한 하드 디스크(43)의 용량은 웨이퍼가 모두 합격품이다고 한 경우,

30000(매)× 4.1(MB)× 2(화상수/웨이퍼)× 10(공정수)× 0.05(압축율1/20) = 123(GB)

이 된다.

또한, 1개월(30일)전에 투입한 웨이퍼가 먼저 입고한 것이 먼저 출고되는 식으로 처리되는 것으로 하고, 그중에서도 지연이 최대로 15일 있다고 보고, 안전성을 고려한 하드 디스크(43)의 용량을 어림잡으면,

123(GB)×(1+(15(일)/30(일)))

= 184.5(GB)

가 된다. 더욱이 하루 당의 용량을 도시하면,

123(GB)/30(일)= 4.1(GB)

이 되고, 처음의 1개월을 경과한 후, 다음 날부터 하루마다, 4.1 GB의 데이터를 백업장치(41)에서 백업하게 된다. 이 경우, 백업 미디어에 1권 IOOGB의 용량의 AIT(Advanced Intelligent Tape)를 사용하면, 1개월당 약1.23권(4.1(GB)× 30(일)= 123(GB))로 충분하게 된다. 또한, 백업 데이터를 1년간 저장하는 것을 가정하면, 약 15권(1.23(권)× 12(월)= 14.76)있으면 충분한다.

한편, 검색단말(5)에서는 백업되지 않고서 하드 디스크(43)내에 남은 디렉토리구조의 분류마다 작성된 화상 데이터의 축소화상을 이용하여, 검사 결과의 일람 표시를 도시하지 않은 표시부에 표시시킴과 함께, 데이터베이스(42)의 기억내용에 따라, 화상 데이터 파일과 백업 미디어의 대응관계, 및 백업 미디어의 검색이나 검사상황 등을 상기 표시부에 표시시킬 수 있다.

도 9는 검색단말(5)에 의한 검사 화상의 일람 표시의 예를 도시한 도면이다. 도 9에 도시한 검색단말(5)의 표시화면은 검사 결과의 화상 데이터에 대응하는 축소화상(11a)을 다수 열거하여 일람 표시하는 검사 화상표시영역(11), 로트전체의품종이나 공정 또는 전행정 등을 표시하는 영역12, 및 디렉터리표시영역(13)을 갖고 있다. 또한, 데이터베이스(42)에서는 정기적인 메인터넌스에 의해, 완전하게 필요 없게 된 화상 데이터의 레코드나 축소화상의 데이터를 소거한다.

또한, 상술한 제 1의 실시 형태에서는 복수의 검사장치(1)에 LAN(3)을 개재하여 화상서버부(4)를 접속한 예를 서술했지만, 검사장치(1)와 화상서버부(4)를 1대 1의 관계로 접속한 시스템도 적용할 수 있다. 또한, 검사장치(1)내에 화상서버부(4)의 기능을 갖게 한 시스템도 적용할 수 있다.

도 1O은 본 발명의 제 2의 실시 형태에 관한 화상 데이터 파일 관리 시스템의 개략구성을 도시한 도면이다. 도 10에 있어서 도 1과 동일인 부분에는 동일부호를 부여한다. 도 10에서는 공장내의 라인용 LAN(31)에 프로세스 컨트롤러(6)와 화상서버부(4)의 하드 디스크(43)가 접속되어 있다. 프로세스 컨트롤러(6)는 공장내에서의 일련의 웨이퍼 제조의 공정관리를 행한다. 또한, 크린 룸(2)내에서는 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)와 검색단말(5)이 화상전송용의 LAN(32)에 접속되어 있다. 더욱이 LAN(32)에는 화상서버부(4)가 접속되어 있다. 또한, 검색단말(5)을 LAN(31)에 접속하도록 구성하여도 된다.

화상서버부(4)의 하드 디스크(43)내의 레시피에리어(또는 프로세스 컨트롤러(6))에는 검사대상이 되는 각 웨이퍼의 고유정보(검사공정, 품종 등)이 보존되어 있다. 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)는 각각 웨이퍼의 마크로 검사, 패턴 검사, 현미경 검사(미크로 검사), SEM 검사를 행한다. 또한, LAN(32)에는 더욱이 도시하지 않은 중합(重合) 검사장치, 막두께 검사장치, 이물질 검사장치 등의 검사장치가 접속되어 있다. 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)는 웨이퍼의 검사를 행할 때에, 필요한 상기 웨이퍼의 고유정보를 상기 레시피에리어(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 다운로딩하고, 작성한 레시피에 따라 검사를 행한다.

각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)는 검사종료후, 상기 고유정보에 검사 결과를 부가한 검사 결과 파일을 화상 전송용의 LAN(32)을 개재하여 화상서버(4)의 하드 디스크(43)내의 템퍼러리 디렉토리에 보낸다. 화상서버(4)의 서버본체(44)는 하드 디스크(43)의 템퍼러리 디렉토리를 감시하고 있어, 템퍼러리 디렉토리에 보내여진 상기 검사 결과를 디코더에 의해 변환하여 데이터베이스(42)에 등록함과 함께, 이력관리를 행한 뒤에 하드 디스크(43)내의 레시피에리어(또는 프로세스 컨트롤러(6))에 저장한다.

이 때 서버본체(44)는 변환된 상기 검사 결과로부터 화상 데이터를 추출하고, 화상 데이터를 소정의 규칙에 따라 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))내의 디렉토리구조로 분류(이동)한다. 서버본체(44)는 디렉토리구조의 분류마다 화상 데이터의 축소화상을 작성하고, 저장한다. 또한 서버본체(44)는 하드 디스크(43)내의 화상 데이터가 도시한 결함의 좌표를 기초로 얻어지는 결함의 크기 정보와, 다른 검사장치(1)로부터의 검사 결과 파일의 검사 결과로부터 추출된 화상 데이터가 도시한 결함의 좌표를 비교하는 것에 의해, 어떤 검사장치(1)에서 검출된 결함이 다른 검사장치(1)에서도 검출되어 있는 가 아닌가를 판단할 수 있다.

도 11은 상기 검사 결과 파일의 일례를 도시한 도면이다. 상기 검사 결과 파일은 웨이퍼에 대한 고유정보(111)와 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)에서의 검사 결과(112)로 이루어진다. 고유정보(111)에는 각 웨이퍼의 검사공정, 품종 등의 정보가 기술된다. 검사 결과(112)에는 웨이퍼에 발생하고 있는 결함의 화상상의 위치(좌표), 결함명, 결함의 종횡의 크기, 검사를 행한 검사장치(1)의 명칭, 파일의 포맷형식 등이 기술된다. 서버본체(44)의 디코더는 상기 포맷형식에 따라 검사 결과의 정보의 변환을 행하고, 데이터베이스(42)에 등록한다.

도 12는 데이터베이스(42)에 등록되는 화상 데이터에 관한 레코드를 도시한 도면이다. 데이터베이스(42)에 등록되는 화상 데이터에 관한 레코드는 도 12에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '웨이퍼 ID', '로트 ID', '품종 ID', '공정 ID', '날짜', '시간', '화상의 종류', '검사 결과', '리웍회수', '소거 플래그', '백업 미디어 ID', '링크화상수', 및 복수의 '링크화상 ID'의 각 필드를 갖고 있다. 상기 레코드에서는 검사장치(1)에서의 검사 결과의 내용에 따라서, 이들 필드에 정보가 추가 기록된다. 이와 같이 데이터베이스(42)의 레코드내에, 그 화상 데이터와 링크하고 있는 화상 데이터의 수와 각 ID(파일명)가 기억된다.

도 13은 도 12에 도시한 레코드와 링크하는 화상 데이터에 관한 레코드를 도시한 도면이다. 데이터베이스(42)에 등록되는 링크화상 데이터에 관한 레코드는 도 13에 도시한 바와 같이, '레코드 No.', '링크화상 ID', '링크화상레코드 No.', '화상범위좌표', '화상배율', 및 '장치 ID'의 각 필드를 갖고 있다. 상기 레코드는 도 12에 도시한 레코드에서 추가되는 '링크화상 ID'에 대응하고 데이터베이스(42)에 추가 기록된다.

도 14는 검색단말(5)의 표시부에서의 제 1의 표시예를 도시한 도면이다. 서버본체(44)는 검색단말(5)로부터의 지시내용에 따라, 데이터베이스(42)의 레코드를 검색하고, 필요로 되는 검사 결과의 정보(웨이퍼의 화상 데이터 등)과 검사조건의 정보(웨이퍼의 고유정보)를 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 독출, LAN(32)(또는 LAN(31))을 개재하여 검색단말(5)로 보낸다. 검색단말(5)은 받은 정보를 도 14에 도시한 바와 같이 표시부에 표시한다.

도 14는 마크로 검사장치(1)(#1)에 의한 마크로 검사 결과의 표시예를 도시하고 있다. 검색단말(5)의 표시부에는 웨이퍼 화상(101), 검사조건(102), 검사 결과(103), 결함정보(104) 등의 정보가 표시된다. 웨이퍼 화상(101)에서는 웨이퍼의 전모양을 도시한 화상상에, 검출된 결함을 도시한 화상이 표시되어 있고, 각 결함에는 고유의 번호(라벨)가 부여되어 있다. 검사조건(102)에서는 웨이퍼의 고유정보가 문자 표시된다. 검사 결과(103)에서는 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)에 의한 검사 결과가 문자 표시된다.

결함정보(104)는 '라벨', '결함명칭', '확률', '중심좌표', '면적', '타장치에서의 검출', '링크화상'의 항목으로 이루어진다. '라벨'은 웨이퍼 화상(101)으로써 각 결함에 부여되는 번호를 도시하고 있다. '결함명칭'은 결함의 종류를 도시하고 있다. '확률'은 검출된 결함이 결함임이 확실함을 도시하고 있다. '중심좌표'는 웨이퍼 화상상에서의 결함화상의 중심위치를 도시하고 있다. '타장치에서의 검출'에서는 상기 결함이 다른 검사장치(1)(#2∼#4, 기타)에서도 검출되어 있는 경우에「1」이 표시되고, 검출되지 않는 경우에 「O」이 표시된다. '링크화상'에서는 데이터베이스(42)에서 상기 웨이퍼의 화상 데이터와 링크하고 있는 화상 데이터가 있는 경우에 「1」이 표시되고, 없는 경우에 「O」이 표시된다.

또한, 예를 들면 '라벨'이 「1」인 결함정보와 같이, '타장치에서의 검출'이「1」 또한 '링크화상'이 「1」인 경우, 웨이퍼 화상(101)에 있어서의 결함화상의 번호는 0으로 둘러싸인다. 또한, 예를 들면 '라벨'이 「2」인 결함정보와 같이, '타장치에서의 검출'이 「1」 또한 '링크화상'이 「0」인 경우, 웨이퍼 화상(101)에 있어서의 결함화상의 번호는 △로 둘러싸인다. 또한, 예를 들면 '라벨'이 「3」인 결함정보와 같이, '타장치에서의 검출'이 「0」 또한 '링크화상'이 「O」인 경우, 웨이퍼 화상(101)에 있어서의 결함화상의 번호는 그대로로 둘러싸이지 않는다.

더욱이 검색단말(5)의 표시부에는 매트릭스표시, 결함표시, 라벨표시 등의 선택설정(105)이 표시된다. 선택설정(105)의 '매트릭스표시'로 「유」가 설정된 경우, 웨이퍼 화상(101)에 숏이 표시되고, 「무」가 설정된 경우, 표시되지 않는다. 선택설정(105)의 '결함표시'로 「유」가 설정된 경우, 웨이퍼 화상(101)상의 결함화상이 강조색으로 표시되고, 「무」가 설정된 경우, 통상의 색으로 표시된다. 선택설정(105)의 '라벨표시'로 「유」가 설정된 경우, 웨이퍼 화상(101)상의 결함화상의 번호가 표시되고, 「무」가 설정된 경우, 표시되지 않는다.

또한 표시부에는 중합(重合) 검사 및 막두께 측정 등의 상세 정보표시 및 오버레이 표시를 행하기 위한 각 버튼(106), 후술하는 복수의 공정에 의한 화상을 표시하기 위한 버튼(107), 후술하는 재분류처리를 하기 위한 버튼(108) 등이 표시된다.

도 15는 검색단말(5)의 표시부에 있어서 제 2의 표시예를 도시한 도면이다. 도 15는 검색단말(5)에서 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 14에 있어서의 결함정보(104)의 '라벨'「1」의 행을 선택 조작(클릭조작 등)한 후의 표시예를 도시하고 있다. 서버본체(44)는 이 검색단말(5)로부터의 조작에 따라, 데이터베이스(42)의 레코드를 검색하고, 다른 검사장치(1)(#2∼#4, 기타)에서의 검사 결과의 정보를 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 독출하고, LAN(32)(또는 LAN(31))을 개재하여 검색단말(5)로 보낸다. 검색단말(5)은 받은 정보를 도 15에 도시한 바와 같이 표시부에 표시한다.

상기 표시부에는 웨이퍼의 확대화상(121), 결함정보(122), 타장치에서의 결함정보(123) 등의 정보가 표시된다. 웨이퍼의 확대화상(121)에서는 선택된 '라벨'「1」의 결함화상을 중심으로 하여 마크로 검사에 의한 웨이퍼 화상이 확대 표시되어 있다. 이것에 의해 조작자는 관찰을 요하는 결함을 확대하여 볼 수 있다. 결함정보(122)에서는 도 14에 있어서의 결함정보(104)의 '라벨'「1」의 행에서 도시된 정보가 문자 표시되어 있다.

타장치에서의 결함정보(123)는 '장치 ID', '결함수', '총면적', '화상수', '판정', '상세 정보표시', '결함표시 ON/OFF'의 항목으로 이루어진다. '장치 ID'는 다른 검사장치(1)(#2∼#4, 기타)의 장치 ID를 도시하고 있다. '결함수'는 상기 장치 ID를 갖는 검사장치(1)에서 검출된 웨이퍼상의 결함수를 도시하고 있다. '총면적'은 상기 장치 ID를 갖는 검사장치(1)로 검출된 웨이퍼상의 결함의 총면적을 도시하고 있다. '화상수'는 상기 장치 ID를 갖는 검사장치(1)에서 촬상된 화상수를도시하고 있다. '판정'은 상기 장치 ID를 갖는 검사장치(1)에 의한 웨이퍼의 가부(G/NG)판정의 결과를 도시하고 있다. '상세 정보표시'와 '결함표시 ON/OFF'는 각각 상기 장치 ID를 갖는 검사장치(1)에서 검출된 결함의 상세표시와 오버레이표시를 시키기 위한 버튼으로 이루어진다.

도 16은 검색단말(5)의 표시부에서의 제 3의 표시예를 도시한 도면이다. 도 16은 검색단말(5)에서 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 15에 있어서의 타장치에서의 결함정보(123)의 '장치 ID'의「PA501」의 행에 있어서의 '상세 정보표시'의 버튼을 조작(클릭조작 등)한 후의 표시예를 도시하고 있다. 「PA501」는 패턴 검사를 행하는 패턴 검사장치(1)(#2)의 ID 이다. 또한, 도 16에서는 이하의 설명에 관한 부분이외는 도시를 생략하고 있다.

상기 표시부에는 웨이퍼의 확대화상(131), 검사 결과(103), 결함정보(104) 등이 표시된다. 웨이퍼의 확대화상(131)에서는 도 15의 확대화상(121)의 결함과 동일하며, 검사장치(1)(#2)에서 검출된 각 결함의 화상이 표시되고, 각 결함에는 고유의 번호(라벨)가 부여되어 있다. 또한, 예를 들면「1」,「5」의 번호로 도시되는 결함과 같이, 번호가 0으로 둘러싸여 있는 결함화상에는 링크화상이 있고, 둘러싸여 있지 않은 결함화상에는 링크화상이 없다.

검사 결과(103)에서는 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)에 의한 검사 결과가 문자 표시된다. 결함정보(104)는 검사장치(1)(#2)에서 검출된 각 결함에 관한 상술한 바와 같은 '라벨', '결함명칭', '확률', '중심좌표', '면적', '타장치에서의 검출', '링크화상'의 항목으로 이루어진다. 이것에 의하여 조작자는 동일의 결함에관해서, 마크로 검사로 얻어진 화상을 관찰한 후, 패턴 검사로 얻어진 화상을 관찰할 수 있다.

도 17은 검색단말(5)의 표시부에서의 제 4의 표시예를 도시한 도면이다. 도 17은 검색단말(5)로써 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 14에 있어서의 웨이퍼 화상(101)상의 번호「1」를 선택 조작(클릭조작 등)한 후의 표시예를 도시하고 있다. 서버본체(44)는 검색단말(5)로부터의 조작에 따라, 데이터베이스(42)의 레코드를 검색하고, 현미경 검사를 행하는 검사장치(1)(#3)에서의 고유정보와 검사 결과의 정보를 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 독출, LAN(32)(또는 LAN(31))을 개재하여 검색단말(5)에 보낸다. 검색단말(5)은 받은 정보를 도 17에 도시한 바와 같이 표시부에 표시한다. 또한, 도 17에서는 이하의 설명에 관한 부분이외는 도시를 생략하고 있다.

상기 표시부에는 웨이퍼의 확대화상(141), 화상정보(142), 후술하는 결함분류 변경을 행하기 위한 버튼(143) 등이 표시된다. 웨이퍼의 확대화상(141)에서는 도 14에 있어서의 웨이퍼 화상(101)상의 번호「1」로 도시되는 마크로 검사에 의한 결함의 화상과 링크하고 있는 현미경 검사에 의한 화상이 표시되어 있다. 즉, 웨이퍼의 확대화상(141)에서는 도 14의 웨이퍼 화상(101)상의 결함과 동일하며, 검사장치(1)(#3)에서 검출된 결함의 화상이 표시되어 있다. 이것에 의해 조작자는 동일한 결함에 관해서, 마크로 검사로 얻어진 화상을 관찰한 후, 현미경 검사로 얻어진 화상을 관찰할 수 있다. 또한, 마크로 검사에 의한 결함의 화상과 링크하고 있는 현미경 검사에 의한 화상이 없는 경우는 화상(141)은 표시되지 않는다. 또한, 화상정보(142)에는 링크대상인 현미경 검사장치(1)(#3)에서의 웨이퍼의 고유정보가 문자 표시된다. 또한, 조작자가 웨이퍼의 확대화상(141)을 관찰하고, 그 결함의 종류가 도 14에 도시한 결함정보(104)에 표시되는 '결함명칭'과 다르다고 인식한 경우, 마우스 또는 키보드를 이용하여 버튼(143)을 조작(클릭조작 등)하고, 상기 '결함명칭'을 변경할 수 있다, 상기 변경의 정보는 후술하는 하드 디스크(43)내의 결함 분류 사전에 등록된다.

도 18은 검색단말(5)의 표시부에 있어서의 제 5의 표시예를 도시한 도면이다. 도 18은 검색단말(5)로써 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 17에 있어서의 웨이퍼의 확대화상(141)상의 소정 개소(예를 들면 결함중심부)를 선택 조작(클릭조작 등)한 후의 표시예를 도시하고 있다. 서버본체(44)는 검색단말(5)로부터의 조작에 따라, 데이터베이스(42)의 레코드를 검색하고, SEM 검사를 행하는 검사장치(1)(#4)에서의 고유정보와 검사 결과의 정보를 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 독출하고, LAN(32)(또는 LAN(31))을 개재하여 검색단말(5)로 보낸다. 검색단말(5)은 받은 정보를 도 18에 도시한 바와 같이 표시부에 표시한다. 또한, 도 18에서는 이하의 설명에 관한 부분이외는 도시를 생략하고 있다.

상기 표시부에는 웨이퍼의 확대화상(151), 화상정보(152), 후술하는 결함분류 변경을 행하기 위한 버튼(143) 등이 표시된다. 웨이퍼의 확대화상(151)에서는 도 17에 있어서 웨이퍼의 확대화상(141)으로 도시되는 현미경 검사에 의한 결함의 화상과 링크하고 있는 SEM 검사에 의한 화상이 표시되어 있다. 즉, 웨이퍼의 확대화상(151)에서는 도 17의 웨이퍼의 확대화상(141)이 도시한 결함과 동일하며, 검사장치(1)(#4)에서 검출된 결함의 화상이 표시되어 있다. 이것에 의해 조작자는 동일한 결함에 관해서, 현미경 검사로 얻어진 화상을 관찰한 후, SEM 검사로 얻어진 화상을 관찰할 수 있다. 또한, 현미경 검사에 의한 결함의 화상과 링크하고 있는 SEM 검사에 의한 화상이 없는 경우는 화상(151)은 표시되지 않는다. 또한, 화상정보(152)에는 링크대상인 검사장치(1)(#4)에서의 고유정보가 문자 표시된다.

또한, 검색단말(5)로 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 16에 있어서의 웨이퍼의 확대화상(131)상의 ○로 둘러싸여져 있는 번호(「1」 또는 「5」)를 선택 조작(클릭조작 등)하는 것으로, 검색단말(5)의 표시부에 도 18의 표시를 행하게 하는 것도 할 수 있다. 이것에 의해 조작자는 동일한 결함에 관해서, 패턴 검사로 얻어진 화상을 관찰한 후, SEM 검사에서 얻어진 화상을 관찰할 수 있다.

도 19는 상술한 도 14, 도 17의 순차로 변경되는 웨이퍼의 화상표시의 변형예를 도시한 도면이다. 도 19의 표시예에서는 검색단말(5)의 표시부에서, 마크로 검사에 의한 화상을 단계적으로 확대한 후, 현미경 검사에 의한 화상으로 절환한다. 웨이퍼 화상(201)은 웨이퍼 화상(101)과 동일하다. 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여, 웨이퍼 화상(201)의 화살표 a로 도시한 결함화상을 선택 조작(클릭조작 등) 하면, 그 결함화상을 중심으로 하여 마크로 검사에 의한 웨이퍼 화상(202)이 확대 표시된다. 더욱이, 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여, 웨이퍼 화상(202)의 화살표 b에서 도시한 확대된 결함화상을 선택 조작(클릭조작 등)하면, 그 결함화상이 더욱 확대 표시되고 웨이퍼 화상(203)이 된다.

다음에, 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여, 웨이퍼 화상(203)의 임의의 부분을 선택 조작(클릭조작 등) 하면, 그 부분의 화상과 링크하고 있는 현미경 화상이 표시된다. 예를 들면 화살표 A의 부분을 선택 조작한 경우, 그 부분의 화상과 링크하고 있는 현미경 화상(204)이 표시된다. 또한, 화살표 B의 부분을 선택 조작한 경우, 그 부분의 화상과 링크하고 있는 현미경 화상이 없기 때문에, 205에 도시한 바와 같이 아무것도 표시되지 않는다. 이와 같이, 현미경 화상(204)으로 절환된 후는 선택 조작된 부분을 중심으로 표시되기 때문에, 링크화상이 없는 경우는 아무것도 표시되지 않는다. 이 때문에, 웨이퍼 화상(203)상에, 링크화상이 존재하는 위치를 강조색 등으로 표시하는 것으로, 링크화상이 있는 위치를 인식할 수 있다.

또한, 검색단말(5)의 표시부에는 현미경 화상의 표시중에, 마크로 검사에 의한 화상과 그것에 링크하고 있는 현미경 화상과의 표시범위의 관계를 도시한 서브화상(206)도 표시된다. 서브화상(206)에는 현미경 화상이 표시되는 직전의 웨이퍼 화상(203)의 표시범위(207)와, 링크하고 있는 현미경 화상(204)의 표시범위(208)와, 현재의 표시범위(209)가 각각 테두리 형상으로 표시된다. 이것에 의해 조작자는 마크로 검사에 의한 화상과, 링크하고 있는 현미경 화상과, 현재의 화상의 각 표시범위의 관계를 알 수 있고, 웨이퍼의 관찰을 보다 유효하게 행할 수 있다.

이와 같이, 마크로 검사에 의한 화상에 대하여 선택 조작하는 것에 의해, 선택된 부분을 중심으로 하여 웨이퍼 화상이 확대 표시됨과 함께, 소정의 확대 배율까지 단계적으로 확대 표시된다. 그리고, 확대화상의 소정부분에 링크하고 있는 다른 검사장치에서의 화상이 있는 경우는 그 화상을 표시하도록 자동적으로 절환하고 있다. 예를 들면, 상기 확대 배율이 다른 검사장치에서의 화상과 등배이상으로 된 경우에 절환하도록 한다. 이것에 의하여 조작자는 웨이퍼 화상상의 결함을 단계적으로 확대하여 관찰할 수 있다.

도 14에 도시한 바와 같이, 검색단말(5)의 표시부에는 중합 검사나 막두께 측정 등의 상세 정보표시 및 오버레이표시를 행하기 위한 각 버튼(106)이 마련되어 있다. 중합 검사나 막두께 측정에서는 마크로 검사와 같이 웨이퍼 전체에 관한 검사가 행하여진다. 이들 중합 검사나 막두께 측정 등이 행하여진 경우, 해당하는 버튼(106)의 좌측에 「있음」이 표시된다. 이 상태에서, 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여 '상세 정보'의 버튼(106)을 조작(클릭조작 등) 하면, 중합 검사 또는 막두께 측정 등의 상세한 정보가 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 검색단말(5)에 다운로딩된다. 검색단말(5)은 그 상세한 정보를 상기 표시부상에 윈도로 문자 표시한다. 또한, 조작자가 도시하지 않은 마우스 또는 키보드를 이용하여 '오버레이'의 버튼(106)을 조작(클릭조작 등) 하면, 검색단말(5)은 다운로딩한 중합 검사 또는 막두께 측정 등의 화상 데이터를 웨이퍼 화상(101)상에 오버레이 표시한다. 이것에 의해 조작자는 마크로 검사에 의해 얻어진 결함화상과, 중합 검사나 막두께 측정 등으로 얻어진 결함화상을 웨이퍼 화상(101)상에서 동시에 볼 수 있고, 각 결함의 상태를 보다 상세하게 관찰할 수 있다.

또한 도 14에 도시한 바와 같이, 검색단말(5)의 표시부에는 웨이퍼 제조의복수의 공정에서의 결함화상을 웨이퍼 화상(101)상에서 겹쳐 표시하기 위한 버튼(107)이 마련되어 있다. 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여 버튼(107)을 조작 (클릭조작 등) 하면, 웨이퍼의 품종을 선택하기 위한 윈도가 표시된다. 상기 윈도상에서, 조작자가 화상의 표시를 요하는 복수의 공정을 선택 조작하면, 그것들 각 공정의 각 검사에서 얻어진 화상 데이터가 하드 디스크(43)(또는 프로세스 컨트롤러(6))로부터 검색단말(5)에 다운로딩된다. 검색단말(5)은 그것들 화상 데이터를 각 공정 순으로 웨이퍼 화상(101)상에서 경시적으로 겹쳐 표시한다. 또한, 결함화상의 색을 공정마다 바꾸어 표시하면, 결함이 발생한 상태를 보다 인식하기 쉬워 진다. 이와 같이, 웨이퍼 제조의 복수의 공정에 있어서 각 검사장치에서의 결함화상을 공정마다 순서대로 중합하여 표시하는 것에 의하여, 조작자는 결함이 어떤 공정에서 발생하고 있는 것인가를 인식할 수 있고, 결함발생의 요인을 용이하게 파악할 수 있다.

또한, 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 14에 도시한 검사 결과(103)의 소망의 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)의 항목을 선택 조작(클릭조작 등)하는 것에 의해, 그 검사장치에 의한 검사 결과의 상세 정보 및 화상을 다른 윈도에 표시하거나, 또는 웨이퍼 화상(101)을 상기 검사장치의 화상으로 절환하여 표시할 수 있다.

또한, 도 15에 도시한 바와 같이, 검색단말(5)의 표시부에 표시되는 타장치에서의 결함정보(123)에서는 대상이 되는 종류의 결함의 검출을 행하기 쉬운 검사장치(1)의 정보가 우선하여 표시된다. 즉, 도 15에서는 결함정보(122)에 도시하고있는 바와 같이 결함의 명칭은 '디포커스'이기 때문에, 타장치에서의 결함정보(123)에서는 디포커스의 결함의 검출을 행하기 쉬운 검사장치(1)( 'PA501', 'LA505')의 순으로, 검사 결과가 표시되어 있다.이것에 의하여 조작자는 관찰을 요하는 결함을 검출하고 있는 검사장치에서의 검사 결과나 화상을 우선하여 볼 수 있다.

또한, 조작자가 마우스 또는 키보드를 이용하여, 도 14에 도시한 버튼(108)을 조작(클릭조작 등) 하면, 재분류처리가 행하여진다. 서버본체(44)는 상기 검색단말(5)로부터의 조작에 따라, 데이터베이스(42)의 레코드를 참조하고, 하드 디스크(43)내의 각 검사장치의 검사 결과에 도시되는 결함정보를 바탕으로, 검출된 결함의 분류를 행한다. 예를 들면, 이물질 검사장치에 의해 웨이퍼의 단부에 이물질이 검출되고, 막두께 검사장치에 의해 상기 이물질에 대응하는 부분에서 줄기 형상의 막두께 이상이 검출된 경우, 서버본체(44)는 그 결함을 코밋과 분류한다. 또한, 마크로 검사장치에 의해 웨이퍼에 이상이 검출되고, 중합 검사장치에 의해 겹칩 이상이 검출된 경우, 서버본체(44)는 그 결함을 마스크어긋남으로 분류한다. 또한, 마크로 검사장치에 의해 웨이퍼에 이상이 검출되고, 패턴 검사장치에 의해 패턴 검사가 검출된 경우, 서버본체(44)는 그 결함을 디포커스로 분류한다. 그것들의 분류결과는 서버본체(44)로부터 검색단말(5)로 보내여지고, 도 14에 도시한 결함정보(104)에 표시된다.

서버본체(44)는 하드 디스크(43)내의 각 결함정보를 분류하여 결함 분류 사전에 등록하는 기능을 갖고 있고, 더욱이 상기 결함 분류 사전에 등록된 결함의 분류정보를 학습하여 분류를 쉽게 하는 기능을 갖고 있다. 이러한 결함정보의 분류기능과 분류사전에의 등록기능은 서버본체(44)의 설정에 의해 자동으로 실행시키거나, 조작자에 의한 수동조작으로 실행시키는 가를 선택할 수 있다. 더욱이, 자동으로 실행시키는 경우는 서버본체(44)의 처리속도의 저하가 예측되기 때문에, 서버본체(44)와는 별도의 컴퓨터로 처리를 행하는 것이 유효하다.

또한 서버본체(44)는 각 검사장치(1)(#1∼#4, 기타)에서의 검사 결과로부터, 대상이 되는 웨이퍼의 합격 여부판정을 행하고, 그 판정결과를 검색단말(5)로 보낸다. 검색단말(5)에서는 받은 판정결과를 표시부에 표시함과 함께, 불합격인 경우에는 경고를 표시한다.

또한, 하드 디스크(43) 또는 데이터베이스(42)에 기억되어 있는 검사 결과의 정보는 정기적으로 백업장치(41)의 백업 미디어에 보존된다. 상기 백업처리는 서버본체(44)가 제품이 완성 또는 출시된 취지를 도시한 정보를 프로세스 컨트롤러(6)로부터 받는 것으로 자동적으로 동작된다. 상기 백업처리에서는 데이터베이스(42)의 정보를 기초로, 해당하는 제품의 각 공정의 화상정보 등이 일괄해서 백업된다. 백업장치(41)에서는 백업시에 백업오토 로더를 이용하여 제품명의 소트를 행하고, 1권의 테이프에 같은 제품의 각 로트의 정보를 보존할 수 있다. 백업장치(41)는 각 테이프가 가득찼을 때에 경고를 표시하고, 다른 테이프에 저장할지 테이프를 교환할지의 판단을 기다린다.

검사장치(1)(#1)는 마크로 검사에서 이상이 발생한 경우, 다른 검사장치에서 검사가 필요하다는 취지를 결함좌표, 검사 결과 등의 정보와 함께, LAN(32), 화상서버(4), 및 LAN(31)을 개재하여 프로세스 컨트롤러(6)로 통지하는 기능을 갖고 있다. 프로세스 컨트롤러(6)는 그 통지를 받은 경우, 검사를 요하는 검사장치로 검사를 행하도록 지시한다.

또한, LAN(31)에 접속된 인터넷에 검색단말(5)을 접속하는 것으로, 검사상황을 웹을 개재하여 모니터링할 수 있다. 이것에 의하여, 라인관리자는 공장내에 한하지 않고 원격지에서도 화상서버부(4)를 조작할 수 있고, 검사 결과를 알 수 있다. 또한, 검사공정에 이상이 발생한 경우는 프로세스 컨트롤러(6)가 그 취지를 웹상에서 표시함과 함께, 미리 지정되어 있는 메일 어드레스에 배신(配信)하도록 구성 하는 것으로, 라인관리자는 공장내에 한하지 않고 원격지에서도 이상 발생을 알 수 있다. 또한, 공장내의 라인용 LAN(31)과 화상전송용의 LAN(32)은 다른 계통이기때문에, 쌍방의 통신라인의 부하를 경감할 수 있다.

이상 서술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 화상 데이터의 보존을 효율적으로 행할 수 있음과 함께, 백업데이터의 능률적인 관리를 실현하는 화상 데이터 파일 관리 시스템 및 방법을 제공할 수 있다.

본 발명은 상기 각 실시 형태만에 한정되지 않고, 요지를 변경하지 않는 범위에서 적시 변형하여 실시할 수 있다.

본 발명에 의하면, 화상 데이터의 관리를 효율적으로 할 수 있는 화상 데이터파일 관리 시스템 및 방법을 제공할 수 있다.

Claims (11)

1. 피검체의 화상을 취득하는 촬상부와,

   상기 촬상부에서 촬상된 화상 데이터를 화상 처리하여 검사 결과를 취득하는 검사부와,

   상기 검사 결과에 따른 압축율로 상기 화상 데이터를 압축시키는 압축부와,

   상기 압축부에서 출력되는 화상 데이터를 저장하는 화상서버를 구비한 것을 특징으로 하는 화상 데이터파일 관리 시스템.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 검사부는 상기 촬상부에서 촬상하여 얻은 상기 피검체의 화상 데이터를 화상 처리를 하여 결함데이터를 검출하고, 상기 피검체의 가부를 판정하는 검사 결과를 출력하는 결함 검사장치이고,

   상기 압축부는 상기 결함 검사장치에서 합격(가)이라고 판정된 상기 화상 데이터에 대하여 비가역 압축하고, 불합격(부)이라고 판정된 상기 화상 데이터에 대하여 가역 압축하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 촬상부, 상기 검사부, 및 상기 압축부에 의해 결함 검사장치를 구성하고, 상기 결함 검사장치는 반도체 생산라인의 각 공정중의 크린 룸내에 배치되고,통신회선을 개재하여 상기 크린 룸밖에 배치된 화상서버에 접속되는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 압축부는 마스터화상과 상기 피검체의 검사 화상의 차분 화상을 구하고, 상기 차분 화상을 압축처리하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 압축부는 마스터화상의 휘도치에 대한 표준편차치를 넘는 상기 마스터화상과 상기 피검체의 검사 화상의 차분만을 압축하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 화상서버는 추가로 데이터베이스부와 백업부를 가지고,

   상기 백업부는 상기 화상 데이터를 소정수 일괄하여 백업 저장하고,

   상기 데이터베이스부는 상기 화상 데이터의 상기 화상 데이터의 보존장소를 기억함과 함께, 상기 화상 데이터를 백업 저장하는 상기 백업부의 식별자를 기억하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 화상서버는 템퍼러리 디렉토리를 정기적으로 감시하고, 상기 템퍼러리 디렉토리에 보존되는 파일명에 따라 소정의 디렉토리마다 파일을 분류하고, 상기 분류마다 상기 화상 데이터에 대하여 축소화상을 작성하고, 작성된 축소화상을 일람 표시 가능하게 한 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
8. 피검체의 화상 데이터를 취득하는 화상취득스텝과,

   상기 화상취득스텝에서 취득된 화상 데이터에 대한 상기 피검체의 가부판정의 결함정보를 취득하는 정보취득스텝과,

   상기 화상취득스텝에서 취득된 화상 데이터를 상기 정보취득스텝에서 취득된 불합격(부) 판정정보에 근거하여 가역 압축처리하고, 합격(양) 판정정보에 근거하여 비가역 압축처리하고, 각 화상 데이터 파일을 작성하는 파일 작성 스텝과,

   상기 파일 작성 스텝에서 작성된 화상 데이터 파일을 기록하는 화상 데이터기록스텝을 포함한 화상 데이터 파일관리방법.
9. 피검체의 화상을 취득하고, 그 화상 데이터를 화상 처리하여 각종 검사 결과를 취득하는 복수의 검사부와,

   상기 각 검사부에서 취득된 각 화상 데이터끼리를 상기 피검체의 정보에 관련지어 저장하는 화상서버를 구비한 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 화상서버에 보존된 화상 데이터를 표시하는 조작단말을 가지고,

    상기 조작단말은 관련지어져 있는 상기 각 검사부에서 취득된 각 화상 데이터를 선택적으로 표시하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.
11. 제 9항에 있어서,

    상기 조작단말은 표시되어 있는 화상 데이터에 관한 검사정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 화상 데이터 파일 관리 시스템.