KR20020060722A - 비파괴 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의한 비파괴 검사장치는 내구성이 요구되는 동시에 취급의 용이함도 요구되고 있다. 그래서, 취급성의 향상을 도모하기 위해서 고압 케이블을 없애기 위해, 고압(예를 들면 160㎸)화하는 고압 발생부(15)를 수지로 몰드시킨 몰드 전원부(14)를 채용하고, 이 몰드 전원부(14)를 통 형상부(2)의 기단측에 고정시킴으로써 전원 일체형의 장치를 실현시킨 것이다. 이와 같이, 고압 발생부를 수지 몰드 안에 차폐함으로써, 몰드 안에서의 고압 발생부(15)의 구성의 자유도가 각별히 향상되게 된다. 더욱이, 중량이 있는 몰드 전원부(14)를 아래로 하고, 타겟(10)을 위로 하도록 설치시킴으로써, X선 발생장치(1)를 안정한 상태로 비파괴 검사장치(70)에 설치시킬 수 있다.

Description

비파괴 검사장치{Nondestructive inspection apparatus}

종래, 이러한 분야에 이용되는 X선 발생장치로서, 일본 특개평 10-503618호 공보가 있다. 이 공보에 기재된 X선 발생장치에서는 캐소드(cathode)로부터 방출되는 전자 빔이, 코일의 전자작용에 의해서 타겟에 초점을 맺도록 방출되고, 타겟으로부터는 검사 대상물을 향해서 X선 빔이 조사된다. 여기서, X선 발생장치는 160KV라는 극히 높은 전압으로 동작하기 때문에 대형 고압 전원장치를 별도 구비하고, 이 고압 전원장치는 고압 케이블에 의해서 X선 발생장치에 접속되어 있다.

그렇지만, X선 발생장치를 구동시키는 고압 전원장치는 100㎸ 내지 300㎸라는 극히 높은 전압을 발생시키는 구조이기 때문에, 이 전압을 X선 발생장치까지 송전하는 고압 케이블은 상당히 굵고(예를 들면 40㎜ 직경) 무거워질 수밖에 없다. 이러한 고압 케이블은 그 취급을 극히 엄격하게 관리할 필요가 있다. 즉, 이 고압 케이블은 그 고압 특성 및 그 구조 때문에 굴곡 자유도가 극히 적고, 더욱이 X선 발생장치에 대한 접속에 있어서는 누전에 의한 재해를 방지하기 위해서 세심한 주의가 필요시되며, 또한, 접속 개소에서의 누전을 방지하기 위해서 정기적인 보수를 필요로 하여, 작업자나 이용자에게 과도한 부담을 강요하는 것이었다. 더욱이, 고압 케이블의 무게는 작업자의 부담을 더욱 증가시키는 요인도 되었다.

그리고, 이러한 X선 발생장치를 비파괴 검사장치에 설치시키는 경우, 고압 케이블의 굴곡 자유도가 극히 적기 때문에, 고압 케이블이 X선 발생장치의 하부로부터 연장되는 것에서는 X선 발생장치는 비파괴 검사장치에 공중에 매달린 상태로 설치되고, 그 결과로서, 불안정한 고정 상태가 된다. 이러한 제약은 고압 케이블의 배치의 곤란에 기인하는 것이다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 특히, 필라멘트부를 교환 가능하게 한 개방형 X선 발생장치를 안정되게 설치시키도록 한 비파괴 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 비파괴 검사장치에 관한 것으로, 특히, 펌프에 의한 진공 흡입에 의해서 소모품인 필라멘트(filament)부의 교환을 가능하게 한 개방형 X선 발생장치를 이용한 비파괴 검사장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 비파괴 검사장치에 적응시키는 개방형 X선 발생장치의 1실시예를 도시하는 단면도.

도 2는 도 1에 도시한 X선 발생장치의 몰드 전원부를 도시하는 단면도.

도 3은 도 1에 도시한 X선 발생장치의 전자총을 도시하는 단면도.

도 4는 도 2에 도시한 몰드 전원부의 외관을 도시하는 측면도.

도 5는 도 4에 도시한 몰드 전원부의 케이스의 단면도.

도 6은 X선 발생장치의 구동 제어 부분을 도시하는 블록도.

도 7은 본 발명에 따른 비파괴 검사장치의 1실시예를 도시하는 개략도.

본 발명의 비파괴 검사장치는 교환 가능한 필라멘트부를 갖는 전자총으로부터 방출한 전자를 타겟에 조사하고, 타겟으로부터 X선을 방출시키는 개방형 X선 발생장치로부터 발생시키는 X선을 검사 대상물에 조사시켜, 검사 대상물의 상태를 X선 카메라에 의해서 촬상시키는 비파괴 검사장치에 있어서, 개방형 X선 발생장치는 내부에 코일부를 구비하는 동시에, 코일부에 의해서 포위된 전자 통로를 구비하고, 펌프에 의해서 진공 흡입되는 통 형상부와, 통 형상부의 기단측(基端側)에 고정되는 동시에, 고압 발생부를 수지 몰드한 몰드 전원부를 구비하고, 통 형상부의 한 단(端)측에 설치된 타겟을 위로 하고, 통 형상부의 다른 단측에 설치된 몰드 전원부를 아래로 한 상태로, 몰드 전원부를 베이스판에 고정시킨 것을 특징으로 한다.

이 비파괴 검사장치는 펌프에 의한 진공 흡입을 이용하여, 소모품인 필라멘트부의 교환을 가능하게 하고, 메인터넌스(maintenance)의 향상을 도모한 것이다. 이러한 장치는 내구성이 요구되는 동시에 취급의 용이함도 요구되고 있다. 그래서, 취급성의 향상을 도모하기 위해서 고압 케이블을 없애기 위해, 고압(예를 들면 160㎸)화하는 고압 발생부를 수지로 몰드시킨 몰드 전원부를 채용하고, 이 몰드 전원부를 통 형상부의 기단측에 고정시킴으로써 전원 일체형의 장치를 실현시킨 것이다. 이와 같이, 고압 발생부를 수지 몰드 안에 차폐함으로써, 고압 발생부의 구성의 자유도가 각별히 향상되게 된다. 더욱이, 중량이 있는 몰드 전원부를 아래로 하고, 타겟을 위에 하도록 설치시킴으로써, X선 발생장치를 안정된 상태로 비파괴 검사장치에 설치시킬 수 있다. 더욱이, 종래와 같은 고압 케이블의 필요성을 없애는 결과로서, 중량이 있는 몰드 전원부를 비파괴 검사장치의 베이스판상에 고정시키는 수 있어, X선 발생장치의 더욱 안정화가 도모되게 된다.

이하, 도면과 함께 본 발명에 의한 비파괴 검사장치의 적절한 1실시예에 대해서 상세히 설명한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 이 X선 발생장치(1)는 개방형이며, 쓰고 버리는데 공급되는 폐쇄형과 달리, 진공 상태를 임의로 만들어 낼 수 있어, 소모품인 필라멘트부(F)나 타겟(10)의 교환을 가능하게 하고 있다. 이 X선 발생장치(1)는 동작시에 진공 상태가 되는 원통 형상의 스테인레스로 된 통 형상부(2)를 구비하고 있다. 이 통 형상부(2)는 아래쪽에 위치하는 고정부(3)와 위쪽에 위치하는 착탈부(4)로 이분할되고, 착탈부(4)는 힌지(hinge)부(5)를 통해서 고정부(3)에 장착되어 있다. 따라서, 착탈부(4)가 힌지부(5)를 통해서 옆으로 넘어지도록 움직임으로써, 고정부(3)의 상부를 개방시킬 수 있고, 고정부(3) 내에 수용되어 있는 필라멘트부(F; 캐소드)로의 액세스를 가능하게 한다.

이 착탈부(4) 내에는 전자 편향 렌즈로서 기능하는 상하 한 쌍의 통 형상의 코일부(6, 7)가 설치되는 동시에, 코일부(6, 7)의 중심을 지나도록, 통 형상부(2)의 길이 방향에 전자 통로(8)가 연장되고, 이 전자 통로(8)는 코일부(6, 7)로 포위된다. 또한, 착탈부(4)의 하단에는 디스크판(9)이 뚜껑을 덮도록 고정되고, 이 디스크판(9)의 중심에는 전자 통로(8)의 하단측에 일치시키는 전자 도입 구멍(9a)이 형성되어 있다.

더욱이, 착탈부(4)의 상단은 원추대에 형성되고, 이 정상부에는 전자 통로(8)의 상단측에 위치하여 전자 투과형의 X선 출사 창을 형성하는 디스크형 타겟(10)이 장착되어 있다. 이 타겟(10)은 필라멘트(F)로부터 발생하여 전자 통로(8)를 통과한 전자를 X선으로 변환하는 부재로 이루어지는 동시에, 착탈이 자유로운 회전식 캡(cap)부(11) 내에 어스(earth)시킨 상태로 수용되어 있다. 따라서, 캡부(11)의 분리에 의해서, 소모품인 타겟(10)의 교환도 가능하게 된다.

이것에 대하여, 고정부(3)에는 진공 펌프(12)가 고정되고, 이 진공 펌프(12)는 통 형상부(2) 내 전체를 고진공 상태로 하기 위한 것이다. 즉, X선 발생장치(1)가 진공 펌프(12)를 갖춤으로써, 소모품인 필라멘트부(F)나 타겟(10)의 교환이 가능하게 되어 있다.

여기서, 통 형상부(2)의 기단측에는 전자총(16)과의 일체화가 도모된 몰드 전원부(14)가 고정되어 있다. 이 몰드 전원부(14)는 전기 절연성의 수지(예를 들면, 에폭시 수지)로 몰드 성형시킨 것인 동시에, 금속제의 케이스(40) 내에 수용되어 있다. 그리고, 통 형상부(2)의 고정부(3)의 하단(기단)은 케이스(40)의 상판(40b)에 대하여, 밀봉(seal)시킨 상태로 나사 조임 등으로 확실하게 고정되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 이 몰드 전원부(14) 내에는 고전압(예를 들면 타겟(10)을 어스시키는 경우에는 최대 1160㎸)을 발생시키는 트랜스를 구성시킨 고압 발생부(15)가 봉입되어 있다. 구체적으로, 이 몰드 전원부(14)는 아래쪽에 위치하여 직방체 형상을 이루는 블록형의 전원 본체부(14a)와, 이 전원 본체부(14a)로부터 위쪽을 향하여 고정부(3) 내로 돌출하는 원주형의 네크(neck)부(14b)로 이루어진다. 이 고압 발생부(15)는 무거운 부품이기 때문에 전원 본체부(14a) 내에 봉입되어, 장치(1) 전체의 중량 밸런스를 위해, 가능한 한 아래쪽에 배치시키는 것이 바람직하다.

또한, 네크부(14b)의 선단부에는 전자 통로(8)를 사이에 두도록, 타겟(10)에 대치하여 배치시킨 전자총(16)이 장착되어 있다. 이 전자총(16)은 도 3에 도시하는 바와 같이, 네크부(14b)에 장착시키는 그리드(grid) 베이스(17)를 구비하고, 이 그리드 베이스(17)는 네크부(14a)의 선단면에 매립된 그리드용 단자(18)에 대하여 나사부(19)를 통해서 고정되어 있다.

또한, 네크부(14b)에는 그 선단면에 필라멘트용 단자(20)가 매립되어 있다. 이 단자(20)에는 히터 소켓(21)이 삽입되어 있고, 이 히터 소켓(21)의 선단에 필라멘트부(F)가 착탈 자유롭게 장착되어 있다. 또 필라멘트부(F)는 히터 소켓(21)에 끼워지는 히터 핀(22)과, 이 히터 핀(22)을 지지하는 히터 베이스(23)로 이루어지고, 히터 핀(22)이 히터 소켓(21)에 대하여 착탈 자유롭게 되어 있다.

더욱이, 필라멘트부(F)는 그리드 캡(24)에 의해서 뚜껑이 이루어지도록 덮이고, 그리드 고정 링(25; ring)을 그리드 베이스(17)에 삽입함으로써, 그리드 캡(24)을 위에서 눌러 넣는다. 그 결과, 그리드 캡(24) 내에 수용시킨 필라멘트부(F)의 히터 베이스(23)가 가압 링(26)과의 협동에 의해 고정되게 된다. 이렇게 하여, 필라멘트부(F)는 필요에 따라서 교환할 수 있는 구성이 된다.

이와 같은 구성의 전자총(16)은 그리드용 단자(18)에 전기적으로 접속시킨그리드 베이스(17)와 그리드 고정 링(25)과 그리드 캡(24)에 의해서 그리드부(30)가 구성된다. 이것에 대하여, 히터 소켓(21)을 통해서 필라멘트용 단자(20)에 전기적으로 접속시킨 필라멘트부(F)가 캐소드 전극을 구성한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 몰드 전원부(14)의 전원 본체부(14a) 내에는 고압 발생부(15)에 전기적으로 접속시킨 전자 방출 제어부(31)가 봉입되고, 이 제어부(31)에 의해서, 전자의 방출의 타이밍이나 관전류 등을 제어하고 있다. 그리고, 이 전자 방출 제어부(31)가, 그리드용 단자(18) 및 필라멘트용 단자(20)에 대하여, 그리드 접속 배선(32) 및 필라멘트 접속 배선(33)을 통해서 각각 접속되고, 각 접속 배선(32, 33)은 모두 고전압으로 인가되기 때문에 네크부(14b) 내에 봉입된다.

즉, 고압 발생부(15)는 원래, 그리드부(30)에 급전(給電)하는 그리드 접속 배선(32) 및 필라멘트부(F)에 급전하는 필라멘트 접속 배선(33)은 고전압화하게 된다. 구체적으로는 타겟(10)이 어스되는 경우, 최대 -160㎸를 고압 발생부(15)에서 만들어낼 수 있다. 이 때, 고압(-160㎸)으로 플로팅(floating)된 상태에서 그리드 접속 배선(32)에는 -수백V가 인가되고, 필라멘트 접속 배선(33)에는 -2 내지 3V가 인가된다.

따라서, 고전압화되는 이러한 각 급전 부품을 전기 절연성의 수지 몰드 안에 차폐함으로써, 고압 발생부(15)의 구성의 자유도나 배선(32, 33)의 굴곡 자유도를 각별히 향상시킬 수 있으며, 이것에 의해서, 몰드 전원부(14)의 소형화를 촉진시킬 수 있고, 결과적으로 장치 자체의 소형화가 도모되어, 장치(1)의 취급성이 각별히 향상되게 된다.

더욱이, 도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 전원 본체부(14a)에는 네크부(14b)가 붙은 부분을 환형으로 포위하는 홈부(34)가 형성되어 있다. 이 홈부(34)에 의해서, 그리드 베이스(17)와 케이스(40)의 연면 거리(creeping distance)가 증대되어, 몰드 전원부(14)의 표면에서 발생되는 연면 방전을 유효하게 회피시킬 수 있다. 또한, 전원 본체부(14a)로부터 통 형상부(2) 내를 향하여 연장되는 네크부(14b)에 의해서, 몰드 전원부(14)와의 연면 거리를 증대시킬 수 있으며, 몰드 전원부(14)가 진공 상태에 있어서, 몰드 전원부(14)의 표면에서 발생되는 연면 방전을 적절하게 방지할 수 있다.

여기서, 도 2 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 전원 본체부(14a)는 금속으로 된 케이스(40) 내에 수용되어, 전원 본체부(14a)와 케이스(40) 사이에 틈(S)을 형성하고, 이 틈(S) 내에 고전압 제어부(41)를 배치시킨다. 이 케이스(40)에는 외부 전원에 접속시키기 위한 전원용 단자(43)가 고정되고, 고전압 제어부(41)는 이 전원용 단자(43)에 접속되는 동시에, 몰드 전원부(14) 내의 고압 발생부(15) 및 전자 방출 제어부(31)에 대하여 각각 배선(44, 45)을 통해서 접속되어 있다. 또한, 외부로부터의 제어 신호에 근거하여, 고전압 제어부(41)에 의해서, 트랜스를 구성하는 고압 발생부(15)에서 발생시킬 수 있는 전압을, 고전압(예를 들면 160㎸)부터 저전압(0V)까지 컨트롤하고 있다. 더욱이, 전자 방출 제어부(31)에 의해, 전자의 방출 타이밍이나 관전류 등을 컨트롤한다. 이와 같이, 몰드 전원부(14)의 바로 근처에 고전압 제어부(41)를 배치시키고, 케이스(40) 내에 고전압 제어부(41)를 격납함으로써, 장치(1)의 취급성이 각별히 향상된다.

이와 같은 고전압 제어부(41)에는 여러가지 전자 부품이 실장되어 있다. 따라서, 각 부품의 동작 특성을 안정시키기 위해서 냉각시키는 것이 긴요하다. 그래서, 케이스(40)에는 냉각 팬(46)이 장착되고, 이 냉각 팬(46)에 의해서, 틈(S) 내에서 공기가 유동하는 결과, 고전압 제어부(41)가 강제적으로 냉각되게 된다.

더욱이, 도 5에 도시하는 바와 같이, 이 틈(S)은 전원 본체부(14a)의 외주를 포위하도록, 케이스(40)의 내주면(40a)과 전원 본체부(14a)의 외벽면(14aA)으로 형성되어 있다. 그리고, 케이스(40)의 측면에는 좌우 한 쌍의 흡기구(47)가 설치되어 있다. 따라서, 이 흡기구(47)와 냉각 팬(46)의 협동에 의해, 고전압 제어부(41)가 냉각될 뿐만 아니라, 몰드 전원부(14)의 표면도 냉각하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 몰드 전원부(14) 내에 몰드되어 있는 여러가지 부품의 동작 특성을 안정시킬 수 있으며, 몰드 전원부(14)의 연명화(延命化)가 도모되고 있다. 또, 부호(47)를 배기구로 하여, 냉각 팬(46)으로 공기를 도입시키도록 하여도 좋다.

이 X선 발생장치(1)에 있어서, 도 6에 도시하는 바와 같이, 케이스(40)에는 터미널부(48)가 고정되어 있다. 이 터미널부(48)에는 외부 전원에 접속시키는 컨트롤러(49)를, 착탈이 자유로운 배선(60, 62)을 통해서 연결시키기 위한 전원용 단자(43)가 설치되어 있다. 또, 한쪽의 단자(43)는 고전압 제어부(41)에 접속되고, 다른쪽의 단자(43)는 코일용 단자(56)에 접속되어 있다. 이러한 단자(43)를 이용함으로써, X선 발생장치(1)에 대한 적절한 급전이 행하여진다. 더욱이, 터미널부(48)에는 코일용 단자(56)가 설치되고, 이 단자(56)에는 착탈이 자유로운2개의 코일 제어 배선(50, 51)이 각각 접속되며, 각 코일 제어 배선(50, 51)은 각 코일부(6, 7)에 각각 접속된다. 이것에 의해서, 각 코일부(6, 7)에 대한 개별적인 급전 제어를 행하고 있다.

따라서, 컨트롤러(49)의 제어에 근거하여, 한쪽의 단자(43)를 통해서, 케이스(40) 내의 고전압 제어부(41)로부터, 몰드 전원부(14)의 고압 발생부(15) 및 전자 방출 제어부(31)에 전력 및 제어 신호가 공급된다. 그것과 동시에, 다른쪽의 단자(43)에 접속시킨 배선(50, 51)을 통해서 코일부(6, 7)에도 급전된다. 그 결과, 필라멘트부(F)로부터 적절한 가속도로 전자가 출사되고, 제어시킨 코일부(6, 7)에서 전자를 적절히 수속시켜, 타겟(10)에 전자가 충돌함으로써, X선이 외부에 조사되게 된다.

또한, 필라멘트부(F)나 타겟(10)의 교환시에 이용되는 펌프 컨트롤러(52)는 배선(53, 54)을 통해서 터보 펌프(12) 및 배기 펌프(55)를 각각 제어하고 있다. 더욱이, 터보 펌프(12)와 배기 펌프(55)를 배관(61)을 통해서 접속시킨다. 이러한 2단 펌프의 구성에 의해서, 통 형상부(2) 내에서 높은 진공도를 달성시킬 수 있다.

또한, 터미널부(48)의 펌프용 단자(57)에는 착탈이 자유로운 배선(58)을 통해서 터보 펌프(12)로부터의 진공도 측정 신호가 보내진다. 이것에 대하여, 다른쪽의 펌프용 단자(57)는 착탈이 자유로운 배선(59)을 통해서 컨트롤러(49)에 접속된다. 따라서, 통 형상부(2) 내의 진공도가 배선(58 및 59)을 통해서 컨트롤러(49)로 적절히 관리되게 된다.

다음으로, 상술한 개방형 X선 발생장치(1)가 이용되는 일례로서, 비파괴 검사장치(70)에 대해서 설명한다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 이 비파괴 검사장치(70)는 회로기판(71; 검사 대상물)에 실장시킨 전자 부품의 리드 등의 접합 개소의 양부(良否) 검사에 이용되는 것이다. X선 발생장치(1)는 타겟(10)을 위로 하고, 중량이 있는 몰드 전원부(14)를 아래로 한 상태로, 비파괴 검사장치(70)의 하부에 설치하여 고정된다. 이러한 설치는 X선 발생장치(1)의 중량 밸런스를 고려한 배치이며, 넘어지기 어려운 X선 발생장치(1)의 안정된 설치를 가능하게 한다. 따라서, X선 발생장치(1)의 중심 위치가 아래쪽에 있는 결과, 필라멘트부(F)를 교환할 때, 착탈부(4)를, 힌지부(5)를 통해서 옆으로 넘어지도록 움직이게 한 경우에도, X선 발생장치(1)를 안정한 상태로 유지하는 것이 용이해진다(도 1 참조).

또한, 이 X선 발생장치(1)는 상술한 구성으로부터 알 수 있는 바와 같이, 굵고 굴곡 자유도가 극히 적은 고압 케이블을 필요로 하지 않는다. 그 결과, X선 발생장치(1)를 공중에 매달린 상태로 비파괴 검사장치(70)에 설치시킬 필요가 없고, 베이스판(73)에 싣는 듯한 설치를 가능하게 하여, 그 설치의 자유도가 극히 높다고 할 수 있다.

더욱이, X선 발생장치(1)는 고무재 등으로 이루어지는 진동 흡수판(72)을 통해서, 비파괴 검사장치(70)의 베이스판(73)에 고정된다. 이 진동 흡수판(72)의 채용에 의해, X선 발생장치(1)를 마이크로 포커스(micro focus) X선원으로서 적절히 이용하는 것이 가능해진다.

구체적으로는 도 1에 도시하는 바와 같이, 몰드 전원부(14)에 있어서의 전원본체부(14a)의 아래 면에는 암나사(74)가 몰드 성형시에 일체로 매립된다. 그리고, 이 암나사(74)와 수나사(75)의 협동에 의해, 케이스(40)의 바닥 면에 진동 흡수판(72)을 고정시킨다. 또한, 이 진동 흡수판(72)은 설치 나사(76)에 의해서 비파괴 검사장치(70)의 베이스판(73)에 고정된다. 이와 같이, 고압 케이블이 없는 X선 발생장치(1)는 나사와 같은 간단한 체결 수단만으로 설치할 수 있어, 작업성의 향상에 크게 기여하는 것이다.

이와 같이 설치된 X선 발생장치(1)를 갖는 비파괴 검사장치(70)에서는 도 7에 도시하는 바와 같이, 타겟(10)에 대치하는 바로 위에 X선 카메라(80)가 설치되고, 회로기판(71)을 투과한 X선은 X선 카메라(80)로 촬상된다. 또한, 회로기판(71)은 구동회로(81)에서 제어된 매니퓰레이터(82)에 의해서 적절한 각도로 기울어진다.

따라서, 회로기판(71)을 적절히 스윙(swing)시킴으로써, 전자 부품의 리드 부분의 접합 상태를 입체적으로 관찰하는 것이 가능해진다. 또한, X선 카메라(80)로 붙잡힌 상은 화상 처리장치(83)에 보내져 모니터(84)에 의해서 화면에 찍히게 된다. 또, 컨트롤러(49), 구동회로(81), 화상 처리장치(83) 및 모니터(84)는 입출력 가능한 퍼스널 컴퓨터(85)에 의해서 관리되고 있다.

상술한 실시예를 요약하면 다음과 같다.

상술한 몰드 전원부는 진동 흡수판을 통해서 베이스판에 고정하는 것이 바람직하다. 이러한 구성을 채용한 경우, X선 발생장치를, 외부로부터의 진동의 영향을 받기 쉬운 마이크로 포커스 X선원으로서 구성시키는 것이 가능해진다.

또한, 통 형상부는 몰드 전원부에 기단측을 고정시킨 고정부와, 고정부의 선단측에 장착된 착탈부를 구비하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 필라멘트부의 교환시에 착탈부가 옆으로 넘어지는 개폐 형식의 경우에도, 중량이 있는 몰드 전원부가 아래로 된 상태로 베이스판상에 설치되어 있는 결과, 착탈부를 옆으로 넘어뜨려도, 중량 밸런스가 흐트러지기 어렵고, X선 발생장치의 설치 안정성이 유지되기 쉽게 되어 있다.

본 발명은 펌프에 의한 진공 흡입에 의해서 소모품인 필라멘트부의 교환을 가능하게 한 개방형 X선 발생장치를 이용한 비파괴 검사장치에 관한 것으로, 필라멘트부를 교환 가능하게 한 개방형 X선 발생장치를 안정되게 설치시킬 수 있다.

Claims (3)

1. 교환 가능한 필라멘트부를 갖는 전자총으로부터 방출한 전자를 타겟에 조사하고, 상기 타겟으로부터 X선을 방출시키는 개방형 X선 발생장치로부터 발생시키는 X선을 검사 대상물에 조사시켜, 상기 검사 대상물의 상태를 X선 카메라에 의해서 촬상시키는 비파괴 검사장치에 있어서, 상기 개방형 X선 발생장치는 내부에 코일부를 구비하는 동시에, 상기 코일부에 의해서 포위된 전자 통로를 구비하고, 펌프에 의해서 진공 흡입되는 통 형상부와, 상기 통 형상부의 기단측에 고정되는 동시에, 고압 발생부를 수지 몰드한 몰드 전원부를 구비하고, 상기 통 형상부의 한 단측에 설치된 상기 타겟을 위로 하고, 상기 통 형상부의 다른 단측에 설치된 상기 몰드 전원부를 아래로 한 상태로, 상기 몰드 전원부를 베이스판에 고정시킨 것을 특징으로 하는, 비파괴 검사장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 몰드 전원부는 진동 흡수판을 통해서 상기 베이스판에 고정한 것을 특징으로 하는, 비파괴 검사장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 통 형상부는 상기 몰드 전원부에 기단측을 고정시킨 고정부와,

   상기 고정부의 선단측에 장착된 착탈부를 갖는 것을 특징으로 하는 비파괴검사장치.