JP2001135497A - 非破壊検査装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 フィラメント部を交換可能にした開放型Ｘ線
発生装置を安定して設置させるようにした非破壊検査装
置を提供する。 【解決手段】 取り扱い性の向上を図るために高圧ケー
ブルを無くすべく、高圧発生部を樹脂でモールドしたモ
ールド電源部１４を筒状部の基端側に固定させることで
電源一体型の装置を実現する。高圧発生部を樹脂モール
ド内に閉じ込めることで、モールド内における高圧発生
部の構成の自由度が格段に向上する。更に、重量のある
モールド電源部を下にし、ターゲット１０を上にするよ
うに設置させることで、Ｘ線発生装置１を安定した状態
で非破壊検査装置７０に設置させることができる。しか
も、従来のような高圧ケーブルの必要性をなくす結果と
して、重量のあるモールド電源部を非破壊検査装置のベ
ース板７３上に固定させることができ、Ｘ線発生装置１
の更なる安定化が図られることになる。
発生装置を安定して設置させるようにした非破壊検査装
置を提供する。 【解決手段】 取り扱い性の向上を図るために高圧ケー
ブルを無くすべく、高圧発生部を樹脂でモールドしたモ
ールド電源部１４を筒状部の基端側に固定させることで
電源一体型の装置を実現する。高圧発生部を樹脂モール
ド内に閉じ込めることで、モールド内における高圧発生
部の構成の自由度が格段に向上する。更に、重量のある
モールド電源部を下にし、ターゲット１０を上にするよ
うに設置させることで、Ｘ線発生装置１を安定した状態
で非破壊検査装置７０に設置させることができる。しか
も、従来のような高圧ケーブルの必要性をなくす結果と
して、重量のあるモールド電源部を非破壊検査装置のベ
ース板７３上に固定させることができ、Ｘ線発生装置１
の更なる安定化が図られることになる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非破壊検査装置に
係り、特に、ポンプによる真空吸引によって消耗品であ
るフィラメント部の交換を可能にした開放型Ｘ線発生装
置を利用した非破壊検査装置に関するものである。
係り、特に、ポンプによる真空吸引によって消耗品であ
るフィラメント部の交換を可能にした開放型Ｘ線発生装
置を利用した非破壊検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野に利用されるＸ線
発生装置として、特表平１０−５０３６１８号公報があ
る。この公報に記載されたＸ線発生装置では、カソード
から放出される電子ビームが、コイルの電磁作用によっ
てターゲットに焦点を結ぶように放出され、ターゲット
からは検査対象物に向かってＸ線ビームが照射される。
ここで、Ｘ線発生装置は、１６０ＫＶという極めて高い
電圧で動作することから大型の高圧電源装置を別途有
し、この高圧電源装置は、高圧ケーブルによってＸ線発
生装置に接続されている。
発生装置として、特表平１０−５０３６１８号公報があ
る。この公報に記載されたＸ線発生装置では、カソード
から放出される電子ビームが、コイルの電磁作用によっ
てターゲットに焦点を結ぶように放出され、ターゲット
からは検査対象物に向かってＸ線ビームが照射される。
ここで、Ｘ線発生装置は、１６０ＫＶという極めて高い
電圧で動作することから大型の高圧電源装置を別途有
し、この高圧電源装置は、高圧ケーブルによってＸ線発
生装置に接続されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｘ線発
生装置を駆動させる高圧電源装置は、１００ｋＶ〜３０
０ｋＶという極めて高い電圧を発生させる構造から、こ
の電圧をＸ線発生装置まで送電する高圧ケーブルは、極
めて太く（例えば４０ｍｍ径）重いものとならざるを得
ない。このような高圧ケーブルは、その取り扱いを極め
て厳格に管理する必要がある。すなわち、この高圧ケー
ブルは、その高圧特性及びその構造ゆえに曲げ自由度が
極めて少なく、しかもＸ線発生装置への接続にあたって
は、漏電による災害を防止するため細心の注意が必要と
され、また、接続箇所からの漏電を防止するために定期
的な保守を必要とし、作業者や利用者に過度の負担を強
いるものであった。更に、高圧ケーブルの重さは、作業
者の負担を更に増す要因にもなっていた。
生装置を駆動させる高圧電源装置は、１００ｋＶ〜３０
０ｋＶという極めて高い電圧を発生させる構造から、こ
の電圧をＸ線発生装置まで送電する高圧ケーブルは、極
めて太く（例えば４０ｍｍ径）重いものとならざるを得
ない。このような高圧ケーブルは、その取り扱いを極め
て厳格に管理する必要がある。すなわち、この高圧ケー
ブルは、その高圧特性及びその構造ゆえに曲げ自由度が
極めて少なく、しかもＸ線発生装置への接続にあたって
は、漏電による災害を防止するため細心の注意が必要と
され、また、接続箇所からの漏電を防止するために定期
的な保守を必要とし、作業者や利用者に過度の負担を強
いるものであった。更に、高圧ケーブルの重さは、作業
者の負担を更に増す要因にもなっていた。
【０００４】そして、このようなＸ線発生装置を非破壊
検査装置に設置させる場合、高圧ケーブルの曲げ自由度
が極めて少ない故に、高圧ケーブルがＸ線発生装置の下
部から延びるようなものでは、Ｘ線発生装置は、非破壊
検査装置に宙づり状態で設置され、その結果として、不
安定な固定状態となる。このような制約は、高圧ケーブ
ルの這い回しの悪さに起因するものである。
検査装置に設置させる場合、高圧ケーブルの曲げ自由度
が極めて少ない故に、高圧ケーブルがＸ線発生装置の下
部から延びるようなものでは、Ｘ線発生装置は、非破壊
検査装置に宙づり状態で設置され、その結果として、不
安定な固定状態となる。このような制約は、高圧ケーブ
ルの這い回しの悪さに起因するものである。
【０００５】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、フィラメント部を交換可能にした
開放型Ｘ線発生装置を安定して設置させるようにした非
破壊検査装置を提供することを目的とする。
されたもので、特に、フィラメント部を交換可能にした
開放型Ｘ線発生装置を安定して設置させるようにした非
破壊検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明の
非破壊検査装置は、交換可能なフィラメント部を有する
電子銃から放出した電子をターゲットに照射して、ター
ゲットからＸ線を放出させる開放型Ｘ線発生装置から発
生させるＸ線を検査対象物に照射させ、検査対象物の状
態をＸ線カメラによって撮像させる非破壊検査装置にお
いて、開放型Ｘ線発生装置は、内部にコイル部を有する
と共に、コイル部によって包囲された電子通路を有し、
ポンプによって真空引きされる筒状部と、筒状部の基端
側に固定されると共に、高圧発生部を樹脂モールドした
モールド電源部とを備え、筒状部の一端側に設けられた
ターゲットを上にし、筒状部の他端側に設けられたモー
ルド電源部を下にした状態で、モールド電源部をベース
板に固定させたことを特徴とする。
非破壊検査装置は、交換可能なフィラメント部を有する
電子銃から放出した電子をターゲットに照射して、ター
ゲットからＸ線を放出させる開放型Ｘ線発生装置から発
生させるＸ線を検査対象物に照射させ、検査対象物の状
態をＸ線カメラによって撮像させる非破壊検査装置にお
いて、開放型Ｘ線発生装置は、内部にコイル部を有する
と共に、コイル部によって包囲された電子通路を有し、
ポンプによって真空引きされる筒状部と、筒状部の基端
側に固定されると共に、高圧発生部を樹脂モールドした
モールド電源部とを備え、筒状部の一端側に設けられた
ターゲットを上にし、筒状部の他端側に設けられたモー
ルド電源部を下にした状態で、モールド電源部をベース
板に固定させたことを特徴とする。
【０００７】この非破壊検査装置は、ポンプによる真空
吸引を利用し、消耗品であるフィラメント部の交換を可
能にし、メンテナンスの向上を図ったものである。この
ような装置は、耐久性が要求されると同時に取り扱い易
さも求められている。そこで、取り扱い性の向上を図る
ために高圧ケーブルを無くすべく、高圧（例えば１６０
ｋＶ）化する高圧発生部を樹脂でモールドさせたモール
ド電源部を採用し、このモールド電源部を筒状部の基端
側に固定させることで電源一体型の装置を実現させたも
のである。このように、高圧発生部を樹脂モールド内に
閉じ込めることで、高圧発生部の構成の自由度が格段に
向上することになる。更に、重量のあるモールド電源部
を下にし、ターゲットを上にするように設置させること
で、Ｘ線発生装置を安定した状態で非破壊検査装置に設
置させることができる。しかも、従来のような高圧ケー
ブルの必要性をなくす結果として、重量のあるモールド
電源部を非破壊検査装置のベース板上に固定させること
ができ、Ｘ線発生装置の更なる安定化が図られることに
なる。
吸引を利用し、消耗品であるフィラメント部の交換を可
能にし、メンテナンスの向上を図ったものである。この
ような装置は、耐久性が要求されると同時に取り扱い易
さも求められている。そこで、取り扱い性の向上を図る
ために高圧ケーブルを無くすべく、高圧（例えば１６０
ｋＶ）化する高圧発生部を樹脂でモールドさせたモール
ド電源部を採用し、このモールド電源部を筒状部の基端
側に固定させることで電源一体型の装置を実現させたも
のである。このように、高圧発生部を樹脂モールド内に
閉じ込めることで、高圧発生部の構成の自由度が格段に
向上することになる。更に、重量のあるモールド電源部
を下にし、ターゲットを上にするように設置させること
で、Ｘ線発生装置を安定した状態で非破壊検査装置に設
置させることができる。しかも、従来のような高圧ケー
ブルの必要性をなくす結果として、重量のあるモールド
電源部を非破壊検査装置のベース板上に固定させること
ができ、Ｘ線発生装置の更なる安定化が図られることに
なる。
【０００８】請求項２に係る非破壊検査装置において、
モールド電源部は、振動吸収板を介してベース板に固定
すると好ましい。このような構成を採用した場合、Ｘ線
発生装置を、外部からの振動の影響を受け易いマイクロ
フォーカスＸ線源として構成させることが可能となる。
モールド電源部は、振動吸収板を介してベース板に固定
すると好ましい。このような構成を採用した場合、Ｘ線
発生装置を、外部からの振動の影響を受け易いマイクロ
フォーカスＸ線源として構成させることが可能となる。
【０００９】請求項３に係る非破壊検査装置において、
筒状部は、モールド電源部に基端側を固定させた固定部
と、固定部の先端側に取り付けられた着脱部とを有する
と好ましい。例えば、フィラメント部の交換時に着脱部
が横に倒れるような開閉形式の場合でも、重量のあるモ
ールド電源部が下になった状態でベース板上に据え付け
られている結果、着脱部を横倒しにしても、重量バラン
スが崩れ難く、Ｘ線発生装置の据え付け安定性が保たれ
易くなっている。
筒状部は、モールド電源部に基端側を固定させた固定部
と、固定部の先端側に取り付けられた着脱部とを有する
と好ましい。例えば、フィラメント部の交換時に着脱部
が横に倒れるような開閉形式の場合でも、重量のあるモ
ールド電源部が下になった状態でベース板上に据え付け
られている結果、着脱部を横倒しにしても、重量バラン
スが崩れ難く、Ｘ線発生装置の据え付け安定性が保たれ
易くなっている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による非
破壊検査装置の好適な一実施形態について詳細に説明す
る。
破壊検査装置の好適な一実施形態について詳細に説明す
る。
【００１１】図１に示すように、このＸ線発生装置１
は、開放型であり、使い捨てに供される閉鎖型と異な
り、真空状態を任意に作り出すことができ、消耗品であ
るフィラメント部Ｆやターゲット１０の交換を可能にし
ている。このＸ線発生装置１は、動作時に真空状態にな
る円筒形状のステンレス製筒状部２を有している。この
筒状部２は、下側に位置する固定部３と上側に位置する
着脱部４とで二分割され、着脱部４はヒンジ部５を介し
て固定部３に取り付けられている。従って、着脱部４
が、ヒンジ部５を介して横倒しになるように回動するこ
とで、固定部３の上部を開放させることができ、固定部
３内に収容されているフィラメント部（カソード）Ｆへ
のアクセスを可能にする。
は、開放型であり、使い捨てに供される閉鎖型と異な
り、真空状態を任意に作り出すことができ、消耗品であ
るフィラメント部Ｆやターゲット１０の交換を可能にし
ている。このＸ線発生装置１は、動作時に真空状態にな
る円筒形状のステンレス製筒状部２を有している。この
筒状部２は、下側に位置する固定部３と上側に位置する
着脱部４とで二分割され、着脱部４はヒンジ部５を介し
て固定部３に取り付けられている。従って、着脱部４
が、ヒンジ部５を介して横倒しになるように回動するこ
とで、固定部３の上部を開放させることができ、固定部
３内に収容されているフィラメント部（カソード）Ｆへ
のアクセスを可能にする。
【００１２】この着脱部４内には、電磁偏向レンズとし
て機能する上下一対の筒状のコイル部６，７が設けられ
ると共に、コイル部６，７の中心を通るよう、筒状部２
の長手方向に電子通路８が延在し、この電子通路８はコ
イル部６，７で包囲される。また、着脱部４の下端には
ディスク板９が蓋をするように固定され、このディスク
板９の中心には、電子通路８の下端側に一致させる電子
導入孔９ａが形成されている。
て機能する上下一対の筒状のコイル部６，７が設けられ
ると共に、コイル部６，７の中心を通るよう、筒状部２
の長手方向に電子通路８が延在し、この電子通路８はコ
イル部６，７で包囲される。また、着脱部４の下端には
ディスク板９が蓋をするように固定され、このディスク
板９の中心には、電子通路８の下端側に一致させる電子
導入孔９ａが形成されている。
【００１３】更に、着脱部４の上端は円錐台に形成さ
れ、この頂部には、電子通路８の上端側に位置して電子
透過型のＸ線出射窓を形成するディスク状ターゲット１
０が装着されている。このターゲット１０は、フィラメ
ントＦから発生して電子通路８を通過した電子をＸ線に
変換する部材からなると共に、着脱自在な回転式キャッ
プ部１１内にアースさせた状態で収容されている。従っ
て、キャップ部１１の取り外しによって、消耗品である
ターゲット１０の交換も可能になる。
れ、この頂部には、電子通路８の上端側に位置して電子
透過型のＸ線出射窓を形成するディスク状ターゲット１
０が装着されている。このターゲット１０は、フィラメ
ントＦから発生して電子通路８を通過した電子をＸ線に
変換する部材からなると共に、着脱自在な回転式キャッ
プ部１１内にアースさせた状態で収容されている。従っ
て、キャップ部１１の取り外しによって、消耗品である
ターゲット１０の交換も可能になる。
【００１４】これに対し、固定部３には真空ポンプ１２
が固定され、この真空ポンプ１２は筒状部２内全体を高
真空状態にするためのものである。すなわち、Ｘ線発生
装置１が真空ポンプ１２を装備することによって、消耗
品であるフィラメント部Ｆやターゲット１０の交換が可
能になっている。
が固定され、この真空ポンプ１２は筒状部２内全体を高
真空状態にするためのものである。すなわち、Ｘ線発生
装置１が真空ポンプ１２を装備することによって、消耗
品であるフィラメント部Ｆやターゲット１０の交換が可
能になっている。
【００１５】ここで、筒状部２の基端側には、電子銃１
６との一体化が図られたモールド電源部１４が固定され
ている。このモールド電源部１４は、電気絶縁性の樹脂
（例えば、エポキシ樹脂）でモールド成形させたもので
あると共に、金属製のケース４０内に収容されている。
そして、筒状部２の固定部３の下端（基端）は、ケース
４０の上板４０ｂに対し、シールさせた状態でネジ止め
等によりしっかりと固定されている。
６との一体化が図られたモールド電源部１４が固定され
ている。このモールド電源部１４は、電気絶縁性の樹脂
（例えば、エポキシ樹脂）でモールド成形させたもので
あると共に、金属製のケース４０内に収容されている。
そして、筒状部２の固定部３の下端（基端）は、ケース
４０の上板４０ｂに対し、シールさせた状態でネジ止め
等によりしっかりと固定されている。
【００１６】図２に示すように、このモールド電源部１
４内には、高電圧（例えば、ターゲット１０をアースさ
せる場合には最大−１６０ｋＶ）を発生させるようなト
ランスを構成させた高圧発生部１５が封入されている。
具体的に、このモールド電源部１４は、下側に位置して
直方体形状をなすブロック状の電源本体部１４ａと、こ
の電源本体部１４ａから上方に向けて固定部３内に突出
する円柱状のネック部１４ｂとからなる。この高圧発生
部１５は、重い部品であるから電源本体部１４ａ内に封
入され、装置１全体の重量バランスから、できるだけ下
側に配置させることが好ましい。
４内には、高電圧（例えば、ターゲット１０をアースさ
せる場合には最大−１６０ｋＶ）を発生させるようなト
ランスを構成させた高圧発生部１５が封入されている。
具体的に、このモールド電源部１４は、下側に位置して
直方体形状をなすブロック状の電源本体部１４ａと、こ
の電源本体部１４ａから上方に向けて固定部３内に突出
する円柱状のネック部１４ｂとからなる。この高圧発生
部１５は、重い部品であるから電源本体部１４ａ内に封
入され、装置１全体の重量バランスから、できるだけ下
側に配置させることが好ましい。
【００１７】また、ネック部１４ｂの先端部には、電子
通路８を挟むように、ターゲット１０に対峙させるよう
配置させた電子銃１６が装着されている。この電子銃１
６は、図３に示すように、ネック部１４ｂに装着させる
グリッドベース１７を有し、このグリッドベース１７
は、ネック部１４ａの先端面に埋め込まれたグリッド用
端子１８に対してネジ部１９を介して固定されている。
通路８を挟むように、ターゲット１０に対峙させるよう
配置させた電子銃１６が装着されている。この電子銃１
６は、図３に示すように、ネック部１４ｂに装着させる
グリッドベース１７を有し、このグリッドベース１７
は、ネック部１４ａの先端面に埋め込まれたグリッド用
端子１８に対してネジ部１９を介して固定されている。
【００１８】また、ネック部１４ｂには、その先端面に
フィラメント用端子２０が埋め込まれている。この端子
２０には、ヒータソケット２１がねじ込まれており、こ
のヒータソケット２１の先端にフィラメント部Ｆが着脱
自在に取り付けられている。なおフィラメント部Ｆは、
ヒータソケット２１に差込まれるヒータピン２２と、こ
のヒータピン２２を支持するヒータベース２３とからな
り、ヒータピン２２がヒータソケット２１に対して取り
外し自在になっている。
フィラメント用端子２０が埋め込まれている。この端子
２０には、ヒータソケット２１がねじ込まれており、こ
のヒータソケット２１の先端にフィラメント部Ｆが着脱
自在に取り付けられている。なおフィラメント部Ｆは、
ヒータソケット２１に差込まれるヒータピン２２と、こ
のヒータピン２２を支持するヒータベース２３とからな
り、ヒータピン２２がヒータソケット２１に対して取り
外し自在になっている。
【００１９】更に、フィラメント部Ｆは、グリッドキャ
ップ２４によって蓋がなされるように被せられ、グリッ
ド固定リング２５をグリッドベース１７にねじ込むこと
で、グリッドキャップ２４を上から押え込む。その結
果、グリッドキャップ２４内に収容させたフィラメント
部Ｆのヒータベース２３が押えリング２６との協働によ
り固定されることになる。このようにして、フィラメン
ト部Ｆは、必要に応じて交換できる構成となる。
ップ２４によって蓋がなされるように被せられ、グリッ
ド固定リング２５をグリッドベース１７にねじ込むこと
で、グリッドキャップ２４を上から押え込む。その結
果、グリッドキャップ２４内に収容させたフィラメント
部Ｆのヒータベース２３が押えリング２６との協働によ
り固定されることになる。このようにして、フィラメン
ト部Ｆは、必要に応じて交換できる構成となる。
【００２０】このような構成の電子銃１６は、グリッド
用端子１８に電気的に接続させたグリッドベース１７と
グリッド固定リング２５とグリッドキャップ２４とによ
ってグリッド部３０が構成される。これに対して、ヒー
タソケット２１を介してフィラメント用端子２０に電気
的に接続させたフィラメント部Ｆがカソード電極を構成
する。
用端子１８に電気的に接続させたグリッドベース１７と
グリッド固定リング２５とグリッドキャップ２４とによ
ってグリッド部３０が構成される。これに対して、ヒー
タソケット２１を介してフィラメント用端子２０に電気
的に接続させたフィラメント部Ｆがカソード電極を構成
する。
【００２１】図２に示すように、モールド電源部１４の
電源本体部１４ａ内には、高圧発生部１５に電気的に接
続させた電子放出制御部３１が封入され、この制御部３
１によって、電子の放出のタイミングや管電流などを制
御している。そして、この電子放出制御部３１が、グリ
ッド用端子１８及びフィラメント用端子２０に対し、グ
リッド接続配線３２及びフィラメント接続配線３３を介
してそれぞれ接続され、各接続配線３２，３３は、供に
高電圧に印加されるゆえにネック部１４ｂ内に封入され
る。
電源本体部１４ａ内には、高圧発生部１５に電気的に接
続させた電子放出制御部３１が封入され、この制御部３
１によって、電子の放出のタイミングや管電流などを制
御している。そして、この電子放出制御部３１が、グリ
ッド用端子１８及びフィラメント用端子２０に対し、グ
リッド接続配線３２及びフィラメント接続配線３３を介
してそれぞれ接続され、各接続配線３２，３３は、供に
高電圧に印加されるゆえにネック部１４ｂ内に封入され
る。
【００２２】すなわち、高圧発生部１５はもとより、グ
リッド部３０に給電するグリッド接続配線３２及びフィ
ラメント部Ｆに給電するフィラメント接続配線３３は、
高電圧化することになる。具体的には、ターゲット１０
がアースされる場合、最大−１６０ｋＶを高圧発生部１
５で作り出すことができる。このとき、高圧（−１６０
ｋＶ）にフローティングされた状態でグリッド接続配線
３２には、−数百Ｖが印加され、フィラメント接続配線
３３には、−２〜３Ｖが印加される。
リッド部３０に給電するグリッド接続配線３２及びフィ
ラメント部Ｆに給電するフィラメント接続配線３３は、
高電圧化することになる。具体的には、ターゲット１０
がアースされる場合、最大−１６０ｋＶを高圧発生部１
５で作り出すことができる。このとき、高圧（−１６０
ｋＶ）にフローティングされた状態でグリッド接続配線
３２には、−数百Ｖが印加され、フィラメント接続配線
３３には、−２〜３Ｖが印加される。
【００２３】従って、高電圧化するこのような各給電部
品を電気絶縁性の樹脂モールド内に閉じ込めることによ
り、高圧発生部１５の構成の自由度や配線３２，３３の
曲げ自由度を格段に向上させることができ、これによっ
て、モールド電源部１４の小型化を促進させることがで
き、結果的に装置自体の小型化が図られ、装置１の取り
扱い性が格段に向上することになる。
品を電気絶縁性の樹脂モールド内に閉じ込めることによ
り、高圧発生部１５の構成の自由度や配線３２，３３の
曲げ自由度を格段に向上させることができ、これによっ
て、モールド電源部１４の小型化を促進させることがで
き、結果的に装置自体の小型化が図られ、装置１の取り
扱い性が格段に向上することになる。
【００２４】更に、図１〜図３に示すように、電源本体
部１４ａには、ネック部１４ｂの付け根部分を環状に包
囲する溝部３４が設けられている。この溝部３４によっ
て、グリッドベース１７とケース４０との沿面距離が増
大され、モールド電源部１４の表面で引き起こされる沿
面放電を有効に回避させることができる。また、電源本
体部１４ａから筒状部２内に向けて延びるネック部１４
ｂによって、モールド電源部１４との沿面距離を増大さ
せることができ、モールド電源部１４が真空状態におい
て、モールド電源部１４の表面で引き起こされる沿面放
電を適切に防止することができる。
部１４ａには、ネック部１４ｂの付け根部分を環状に包
囲する溝部３４が設けられている。この溝部３４によっ
て、グリッドベース１７とケース４０との沿面距離が増
大され、モールド電源部１４の表面で引き起こされる沿
面放電を有効に回避させることができる。また、電源本
体部１４ａから筒状部２内に向けて延びるネック部１４
ｂによって、モールド電源部１４との沿面距離を増大さ
せることができ、モールド電源部１４が真空状態におい
て、モールド電源部１４の表面で引き起こされる沿面放
電を適切に防止することができる。
【００２５】ここで、図２及び図４に示すように、電源
本体部１４ａは、金属製のケース４０内に収容され、電
源本体部１４ａとケース４０との間に隙間Ｓを設け、こ
の隙間Ｓ内に高電圧制御部４１を配置させる。このケー
ス４０には、外部電源に接続させるための電源用端子４
３が固定され、高電圧制御部４１はこの電源用端子４３
に接続されると共に、モールド電源部１４内の高圧発生
部１５及び電子放出制御部３１に対してそれぞれ配線４
４，４５を介して接続されている。また、外部からの制
御信号に基づき、高電圧制御部４１によって、トランス
を構成する高圧発生部１５で発生させ得る電圧を、高電
圧（例えば１６０ｋＶ）から低電圧（０Ｖ）までコント
ロールしている。更に、電子放出制御部３１により、電
子の放出のタイミングや管電流などをコントロールす
る。このように、モールド電源部１４の直近に高電圧制
御部４１を配置させ、ケース４０内に高電圧制御部４１
を格納することで、装置１の取り扱い性が格段に向上す
る。
本体部１４ａは、金属製のケース４０内に収容され、電
源本体部１４ａとケース４０との間に隙間Ｓを設け、こ
の隙間Ｓ内に高電圧制御部４１を配置させる。このケー
ス４０には、外部電源に接続させるための電源用端子４
３が固定され、高電圧制御部４１はこの電源用端子４３
に接続されると共に、モールド電源部１４内の高圧発生
部１５及び電子放出制御部３１に対してそれぞれ配線４
４，４５を介して接続されている。また、外部からの制
御信号に基づき、高電圧制御部４１によって、トランス
を構成する高圧発生部１５で発生させ得る電圧を、高電
圧（例えば１６０ｋＶ）から低電圧（０Ｖ）までコント
ロールしている。更に、電子放出制御部３１により、電
子の放出のタイミングや管電流などをコントロールす
る。このように、モールド電源部１４の直近に高電圧制
御部４１を配置させ、ケース４０内に高電圧制御部４１
を格納することで、装置１の取り扱い性が格段に向上す
る。
【００２６】このような高電圧制御部４１には様々な電
子部品が実装されている。従って、各部品の動作特性を
安定させるにあたって冷却させることが肝要である。そ
こで、ケース４０には冷却ファン４６が取り付けられ、
この冷却ファン４６によって、隙間Ｓ内で空気が流動す
る結果、高電圧制御部４１が強制的に冷却されることに
なる。
子部品が実装されている。従って、各部品の動作特性を
安定させるにあたって冷却させることが肝要である。そ
こで、ケース４０には冷却ファン４６が取り付けられ、
この冷却ファン４６によって、隙間Ｓ内で空気が流動す
る結果、高電圧制御部４１が強制的に冷却されることに
なる。
【００２７】更に、図５に示すように、この隙間Ｓは、
電源本体部１４ａの外周を包囲するように、ケース４０
の内周面４０ａと電源本体部１４ａの外壁面１４ａＡと
で形成されている。そして、ケース４０の側面には左右
一対の吸気口４７が設けられている。従って、この吸気
口４７と冷却ファン４６との協働により、高電圧制御部
４１が冷却されるのみならず、モールド電源部１４の表
面も冷却することが可能となる。これにより、モールド
電源部１４内にモールドされている様々な部品の動作特
性を安定させることができ、モールド電源部１４の延命
化が図られている。なお、符号４７を排気口とし、冷却
ファン４６で空気を導入させるようにしてもよい。
電源本体部１４ａの外周を包囲するように、ケース４０
の内周面４０ａと電源本体部１４ａの外壁面１４ａＡと
で形成されている。そして、ケース４０の側面には左右
一対の吸気口４７が設けられている。従って、この吸気
口４７と冷却ファン４６との協働により、高電圧制御部
４１が冷却されるのみならず、モールド電源部１４の表
面も冷却することが可能となる。これにより、モールド
電源部１４内にモールドされている様々な部品の動作特
性を安定させることができ、モールド電源部１４の延命
化が図られている。なお、符号４７を排気口とし、冷却
ファン４６で空気を導入させるようにしてもよい。
【００２８】このＸ線発生装置１において、図６に示す
ように、ケース４０には、ターミナル部４８が固定され
ている。このターミナル部４８には、外部電源に接続さ
せるコントローラ４９を、着脱自在な配線６０，６２を
介して連結させるための電源用端子４３が設けられてい
る。なお、一方の端子４３は高電圧制御部４１に接続さ
れ、他方の端子４３はコイル用端子５６に接続されてい
る。このような端子４３を利用することで、Ｘ線発生装
置１への適切な給電が行われる。更に、ターミナル部４
８にはコイル用端子５６が設けられ、この端子５６には
着脱自在な２本のコイル制御配線５０，５１がそれぞれ
接続され、各コイル制御配線５０，５１は各コイル部
６，７にそれぞれ接続される。これによって、各コイル
部６，７への個別的な給電制御を行っている。
ように、ケース４０には、ターミナル部４８が固定され
ている。このターミナル部４８には、外部電源に接続さ
せるコントローラ４９を、着脱自在な配線６０，６２を
介して連結させるための電源用端子４３が設けられてい
る。なお、一方の端子４３は高電圧制御部４１に接続さ
れ、他方の端子４３はコイル用端子５６に接続されてい
る。このような端子４３を利用することで、Ｘ線発生装
置１への適切な給電が行われる。更に、ターミナル部４
８にはコイル用端子５６が設けられ、この端子５６には
着脱自在な２本のコイル制御配線５０，５１がそれぞれ
接続され、各コイル制御配線５０，５１は各コイル部
６，７にそれぞれ接続される。これによって、各コイル
部６，７への個別的な給電制御を行っている。
【００２９】従って、コントローラ４９の制御に基づ
き、一方の端子４３を介して、ケース４０内の高電圧制
御部４１から、モールド電源部１４の高圧発生部１５及
び電子放出制御部３１に電力及び制御信号がそれぞれ供
給される。それと同時に、他方の端子４３に接続させた
配線５０，５１を介してコイル部６，７にも給電され
る。その結果、フィラメント部Ｆから適切な加速度をも
って電子が出射され、制御させたコイル部６，７で電子
を適切に収束させ、ターゲット１０に電子が衝突するこ
とで、Ｘ線が外部に照射されることになる。
き、一方の端子４３を介して、ケース４０内の高電圧制
御部４１から、モールド電源部１４の高圧発生部１５及
び電子放出制御部３１に電力及び制御信号がそれぞれ供
給される。それと同時に、他方の端子４３に接続させた
配線５０，５１を介してコイル部６，７にも給電され
る。その結果、フィラメント部Ｆから適切な加速度をも
って電子が出射され、制御させたコイル部６，７で電子
を適切に収束させ、ターゲット１０に電子が衝突するこ
とで、Ｘ線が外部に照射されることになる。
【００３０】また、フィラメント部Ｆやターゲット１０
の交換時に利用されるポンプコントローラ５２は、配線
５３，５４を介してターボポンプ１２及び排気ポンプ５
５をそれぞれ制御している。更に、ターボポンプ１２と
排気ポンプ５５とを配管６１を介して接続させる。この
ような２段ポンプの構成によって、筒状部２内で高い真
空度を達成させることができる。
の交換時に利用されるポンプコントローラ５２は、配線
５３，５４を介してターボポンプ１２及び排気ポンプ５
５をそれぞれ制御している。更に、ターボポンプ１２と
排気ポンプ５５とを配管６１を介して接続させる。この
ような２段ポンプの構成によって、筒状部２内で高い真
空度を達成させることができる。
【００３１】また、ターミナル部４８のポンプ用端子５
７には、着脱自在な配線５８を介してターボポンプ１２
からの真空度測定信号が送り込まれる。これに対し、他
方のポンプ用端子５７は、着脱自在な配線５９を介して
コントローラ４９に接続される。よって、筒状部２内の
真空度が、配線５８及び５９を介してコントローラ４９
で適切に管理されることになる。
７には、着脱自在な配線５８を介してターボポンプ１２
からの真空度測定信号が送り込まれる。これに対し、他
方のポンプ用端子５７は、着脱自在な配線５９を介して
コントローラ４９に接続される。よって、筒状部２内の
真空度が、配線５８及び５９を介してコントローラ４９
で適切に管理されることになる。
【００３２】次に、前述した開放型Ｘ線発生装置１が利
用される一例として、非破壊検査装置７０について説明
する。
用される一例として、非破壊検査装置７０について説明
する。
【００３３】図７に示すように、この非破壊検査装置７
０は、回路基板（検査対象物）７１に実装させた電子部
品のリード等の接合箇所の良否検査に利用されるもので
ある。Ｘ線発生装置１は、ターゲット１０を上にして、
重量のあるモールド電源部１４を下にした状態で、非破
壊検査装置７０の下部に据え付け固定される。このよう
な据え付けは、Ｘ線発生装置１の重量バランスを考慮し
た配置であり、転倒しにくいＸ線発生装置１の安定した
設置を可能にする。従って、Ｘ線発生装置１の重心位置
が下方にある結果、フィラメント部Ｆを交換するにあた
って、着脱部４を、ヒンジ部５を介して横に倒れるよう
に回動させた場合でも、Ｘ線発生装置１を安定した状態
に保つことが容易となる（図１参照）。
０は、回路基板（検査対象物）７１に実装させた電子部
品のリード等の接合箇所の良否検査に利用されるもので
ある。Ｘ線発生装置１は、ターゲット１０を上にして、
重量のあるモールド電源部１４を下にした状態で、非破
壊検査装置７０の下部に据え付け固定される。このよう
な据え付けは、Ｘ線発生装置１の重量バランスを考慮し
た配置であり、転倒しにくいＸ線発生装置１の安定した
設置を可能にする。従って、Ｘ線発生装置１の重心位置
が下方にある結果、フィラメント部Ｆを交換するにあた
って、着脱部４を、ヒンジ部５を介して横に倒れるよう
に回動させた場合でも、Ｘ線発生装置１を安定した状態
に保つことが容易となる（図１参照）。
【００３４】また、このＸ線発生装置１は、前述した構
成から分るように、太くて曲げ自由度の極めて少ない高
圧ケーブルを必要としない。その結果、Ｘ線発生装置１
を宙づり状態で非破壊検査装置７０に設置させることを
必要とせず、ベース板７３に載せるような設置を可能に
し、その設置の自由度が極めて高いといえる。
成から分るように、太くて曲げ自由度の極めて少ない高
圧ケーブルを必要としない。その結果、Ｘ線発生装置１
を宙づり状態で非破壊検査装置７０に設置させることを
必要とせず、ベース板７３に載せるような設置を可能に
し、その設置の自由度が極めて高いといえる。
【００３５】更に、Ｘ線発生装置１は、ゴム材等からな
る振動吸収板７２を介して、非破壊検査装置７０のベー
ス板７３に固定される。この振動吸収板７２の採用によ
り、Ｘ線発生装置１をマイクロフォーカスＸ線源として
適切に利用することが可能となる。
る振動吸収板７２を介して、非破壊検査装置７０のベー
ス板７３に固定される。この振動吸収板７２の採用によ
り、Ｘ線発生装置１をマイクロフォーカスＸ線源として
適切に利用することが可能となる。
【００３６】具体的には、図１に示すように、モールド
電源部１４における電源本体部１４ａの下面には雌ネジ
７４がモールド成形時に一体に埋め込まれる。そして、
この雌ネジ７４と雄ネジ７５との協働により、ケース４
０の底面に振動吸収板７２を固定させる。また、この振
動吸収板７２は、据え付けネジ７６によって非破壊検査
装置７０のベース板７３に固定される。このように、高
圧ケーブルの無いＸ線発生装置１は、ネジのような簡単
な締結手段のみで据え付けることができ、作業性の向上
に大きく寄与するものである。
電源部１４における電源本体部１４ａの下面には雌ネジ
７４がモールド成形時に一体に埋め込まれる。そして、
この雌ネジ７４と雄ネジ７５との協働により、ケース４
０の底面に振動吸収板７２を固定させる。また、この振
動吸収板７２は、据え付けネジ７６によって非破壊検査
装置７０のベース板７３に固定される。このように、高
圧ケーブルの無いＸ線発生装置１は、ネジのような簡単
な締結手段のみで据え付けることができ、作業性の向上
に大きく寄与するものである。
【００３７】このように据え付けられたＸ線発生装置１
を有する非破壊検査装置７０では、図７に示すように、
ターゲット１０に対峙するような真上にＸ線カメラ８０
が設置され、回路基板７１を透過したＸ線はＸ線カメラ
８０で撮像される。また、回路基板７１は、駆動回路８
１で制御されたマニュプレータ８２によって適切な角度
をもって傾けられる。
を有する非破壊検査装置７０では、図７に示すように、
ターゲット１０に対峙するような真上にＸ線カメラ８０
が設置され、回路基板７１を透過したＸ線はＸ線カメラ
８０で撮像される。また、回路基板７１は、駆動回路８
１で制御されたマニュプレータ８２によって適切な角度
をもって傾けられる。
【００３８】従って、回路基板７１を適切にスイングさ
せることで、電子部品のリード部分の接合状態を立体的
に観察することが可能となる。また、Ｘ線カメラ８０で
捕らえられた像は、画像処理装置８３に送られてモニタ
ー８４によって画面に写し出されることになる。なお、
コントローラ４９、駆動回路８１、画像処理装置８３及
びモニター８４は、入出力可能なパソコン８５によって
管理されている。
せることで、電子部品のリード部分の接合状態を立体的
に観察することが可能となる。また、Ｘ線カメラ８０で
捕らえられた像は、画像処理装置８３に送られてモニタ
ー８４によって画面に写し出されることになる。なお、
コントローラ４９、駆動回路８１、画像処理装置８３及
びモニター８４は、入出力可能なパソコン８５によって
管理されている。
【００３９】
【発明の効果】本発明による非破壊検査装置は、以上の
ように構成されているため、次のような効果を得る。す
なわち、交換可能なフィラメント部を有する電子銃から
放出した電子をターゲットに照射して、ターゲットから
Ｘ線を放出させる開放型Ｘ線発生装置から発生させるＸ
線を検査対象物に照射させ、検査対象物の状態をＸ線カ
メラによって撮像させる非破壊検査装置において、開放
型Ｘ線発生装置は、内部にコイル部を有すると共に、コ
イル部によって包囲された電子通路を有し、ポンプによ
って真空引きされる筒状部と、筒状部の基端側に固定さ
れると共に、高圧発生部を樹脂モールドしたモールド電
源部とを備え、筒状部の一端側に設けられたターゲット
を上にし、筒状部の他端側に設けられたモールド電源部
を下にした状態で、モールド電源部をベース板に固定さ
せたことにより、フィラメント部を交換可能にした開放
型Ｘ線発生装置を安定して設置させることができる。
ように構成されているため、次のような効果を得る。す
なわち、交換可能なフィラメント部を有する電子銃から
放出した電子をターゲットに照射して、ターゲットから
Ｘ線を放出させる開放型Ｘ線発生装置から発生させるＸ
線を検査対象物に照射させ、検査対象物の状態をＸ線カ
メラによって撮像させる非破壊検査装置において、開放
型Ｘ線発生装置は、内部にコイル部を有すると共に、コ
イル部によって包囲された電子通路を有し、ポンプによ
って真空引きされる筒状部と、筒状部の基端側に固定さ
れると共に、高圧発生部を樹脂モールドしたモールド電
源部とを備え、筒状部の一端側に設けられたターゲット
を上にし、筒状部の他端側に設けられたモールド電源部
を下にした状態で、モールド電源部をベース板に固定さ
せたことにより、フィラメント部を交換可能にした開放
型Ｘ線発生装置を安定して設置させることができる。
【図１】本発明に係る非破壊検査装置に適応させる開放
型Ｘ線発生装置の一実施形態を示す断面図である。
型Ｘ線発生装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示したＸ線発生装置のモールド電源部を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】図１に示したＸ線発生装置の電子銃を示す断面
図である。
図である。
【図４】図２に示したモールド電源部の外観を示す側面
図である。
図である。
【図５】図４に示したモールド電源部のケースの断面図
である。
である。
【図６】Ｘ線発生装置の駆動制御部分を示すブロック図
である。
である。
【図７】本発明に係る非破壊検査装置の一実施形態を示
す概略図である。
す概略図である。
Ｆ…フィラメント部、Ｓ…隙間、１…Ｘ線発生装置、２
…筒状部、３…固定部、４…着脱部、６，７…コイル
部、８…電子通路、１０…ターゲット、１２…ポンプ、
１４…モールド電源部、１４ａ…電源本体部、１４ｂ…
ネック部、１５…高圧発生部、１６…電子銃、３０…グ
リッド部、３２…グリッド接続配線、３３…フィラメン
ト接続配線、３４…溝部、４０…ケース、４１…高電圧
制御部、４３…電源用端子、４６…冷却ファン、４８…
ターミナル部、５６…コイル用端子、５７…ポンプ用端
子、７０…非破壊検査装置、７１…回路基板（検査対象
物）、７２…振動吸収板、７３…ベース板、８０…Ｘ線
カメラ。
…筒状部、３…固定部、４…着脱部、６，７…コイル
部、８…電子通路、１０…ターゲット、１２…ポンプ、
１４…モールド電源部、１４ａ…電源本体部、１４ｂ…
ネック部、１５…高圧発生部、１６…電子銃、３０…グ
リッド部、３２…グリッド接続配線、３３…フィラメン
ト接続配線、３４…溝部、４０…ケース、４１…高電圧
制御部、４３…電源用端子、４６…冷却ファン、４８…
ターミナル部、５６…コイル用端子、５７…ポンプ用端
子、７０…非破壊検査装置、７１…回路基板（検査対象
物）、７２…振動吸収板、７３…ベース板、８０…Ｘ線
カメラ。
Claims (3)
- 【請求項１】 交換可能なフィラメント部を有する電子
銃から放出した電子をターゲットに照射して、前記ター
ゲットからＸ線を放出させる開放型Ｘ線発生装置から発
生させるＸ線を検査対象物に照射させ、前記検査対象物
の状態をＸ線カメラによって撮像させる非破壊検査装置
において、 前記開放型Ｘ線発生装置は、 内部にコイル部を有すると共に、前記コイル部によって
包囲された電子通路を有し、ポンプによって真空引きさ
れる筒状部と、 前記筒状部の基端側に固定されると共に、高圧発生部を
樹脂モールドしたモールド電源部とを備え、 前記筒状部の一端側に設けられた前記ターゲットを上に
し、前記筒状部の他端側に設けられた前記モールド電源
部を下にした状態で、前記モールド電源部をベース板に
固定させたことを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項２】 前記モールド電源部は、振動吸収板を介
して前記ベース板に固定したことを特徴とする請求項１
記載の非破壊検査装置。 - 【請求項３】 前記筒状部は、前記モールド電源部に基
端側を固定させた固定部と、前記固定部の先端側に取り
付けられた着脱部とを有することを特徴とする請求項１
又は２記載の非破壊検査装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30983599A JP3934836B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 非破壊検査装置 |
| CNB008151687A CN1161603C (zh) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | 非破坏性检测装置 |
| KR1020027005501A KR100587619B1 (ko) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | 비파괴 검사장치 |
| EP00970151A EP1233659B1 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Nondestructive inspection apparatus |
| TW089122698A TW466532B (en) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Non-destructive inspection device |
| AU79609/00A AU7960900A (en) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Nondestructive inspection apparatus |
| PCT/JP2000/007561 WO2001033920A1 (fr) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Appareil d'inspection non destructive |
| DE60037595T DE60037595T2 (de) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Vorrichtung zur zerstörungsfreien prüfung |
| US10/111,802 US6600809B1 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-27 | Nondestructive inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30983599A JP3934836B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 非破壊検査装置 |
Publications (2)
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|---|---|
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| JP3934836B2 JP3934836B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=17997851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6600809B1 (ja) |
| EP (1) | EP1233659B1 (ja) |
| JP (1) | JP3934836B2 (ja) |
| KR (1) | KR100587619B1 (ja) |
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