KR20020056959A - 컬러 필터 형성 방법 또는 발광 소자층 형성 방법 또는이들을 이용한 컬러 표시 장치의 제조 방법 또는 컬러표시 장치 - Google Patents

Abstract

액티브 매트릭스형 컬러 액정 표시 장치나 유기 EL 표시 장치 등의 소자 기판이 되는 기판(10) 위에, 게이트 라인(11), TFT(1) 및 데이터 라인(30)을 형성한 후, 그 데이터 라인(30)을 피복하는 이랑 형상의 보호 절연층(32)을 형성한다. 이 기판(10)에, 전사 필름(40) 위의 컬러 필터층(42)을, 보호 절연층(32)의 연장 방향(열 방향)을 따라 이동하는 롤러(46)에 의해 압착한다. 열 방향으로 컬러 필터의 전사가 진행하므로, 보호 절연층(32) 사이에 형성되는 화소 스페이스로부터 가스를 진행 방향으로 방출시키면서, 기판과 컬러 필터를 간극없이 밀착시킬 수 있게 된다. 컬러 필터 형성 시, 보호 절연층(32)이 데이터 라인(30)을 처리액 등으로부터 보호한다. 화소 스페이스에 유기 발광 소자층을 배치하여 유기 EL 표시 장치로 한다.

Description

컬러 필터 형성 방법 또는 발광 소자층 형성 방법 또는 이들을 이용한 컬러 표시 장치의 제조 방법 또는 컬러 표시 장치{METHOD FOR FORMING COLOR FILTER, METHOD FOR FORMING LIGHT EMITTING ELEMENT LAYER, METHOD FOR MANUFACTURING COLOR DISPLAY DEVICE COMPRISING THEM, OR COLOR DISPLAY DEVICE}

소형이며 박형인 표시 장치로서, 현재 액정 표시 장치 등의 평면 표시 장치가 급속히 보급되고 있다. 이러한 평면 표시 장치에 있어서, 예를 들면 액정 표시 장치(LCD)에서는, 대향면측에 각각 전극이 형성된 제1 및 제2 기판 사이에 액정이 봉입되어 구성되어 있고, 또한 컬러 표시를 행하는 LCD는 각 화소에 대응하는 R, G, B 중 어느 하나의 컬러 필터를 형성하여, 화소마다의 표시색을 제어하고 있다.

도 1은, 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터(TFT) 등의 스위치 소자를 각 화소에 형성하고, 이 스위치 소자에 의해 각 화소에서의 표시를 제어하는 액티브 매트릭스형 LCD의 회로 구성을 도시하고 있다. 이러한 액티브 LCD에서는, 제1 기판에 TFT 및 화소 전극이 형성되고, 이것과 대향하는 제2 기판에 공통 전극이 형성되어 있다. 컬러 액티브 매트릭스 LCD에서는, 이러한 구성에 컬러 필터를 추가로 설치하는데, 종래 이 컬러 필터는, 상기 공통 전극이 형성되는 제2 기판 위에 형성하는 경우가 많았다.

이와 같이 제2 기판에 컬러 필터를 형성하는 경우, 제1 기판과의 위치 정렬어긋남을 고려해야 하고, 그 때문에 제2 기판 위에 위치 어긋남 대책으로서 블랙 매트릭스를 형성할 필요가 있다. 그러나, 이 블랙 매트릭스는 LCD의 개구율을 저하시키는 큰 원인이 되어, 개구율 향상의 요구가 강한 LCD에서 개선이 기대되었다.

그래서, 상술한 바와 같은 블랙 매트릭스를 없애고 개구율을 향상시키기 위해, 현재 스위치 소자의 형성 기판(제1 기판)에 컬러 필터를 형성하는 소위 온 칩 컬러 필터 구성의 LCD가 제안되어 있다. 온 칩 컬러 필터 구성이면, 제1 기판에 대한 제2 기판의 접합 위치 어긋남을 고려하여 블랙 매트릭스를 설치할 필요는 없어지기 때문이다.

도 2는, 액티브 매트릭스형 LCD의 온 칩 컬러 필터의 구성을 도시한 도면이다. 제1 기판(10)에는, 도 1과 같이 매트릭스 형상으로 데이터 라인과 게이트 라인(도 2에서는 도시하지 않음)이 형성되어 있고, 이들의 교점 부근에는 TFT(2)(도 2에서는 도시하지 않음)가 형성된다. 기판 위에는 게이트 라인과 TFT가 우선 형성되고, 이들을 피복하여 형성된 절연막 위에, 상기 데이터 라인(30)과, 화소마다 컬러 필터(50)가 형성되어 있다. 컬러 필터(50) 위에는 컨택트홀을 통해 TFT와 접속된 ITO(Indium Tin Oxide) 등으로 이루어지는 화소 전극(20)이 형성되어 있다. 이러한 제1 기판(10)은, 표면에 공통 전극(82)이 형성된 제2 기판(80)과, 액정층(70)을 사이에 두고 대향하여 접합되고, 공통 전극(82)과 화소 전극(20)에 의해 화소마다 액정층(70)으로의 인가 전압을 제어하여 액정을 구동하여 컬러 표시를 행한다. 이러한 온 칩 컬러 필터를 채용함으로써, 밝은 컬러 표시를 행할 수 있게 된다.

상술한 바와 같은 온 칩 컬러 필터를 채용함으로써, 색 번짐의 문제를 완화시킬 수 있지만, R, G, B 각 색의 컬러 필터를 대응하는 화소에 만들기 위해서는, 일단 기판 전면에 형성한 각 컬러 필터를 필요한 화소 위치만 남기고, 불필요한 화소 위치로부터 에칭 제거하는 공정을 필요로 한다. 그리고, 이 공정이 R, G, B 컬러 필터의 각각에 대하여 실시된다.

그런데, 제1 기판의 이들 컬러 필터의 하층에는, 상술한 바와 같이 각 화소 전극에 표시 데이터 전압을 공급하기 위한 TFT, 및 TFT에 표시 데이터 신호, 주사 신호를 공급하는 배선이 형성되어 있다. 이 때문에, 컬러 필터의 패터닝 시에, 하층의 배선이나 TFT의 도전층이 침식되거나 산화되기 쉽다는 문제가 발생한다.

특히, 표시 화소간의 경계에는 데이터 라인, 게이트 라인이 배치되는 경우가 많으며, 특히 도 2에 도시한 바와 같이 데이터 라인은, 침식, 산화를 받기 쉬운 고도전율의 Al이 이용되는 경우가 많고, 또한 도 2에 도시한 바와 같이 화소마다 패터닝되는 컬러 필터의 인접 화소와의 경계에 위치한다. 온 칩 컬러 필터 구조에서, 네거티브형 포토레지스트 재료에 안료를 혼입한 컬러 필터 재료를 이용한 경우, 그 컬러 필터를 노광하고, 현상함으로써 컬러 필터를 원하는 형상으로 할 수 있다. 그러나, 데이터 라인은 이 컬러 필터 패터닝을 위한 알칼리 현상액 등에 노출되어, 열화되기 쉽다고 하는 문제가 있다.

또한 한편, 뷰파인더용 등의 화소 사이즈가 작은 LCD에서는, 인접 화소에 컬러 필터가 밀려나오지 않도록 주의가 필요하여, 컬러 필터의 패터닝 정밀도가 중요하게 되는데, 컬러 필터에는 감광성 수지 등이 원재료로서 이용되고, 막 두께도 두껍다는 등의 이유로, 현상, 에칭 능력에만 의지해서는, 샤프한 윤곽의 컬러 필터를 얻는 것은 어렵고, 인접 화소 영역으로 컬러 필터가 밀려나오는 것을 방지할 수 없다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는 하층의 배선 등에 악영향을 끼치지 않고 샤프한 윤곽의 온 칩 컬러 필터를 형성하는 것을 목적으로 한다.

또 다른 목적은, 전사 방식에 의한 온 칩 컬러 필터 형성 시에, 하층의 배선 등에 악영향을 끼치지 않고, 또한 전사 시에 컬러 필터와 기판 사이에 간극이 생기는 것을 확실하게 방지하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명은, 컬러 필터 형성 방법, 특히 컬러 액정 표시 장치나 컬러 일렉트로 루미네센스 표시 장치 등에 있어서, 데이터 라인이나 스위치 소자 및 화소 전극 등을 형성하는 기판에, 컬러 필터 혹은 발광 소자층을 더 형성하는 방법 또는 이들 표시 장치에 관한 것이다.

도 1은 액정 표시 장치의 일반적인 회로 구성을 도시한 도면.

도 2는 종래의 온 칩 컬러 필터 구조를 도시한 도면.

도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 컬러 액정 표시 장치의 제1 기판측에서의 평면 구성을 도시한 도면.

도 4는, 도 3의 A-A선을 따라 자른 개략 단면 구성도.

도 5는, 도 3의 B-B선을 따라 자른 개략 단면 구성도.

도 6은 본 발명의 실시예 1에 따른 컬러 필터의 형성 방법을 설명하는 도면.

도 7은 본 발명의 실시예 1에 따른 컬러 필터의 형성 공정을 설명하는 도면.

도 8은 본 발명의 실시예 2에 따른 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 등가 회로를 도시한 도면.

도 9는 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 개략 단면 구조를 도시한 도면.

도 10은 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 구성 요소인 제1 TFT(100) 및 보유 용량 Cs의 개략 단면 구조를 도시한 도면.

도 11은 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 구성 요소인 제2 TFT(200) 및 유기 EL 소자의 개략 단면 구조를 도시한 도면.

도 12는 본 발명의 실시예 2에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 컬러 필터의 형성 방법을 설명하는 도면.

도 13은 본 발명의 실시예 3에 따른 컬러 필터의 형성 방법을 설명하는 도면.

도 14는 본 발명의 실시예 4에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 개략 단면 구조를 도시한 도면.

도 15는 본 발명의 실시예 4에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 구성 요소인 제1 TFT(100) 및 보유 용량 Cs 부근의 개략 단면 구조를 도시한 도면.

도 16은, 본 발명의 실시예 4에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 발광 소자층의 형성 방법의 일례를 설명하는 도면.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 이하와 같은 특징을 갖는다.

본 발명에서는, 전사 필름에 형성된 컬러 필터층 또는 발광 소자층을 피전사 기판에 전사하는 방법에 있어서, 피전사 기판은, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하고 기판으로부터 돌출 형성된 이랑 형상의 보호 절연층을 구비하여, 압압 기구에 의해 상기 전사 필름 위의 컬러 필터층 또는 발광 소자층을 상기 피전사 기판에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동시켜, 상기 피전사 기판 위에 상기 컬러 필터층을 전사한다.

본 발명의 다른 양태에서는, 기판 위에 복수의 스위치 소자, 그 스위치 소자에 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인, 대응하는 상기 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 복수의 선택 라인, 대응하는 상기 스위치 소자에 직접 또는 간접적으로 접속되는 화소 전극 및 상기 화소 전극의 하방에 형성된 컬러 필터를 구비하는 컬러 표시 장치의 제조 방법으로서, 기판 위에 상기 선택 라인, 상기 스위치 소자 및 상기 데이터 라인을 형성한 후, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 각각 피복하고 기판으로부터 돌출된 이랑 형상의 보호 절연층을 형성하고, 압압 기구에 의해 전사 필름 위의 컬러 필터층을 상기 기판에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동시켜, 상기 기판 위에 상기 컬러 필터층을 전사한다.

본 발명의 다른 양태에서는, 기판 위에, 복수의 화소를 갖고, 각 화소는 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 구비한 발광 소자와, 데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와, 구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 갖는 컬러 표시 장치의 제조 방법으로서, 기판 위에, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 형성한 후, 그 데이터 라인을 피복하고 기판으로부터 돌출된 이랑 형상의 보호 절연층을 형성하고, 배열되어 연장되는 상기 보호 절연층 사이에 있는 영역에서 기판 위에 형성되어 있는 상기 발광 소자의 제1 전극 위에, 압압 기구에 의해 전사 필름 위의 발광 소자층을 그 제1 전극에 압착하고, 또한 그압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 전극 위에 상기 발광 소자층을 전사한다.

본 발명에서는, 데이터 라인 등의 배선이 보호 절연층으로 피복되어 있으므로, 예를 들면 R, G, B 등의 컬러 필터나 이들 색의 발광 기능을 갖춘 발광 소자층을 순서대로 기판 위에 형성해 갈 때, 배선이 컬러 필터의 처리액이나 외기 등에 노출되어 열화되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 보호 절연층은, 배선을 피복하여 열 방향으로 이랑 형상으로 형성되어 있으므로, 컬러 필터 등의 전사 시, 기판 위에는 이 보호 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하는 각 화소 스페이스가 구성되어 있다. 본 발명에서는, 이 이랑의 연장 방향(열 방향)을 향하여 전사해 감으로써, 상기 화소 스페이스로부터 분위기 가스를 열 방향 전방으로 방출시키면서 컬러 필터 등을 기판과의 사이에 간극없이 매립해 갈 수 있다.

본 발명의 다른 양태는, 상기 압압 기구에 의한 컬러 필터층 또는 발광 소자층의 전사가 아니고, 액상 컬러 필터 재료를 피전사 기판으로 토출하는 컬러 필터 형성 방법으로서, 피전사 기판에 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하고 기판으로부터 돌출 형성된 이랑 형상의 보호 절연층을 구비하고, 토출 기구로부터 액상 컬러 필터 재료 또는 발광 소자 재료를 토출하여, 그 토출 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 상대적으로 이동시켜, 상기 피전사 기판 위에 상기 컬러 필터층 또는 발광 소자층을 형성한다.

이와 같이 토출 기구로부터는 액상의 컬러 필터 재료나 발광 소자 재료가 토출되지만, 보호 절연층을 측벽으로 이용하고, 이 보호 절연층으로 구성된 화소 스페이스에 그 재료를 토출시키기 위해, 액상 재료를 이용해도 측벽의 외측 즉, 이웃한 열의 화소 스페이스에 재료가 흐르는 것 등을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 보호 절연층의 연장 방향으로 이 토출 기구를 상대적으로 이동시키므로, 다른 색의 재료가 부착될 가능성이 한층 더 낮아지며, 또한 돌출 설치된 보호 절연층과 기판 평면과의 각부에도 재료층을 확실하게 형성할 수 있다. 또한, 토출 기구로부터 대응하는 화소 스페이스에 선택적으로 대응하는 색의 재료를 적하할 수 있다. 이와 같이 선택적인 토출을 행하면 불필요한 영역에 재료층이 형성되지 않기 때문에, 그와 같은 재료층을 제거하는 공정이 불필요할 뿐만 아니라, 재료비의 삭감에도 기여할 수 있다.

본 발명의 다른 양태에서는, 상기 컬러 표시 장치 또는 그 제조 방법에 있어서, 상기 화소 전극과 상기 스위치 소자를 층간에서 전기적으로 접속하는 컨택트홀의 형성 영역과, 상기 보호 절연층을 열 방향의 측변으로 하는 화소 스페이스와의 사이에 컬러 필터 블록층을 구비한다.

이 컬러 필터 블록층은, 컬러 필터의 전사 전, 상기 화소 전극과 상기 스위치 소자를 층간에서 전기적으로 접속하는 컨택트홀의 형성 영역 주변에 형성하고, 그 컬러 필터 블록층과 상기 보호 절연층 사이에는, 컬러 필터 전사 시에 열 방향으로 분위기 가스를 방출시키기 위한 통로가 확보되어 있다.

컬러 필터는 두껍고, 또한 일단 형성되면 제거하기 어려운 재질인 것이 많으므로, 상기 컬러 필터 블록층을 구비함으로써, 표시 품질에 중대한 영향을 미치는 화소 전극과 스위치 소자와의 컨택트 영역 주변에, 사전에 컬러 필터 재료가 형성시 유입되기 어려운 구성으로 할 수 있다.

또한, 컬러 필터 블록층의 형성 영역에서도, 열 방향으로 분위기 가스를 방출시키면서 컬러 필터를 전사해 갈 수 있어, 이 영역 부근에서도 기판에 컬러 필터가 밀착하도록 매립할 수 있다. 그리고, 이 컬러 필터 블록층의 존재에 의해, 두껍고 또 일단 형성되면 제거하기 어려운 재질이 많이 이용되는 컬러 필터를 컨택트 영역 주변에 유입되기 어렵게 된다.

본 발명의 다른 양태에서는, 컬러 표시 장치에 있어서, 기판 위에는, 매트릭스 배치된 복수의 스위치 소자와, 열 방향으로 연장되어 대응하는 상기 스위치 소자로 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인과, 행 방향으로 연장되어 대응하는 상기 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 복수의 선택 라인과, 상기 데이터 라인 및 상기 선택 라인에 의해 구획되는 화소 영역에 배치되고, 대응하는 상기 스위치 소자를 통해 데이터 신호가 공급되는 화소 전극과, 상기 데이터 라인을 피복하여 형성된 보호 절연층을 구비하고, 또한 상기 보호 절연층을 열 방향의 양측변으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에, 각 화소에 할당된 색의 컬러 필터가 형성되어 있다.

또한, 본 발명의 다른 양태에서는, 대향 배치되는 제1 및 제2 기판 사이에 액정이 봉입되어 구성되는 컬러 표시 장치에 있어서, 상기 제1 기판 위에는, 매트릭스 배치된 복수의 스위치 소자와, 열 방향으로 연장되어 대응하는 상기 스위치 소자에 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인과, 행 방향으로 연장되어 대응하는 상기 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 복수의 선택 라인과, 상기 데이터라인 및 상기 선택 라인에 의해 구획되는 화소 영역에 배치되고, 대응하는 상기 스위치 소자를 통해 데이터 신호가 공급되고, 대향하는 제2 기판 위의 전극과의 사이에서 액정을 구동하는 화소 전극과, 상기 데이터 라인을 피복하여 형성된 보호 절연층을 구비하며, 또한 상기 보호 절연층을 열 방향의 양측 변으로 하여 구성된 각 화소 스페이스에, 각 화소에 할당된 색의 컬러 필터가 형성되어 있다.

본 발명의 다른 양태에서는 상기 컬러 표시 장치에 있어서, 상기 보호 절연층은, 그 상면 높이가 상기 컬러 필터의 상면과 동일한 정도 또는 상면 이상이 되는 두께를 갖는다.

이상과 같이, 본 발명에서는 컬러 필터가 데이터 라인의 형성 영역 부근에 설치되지만, 데이터 라인이 보호 절연층으로 피복되어 있기 때문에, 각 화소에 대응하는 R, G, B 등의 컬러 필터를 순서대로 형성할 때에, 데이터 라인이 컬러 필터의 처리액이나 외기 등에 노출되어 열화되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이 보호 절연층이 열 방향으로 연장되는 데이터 라인을 피복하기 때문에, 열 방향에서 보호 절연층에 의해 양측변이 규정된 각 스페이스가 구성되고, 이 스페이스 내에 컬러 필터를 상술한 바와 같이 매립하거나 적하에 의해 형성하면, 다른 색의 컬러 필터가 배치되는 인접 화소간에서의 혼색 방지가 용이해진다. 특히, 보호 절연층을 충분한 두께로 함으로써, 이 보호 절연층에 의해 각 화소의 열 방향 측벽을 형성할 수 있어, 보호 절연층을 넘어 다른 색의 컬러 필터가 인접 화소 영역 내에 들어가는 것을 방지할 수 있다.

물론 본 발명에서는, 컬러 필터를 화소 전극측에 설치하는 구성이므로, 예를들면 액정 표시 장치에서는, 컬러 필터와 투과광을 개별 제어하는 화소 전극과의 거리가 작아, 관찰자에게 인접 화소에서의 투과광이 인식되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 다른 양태에서는, 상기 컬러 표시 장치는 일렉트로 루미네센스 소자를 각 화소에 구비하고, 상기 화소 전극은 그 일렉트로 루미네센스 소자의 제1 전극이고, 그 제1 전극으로 공급되는 데이터 신호에 대응한 전력에 따라 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 발광 강도를 제어하는 컬러 일렉트로 루미네센스 표시 장치이다.

본 발명의 다른 양태에서는, 기판 위에, 복수의 화소를 갖고, 각 화소는 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 구비한 발광 소자와, 데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와, 구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 갖고, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 적어도 피복하여 보호 절연층이 형성되고, 상기 보호 절연층을 열 방향의 양측 변으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에, 상기 복수의 화소 내의 대응하는 화소가 할당된 색의 발광 기능을 갖춘 발광 소자층이 형성되어 있다.

이와 같이 본 발명에서는, 일렉트로 루미네센스 소자를 각 화소에 구비하는 컬러 표시 장치의 컬러 필터층이나 발광 소자층의 형성에 있어서, 상술한 바와 같이 데이터 라인을 피복하는 보호 절연층을 경계로 인접 열의 화소 형성 영역을 사이에 두고, 전사 방식이나 소위 잉크젯 방식을 채용함으로써, 액정 표시 장치와 마찬가지로, 인접하는 다른 색이 할당된 화소 사이에서 재료가 섞이는 것에 의한 혼색을 방지할 수 있어, 색 순도가 높고, 색 재현성에 우수한 컬러 발광 표시 장치를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 양태에서는, 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 각 화소에 구비하는 컬러 표시 장치에 있어서, 상기 보호 절연층은, 그 상면 높이가, 상기 발광 소자층의 상면과 같은 정도 또는 상면 이하의 두께를 구비한다.

발광 소자층 위에는 예를 들면 복수의 화소 공통의 일렉트로 루미네센스 소자의 제2 전극이 형성되기 때문에, 상기 보호 절연층의 두께를 상기한 바와 같은 관계로 하면, 제2 전극의 형성면을 가능한 한 평탄하게 할 수 있다. 또한, 발광 소자층의 저항이 비교적 높은 것이 많으므로, 보호 절연층의 높이가 다소 낮아도, 쇼트 등의 문제가 발생하지 않는다.

본 발명의 다른 양태에서는, 컬러 표시 장치에 있어서, 기판 위에 매트릭스 형상으로 복수의 화소 영역이 구성되고, 각 화소 영역에는 적어도 데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치 소자와, 상기 스위치 소자를 통해 직접적이거나 간접적으로 데이터 신호가 공급되는 화소 전극이 배치되고, 할당된 색이 다르고 인접하는 화소 영역 사이의 경계를 지나도록 형성된 이랑 형상의 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에, 할당된 색의 컬러 필터가 형성되어 있다.

본 발명의 다른 양태에서는, 컬러 표시 장치에서, 기판 위에 복수의 화소를 갖고, 각 화소는 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 구비한 발광 소자와,데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와, 구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 갖고, 할당된 색이 다르고 인접하는 화소의 경계를 지나도록 형성된 이랑 형상의 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하여 구성된 각 화소 스페이스 내에, 할당된 색의 발광 기능을 갖춘 발광 소자층이 형성되어 있다.

이상과 같이, 이랑 형상의 절연층을, 할당된 색이 다르고 인접하는 화소 영역의 경계를 지나도록 배치하고, 이 이랑 형상의 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에 각각 할당된 색의 컬러 필터나 발광 소자층이 형성된 구성을 채용함으로써도, 이들 컬러 필터나 발광 소자층을 다른 색과의 혼색없이 형성하는 것이 용이해진다. 또한, 이들 컬러 필터나 발광 소자층의 형성 방법은, 상술한 바와 같은 전사 방식이나, 토출 방식 등이 채용 가능하며, 어느 경우에도 다른 색 재료의 혼입 등을 확실하고 용이하게 방지할 수 있다.

이하, 도면을 이용하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.

(실시예 1)

본 실시예 1에서는, 컬러 표시 장치 등에 채용되는 컬러 필터층의 형성 방법으로서, 전사 필름에 형성된 컬러 필터층을 피전사 기판에 전사하는 전사 방식을 채용한다. 또한, 본 실시예에서는 전사에 앞서 피전사 기판 위에, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하고 기판으로부터 돌출된 이랑 형상의 보호 절연층을 형성한다. 이러한 피전사 기판에 대하여, 압압 기구로서, 예를 들면 전사 롤러를 이용하여, 이 전사 롤러에 의해 롤러 전사 필름에 형성된 컬러 필터층을 압착함과 함께, 이 보호 절연층의 연장 방향을 향하여 롤러를 이동시킴으로써, 컬러 필터층을 정확하게 보호 절연층에 의해 구획된 화소 영역에 전사한다.

피전사 기판은, 예를 들면 액정 표시 장치의 제1 기판이나, 일렉트로 루미네센스 표시 장치의 소자 기판 등으로, 기판 위에는 컬러 필터, 복수의 스위치 소자(예를 들면 TFT), TFT에 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인, 대응하는 TFT 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 복수의 게이트 라인, TFT에 접속된 화소 전극 등이 형성된다.

이하, 온 칩 컬러 필터를 구비한 본 실시예 1에 따른 컬러 LCD에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 3은, 실시예 1에 따른 컬러 LCD의 평면 구성, 도 4는 도 3의 A-A선을 따라 자른 단면 구성, 도 5는 도 3의 B-B선을 따라 자른 TFT 부근의 단면 구성을 각각 도시하고 있다.

제1 기판(10)에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 행 방향으로 게이트 라인(11), 열 방향으로 데이터 라인(30)이 형성되고, 이들 교점 부근에 각각 TFT(1)가 형성되어 있다. TFT(1)는, 게이트 전극(11)과, 두 개의 도전 영역(소스 및 드레인 영역) 및 채널 영역을 갖고, 레이저 어닐링 등에 의해 다결정화된 실리콘(p-Si)층 등으로 이루어지는 능동층(16)을 구비한다.

여기서, 게이트 전극(11)은 도 5에 도시한 바와 같이 TFT 능동층(16)보다도 하층에 형성되고, TFT(1)는 보텀 게이트 타입의 TFT로서 형성되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 능동층(16)이 행 방향으로 똑바로 연장된 게이트 라인(11)을 가로지르는 패턴으로 형성되어 있고, 게이트 라인(11)의 능동층(16)과 중첩되는 위치가 각 TFT(1)의 게이트 전극으로서 기능하고, 게이트 라인(11)이 게이트 전극을 겸용하고 있다.

게이트 라인(게이트 전극 : 11)을 피복하는 기판 전면에는 게이트 절연막(12)이 형성되고, 이 게이트 절연막(12) 위에, 상술한 바와 같이 도 3에 도시한 패턴의 능동층(16)이 형성되고, 그 위에는 기판 전면을 피복하는 층간 절연막(14)이 형성되어 있다.

도 5에 도시한 바와 같이, 능동층(16)의 드레인 영역(16d)은 층간 절연막(14)을 관통하는 컨택트홀 C1을 통해 층간 절연막(14) 위에 형성된 데이터 라인(30)에 접속된다. 또한, 소스 영역(16s)은 층간 절연막(14) 및 평탄화 절연층(18)을 관통하는 컨택트홀 C2를 통하여, 평탄화 절연층(18) 위에 형성되는화소 전극(20)에 접속된다.

데이터 라인(30)은, 도전율이 높은 재료, 예를 들면 알루미늄(Al)을 이용하여 기판 위에 열 방향으로 복수개 배열하여 형성되고, 상술한 바와 같이 컨택트홀 C2를 통해, 하층에 있는 TFT(1)의 드레인 영역(16d)에 접속된다. 여기서, 본 실시예에서는, 고정밀한 컬러 표시를 실현하는 목적을 위하여, 도 3에 도시한 바와 같이 동일색 화소가 행마다 위치가 어긋난, 소위 델타 배열이 채용되고 있다. 이 때문에, 데이터 라인(30)은, 일직선 형상으로 열 방향으로 연장되는 것은 아니며, 행마다 위치가 어긋난 화소의 간극을 연결하도록 하여 연장되어 있다. 물론, 본 발명은 델타 배열에만 한정되지 않고, 동일색이 열 방향으로 어긋나지 않고 배열되는 스트라이프 배열이어도 무관하며, 이러한 경우 데이터 라인(30)은 화소 사이를 일직선 상에 열 방향으로 연장하게 된다.

본 실시예 1에 있어서, 데이터 라인(30)은 두꺼운 보호 절연층(32)에 의해 피복되어 있다. 이 보호 절연층(32)은, 다른 색의 컬러 필터가 배치되는 인접 화소 사이에 간격을 두는 장벽 즉, 각 화소의 컬러 필터 형성 영역의 측벽으로서 기능한다. 즉, 이 보호 절연층(32)은 열 방향에서 인접하는 다른 색이 할당된 화소 영역을 각각 구분하고 있다.

또한, 보호 절연층(32)은 각 화소 영역 내에 컬러 필터를 형성하는 공정시에 사용되는 처리액(감광성 컬러 필터의 알칼리 현상액 등)이나 외기 등으로부터 데이터 라인(30)을 보호하여, 데이터 라인의 단선 쇼트를 막고 있다. 컬러 필터 필터 형성 측벽으로서 기능시키기 위하여 보호 절연층(32)은, 도 4에 도시한 바와 같이상면 위치가 컬러 필터(50)와 같은 정도로 되는 두께(높이)로 하는 것이 바람직하다. 일례로서, 데이터 라인(30)의 두께가 0.5㎛이고, R, G, B의 컬러 필터가 각각 1.5㎛∼2㎛인 경우, 보호 절연층(32)은 1㎛ 정도 또는 그 이상의 두께로 하면 된다. 이와 같이 1㎛ 전후로 두꺼운 절연막을 형성하기 위해서는, 상기 알칼리 현상액에 대한 내성을 갖춤과 함께, 광 경화형의 아크릴 수지 등의 두꺼운 막을 형성하는데 적합한 절연 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 또, 보호 절연층(32)은 기판 전면에 상기 아크릴 수지층 등을 형성한 후에, 선택적으로 제거함으로써 도 4와 같이 데이터 라인을 피복하는 이랑 형상으로 한다.

보호 절연층(32)을 형성한 후, 컬러 필터를 형성한다. 도 6은 본 실시예에 따른 컬러 필터의 전사 방법을 도시하고 있다.

컬러 필터 전사 시, 피전사 기판이 되는 제1 기판(10) 위에는, 게이트 라인(게이트 전극 : 11), TFT(1), 데이터 라인(30) 및 보호 절연층(32)이 형성되어 있다. 그리고, 상술한 바와 같이 보호 절연층(32)은 데이터 라인(30)을 피복함과 함께 열 방향으로 이랑 형상으로 연장되어, 인접하는 보호 절연층(32) 사이에 각 화소 스페이스가 구성되어 있다.

표면에 형성된 컬러 필터층(42)이 이러한 피전사 기판에 접촉하도록 배치되고, 전사 필름(40)의 상측에 배치된 전사 롤러(46)에 의해, 컬러 필터층(42)이 제1 기판(10)에 압착된다. 그리고, 이러한 압착 상태를 유지하면서 전사 롤러(46)를 보호 절연층(32)(데이터 라인(30))의 연장 방향을 향하여 이동시킨다. 이와 같이 보호 절연층(32)의 연장 방향을 따라 전사 롤러(46)를 이동시킴으로써, 화소 스페이스 안으로부터 분위기 가스를 진행 방향으로 방출시키면서, 컬러 필터층(42)이 전사되어 간다.

R, G, B의 모든 컬러 필터를 대응하는 화소에 형성하기 위해서는, 1색씩 컬러 필터를 순서대로 기판 위에 형성해 갈 필요가 있다. 도 7은 R, G, B를 이 순서대로 대응하는 화소에 형성해 가는 경우의 컬러 필터의 패터닝 예를 개념적으로 도시하고 있다. 또, 컬러 필터 재료로서는, 네거티브형 포토레지스트 재료에 안료를 혼입한 재료가 있고, 이러한 재료를 이용한 경우, 그 필터 재료를 노광·현상함으로써 불필요한 위치로부터 컬러 필터 재료가 제거된다.

도 6을 이용하여 설명한 바와 같이, 열 방향으로 전사를 진행시킴으로써, 기판 전면에 도 7의 (a)에 도시한 바와 같이 R의 컬러 필터를 전사한 후, 그 상측에 R 화소 위치만 개구한 Cr 등의 노광 마스크가 형성된 마스크 기판을 배치하여 노광한다. 노광 후, 현상을 행함으로써, 광이 조사되지 않은 R용 화소 스페이스 이외의 G용, B용 화소 스페이스에 매립된 R의 컬러 필터(50)를 제거한다. 이어서, R과 마찬가지로, 도 6과 같이 함으로써, 예를 들면 G의 컬러 필터를 기판(10) 전면에 전사한다. 이 때, R용 화소 이외의 화소 스페이스에서는, 이미 R의 컬러 필터(50)가 제거되어 있으므로, 도 7의 (b)와 같이 G용 및 B용 화소의 보호 절연층을 측벽으로 하는 스페이스 내에 G용 컬러 필터(50G)가 매립된다.

전사 후, R용 및 B용의 화소 위치를 피복하고, G용 화소 위치만 개구한 노광 마스크를 이용하여 노광을 행하고, 현상함으로써 G용 화소 위치 이외의 화소 스페이스에 전사된 컬러 필터(50G)가 제거된다. 마지막으로, B용 컬러 필터(50B)를 기판 전면에 전사하고, 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이 노광하고, 현상하면, 남은 B용 화소 스페이스에 컬러 필터(50B)가 매립된다.

전사 후, R용 및 G용의 화소 위치에 레지스트를 남겨 에칭함으로써, B용 화소 스페이스에 매립된 컬러 필터(50G)가 제거된다. 마지막으로, B용 컬러 필터(50B)를 도 6과 같이 함으로써 기판 전면에 전사하면, 남은 B용 화소 스페이스에 컬러 필터(50B)가 매립된다.

이상의 설명으로부터 알 수 있듯이, 컬러 필터를 제1 기판의 대응하는 화소 위치에 각각 형성하기 위해서는, R, G, B의 컬러 필터 사용의 경우, 적어도 3회의 현상(에칭) 처리가 실시된다. 데이터 라인의 형성 위치는, 열 방향에서의 인접 화소간의 경계에 일치하므로, 이러한 컬러 필터 형성 공정 시, 이 위치에서는 현상액이나 외기에 노출될 가능성이 높다.

그러나, 본 실시예에서는 이 데이터 라인(30)이 충분한 내성을 갖춘 보호 절연층(32)에 피복되어 있어, 데이터 라인(30)은 약액에 의한 침식이나 산화 등으로부터 확실하게 보호되고 있다. 그리고, 도 4에 도시한 바와 같이 이 보호 절연층(32)의 높이가 컬러 필터(50)의 상면과 같은 정도가 되도록 충분히 두껍게 해 둠으로써, 전사 시, 이 보호 절연층(32)에 의해 R, G, B의 컬러 필터를 각 화소 영역으로 분리하여 매립하는 것이 용이해진다. 따라서, 인접 화소끼리 다른 색의 컬러 필터가 섞이는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 보호 절연층(32)은 컬러 필터 형성 시, 기판으로부터 높게 돌출한 이랑 형상이 되지만, 컬러 필터의 전사를 이 보호 절연층(32)의 연장 방향을 따라 진행시키므로, 분위기 가스를방출시키면서 전사할 수 있어, 제1 기판에 두꺼운 컬러 필터(50)를 밀착성 좋게 형성하는 것이 가능하게 되어 있다.

이상 설명한 바와 같은 방법으로, R, G, B 각 화소 위치에 컬러 필터(50)를 형성한 후, 기판 전면에는 상면을 평탄하게 하기 위한 평탄화 절연층(18)을 형성하고, 다시 이 평탄화 절연층(18) 위의 각 화소 위치에 ITO 등의 투명 도전 재료를 이용한 화소 전극(20)이 형성된다. 이 화소 전극(20)은 도 5에 도시한 바와 같이, 평탄화 절연층(18) 및 층간 절연막(14)을 관통하여 형성한 컨택트홀 C2를 통해, 대응하는 TFT(1)의 소스 영역(16s)과 접속되어, TFT(1)를 통해 데이터 라인(30)으로부터 공급되는 데이터 신호를 받는다.

또한, 화소 전극(20)을 피복하는 기판 전면에는, 액정의 초기 배향을 제어하기 위한 배향막(22)이 형성되고, 이들 모두가 형성된 제1 기판(10)은 제2 기판(80) 사이에 일정한 간극을 두고 접합되고, 제1 및 제2 기판 사이에 형성되는 간극에 액정층(70)이 봉입되어, 컬러 LCD셀이 얻어진다. 또, 제2 기판(80)의 제1 기판(10)과의 대향면측에는, ITO 등으로 이루어지는 공통 전극(82) 및 배향막(84)이 형성되어 있다. 제1 및 제2 기판(10, 80) 위의 배향막(22, 84)은 러빙리스의 막 혹은 러빙 처리된 막이다.

이어서, 컬러 필터 블록층(36)에 대하여 설명한다. 도 5에 도시한 바와 같이 화소 전극(20)과 TFT 능동층(16)을 접속하기 위한 컨택트홀 C2는 평탄화 절연층(18)과 층간 절연막(14)을 모두 개구하므로 어스펙트비가 크고, 또한 컨택트 불량이 표시 불량에 큰 영향을 미친다. 한편, 컬러 필터는 두껍고, 또한 일단 형성되면 제거하기 어려운 재질이다. 이 때문에, 본 실시예에서는 컬러 필터 전사 공정 전에, 컨택트홀 C2의 형성 영역 근처에 컬러 필터 블록층(36)을 형성하고, 컬러 필터 전사 시, 컨택트홀 C2 근처에, 컬러 필터 재료가 유입되기 어려운 구조를 실현하고 있다.

컬러 필터 블록층(36)은, 컨택트홀 C2 주변에 충분한 두께(컬러 필터의 상면과 같은 정도의 높이)로 형성된다. 또한, 이 컬러 필터 블록층(36)은 측벽이 되는 보호 절연층(32) 사이에, 전사 시 전방으로 방출시키는 분위기 가스의 통로(38)를 확보하도록 보호 절연층(32)으로부터 이격되어 배치되어 있다. 이 블록층(36)은 일례로서, 도 6과 같은 L자형 패턴으로 할 수 있으며, 이 L자 패턴의 행 방향으로 연장되는 변이 보호 절연층(32)으로부터 이격되어 있다. 이와 같이 하면, 전사 시, 이격 부분에 분위기 가스를 방출시키는 통로(38)를 확보할 수 있다. 또, 컨택트홀 C2의 형성 영역에 컬러 필터가 들어가는 것을 방지하는 데에 있어서, 블록층(36)의 L자 패턴의 열 방향의 변은, L자의 행 방향의 변으로부터, 전사 진행 방향을 향하여 연장되도록 배치하는 것이 바람직하다. 블록층(36)의 패턴은, 도시한 바와 같은 L자 패턴에만 한정되지 않고, 열 방향으로의 통로(38)를 확보하면, 컨택트홀 C2의 주위를 3방위로 둘러싸는 U자 패턴이나, 전 방위로 둘러싸 중앙이 개구된 환상 패턴으로 할 수 있다. 또한, 효과는 낮아지지만, 행 방향으로 연장되는 직선 패턴으로 해도 된다.

또한, 이 블록층(36)은, 열 방향으로 이랑을 구성하는 상기 보호 절연층(32)과 동시에 동일 재료를 이용하여 형성함으로써, 충분한 두께로, 또한 공정 증가를최소한으로 억제하여 형성할 수 있다. 또한, 반드시 이 블록층(36)을 형성해야만 하는 것은 아니며, 필요에 따라 생략해도 된다.

상기에 있어서, 설명한 TFT(1)의 능동층(16)은 도 3에 도시한 바와 같이 똑바로 연장된 게이트 라인(11)을 2회 걸쳐 있어, 전기적으로 더블 게이트 구조로 되어 있다. 그러나, TFT(1)의 형상은, 도 3과 같은 형상에만 한정되지 않으며, 또한 더블 게이트가 아니고 싱글 게이트이어도 된다. 또한, 도 5에서는 능동층의 하층에 게이트 전극이 존재하는 보텀 게이트 TFT를 예로 들었지만, 게이트 전극이 능동층의 상층에 있는 톱 게이트 TFT인 경우에도 컬러 필터의 전사 방식에는 변함이 없다.

(실시예 2)

이상의 실시예 1에서는, 컬러 액정 표시 장치를 예로 들어 설명했지만, 본 실시예 2에서는 유기 EL 소자 등을 각 화소에 표시 소자로서 채용한 컬러 EL 표시 장치에, 실시예 1과 마찬가지인 온 칩 컬러 필터층을 적용하고 있다. 이하, 도면을 이용하여 설명한다. 또, 이하에서, 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙이고 그에 대한 설명은 간략화한다. 도 8은, 각 화소에 유기 EL 소자(500)를 개별로 제어하는 스위치 소자를 구비한, 소위 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 등가 회로 구성을 도시하고 있다.

도 8에 도시한 바와 같이, 유기 EL 표시 장치의 각 화소는, 일례로서, 유기 EL 소자(500), 제1 TFT(스위칭용 박막 트랜지스터 : 100), 제2 TFT(소자 구동용 박막 트랜지스터) 및 보유 용량 Cs를 각각 구비하고 있다. 제1 TFT(100)는 그 게이트가 행 방향으로 연장되는 게이트 라인(GL : 310)에 접속되고, nch형 TFT로 구성되는 경우, 드레인이 데이터 신호가 공급되는 데이터 라인(DL：300)에 접속되고, 소스는 보유 용량 Cs의 제1 전극 및 제2 TFT(200)의 게이트에 접속되어 있다. 또, 보유 용량 Cs는, 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 후술하는 바와 같이 게이트 절연막을 개재하여 대향하여 구성되어 있으며, 제2 전극은 공통의 용량 라인(SL : 312)에 접속되어 있다.

제2 TFT(200)는 pch형 TFT로 구성되는 경우, 공통된 구동 전원 Pvdd로부터 각각 배선된 구동 전원 라인(VL : 302)에 그 소스가 접속되고, 드레인에는 다이오드 구성의 유기 EL 소자(500)의 양극이 접속되어 있다. 이 제2 TFT(200)의 게이트에는, 선택 신호에 의해 제1 TFT(100)가 온 상태로 되었을 때에 데이터 라인(300)으로부터 공급되고, 보유 용량 Cs에 의해 보유되는 데이터 신호에 대응한 전압이 인가된다. 그리고, 제2 TFT(200)는 구동 전원 라인(302)으로부터 유기 EL 소자(500)의 양극에 게이트 전압에 대응한 전류를 공급하고, 유기 EL 소자(500)는 공급 전류에 대응한 강도로 발광한다.

도 9는, 본 실시예 2에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 개략 단면 구성을 도시하고 있다. 또한, 도 10은 상기 제1 TFT(100)의 개략 단면 구성, 도 11은 상기 제2 TFT(200)와 유기 EL 소자(500)의 개략 단면 구성을 각각 도시하고 있다. 제1 및 제2 TFT(100, 200)는, 여기서는 모두 톱 게이트 구조를 구비한다. 또한, 각 TFT의 능동층(116, 216)은 모두 유리 등의 투명 기판(101) 위에 형성된 비정질 실리콘층을 레이저 어닐링에 의해 동시에 다결정화하여 얻어진 다결정 실리콘층이 이용되고 있다.

우선, 제1 TFT(100)는 도 10과 같이 능동층(116) 위에 게이트 절연막(12)이 형성되고, 게이트 절연막(12) 위에는 게이트 라인(GL)과 일체인 게이트 전극(310)이 형성되어 있다. 또한, 도 10에서는, 제1 TFT(100)는 더블 게이트 구조가 채용되고 있다. 능동층(116)의 게이트 전극(310)의 바로 아래 영역은 채널 영역이고, 이 채널 영역의 양측에는 불순물이 도핑되어 드레인 영역(116d), 소스 영역(116s)이 각각 형성되어 있다. 제1 TFT(100)의 소스 영역(116s)은 보유 용량 Cs의 제1 전극을 겸용하며, 보유 용량 Cs의 제2 전극은 게이트 절연막(12) 위에 게이트 전극(310)과 동일 재료를 이용하여 동시에 형성되어 있다. 게이트 전극(310) 및 보유 용량 Cs의 제2 전극 및 게이트 절연막(12) 위에는, 층간 절연막(14)이 형성되며, 층간 절연막(14) 및 게이트 절연막(12)을 관통하여 형성된 컨택트홀에서, 드레인 전극을 겸용하는 데이터 라인(DL : 300)이 제1 TFT(100)의 드레인 영역(116d)과 접속되어 있다. 또한, 이들을 피복하는 기판 전면에는 평탄화 절연층(18)이 형성되어 있다.

제2 TFT(200)에서는, 도 11과 같이 제1 TFT(100)와 마찬가지로 게이트 절연막(12) 위에 게이트 전극(211)이 형성되어 있고, 이 게이트 전극(211)은 상기 보유 용량 Cs의 제1 전극과 전기적으로 접속되어 있다. 제2 TFT(200)에서는, 층간 절연막(14) 및 게이트 절연막(12)을 관통하여 형성된 컨택트홀에서, 구동 전원 라인(VL : 302)과 일체인 예를 들면 소스 전극이 능동층(216)의 소스 영역(216s)에 접속되어 있다. 또한, 이들을 피복하여 형성되어 있는 평탄화 절연층(18), 층간절연막(14) 및 게이트 절연막(12)을 관통하여 형성된 컨택트홀 C2에서는, ITO 등으로 구성되는 유기 EL 소자(500)의 양극(502)과, 능동층(216)의 드레인 영역(216d)이 접속되어 있다.

유기 EL 소자(500)는, 양극(502), 발광 소자층(510) 및 음극(520)을 구비하여 구성되어 있다. 양극(502)은 도 9에 도시한 바와 같이 화소마다 개별로 형성되어 있고, Al 등의 금속으로 구성되는 음극(520)은 각 화소 공통으로 형성되어 있다. 발광 소자층(510)은, 유기 재료를 주성분으로 하여 구성되며, 적어도 유기 발광 재료를 포함하는 발광층(506)을 갖는다. 일례로서, 여기서는, 양극(502)측으로부터 순서대로, 정공 수송층(504), 발광층(506) 및 전자 수송층(508)이 적층되어 있다. 또한, 본 실시예 2에서는 발광 소자층(510) 중 발광층(506)만이, 양극(502)과 마찬가지로 각 화소에서 독립된 패턴으로 형성되어 있다. 유기 EL 소자(500)의 각 층의 재료는 본 실시예 2에서 특별히 한정되지 않으며, 종래부터 알려져 있는 저분자계 유기 재료 혹은 고분자계 유기 재료 외에, 마찬가지의 기능을 갖춘 새로운 재료를 이용하여 형성할 수 있다. 일례로서, 여기서는, 발광 소자층(510)의 각 층에는 저분자계 유기 재료를 채용하며, 각 층은 진공 증착 혹은 인쇄 방법으로 형성한다. 또한, 고분자계 유기 재료를 채용하는 경우에는, 예를 들면 후술하는 바와 같은 잉크젯 방식으로 발광 소자층(510)을 형성할 수 있다. 물론, 발광 소자층(510)의 형성 방법은 이들 방법에 한정되지 않는다.

본 실시예 2에서는, 이상과 같은 액티브 매트릭스형 유기 EL 표시 장치에 있어서, 도 9 및 도 11에 도시한 바와 같이 각 화소의 양극(502) 아래에 형성된 평탄화 절연층(18)과, 층간 절연막(14) 사이에, 실시예 1과 마찬가지로, 각 화소 개별의 컬러 필터층(50)을 구비하고 있다. 그리고, 도 9에 개요를 도시한 바와 같이, 기판 위에 열 방향으로 배치되는 각 데이터 라인(300)을 피복하여 이랑 형상으로 형성된 보호 절연층(32)에 의해, 컬러 필터 형성 측벽이 형성되고, 이 측벽을 경계로 하여 형성된 화소 영역에, 대응하는 R, G, B의 컬러 필터층(50)이 각각 매립되어 있다. 또, 도면에서는 생략하고 있지만, 데이터 라인(300)과 평행하게 그 데이터 라인(300)과 동일 재료로 이루어지는 구동 전원 라인 VL(302)이 배치되어 있는 경우에는, 마찬가지의 보호 절연층(32)으로 피복하고, 데이터 라인(300)을 피복하는 보호 절연층(32)과, 구동 전원 라인(302)을 피복하는 보호 절연층(32)으로 구획된 화소 영역에 컬러 필터층(50)을 매립한다. 단, 구동 전원 라인(302)은, 전 화소 공통의 층으로 구성할 수도 있고, 이러한 경우에는 도 12에 도시한 바와 같이 데이터 라인(300)을 피복하는 보호 절연층(32)이 경계가 된다.

컬러 필터층(50)의 형성 방법은, 실시예 1과 마찬가지이며, 도 12에 도시한 바와 같이 전사 필름(40)에 형성된 컬러 필터층(42)을 전사 롤러(46)에 의해 기판(101)에 압압하고, 이 롤러(46)를 보호 절연층이 연장되는 방향으로 전진시킴으로써, 기판 위(실제로는 층간 절연막(14) 위)에 컬러 필터층(50)을 전사한다.

이와 같이 하여 형성된 컬러 필터층(50)은, 인접 열 사이에 형성된 보호 절연층(32)이 장벽으로 되어 분리되어 있으므로 다른 색의 컬러 필터층(50)과 섞이지 않아, 각 유기 EL 소자(500)의 양극(502) 아래에 샤프한 패턴으로 형성할 수 있다. 이와 같이 유기 EL 소자(500)가 형성되는 기판 위에 컬러 필터층(50)을 형성하는경우, 각 화소의 유기 EL 소자(500)는 예를 들면 전 화소 공통의 재료를 이용할 수 있다. 도 9를 예로 설명하면, 화소마다 개별 패턴으로 형성되는 발광층(506)으로서, 예를 들면 백색 발광 기능을 갖춘 유기 재료를 이용할 수 있다. 이러한 백색 발광 기능을 갖춘 발광층(506)에 양극(502)으로부터 정공 수송층(504)을 통해 정공을 주입하고, 음극(520)으로부터 전자 수송층(508)을 통해 전자를 주입함으로써 백색의 광을 얻을 수 있다. 그리고, 이 백색 광이 투명한 양극(502)을 투과하여 R, G, B의 각 컬러 필터층(50)을 통과함으로써, 원하는 R, G, B의 광으로서 투명 기판(101)을 투과하여 외부로 사출되어, 풀 컬러 표시가 행해진다. 또한, 컬러 필터층(50)이 원하는 색 변환 기능을 갖추고 있으면, 전 회소에 대하여 다른 임의의 발광색의 소자를 이용할 수 있다. 또, 도 9에서는, 각 화소의 유기 EL 소자(500)의 양극(502)은 인접 화소에 관계되는 유기 EL 소자(500)의 양극(502)과의 사이가 제2 평탄화 절연층(518)에 의해 이격되어 있다. 또한, 본 실시예 2에서도, 제2 TFT(200)의 능동층(216d)과 이것에 접속되는 유기 EL 소자(500)의 양극(502)은 매우 깊은 컨택트홀 C2를 통해 접속되어 있고, 이 컨택트홀 C2의 형성 영역의 근처에는, 도 11에 도시한 바와 같이 실시예 1과 마찬가지로 컬러 블록층(36)을 형성해 두는 것이 바람직하다.

(실시예 3)

도 13은, 실시예 3에 따른 컬러 필터층(51)의 형성 방법을 개념적으로 도시하고 있다. 상술한 실시예 1 및 실시예 2에서는, 도 6에 도시한 바와 같이 전사 롤러(46)를 이용하여 전사 필름(40)에 형성된 컬러 필터층(42)을 기판측에 전사하여, 각 화소 영역에 컬러 필터층(50)을 매립하고 있다. 이에 대하여 본 실시예 3에서는, 잉크젯 프린터와 마찬가지인 토출 장치(47)를 이용하여, 액상의 컬러 필터 재료(43)를 화소 영역을 향하여 토출하는 잉크젯 인쇄 방식을 채용한다. 단, 이랑 형상으로 형성되어 열 방향으로 각 화소 영역을 이격시키는 보호 절연층(32)을 장벽으로서, 컬러 필터층(51)을 형성하는 점은, 실시예 1 및 실시예 2가 공통이다.

도시하는 토출 장치(47)에는, 노즐 헤드를 구비하고, 여기에는 작은 노즐 구멍(45)이 배열되어 있고, 각 노즐 구멍(45)으로부터는 선택적으로 액상 컬러 필터 재료의 방울(43)을 토출할 수 있다. 본 실시예 3에서는, 노즐 구멍(45)의 배열이, 열 방향으로 연장되는 보호 절연층(32)과 직교하도록, 토출 장치(47)를 기판(10)에 대하여 위치 정렬하고, 보호 절연층(32)을 인접 열의 화소간의 칸막이 벽으로서 구성된 홈 형상의 화소 형성 영역에, 대응하는 노즐 구멍(45)으로부터 선택적으로 대응하는 색의 컬러 필터 재료(43)를 토출한다.

동일한 색의 영역(홈 영역)에만 선택적으로 노즐 구멍(45)으로부터 대응하는 색의 컬러 필터 재료(43)를 토출하면, 필요 최소한의 컬러 필터 재료(43)에 의해 각 화소 영역에 필요한 컬러 필터층(51)을 형성할 수 있다. 물론, 상술한 도 7에 도시한 바와 같이, 예를 들면, 우선 전 영역에 R용의 컬러 필터 재료(43)를 토출하고, 이것을 예로 들면 어닐링 등에 의해 고화되어 R용 컬러 필터층(51)을 형성한 후, 불필요한 영역으로부터 R용의 컬러 필터층(51)을 제거하고, 순차적으로 G, B용의 컬러 필터층(51)을 형성하는 방법을 채용해도 되지만, 재료비를 삭감하기 위해서는 대응하는 영역에만 노즐 구멍으로부터 대응하는 색의 컬러 필터 재료(43)를토출시키는 것이 바람직하다.

이와 같은 방법에 의해, 보호 절연층(32)을 측벽으로 하는 화소 형성 홈 영역에는 액상 컬러 필터 재료(43)를 확실하게 저장할 수 있으며, 이 재료를 고화시키면 충분한 두께의 컬러 필터층(51)을 얻을 수 있다. 또한, 근접 배치되는 인접 열이 다른 색의 화소 형성 영역이 보호 절연층(32)에 의해 이격되어 있는 데다가, 실시예 3에서는 이 토출 장치(47)는 컬러 필터 재료(43)를 토출함과 함께, 상술한 실시예 1 및 실시예 2와 마찬가지로, 보호 절연층(32)의 연장 방향(열 방향)으로 이동시킨다(기판을 이동해도 됨). 따라서, 토출 장치(47)로부터 이웃한 열의 화소 형성 영역으로 토출되는 다른 색의 컬러 필터 재료(43)가 혼입되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

(실시예 4)

실시예 4에서는, 실시예 2에서 설명한 컬러 유기 EL 표시 장치 등에 있어서, 이용되는 발광 소자층을 상기 각 실시예에서 설명한 컬러 필터층과 마찬가지인 인쇄 방법으로 형성한다. 도 14는, 실시예 4에 따른 컬러 유기 EL 표시 장치의 각 화소의 개략 단면 구조를 도시하고 있다. 또, 이 표시 장치의 각 화소의 회로 구성은 상술한 도 8과 공통된다. 또한, 도 15는 각 화소의 데이터 라인(300)과 접속되는 제1 TFT(100)의 형성 영역 부근의 단면 구조를 도시하고 있다.

본 실시예 4에서는, 도 14에 도시한 바와 같이 각 화소에 데이터 신호를 공급하는 데이터 라인(300)과, 이 데이터 라인(300)과 평행하게 구동 전원 라인(302)이 보호 절연층(332)에 의해 피복되어 있다(도 15에서는 구동 전원 라인(302)은 생략).

이 보호 절연층(332)은, 실시예 1의 보호 절연층(32)과 마찬가지로, 아크릴 수지 등을 이용함으로써 충분한 두께를 확보할 수 있게 되어 있어, 데이터 라인(300) 및 구동 전원 라인(302)을 보호함과 함께 인접 열 사이에서 다른 색의 화소 사이를 이격시키고 있다. 또, 구동 전원 라인(302)에 대해서는, 별도의 층에서 각 화소 공통으로 형성되고, 데이터 라인(300)과 동일 재료층으로 구성되지 않은 경우가 있다. 이 경우에는, 복수의 화소는 열마다 데이터 라인(300)을 피복하는 보호 절연층(332)에 의해 구획된다.

또한, 층간 절연막(14)(추가로 평탄화 절연층이 형성되어도 됨) 위에는, 도 14에 도시한 바와 같이 각 유기 EL 소자(500)의 양극(502)이 형성되어 있다. 그리고, 이 양극(502)의 열 방향의 양측부에, 상기 보호 절연층(332)이 돌출 설치되어, 인접 열 사이의 화소 형성 영역을 구획하고 있다. 그리고, 예를 들면 도 12의 컬러 필터층(42)을 대신하여, 발광 소자층(510)을 각각 구성하는(여기서는, 정공 수송층(504), 발광층(506) 및 전자 수송층(508)) 재료층이 각각 접착된 전사 필름(40)을 이용하고, 이 전사 필름(40)을 전사 롤러(46)로 기판(101)을 향하여 가압하면서 보호 절연층(332)의 연장 방향을 향하여 전사 필름(40)으로부터 기판(양극(502)) 위로 전사한다. 다른 색을 발광하는 인접 열의 화소 영역에는, 대응하여 다른 재료가 접착된 전사 필름(40)을 이용하여 각각 전사한다.

이와 같이, 충분한 두께의 보호 절연층(332)을 이용하여 전사 방식으로 화소 형성 영역에 발광 소자층을 매립하는 방법을 채용함으로써, 인접 열의 화소 사이에서 다른 발광 소자 재료를 이용하는 경우에도 화소 사이에서 재료가 섞이는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이 인접 화소 사이에서 명확하게 발광 소자 재료가 분리된다. 따라서, 각 유기 EL 소자(500)에 있어서 색 순도가 높은 발광을 나타낼 수 있게 된다. 여기서, 발광 소자층(510)은 상술한 바와 같이 적어도 발광 재료(발광층)를 포함하고, 또한 발광층은 유기 EL 소자(500)의 발광색이 다른 경우에는 발광색마다 다른 재료가 이용된다. 따라서, 적어도 발광층에 대해서는, 상술한 바와 같이 보호 절연층(332)을 이용하여, 할당된 색의 상호 다른 인접 열 사이에서 분리함에 따른 효과가 높다.

또한, 본 실시예 4에서는, 보호 절연층(332)은 발광 소자층(510)을 형성할 때의 인접 화소와의 경계를 구성하므로, 각 화소의 발광 소자층(510)의 상면과 해당 보호 절연층(332)의 상면이 거의 일치하는 두께로 하는 것이 바람직하다. 너무 두꺼우면, 발광 소자층(510) 위에 각 화소 공통으로 형성되는 유기 EL 소자(500)의 음극(520)에 단차가 발생하기 때문에 바람직하지 않다.

또, 본 실시예 4에서, 각 유기 EL 소자(500)의 양극(502) 아래에, 도 9와 같이 실시예 2와 같이 함으로써 컬러 필터층(50)을 형성하고, 유기 EL 소자(500)의 발광 소자층(510)에 대해서도 마찬가지의 보호 절연층(332)을 측벽으로서 이용한 인쇄 방법에 의해 형성해도 된다.

또한, 발광 소자층(510)은, 상기 실시예 3에서 설명한 바와 같은 소위 잉크젯 방식으로 인쇄 형성해도 된다. 도 16은 발광 소자층(510)을 잉크젯 방식으로써 형성하는 상태를 개념적으로 도시하고 있다.

예를 들면, 발광 소자층에 고분자계 발광 재료 등을 이용한 경우, 도 16과 같이 토출 장치(47)에 의해 이 고분자계 발광 재료를 액체 상태에서, 소위 잉크젯 방식으로 토출시켜, 기판 위에 형성하는 것이 가능하다. 또, 이 고분자계 발광 재료층만으로 발광 소자층(510)이 구성되는 경우도 많다.

이러한 경우에, 상술한 바와 같이 보호 절연층(332)은 데이터 라인(300)을 피복하여 형성되어 있고, 이 보호 절연층(332)을 측벽으로서 동일 색 열마다 구획된 화소 형성 영역에, 토출 장치(47)로부터 발광 소자 재료(430)를 토출함으로써 매우 간단하며 번짐 없이, 발광 소자층(510)을 형성할 수도 있다. 통상, 데이터 라인(300)(구동 전원 라인(302)이 형성되는 경우에는 이 라인(302)도 포함함)을 경계로 근접하여 다른 색의 화소가 배치되는 경우가 많지만, 이 경우에도 이웃한 열의 화소 형성 영역에 액상의 발광 소자 재료(430)가 유출되어 섞이는 것은 확실하게 방지된다. 또한, 실시예 3과 마찬가지로, 보호 절연층(332)의 연장 방향(여기서는 열 방향)으로 토출 장치(47)를 상대적으로 이동시킴으로써, 예를 들면 다른 색의 발광 소자 재료의 방울(430)이 노즐 구멍(45)으로부터 적하될 가능성이 낮아지게 되어, 다른 색의 발광 소자 재료와의 혼재를 보다 한층 방지할 수 있다. 또한, 토출 장치(47)의 진행 방향과 보호 절연층(332)의 연장 방향이 일치하므로, 이 보호 절연층(332)으로 구성된 화소 형성 영역의 측벽과 기판(양극(502))(101)의 표면과의 각 영역에도 확실하게 발광 소자 재료(430)를 적하할 수 있어, 발광 소자 패턴의 결함 등을 방지할 수도 있게 된다.

또한, 상술한 바와 같이 노즐 구멍(45)으로부터 선택적으로 대응하는 위치에, 동시에 또는 R, G, B마다 대응하는 R, G, B 등의 발광 소자 재료를 토출 형성하는 방법을 채용하면, 발광 소자층을 형성하는데 최소한 필요량의 재료에 의해 R, G, B 각각의 발광 소자층을 형성할 수 있어, 재료비의 삭감에 크게 기여할 수 있다.

이상의 각 실시예에서는, 보호 절연층(32, 332)은 데이터 라인을 피복하여 구성되어 있는 것으로서 설명하였지만, 예를 들면 제조 공정의 형편에 따라, 데이터 라인이 보호 절연층(32, 332)의 형성면에 노출되지 않은 경우 등에서는 반드시 데이터 라인을 직접 피복할 필요는 없다. 그러나, 이 경우에도 상술한 보호 절연층은, 이랑 형상 절연층으로 하여, 할당된 색이 다르고, 또한 인접하는 화소 영역의 경계를 지나도록 배치되며, 또한 이 이랑 형상의 절연층은 각 화소 스페이스의 열 방향의 양측벽을 구성하고, 이 화소 스페이스 내에 각각 할당된 색의 컬러 필터나 발광 소자층이 형성된다. 이러한 경우에도 상술한 각 실시예와 마찬가지로, 컬러 필터나 발광 소자층을 다른 색과의 혼색없이 형성하는 것이 용이해진다. 또한, 이들 컬러 필터나 발광 소자층의 형성 방법은, 상술한 바와 같은 전사 방식이나, 토출 방식 등이 채용 가능하고, 어느 경우에도 다른 색 재료의 혼입 등을 확실하고 용이하게 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 도 15에서, 층간 절연막(14) 및 데이터 라인(300)을 피복하여 도 11에 도시한 바와 같은 평탄화 절연층(18)이 형성되며, 그 위에 유기 EL 소자(500)의 양극(502)이 형성되는 경우 등에서는, 데이터 라인(300)의 형성 영역의 상방에, 도 15의 보호 절연층(332)과 같이 충분한 높이를 갖는 이랑 형상의 절연층을 형성한다. 그리고, 이 이랑 형상의 절연층을 발광 영역의 측벽으로서 이용하여 여기에 잉크젯 방식 혹은 전사 방식으로 발광 소자층을 형성한다.

<발명의 효과>

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 배선을 피복하는 이랑 형상의 보호 절연층의 연장 방향으로 컬러 필터의 전사 혹은 컬러 필터 재료의 토출 형성을 진행시킨다. 이에 따라, 전사 진행 방향 또는 토출 장치 진행 방향으로 분위기 가스를 방출시키면서, 간극없이 보호 절연 층간에 컬러 필터나 발광 소자층을 매립하도록 형성해 갈 수 있게 된다.

또한, 배선을 보호 절연층으로 피복한 후에 컬러 필터를 형성하므로, 컬러 필터의 패터닝 공정에서 배선이 처리액이나 외기 등에 노출되어 열화되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이랑 형상으로 보호 절연층을 형성하므로, 그 절연층이 인접 화소간의 경계벽이 되어, 경계 부근에서 다른 색의 컬러 필터 재료 혹은 발광 소자층이 혼합되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 데이터 라인을 보호 절연층으로 피복함으로써, 색 번짐이 적은 온 칩 컬러 필터 방식을 채용하면서, 컬러 필터 형성 공정에서의 데이터 라인의 열화를 방지하고, 또한 보호 절연층을 경계로 하는 인접 화소 사이에서, 다른 색의 컬러 필터 재료가 혼합되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 따라서, 표시 품질이 높은 컬러 표시가 가능해진다.

또한, 본 발명에서는, 상기 이랑 형상으로 형성된 보호 절연층을 화소 형성영역의 경계벽으로서 이용하며, 여기에 유기 EL 소자의 발광 소자 재료 등을, 상기 전사나 토출 등의 방법을 이용하여 형성함으로써 다른 색의 재료의 혼입없이, 발광 소자층을 형성할 수 있다.

본 발명은, 예를 들면 컬러 액정 표시 장치나, 컬러 EL 표시 장치 등의 컬러 표시 장치에 적합하다.

Claims (20)

1. 전사 필름에 형성된 컬러 필터층을 피전사 기판에 전사하는 컬러 필터 형성 방법에 있어서,

   피전사 기판은, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출 형성된 보호 절연층을 포함하고,

   압압 기구에 의해 상기 전사 필름 위의 컬러 필터층을 상기 피전사 기판에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동하여, 상기 피전사 기판 위에 상기 컬러 필터층을 전사하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 형성 방법.
2. 액상 컬러 필터 재료를 피전사 기판에 토출하는 컬러 필터 형성 방법에 있어서,

   피전사 기판은, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출 형성된 보호 절연층을 포함하고,

   토출 기구로부터 상기 액상의 컬러 필터 재료를 토출하고, 그 토출 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 상대적으로 이동시켜, 상기 피전사 기판 위에 상기 컬러 필터층을 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 형성 방법.
3. 전사 필름에 형성된 발광 소자층을 피전사 기판에 전사하는 발광 소자층 형성 방법에 있어서,

   피전사 기판은, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출 형성된 보호 절연층을 포함하고,

   압압 기구에 의해 상기 전사 필름 위의 발광층을 상기 피전사 기판에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동하여, 상기 피전사 기판 위에 상기 발광 소자층을 전사하는 것을 특징으로 하는 발광 소자층 형성 방법.
4. 액상 발광 소자 재료를 피전사 기판에 토출하는 발광 소자층 형성 방법에 있어서,

   피전사 기판은, 소정 방향으로 복수개 배열되어 연장되는 배선 및 그 배선을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출 형성된 보호 절연층을 포함하고,

   토출 기구로부터 상기 액상 발광 소자 재료를 토출하고, 그 토출 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 상대적으로 이동시켜, 상기 피전사 기판 위에 상기 발광 소자층을 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 소자층 형성 방법.
5. 기판 위에, 복수의 스위치 소자, 그 복수의 스위치 소자 중 대응하는 스위치 소자에 데이터 신호를 공급하는 데이터 라인, 상기 대응하는 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 선택 라인, 상기 대응하는 스위치 소자에 직접 또는 간접적으로 접속되는 화소 전극, 및 상기 화소 전극의 하방에 형성된 컬러 필터를 포함하는 컬러 표시 장치의 제조 방법에 있어서,

   기판 위에 상기 선택 라인, 상기 스위치 소자 및 상기 데이터 라인을 형성한 후, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 적어도, 각각 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출된 보호 절연층을 형성하고,

   압압 기구에 의해 전사 필름 위의 컬러 필터층을 상기 기판에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동하며, 상기 기판 위에 상기 컬러 필터층을 전사하는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 컬러 필터의 전사 전,

   상기 화소 전극과 상기 스위치 소자를 층간에서 전기적으로 접속하는 컨택트홀의 형성 영역 주변에, 컬러 필터 블록층을 형성하고,

   상기 컬러 필터 블록층과 상기 보호 절연층 사이에는, 컬러 필터 전사 시에 열 방향으로 분위기 가스를 방출하기 위한 통로가 확보되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서,

   상기 컬러 표시 장치는, 상기 화소 전극에 인가하는 데이터 신호에 대응한 전압에 의해 액정을 제어하는 컬러 액정 표시 장치인 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
8. 제5항 또는 제6항에 있어서,

   상기 컬러 표시 장치는, 일렉트로 루미네센스 소자를 각 화소에 구비하고, 상기 화소 전극은, 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 제1 전극이며, 상기 제1 전극으로 공급되는 데이터 신호에 대응한 전력에 따라 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 발광 강도를 제어하는 컬러 일렉트로 루미네센스 표시 장치인 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
9. 기판 위에, 복수의 화소를 갖고,

   각 화소는, 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 포함하는 발광 소자와,

   데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와,

   구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자에 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 포함하는 컬러 표시 장치의 제조 방법에 있어서,

   기판 위에, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 형성한 후, 그 데이터 라인을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출된 보호 절연층을 형성하고,

   배열되어 연장되는 상기 보호 절연층에 의해 끼워진 영역에서 기판 위에 형성되어 있는 상기 발광 소자의 제1 전극 위에, 압압 기구에 의해 전사 필름 위의발광 소자층을 그 제1 전극에 압착하고, 또한 그 압압 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동하며, 상기 제1 전극 위에 상기 발광 소자층을 전사하는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
10. 기판 위에, 복수의 화소를 갖고,

    각 화소는, 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 포함하는 발광 소자와,

    데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와,

    구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 포함하는 컬러 표시 장치의 제조 방법에 있어서,

    기판 위에, 열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 형성한 후, 그 데이터 라인을 피복하여 이랑 형상으로 기판으로부터 돌출된 보호 절연층을 형성하고,

    토출 기구로부터 상기 액상 발광 소자 재료를 토출하고, 그 토출 기구를 상기 보호 절연층의 연장 방향을 따라 이동하며, 상기 발광 소자의 제1 전극 위에 상기 발광 소자층을 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치의 제조 방법.
11. 컬러 표시 장치에 있어서,

    기판 위에는,

    매트릭스 배치된 복수의 스위치 소자와,

    열 방향으로 연장되고 대응하는 상기 스위치 소자에 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인과,

    행 방향으로 연장되고 대응하는 상기 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는 복수의 선택 라인과,

    상기 데이터 라인 및 상기 선택 라인에 의해 구획되는 화소 영역에 배치되며, 대응하는 상기 스위치 소자를 통해 직접적으로 또는 간접적으로 데이터 신호가 공급되는 화소 전극과,

    상기 데이터 라인을 피복하여 형성된 보호 절연층을 포함하고,

    상기 보호 절연층을 열 방향의 양측 변으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에, 각 화소에 할당된 색의 컬러 필터가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
12. 대향 배치되는 제1 및 제2 기판의 사이에 액정이 봉입되어 구성되는 컬러 표시 장치에 있어서,

    상기 제1 기판 위에는,

    매트릭스 배치된 복수의 스위치 소자와,

    열 방향으로 연장되고 대응하는 상기 스위치 소자에 데이터 신호를 공급하는 복수의 데이터 라인과,

    행 방향으로 연장되고 대응하는 상기 스위치 소자에 선택 신호를 공급하는복수의 선택 라인과,

    상기 데이터 라인 및 상기 선택 라인에 의해 구획되는 화소 영역에 배치되며, 대응하는 상기 스위치 소자를 통해 데이터 신호가 공급되고, 대향하는 제2 기판 위의 전극과의 사이에서 액정을 구동하는 화소 전극과,

    상기 데이터 라인을 피복하여 형성된 보호 절연층을 포함하고,

    상기 보호 절연층을 열 방향의 양측 변으로 하여 구성된 각 화소 스페이스에, 각 화소에 할당된 색의 컬러 필터가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서,

    상기 화소 전극과 상기 스위치 소자를 층간에서 전기적으로 접속하는 컨택트홀의 형성 영역과, 상기 보호 절연층을 열 방향 측변으로 하는 화소 스페이스 사이에 컬러 필터 블록층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 보호 절연층은, 그 상면 높이가, 상기 컬러 필터의 상면과 같은 정도 또는 상면 이상이 되는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 컬러 표시 장치는,

    상기 화소 전극에 인가하는 데이터 신호에 대응한 전압에 의해 액정을 제어하는 컬러 액정 표시 장치인 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
16. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 컬러 표시 장치는,

    일렉트로 루미네센스 소자를 각 화소에 구비하고,

    상기 화소 전극은, 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 제1 전극이고, 그 제1 전극에 공급되는 데이터 신호에 대응한 전력에 따라 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 발광 강도를 제어하는 컬러 일렉트로 루미네센스 표시 장치인 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
17. 기판 위에, 복수의 화소를 갖고,

    각 화소는, 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 포함하는 발광 소자와,

    데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와,

    구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 포함하며,

    열 방향으로 연장되는 상기 데이터 라인을 적어도 피복하여 보호 절연층이 형성되고,

    상기 보호 절연층을 열 방향의 양측변으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에, 상기 복수의 화소 중 대응하는 화소가 할당된 색의 발광 기능을 갖춘 발광 소자층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
18. 제17항에 있어서,

    상기 보호 절연층은, 그 상면 높이가, 상기 발광 소자층의 상면과 같은 정도 또는 상면 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
19. 컬러 표시 장치에 있어서,

    기판 위에, 매트릭스 형상으로 복수의 화소 영역이 구성되며,

    각 화소 영역에는, 적어도, 데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치 소자와, 상기 스위치 소자를 통해 직접적으로 또는 간접적으로 데이터 신호가 공급되는 화소 전극이 배치되며,

    할당된 색이 다르고 인접하는 화소 영역 사이의 경계를 통과하도록 형성된 이랑 형상의 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하여 구성된 화소 스페이스 내에 할당된 색의 컬러 필터가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.
20. 컬러 표시 장치에 있어서,

    기판 위에, 복수의 화소를 갖고,

    각 화소는, 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광 소자층을 포함하는 발광 소자와,

    데이터 라인과 선택 라인에 접속된 스위치용 트랜지스터와,

    구동 전원과 상기 발광 소자 사이에 접속되고 상기 스위치용 트랜지스터를 통해 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호에 따라, 구동 전원으로부터 상기 발광 소자로 공급하는 전력을 제어하는 소자 구동용 트랜지스터를 포함하고,

    할당된 색이 다르고 인접하는 화소간의 경계를 통과하도록 형성된 이랑 형상의 절연층을 열 방향의 양측벽으로 하여 구성된 각 화소 스페이스 내에, 할당된 색의 발광 기능을 갖춘 발광 소자층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 표시 장치.