JP3325211B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、テレビジ
ョンセット、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッ
サ、ＯＡ（Ｏｆｆｉｃｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）機器
などの表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶表示装置に代表されるフ
ラットパネルディスプレイ等においては、透明基板上に
着色層を設けたカラーフィルタが使用されている。

【０００３】このカラーフィルタの製造方法として、一
般に染色法、電着法、顔料分散法などが知られている。
そのうち、染色法や電着法では色あせが発生しやすく、
色純度も良好ではないため、顔料分散法が広く用いられ
ている。

【０００４】図１２は、顔料分散法における工程フロー
の一例を示す。この顔料分散法は、予め顔料が分散され
た感光性樹脂を塗布してカラーフィルタをパターン形成
する方法であり、具体的には以下のように行われる。

【０００５】まず、基板を受け入れて洗浄を行った後、
スパッタリング法等によりクロムからなる２層を成膜
し、その上にレジストを塗布して露光、現像し、その後
ウェットエッチングを行ってレジストを剥離することに
より、ブラックマトリクスとなる層を形成する。次に、
赤色の顔料が分散された感光性樹脂を塗布して仮焼成を
行い、露光、現像および仮焼成を行うことにより赤の着
色層を形成する。次に、緑色の顔料が分散された感光性
樹脂を塗布して仮焼成を行い、露光、現像および仮焼成
を行うことにより緑の着色層を形成する。続いて、青色
の顔料が分散された感光性樹脂を塗布して仮焼成を行
い、露光、現像および仮焼成を行うことにより青の着色
層を形成する。その後、基板を検査して洗浄および本焼
成を行う。

【０００６】また、顔料系の着色層からなるカラーフィ
ルタを形成する方法として、ＤＦＬ（Ｄｒｙ Ｆｉｌｍ
Ｌａｍｉｎａｔｅ；ドライ フィルム ラミネート）
法等も用いられる。この方法は、図１３の工程フローに
代表されるように、予め薄膜に形成されたドライフィル
ムを基板に貼り付けるものである。

【０００７】まず、基板を受け入れて洗浄を行った後、
赤色の顔料が分散されたドライフィルムをラミネートし
て保護フィルムを剥離し、フォトマスクを介して露光し
て、クッション層の現像、カラー層の現像および仮焼成
を行うことにより赤の着色層を形成する。

【０００８】次に、緑色の顔料が分散されたドライフィ
ルムをラミネートして保護フィルムを剥離し、フォトマ
スクを介して露光して、クッション層の現像、カラー層
の現像および仮焼成を行うことにより緑の着色層を形成
する。

【０００９】次に、青色の顔料が分散されたドライフィ
ルムをラミネートして保護フィルムを剥離し、フォトマ
スクを介して露光して、クッション層の現像、カラー層
の現像および仮焼成を行うことにより青の着色層を形成
する。

【００１０】続いて、黒色の顔料が分散されたドライフ
ィルムをラミネートして保護フィルムを剥離し、基板裏
面側から露光して、クッション層の現像、カラー層の現
像および仮焼成を行うことによりブラックマトリクスと
なる層を形成する。その後、基板を検査して洗浄および
本焼成を行う。

【００１１】このＤＦＬ法によれば、図１２で説明し
た、顔料分散法で用いられていたスピン塗布法のよう
に、所望の膜厚を得るために塗布量を制御する必要がな
く、予め所望の膜厚に作製されたドライフィルムを用い
るだけでよいので、容易に均一な膜厚を得ることができ
る。また、初めから水分を殆ど含まず、ある程度重合さ
れ易い状態で成膜することができるので、スピン塗布法
のようにベーク後の膜の減り量を考慮する必要もない。
また、スピン塗布法のように、材料のごく一部のみが基
板上に形成されて、残りの大半は塗布時に廃棄されるの
とは異なるため、材料の無駄が少ない。さらに、ドライ
フィルムの貼り付けは、一般に、スピン塗布に比べて容
易であるため、装置を安価にすることができるなど、コ
スト的にも有利である。

【００１２】このようにして得られるカラーフィルタ
は、例えばアクティブマトリクス型の液晶表示装置にお
いては、一般に、液晶層を挟んでアクティブマトリクス
基板と対向配設される対向基板側に、カラーフィルタが
設けられる。以下に、このような液晶表示装置の構成を
以下に説明する。ここで、アクティブマトリクス基板と
しては、例えば、図２（平面図）および図３（断面図）
に示す構成のもの（特開昭５８−１７２６８５号）を例
に挙げる。

【００１３】このアクティブマトリクス基板は、透明絶
縁性の基板５の上に、個々の独立した画素電極１０がマ
トリクス状に配置され、この画素電極１０の各々にスイ
ッチング素子としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）２１
が設けられる。各ＴＦＴ２１は走査配線であるゲート信
号線２５によりオンオフが選択され、信号配線であるソ
ース信号線２４からの電位が各画素電極１０に書き込ま
れるようになっている。この画素電極１０には、図示し
ていないが、液晶層を挟んで、対向基板側に形成された
対向電極が対向配設される。

【００１４】この画素電極１０と対向電極との間の電位
差により両電極の間に存在する液晶層の光学的変調が行
われ、これが表示パターンとして視認される。この画素
電極１０を選択駆動するためのスイッチング素子として
は、ＴＦＴ２１以外に、ＭＩＭ（金属−絶縁膜−金属）
素子等が一般的に用いられる。なお、図２及び図３に示
すアクティブマトリクス基板の構成については、後で詳
細に説明する。

【００１５】このように構成されたアクティブマトリク
ス基板の有効表示領域、すなわち、画素電極と対向電極
との対向部からなる表示用画素を有する領域となる部分
には、ポリイミド等からなる配向膜が成膜され、この配
向膜にはラビングやＵＶ照射等の処理により配向機能が
与えられる。

【００１６】また、対向基板に対しては、上述のように
して各画素に対応してカラーフィルタの着色層が設けら
れると共に、ＩＴＯ等からなる透明な対向電極（対向共
通電極）が設けられ、有効表示領域となる部分に同様の
配向膜が成膜されて配向処理が施される。

【００１７】これら両基板が貼り合わされて液晶表示装
置のパネル部分が作製されている。その詳細は次の通り
である。両基板の一方には、液晶注入口の部分だけ開け
てパネルの周囲を囲むように印刷方式等によりシール材
が塗布されており、アクティブマトリクス基板上に設け
られた対向電極用信号入力端子の上に導電性物質が付着
され、さらに、液晶層のセル厚を一定にするためのスペ
ーサーが散布されている。このような状態の両基板は、
位置合わせをした後に貼り合わされており、熱を加える
ことによりシール材が硬化されており、液晶注入口から
液晶を注入した後にその液晶注入口は封止材により塞が
れている。

【００１８】なお、図２および図３を用いて説明した、
特開昭５８−１７２６８５号に開示されているアクティ
ブマトリクス基板は、ドレイン電極１６ｂに透明導電膜
１７ｂを接続してドレイン電極を延出させてあり、ま
た、透明導電膜１７ｂと画素電極１０との間に設けた層
間絶縁膜８にコンタクトホール１１を設けている。この
コンタクトホール１１は、ドレイン電極を延出させるた
めの透明導電膜１７ｂの上方に位置し、このコンタクト
ホール１１を介して、ＴＦＴ２１のドレイン電極１６ｂ
と画素電極１０とが接続されている。

【００１９】この図示例のアクティブマトリクス基板に
おいては、図２に示すように、ゲート信号線２５やソー
ス信号線２４に対して画素電極１０をオーバーラップさ
せることができる。これによって、開口率が向上すると
共に、各信号線２４、２５に起因する電界が画素電極１
０によりシールドされて液晶の配向不良が抑制されると
いう効果が得られる。

【００２０】ところで、カラーフィルタは、Ｒ（赤）、
Ｇ（緑）、Ｂ（青）等の各着色層を設けると共に、色の
混合や光漏れを防ぐためにブラックマスクを設ける構成
とするのが一般的である。

【００２１】しかし、上述した図２および図３で示した
構造のアクティブマトリクス基板の場合、隣接する画素
電極１０間の隙間の下には、ゲート信号線２５およびソ
ース信号線２４があるため、表示に寄与する画素電極１
０が存在する有効表示領域には、ブラックマスクを配置
する必要が無い。よって、このアクティブマトリクス基
板においては、その有効表示領域の外側の、いわゆる額
縁部に遮光を施せばよく、ブラックマスク形成のための
工程を削減することができる。また、額縁部の遮光は、
この額縁部にはゲート信号線やソース信号線が形成され
ているが、ゲート信号線同士の隙間およびソース信号線
同士の隙間を遮光すればよく、そのために、アクティブ
マトリクス基板側に一方の信号線の隙間を覆うように他
方の信号線を構成する層を、両信号線の間を絶縁した状
態で設ければよい。なお、ゲート信号線およびソース信
号線は一般に金属膜からなるため、額縁部にゲート信号
線やソース信号線を構成する層を設けて遮光する場合に
は、液晶表示装置を表面から見た際に光沢を伴う。この
光沢を消すために、対向基板側に設けるカラーフィルタ
の各着色層を額縁部まで延長して、金属膜からの反射を
抑えるフィルタとして機能させ、反射を抑えるようにし
ている。

【００２２】上述した説明では、カラーフィルタは対向
基板側に設ける場合を説明しているが、上記層間絶縁膜
を有するアクティブマトリクス基板にあっては、カラー
フィルタの着色層は、層間絶縁膜を利用してアクティブ
マトリクス基板上に一体的に形成することもできる。こ
のような構造は、例えば特開平６−２４２４３３号に開
示されており、これによって対向基板とアクティブマト
リクス基板との貼り合わせの際のアライメント誤差を考
慮する必要が無くなるので、さらに開口率を向上させる
ことができる。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、アクティブマ
トリクス基板および対向基板のどちから一方にカラーフ
ィルタを設けるとしても、ブラックマスクの形成工程を
削減するために、カラーフィルタの各着色層を額縁部ま
で延長して反射を抑える構造を採用した場合には、アク
ティブマトリクス基板と対向基板とを貼り合わせてシー
ル材を熱硬化させる際に、シール材を構成する樹脂内の
溶剤などが噴き出す現象が生じるという短所がある。こ
の現象は、シール材が完全に硬化する前の段階におい
て、熱分布やシール材の配合成分のばらつきによって、
加えられた熱によるシール材の突沸が発生し、これによ
ってシール樹脂の粘土を調整するフィラーと称される成
分や溶剤が本来のシール材形成領域から大きく飛び出す
ことにより発生する。

【００２４】このようにして発生する噴き出し現象は、
シール材形成領域における基板間隔の厚みと大きく関係
がある。すなわち、両基板を貼り合わせてシール材を硬
化させる際には、熱と同時に圧力を加えて、シール材中
に含まれたスペーサーと、貼り合わせ前に予め基板上に
散布されたスペーサーとによって基板間隔を所望の厚み
に制御するのであるが、このとき、シール材形成領域に
おける基板間隔が小さい場合には、シール材に熱と共に
大きな圧力が集中し、これが噴き出し現象の主要因の１
つとなるのである。

【００２５】特に、貼り合わせられる両基板の表面が平
坦な場合、シール材に加わった圧力の逃げ場が無いた
め、噴き出し現象がより発生しやすくなり、ひどい場合
には有効表示領域にまで到達する。また、噴き出しが有
効表示領域までは達しない場合でも、噴き出したシール
材の成分は、硬化のための主剤等がよく調合された状態
とは異なるため、液晶表示装置の完成後も硬化しないま
まの状態で残り、これが液晶表示装置の使用中に有効表
示領域内に浸み出して、表示不良を引き起こす等の原因
となり、信頼性の上でも問題がある。なお、その問題解
決のためには、アクティブマトリクス基板上または対向
基板上においてシール材の形成領域に敢えて凹凸を設け
ることにより、シール材に加わる圧力を逃がす構造とす
ることが有効である。例えば、カラーフィルタの着色層
のうち、特定の色の着色層を他の色の着色層よりも膜厚
を薄くして形成することが考えられる。この膜厚を薄く
する部分は、着色層の形成領域全体である場合もあり、
また、有効表示領域における色度特性を損なわないため
に有効表示領域は通常の膜厚とし、それ以外の例えばシ
ール材形成領域だけを薄くする場合もある。

【００２６】また、上述したＤＦＬ法を用いてカラーフ
ィルタを製造した場合には、以下のような問題があっ
た。

【００２７】すなわち、ドライフィルムに熱を加えなが
ら圧着する際に、既に形成されたドライフィルムのパタ
ーン上を覆うようにドライフィルムを貼っていくが、こ
の既に形成されたパターンがカラーフィルタの着色層で
ある場合、これらの層は一般に１μｍ〜２μｍの厚みを
有している。このため、圧着するドライフィルムの弾性
によっては、既に形成されたパターンとの間に気泡が生
じることなく貼り付けるのが困難であり、隙間無く覆う
ことができない場合がある。この場合、既に形成された
パターンと後で形成されるパターンとの境界付近に、貼
り付け時の気泡に起因するパターン欠損が生じたり、ま
たは、後工程でこの気泡部分からの膜剥がれによる工程
汚染が生じたりするおそれがある。

【００２８】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、ドライフィルムの貼り付
け時に生じる気泡不良を防ぐことができるカラーフィル
タの製造方法を提供することを目的とする。

【００２９】

【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造方法は、基板上に、ラミネート法によりドライフ
ィルムを貼付けて所定形状にパターニングすることを複
数回行って、複数色の着色層からなるカラーフィルタを
製造する方法であって、ドライフィルムの貼付方向上流
側の位置が異なることにより、該カラーフィルタ部分の
ドライフィルム貼付方向上流側が開口するように形成さ
れる凹状縁と、後行で貼付けられるドライフィルムと、
該基板の表面とで囲まれると、雰囲気気体が溜って密閉
された袋状部分が形成されるのを防止すべく、該凹状縁
の該貼付方向下流側に、該雰囲気気体を該貼付方向下流
側に逃がす隙間を該凹状縁につなげて設けておき、更
に、先行の既に所定形状に形成されているカラーフィル
タ部分に設けられた前記隙間の途中に、該隙間側を開口
した別の凹状縁を設けて、該別の凹状縁の前記貼付方向
下流側部分を、開口側を該貼付方向下流側にした斜め状
態に形成しておく先行工程と、該先行工程の後に、後行
のドライフィルムを貼付ける後行工程とを含み、そのこ
とにより上記目的が達成される。

【００３０】

【００３１】

【００３２】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、基板上に、複数の着色層が所定の繰り返しパターン
で現れる有効表示領域と、その外側に或る特定の着色層
が該所定の繰り返しパターン中で２回現れる額縁部とを
有し、該基板上にラミネート法によりドライフィルムを
貼付けて所定形状にパターニングすることを複数回行っ
て各着色層が設けられるカラーフィルタの製造方法であ
って、該特定の着色層を後行とし、少なくともこれを除
く他の色からなる先行の着色層の間の、雰囲気気体をド
ライフィルム貼付方向下流側に逃がす隙間に該特定の着
色層を形成する際に、予め、該隙間が該有効表示領域よ
り外側で複数に分岐した状態となるように、先行の着色
層の一つを該額縁部において分断すると共に、分断した
額縁部側の着色層部分を該隙間の中間部に配し、かつ、
分断した有効表示領域側の着色層部分を先行の着色層の
他のものと接近させて配しておき、そのことにより上記
目的が達成される。

【００３３】前記特定の着色層を後行とし、少なくとも
これを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に該
特定の着色層を形成する際に、更に、前記分断した有効
表示領域側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方
向上流側の縁を斜めに形成しておくことを特徴とする。

【００３４】前記特定の着色層を後行とし、少なくとも
これを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に該
特定の着色層を形成する際に、更に、前記分断した額縁
部側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方向下流
側の縁を、前記分断した有効表示領域側の着色層部分に
おけるドライフィルム貼付方向上流側の縁と同一方向に
斜めに形成することを特徴とする。

【００３５】前記特定の着色層を後行とし、少なくとも
これを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に該
特定の着色層を形成する際に、更に、前記分断した有効
表示領域側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方
向上流側の縁を斜めに形成し、かつ、前記分断した額縁
部側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方向下流
側の縁を、前記分断した有効表示領域側の着色層部分に
おけるドライフィルム貼付方向上流側の縁と同様の方向
に斜めに形成し、加えて、前記複数の着色層が所定の繰
り返しパターンで形成される有効表示領域における隙間
と各着色層との幅寸法を揃え、かつ、前記或る特定の着
色層が該所定の繰り返しパターン中で２回現れる額縁部
における隙間と各着色層との幅寸法を揃えるべく、前記
両着色層部分が分断された部分近傍において前記有効表
示領域側よりも前記額縁部側の隙間幅寸法の合計長を徐
々に長く、または徐々に短くなるようにし、かつ、これ
につながる額縁部および有効表示領域での隙間幅寸法を
一定となるようにしておくことを特徴とする。また、本
発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に、ラミネ
ート法によりドライフィルムを貼付けて所定形状にパタ
ーニングすることを複数回行って、複数色の着色層から
なるカラーフィルタを製造する方法であって、１組の着
色層をそれぞれ構成する各組のドライフィルムの貼付方
向上流側位置が異なることにより、該カラーフィルタ部
分のドライフィルム貼付方向上流側が開口するように形
成される凹状縁と、後行で貼付けられるドライフィルム
と、該基板の表面とで囲まれると、雰囲気気体が溜って
密閉された袋状部分が形成されるのを防止すべく、該凹
状縁の該貼付方向下流側に、該雰囲気気体を該貼付方向
下流側に逃がす隙間を、前記着色層の各組の間に該凹状
縁につなげて設ける先行工程と、該先行工程の後に、後
行のドライフィルムを貼付ける後行工程とを含み、その
ことにより上記目的が達成される。

【００３６】以下、本発明の作用について説明する。

【００３７】本発明の請求項１にあっては、先行の既に
所定形状に形成されているカラーフィルタ部分のドライ
フィルム貼付方向上流側が開口した凹状縁の貼付方向下
流側に、雰囲気気体を貼付方向下流側に逃がす隙間を該
凹状縁につなげて設けておき、その後、後行のドライフ
ィルムを貼付けるので、その後行のドライフィルム貼付
け時に、雰囲気気体が隙間を通って下流側に逃げるた
め、雰囲気気体の密閉による気泡不良の発生を未然に防
止できる。

【００３８】本発明の請求項２にあっては、更に、前記
凹状縁の底辺を、その途中が他の底辺部分よりも貼付方
向上流側に突出した形状に形成しておくので、貼付方向
に対して垂直となる縁が無くなり、より確実に雰囲気気
体を下流側に逃がすことが可能となる。

【００３９】本発明の請求項３にあっては、更に、先行
の既に所定形状に形成されているカラーフィルタ部分に
設けられた前記隙間の途中に存在する、該隙間側を開口
した別の凹状縁の前記貼付方向下流側部分を、開口側を
該貼付方向下流側にした斜め状態に形成しておくので、
貼付方向に対して垂直となる縁を無くすることが可能と
なり、より確実に雰囲気気体を下流側に逃がすことが可
能となる。

【００４０】ところで、シール材の配置される基板領域
に敢えて凹凸を設け、シール材に加わる圧力を逃がす構
造とするため、カラーフィルタのある特定の色の着色層
を他の色の着色層よりも膜厚を薄くして形成する際、有
効表示領域の外側の額縁部で色の繰り返しパターン中に
同じ色の着色層を２回以上現れるようにすることがあ
る。これは、膜厚の薄い１色の着色層が交互に現れるこ
とで、繰り返しパターン中に１回しか現れない場合と比
べて、シール材に加わる圧力を基板間隔の広いところに
逃がすという目的を狙ったものである。

【００４１】これを実現する一つの方法としては、シー
ル材の配置される額縁部において、全色の繰り返しパタ
ーンを形成すると共に特定の１色を除く他の色の着色層
の一つを、これと隣接するもう一つの着色層との間に隙
間が生じるように形成し、その隙間に特定の１色の着色
層を形成する。また、有効表示領域においては全色の繰
り返しパターンを形成する。このとき、特定の１色の着
色層の形成に際しては、有効表示領域に相当する部分を
所望のパターンで表面側から露光した後、カラーフィル
タ形成領域全体に裏面からの露光を施す。

【００４２】しかし、この構造では、特定の１色の着色
層のパターンが有効表示領域よりも外側で終わり、既に
形成されている着色層の縁が、その部分で貼付方向上流
側に開口部が向いた袋状を形成する状態になるため、残
りの１色のドライフィルムを貼り付ける際に、その部分
で気泡不良が発生する確率が高くなる。

【００４３】そこで、本発明の請求項４にあっては、特
定の着色層を後行とし、少なくともこれを除く他の色か
らなる先行の着色層の間の、雰囲気気体をドライフィル
ム貼付方向下流側に逃がす隙間に該特定の着色層を形成
する際に、予め、該隙間が該有効表示領域より外側で複
数に分岐した状態となるように、先行の着色層の一つを
該額縁部において分断すると共に、分断した額縁部側の
着色層部分を該隙間の中間部に配し、かつ、分断した有
効表示領域側の着色層部分を先行の着色層の他のものと
接近させて配しておくようにしている。これにより、２
回以上現れる色の着色層パターンが有効表示領域の手前
で終わるのではなく、合流して１つのパターンとして存
在するように、先行パターンの形成が行われる。

【００４４】また、その合流点（分岐点）において、雰
囲気気体がスムーズに流れて合流点近傍に残らないよう
にしたのが、本発明の請求項５である。つまり、請求項
５にあっては、貼付方向上流側の縁を斜めに形成し、ド
ライフィルムの貼付方向に直交する縁が無いようにして
いる。

【００４５】また、額縁部において、色の繰り返しパタ
ーン中に複数回含まれる色と１回ずつ含まれる色とを、
１回の繰り返しパターン中に同じ割合で現れるようにす
ると、額縁部での見え方が色度的に偏らない。例えば、
赤、緑、青の３色の着色層のうち、先に形成する２色の
パターンの隣接するもの同士の間隔を２色の線幅の半分
になるように形成し、１回の繰り返しパターン中に各色
が同じ割合で現れるようにするのがよい。

【００４６】そこで、本発明の請求項６では、分断した
額縁部側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方向
下流側の縁を、分断した有効表示領域側の着色層部分に
おけるドライフィルム貼付方向上流側の縁と同一方向に
斜めに形成し、少なくとも両着色層部分が分断された部
分近傍において、貼付方向とほぼ直交する方向で隙間を
横切る隙間幅寸法の合計長を等しくしている。このよう
にすると、合流点において各色の現れる割合が崩れない
ので合流点が視認されにくく、しかも、後のドライフィ
ルムを貼り付ける際に合流点において雰囲気気体がスム
ーズに流れるので気泡不良が発生しにくい。

【００４７】また、アクティブマトリクス基板の額縁部
において形成された遮光性パターン等による反射光が色
度的に偏っている場合、額縁部において形成されるカラ
ーフィルタの各色の現れる割合を調整することによっ
て、その色度的偏りを補正することができる。

【００４８】そこで、本発明の請求項７にあっては、分
断した有効表示領域側の着色層部分におけるドライフィ
ルム貼付方向上流側の縁を斜めに形成し、かつ、分断し
た額縁部側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方
向下流側の縁を、分断した有効表示領域側の着色層部分
におけるドライフィルム貼付方向上流側の縁と同様の方
向に斜めに形成し、加えて、複数の着色層が所定の繰り
返しパターンで形成される有効表示領域における隙間と
各着色層との幅寸法を揃え、かつ、或る特定の着色層が
該所定の繰り返しパターン中で複数回現れる額縁部にお
ける隙間と各着色層との幅寸法を揃えるべく、前記両着
色層部分が分断された部分近傍において前記有効表示領
域側よりも前記額縁部側の隙間幅寸法の合計長を徐々に
長く、または徐々に短くなるようにし、かつ、これにつ
ながる額縁部および有効表示領域での隙間幅寸法を一定
となるようにしている。

【００４９】この場合、有効表示領域と額縁部との間で
各色のバランスが異なることになるが、合流点において
各色の現れる割合が連続的に変化するので合流点が視認
されにくく、しかも、後行のドライフィルムを貼り付け
る際に合流点において雰囲気気体がスムーズに流れるの
で気泡不良が発生しにくい。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００５１】（実施形態１）図１は本実施形態１のカラ
ーフィルタの構成を示す平面図である。

【００５２】このカラーフィルタは、液晶表示装置の対
向基板として用いられるものであり、透明絶縁性基板上
に赤の着色層１、緑の着色層２、青の着色層３が、表示
用画素の形状に応じてアクティブマトリクス基板上の画
素電極に対向する部分に設けられていると共に、ブラッ
クマスクとなる黒の着色層４が設けられている。この黒
の着色層４の一部は、先行して先に形成された赤の着色
層１と青の着色層３との間に設けた隙間３１の上に形成
されている。

【００５３】以下に、このカラーフィルタの製造方法に
ついて説明する。

【００５４】まず、透明絶縁性基板に、赤色の顔料が分
散された厚さ１．７μｍの感光性樹脂フィルムをラミネ
ート法によって密着させた。次に、このフィルムに対し
て、赤に対応する画素電極に対応する部分だけを露光
し、アルカリ性の溶液によって処理した。この感光性樹
脂フィルムはネガ型であるため、露光されていない部分
のみがアルカリ性の溶液によって現像されて、膜厚１．
７μｍの赤の着色層１が画素形状に形成された。その
後、これにベーク処理を施すことにより固着させた。こ
のラミネート法による場合には、ベーク前後の膜厚差が
ほとんど無いので、予め所望の膜厚に形成されたドライ
フィルムを用意することによって、容易に膜厚を制御す
ることができる。

【００５５】次に、緑色の顔料が分散された感光性樹脂
フィルムを用いて緑の画素について同様の処理を行うこ
とにより膜厚１．７μｍの緑の着色層２を形成すると共
に、青色の顔料が分散された感光性樹脂フィルムを用い
て青の画素について同様の処理を行うことにより膜厚
１．７μｍの青の着色層３を形成した。

【００５６】ところで、これらの赤、緑および青の着色
層１、２、３は、表示用画素の形状の応じてアクティブ
マトリクス基板上の画素電極に対応する部分に設けられ
るものであり、整然と並べられるだけとは限らない。た
とえば、画素形状や画素配置によっては、後行の黒用の
ドライフィルム貼付け時に、先行して既に形成されてい
る着色層のパターンと、後行の黒用のドライフィルム
と、基板表面との間で、ドライフィルム貼付方向上流側
に向いて開口した袋状になることがある。例えば、図１
の場合には、着色層１、２、３を１組とする繰り返しパ
ターンの各組の貼付方向上流側位置が異なることによる
凹状縁３０が形成され、また、各組の間に隙間３１が無
い場合には、その先行の既に形成されているカラーフィ
ルタ部分の凹状縁３０と、基板表面と、後行の着色層４
を形成するために基板に貼付けられるドライフィルムと
の間でドライフィルム貼付方向上流側に向いて開口した
袋状部分が形成されることとなる。そのような袋状部分
ができると、その後の工程でドライフィルムを貼り付け
る際に、気泡が生じるので好ましくない。よって、本実
施形態１では、その袋状部分に外部とつながった隙間を
設けて空気を逃がすために、赤の着色層１と青の着色層
３との間に約２μｍの隙間を設けている。

【００５７】続いて、黒色の顔料が分散された厚さ１．
５μｍの感光性樹脂フィルムをラミネート法によって密
着させた。このとき、赤の着色層１と青の着色層３との
間に隙間が設けられているので、既に形成された赤、緑
および青の着色層１、２、３のパターンで囲まれた部分
に閉じ込められようとする空気が隙間から他の部分に逃
げることができ、気泡不良の発生を防ぐことができた。

【００５８】その後、各着色層１、２、３、４の形成領
域全体に裏面側、すなわち透明絶縁性基板側から露光を
施した。これにより基板側から光重合が進行し、その
後、現像を行うことによりカラーフィルタが完成した。

【００５９】なお、本実施形態１において、黒の着色層
１よりも先に形成された赤と青の着色層１、３の間に隙
間を設けたが、着色層の配置やその形成順序によって
は、貼付方向に開いた袋状部分に隙間を設ける箇所とし
て、赤の着色層１と緑の着色層２との間や緑の着色層２
と青の着色層３との間に設けたり、各着色層１、２、３
の間に設けたりしてもよい。

【００６０】（実施形態２）図２は本実施形態２におけ
るアクティブマトリクス基板の１画素分の構成を示す平
面図であり、図３はそのＡ−Ａ’線部分の断面図であ
り、図４はカラーフィルタの構成を示す平面図である。

【００６１】このアクティブマトリクス基板は、層間絶
縁膜８をカラーフィルタの着色層としたものであり、ス
イッチング素子であるＴＦＴ２１、画素電極１０および
付加容量２０がマトリクス状に形成されている。ＴＦＴ
２１のゲート電極１２には走査配線であるゲート信号線
２５が接続され、そこに入力される信号によってＴＦＴ
２１が駆動される。ＴＦＴ２１のソース電極１６ａには
信号配線であるソース信号線２４が接続され、そこから
表示信号としてのビデオ信号等が入力される。各ゲート
信号線２５と各ソース信号線２４とは、互いに交差する
ように形成されている。

【００６２】ＴＦＴ２１のドレイン電極１６ｂは、透明
導電膜１７ｂにより延出され、その延出された部分は層
間絶縁膜８のコンタクトホール１１において画素電極１
０と接続されている。また、透明導電膜１７ｂの先は、
画素の中央付近まで延びており、その部分が付加容量２
０の一方の電極となっている。また、ゲート信号線２５
と平行に形成された付加容量配線２２が、各付加容量２
０の他方の電極となっている。

【００６３】ＴＦＴ２１部分では、透明絶縁性基板５上
にゲート信号線２５に接続されたゲート電極１２が形成
され、その上を覆ってゲート絶縁膜１３が形成されてい
る。その上にはゲート電極１２と重畳するように半導体
層１４が形成され、その中央部上にチャネル保護層１５
が形成されている。チャネル保護層１５の端部および半
導体層１４の一部を覆い、チャネル保護層１５の上で分
断された状態で、共にｎ⁺−Ｓｉ層からなるソース電極
１６ａおよびドレイン電極１６ｂが形成されている。ソ
ース電極１６ａ上には２層構造のソース信号線２４が形
成されている。このソース信号線２４は、透明導電層１
７ａと金属層１８ａとからなる。ドレイン電極１６ｂの
上には透明導電層１７ｂおよび金属層１８ｂが形成さ
れ、透明導電層１７ｂは画素電極１０とドレイン電極１
６とを接続するための接続電極となっている。

【００６４】この状態の上に、層間絶縁膜８としても機
能する赤の着色層１、緑の着色層２および青の着色層３
が各表示用画素の形状に応じて形成され、ＴＦＴ２１の
上には黒の着色層４が形成されている。各着色層１、
２、３の上には透明導電層からなる画素電極１０が形成
され、各着色層１、２、３を貫くコンタクトホール１１
を介して、接続電極である透明導電層１７ｂによりＴＦ
Ｔ２１のドレイン電極１６ｂと接続されている。

【００６５】黒の着色層４よりも先に形成される赤、緑
および青の各着色層１、２、３は、それらの形成されて
いない部分が貼付方向上流側が開いた袋状にならないよ
うに、各々の間に隙間３１が開けてあり、また、ＴＦＴ
２１の上に当たる部分に、その隙間３１に開口部を向け
た別の凹状縁３２を有している。この凹状縁３２に黒の
着色層４が設けられている。

【００６６】以下に、このアクティブマトリクス基板の
製造方法について説明する。

【００６７】まず、透明絶縁性基板５上にゲート信号線
２５およびゲート電極１２、付加容量配線２２、ゲート
絶縁膜１３、半導体層１４、チャネル保護層１５および
ソース電極１６ａおよびドレイン電極１６ｂとなるｎ⁺
−Ｓｉ層を形成した。ここまでの工程は、従来のアクテ
ィブマトリクス基板の製造方法と同様にして行うことが
できる。

【００６８】次に、その上に、ＩＴＯからなる透明導電
層１７ａ、１７ｂおよび金属層１８ａ、１８ｂを、スパ
ッタ法により順に形成してパターニングすることによ
り、透明導電層１７ａおよび金属層１８からなる２層構
造のソース信号線２４と、透明導電層１７ｂからなる接
続電極とを形成した。

【００６９】続いて、赤色の顔料が分散された膜厚１．
７μｍの感光性樹脂フィルムをラミネート法によって形
成し、赤に対応する画素電極に相当する部分からコンタ
クトホール１１を除いた部分だけを露光し、アルカリ性
の溶液によって処理した。この感光性樹脂フィルムはネ
ガ型であるため、露光されていない部分のみがアルカリ
性の溶液によって現像されて画素形状の赤の着色層１が
形成されると共に層間絶縁膜を貫通するコンタクトホー
ル１１が形成される。その後、これにベーク処理を施す
ことにより固着させた。この赤の着色層１は、層間絶縁
膜８としても機能する。

【００７０】次に、緑色の顔料が分散された感光性樹脂
フィルムを用いて同様の処理を行って、緑の着色層２を
形成すると共にコンタクトホール１１を形成し、続い
て、青色の顔料が分散された感光性樹脂フィルムを用い
て同様の処理を行って、青の着色層３を形成すると共に
コンタクトホール１１を形成した。

【００７１】但し、これらの赤、緑および青の着色層
１、２、３の間にソース信号線２４の幅を超えない程度
の隙間３１を開けて形成した。また、ＴＦＴ２１の上に
当たる部分には隙間３１に向いて開口している凹状縁３
２を形成した。

【００７２】その後、黒色の顔料が分散された膜厚１．
５μｍの感光性樹脂フィルムを各着色層のパターンに平
行な方向にラミネート法によって貼り付け、ＴＦＴ２１
の上に当たる部分のみを露光し、アルカリ性の溶液によ
って現像することによりＴＦＴ２１の上に黒の着色層４
を形成した。この黒色のフィルムの貼り付け時には、
赤、緑および青の各着色層１、２、３の間に隙間３１が
設けられているので、その隙間３１から空気が他の部分
に逃げることができ、気泡不良の発生を防ぐことができ
た。

【００７３】次に、透明導電層をスパッタ法により形成
して画素電極とソース信号線とのオーバーラップ幅が１
μｍ以上になるようにパターニングすることにより、画
素電極１０を形成した。これにより画素電極１０は、層
間絶縁膜である着色層１、２、３を貫くコンタクトホー
ル１１を介して、ＴＦＴのドレイン電極１６ｂと接続さ
れている接続電極１７ｂと接続される。このように画素
電極１０を層間絶縁膜を介してゲート信号線およびソー
ス信号線に対してオーバーラップさせる構造とすること
により、開口率が向上されると共に、信号線に起因する
電界がシールドされて液晶の配向不良が抑制されるとい
う効果が得られる。

【００７４】以上のようにして形成されたアクティブマ
トリクス基板と、ＩＴＯ等からなる対向電極が形成され
た対向基板とを、従来の液晶表示装置の製造方法と同様
にしてシール材により貼り合わせ、液晶層を封入するこ
とにより液晶表示装置のパネル部分を完成させた。

【００７５】なお、本実施形態においては、ＴＦＴ２１
の上に黒色の着色層４を配置しているが、その理由は、
液晶パネルの表面から入射した光が液晶層および上層の
透明膜等を透過して半導体層１４に達すると、その光励
起によってＴＦＴ特性におけるオフ電流が増加して画素
での電荷の保持が悪化するので、それを防ぐためであ
る。黒色の着色層４は、ＴＦＴ２１上に設ける以外に、
各色いずれの着色層も配置されておらず、かつ、下層に
金属膜が配置されていない部分に配置してもよく、その
場合にはコンタクトホール１１上に黒色の着色層が配置
されないようにする。このようにすると、層間絶縁膜８
に凹凸が発生するのを防ぐことができ、液晶の配向乱れ
による表示不良を防止することができる。また、一般
に、ソース信号線を構成する金属膜１８ａの表面は反射
率が高いため、その上層に黒色の着色層４を配置するこ
とにより、液晶パネルの反射を抑えて表示品位を高める
上で大きな効果を発揮する。

【００７６】また、本実施形態２では、感光性樹脂フィ
ルムを露光および現像することにより着色層をパターン
形成したが、より高い解像度を利用して精度の高い液晶
表示装置を実現するためには、非感光性樹脂フィルムを
ラミネート法で基板に密着させた後、レジスト塗布、露
光および現像を経てエッチングによりパターン形成して
もよい。

【００７７】（実施形態３）図５は本実施形態３のカラ
ーフィルタの構成を示す平面図である。

【００７８】このカラーフィルタは、実施形態２と同様
にアクティブマトリクス基板にカラーフィルタの着色層
を設けたものであり、赤、緑および青の着色層１、２、
３の間にソース信号線２４の幅を超えない程度の隙間３
１を開けて形成されている。また、ＴＦＴ２１の上に当
たる部分には、隙間３１に向いて開口している凹状縁３
３を有し、その貼付方向下流側の辺をその開口部側が貼
付方向下流側となるように傾斜させてある。

【００７９】このように凹状縁３３を隙間３１に向かっ
て広げてあることにより、空気がその傾斜部分に沿って
隙間３１に向かうので、さらに空気が逃げ易くなる。

【００８０】（実施形態４）図６は本実施形態４のカラ
ーフィルタの構成を示す平面図である。

【００８１】このカラーフィルタは、実施形態１と同様
に、対向基板にカラーフィルタの着色層を設けたもので
あり、隙間３１を有すると共に、赤、緑および青の着色
層１、２、３を１組とするパターンの貼付方向上流側
が、中央部を他の部分よりも貼付方向上流側に突出した
凸状（ここでは先端が尖った形状）にされている。

【００８２】このようにパターン縁の先端が尖った形状
にしてあることにより、いずれの色のドライフィルムを
貼り付けるときにも、既に形成されているパターンの縁
が貼付方向に垂直となることがない。よって、空気を貼
付方向に順に送り出すことができ、気泡不良が発生しな
い。

【００８３】（実施形態５）本発明の第５の実施形態に
ついて説明する。本実施形態においてはこれと貼り合わ
されるアクティブマトリクス基板側には遮光の機能が備
えられている。すなわち、画素電極を層間絶縁膜を介し
て信号線に対して画素電極をオーバーラップさせる構造
を取っており、画素電極間の隙間の下層には信号線、走
査線があるため、ブラックマトリクスを配置する必要が
無く、形成しない。額縁部の遮光には走査線、及び信号
線の隙間をそれぞれもう片方の線を形成するレイヤーを
用いて行うが、これらは金属膜からなるため、このまま
では液晶パネルを表面から見た際に光沢を伴う。この光
沢を消すため、カラーフィルタの各着色層のパターンを
額縁部まで延長してフィルタとし、金属膜からの反射を
抑える。

【００８４】以下に、このカラーフィルタの製造方法に
ついて説明する。このカラーフィルタの製造手順は図１
１のとおりであり、額縁部のカラーフィルタ構造は図７
に示すようになっている。

【００８５】まず、透明絶縁性基板に、赤色の顔料が分
散された厚さ１．７μｍの感光性樹脂フィルムをラミネ
ート法によって密着させた。次に、このフィルムに対し
て、赤に対応する画素電極に対向する部分、及びその延
長の額縁部だけを露光し、アルカリ性の溶液によって処
理した。ここで、画素電極に対向する部分の延長の額縁
部とは、例えば、着色層をストライプ状に形成する場
合、ストライプ方向およびその垂直方向にある額縁部の
うち、少なくとも実装後の製品となったときに使用者が
見る事ができる部分のことを指し、この部分に有効表示
領域と類似のパターンを形成する。この感光性樹脂フィ
ルムはネガ型であるため、露光されていない部分のみが
アルカリ性の溶液によって現像されて、膜厚１．７μｍ
の赤の着色層１が画素形状に形成された。その後、これ
にベーク処理を施すことにより固着させた。このラミネ
ート法による場合には、ベーク前後の膜厚差がほとんど
無いので、予め所望の膜厚に形成されたドライフィルム
を用意することによって、容易に膜厚を制御することが
できる。これにより、仕上がり膜厚１．７μｍの赤色の
着色層１をパターン形成した。

【００８６】次に、緑色の顔料が分散された感光性樹脂
フィルムを用いて緑の画素およびその延長の額縁部につ
いて同様の処理を行うことにより膜厚１．７μｍの緑の
着色層２を形成する。但し、この延長の額縁部におい
て、有効表示領域とシール材の下に当たる領域とのちょ
うど中間の位置で緑の着色層２のパターンを分断し、そ
の分断部分から５０μｍ外側であって有効表示領域より
外側に当たる部分から、再び外側に向かって緑の着色層
２のパターンを形成する。この外側の緑の着色層２のパ
ターンは、赤の着色層１のパターンとは反対の方向（こ
の図では右側）に半画素分ずらして配置する。ここで、
赤の着色層１と緑の着色層２との間が隙間３１として機
能する。

【００８７】次に、青色の顔料が分散された厚さ１．７
μｍの感光性樹脂フィルムをラミネート法によって密着
させた。このとき、青のドライフィルムは、シール材の
下に当たる領域の外側では赤の着色層１の上、緑の着色
層２の上、および赤の着色層１と緑の着色層２とに挟ま
れた隙間３１を覆う。ここで、緑の着色層２が分断され
ている部分において、有効表示領域よりも外側の２つに
分岐した隙間３１が合流して有効表示領域の１つの隙間
につながるようになっているので、青のドライフィルム
を貼付ける場合に、隙間３１に従って空気が下流側に送
り出され、気泡を生じることなく貼り付けられていく。
貼り付けの後、各着色層の形成領域全体に裏面、すなわ
ち透明絶縁性基板側から露光を施した。これにより、絶
縁性基板側から感光性樹脂フィルムの光重合が進行し、
その後、現像を行うことにより基板との密着性や信頼性
を損なうことなく、膜厚を薄くした青の着色層３を形成
することができた。この裏面露光により得られた青の着
色層３は１．２μｍであった。また、シール材の下に当
たる領域における赤の着色層１と緑の着色層２との間
に、裏面露光により形成された膜厚の薄い青の着色層３
が必ず位置する構造が得られた。

【００８８】このようにして３色の着色層が形成された
基板に対し、全体に色度を低下させない程度に強いＵＶ
光を照射したり、さらにベーク処理を施すことによって
各層の安定度を向上させることによりカラーフィルタが
完成した。

【００８９】その後、別に作製しておいたアクティブマ
トリクス基板の有効表示領域に、ポリイミドからなる配
向膜（図示せず）を成膜し、ラビングやＵＶ照射等の処
理により配向機能を付与した。また、対向基板となるカ
ラーフィルタの上にＩＴＯ等からなる透明な対向電極
（対向共通電極）を形成した後、有効表示領域となる部
分に同様の配向膜を成膜して配向機能を付与した。

【００９０】これらの基板に、液晶注入口の部分だけ開
けてパネルの周囲を囲むように印刷方式等によりシール
材を塗布し、アクティブマトリクス基板上に設けられた
対向電極用信号入力端子の上に導電性物質を付着させ
た。次に、液晶層のセル厚を一定にするためのスペーサ
ーを散布し、アクティブマトリクス基板と対向基板との
位置合わせをした後、両基板を貼り合わせて熱を加える
ことによりシール材を硬化させた。その後、液晶注入口
から液晶を注入し、封止材により液晶注入口を塞ぐこと
により液晶表示装置のパネル部分を完成させた。このと
き、カラーフィルタのシール材の下に当たる領域におい
て、赤の着色層１と緑の着色層２との間に膜厚の薄い青
の着色層３が必ず存在するので、この部分で両基板間の
間隙が広くなり、シール材に加わった圧力が緩和されて
シール材の噴き出しが防止された。

【００９１】なお、本実施形態においては、赤、緑、青
の順に着色層を形成した例について説明したが、形成順
序はこの通りでなくてもよく、また、場合によってはこ
れ以外の色、例えばシアン、マゼンダ、イエロー等を用
いてもよい。このことは全ての実施形態にあてはまるこ
とである。

【００９２】また、本実施形態のように、着色層の膜厚
を薄くした場合には、その色の純度が悪くなってしまう
こともある。これを補正するためには、その着色層の顔
料の分散量を調整することが有効であるが、パターン形
成の際の露光感度等の制約により顔料の分散量の調整が
困難な場合もある。また、有効表示領域において基板間
隔が不均一になって、表示の上で好ましくない場合もあ
る。このような場合には、露光時間を調整することなど
により有効表示領域とシール材の下に当たる領域とで着
色層の膜厚を異ならせ、有効表示領域では通常の膜厚の
着色層を形成し、シール材の下に当たる領域に他の色の
着色層よりも膜厚の薄い着色層を形成すればよい。

【００９３】また、本実施形態では、貼り合わせ時にシ
ール材にかかる圧力を極力均等にすることが重要である
と考え、有効表示領域の外において緑の着色層２のパタ
ーンを半画素分だけずらしたが、この限りではなく、シ
ール材の下に当たる領域において膜厚が薄い領域を増や
したい場合には、外観上支障の無い程度に赤の着色層１
の線幅や緑の着色層２の線幅を細くしてもよい。

【００９４】さらに、図８に示すように、緑の着色層２
において、有効表示領域側のパターンの貼付方向上流側
を、着色層１側に尖った斜め形状にすることは、気泡不
良の防止に有用である。このようにしておくことによっ
て、青のフィルムの貼り付け時に、合流点における空気
の流れがよりスムーズになる。

【００９５】（実施形態６） 本実施形態においては、実施形態５と同様の作製手順で
カラーフィルタを製造した。

【００９６】また、合流点の外側から有効表示領域にか
けて形成された緑の着色層２の下流側先端を、頂点３４
を有する斜め形状に形成すると共に、有効表示領域の緑
の着色層２の貼付方向上流側にも頂点３５を有する、同
一方向の斜め形状に形成している。

【００９７】なお、額縁部において、アクティブマトリ
クス基板に形成された遮光用のパターンにおける反射光
が、既に色度的に偏っている場合には、額縁部における
各着色層の現れる割合を調整することによって、この偏
りを補正することができる。この場合、有効表示領域と
額縁部との間で各色のバランスが異なることになるが、
図１０に示すようにすれば、この境目において気泡不良
が発生せず、かつ、見た目上、境目を視認されにくくす
ることができる。

【００９８】すなわち、図１０においては、合流点の外
側から有効表示領域にかけて形成された緑の着色層２の
下流側先端を、頂点３４を有する斜め形状に形成すると
共に、有効表示領域の緑の着色層２の貼付方向上流側も
同様な方向の斜め形状に形成し、合流点近傍において、
貼付方向と直交する方向での隙間３１の幅寸法の合計長
を貼付方向下流側よりも上流側を徐々に長くなるように
し、かつ、これにつながる額縁部および有効表示領域で
の隙間幅寸法を一定となるようにしている。これに伴っ
て前記頂点３５の位置は着色層１に存在するようにな
る。

【００９９】このようにすることにより、複数の着色層
１、２、３が所定の繰り返しパターンで形成される有効
表示領域における隙間３１の幅寸法と各着色層１、２、
３の幅寸法を揃えることができ、かつ、青の着色層３が
所定の繰り返しパターン中で２回現れる額縁部における
隙間３１の幅寸法と各着色層１、２、３の幅寸法とを揃
えることができるので、有効表示領域と額縁部との間で
各色のバランスが異なることになるが、額縁部における
各着色層の現れる割合を調整でき、偏りを補正すること
ができる。

【０１００】なお、上述した各実施形態ではスイッチン
グ素子としてＴＦＴを用いたアクティブマトリクス型の
液晶表示装置について説明したが、スイッチング素子と
してＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ Ｍｅｔ
ａｌ）素子等の他の素子を用いた液晶表示装置にも本発
明は適用可能である。

【０１０１】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
本発明による場合には、先行の既に所定形状に形成され
ているカラーフィルタ部分のドライフィルム貼付方向上
流側が開口した凹状縁の貼付方向下流側に、雰囲気気体
を貼付方向下流側に逃がす隙間を該凹状縁につなげて設
けておき、その後、後行のドライフィルムを貼付けるの
で、その後行のドライフィルム貼付け時に、雰囲気気体
が隙間を通って下流側に逃げるため、雰囲気気体の密閉
による気泡不良の発生を未然に防止できる。

【０１０２】請求項２に記載の本発明による場合には、
更に、前記凹状縁の底辺を、その途中が他の底辺部分よ
りも貼付方向上流側に突出した形状に形成しておくの
で、貼付方向に対して垂直となる縁が無くなり、より確
実に雰囲気気体を下流側に逃がすことが可能となる。

【０１０３】請求項３に記載の本発明による場合には、
更に、先行の既に所定形状に形成されているカラーフィ
ルタ部分に設けられた前記隙間の途中に存在する、該隙
間側を開口した別の凹状縁の前記貼付方向下流側部分
を、開口側を該貼付方向下流側にした斜め状態に形成し
ておくので、貼付方向に対して垂直となる縁を無くする
ことが可能となり、より確実に雰囲気気体を下流側に逃
がすことが可能となる。

【０１０４】請求項４に記載の本発明による場合には、
隙間を有効表示領域より外側で複数に分岐した状態とし
ているので、２回以上現れる色の着色層パターンが有効
表示領域よりも外側で終わるのではなく、有効表示領域
の外側で合流して有効表示領域側にある同色のパターン
につながるように、先行パターンの形成が行われる。よ
って、その隙間を通って雰囲気気体が逃げるため、気泡
不良の発生を防止できる。

【０１０５】請求項５に記載の本発明による場合には、
この合流点より貼付方向下流側に存在す既形成の色のパ
ターンの貼付方向上流側を斜めにしているので、次に貼
付られるドライフィルムの貼付方向に直交する部分が無
くなり、雰囲気気体がスムーズに流れて合流点近傍に残
らないようになる。

【０１０６】請求項６に記載の本発明による場合には、
分断した額縁部側の着色層部分におけるドライフィルム
貼付方向下流側の縁を、分断した有効表示領域側の着色
層部分におけるドライフィルム貼付方向上流側の縁と同
一方向に斜めに形成し、少なくとも両着色層部分が分断
された部分近傍において、貼付方向とほぼ直交する方向
で隙間を横切る隙間幅寸法の合計長を等しくしているた
め、合流点において各色の現れる割合が連続的に変化す
るので合流点が視認されにくく、しかも、後のドライフ
ィルムを貼り付ける際に合流点において雰囲気気体がス
ムーズに流れるので気泡不良が発生しにくい。また、有
効表示領域の外側において繰り返しパターン中の各色の
現れる割合が等しいため、有効表示領域の外側領域が見
えても、その見え方に色度的な偏りが生じない。

【０１０７】請求項７に記載の本発明による場合には、
有効表示領域と額縁部との間で各色のバランスが異なる
ことになるが、合流点において各色の現れる割合が崩れ
ないので合流点が視認されにくく、しかも、後行のドラ
イフィルムを貼り付ける際に合流点において雰囲気気体
がスムーズに流れるので気泡不良が発生しにくい。さら
に、額縁部上に形成されたカラーフィルタの各着色層の
現れる割合を調整しているので、色度的な偏りを補正す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図２】実施形態２のアクティブマトリクス基板の１画
素分の構成を示す平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ’線部分の断面図である。

【図４】実施形態２のカラーフィルタ部分の平面模式図
である。

【図５】実施形態３のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図６】実施形態４のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図７】実施形態５のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図８】実施形態５のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図９】実施形態６のカラーフィルタの平面模式図であ
る。

【図１０】実施形態６のカラーフィルタの平面模式図で
ある。

【図１１】実施形態６において、カラーフィルタの着色
層を形成するためのＤＦＬ方式を用いた工程フロー図で
ある。

【図１２】従来のカラーフィルタの着色層を形成するた
めのスピン方式を用いた工程フロー図である。

【図１３】従来のカラーフィルタの着色層を形成するた
めのＤＦＬ方式を用いた工程フロー図である。

【符号の説明】

１ 赤の着色層 ２ 緑の着色層 ３ 青の着色層 ４ 黒の着色層 ５ アクティブマトリクス基板側の透明絶縁性基板 ８ アクティブマトリクス基板側の透明絶縁性基板 １０ 画素電極 １１ コンタクトホール １２ ゲート電極 １３ ゲート絶縁膜 １４ 半導体層 １５ チャネル保護層 １６ａ、１６ｂ ｎ⁺−Ｓｉ層 １７ａ、１７ｂ 透明導電層 １８ａ、１８ｂ 金属層 ２０ 付加容量 ２１ ＴＦＴ ２２ 付加容量配線 ２４ ソース信号線 ２５ ゲート信号線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に、ラミネート法によりドライフ
   ィルムを貼付けて所定形状にパターニングすることを複
   数回行って、複数色の着色層からなるカラーフィルタを
   製造する方法であって、ドライフィルムの貼付方向上流側の位置が異なることに
   より、該カラーフィルタ部分のドライフィルム貼付方向
   上流側が開口するように形成される凹状縁と、後行で貼
   付けられるドライフィルムと、 該基板の表面とで囲まれ
   ると、雰囲気気体が溜って密閉された袋状部分が形成さ
   れるのを防止すべく、該凹状縁の該貼付方向下流側に、
   該雰囲気気体を該貼付方向下流側に逃がす隙間を該凹状
   縁につなげて設けておき、更に、先行の既に所定形状に
   形成されているカラーフィルタ部分に設けられた前記隙
   間の途中に、該隙間側を開口した別の凹状縁を設けて、
   該別の凹状縁の前記貼付方向下流側部分を、開口側を該
   貼付方向下流側にした斜め状態に形成しておく先行工程
   と、該先行工程の後に 、後行のドライフィルムを貼付ける後
   行工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 基板上に、複数の着色層が所定の繰り返
   しパターンで現れる有効表示領域と、その外側に或る特
   定の着色層が該所定の繰り返しパターン中で２回現れる
   額縁部とを有し、該基板上にラミネート法によりドライ
   フィルムを貼付けて所定形状にパターニングすることを
   複数回行って各着色層が設けられるカラーフィルタの製
   造方法であって、 該特定の着色層を後行とし、少なくともこれを除く他の
   色からなる先行の着色層の間の、雰囲気気体をドライフ
   ィルム貼付方向下流側に逃がす隙間に該特定の着色層を
   形成する際に、 予め、該隙間が該有効表示領域より外側で複数に分岐し
   た状態となるように、先行の着色層の一つを該額縁部に
   おいて分断すると共に、分断した額縁部側の着色層部分
   を該隙間の中間部に配し、かつ、分断した有効表示領域
   側の着色層部分を先行の着色層の他のものと接近させて
   配しておくカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 前記特定の着色層を後行とし、少なくと
   もこれを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に
   該特定の着色層を形成する際に、 更に、前記分断した有効表示領域側の着色層部分におけ
   るドライフィルム貼付方向上流側の縁を斜めに形成して
   おくことを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ
   の製造方法。
4. 【請求項４】 前記特定の着色層を後行とし、少なくと
   もこれを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に
   該特定の着色層を形成する際に、 更に、前記分断した額縁部側の着色層部分におけるドラ
   イフィルム貼付方向下流側の縁を、前記分断した有効表
   示領域側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方向
   上流側の縁と同一方向に斜めに形成することを特徴とす
   る請求項３に記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 前記特定の着色層を後行とし、少なくと
   もこれを除く他の色からなる先行の着色層の間の隙間に
   該特定の着色層を形成する際に、 更に、前記分断した有効表示領域側の着色層部分におけ
   るドライフィルム貼付方向上流側の縁を斜めに形成し、
   かつ、前記分断した額縁部側の着色層部分におけるドラ
   イフィルム貼付方向下流側の縁を、前記分断した有効表
   示領域側の着色層部分におけるドライフィルム貼付方向
   上流側の縁と同様の方向に斜めに形成し、 加えて、前記複数の着色層が所定の繰り返しパターンで
   形成される有効表示領域における隙間と各着色層との幅
   寸法を揃え、かつ、前記或る特定の着色層が該所定の繰
   り返しパターン中で２回現れる額縁部における隙間と各
   着色層との幅寸法を揃えるべく、前記両着色層部分が分
   断された部分近傍において前記有効表示領域側よりも前
   記額縁部側の隙間幅寸法の合計長を徐々に長く、または
   徐々に短くなるようにし、かつ、これにつながる額縁部
   および有効表示領域での隙間幅寸法を一定となるように
   しておくことを特徴とする請求項４に記載のカラーフィ
   ルタの製造方法。
6. 【請求項６】 基板上に、ラミネート法によりドライフ
   ィルムを貼付けて所定形状にパターニングすることを複
   数回行って、複数色の着色層からなるカラーフィルタを
   製造する方法であって、 １組の着色層をそれぞれ構成する各組のドライフィルム
   の貼付方向上流側位置が異なることにより、該カラーフ
   ィルタ部分のドライフィルム貼付方向上流側が 開口する
   ように形成される凹状縁と、後行で貼付けられるドライ
   フィルムと、該基板の表面とで囲まれると、雰囲気気体
   が溜って密閉された袋状部分が形成されるのを防止すべ
   く、該凹状縁の該貼付方向下流側に、該雰囲気気体を該
   貼付方向下流側に逃がす隙間を、前記着色層の各組の間
   に該凹状縁につなげて設ける先行工程と、 該先行工程の後に、後行のドライフィルムを貼付ける後
   行工程とを含むカラーフィルタの製造方法。