KR20010102910A - 비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 페이지 소거 및 소거확인 방법 - Google Patents

비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 페이지 소거 및 소거확인 방법 Download PDF

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KR20010102910A
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아끼구사 나오유끼
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Abstract

비휘발성 메모리 디바이스는 각 워드 라인들(16 및 18) 상의 메모리 셀들(8a, 10a 및 8b, 10b) 내에 저장된 메모리의 개별적인 페이지들이 개별적으로 소거 및 소거 확인될 수 있도록 각 워드 라인들(16 및 18)에 연결된 다수의 MOS 트랜지스터들(34 및 36)을 포함한다. 메모리 셀들의 페이지 소거 방법은 선택된 워드 라인 상의 선택된 메모리 페이지를 소거하기 위하여, 워드 라인들 중 선택된 것에 소거 전압을 인가하는 단계와; 그리고 선택되지 않은 워드 라인 상의 페이지 소거에 대하여 선택되지 않은 메모리 페이지를 유지하기 위하여, 워드 라인들 중 선택되지 않은 것에 초기 소거-금지 플로팅 전압을 인가하는 단계를 포함한다. 소거 확인 모드에서, 소거 확인 전압은 소거 모드에서 페이지 소거에 선택되었던 워드 라인에 인가되며, 그리고 소거 확인 비선택 전압은 페이지 소거에 선택되지 않았던 워드 라인들에 인가된다.

Description

비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 페이지 소거 및 소거 확인 방법{A SCHEME FOR PAGE ERASE AND ERASE VERIFY IN A NON-VOLATILE MEMORY ARRAY}
가령 컴퓨터 및 디지털 통신에 다양하게 적용하기 위하여, 반도체 집적 회로에 의해 비휘발성 메모리 디바이스들이 개발되었다. 비휘발성 메모리 디바이스들의 예로는 일반적인 전기적으로 소거/프로그램가능한 판독 전용 메모리들(EEPROMs) 및 플래시 메모리들이 있다. 일반적인 EEPROM은 전형적으로 반도체 칩 상의 어레이 내에 배열된 다수의 듀얼-게이트 NAND 메모리 게이트들을 포함한다.
일반적인 NAND 비휘발성 메모리 어레이에서, NAND 메모리 게이트들은 다수의 로우들 및 칼럼들 내에 배열되며, NAND 게이트들의 각 로우는 각 워드 라인에 연결되며 NAND 게이트들의 각 칼럼은 각 비트 라인에 연결된다. 각 NAND 게이트는 전형적으로 듀얼-게이트 구조를 갖는데, 이 듀얼-게이트 구조는 플로팅 게이트, 컨트롤 게이트, 및 플로팅 게이트와 컨트롤 게이트 사이의 폴리실리콘간 절연층을 포함한다. NAND 플래시 메모리 회로가 실리콘-기반 반도체 칩 상에서 구현될 때, 플로팅 게이트들은 패턴화된 제 1 폴리실리콘(POLY-1)층에 의해 형성되며, 컨트롤 게이트들은 폴리실리콘간 절연층과 POLY-1층의 꼭대기 위에서 패턴화된 제 2 폴리실리콘(POLY-2)층에 의해 형성된다. 비트 라인들은 반도체 칩 상에서 NAND 메모리 게이트들의 각 칼럼들을 가로질러 연결된 금속층 스트립들로서 구현되며, 워드 라인들은 NAND 메모리 게이트들의 각 로우들의 컨트롤 게이트들을 가로질러 연결된 POLY-2층 스트립들로서 구현된다.
일반적인 NAND 플래시 메모리 어레이에서, 각 워드 라인 상의 NAND 게이트들은 다수의 비트들로 구성된 이진 워드를 저장할 수 있다. 일반적인 NAND 플래시 메모리 디바이스는 프로그램 모드, 프로그램 확인 모드, 판독 모드, 소거 모드, 및 소거 확인 모드를 포함하는 다섯 개의 동작 모드를 갖는다. 페이지는 단일 워드 라인 상의 메모리 기억장치의 한 워드로서 규정된다. 섹터는 다수의 페이지들, 예를 들어 16 페이지의 메모리 기억장치로서 규정된다. 일반적인 NAND 플래시 메모리 어레이가 소거 모드에서 동작하는 동안, 메모리 셀들의 전체 섹터가 한번에 소거된다. 일반적인 NAND 플래시 메모리 어레이가 소거 동작 이후 소거 확인 모드에 있을 때, 메모리 셀들의 전체 섹터는 한번에 소거 확인이 된다.
메모리 셀들의 다중 페이지들의 전체 섹터를 한번에 소거하게 되면, 응용시 메모리 셀들의 동일한 섹터 내의 다른 것들을 유지하면서 일부 워드들을 소거해야할 필요가 있다는 단점을 갖는다. 메모리 셀들의 전체 섹터를 한번에 소거해야만 하는 불편함때문에, 만일 섹터 내의 일부 워드들이 유지되는 것이 바람직한 경우, 일반적인 NAND 플래시 메모리 디바이스는 메모리 셀들의 전체 섹터를 소거한 후, 유지시키고자 하는 워드들을 재기록할 것이다. 따라서, 전체 섹터를 소거하지 않으면서 메모리 셀들의 일부 섹터들을 소거하는 NAND 플래시 메모리 디바이스 및 그 방법의 제공에 대한 필요성이 대두되었다.
본 발명은 비휘발성 메모리 디바이스 및 비휘발성 메모리 디바이스에서의 메모리 페이지의 소거 및 소거 확인 방법에 관한 것이다.
도 1은 각각 다수의 메모리 셀들의 페이지들을 포함하는 다수의 섹터들을 도시한 본 발명에 다른 비휘발성 메모리 디바이스의 회로도이다.
도 1A는 본 발명에 따른 도 1에 도시된 메모리 셀들의 섹터들 중 하나에 대한 MOS 트랜지스터들, 디코더들 및 워드 라인 펌프를 도시한 회로도이다.
도 2는 선택되지 않은 워드 라인이 소거 모드에서 플로팅 전압 VCC-Vtn로부터 약 20V의 기판 전압까지 결합될 때의 전압 곡선이다.
본 발명은 상기의 필요성을 만족시킨다. 본 발명은 메모리 셀들의 각 로우들에 연결된 다수의 워드 라인들 내에 배열된 다수의 메모리 셀들로 구성되는 비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 메모리 페이지 소거 방법을 제공하며, 상기 워드 라인들은 다수의 금속 산화막 반도체(MOS) 트랜지스터들에 각각 결합되고, 상기 각 금속 산화막 반도체 트랜지스터는 게이트, 소스 및 드레인을 포함한다. 본 발명에 따르면, 페이지 소거 방법은 일반적으로:
(a) 선택된 워드 라인 상의 선택된 메모리 페이지를 소거하기 위하여, 워드 라인들 중 선택된 것에 소거 전압을 인가하는 단계와; 그리고
(b) 선택되지 않은 워드 라인 상의 페이지 소거에 대하여 선택되지 않은 메모리 페이지를 유지하기 위하여, 워드 라인들 중 선택되지 않은 것에 초기 소거-금지 플로팅 전압을 인가하는 단계를 포함한다.
실시예에서, 선택된 워드 라인에 연결된 선택된 MOS 트랜지스터에 인가된 소거 전압은 약 0V 정도이며, 선택되지 않은 워드 라인에 인가된 초기 소거-금지 플로팅 전압은 VCC-Vtn인데, 이는 전형적으로 약 1.7V 내지 2.3V이다. 선택되지 않은 워드 라인들은 본질적으로 한번에 플로팅된다. 소거 모드에서, 약 20V 정도의 전압이 기판에 인가될 때, 선택되지 않은 워드 라인들은 기판 전압에 결합된다. 또한,MOS 트랜지스터들이 n-채널 MOS(NMOS) 트랜지스터들을 포함하는 실시예에서, NMOS 트랜지스터들의 소스들은 각 워드 라인들에 연결되며, 소거 모드에서 소거 전압이 선택된 NMOS 트랜지스터의 드레인에 인가되어 선택된 워드 라인 상의 메모리를 소거한다.
다른 실시예에서는, 약 20V 정도의 기판 전압이 기판의 p-웰에 인가되며, 약 2.7V 내지 3.3V의 게이트 턴온 전압이 소거 모드에서 NMOS 트랜지스터들의 게이트에 인가된다. 초기에 플로팅되는 선택되지 않는 워드 라인들은 이후, 약 20V의 기판 전압이 기판의 p-웰에 인가될 때 약 20V의 전압에 결합된다.
또 다른 실시에에서, 페이지 소거 확인 모드에서, 본 발명에 따른 방법은 또한:
(c) 선택된 메모리 페이지가 소거되었는 지를 확인하기 위하여 선택된 워드 라인에 소거 전압을 인가하는 단계에 이어서, 선택된 워드 라인에 소거 확인 전압을 인가하는 단계와; 그리고
(d) 소거-금지되었던 선택되지 않은 메모리 페이지의 소거 확인을 피하기 위하여 선택되지 않은 워드 라인에 초기 소거-금지 플로팅 전압을 인가하는 단계에 이어서, 선택되지 않은 워드 라인에 소거 확인 비선택 전압을 인가하는 단계를 포함한다.
실시예에서, 선택된 워드 라인이 연결된 선택된 MOS 트랜지스터에 인가된 소거 확인 전압은 약 0V이며, 그리고 선택되지 않은 워드 라인들에 연결된 선택되지 않은 MOS 트랜지스터들에 인가된 소거 확인 비선택 전압은 약 4.5V 정도이다. MOS트랜지스터들이 NMOS 트랜지스터들을 포함하는 실시예에서는, 소거 확인 전압 및 소거 확인 비선택 전압이 NMOS 트랜지스터들의 드레인에 인가된다.
다른 실시예에서는, 약 0.7V 정도의 어레이 접지 전압이 소거 확인 모드에서 플래시 메모리 어레이의 어레이 접지에 인가된다. 또 다른 실시예에서는, 약 7 내지 8V의 게이트 턴온 전압이 선택되지 않은 워드 라인들을 약 4.5V로 구동시키기 위하여 NMOS 트랜지스터들의 게이트들에 인가된다. 기판의 p-웰은 소거 확인 모드에서 0V로 접지된다.
본 발명은 또한 비휘발성 메모리 디바이스를 제공하며, 이 디바이스는 일반적으로:
(a) 소거 모드에서 제 1 기판 전압이 인가되어 메모리 디바이스를 세트시킬 수 있는 반도체 기판과;
(b) 상기 기판 상의 다수의 로우들 내에 배열된 메모리 셀들의 어레이와, 여기서 상기 메모리 셀들은 각 비트를 저장할 수 있으며;
(c) 상기 메모리 셀들의 로우들에 각각 연결된 다수의 워드 라인들과; 그리고
(d) 상기 각 워드 라인들에 각각 연결된 다수의 MOS 트랜지스터들을 포함하며, 상기 각 워드 라인들은 상기 각 워드 라인 상의 메모리 셀들에 저장된 비트들을 소거하기 위한 소거 전압을 수신할 수 있고, 소거 모드에서 각 워드 라인 상의 메모리 셀들 내에 저장된 비트들을 유지하기 위한 초기 소거-금지 플로팅 전압을 수신할 수 있는 것을 특징으로 한다.
실시예에서, 본 발명에 다른 비휘발성 메모리 디바이스는 또는 MOS 트랜지스터들의 게이트들에 게이트 턴온 전압을 제공하기 위하여 연결된 워드 라인 펌프를 포함한다. 다른 실시예에서, 비휘발성 메모리 디바이스는 또한 게이트 턴온 전압을 발생시키기 위하여 워드 라인 펌프에 연결된 X-디코더를 포함한다. X-디코더 및 워드 라인 펌프는 메모리 셀들의 각 섹터 내의 MOS 트랜지스터들에 제공된다.
다른 실시예에서, 본 발명에 다른 비휘발성 메모리 디바이스는 또한, 소거 모드에서 각 MOS 트랜지스터들에 소거 전압을 제공하고, 소거 확인 모드에서 각 MOS 트랜지스터들에 소거 확인 및 소거 확인 비선택 전압들을 제공하도록 연결된 XT-디코더를 포함한다.
소거 모드에서는 약 20V 정도의 기판 전압이 비휘발성 메모리 디바이스의 기판의 p-웰에 인가되는 반면, 소거 확인 모드에서 기판의 p-웰은 0V로 접지된다.
다른 실시예에서, 메모리 어레이의 각 섹터는 다수의 선택 드레인 디바이스들 및 다수의 선택 소스 디바이스들을 포함한다. 선택 드레인 디바이스들의 게이트들 및 선택 소스 디바이스들의 게이트들은 초기에는 플로팅되며, 이후 소거 모드에서 약 20V의 기판 전압에 결합된다. 소거 확인 모드에서, 선택 드레인 디바이스들의 게이트들 및 선택 소스 디바이스들의 게이트들은 약 4.5V의 전압으로 구동되며, 어레이 접지에는 약 0.7V가 인가된다.
유익하게는, 본 발명에 다른 비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 메모리 셀들의 페이지를 소거 및 소거-확인하는 비휘발성 메모리 디바이스 및 그 방법은, 사용자로 하여금 모든 워드 라인들 상의 모든 메모리 셀들의 페이지를 개별적으로 소거할 수 있게 하며, 이로써 섹터 내의 모든 페이지들이 소거될 필요가 없는 응용들에서 메모리 셀들의 다중 페이지들의 전체 섹터를 소거해야 하는 필요성을 없앤다.
이제, 도면을 참조하여 설명되는 본 발명의 특정한 실시예들에 대하여 설명된다.
도 1은 메모리 셀들의 개별적인 페이지들이 본 발명에 따라 소거되고 소거 확인될 수 있는 비휘발성 메모리 디바이스의 회로도이다. 본 발명에 따른 비휘발성 메모리 디바이스는, 가령 도 1에 도시된 섹터들(100 및 200)과 같은 다수의 메모리 셀들의 섹터들과, 페이지 버퍼(2)와, 그리고 각각 메모리 셀들의 각 칼럼에 연결된 다수의 비트 라인들(4 및 6)을 포함한다. 제 1 섹터(100) 내에서, 메모리 셀들은 각각 비트 라인들(4 및 6)을 따라 있는 다수의 NAND 게이트들(8a, 8b,...및 10a, 10b)로서 도시된다. 제 2 섹터(200) 내에서, 메모리 셀들은 각각 비트 라인들(4 및6)을 따라 있는 다수의 NAND 게이트들(12a, 12b,...및 14a, 14b)로서 도시된다.
섹터(100)에서, 가령 워드 라인들(16 및 18)과 같은 다수의 워드 라인들은 각각 NAND 메모리 셀들(8a, 10a,...및 8b, 10b)의 각 로우들을 가로질러 연결된다. 각 워드 라인들의 NAND 메모리 셀들은 메모리의 한 페이지를 저장한다. 메모리의 각 섹터는 다수의 페이지들, 예를 들어 전형적인 NAND 어레이 내에서 16개의 워드 라인들을 따라 배열된 메모리 셀들의 16개의 페이지들을 포함한다. 각 메모리 셀들(8a, 8b, 10a, 10b,..)은 각 비트를 저장할 수 있다.
각 섹터들 내에서, 메모리 셀들의 각 칼럼은 선택 드레인 디바이스의 게이트 및 선택 소스 디바이스의 게이트에 연결되는데, 이들 게이트에는 각각 전압 Vd와 전압 Vs가 공급된다. 예를 들어, 제 1 섹터(100) 내에서, 선택 드레인 디바이스들(19 및 21)의 게이트들은 각각 비트 라인들(4 및 6)을 따라 있는 코어 메모리 셀들(8a, 8b, 및 10a, 10b,...)의 각 칼럼들에 연결된다. 또한, 선택 소스 게이트들(20 및 22)은 제 1 섹터(100) 내의 메모리 셀들(8a, 8b,...및 10a, 10b,...)의 각 칼럼들에 연결된다. 유사하게, 제 2 섹터(200)에서, 선택 드레인 디바이스들(24 및 26)의 게이트들은 각 비트 라인들(4 및 6)을 따라 있는 코아 메모리 셀들 (12a, 12b,...및 14a, 14b,...)의 각 칼럼들에 연결된다. 또한, 선택 소스 게이트들(28 및 30)은 제 2 섹터(200) 내의 메모리 셀들(12a, 12b,...및 14a, 14b,...)의 각 칼럼들에 연결된다.
플래시 메모리 디바이스가 소거 모드에 있을 때, 선택 드레인 디바이스들(19및 21)과 선택 소스 디바이스들(20 및 22)의 게이트들은 특정한 DC 전압들로 구동되지 않는다. 선택 드레인 및 선택 소스 디바이스들의 게이트들은 플래시 메모리가 소거 모드로 설정될 때 초기에 VCC-Vtn의 전압에서 플로팅되며, 이후 기판 전압에 결합되는데, 이 기판 전압은 소거 동작 동안 플래시 메모리 디바이스의 기판에 인가되는 전압으로서, 전형적으로 약 20V 정도이다. 플래시 메모리 디바이스가 소거 확인 모드로 설정될 때, 기판(32)은 OV로 접지되며, 선택 드레인 디바이스들(19 및 21) 및 선택 소스 디바이스들(20 및 22)의 게이트들은 약 4.5V 정도의 전압으로 구동된다. 본 발명에 따른 플래시 메모리 디바이스의 소거 및 소거 확인 동작은 하기에서 좀 더 상세히 설명된다.
메모리 셀들 중, 섹터들(100 및 200) 내의 선택 드레인 게이트들 및 선택 소스 게이트들은 단일 반도체 기판(32) 상에 배열된다. 코어 메모리 셀들(8a, 8b, 10a, 10b, 12a, 12b, 14a, 14b,...)은 기판(32)의 p-웰 상에 위치된다. 기판, p-웰, NAND 메모리 셀들, 선택 드레인 게이트들 및 선택 소스 게이트들은 당업자들에게 널리 공지된 종래의 방법들을 이용하여 제조될 수도 있다.
본 발명에 따른 비휘발성 메모리 디바이스는 프로그램 모드, 프로그램 확인 모드, 판독 모드, 소거 모드 및 소거 확인 모드에서 메모리 동작을 할 수 있다. 본 발명은 소거 및 소거 확인 모드들에만 관심을 두기 때문에, 소거 및 소거 확인 동작들 만이 상세히 설명될 것이다. 프로그램, 프로그램 확인, 및 판독 모드들에서, 본 발명에 따른 비휘발성 메모리 디바이스는 당업자들에게 널리 공지된 종래의 방법들을 이용하여 동작된다.
본 발명에 따르면, 가령 n-채널 MOS(NMOS) 트랜지스터들과 같은 다수의 금속 산화막 반도체(MOS)은 각 섹터들 내의 워들 라인들에 각각 연결된다. 예를 들어, 제 1 섹터(100)에서, NMOS 트랜지스터들(34 및 36)은 각각 워드 라인들(16 및 18)에 연결된다. 제 2 섹터(200)에서, NMOS 트랜지스터들(38 및 40)은, 각각 메모리 셀들(12a, 14a,...및 12b, 14b,...)의 각 칼럼들을 가로질러 연결된 워드 라인들(42 및 44)에 연결된다. 소거 모드에서, 각각의 MOS 트랜지스터들은 각 워드 라인 상의 메모리 셀들 내에 저장된 비트들을 소거하기 위한 소거 전압을 수신할 수 있으며, 또한 각 워드 라인 상의 메모리 셀들 내에 저장된 비트들을 유지하기 위한 초기 소거-금지 플로팅 전압을 수신할 수 있다.
비휘발성 메모리 디바이스가 본 발명에 따라 소거 모드에 있을 때, 약 20V 정도의 기판 전압이 기판(32)의 p-웰에 인가된다. 실시예에서, 소거될 것으로 선택된 워드 라인에 인가된 소거 전압은 약 0V이며, 페이지 소거에 선택되지 않은 워드 라인들 상에서 초기 소거-금지 플로팅 전압은 VCC-Vtn이고, 여기서 VCC는 전형적으로 약 2.7V 내지 3.3V이며, Vtn은 MOS 트랜지스터의 임계 전압이다. 소거 전압은 단순히 0V의 접지 전압이 될 수도 있다.
초기 소거-금지 플로팅 전압은, 선택되지 않은 워드 라인들이 기판 전압에 결합되기 전에, 소거 모드에서 선택되지 않은 워드 라인들 상에서의 전압이다. V는 전형적으로 약 2.7V 내지 3.3V이고 문턱 전압 Vtn는 전형적으로 약 1V 정도이기 때문에, 초기 소거-금지 플로팅 전압은 전형적으로 소거-금지 동작에 대하여 선택되지 않은 워드 라인들에 대하여 약 1.7V 내지 2.3V이다. 전형적으로 약 20V 정도인 기판 전압 Vsub이 소거 모드에서 플래시 메모리 디바이스의 기판(32)에 인가된 후, 선택되지 않은 워드 라인들은 이후 소거-금지될 기판 전압 Vsub에 결합된다.
상기 설명된 소거 및 소거-금지 전압들의 범위는 단지 본 발명에 따른 비휘발성 메모리 디바이스의 주어진 섹터에서의 페이지 소거 동작의 예이다. 그러나, 본 발명의 원리는 이러한 전압 범위에 한정되지 않는다. 다른 소거 및 소거-금지 전압들이 다른 실시예에서 워드 라인들에 인가될 수도 있다.
다른 실시예에서는, 워드 라인 펌프가 각 섹터들 내의 MOS 트랜지스터들의 게이트들에 연결되며, X-디코더가 각 워드 라인에 연결되어 각 섹터 내의 MOS 트랜지스터들의 게이트들에서의 전압을 제어한다. 예를 들어, 제 1 섹터(100) 내에서, 제 1 X-디코더(46)는 제 1 워드 라인 펌프(48)에 연결되며, 이 제 1 워드 라인 펌프(48)는 소거 모드에서 MOS 트랜지스터들(34 및 36)의 게이트들에 게이트 턴온 전압을 제공하도록 연결된다. 메모리셀들의 제 2 섹터(200)에 대해서도 유사하게, 제 2 X-디코더(50)가 제 2 워드 라인 펌프(52)에 연결되며, 이 제 2 워드 라인 펌프(52)는 MOS 트랜지스터들(38 및 40)의 게이트들에 연결된다.
또 다른 실시예에서, 각 섹터들 내의 MOS 트랜지스터들은 소거 모드에서 각 MOS 트랜지스터들에 구동 전압들을 제공하는 XT-디코더에 연결된다. MOS 트랜지스터가 n-채널 MOS(NMOS) 트랜지스터를 포함하는 실시예에서, XT-디코더들은 MOS 트랜지스터들의 드레인들에 연결되어 소거 및 초기 소거-금지 플로팅 전압들을 제공한다. 예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, XT-디코더(54)는 제 1 섹터(100) 내에서 NMOS 트랜지스터들(34 및 36)의 드레인들, 및 제 2 섹터(200) 내에서 NMOS 트랜지스터들(38 및 40)의 드레인들에 연결된다.
도 1A는 본 발명에 따른 메모리 셀들의 제 1 섹터(100) 내에서의 페이지 소거 동작을 위한 디코더, 워드 라인 펌프 및 MOS 트랜지스터들을 도시한다. 예시의 목적으로, 비트 라인(6)을 따라 있는 선택 드레인 게이트(21) 및 선택 소스 게이트(22)에 연결된 코어 메모리 셀들(10a, 10b,...)중 단지 하나의 칼럼 만이 도시된다. 페이지 소거 및 소거 확인 동작들의 원리는 또한, 메모리 섹터(100) 내의 다른 비트들을 따라 있는 다른 메모리 셀들에도 적용된다. MOS 트랜지스터들(34 및 36)은 워드 라인들(16 및 18)에 각각 연결된 소스들(34a 및 36a)을 갖는 NMOS 트랜지스터들로서 도시된다. NMOS 트랜지스터들(34 및 36)의 드레인들(34b 및 36b)은 XT-디코더(54)에 연결되며, 이 XT-디코더(54)는 각 NMOS 트랜지스터들의 드레인들에 대한 소거 및 초기 소거-금지 플로팅 전압들을 발생시킨다. 워드 라인 펌프(48)는 NMOS 트랜지스터들(34 및 36)의 게이트들(34c 및 36c)에 각각 연결되어, 소거 모드에서 X-디코더(46)에 의한 턴온 명령에 응답하여 게이트 턴온 전압을 발생시킨다.
NMOS 트랜지스터들(34 및 36)의 드레인들(34b 및 36b)에 연결된 XT-디코더(54)는 각각의 NMOS 트랜지스터들에 소거 전압 또는 초기 소거-금지 플로팅 전압을 제공한다. 이러한 방식에 있어서, 섹터(100) 내의 메모리 셀들은 한번에한 페이지씩 선택적으로 소거될 수 있다. 예를 들어, 만일 워드 라인(18) 상의 메모리 셀들의 페이지가 소거될 필요가 있다면, XT-디코더(54)는 NMOS 트랜지스터(36)의 드레인(36b)에 약 0V 정도의 소거 전압을 공급한다. 동시에, XT-디코더(54)는 NMOS 트랜지스터들의 드레인들에 약 1.7V 내지 약 2.3V의 초기 소거-금지 플로팅 전압 VCC-Vtn를 공급하여, 소거-금지될 선택되지 않은 워드 라인들이 초기에 플로팅되게 한다. 약 20V 정도의 기판 전압 Vsub이 소거 모드에서 기판(32)에 인가되면, 선택되지 않은 워드 라인들은 약 20V의 기판 전압까지 결합된다.
소거 모드에서 플로팅 전압 VCC-Vtn에서 기판 전압 Vsub까지의 선택되지 않은 워드 라인들의 결합이 도 2의 전압 곡선에 의해 도시된다. 메모리 셀들의 페이지들이 소거되지 않게 될, 선택되지 않은 워드 라인들은 초기에 VCC-Vtn로 플로팅될 수 있다. 예를 들어, 초기 소거-금지 플로팅 전압이 도 1A에 도시된 NMOS 트랜지스터(34)의 드레인(34b)에 인가되어, 메모리 디바이스가 소거 모드에 있을 때, 선택되지 않은 워드 라인(16)을 따라 있는 메모리 셀(10a)을 포함하는 메모리 셀들의 선택되지 않은 페이지 내에 저장된 비트들을 유지시킬 수 있게 된다.
소거 모드에서는, 워드 라인 펌프(48)에 의해 약 2.7V 내지 약 3.3V의 전압(VCC)이 MOS 트랜지스터들이 게이트들에 공급되어, MOS 트랜지스터들(34 및 36)이 턴온된다. 약 1.7V 내지 2.3V의 초기 소거-금지 플로팅 전압 VCC-Vtn이 NMOS 트랜지스터(36)의 드레인(36b)에 인가되면, 예를 들어 NMOS 트랜지스터(36)의게이트(36c)가 턴온되어, 선택되지 않은 워드 라인(18)을 초기에 플로팅 전압 VCC-Vtn으로 플로팅시킨다. 약 20V 정도의 기판 전압(Vsub)이 기판(32)에 인가되면, 선택되지 않은 워드 라인(18) 상의 전압은 약 20V의 기판 전압에 가까운 더 높은 전압에 결합된다. 이에 따라, 선택되지 않은 원드 라인(18)은 소거 모드에서 기판(32)에 약 20V의 전압(Vsub)을 인가한 것에 응답하여 소거-금지된다.
반면에, NMOS 트랜지스터(34)의 드레인(34b)이 OV로 접지되면, 예를 들어 NMOS 트랜지스터(34)의 소스(34a)가 또한 접지되며, 이로써 워드 라인(16)을 접지시켜 워드 라인(16)을 따라 있는 메모리 셀들의 페이지를 소거한다. 선택 드레인 디바이스(21) 및 선택 소스 디바이스(22)의 게이트들은 초기에 전압 VCC-Vtn으로 플로팅되며, 이후 약 20V의 기판 전압이 소거 모드에서 기판(32)의 p-웰에 인가될 때 약 20V까지 결합된다. 어레이 접지(23) 또한 초기에 VCC-Vtn로 플로팅되며, 이후 소거 모드에서 약 20V까지 결합된다.
본 발명에 따른 비휘발성 메모리 디바이스는 또한, 소거 모드에서의 메모리 디바이스의 페이지 소거 동작에 이어서 소거 확인 모드에서도 동작한다. 소거 확인 모드에서, 기판(32)의 p-웰은 OV로 접지된다. 선택된 워드 라인 상의 메모리 셀들의 선택된 페이지가 소거되었음을 확인하기 위하여, 소거 확인 전압이 선택된 워드 라인이 연결된 MOS 트랜지스터에 인가되어, 워드 라인을 따라 메모리 셀들이 "판독"됨으로써, 워드 라인 상의 메모리 셀들의 페이지가 소거되었음을 확인한다. 예를 들어, 워드 라인(18)을 따라 메모리 셀들이 소거 모드에서 소거된 후, 메모리 디바이스는 기판(32)의 p-웰을 접지시킴으로써 소거 확인 모드에서 작동할 수 있도록 설정된다. 디바이스가 소거 확인 모드에 있을 때, 약 0V의 소거 확인 전압이 XT-디코더(54)에 의해 NMOS 트랜지스터(36)의 드레인(36b)에 공급되어 워드 라인(18)을 약 0V로 구동시킨다. 소거 확인 모드에서, 선택 드레인 디바이스(21) 및 선택 소스 디바이스(22)의 게이트들에는 약 4.5V의 전압이 인가되고, 어레이 접지는 약 0.7V의 전압 VARRSS으로 구동된다.
소거 모드에서 소거-금지되었던 메모리 셀들의 선택되지 않은 페이지들에 대해서는, XT-디코더(54)에 의해 소거 확인 비선택 전압이, 소거-금지된 워드 라인들이 연결되었던 NMOS 트랜지스터들의 드레인들에 공급된다. 예를 들어, 소거 확인 비선택 전압은 NMOS 트랜지스터(34)의 드레인(34b)에 연결될 수 있으며, 상기 NMOS 트랜지스터(34)의 소스(34a)는 이전 예에서는 페이지 소거에 선택되지 않았었던, 선택되지 않은 워드 라인(16)에 연결된다. NMOS 트랜지스터(34)의 드레인(34b)에 소거 확인 비선택 전압을 인가함으로써, 워드 라인(16)을 따라 있는 메모리 셀들은 소거-금지된 워드 라인(16)이 소거 모드에서 각 메모리 셀들 내에 저장된 비트들을 유지시키기 때문에 "판독" 동작에 대하여 선택되지 않는다. 실시예에서, 소거 확인 비선택 전압은 약 4.5V 정도이다.
소거 확인 모드에서, 드레인으로부터 소스로 약 4.5V의 전압을 통과시키기에 충분한 게이트 턴온 전압, 예를 들어 약 7V 내지 8V의 전압이 X-디코더(48)에 의해섹터(100) 내의 MOS 트랜지스터들(34 및 36)의 게이트들(34c)에 공급되어 MOS 트랜지스터들을 턴온시킨다. 약 4.5V 정도의 선택 드레인 게이트 전압이 선택 드레인 디바이스(21)의 게이트에 인가되고, 동일한 전압이 소거 확인 모드에서 선택 소스 디바이스(22)의 게이트에 인가된다. 어레이 접지(23)는 약 0.7V의 전압(VARRSS)으로 구동된다. 메모리 셀들의 페이지들이 본 발명에 따라 소거 확인 모드에서 소거 확인이 되면, 소거 모드에서 페이지 소거에 선택되었던 워드 라인 만이 소거 확인 모드에서 소거 확인이 된다. 소거 모드에서 페이지 소거에 대하여 선택되지 않았던 워드 라인들은 소거 확인 모드에서 소거 확인에 대하여 선택되지 않는다. 섹터(100) 내의 메모리 셀들의 페이지 소거 및 페이지 소거 확인 동작들은 또한, 가령 도 1에 도시된 섹터(200)와 같은, 메모리 디바이스 내의 다른 섹터들에서 적용할 수 있다.
플래시 메모리 디바이스가 본 발명에 따라 소거 및 소거 확인 모드에서 작동할 때, 선택된 워드 라인 상의 전압, 선택되지 않은 워드 라인들 상의 전압, NMOS 게이트들 상의 전압, 선택 소스 및 선택 드레인 디바이스들의 게이트들 상의 전압, 어레이 접지 상의 전압, 및 기판 상의 전압이 하기의 표에 리스트된다.
모드
소거 소거 확인
선택된 워드 라인 -0V ~0V
선택되지 않은 워드 라인 VCC-Vtn에서 플로팅된 다음,~20V까지 결합 ~4.5V
NMOS 게이트 VCC:2.7~3.3V 7~8V
선택 드레인 디바이스들의 게이트들 선택되지 않은 워드 라인과 동일 ~4.5V
선택 소스 디바이스들의 게이트들 선택되지 않은 워드 라인과 동일 ~4.5V
어레이 접지 선택되지 않은 워드 라인과 동일 ~0.7V
기판 ~20V ~0V
본 발명은 비휘발성 메모리 디바이스들, 특히 NAND 플래시 메모리 디바이스들에 적용가능하다. 본 발명에 따른 회로 및 방법은 NAND 플래시 메모리 어레이가 한번에 한 페이지씩 소거 및 소거 확인이 될 수 있게 함으로써, NAND 어레이의 어떠한 섹터 내의 각 워드 라인 상의 메모리 셀들의 어떠한 개별적인 페이지의 선택적인 소거가 바람직할 때, 사용자 또는 프로그래머에게 유연성을 제공한다. 따라서, 본 발명은 NAND 어레이 내의 메모리 셀들의 다중 페이지들의 전체 섹터를 소거해야 하는 필요성, 및 섹터 내의 모든 셀들의 모든 페이지들이 모두 다 소거될 필요가 없는 경우, 이후 일부 페이지들을 재기록해야 하는 필요성을 없앤다.
지금까지 본 발명은 특정한 실시예들에 관련하여 설명되었지만, 하기의 청구범위에서 규정되는 본 발명의 범위 내에서 다양한 변형들이 이루어질 수 있다.

Claims (10)

  1. 각 섹터들이 메모리 셀들의 다수의 로우들에 각각 연결된 다수의 워드 라인들을 포함하는, 다수의 섹터들 내에 배열된 다수의 메모리 셀들을 포함하는 비휘발성 메모리 디바이스 내에서의 메모리 페이지 소거 방법으로서,
    (a) 선택된 워드 라인 상의 선택된 메모리 페이지를 소거하기 위하여, 상기 워드 라인들 중 선택된 것에 소거 전압을 인가하는 단계와; 그리고
    (b) 선택되지 않은 워드 라인 상의 페이지 소거에 대하여 선택되지 않은 메모리 페이지를 유지하기 위하여, 상기 워드 라인들 중 선택되지 않은 것에 초기 소거-금지 플로팅 전압을 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 선택된 워드 라인에 인가되는 소거 전압은 0V인 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1 항 내지 제 2 항 중의 한 항에 있어서, 상기 선택되지 않은 워드 라인 상에서의 초기 소거-금지 플로팅 전압은 1.7V 내지 2.3V인 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중의 한 항에 있어서, 상기 메모리 셀들은 반도체 기판 위에 배열되며, 상기 기판에 20V의 기판 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 선택되지 않은 워드 라인은 상기 기판에 20V의 기판 전압을 인가하는 단계에 응답하여, 상기 기판 전압에 결합되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중의 한 항에 있어서,
    (c) 선택된 메모리 페이지가 소거되었는 지를 확인하기 위하여 상기 선택된 워드 라인에 소거 전압을 인가하는 단계에 이어서, 상기 선택된 워드 라인에 소거 확인 전압을 인가하는 단계와; 그리고
    (d) 소거-금지되었던 선택되지 않은 메모리 페이지의 소거 확인을 피하기 위하여 선택되지 않은 워드 라인에 초기 소거-금지 플로팅 전압을 인가하는 상기 단계에 이어서, 상기 선택되지 않은 워드 라인에 소거 확인 비선택 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 선택된 워드 라인에 인가된 상기 소거 확인 전압은 0V이며, 상기 선택되지 않은 워드 라인에 인가된 소거 확인 비선택 전압은 4.5V인 것을 특징으로 하는 방법.
  8. (a) 소거 모드에서 제 1 기판 전압이 인가되어 메모리 디바이스를 세트시킬수 있는 반도체 기판과;
    (b) 상기 기판 상의 다수의 로우들 내에 배열된 메모리 셀들의 어레이와, 여기서 상기 메모리 셀들은 각 비트를 저장할 수 있으며;
    (c) 상기 메모리 셀들의 로우들에 각각 연결된 다수의 워드 라인들과; 그리고
    (d) 상기 워드 라인들에 각각 연결된 다수의 MOS 트랜지스터들을 포함하며,
    상기 각 워드 라인들은 페이지 소거에 선택된 경우에는 상기 각 워드 라인 상의 메모리 셀들에 저장된 비트들을 소거하기 위한 소거 전압을 수신할 수 있고, 상기 페이지 소거에 선택되지 않은 경우에는 상기 워드 라인 상의 메모리 셀들 내에 저장된 비트들을 유지하기 위한 초기 소거-금지 플로팅 전압을 수신할 수 있으며, 상기 소거-확인 모드에서 상기 각 워드 라인들은 상기 소거 모드에서 페이지 소거에 선택되었던 경우에는 상기 워드 라인 상의 메모리 셀들이 소거되었는 지를확인하기 위한 소거 확인 전압을 수신할 수 있고, 상기 소거 모드에서 페이지 소거에 선택되지 않았던 경우에는 소거 확인에 대하여 상기 워드 라인을 선택하지 않기 위한 소거 확인 비선택 전압을 수신할 수 있는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 디바이스.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 기판 전압은 20V이고, 상기 소거 전압은 0V이며, 그리고 상기 초기 소거-금지 플로팅 전압은 1.7V 내지 2.3V인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 디바이스.
  10. 제 8 항 내지 제 9 항 중의 한 항에 있어서, 상기 제 2 기판 전압은 0V이고, 상기 소거 확인 전압은 0V이며, 그리고 상기 소거 확인 비선택 전압은 4.5V인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 디바이스.
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