KR20010098791A

KR20010098791A - 다이어프램형 전자밸브

Info

Publication number: KR20010098791A
Application number: KR1020010021513A
Authority: KR
Inventors: 윌리암디크맨로버트; 요시무라신이치
Original assignee: 다까다 요시유끼; 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2000-04-24
Filing date: 2001-04-20
Publication date: 2001-11-08
Also published as: US20010032946A1; DE60112501D1; CN1327133A; EP1150053A3; JP3466133B2; CN1187545C; EP1150053A2; JP2001304436A; KR100445233B1; EP1150053B1; TW500203U; US6415818B2; DE60112501T2

Abstract

베이스상에 고정되는 밸브보디(3)와, 제2포트(12)의 내단에 설치한 밸브시트(13)를 개폐하는 다이어프램(4)과, 상기 밸브보디(3)와의 사이에 끼워넣어지는 다이어프램과의 사이에 구동실(14)을 형성하는 플레이트(5)와, 구동실(14)에 파일롯유체압을 급배하는 파일롯밸브(6)를 구비한다. 다이어프램의 포트(12)에 대향하는 부분에는 디스크(20)를 봉입하고, 밸브시트에 대응시켜 시일용 리브(21)를 설치하고, 상기 디스크를 봉입한 부분의 배후에 밸브개방시에 플레이트(5)의 쿳션받침부(32, 33)에 접촉하는 쿳션볼록부(22, 23)를 형성한다.

Description

다이어프램형 전자밸브{DIAPHRAGM-TYPE SOLENOID VALVE}

본 발명은 베이스상에 필요수를 탑재해서 다양한 유로구성으로 사용하고, 의료용 등의 이물의 혼입을 꺼리는 특수한 유체의 공급배출을 행하는 데에 적합한 다이어프램형 전자밸브에 관한 것이다.

종래로부터, 다이어프램형 전자밸브는 주 유체의 유로를 독립시켜 이물 등의 혼입을 억제하기 쉬운 밸브로서 알려져 있지만, 일반적으로는 그것이 단일의 전자밸브로서 구성되어 있으므로, 다양성이 있는 유로구성을 채용하도록 이들을 간단하게 접속하는 것에는 곤란성이 있다.

또, 다이어프램형 밸브를 이물의 혼입을 꺼리는 유체나 독성있는 유체의 유로에 이용하는 경우에는 그 다이어프램이 피로 등에 의해 파손하지 않도록 하기 위한 충분한 배려도 필요하다.

본 발명은 이러한 문제를 해소하기 위해 이루어진 것으로, 그 기술적 과제는 기본적으로는 필요수의 다이어프램형 전자밸브의 밸브보디를 적절한 유로를 구비한 베이스에 장착가능하게 함으로써, 다양성이 있는 유로구성을 채용하는 것을 가능하게 한 다이어프램형 전자밸브를 제공하는 데에 있다.

또, 본 발명의 다른 기술적 과제는 다이어프램의 동작시에 슬라이딩부나 과도한 변형이 발생하는 부분이 없고, 그것이 피로 등에 의해 파손하지 않도록 한 다이어프램형 전자밸브를 제공하는 데에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 제1실시예를 나타낸 단면도이다.

도 2는 상기 다이어프램형 전자밸브의 하면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 제2실시예를 나타낸 단면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 베이스로의 탑재상태의 일례를 나타낸 사시도이다.

도 5는 도 4의 다이어프램형 전자밸브의 베이스에 의한 접속상태를 심볼마크에 의해 나타낸 유체회로도이다.

도 6은 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 베이스로의 탑재상태의 다른 일례를 나타낸 사시도이다.

도 7은 도 6의 다이어프램형 전자밸브의 베이스에 의한 접속상태를 심볼마크에 의해 나타낸 유체회로도이다.

(도면의 간단한 설명)

1,1A∼1D:다이어프램형 전자밸브 2,2A,2B:베이스

3:밸브보디 4:다이어프램

5:플레이트 6:파일롯밸브

11,12:제1 및 제2포트 13:밸브시트

14:구동실 20:디스크

21:시일용 리브 32,33:쿳션받침부

22,23:쿳션볼록부 19,39:다이어프램받침면

2a,2b:유로

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 베이스에 부착하기 위한 부착면에 주 유체용 제1포트 및 제2포트를 구비한 밸브보디와, 이들 양 포트를 연결하는 유로에 설치된 밸브시트와, 그 밸브시트를 개폐하는 다이어프램과, 그 다이어프램의 외주부를 상기 밸브보디와의 사이에 끼워넣어 고정하는 플레이트와, 그 플레이트와 상기 다이어프램 사이에 상기 유로와 분리된 상태로 형성된 구동실과, 상기 플레이트상에 설치되어 그 구동실에 상기 주 유체와는 다른 파일롯유체를 공급하는 파일롯밸브를 구비한 다이어프램형 전자밸브가 제공된다.

상기 다이어프램은 상기 밸브시트를 개폐하는 중앙의 본체부와, 이 본체부를 둘러싸는 탄성지지부를 갖고 있고, 상기 본체부의 내부에 디스크가 봉입되는 동시에 그 본체부의 한쪽 면에 상기 밸브시트에 접촉이간하는 시일용 리브가 설치되고, 또한 그 본체부의 배면에 밸브개방시에 상기 플레이트의 쿳션받침부에 접촉하는 쿳션볼록부가 형성되어 있다.

상기 다이어프램형 전자밸브는 상기 다이어프램의 탄성지지부와 마주 향하는 밸브보디 및 플레이트의 대항면에 상기 탄성지지부의 형상에 맞춘 형상의 다이어프램받침면이 형성되고, 다이어프램의 개폐시에 탄성지지부가 이 다이어프램받침면에 접촉함으로써 다이어프램의 과도한 변형이 방지되도록 구성되어 있다.

본 발명에 있어서 바람직하게는 상기 제1포트가 환형을 이루고 있고, 그 제1포트의 중앙에 상기 제2포트가 개구하고 있는 것이다.

상기 밸브보디의 부착면에는 상기 파일롯밸브로 통하는 파일롯급기구 및 파일롯배기구를 설치하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명에 의하면, 주 유체의 공급포트와 출력포트를 구비한 베이스상에 상기 다이어프램형 전자밸브를 1개 탑재하고, 상기 제1포트 및 제2포트를 각각 상기 공급포트 및 출력포트의 한 쪽에 접속함으로써 이들 전자밸브와 베이스에 의해 2포트밸브의 기능을 갖도록 형성된 다이어프램형 전자밸브 복합체가 제공된다.

또는, 주 유체의 공급포트와 적어도 1개의 출력포트 및 배출포트를 구비한 베이스상에 상기 다이어프램형 전자밸브를 복수개 탑재하고, 상기 공급포트와 출력포트 및 배출포트를 베이스내의 연통로로 각 전자밸브의 제1 및 제2포트에 접속함으로써, 이들 복수의 전자밸브와 베이스에 의해 3포트밸브의 기능을 갖도록 형성된 다이어프램형 전자밸브 복합체가 제공된다.

상기 3포트밸브의 구체적인 실시형태에 의하면, 상기 베이스가 제1 및 제2의 두개의 출력포트를 갖는 동시에, 그 베이스상에 제1 내지 제4의 4개의 다이어프램형 전자밸브가 탑재되어 있고, 제1 및 제2전자밸브의 제1포트가 각각 공급포트에접속되는 동시에, 제3 및 제4전자밸브의 제2포트가 각각 배출포트에 접속되고, 또한, 제1전자밸브의 제2포트와 제3전자밸브의 제1포트가 제1출력포트에, 또한 제2전자밸브의 제2포트와 제4전자밸브의 제1포트가 제2출력포트에 각각 접속되어 있다.

본 발명의 다이어프램형 전자밸브에 있어서는, 다이어프램의 본체부에 디스크를 봉입하고, 이 본체부의 배후에 밸브개방시에 플레이트에 설치한 쿳션받침부에 접촉하는 쿳션볼록부를 형성하고 있으므로, 밸브개방시에 다이어프램에 작용하는 충격력을 흡수시켜 그것을 보호할 수 있다. 또, 밸브보디 및 플레이트에 있어서의 상기 본체부와의 대향면에 유체의 작용력에 의해 다이어프램이 압압되었을 때, 다이어프램의 과도한 변형을 방지하는 다이어프램받침면을 형성하고 있으므로, 다이어프램의 동작시에 과도한 변형이 발생하는 부분이 없고, 다이어프램이 피로 등에 의해 파손하는 것을 상당히 억제할 수 있다.

또, 상기 다이어프램형 전자밸브를 상기 제1 및 제2포트에 접속하는 유로를 구비한 베이스상에 탑재해서 그 유로를 개폐하도록 구성함으로써, 상기 다이어프램형 전자밸브와 베이스에 의해 2포트밸브나 3포트밸브의 기능을 갖는 복합밸브를 구성할 수 있고, 베이스내에 설치하는 유로에 의해 다양한 유로구성을 갖게 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 제1실시예를 나타내고 있다.

이 제1실시예의 다이어프램형 전자밸브(1)는 베이스(2), 구체적으로는 도 4 및 도 6에 의해 후술하는 베이스(2A) 또는 베이스(2B)상에 탑재해서 사용하는 것이다. 이 전자밸브(1)는 상기 베이스에 고정하기 위한 부착면(3a)에 그 베이스상에 개구하는 두 개의 유로(2a, 2b)에 연통하는 제1포트(11) 및 제2포트(12)를 구비한 밸브보디(3)와, 이들 양 포트(11, 12)를 연결하는 유로중에서 상기 제2포트(12)의 입구가장자리부에 형성된 밸브시트(13)와, 그 밸브시트(13)를 개폐하는 다이어프램(4)과, 그 다이어프램(4)의 외주부를 상기 밸브보디(3)와의 사이에 끼워넣어 고정하는 플레이트(5)와, 그 플레이트(5)와 상기 다이어프램(4)사이에 상기 유로와 분리된 상태로 형성된 구동실(14)과, 상기 플레이트(5)상에 설치되어 그 구동실(14)에 상기 주 유체와는 다른 파일롯유체를 급배하는 파일롯밸브(6)를 구비하고 있다. 상기 밸브보디(3), 다이어프램(4) 및 플레이트(5)로 이루어진 다이어프램밸브본체는 밸브보디(3)상에 다이어프램(4)을 착좌시키고, 그 위에 플레이트(5)를 씌워서 밸브보디(3)로 체결함으로써 조립되어 있다.

도 2에 나타내듯이, 상기 제1포트(11)는 환형을 이루고 있고, 그 제1포트(11)의 중앙부에 상기 제2포트(12)가 설치되고, 상기 제1포트(11)의 둘레벽과 제2포트(12)의 둘레벽이 방사상으로 위치하는 복수의 가교(15)에 의해 서로 연결되고, 상기 제2포트(12)의 내단주위에 상기 밸브시트(13)가 설치되어 있다. 그러나 이 밸브시트(13)는 상기 제1포트(11)측에 설치할 수도 있고, 또는 양쪽의 포트(11, 12)의 내단에 설치할 수도 있다. 또, 상기 밸브보디(3)의 부착면(3a)에는 상기 제1포트(11)의 외측에 파일롯급기구(16) 및 파일롯배기구(17)가 설치되어 있다.

상기 다이어프램(4)은 고무탄성을 갖는 소재에 의해 형성되고, 상기 밸브시트(13)를 개폐하는 중앙의 본체부(4a)와, 이 본체부(4a)를 둘러싸는 환형의 탄성지지부(4b)를 갖고 있고, 상기 본체부(4a)의 내부에 경질의 원반형 디스크(20)가 봉입되어 있다. 이 디스크(20)는 상기 밸브시트(13)의 지름보다 약간 크게 형성되어 있다. 그리고, 상기 본체부(4a)의 한쪽 면에는 상기 디스크(20)의 주변부의 위치에서 상기 밸브시트(13)에 대향하도록 시일용 리브(21)를 형성하고, 본체부(4a)의 배면에는 그 중앙에 위치하는 쿳션볼록부(22)와, 주변부에 위치하는 다수의 작은 돌기형의 쿳션볼록부(23)를 각각 형성하고 있다. 이들 쿳션볼록부(22, 23)는 다이어프램(4)이 밸브보디(3)로부터 이간한 밸브개방시에 상기 플레이트(5)에 설치한 쿳션받침부(32, 33)에 접촉하고, 밸브개방시에 다이어프램(4)에 작용하는 충격력을 흡수하는 것이다.

또, 상기 플레이트(5)에 있어서의 융기형상의 쿳션받침부(32)의 주위에 형성된 환형 홈의 내부바닥을 스프링시트(34)로 하고, 다이어프램(4)에 있어서의 쿳션볼록부(23)의 주위와의 사이에 복귀스프링(35)를 끼워 장착하고 있다.

그리고, 다이어프램(4)의 주변에 있어서의 상기 밸브보디(3)의 파일롯급기구(16) 및 파일롯배기구(17)에 대응하는 위치에는 각각 연통구멍(24, 25)을 설치하고 있다.

상기 밸브보디(3)와의 사이에 다이어프램(4)을 기밀하게 끼워넣는 상기 플레이트(5)는 그 위에 설치한 파일롯밸브(6)에 의해 상기 구동실(14)에 파일롯유체압을 급배하기 위한 유로를 구비하고 있다. 이 유로는 밸브보디(3)에 설치한 파일롯급기구(16)를 파일롯밸브(6)의 공급포트(41)에 연통시키는 급기유로(36)와, 파일롯밸브(6)의 출력포트(42)를 구동실(14)에 연통시키는 출력유로(37)와, 파일롯밸브(6)의 배기포트(43)를 밸브보디(3)의 파일롯배기구(17)에 연통시키는 배기유로(38)에 의해 구성되어 있다.

상기 파일롯밸브(6)는 솔레노이드(45)로의 통전에 의해 고정철심(46)에 흡착되는 가동철심(47)을 구비하고, 가동철심(47)에 설치한 배기측 밸브체(48)를 배기포트(43)에 설치한 파일롯배기밸브시트에 대향시키는 동시에, 그 배기측 밸브체(48)와 도시하지 않은 압압레버에 의해 연결된 급기측 밸브체(49)를 공급포트(41)에 설치한 파일롯급기밸브시트에 대향시키고 있다. 또, 도 1중의 부호51은 가동철심(47)이 동작하지 않는 경우의 수동조작자, 52는 급전용 소켓, 53은 수전단자, 54는 전자부품을 탑재한 기판을 나타내고 있다.

또, 상기 밸브보디(3) 및 플레이트(5)에 있어서의 상기 다이어프램(4)의 탄성지지부(4b)와 마주 향하는 대항면에는 상기 탄성지지부(4b)의 형상에 맞춘 형상의 다이어프램받침면(19, 39)이 형성되고, 다이어프램(4)의 개폐시에 유체의 작용력에 의해 그 다이어프램(4)이 압압되었을 때 상기 탄성지지부(4b)가 이 다이어프램받침면(19, 39)에 접촉함으로써 그 다이어프램(4)의 과도한 변형이 방지되도록 구성되어 있다. 또, 도 1에 나타낸 다이어프램(4)은 구동실(14)의 유체압에 의해 밸브보디(3)의 다이어프램받침면(19)에 압접된 상태를 나타내고 있고, 도 3에 쇄선으로 나타낸 다이어프램은 제1 및 제2포트(11, 12)측의 유체압에 의해 플레이트(5)의 다이어프램받침면(39)에 압접된 상태를 나타내고 있다.

상기 구성을 갖는 다이어프램형 전자밸브(1)는 파이롯밸브(6)의솔레노이드(45)로의 비통전시에는 도 1에 나타내듯이 스프링에 의한 가동철심(47)의 복귀에 동반하여 배기포트(43)에 설치한 밸브시트가 배기측 밸브체(48)에 의해 폐쇄되는 동시에, 급기측 밸브체(49)에 의해 공급포트(41)에 설치한 밸브시트가 개방되고, 파일롯급기구(16)로부터의 파일롯유체압이 급기유로(36) 및 공급포트(41)로부터 출력포트(42) 및 출력유로(37)를 거쳐 구동실(14)에 공급된다. 그 결과, 구동실(14)의 파일롯유체압 및 복귀스프링(35)의 미는 힘에 의해 다이어프램(4)이 밸브보디(3)측에 밀착되고, 밸브시트(13)를 폐쇄하여 제1 및 제2포트사이의 유로가 차단된다.

또, 상기 구동실(14)에 급배하는 파일롯유체압력은 제1 및 제2포트(11, 12)사이를 흐르는 주 유체의 압력과 동일한 정도이어도 되지만, 필요에 따라 그 주 유체의 압력보다 높게 할 수 있다.

한편, 상기 솔레노이드(45)로의 통전시에는 배기측 밸브체(48)에 의해 배기포트(43)에 설치한 밸브시트가 개방되는 동시에, 급기측 밸브체(49)에 의해 공급포트(41)에 설치한 밸브시트가 폐쇄되고, 구동실(14)의 파일롯유체압이 출력유로(37) 및 출력포트(42)로부터 상기 압압레버의 둘레를 지나 배기측 밸브체(48)의 한 밸브실에 안내되고, 배기포트(43)에 설치한 밸브시트로부터 배기유로(38) 및 파일롯배기구(17)를 지나 외부로 배출된다. 그 결과, 제1 및/또는 제2포트(11, 12)의 주 유체의 유체압이 복귀스프링(35)의 미는 힘에 저항해서 다이어프램(4)을 구동실(14)측으로 압압하고, 밸브시트(13)를 개방해서 제1 및 제2포트사이의 유로가 개방된다.

상기 다이어프램형 전자밸브에 있어서는, 상기 구동실(14)과 제1 및 제2포트(11, 12)사이의 주 유체의 유로를 다이어프램(4)으로 분리하고 있으므로, 의료용 외의 다양한 주 유체에 적용할 수 있고, 또, 다이어프램(4)의 중앙의 상기 밸브시트(13)를 개폐하는 본체부(4a)에 디스크(20)를 봉입하고, 이 본체부(4a)의 배면에 밸브개방시에 플레이트(5)에 설치한 쿳션받침부(32, 33)에 접촉하는 쿳션볼록부(22, 23)를 형성하고 있으므로, 밸브개방시에 다이어프램(4)에 작용하는 충격력을 흡수시켜 그것을 보호할 수 있다.

그리고, 상기 밸브보디(3) 및 플레이트(5)에 다이어프램받침면(19, 39)을 형성하고, 다이어프램(4)의 개폐시에 탄성지지부(4b)가 이 다이어프램받침면(19, 39)에 접촉해서 지지되도록 구성했으므로, 다이어프램(4)의 동작시에 과도한 변형이 발생하는 부분이 없고, 다이어프램(4)이 피로 등에 의해 파손하는 것을 상당히 억제할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 다이어프램형 전자밸브의 제2실시예를 나타낸 것으로, 이 제2실시예는 상기 제1실시예에 비해 다이어프램(4)에 복귀스프링(35)을 설치하지 않는 점에서 다르다.

이 제2실시예에서는 상기 제1실시예와는 달리, 구동실(14)내의 파일롯유체에 의한 작용력만에 의해 다이어프램(4)을 밸브보디(3)측에 밀착하고 있으므로, 밸브시트(13)를 폐쇄해서 제1 및 제2포트사이의 유로를 확실하게 차단할 수 있도록 하기 때문에, 상기 구동실(14)에 공급하는 파일롯유체의 압력을 제1 및 제2포트(11, 12)사이를 흐르는 주 유체의 압력보다 높게 하는 것이 바람직하다.

또, 기타 구성 및 작용은 제1실시예의 경우와 다른 점이 없으므로, 도면중의 주요부에 제1실시예와 동일한 부호를 붙여 이들의 설명을 생략한다.

도 4는 공급포트(P)와 출력포트(A, B) 및 배출포트(E)를 구비한 베이스(2A)상에 복수의 다이어프램형 전자밸브(1A∼1D)를 탑재하고, 이들 전자밸브(1A∼1D)와 베이스(2A)에 의해 3포트밸브의 기능을 갖는 다이어프램형 전자밸브복합체를 구성한 상태를 예시하고, 도 5는 상기 각 포트와 전자밸브(1A∼1D)를 베이스(2A)안의 연통로에서 접속한 상태를 심볼마크에 의해 나타낸 것이다.

즉, 상기 베이스(2A)에 있어서의 전자밸브탑재면에는 특히 도시는 생략했지만, 각 전자밸브(1A∼1D)와 대응하는 위치에, 상기 각 포트(P, A, B, E)로 통하는 개구가 베이스(2A)안의 연통로에 의해 특정의 관계로 접속된 상태로 설치되고, 이 탑재면에 상기 전자밸브(1A∼1D)를 탑재하면, 각 전자밸브의 제1 및 제2포트(11, 12)가 상기 각 개구에 접속되도록 되어 있다.

구체적으로는, 도 5에 나타내듯이, 제1 및 제2전자밸브(1A, 1B)의 제1포트(11)가 각각 공급포트(P)에 접속되는 동시에, 제3 및 제4전자밸브(1C, 1D)의 제2포트(12)가 각각 배출포트(E)에 접속되고, 또한, 상기 제1전자밸브(1A)의 제2포트(12)와 제3전자밸브(1C)의 제1포트(11)가 제1출력포트(A)에, 또한 제2전자밸브(1B)의 제2포트(12)와 제4전자밸브(1D)의 제1포트(11)가 제2출력포트(B)에 각각 접속되어 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2전자밸브(1A, 1B)는 각각 출력포트(A, B)에 대해서 공급포트(P)로부터의 유체를 공급할지 안할지의 기능을 분담하고, 제3 및 제4전자밸브(1C, 1D)는 각각 출력포트(A, B)의 유체를 배출할지 안할지의 기능을 분담하게 된다.

또, 상기 베이스(2A)에는 파일롯유체용 공급포트 및 배출포트가 설치되는 동시에, 이들 각 포트로 통하는 개구가 상기 전자밸브탑재면상에 설치되어 있고, 이들 개구가 각 전자밸브의 파일롯급기구(16) 및 파일롯배기구(17)에 접속되도록 되어 있다.

도 6은 복수의 다이어프램형 전자밸브(1A∼1D)를 다른 베이스(2B)상에 탑재한 상태를 예시하고, 도 7은 상기 베이스(2B)에 설치한 각 포트와 상기 각 전자밸브(1A∼1D)를 베이스(2B)내의 연통로로 접속한 상태를 심볼마크에 의해 나타낸 것이다.

도 6에 나타낸 것은 상기 베이스(2B)가 전자밸브탑재면을 서로 대향하는 두 개의 면에 갖고 있고, 각 면에 각각 전자밸브를 2개씩 탑재하고 있는 점과, 공급포트(P)와 배출포트(E)가 베이스의 서로 대향하는 두 개의 면에 각각 개구하고 있는 점이 다를 뿐이고, 베이스(2B)상의 각 포트(P, A, B, E)와 각 전자밸브(1A∼1D)에 있어서의 제1 및 제2포트(11, 12)의 접속관계는 도 4에 나타낸 경우와 실질적으로 같다.

또, 도 4 및 도 6의 예이외에도 공급포트(P)와 하나의 출력포트(A) 및 배출포트(E)를 구비한 베이스상에 두 개의 다이어프램형 전자밸브를 탑재하고, 3포트밸브의 기능을 갖는 다이어프램형 전자밸브복합체를 구성하는 것도 가능하고, 또는 두 개의 포트를 갖는 베이스상에 하나의 다이어프램형 전자밸브를 탑재하고, 2포트밸브의 기능을 갖는 다이어프램형 전자밸브복합체를 구성하는 것도 가능하다.

이와 같이, 상기 구성을 갖는 다이어프램형 전자밸브는 그것을 단독 또는 그 복수를 조합해서 적절하게 유로를 갖는 베이스상에 탑재하고, 2포트밸브, 3포트밸브, 또는 그 베이스안에 형성한 유로에 의해 다른 임의의 기능을 갖는 다이어프램형 전자밸브복합체를 구성할 수 있다. 또, 베이스안에 설치하는 유로에 의해 다양한 유로구성을 갖게 할 수 있다.

이상과 같이 상술한 본 발명의 다이어프램형 전자밸브에 의하면, 필요수의 다이어프램형 전자밸브의 밸브보디를 적절한 유로를 구비한 베이스에 장착가능하게 함으로써, 다양성이 있는 유로구성을 채용하는 것이 가능하게 되고, 또, 다이어프램의 동작시에 슬라이딩부나 과도한 변형이 발생하는 부분이 없고, 그것이 피로 등에 의해 파손하지 않도록 한 다이어프램형 전자밸브를 얻을 수 있다.

Claims

베이스에 부착하기 위한 부착면에 주 유체용 제1포트 및 제2포트를 구비한 밸브보디와, 이들 양 포트를 연결하는 유로에 설치된 밸브시트와, 그 밸브시트를 개폐하는 다이어프램과, 그 다이어프램의 외주부를 상기 밸브보디 사이에 끼워넣어 고정하는 플레이트와, 그 플레이트와 상기 다이어프램과의 사이에 상기 유로와 분리된 상태로 형성된 구동실과, 상기 플레이트상에 설치되어 그 구동실에 상기 주 유체와는 다른 파일롯유체를 공급하는 파일롯밸브를 구비하고,

상기 다이어프램은 상기 밸브시트를 개폐하는 중앙의 본체부와, 이 본체부를 둘러싸는 탄성지지부를 갖고 있고, 상기 본체부의 내부에 디스크가 봉입되는 동시에 그 본체부의 한쪽 면에 상기 밸브시트에 접촉이간하는 시일용 리브가 설치되고, 또한 그 본체부의 배면에 밸브개방시에 상기 플레이트의 쿳션받침부에 접촉하는 쿳션볼록부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브.
제1항에 있어서, 상기 다이어프램의 탄성지지부와 마주 향하는 밸브보디 및 플레이트의 대항면에 상기 탄성지지부의 형상에 맞춘 형상의 다이어프램받침면이 형성되고, 다이어프램의 개폐시에 탄성지지부가 이 다이어프램받침면에 접촉함으로써 다이어프램의 과도한 변형이 방지되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브.
제1항에 있어서, 상기 제1포트가 환형을 이루고 있고, 그 제1포트의 중앙에 상기 제2포트가 개구하고 있는 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브.
제1항에 있어서, 상기 밸브보디의 부착면에 상기 파일롯밸브로 통하는 파일롯급기구 및 파일롯배기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브.
제1항에 기재된 다이어프램형 전자밸브를 주 유체의 공급포트와 출력포트를 구비한 베이스상에 1개 탑재하고, 상기 제1포트 및 제2포트를 각각 상기 공급포트 및 출력포트의 한 쪽에 접속함으로써 이들 전자밸브와 베이스에 의해 2포트밸브의 기능을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브 복합체.
제1항에 기재된 다이어프램형 전자밸브를 주 유체의 공급포트와 1개이상의 출력포트 및 배출포트를 구비한 베이스상에 복수개 탑재하고, 상기 공급포트와 출력포트 및 배출포트를 베이스내의 연통로로 각 전자밸브의 제1 및 제2포트에 접속함으로써, 이들 복수의 전자밸브와 베이스에 의해 3포트밸브의 기능을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브 복합체.
제6항에 있어서, 상기 베이스가 제1 및 제2의 두개의 출력포트를 갖는 동시에, 그 베이스상에 제1 내지 제4의 4개의 다이어프램형 전자밸브가 탑재되어 있고,제1 및 제2전자밸브의 제1포트가 각각 공급포트에 접속되는 동시에, 제3 및 제4전자밸브의 제2포트가 각각 배출포트에 접속되고, 또한, 제1전자밸브의 제2포트와 제3전자밸브의 제1포트가 제1출력포트에, 또한 제2전자밸브의 제2포트와 제4전자밸브의 제1포트가 제2출력포트에 각각 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다이어프램형 전자밸브 복합체.